JP3478270B2 - 放電ガス処理装置および放電ガス処理方法 - Google Patents
放電ガス処理装置および放電ガス処理方法Info
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Description
ア、トリメチルアミン等の有害物質や悪臭物質等から成
る被処理物質を含む被処理ガスを、非平衡プラズマ放電
処理と吸着触媒との併用によって処理して、被処理ガス
中から被処理物質を除去する放電ガス処理装置および放
電ガス処理方法に関し、より具体的には、非平衡プラズ
マ放電処理と吸着触媒との相乗効果を発揮させて、被処
理物質の除去性能を高める手段に関する。
併用によって、被処理ガス中の有害物質や悪臭物質等か
ら成る被処理物質を除去する放電ガス処理装置が幾つか
提案されている(例えば特許第2923647号公報、
特開平4−197418号公報)。
やメチルメルカプタン等の有害物質や悪臭物質等から成
る被処理物質を含む被処理ガス4が導入され当該ガス4
中で非平衡プラズマ放電を発生させる放電処理部6と、
この放電処理部6の下流側に設けられていて放電処理部
6を通過した被処理ガス4中の被処理物質を吸着する吸
着触媒部10とを備えている。
温度が平衡に無い(より具体的には、電子温度は高いが
イオン温度が低くガスの温度上昇を起こさない)非平衡
プラズマを生成する放電のことであり、この放電形態に
は、パルスコロナ放電、沿面コロナ放電、無声コロナ放
電等がある。
も記載されているように、酸化マンガン触媒に代表され
る金属酸化物系のオゾン分解触媒や、活性炭が用いられ
ている。
いる酸化マンガン触媒等の金属酸化物系のオゾン分解触
媒は、高価であり、しかも分解副生成物の保持能力の点
で寿命が比較的短く、従って運転コストが高くつくとい
う問題がある。
金属酸化物系触媒に比べて、安価であり、かつ分解副生
成物の保持能力の点でも寿命が長く有利であるけれど
も、活性炭には非常に多くの種類があり、活性炭の内で
もどのような種類の活性炭を用いれば非平衡プラズマ放
電処理との相乗効果を十分に発揮させることができるか
については、従来は十分な検討が成されていなかった。
0に、活性炭にハロゲンまたはハロゲン化物を添着した
ハロゲン添着活性炭、または、何も添着していない無添
着活性炭を用いることを先に提案している(特願200
0−65236号。以下これを、前記公知の従来技術と
区別して先行技術と呼ぶ)。
ことによって、非平衡プラズマ放電処理と吸着触媒との
併用による相乗効果が確実に発揮され、被処理ガス4中
の被処理物質の除去性能を顕著に高めることができる。
しかも、これらの活性炭は、酸化マンガン触媒系等の金
属酸化物系触媒に比べて、安価かつ長寿命であるという
特長を有している。
硫化水素(H2S)やメチルメルカプタン(CH3SH)
等のような、硫黄を含む硫黄系の被処理物質について
は、極めて優れた除去性能を発揮して、高い除去率を長
時間維持することができる。
質が、アンモニア(NH3 )、トリメチルアミン[(C
H3)3N]等のような、塩基を含む塩基性の被処理物質
の場合は、硫黄系の被処理物質の場合に比較して、除去
性能が低い、即ち除去率が低いか、高くても短時間で除
去率が低下する、ということが分かった。その測定結果
の例を、後で説明する図4および図5中に線E、Fで示
す。
理と吸着触媒との併用による相乗効果を確実に発揮させ
て、少なくとも塩基性の被処理物質に対して、高い除去
率を長時間維持することのできる手段を提供することを
一つの目的とする。
との併用による相乗効果を確実に発揮させて、少なくと
も塩基性の被処理物質および硫黄系の被処理物質の両方
に対して、高い除去率を長時間維持することのできる手
段を提供することを他の目的とする。
電ガス処理装置は、前記吸着触媒部が、活性炭に無機酸
を添着した添着活性炭を備えていることを特徴としてい
る。
非平衡プラズマ放電処理と多様な種類の活性炭との組み
合わせについて鋭意検討した結果、活性炭に無機酸を添
着した添着活性炭を吸着触媒部に用いることによって、
非平衡プラズマ放電と吸着触媒との併用による相乗効果
を確実に発揮させて、少なくとも塩基性の被処理物質に
対して、高い除去率を長時間維持することができること
を見い出した。
