JP3471507B2 - 金属表面の処理法 - Google Patents
金属表面の処理法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、金属表面、特に、半
導体や液晶等の真空蒸着装置室の金属表面および電子ス
トーレッジリングのビームダクトの内壁金属表面等の高
真空関連装置の金属表面の処理法に関する。
導体や液晶等の真空蒸着装置室の金属表面および電子ス
トーレッジリングのビームダクトの内壁金属表面等の高
真空関連装置の金属表面の処理法に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属表面に汚染物、例えば、水分や各種
の有機物等が存在すると、該汚染物はその後の金属表面
の試験や処理工程または該金属表面を構成要素とする各
種の装置、特に高真空関連装置の性能等に多大な影響を
及ぼす。例えば、半導体や液晶作動パネル等の製造の
際、または電子ストーレッジリングのビームダクトの運
転の際に、高真空系の構成部材の金属表面に汚染物が存
在すると、該汚染物が蒸発して高真空度の達成を阻害す
る。このため、この種の金属表面に存在する汚染物を効
果的に除去することが重要な問題となっている。
の有機物等が存在すると、該汚染物はその後の金属表面
の試験や処理工程または該金属表面を構成要素とする各
種の装置、特に高真空関連装置の性能等に多大な影響を
及ぼす。例えば、半導体や液晶作動パネル等の製造の
際、または電子ストーレッジリングのビームダクトの運
転の際に、高真空系の構成部材の金属表面に汚染物が存
在すると、該汚染物が蒸発して高真空度の達成を阻害す
る。このため、この種の金属表面に存在する汚染物を効
果的に除去することが重要な問題となっている。
【０００３】この種の金属表面の一般的な処理法は、該
金属表面を脱脂洗浄後、化学薬品(例えば、塩酸や硝フ
ッ酸等の酸類、水酸化ナトリウムおよび水酸化カリウム
等)を用いるエッチング処理または電解洗浄処理等に付
すことによって該表面の表層部を溶解除去し、次いで、
純水を用いて洗浄した後、乾燥する方法である。
金属表面を脱脂洗浄後、化学薬品(例えば、塩酸や硝フ
ッ酸等の酸類、水酸化ナトリウムおよび水酸化カリウム
等)を用いるエッチング処理または電解洗浄処理等に付
すことによって該表面の表層部を溶解除去し、次いで、
純水を用いて洗浄した後、乾燥する方法である。
【０００４】しかしながら、このような処理法の場合に
は、表層部が溶解除去された金属表面がエッチング処理
等の直後から、空気中の酸素、水分、炭酸ガス、硫黄酸
化物、窒素酸化物等と反応し、経時的に酸化物、水酸化
物、炭酸化物および硫酸化物等が不均質で粗雑な構造を
有する比較的厚い表面被覆層として形成され、該表面被
覆層がその後の金属表面の特性や機能等に悪影響を及ぼ
すという問題がある。例えば、特に高い真空度を必要と
する装置においては、該表面被覆層が高真空下でのガス
発生源となるために、必要な高真空を安定して得ること
が困難となる。
は、表層部が溶解除去された金属表面がエッチング処理
等の直後から、空気中の酸素、水分、炭酸ガス、硫黄酸
化物、窒素酸化物等と反応し、経時的に酸化物、水酸化
物、炭酸化物および硫酸化物等が不均質で粗雑な構造を
有する比較的厚い表面被覆層として形成され、該表面被
覆層がその後の金属表面の特性や機能等に悪影響を及ぼ
すという問題がある。例えば、特に高い真空度を必要と
する装置においては、該表面被覆層が高真空下でのガス
発生源となるために、必要な高真空を安定して得ること
が困難となる。
【０００５】なお、比較的単純な形態を有する小型の金
属製部品等(例えば、加速器等)の表面処理法としては、
化学薬品処理や電解洗浄処理に付した後、純水を用いて
