JP3484363B2 - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

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JP3484363B2
JP3484363B2 JP33254198A JP33254198A JP3484363B2 JP 3484363 B2 JP3484363 B2 JP 3484363B2 JP 33254198 A JP33254198 A JP 33254198A JP 33254198 A JP33254198 A JP 33254198A JP 3484363 B2 JP3484363 B2 JP 3484363B2
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和彦 柳川
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に係
り、特に、アクティブ・マトリックス型と称される液晶
表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】アクティブ・マトリックス型の液晶表示
装置は、液晶を介して対向配置される透明基板のうち一
方の透明基板の液晶側の面に、x方向に延在されy方向
に並設される走査信号線と、この走査信号線と絶縁され
y方向に延在されx方向に並設される映像信号線とが形
成され、これら各信号線で囲まれた領域に、それぞれ、
一方の側の走査信号線からの走査信号(電圧)の供給に
よって駆動するスイッチング素子と、このスイッチング
素子を介して一方の側の映像信号線(電圧)からの映像
信号が印加される画素電極とを備えて構成されている。
このことから、この型の液晶表示装置の各画素は、スイ
ッチング素子がON状態となって電圧が入力される選択
時間と、該スイッチング素子がOFF状態となって電荷
を保持する非選択時間が存在する。この場合、スイッチ
ング素子がOFF状態での蓄積電荷のリークを防止する
等のため、各画素には保持容量素子も形成されている。
すなわち、この保持容量素子は、保持容量線の一部に誘
電体膜を介して画素電極の一部を重畳させて形成してい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成からなる液晶表示装置は、画質の向上のため保
持容量線と画素電極の重畳面積を大きくすることが試み
られているが、それにともなって画素の開口率が小さく
なってしまうという不都合が指摘されていた。保持容量
線と画素電極の重畳領域は開口率に寄与しない領域であ
ることから、その領域を大きくするということは、開口
率に寄与できる領域を小さくしなければならないからで
ある。本発明は、このような事情に基づいてなされたも
のであり、その目的は、開口率に影響することなく大き
な容量の保持容量素子を備える液晶表示装置を提供する
ことにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。すなわち、本発明による液晶表示
装置は、その画素内に容量素子を備えるとともに、該容
量素子は第1の電極、第1の絶縁膜、第2の電極、第2
の絶縁膜、第3の電極との順次積層体から構成され、第
1の電極、第2の電極、第3の電極のうちいずれかが画
素電極であるとともに、第1の電極と第2の電極とで第
1の容量素子を、第2の電極と第3の電極とで第2の容
量素子を構成することを特徴とするものである。このよ
うな構成からなる液晶表示装置は、積層体から構成され
る前記容量素子を2つの容量素子が並列接続された構成
として得ることができるようになる。このことは、第1
の電極、第2の電極、第3の電極のうち不透明な材料で
構成しなければならない電極の面積を大きくすることな
く、容量を大きくできることを意味する。したがって、
開口率に影響することなく大きな容量の容量素子を得る
ことができるようになる。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、本発明による液晶表示装置
の実施例を図面を用いて説明する。 〔実施例1〕図1(a)は本発明による液晶表示装置の
一実施例を示す図で、その一画素を示す平面図となって
いる。このため、同図の構成は、その上下に隣接する画
素、その左右に隣接する画素において全く同一となって
いる。なお、同図(b)は同図(a)のb−b線におけ
る断面図である。
【0006】同図による液晶表示装置はいわゆる縦電界
方式と称されるもので、同図(a)に示す基板側に画素
電極が形成され、該基板に液晶を介して対向配置される
他の基板(図示せず)の液晶側の面にて対向電極(透明
電極)が形成されている構成となっている。各基板に対
してその垂直(縦)方向に電界を発生せしめて液晶の光
透過率を制御するようになっていることから縦電界方式
と称される所以となっている。
【0007】図1(a)における基板1の液晶側の面
に、画素の下側においてx方向に延在する走査信号線2
が形成されている。また、画素の中央にはx方向に延在