等が採り得る。上記添着活性炭は、このような無機酸を
一種類だけ活性炭に添着したものでも良いし、複数種類
を添着したものでも良い。即ち、活性炭に硫酸およびリ
ン酸の少なくとも一方を添着したものでも良い。特に、
硫酸およびリン酸の両方を添着した添着活性炭を用いる
ことによって、後で説明する図4および図5中の線Aに
示すように、少なくとも塩基性の被処理物質に対して、
極めて優れた除去性能(除去率およびその維持時間。以
下同じ)を発揮することができることが確かめられてい
る。
は、前記吸着触媒部が、活性炭に、(a)ハロゲンまた
はハロゲン化物と、(b)無機酸とを(即ち(a)と
(b)の両方を)添着した添着活性炭を備えていること
を特徴としている。
はハロゲン化物と、無機酸とを添着した添着活性炭を吸
着触媒部に用いることによって、非平衡プラズマ放電処
理と吸着触媒との併用による相乗効果を確実に発揮させ
て、少なくとも塩基性の被処理物質および硫黄系の被処
理物質の両方に対して、高い除去率を長時間維持するこ
とができることを見い出した。
素等が採り得る。上記無機酸としては、例えば硫酸、リ
ン酸等が採り得る。このようなハロゲンは、ハロゲン化
物として添着しても良い。このようなハロゲン(または
ハロゲン化物)と無機酸の組み合わせには幾通りかがあ
るけれども、その内でも、ハロゲンとして臭素、無機酸
として硫酸の組み合わせが好ましい。即ち、臭素および
硫酸を活性炭に添着した添着活性炭を用いることによっ
て、後で説明する図4〜図6中の線Bに示すように、少
なくとも塩基性の被処理物質および硫黄系の被処理物質
の両方に対して、極めて優れた除去性能を発揮すること
ができることが確かめられている。
処理装置の一例を示すブロック図である。図7に示した
従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、
以下においては当該従来例との相違点を主に説明する。
基系や硫黄系等の有害物質や悪臭物質等から成る被処理
物質を含む被処理ガス4が導入され当該ガス4中で非平
衡プラズマ放電を発生させる放電処理部6と、この放電
処理部6の下流側に設けられていて放電処理部6を通過
した被処理ガス4中の被処理物質を吸着する吸着触媒部
20とを備えている。
電処理部6は、非平衡プラズマ放電としてパルスコロナ
放電を用いるものであり、円筒状(円管状とも言える)
の外部電極(非コロナ電極)12内に、当該外部電極1
2よりも細い線状(棒状とも言える)の内部電極(コロ
ナ電極)14を同軸状に配置した、同軸円筒状構造をし
ている。但し、放電処理部6の構造はこの例のものに限
られるものではない。
放電空間16に上記被処理ガス4を導入し、かつ両電極
12、14間にパルス電源8から高電圧(例えば放電空
間6での平均電界強度が8〜30kV/cm程度になる
ような高電圧)かつ短パルス(例えばパルス幅が10n
s〜1μs程度)のパルス電圧VP を繰り返し印加し
て、放電空間16内の被処理ガス4中でパルスコロナ放
電18を発生させることによって、被処理ガス4中の被
処理物質を改質することができる。パルス電圧V P は、
通常は正パルスであるが負パルスでも良い。
吸着触媒部20は、円筒状(円管状とも言える)の容器
22内に活性炭24を充填した構造をしている。活性炭
24が例えば破砕状またはペレット状の場合は、それを
図示例のように、被処理ガス4を通すことのできる網状
部材26および28で挟み込めば良い。
うな、活性炭に無機酸を添着した添着活性炭である。あ
るいは、活性炭に、ハロゲンまたはハロゲン化物と、無
機酸とを添着した添着活性炭である。
て、吸着触媒部20の活性炭24の種類等を変えて行っ
た実験結果を以下に説明する。
モニア(図4の例)、トリメチルアミン(図5の例)ま
たは硫化メチル[(CH3)2S](図6の例)を混入し
た空気(室温、1気圧)を被処理ガス4として用いた。
放電処理部6の電極12、14間には、パルス幅1μs
以下のパルス電圧VP を繰り返し印加することによっ
て、一定流量で電極12、14間を流れて行く被処理ガ
ス4を放電処理した。放電処理部6における放電電力等
の放電条件は、放電処理後の(出口の)被処理ガス4中
のオゾン濃度が、放電処理前の(入口の)被処理ガス4