洗浄し、次いで真空中(約１０-2〜１０-5torr)でドライ
エッチング処理をおこなった後、酸素雰囲気下(酸素圧:
約０.１〜１００torr)で酸化皮膜を形成させる方法が知
られているが、該処理法には、真空系内での処理を必要
とするために処理コストが高くなるだけでなく、汎用性
がなく、複雑な形態を有する大型の金属製品や装置類の
表面処理に適用することは実用上困難であるという難点
がある。
属製部品等(例えば、加速器等)の表面処理法としては、
化学薬品処理や電解洗浄処理に付した後、純水を用いて
洗浄し、次いで真空中(約１０-2〜１０-5torr)でドライ
エッチング処理をおこなった後、酸素雰囲気下(酸素圧:
約０.１〜１００torr)で酸化皮膜を形成させる方法が知
られているが、該処理法には、真空系内での処理を必要
とするために処理コストが高くなるだけでなく、汎用性
がなく、複雑な形態を有する大型の金属製品や装置類の
表面処理に適用することは実用上困難であるという難点
がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、従来の金
属表面処理法の上記問題点を解消し、汎用的に金属表
面、特に、高真空関連装置の金属表面を清浄に処理する
方法を提供するためになされたものである。
属表面処理法の上記問題点を解消し、汎用的に金属表
面、特に、高真空関連装置の金属表面を清浄に処理する
方法を提供するためになされたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】即ち本発明は、脱脂を含
む前処理に付した金属表面を、大気と接触させない閉鎖
系内において、下記の工程(i)〜(iv)に付すことを特徴
とする金属表面の処理法に関する: (i)該金属表面をエッチング処理に付し、(ii)エッチン
グ処理後の金属表面を純水を用いて洗浄し、(iii)純水
洗浄後の金属表面を窒素ガスまたは不活性ガスの雰囲気
下で乾燥させ、次いで(iv)乾燥後の金属表面上に酸化皮
膜を形成させる。
む前処理に付した金属表面を、大気と接触させない閉鎖
系内において、下記の工程(i)〜(iv)に付すことを特徴
とする金属表面の処理法に関する: (i)該金属表面をエッチング処理に付し、(ii)エッチン
グ処理後の金属表面を純水を用いて洗浄し、(iii)純水
洗浄後の金属表面を窒素ガスまたは不活性ガスの雰囲気
下で乾燥させ、次いで(iv)乾燥後の金属表面上に酸化皮
膜を形成させる。
【０００８】被処理金属表面は、まず第一に、脱脂を含
む前処理に付される。被処理金属としては、アルミニウ
ム、チタン、ステンレス、鉄、ニッケルおよび各種の合
金類が例示される。脱脂処理は被処理金属の種類や汚染
度、汚染物の種類および被処理物の大きさ等に応じて、
既知の溶剤脱脂法、アルカリ脱脂法、界面活性剤脱脂法
および電解脱脂法等のいずれの方法によっておこなって
もよい。脱脂後は、水洗処理をおこなって、溶剤やアル
カリ等を十分に除去するのが好ましい。本発明による金
属表面の処理法の特徴は、上記の前処理に付した金属表
面を、大気と接触させない閉鎖系内においても、上記の
工程(i)〜(iv)に付すことである。
む前処理に付される。被処理金属としては、アルミニウ
ム、チタン、ステンレス、鉄、ニッケルおよび各種の合
金類が例示される。脱脂処理は被処理金属の種類や汚染
度、汚染物の種類および被処理物の大きさ等に応じて、
既知の溶剤脱脂法、アルカリ脱脂法、界面活性剤脱脂法
および電解脱脂法等のいずれの方法によっておこなって
もよい。脱脂後は、水洗処理をおこなって、溶剤やアル
カリ等を十分に除去するのが好ましい。本発明による金
属表面の処理法の特徴は、上記の前処理に付した金属表
面を、大気と接触させない閉鎖系内においても、上記の