する保持容量線3が形成されている。この保持容量線3
はたとえば走査信号線2と同一の材料から構成され、し
たがって該走査信号線2と同一の工程で形成できるよう
になっている。
【0008】そして、基板1上の全域にはこれら走査信
号線2および保持容量線3をも被って絶縁膜4が形成さ
れている。この絶縁膜4は、後述する映像信号線6に対
しては走査信号線2および保持容量線3との交差部にお
ける層間絶縁膜として、薄膜トランジスタTFTの形成
領域においてはゲート絶縁膜として、保持容量素子の形
成領域においては誘電体膜として機能するようになって
いる。この絶縁膜4の表面には、まず、その薄膜トラン
ジスタTFTの形成領域において半導体層5が形成され
ている。この半導体層5はたとえばアモルファスSiか
らなり、走査信号線2上において映像信号線6に近接さ
れた部分に重畳して形成されている。これにより、走査
信号線2の一部が薄膜トランジスタTFTのゲート電極
を兼ねた構成となっている。
【0009】また、前記絶縁膜4の表面には、同図に示
すように、そのy方向に延在しx方向に並設される映像
信号線6が形成されている。そして、映像信号線6は、
薄膜トランジスタTFTの前記半導体層5の表面の一部
にまで延在されて形成されたドレイン電極6Aが一体と
なって備えられている。この場合、薄膜トランジスタT
FTのソース電極6Bも映像信号線6の形成と同時に形
成され、このソース電極6Bは次に説明する画素電極7
の形成領域の一部にまで延在されて形成されている。
【0010】なお、薄膜トランジスタTFTのドレイン
電極6Aとソース電極6Bとの界面に相当する半導体層
5の表面にはリン(P)がドープされて高濃度層となっ
ており、これにより前記各電極6A,6Bにおけるオー
ミックコンタクトを図っている。この場合、半導体層5
の表面の全域には予め前記高濃度層が形成されており、
前記各電極6A,6Bを形成した後に、該電極6A,6
Bをマスクとして該電極形成領域以外の高濃度層エッチ
ングするようにして上記の構成とすることができる。
【0011】そして、前記絶縁膜4上には画素電極7が
形成されている。この画素電極7は、該当する画素の映
像信号線6と図中右側に隣接する画素の映像信号線6
(図示せず)と、該当する画素の走査信号線2と図中上
側に隣接する画素の走査信号線2(図示せず)とで囲ま
れた領域内に形成され、前記薄膜トランジスタTFTの
ソース電極6Bの一部と重畳されて、換言すれば電気的
接続が図れて形成されている。ここで、画素電極7は透
明導電膜(たとえばIndium-Tin-Oxide)から構成されて
いる。この画素電極7が形成された領域は光の通過領域
となっているからである。
【0012】基板1の表面の全域には、これら画素電極
7および映像信号線6等をも被って保護膜8が形成さ
れ、この保護膜8の表面には前記保持容量線3に重畳さ
れて保持容量線9が形成されている。この保持容量線9
は、図中左右のそれぞれに隣接する画素の保持容量線9
と互いに接続された構成となっている。
【0013】このような構成から、保持容量素子は、保
持容量線3(第1の電極)、絶縁膜4(第1の絶縁
膜)、画素電極7(第2の電極)、保護膜8(第2の絶
縁膜)、および保持容量線9(第3の電極)との順次積
層体から構成され、保持容量線3と画素電極7とで第1
の保持容量素子を、画素電極7と保持容量線9とで第2
の保持容量素子を構成するようになって、その容量を大
きくできる構成となっている。そして、第1の保持容量
素子と第2の保持容量素子とは積層構造となっているこ
とから、それに要する占有面積は小さくすることができ
る。
【0014】〔実施例2〕図2(a)は本発明による液
晶表示装置の他の実施例を示す図で、その一画素を示す
平面図となっている。このため、同図(a)の構成は、
その上下に隣接する画素、その左右に隣接する画素にお
いて全く同一となっている。なお、同図(b)は、同図
(a)のb−b線における断面図を示している。
【0015】同図による液晶表示装置はいわゆる横電界
方式と称されるもので、同図(a)に示す基板側に画素
電極およびこの画素電極に隣接されて対向電極が形成さ
れている構成となっている。このため、該基板に液晶を
介して対向配置される他の基板(図示せず)の液晶側の
面には該対向電極に相当する電極は形成されていない構
成となっている。各基板に対してその並行(横)方向に
電界を発生せしめて液晶の光透過率を制御するようにな
っていることから横電界方式と称される所以となってい
る。
【0016】図2(a)における基板1の液晶側の面
に、画素の下側においてx方向に延在する走査信号線2
が形成されている。また、画素の中央にはx方向に延在
する対向電圧信号線10が形成されている。この対向電
圧信号線10はたとえば走査信号線2と同一の材料から
構成され、したがって該走査信号線2と同一の工程で形
成できるようになっている。この対向電圧信号線10は
図1に示した液晶表示装置の保持容量線の機能をも有す
るようになっている。
【0017】そして、この対向電圧信号線10はそれと
一体に対向電極11が形成されている。この対向電極1