中のアンモニア(図4の例)、トリメチルアミン(図5
の例)または硫化メチル(図6の例)の濃度に対して
1.5倍になるように設定した。吸着触媒部20の活性
炭層中の被処理ガス4の線速度(活性炭層を通過する被
処理ガス4の平均速度)は約0.3m/sとした。
の入口での濃度に対する吸着触媒部20の出口での濃
度。以下同じ)の経時変化を測定した結果であり、図5
はトリメチルアミンの除去率の経時変化を測定した結果
であり、図6は硫化メチルの除去率の経時変化を測定し
た結果である。
条件を表1にまとめて示す。
電処理部6にパルス電圧VP を印加して放電処理と活性
炭24とを併用すると共に、当該活性炭24として、活
性炭に無機酸としての硫酸およびリン酸を添着した添着
活性炭を用いた結果である。より具体的には、武田薬品
工業株式会社の添着活性炭(商品名GTSX)を用いた。
電処理部6にパルス電圧VP を印加して放電処理と活性
炭24とを併用すると共に、当該活性炭24として、活
性炭にハロゲンとしての臭素と無機酸としての硫酸の両
方を添着した添着活性炭を用いた結果である。より具体
的には、武田薬品工業株式会社の添着活性炭(商品名G
M2X)を用いた。
圧を印加しなくて放電処理を併用せずに活性炭24のみ
を用いた結果である。活性炭24には、線Aの場合と同
じものを用いた。
圧を印加しなくて放電処理を併用せずに活性炭24のみ
を用いた結果である。活性炭24には、線Bの場合と同
じものを用いた。
あり、放電処理部6にパルス電圧V P を印加して放電処
理と活性炭24とを併用すると共に、当該活性炭24と
して、活性炭にハロゲンとしてのヨウ素を添着した添着
活性炭を用いた結果である。より具体的には、武田薬品
工業株式会社の添着活性炭(商品名GS1X)を用いた。
あり、放電処理部6にパルス電圧V P を印加して放電処
理と活性炭24とを併用すると共に、当該活性炭24と
して、活性炭に何も添着していない無添着活性炭を用い
た結果である。より具体的には、武田薬品工業株式会社
の無添着活性炭(商品名G2X)を用いた。
圧を印加しなくて放電処理を併用せずに活性炭24のみ
を用いた結果である。活性炭24には、線Eの場合と同
じものを用いた。
被処理ガス4中のアンモニア濃度を100ppmとし、
活性炭24の層厚はいずれも8cmとした。なお、無添
着活性炭使用で放電処理無しの場合は、線Gと殆ど同じ
かそれよりも少し悪い結果が得られたが、その結果は図
示するまでもないのでここでは図示を省略した。
性炭でも放電処理を併用した方が除去率を高くかつ長く
維持することができるけれども、特に、線Aに示す実施
例のように、無機酸を添着した添着活性炭と放電処理と
を併用することによって、90%以上という高い除去率
を、他の比較例(先行技術に係る比較例を含む。以下同
じ)に比べて飛躍的に長い時間維持することができるこ
とが分かる。また、線Bに示す実施例のように、ハロゲ
ンと無機酸とを添着した添着活性炭と放電処理とを併用
することによっても、80%以上という高い除去率を、
他の比較例に比べて飛躍的に長い時間維持することがで
きることが分かる。
被処理ガス4中のトリメチルアミン濃度を30ppmと
し、活性炭24の層厚はいずれも3cmとした。なお、
無添着活性炭使用で放電処理有りの場合(表1のF)は
線Eと殆ど同じかそれよりも少し悪い結果が得られ、放
電処理無しの場合は線Gと殆ど同じかそれよりも少し悪
い結果が得られたが、その結果は図示するまでもないの
でここでは図示を省略した。
性炭でも放電処理を併用した方が除去率を高くかつ長く
維持することができるけれども、特に、線Aに示す実施
例のように、無機酸を添着した添着活性炭と放電処理と
を併用することによって、95%以上という高い除去率
を、他の比較例に比べて飛躍的に長い時間維持すること
ができることが分かる。また、線Bに示す実施例のよう
に、ハロゲンと無機酸とを添着した添着活性炭と放電処
理とを併用することによっても、90%以上という高い
除去率を、他の比較例に比べて飛躍的に長い時間維持す
ることができることが分かる。
被処理ガス4中の硫化メチル濃度を10ppmとし、活
性炭24の層厚はいずれも8cmとした。なお、無機酸
を添着した添着活性炭(表1のA)については、比較例
に比べて格別に有利な結果は得られなかったので、図示
