JP3476557B2 - ファラデー回転子 - Google Patents
ファラデー回転子Info
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- JP3476557B2 JP3476557B2 JP22862594A JP22862594A JP3476557B2 JP 3476557 B2 JP3476557 B2 JP 3476557B2 JP 22862594 A JP22862594 A JP 22862594A JP 22862594 A JP22862594 A JP 22862594A JP 3476557 B2 JP3476557 B2 JP 3476557B2
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- Japan
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- film
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- single crystal
- rare earth
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液相エピタキシャル
（以下、「ＬＰＥ」と略記する）成長による磁性ガーネ
ット単結晶からなるファラデー回転子に関し、更に詳し
く述べると、ファラデー回転係数の波長依存性の異なる
２種類のＬＰＥ磁性ガーネット膜を重ねて用いるファラ
デー回転子に関するものである。このファラデー回転子
は、波長１２５０〜１３７０nmで使用する広帯域光アイ
ソレータに有用である。
（以下、「ＬＰＥ」と略記する）成長による磁性ガーネ
ット単結晶からなるファラデー回転子に関し、更に詳し
く述べると、ファラデー回転係数の波長依存性の異なる
２種類のＬＰＥ磁性ガーネット膜を重ねて用いるファラ
デー回転子に関するものである。このファラデー回転子
は、波長１２５０〜１３７０nmで使用する広帯域光アイ
ソレータに有用である。
【０００２】
【従来の技術】磁性ガーネット単結晶はファラデー効果
を持っており、光アイソレータの中心材料である。現
在、光通信に使用されている波長帯は、１３１０nm帯と
１５５０nm帯である。そして近年、この波長帯に適用さ
れる磁性ガーネット単結晶は、非磁性ガーネット単結晶
基板上にＬＰＥ法により成膜した単結晶膜（ＬＰＥ膜）
が主となっている。その理由は、ＬＰＥ法が量産性に優
れていることによる。
を持っており、光アイソレータの中心材料である。現
在、光通信に使用されている波長帯は、１３１０nm帯と
１５５０nm帯である。そして近年、この波長帯に適用さ
れる磁性ガーネット単結晶は、非磁性ガーネット単結晶
基板上にＬＰＥ法により成膜した単結晶膜（ＬＰＥ膜）
が主となっている。その理由は、ＬＰＥ法が量産性に優
れていることによる。
【０００３】ところで将来の大容量光通信として注目さ
れている波長多重伝送には、広い波長帯域でファラデー
回転係数の波長変化率が小さい広帯域光アイソレータが
不可欠となる。波長１５５０nm帯においては、Ｂｉ（ビ
スマス）で置換したテルビウム鉄ガーネットをファラデ
ー回転子に用いた広帯域光アイソレータが知られている
（玉城孝彦「波長多重画像伝送用広帯域光アイソレータ
の開発」ＮＨＫ技研Ｒ＆Ｄ No.20 1992 ８月 pp.8-1
6）。
れている波長多重伝送には、広い波長帯域でファラデー
回転係数の波長変化率が小さい広帯域光アイソレータが
不可欠となる。波長１５５０nm帯においては、Ｂｉ（ビ
スマス）で置換したテルビウム鉄ガーネットをファラデ
ー回転子に用いた広帯域光アイソレータが知られている
（玉城孝彦「波長多重画像伝送用広帯域光アイソレータ
の開発」ＮＨＫ技研Ｒ＆Ｄ No.20 1992 ８月 pp.8-1
6）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、波長１３１０