1は該対向電圧信号線10を間にして図中上下にそれぞ
れ延在してたとえば3本形成されている。すなわち、該
画素の後述する映像信号線6に隣接して1本の対向電極
11が形成され、該画素に対して図中右側に隣接する画
素の映像信号線6に隣接した他の1本の対向電極11が
形成され、さらに、それらの間に配置される残りの一本
の対向電極11が形成されている。
【0018】そして、基板1上の全域にはこれら走査信
号線2および対向電圧信号線10(対向電極11)をも
被って絶縁膜4が形成されている。この絶縁膜4は、後
述する映像信号線6に対しては走査信号線2および対向
電圧信号線10との交差部に対する層間絶縁膜として、
薄膜トランジスタTFTの形成領域に対してはゲート絶
縁膜として、保持容量素子の形成領域に対しては誘電体
膜として機能するようになっている。
【0019】この絶縁膜4の表面には、まず、その薄膜
トランジスタTFTの形成領域においてたとえばアモル
ファスSiからなる半導体層5が形成されている。この
半導体層5は走査信号線2上において映像信号線6に近
接された部分に重畳して形成され、走査信号線2の一部
が薄膜トランジスタTFTのゲート電極を兼ねた構成と
なっている。
【0020】また、前記絶縁膜4の表面には、同図に示
すように、そのy方向に延在しx方向に並設される映像
信号線6が形成されている。そして、映像信号線6は、
薄膜トランジスタTFTの前記半導体層5の表面の一部
にまで延在されて形成されたドレイン電極6Aが一体と
なって備えられている。この場合、薄膜トランジスタT
FTのソース電極6Bも映像信号線6と形成と同時に形
成され、このソース電極6Bは次に説明する画素電極7
と一体になって形成されている。
【0021】なお、薄膜トランジスタTFTのドレイン
電極6Aとソース電極6Bとの界面に相当する半導体層
5の表面にはリン(P)がドープされて高濃度層となっ
ているのは、図1の場合と同様である。
【0022】そして、前記絶縁膜4上には、上述したよ
うに、薄膜トランジスタTFTのソース電極6Bと一体
に形成された画素電極7が形成されている。この画素電
極7は、図中左側において隣接する2本の対向電極11
の間、および図中右側において隣接する2本の対向電極
11の間に、それら各対向電極と隣接されて形成されて
いるとともに、これらの各画素電極7は対向電圧信号線
10と重畳する部分において互いに接続されたほぼ’
H’形状をなしている。
【0023】ここで、対向電圧信号線10と重畳して形
成される画素電極7の接続部7Aは保持容量素子部とな
っており、その容量を可能な限り大きくするために、該
接続部は各画素電極7の両側にも若干延在するようにし
て形成されている。
【0024】基板1の表面の全域には、これら画素電極
7および映像信号線6等をも被って保護膜8が形成さ
れ、この保護膜8の表面には前記対向電圧信号線10で
ある保持容量線に重畳されて保持容量線9が形成されて
いる。この保持容量線9は、図中左右のそれぞれに隣接
する画素の保持容量線9と互いに接続された構成となっ
ている。
【0025】このような構成から、保持容量素子は、対
向電圧信号線10(第1の電極)、絶縁膜4(第1の絶
縁膜)、画素電極7(第2の電極)、保護膜8(第2の
絶縁膜)、および保持容量線9(第3の電極)との順次
積層体から構成され、対向電圧信号線10と画素電極7
とで第1の保持容量素子を、画素電極7と保持容量線9
とで第2の保持容量素子を構成するようになって、その
容量を大きくできる構成となっている。そして、第1の
保持容量素子と第2の保持容量素子とは積層構造となっ
ていることから、それに要する占有面積は小さくするこ
とができる。
【0026】〔実施例3〕上述した各実施例の構成にお
いて、保持容量線9の一端を表示領域の外側の領域にま
で延在させ、この領域において互いに接続させた構成と
したものである。ここで、表示領域とは各画素の集合体
から構成される領域をいい、その外側とは該集合体の最
外輪郭の外方領域をいう。しかし、これに限定されるこ
とはなく、各画素の集合体の中央部を除く周辺部にブラ
ックマトリックス層が重畳されている場合には、このブ
ラックマトリックス層の重畳部も表示領域の外側として
もよい(以下の実施例の場合も同じ)。このように構成
することによって、保持容量素子の電位の安定化を図る
ことができるようになる。
【0027】〔実施例4〕図3は本発明による液晶表示
装置の他の実施例を示す図で、その一画素を示す平面図
となっている。同図は、図1に示したと同様に縦電界方
式の液晶表示装置を示し、その構成は、その上下に隣接
する画素、その左右に隣接する画素において全く同一と
なっている。
【0028】図1と同様の符号は同一の構成および機能
を有するようになっている。ここで、図1の構成と異な
る部分は、各画素に形成した第3の電極9Aにある。こ
の第3の電極9Aは、図中左右に隣接する画素の第3の
電極9Aとは互いに接続されていることはなく、図中上
下に隣接する画素の第3の電極9Aと互いに接続される
ようになっている。図中上下に隣接する画素の各第3の
電極9Aの接続は、たとえば図中右側に隣接する画素の