を省略している。
実施例のように、ハロゲンと無機酸とを添着した添着活
性炭と放電処理とを併用することによって、95%以上
という高い除去率を、他の比較例に比べて飛躍的に長い
時間維持することができることが分かる。
てパルスコロナ放電を用いた場合の結果であるが、沿面
コロナ放電等の他の非平衡プラズマ放電形態でも上記と
同様の結果が得られる。
ゲン化物を添着したものでも、上記とほぼ同様の結果が
得られる。
活性炭24として、活性炭に無機酸を添着した添着活性
炭を用いることによって、または、活性炭にハロゲンも
しくはハロゲン化物と無機酸とを添着した添着活性炭を
用いることによって、非平衡プラズマ放電処理との組み
合わせによる相乗効果を確実に発揮させて、被処理ガス
4中に含まれる有害物質や悪臭物質等の被処理物質の除
去性能を顕著に高めることができる。
て、活性炭に無機酸を添着した添着活性炭を用いること
によって、少なくともアンモニアやトリメチルアミン等
の塩基性の被処理物質に対して、高い除去率を長時間維
持することができる。塩基性の被処理物質について比べ
れば、活性炭にハロゲンまたはハロゲン化物と無機酸と
を添着した添着活性炭を用いる場合よりも、より高い除
去率をより長時間維持することができる。従って、塩基
性の被処理物質除去を主眼にする場合は、無機酸を添着
した添着活性炭を用いる方が好ましい。
て、活性炭にハロゲンまたはハロゲン化物と無機酸とを
添着した添着活性炭を用いることによって、上記のよう
な塩基性の被処理物質のみならず、硫化メチル等の硫黄
系の被処理物質に対しても、高い除去率を長時間維持す
ることができる。即ち、一種類の活性炭で、より多様な
種類の被処理物質について高い除去率を長時間維持する
ことができる。従って、汎用性に富んでいる。勿論、硫
化メチル以外の硫化水素やメチルメルカプタン等の他の
硫黄系の被処理物質についても、高い除去性能を発揮す
ることができる。
化マンガン触媒に代表される金属酸化物系触媒に比べて
安価かつ長寿命である。また、先行技術で使用している
ハロゲン添着活性炭や無添着活性炭と同程度に安価であ
る。
性炭24が安価かつ長寿命であり、しかも被処理物質の
除去性能が高くてそのぶん放電電力の低減が可能である
ので、装置コストの低減および運転(ランニング)コス
トの低減が可能になる。
用いることによって、非平衡プラズマ放電処理との併用
(相乗)効果が向上する機構については、測定の困難性
もあって十分な解明には至っていないが、現時点では次
のようなものであると考えられる。
反応によって生成された反応生成物(オゾンやラジカル
類を含む)が上記添着活性炭において特に吸着されやす
い。そして、吸着された反応生成物が被処理物質を効率
良く捕捉して吸着容量を増加させ、被処理物質の除去性
能が向上する。
成物および被処理物質の吸着能が高く、しかも、両物質
に対する吸着帯幅が同程度になっていて両物質の空間密
度分布の重なりが大きいので、上記添着活性炭上で上記
反応生成物と被処理物質との相互作用(化学反応)が良
く起きる。例えば、反応生成物が酸化作用を有しておれ
ば被処理物質は酸化される。このような化学反応によっ
て、添着活性炭上で被処理物質が異なる物質に転換され
るため、添着活性炭における被処理物質の平衡吸着量が
見かけ上増大し、被処理物質の除去性能が向上する。
ラジカル類が吸着されにくくなると考えられるが、実際
には前述のように放電処理との相乗効果を発揮する。こ
れは、まず塩基性物質が当該添着活性炭に吸着され、活
性炭表面に捕捉された塩基性物質が更に酸化ラジカルを
吸着することで、塩基性物質の吸着・分解作用が増大
し、被処理物質の除去性能が向上する。
上記のような作用効果が十分に得られる。その市販品の
例は、前述のとおりである。
除去率と広い汎用性を得るために、活性炭24として上
記のような添着活性炭を用いると共に、これと更に他の
吸着触媒とを併用しても良い。
ト状等でも良い。ハニカム状に整形したものでも良い。
破砕状またはペレット状のものを使用する場合は、図3
に示した例のように、被処理ガス4を通すことのできる
網状部材26、28で挟み込めば良い。吸着触媒部20
の容器22に網状部材26、28が固定されていて、破
砕状またはペレット状の活性炭24を充填する形態でも