nm帯において十分な性能をもつ広帯域光アイソレータは
未だ開発されていない。例えば、この波長帯で使用され
ているＴｂ1.85Ｂｉ1.15Ｆｅ4.75Ａｌ0.25Ｏ12なる組成
のＬＰＥ膜は、波長帯域幅が狭く、波長多重通信には対
応できない。そこで、波長１３１０nm帯においても、波
長１５５０nm帯と同様に広帯域の光アイソレータの開発
が望まれていた。
nm帯において十分な性能をもつ広帯域光アイソレータは
未だ開発されていない。例えば、この波長帯で使用され
ているＴｂ1.85Ｂｉ1.15Ｆｅ4.75Ａｌ0.25Ｏ12なる組成
のＬＰＥ膜は、波長帯域幅が狭く、波長多重通信には対
応できない。そこで、波長１３１０nm帯においても、波
長１５５０nm帯と同様に広帯域の光アイソレータの開発
が望まれていた。
【０００５】本発明の目的は、波長１２５０〜１３７０
nmにおいて波長帯域幅が広く、そのためその波長帯での
波長多重通信に対応できるファラデー回転子を提供する
ことである。
nmにおいて波長帯域幅が広く、そのためその波長帯での
波長多重通信に対応できるファラデー回転子を提供する
ことである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、組成式がＲ1
3-x Ｂｉx Ｆｅ5-y Ｚy Ｏ12で示されるＬＰＥ磁性ガー
ネット単結晶からなるＡ膜と、組成式がＲ2 3-z Ｓｍz
Ｆｅ5 Ｏ12で示されるＬＰＥ磁性ガーネット単結晶から
なるＢ膜とを重ねて、波長１２５０〜１３７０nmで使用
するファラデー回転子である。 但し、Ｒ1 はＹを含む希土類元素 ＺはＡｌ，Ｉｎ，Ｇａ ０．３≦ｘ≦１．９ ０≦ｙ≦０．５ Ｒ2 はＢｉ，Ｙを含む希土類元素 ０．５≦ｚ≦３
3-x Ｂｉx Ｆｅ5-y Ｚy Ｏ12で示されるＬＰＥ磁性ガー
ネット単結晶からなるＡ膜と、組成式がＲ2 3-z Ｓｍz
Ｆｅ5 Ｏ12で示されるＬＰＥ磁性ガーネット単結晶から
なるＢ膜とを重ねて、波長１２５０〜１３７０nmで使用
するファラデー回転子である。 但し、Ｒ1 はＹを含む希土類元素 ＺはＡｌ，Ｉｎ，Ｇａ ０．３≦ｘ≦１．９ ０≦ｙ≦０．５ Ｒ2 はＢｉ，Ｙを含む希土類元素 ０．５≦ｚ≦３
【０００７】ここで好ましくは、Ａ膜におけるＢｉ量ｘ
が０．７≦ｘ≦１．９であり、Ｂ膜におけるＳｍ量ｚが
０．５＜ｚ≦３とする。また、Ａ膜におけるＲ1 が、Ｙ
を含み且つＳｍを含まない希土類元素であり、Ｂ膜にお
けるＲ2 が、Ｙを含む希土類元素とするのが好ましい。
が０．７≦ｘ≦１．９であり、Ｂ膜におけるＳｍ量ｚが
０．５＜ｚ≦３とする。また、Ａ膜におけるＲ1 が、Ｙ
を含み且つＳｍを含まない希土類元素であり、Ｂ膜にお
けるＲ2 が、Ｙを含む希土類元素とするのが好ましい。
【０００８】本発明者等は、種々の組成のＬＰＥ磁性ガ
ーネットを試作し、それらの各種特性を測定する基礎実
験を重ねてきた。その結果、Ｓｍ（サマリウム）を含む
ものと、含まないものとで波長１３１０nmにおけるファ
ラデー回転係数の波長変化率ＦＷＣが大きく異なること
を見出した。その結果の一例を表１に示す。
ーネットを試作し、それらの各種特性を測定する基礎実
験を重ねてきた。その結果、Ｓｍ（サマリウム）を含む
ものと、含まないものとで波長１３１０nmにおけるファ
ラデー回転係数の波長変化率ＦＷＣが大きく異なること
を見出した。その結果の一例を表１に示す。
【０００９】
【表１】
【００１０】ここで波長１３１０nmにおけるファラデー
回転係数の波長変化率ＦＷＣは、次式のように定義した
ものである。 ＦＷＣ＝｛θF (1310nm)−θF (1330nm)｝／｜θF (131
0nm)｜／20×100 ％／nm ここでθF (1310nm)及びθF (1330nm)は、それぞれ１３
１０nmと１３３０nmにおけるファラデー回転係数であ
る。
回転係数の波長変化率ＦＷＣは、次式のように定義した
ものである。 ＦＷＣ＝｛θF (1310nm)−θF (1330nm)｝／｜θF (131