映像信号線6に隣接されて形成された配線層9Bによっ
てなされている。すなわち、前記第3の電極9Aおよび
配線層9Bは保持容量線を構成しており、この保持容量
線は図中y方向(映像信号線6の延在方向)に並設され
た各画素において共通となっている。
【0029】このような構成と異なり、たとえば他方の
保持容量線が走査信号線2の延在方向に形成されている
場合、該走査信号線2によって駆動される画素が同時に
ON/OFFするため、該保持容量線にかかる負荷が重
くなりその電位が変動する場合がある。
【0030】また、各画素の保持容量素子の一方の保持
容量線が映像信号線6の延在方向に形成され、他方の保
持容量線も映像信号線の延在方向に形成されている場
合、該映像信号線6と保持容量線との間のカップリング
によって、いわゆる縦スミアの原因となることがある。
【0031】しかし、各画素の保持容量素子の一方の保
持容量線が走査信号線2の延在方向に形成され、他方の
保持容量線(第3の電極および配線層)が映像信号線6
の延在方向に形成されている構成とした場合に上述した
ような不都合を回避することができるようになる。
【0032】〔実施例5〕図4は本発明による液晶表示
装置の他の実施例を示す図で、その一画素を示す平面図
となっている。同図は、図2に示したと同様に横電界方
式の液晶表示装置を示し、その構成は、その上下に隣接
する画素、その左右に隣接する画素において全く同一と
なっている。同図において、図2と同様の符号は同一の
構成および機能を有するようになっている。
【0033】ここで、図2の構成と異なる部分は各画素
に形成した第3の電極9Aにある。この第3の電極9A
は、図中左右に隣接する画素の第3の電極9Aとは互い
に接続されていることはなく、図中上下に隣接する画素
の第3の電極9Aと互いに接続されるようになってい
る。図中上下に隣接する画素の各第3の電極9Aの接続
は、たとえば図中右側に隣接する画素の映像信号線6に
隣接されて形成された配線層9Bによってなされてい
る。すなわち、前記第3の電極9Aおよび配線層9Bに
よって保持容量線が構成され、この保持容量線は、図中
y方向(映像信号線6の延在方向)に隣接する各画素に
おいて共通となっている。
【0034】このように構成した液晶表示装置は、実施
例4と同様の効果を有するともに、横電界方式の構成に
特有な効果を有する。すなわち、実施例4に示した縦電
界方式の構成では、映像信号線6の延在方向に形成され
た保持容量線と画素電極との間で基板と平行な成分の電
界が生じる場合があり、その部分でいわゆるドメインが
発生する。
【0035】しかし、本実施例では、基板1と平行な成
分の電界によって液晶の光透過率を制御している構成と
なっていることから、このような不都合が生じることは
ない。また、映像信号線6の延在方向に形成する保持容
量線を、同図に示すように、対向電極11と重畳して形
成することができ、これにより開口率が小さくなる憂い
もないという効果を奏する。
【0036】〔実施例6〕上述した各実施例において、
各保持容量線を表示領域の外側にまで延在させ、それら
を互いに共通接続するようにしている。このように構成
することによって、保持容量素子の電位の安定化を図る
ことができるようになる。
【0037】〔実施例7〕この実施例では、各画素内に
おいて、第1の電極(保持容量線)と第3の電極(保持
容量線)とがたとえばスルホール等によって互いに接続
されていることにある。すなわち、たとえば図1(b)
に対応した図である図5に示すように、映像信号線6と
画素電極7との間の隙間の領域を利用し、この部分の保
護膜8および絶縁膜4にスルホールを形成し、第1の電
極と第3の電極とを互いに接続させた構成としている。
従来の保持容量線の他に、この保持容量線と異なる新た
な保持容量線を設けることによって、この新たな保持容
量線は走査信号線2あるいは映像信号線6と交差するこ
とは免れず、該走査信号線2あるいは映像信号線6の負
荷が増大し、これにより信号の波形に歪みが生じてスミ
ア発生の原因となることが懸念される。しかし、上述し
た構成とすることにより、走査信号線2あるいは映像信
号線6と交差する保持容量線は実質的に一つとなること
から、該スミア発生の懸念を回避できることになる。
【0038】〔実施例8〕実施例7と同様の趣旨で、た
とえば図2に対応した図である図6に示すように、映像
信号線6と画素電極7の接続部7Aとの間の隙間の領域
を利用し、この部分の保護膜8および絶縁膜4にスルホ
ールを形成し、第1の電極(対向電圧信号線)と第3の
電極(保持容量線)とを互いに接続させた構成としてい
る。
【0039】〔実施例9〕実施例7および実施例8に示
した構成を前提としたもので、第1の電極と第3の電極
とを各画素内で接続し、かつ、走査信号線延在方向の各
画素間で接続し保持容量線を形成するようにしている。
このように構成することによって、保持容量素子の電位
の安定化を図ることができるようになる。
【0040】〔実施例10〕実施例7および実施例8に
示した構成を前提としたもので、第1の電極と第3の電
極とを各画素内で接続し、かつ、映像信号線延在方向の