良いし、網状部材を設けたカートリッジとして、それを
容器22に充填する形態でも良い。
性を考慮して、耐食塗装鋼板でも良いし、ステンレス鋼
でも良い。被処理ガス4の温度が60℃程度以下であれ
ば、塩化ビニール、フッ素樹脂、ガラス繊維強化プラス
チック等の樹脂でも良い。また、これらの樹脂で被膜処
理した鋼板やステンレス鋼でも良い。
の放電形態としては、前述したように、パルスコロナ放
電、沿面放電、無声放電のいずれを用いても良い。パル
スコロナ放電を用いれば、放電消費電力がより低減でき
る。パルスコロナ放電の場合は、図2に示した例のよう
に、ガス流路を挟んで相対向する細いコロナ電極と、面
状の非コロナ電極とを用いる。沿面放電の場合は、誘電
体の一方面に配置された細いコロナ電極と他方面に配置
された面状の非コロナ電極とを用いる。無声放電の場合
は、誘電体を介在させた互いに並行な二つの電極を用い
る。電極構造のより具体例は、例えば前記公報(特許第
2923647号公報、特開平4−197418号公
報)に記載されている。
時間(通過時間もしくは接触時間)は、装置サイズや圧
力損失等の観点から実用上、1ms〜10秒の範囲が好
ましい。
ス電圧VP の大きさ、パルス繰り返し率、放電電力等。
以下同じ)については、放電処理後の(即ち放電処理部
6の出口の。以下同様)オゾン濃度が、放電処理部6の
入口の被処理物質濃度の1〜3倍、好ましくは1.5〜
2倍になるように放電条件を調整すれば良いという経験
的知見を得ている。
放電条件を、印加パルス電圧VP の大きさ等で規定する
ことは、必ずしも適当ではない。印加パルス電圧VP の
大きさや放電電力を一定にしても、被処理ガス4中の水
分量や酸素濃度の影響で、放電処理併用効果が変わると
いう実験結果を得ている。発明者達の経験的知見によれ
ば、放電処理部6での放電条件の指標として最適なもの
は、放電処理後(即ち放電処理部6の出口)のオゾン濃
度である。オゾン濃度は、放電によって生成されると考
えられる酸素ラジカル類の中で検出が容易であり、実際
的な放電条件の指標として適していると考えられる。
部20内の活性炭24の寿命および当該放電ガス処理装
置出口からのオゾンの漏れ防止の観点からは、放電処理
後のオゾン濃度と放電処理部6の入口の被処理物質濃度
との比をできるだけ小さくする方が望ましい。しかし、
この比が0.5〜0.8倍では、放電処理を併用する効
果が認められないという実験事実を得ている。放電処理
併用効果が認められるのは、経験的に、前記比が1倍以
上の場合である。この比を1.5倍にしたのが先に図4
〜図6に示した例であり、前述のように顕著な放電処理
併用効果が認められている。
記比を1.5倍よりも大きくすれば、被処理物質の除去
性能は更に向上するけれども、放電処理併用効果は飽和
傾向を示す。従って、放電処理部6における消費電力の
低減、吸着触媒部20内の活性炭24の長寿命化および
装置出口からのオゾンの漏れ防止を図りつつ、放電処理
と吸着触媒との有効な併用効果を得るためには、前記比
が1〜3倍になるように、放電処理部6における放電条
件を設定して処理するのが好ましく、その内でも1.5
〜2倍にするのがより好ましい。そのようにすれば、よ
り顕著な併用効果を得ることができる。
ある場合は、放電条件の調整は、除去効果をもって判断
すれば良い。
ガス流路のガス通過時間は、放電処理によって生成され
た反応生成物の寿命が比較的短いので、短い方が望まし
いが、実用上は10秒程度以内であれば特に支障はな
い。
除塵、調湿、調温等を行う前処理部を設けても良い。
るので、次のような効果を奏する。
が吸着触媒として、活性炭に無機酸を添着した添着活性
炭を備えているので、非平衡プラズマ放電処理と吸着触
媒との組み合わせによる相乗効果を確実に発揮させて、
被処理ガス中の被処理物質の除去性能を顕著に高めるこ
とができる。特に、少なくともアンモニアやトリメチル
アミン等の塩基性の被処理物質に対して、公知技術や先
行技術では実現できないような高い除去率を長時間維持
することができる。
塩基性の被処理物質に対して、公知技術や先行技術では
実現できないような極めて優れた除去性能を発揮するこ
とができる。
が吸着触媒として、活性炭に、ハロゲンまたはハロゲン
化物と、無機酸とを添着した添着活性炭を備えているの