0nm)｜／20×100 ％／nm ここでθF (1310nm)及びθF (1330nm)は、それぞれ１３
１０nmと１３３０nmにおけるファラデー回転係数であ
る。
【００１１】表１を見ると、Ｓｍを含んでいる試料７の
みがＦＷＣが＋０．１２％／nmであるが、それ以外の試
料のＦＷＣは全て−０．１７〜−０．２０％／nmであ
る。そこで、各試料についてＢｉ量に対するＦＷＣをプ
ロットすると、図１のようになる。このことからＳｍの
入っていない試料の場合は、希土類元素の種類及びＢｉ
量にかかわらず、ＦＷＣがほぼ一定になっていることが
分かる。これらの結果から分かるように、Ｓｍを含む希
土類鉄ガーネット単結晶とＳｍを含まないビスマス置換
型希土類鉄ガーネット単結晶とは、１３１０nmにおける
ファラデー回転係数の波長依存性が逆符号の関係にあ
る。そのため、両者を組み合わせることで、それぞれ単
結晶膜単独の場合に比べて帯域幅が広がる。本発明は、
かかる知得に基づき完成したものである。
みがＦＷＣが＋０．１２％／nmであるが、それ以外の試
料のＦＷＣは全て−０．１７〜−０．２０％／nmであ
る。そこで、各試料についてＢｉ量に対するＦＷＣをプ
ロットすると、図１のようになる。このことからＳｍの
入っていない試料の場合は、希土類元素の種類及びＢｉ
量にかかわらず、ＦＷＣがほぼ一定になっていることが
分かる。これらの結果から分かるように、Ｓｍを含む希
土類鉄ガーネット単結晶とＳｍを含まないビスマス置換
型希土類鉄ガーネット単結晶とは、１３１０nmにおける
ファラデー回転係数の波長依存性が逆符号の関係にあ
る。そのため、両者を組み合わせることで、それぞれ単
結晶膜単独の場合に比べて帯域幅が広がる。本発明は、
かかる知得に基づき完成したものである。
【００１２】本発明においては、上記Ａ膜とＢ膜とを重
ねてファラデー回転子とするが、実際には、Ａ膜とＢ膜
とをそれぞれ別々にＬＰＥ成長により作製して重ね合わ
せるのが好ましい。別々にＬＰＥ成長させる方が基板材
料や膜組成に制約が少ないからである。しかし、非磁性
ガーネット基板上に先ずＡ膜もしくはＢ膜のいずれかを
ＬＰＥ成長させ、その上に残る他方の膜をＬＰＥ成長さ
せる構成でもよいし、非磁性ガーネット基板の一方の面
にＡ膜をＬＰＥ成長させ、該基板の他方の面にＢ膜をＬ
ＰＥ成長させる構成でもよい。
ねてファラデー回転子とするが、実際には、Ａ膜とＢ膜
とをそれぞれ別々にＬＰＥ成長により作製して重ね合わ
せるのが好ましい。別々にＬＰＥ成長させる方が基板材
料や膜組成に制約が少ないからである。しかし、非磁性
ガーネット基板上に先ずＡ膜もしくはＢ膜のいずれかを
ＬＰＥ成長させ、その上に残る他方の膜をＬＰＥ成長さ
せる構成でもよいし、非磁性ガーネット基板の一方の面
にＡ膜をＬＰＥ成長させ、該基板の他方の面にＢ膜をＬ
ＰＥ成長させる構成でもよい。
【００１３】Ａ膜においてＡｌ，Ｉｎ，Ｇａは含まれて
いなくてもよいが、Ｆｅサイトの一部を非磁性のＡｌ，
Ｉｎ，Ｇａで置換すると、ＬＰＥ膜の飽和磁化が小さく
なり、光アイソレータを構成するとき磁石を小さくする
ことができる。但し、置換量が多すぎると、ファラデー
回転係数が低下するため好ましくなく、ｙ≦０．５とす
る必要がある。Ｂｉ含有量ｘを、０．３≦ｘ≦１．９と
したのは、少ないとファラデー回転係数が小さいし、多
すぎるとクラックが入って成膜できないためである。Ｓ
ｍ含有量ｚを、０．５≦ｚ≦３としたのは、ある程度の
量以上のＳｍが入っていないと、その効果が現れないた
めである。
いなくてもよいが、Ｆｅサイトの一部を非磁性のＡｌ，
Ｉｎ，Ｇａで置換すると、ＬＰＥ膜の飽和磁化が小さく
なり、光アイソレータを構成するとき磁石を小さくする
ことができる。但し、置換量が多すぎると、ファラデー
回転係数が低下するため好ましくなく、ｙ≦０．５とす
る必要がある。Ｂｉ含有量ｘを、０．３≦ｘ≦１．９と
したのは、少ないとファラデー回転係数が小さいし、多
すぎるとクラックが入って成膜できないためである。Ｓ
ｍ含有量ｚを、０．５≦ｚ≦３としたのは、ある程度の