各画素間で接続し保持容量線を形成するようにしてい
る。このように構成することによって、保持容量素子の
電位の安定化を図ることができるようになる。
【0041】〔実施例11〕上述した各実施例の構成に
おいて、第1の電極および第3の電極のうち一方の電極
をITOで構成するようにしたものである。縦電界方式
の液晶表示装置である場合、一方の電極は画素電極と同
一の工程で形成してもよい。このようにした場合、製造
工数の増大を回避することができるようになる。また、
横電界方式の液晶表示装置であって、映像信号線6ある
いは走査信号線2の外部端子の表面に電食防止用のIT
O膜が被服されている場合、一方の電極はこのITO膜
と同一の工程で形成してもよい。このようにした場合、
製造工数の増大を回避することができるようになる。
【0042】〔実施例12〕上述した各実施例の構成に
おいて、保持容量線に基準電圧を印加するようにし、こ
の基準電圧は外部の駆動回路から供給するようにしたも
のである。このようにすることによって、保持容量線の
電位を安定化でき、画質の向上を図ることができる。
【0043】以上説明した各実施例では、容量素子は第
1の電極、第1の絶縁膜、第2の電極、第2の絶縁膜、
第3の電極との順次積層体から構成され、このうち第2
の電極を画素電極として構成したものである。しかし、
これに限定されることはなく、第1の電極あるいは第3
の電極が画素電極としてもよいことはいうまでもない。
【0044】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による液晶表示装置によれば、開口率に影響する
ことなく大きな容量の保持容量素子を備えることができ
るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による液晶表示装置の画素の一実施例を
示す構成図である。
【図2】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施例
を示す構成図である。
【図3】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施例
を示す構成図である。
【図4】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施例
を示す構成図である。
【図5】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施例
を示す構成図である。
【図6】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施例
を示す構成図である。
【符号の説明】
1…基板、2…走査信号線、3…保持容量線(第1の電
極)、4…絶縁膜(第1の絶縁膜)、5…半導体層、6
…映像信号線、7…画素電極(第2の電極)、8…保護
膜(第2の絶縁膜)、9…保持容量線(第3の電極)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1368 G02F 1/1343

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 薄膜トランジスタを有する液晶表示装置
    において、画素内に容量素子を備え、該容量素子は一方
    の保持容量線、ゲート絶縁膜、前記薄膜トランジスタに
    電気的接続が図れて形成される電極、該電極を被って形
    成された保護膜、他方の保持容量線との順次積層体から
    構成され、前記一方の保持容量線は走査信号線の延在方向における
    各画素において共通となっており、 前記他方の保持容量線は映像信号線の延在方向における
    各画素において共通となっている ことを特徴とする液晶
    表示装置。
  2. 【請求項2】 前記映像信号線に隣接し前記一方の保持
    容量線と一体に形成された電極を有し、該電極と前記他
    方の保持容量線が重畳して形成されていることを特徴と
    する請求項1記載の液晶表示装置。
  3. 【請求項3】 前記一方の保持容量線あるいは他方の保
    持容量線のいずれか一方がITOであり、前記映像信号
    線の外部端子の表面に該ITO膜が被覆されていること
    を特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の液晶表示
    装置。
  4. 【請求項4】 前記一方の保持容量線あるいは他方の保
    持容量線のいずれか一方がITOであり、前記走査信号
    線の外部端子の表面に該ITO膜が被覆されていること
    を特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の液晶表示
    装置。
  5. 【請求項5】 前記一方の保持容量線が前記走査信号線
    と同一の材料から構成されていることを特徴とする請求
    項3あるいは請求項4に記載の液晶表示装置。
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