で、非平衡プラズマ放電処理と吸着触媒との組み合わせ
による相乗効果を確実に発揮させて、被処理ガス中の多
様な被処理物質の除去性能を顕著に高めることができ
る。特に、少なくとも上記のような塩基性の被処理物質
および硫化メチル等の硫黄系の被処理物質の両方に対し
て、公知技術や先行技術では実現できないような高い除
去率を長時間維持することができる。即ち、一種類の活
性炭で、より多様な種類の被処理物質について高い除去
率を長時間維持することができる。従って、汎用性に富
んでいる。
塩基性の被処理物質および硫黄系の被処理物質の両方に
対して、公知技術や先行技術では実現できないような極
めて優れた除去性能を発揮することができる。
における消費電力の低減、吸着触媒部内の添着活性炭の
長寿命化および放電ガス処理装置出口からのオゾンの漏
れ防止を図りつつ、放電処理と吸着触媒との有効な併用
効果を得ることができる。
における消費電力の低減、吸着触媒部内の添着活性炭の
長寿命化および放電ガス処理装置出口からのオゾンの漏
れ防止をより確実に図りつつ、放電処理と吸着触媒との
より顕著な併用効果を得ることができる。
ブロック図である。
アンモニア除去率の経時変化を測定した結果の一例を示
すグラフである。
トリメチルアミン除去率の経時変化を測定した結果の一
例を示すグラフである。
硫化メチル除去率の経時変化を測定した結果の一例を示
すグラフである。
置の一例を示すブロック図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 被処理物質を含む被処理ガス中で非平衡
プラズマ放電を発生させる放電処理部と、この放電処理
部の下流側に設けられていて当該放電処理部を通過した
被処理ガス中の被処理物質を吸着する吸着触媒部とを備
える放電ガス処理装置において、前記吸着触媒部が、活
性炭に無機酸を添着した添着活性炭を備えていることを
特徴とする放電ガス処理装置。 - 【請求項2】 前記添着活性炭が、活性炭に硫酸および
リン酸を添着したものである請求項1記載の放電ガス処
理装置。 - 【請求項3】 被処理物質を含む被処理ガス中で非平衡
プラズマ放電を発生させる放電処理部と、この放電処理
部の下流側に設けられていて当該放電処理部を通過した
被処理ガス中の被処理物質を吸着する吸着触媒部とを備
える放電ガス処理装置において、前記吸着触媒部が、活
性炭に、ハロゲンまたはハロゲン化物と、無機酸とを添
着した添着活性炭を備えていることを特徴とする放電ガ
ス処理装置。 - 【請求項4】 前記添着活性炭が、活性炭に臭素および
硫酸を添着したものである請求項3記載の放電ガス処理
装置。 - 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかに記載の放
電ガス処理装置において、前記放電処理部の出口の被処
理ガス中のオゾン濃度が、当該放電処理部の入口の被処
理ガス中の被処理物質の濃度に対して1〜3倍になる放
電条件で、前記放電処理部において放電処理を行うこと
を特徴とする放電ガス処理方法。 - 【請求項6】 請求項1ないし4のいずれかに記載の放
電ガス処理装置において、前記放電処理部の出口の被処
理ガス中のオゾン濃度が、当該放電処理部の入口の被処
理ガス中の被処理物質の濃度に対して1.5〜2倍にな
る放電条件で、前記放電処理部において放電処理を行う
ことを特徴とする放電ガス処理方法。
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ES2777209T3 (es) * | 2012-10-04 | 2020-08-04 | Fipak Res And Development Company | Método y aparato para purgar sustancias no deseadas del aire |
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- 2001-01-31 JP JP2001022642A patent/JP3478270B2/ja not_active Expired - Lifetime
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