量以上のＳｍが入っていないと、その効果が現れないた
めである。
【００１４】
【作用】サマリウム鉄ガーネット単結晶は、図３に示す
ように、１２４０nm付近及び１３８０nm付近にサマリウ
ムの吸収がある。その影響により、図２のように、ファ
ラデー回転にピークが生じ、１３１０nm付近ではファラ
デー回転係数の波長変化率（ＦＷＣ）はプラス符号をも
つ。これはＳｍを含む希土類鉄ガーネットのみに見られ
る現象である。
ように、１２４０nm付近及び１３８０nm付近にサマリウ
ムの吸収がある。その影響により、図２のように、ファ
ラデー回転にピークが生じ、１３１０nm付近ではファラ
デー回転係数の波長変化率（ＦＷＣ）はプラス符号をも
つ。これはＳｍを含む希土類鉄ガーネットのみに見られ
る現象である。
【００１５】ビスマス置換型希土類鉄ガーネット単結晶
は、Ｂｉ含有量が多くなるほどファラデー回転係数が大
きくなり、４５度ファラデー回転角を得るのに必要な膜
厚が小さくて済む。そしてＳｍを含まない（あるいはＳ
ｍ含有量が非常に少ない）ビスマス置換型希土類鉄ガー
ネット単結晶は、前述のように希土類元素の種類やＢｉ
量にかかわらず、１３１０nm付近でのファラデー回転係
数の波長変化率（ＦＷＣ）は逆にマイナス符号を持ち、
ほぼ一定の値をとる。そこで、両方の性質をもつ膜を組
み合わせることで、１３１０nm付近でのファラデー回転
係数の波長変化率が相殺され、帯域幅が広がる。本発明
においては、Ｂｉ量の多いＡ膜によってファラデー回転
角をかせぎ、Ｓｍを含むＢ膜でＦＷＣの調整を行ってい
るのである。
は、Ｂｉ含有量が多くなるほどファラデー回転係数が大
きくなり、４５度ファラデー回転角を得るのに必要な膜
厚が小さくて済む。そしてＳｍを含まない（あるいはＳ
ｍ含有量が非常に少ない）ビスマス置換型希土類鉄ガー
ネット単結晶は、前述のように希土類元素の種類やＢｉ
量にかかわらず、１３１０nm付近でのファラデー回転係
数の波長変化率（ＦＷＣ）は逆にマイナス符号を持ち、
ほぼ一定の値をとる。そこで、両方の性質をもつ膜を組
み合わせることで、１３１０nm付近でのファラデー回転
係数の波長変化率が相殺され、帯域幅が広がる。本発明
においては、Ｂｉ量の多いＡ膜によってファラデー回転
角をかせぎ、Ｓｍを含むＢ膜でＦＷＣの調整を行ってい
るのである。
【００１６】
【実施例】非磁性ガーネット基板上にＬＰＥ法によりビ
スマス置換型希土類鉄ガーネット単結晶膜（Ａ膜）を育
成した。フラックスにはＢｉ2 Ｏ3 −Ｂ2 Ｏ3 −ＰｂＯ
を用いた。育成したＡ膜（Ａ−１からＡ−５までの５種
類）の組成と磁気光学的特性及び使用した基板を表２に
示す。
スマス置換型希土類鉄ガーネット単結晶膜（Ａ膜）を育
成した。フラックスにはＢｉ2 Ｏ3 −Ｂ2 Ｏ3 −ＰｂＯ
を用いた。育成したＡ膜（Ａ−１からＡ−５までの５種
類）の組成と磁気光学的特性及び使用した基板を表２に
示す。
【００１７】
【表２】
【００１８】表２に見られるように、Ｂｉ含有量が多く
なるほどファラデー回転係数は大きくなる。但し、Ｂｉ
含有量ｘが多過ぎると（ｘ＞１．９）、基板との熱膨張
差のためにクラックが入り単結晶が育成できなくなる。
これらの膜では、帯域幅はせいぜい２２nmである。Ａ−
１の膜組成は、Ｂｉ量が少ないためにファラデー回転係
数が小さく、その分、膜厚を厚くするか、複数枚構成と
する必要があるため、できればＢｉ量ｘを０．７以上と
することが好ましい。
なるほどファラデー回転係数は大きくなる。但し、Ｂｉ
含有量ｘが多過ぎると（ｘ＞１．９）、基板との熱膨張
差のためにクラックが入り単結晶が育成できなくなる。
これらの膜では、帯域幅はせいぜい２２nmである。Ａ−
１の膜組成は、Ｂｉ量が少ないためにファラデー回転係
数が小さく、その分、膜厚を厚くするか、複数枚構成と
する必要があるため、できればＢｉ量ｘを０．７以上と
することが好ましい。
【００１９】同様に、非磁性ガーネット基板上にＬＰＥ
法によりＳｍを含む希土類鉄ガーネット単結晶膜（Ｂ
膜）を育成した。フラックスにはＢｉ2 Ｏ3 −Ｂ2 Ｏ3
−ＰｂＯを用いた。育成したＢ膜（Ｂ−１からＢ−７ま
での７種類）の組成と磁気光学的特性及び使用した基板
を表３に示す。
法によりＳｍを含む希土類鉄ガーネット単結晶膜（Ｂ
膜）を育成した。フラックスにはＢｉ2 Ｏ3 −Ｂ2 Ｏ3
−ＰｂＯを用いた。育成したＢ膜（Ｂ−１からＢ−７ま
での７種類）の組成と磁気光学的特性及び使用した基板
を表３に示す。
【００２０】
【表３】
【００２１】表３に見られるように、Ｂｉの入っていな
いサマリウム鉄ガーネット膜は、ファラデー回転係数が
非常に小さく、それ単独では４５度ファラデー回転子を
構成することは不可能であり、特にＳｍ量ｚが０．５＜
ｚ≦３の場合には帯域幅は非常に小さい。
いサマリウム鉄ガーネット膜は、ファラデー回転係数が
非常に小さく、それ単独では４５度ファラデー回転子を
構成することは不可能であり、特にＳｍ量ｚが０．５＜
ｚ≦３の場合には帯域幅は非常に小さい。
【００２２】そこで、上記のように育成した種々のＡ膜
とＢ膜とを組み合わせて４５度ファラデー回転子を作製
し、消光比が３５ｄＢ以上の波長範囲と帯域幅を求め
た。実験結果を表４に示す。
とＢ膜とを組み合わせて４５度ファラデー回転子を作製
し、消光比が３５ｄＢ以上の波長範囲と帯域幅を求め
た。実験結果を表４に示す。
【００２３】
【表４】
【００２４】実験例１０で用いたＡ膜は２枚構成であ
る。表４において、* 印を付した実験例が本発明範囲に
含まれるものであり、**印を付したものは特に好ましい
例である。本発明の構成では、Ａ膜とＢ膜とを組み合わ
せることで、それぞれ単独の場合よりも帯域幅が広が
る。特に**印を付したものは、波長帯域幅５４〜６３nm
が得られ、Ａ膜単独の場合と比べて帯域幅を約２．５〜
２．９倍程度まで広げることができた。
る。表４において、* 印を付した実験例が本発明範囲に
含まれるものであり、**印を付したものは特に好ましい
例である。本発明の構成では、Ａ膜とＢ膜とを組み合わ
せることで、それぞれ単独の場合よりも帯域幅が広が
る。特に**印を付したものは、波長帯域幅５４〜６３nm
が得られ、Ａ膜単独の場合と比べて帯域幅を約２．５〜
２．９倍程度まで広げることができた。
【００２５】ところで比較のために、現在１３１０nm帯
で用いられている４５度ファラデー回転子の代表例につ
いて述べると、膜組成はＴｂ1.85Ｂｉ1.15Ｆｅ4.75Ａｌ
0.25Ｏ12であり、基板は（ＣａＧｄ）3 （ＭｇＺｒＧ
ａ）5 Ｏ12（格子定数１２．４９６Å）である。この単
結晶膜の波長１３１０nmにおけるファラデー回転係数は
−１５７０（deg/cm）、消光比が３５ｄＢ以上の波長範
囲は１３００〜１３２２nmで、帯域幅は２２nmである。
で用いられている４５度ファラデー回転子の代表例につ
いて述べると、膜組成はＴｂ1.85Ｂｉ1.15Ｆｅ4.75Ａｌ
0.25Ｏ12であり、基板は（ＣａＧｄ）3 （ＭｇＺｒＧ
ａ）5 Ｏ12（格子定数１２．４９６Å）である。この単
結晶膜の波長１３１０nmにおけるファラデー回転係数は
−１５７０（deg/cm）、消光比が３５ｄＢ以上の波長範
囲は１３００〜１３２２nmで、帯域幅は２２nmである。
【００２６】
【発明の効果】本発明はＢｉを含むＬＰＥ磁性ガーネッ
ト単結晶からなるＡ膜と、Ｓｍを含むＬＰＥ磁性ガーネ
ット単結晶からなるＢ膜とを重ねたファラデー回転子で
あるから、波長１２５０〜１３７０nmにおいてファラデ
ー回転係数の波長依存性が低減して波長帯域幅が広が
り、そのためその波長帯での波長多重通信に対応できる
広帯域光アイソレータの開発が可能となる。
ト単結晶からなるＡ膜と、Ｓｍを含むＬＰＥ磁性ガーネ
ット単結晶からなるＢ膜とを重ねたファラデー回転子で
あるから、波長１２５０〜１３７０nmにおいてファラデ
ー回転係数の波長依存性が低減して波長帯域幅が広が
り、そのためその波長帯での波長多重通信に対応できる
広帯域光アイソレータの開発が可能となる。
【図１】Ｂｉ含有量とＦＷＣの関係を示す説明図。
【図２】Ｓｍ鉄ガーネット単結晶のファラデー回転係数
の波長依存性を示すグラフ。
の波長依存性を示すグラフ。
【図３】Ｓｍ鉄ガーネット単結晶の光吸収スペクトルを
示す図。
示す図。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭64−74528（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02F 1/09
C30B 29/28
ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (3)
- 【請求項１】 組成式が、Ｒ1 3-x Ｂｉx Ｆｅ5-y Ｚy
Ｏ12 但し、Ｒ1 はＹを含む希土類元素 ＺはＡｌ，Ｉｎ，Ｇａ ０．３≦ｘ≦１．９ ０≦ｙ≦０．５ で示される液相エピタキシャル磁性ガーネット単結晶か
らなるＡ膜と、組成式が、Ｒ2 3-z Ｓｍz Ｆｅ5 Ｏ12 但し、Ｒ2 はＢｉ，Ｙを含む希土類元素 ０．５≦ｚ≦３ で示される液相エピタキシャル磁性ガーネット単結晶か
らなるＢ膜とを重ねて、波長１２５０〜１３７０nmで使
用するファラデー回転子。 - 【請求項２】 Ａ膜におけるＢｉ量ｘが０．７≦ｘ≦
１．９であり、Ｂ膜におけるＳｍ量ｚが０．５＜ｚ≦３
である請求項１記載のファラデー回転子。 - 【請求項３】 Ａ膜におけるＲ1 が、Ｙを含み且つＳｍ
を含まない希土類元素であり、Ｂ膜におけるＲ2 が、Ｙ
を含む希土類元素である請求項１又は２記載のファラデ
ー回転子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22862594A JP3476557B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | ファラデー回転子 |
| US08/510,616 US5566017A (en) | 1994-08-04 | 1995-08-03 | Material for magneto-optical element and faraday rotator using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22862594A JP3476557B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | ファラデー回転子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0868975A JPH0868975A (ja) | 1996-03-12 |
| JP3476557B2 true JP3476557B2 (ja) | 2003-12-10 |
Family
ID=16879279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22862594A Expired - Fee Related JP3476557B2 (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-30 | ファラデー回転子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3476557B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5578049B2 (ja) * | 2010-11-29 | 2014-08-27 | 住友金属鉱山株式会社 | ビスマス置換型希土類鉄ガーネット結晶膜と光アイソレータ |
-
1994
- 1994-08-30 JP JP22862594A patent/JP3476557B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0868975A (ja) | 1996-03-12 |
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