工程(i)〜(iv)に付すことである。
【０００９】エッチング処理液は、被処理金属の種類等
に応じて適宜選定すればよい。金属の種類に応じた好適
なエッチング処理液を表１に示す。エッチング処理は一
般的には５〜３５℃でおこない、また、エッチング処理
液を閉鎖系内において循環させることによって、エッチ
ング効率を高めてもよい。
に応じて適宜選定すればよい。金属の種類に応じた好適
なエッチング処理液を表１に示す。エッチング処理は一
般的には５〜３５℃でおこない、また、エッチング処理
液を閉鎖系内において循環させることによって、エッチ
ング効率を高めてもよい。
【００１０】
【表１】
【００１１】エッチング処理後の金属表面は、閉鎖処理
容器内のエッチング処理液を置換した純水、好ましくは
超純水を用いて十分に洗浄する。純水洗浄は通常は５〜
３５℃でおこなう。
容器内のエッチング処理液を置換した純水、好ましくは
超純水を用いて十分に洗浄する。純水洗浄は通常は５〜
３５℃でおこなう。
【００１２】純水洗浄後の金属表面は、閉鎖処理容器内
で窒素ガスまたはアルゴン等の不活性ガスの雰囲気下で
乾燥させる。この乾燥処理は、通常は常温〜１０５℃で
おこなう。
で窒素ガスまたはアルゴン等の不活性ガスの雰囲気下で
乾燥させる。この乾燥処理は、通常は常温〜１０５℃で
おこなう。
【００１３】乾燥後の金属表面上には、大気と接触させ
ない条件下において酸化皮膜を形成させる。酸化皮膜
は、例えば、該乾燥金属表面に、窒素ガスまたはアルゴ
ン等の不活性ガス中に酸素を０.１〜２０％、好ましく
は０.２〜５％含有する混合ガスを５０〜１０５℃にお
いて接触させることによって形成させるのが好ましい。
このような条件下において形成される酸化皮膜は、厚さ
が５〜１００Ａの均質で緻密な皮膜である。なお、酸化
皮膜の代りに窒化皮膜を形成させてもよい。
ない条件下において酸化皮膜を形成させる。酸化皮膜
は、例えば、該乾燥金属表面に、窒素ガスまたはアルゴ
ン等の不活性ガス中に酸素を０.１〜２０％、好ましく
は０.２〜５％含有する混合ガスを５０〜１０５℃にお
いて接触させることによって形成させるのが好ましい。
このような条件下において形成される酸化皮膜は、厚さ
が５〜１００Ａの均質で緻密な皮膜である。なお、酸化
皮膜の代りに窒化皮膜を形成させてもよい。
【００１４】酸化皮膜を形成させる別の方法としては、
例えば、オゾン酸化、酸素、プラズマ酸化等が挙げられ
る。
例えば、オゾン酸化、酸素、プラズマ酸化等が挙げられ
る。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を実施例によって説明する。実施例１
押出し加工したアルミニウム材(Ａ６０６３Ｔ−５)を
「ネオパワーチャレンジャー」((株)ネオス製脱脂剤)の５
％水溶液(５０℃)に１０分間浸漬した後、水道水を用い
て流水洗浄し、これを図１に模式的に示す密閉容器内へ
入れ、該容器内を０．５規定の水酸化ナトリウム水溶液
(２５℃)で充満させ、該水溶液を１０分間循環させるこ
とによってアルミニウム材のエッチング処理をおこなっ
た。図１において、(１)は密閉容器を示し、(２)はエッ
チング液または純水の循環用ポンプを示し、(３)および
(４)はエッチング液または純水の導入用バルブを示し、
(５)および(６)はエッチング液または純水の排出用バル
ブを示し、(７)はエッチング液または純水の循環用バル
ブを示し、(８)はガス導入用バルブを示し、(９)はガス
排出用バルブを示し、(１０)はヒーターを示す。エッチ
ング処理後のアルミニウム材に空気を接触させない状態
で、密閉容器内の水酸化ナトリウム水溶液を純水(比抵
抗１７．２ＭΩ・cm)で置換させた後、純水を用いる流
水洗浄処理を１０分間おこなった。密閉容器内の純水を
高純度窒素ガス(純度９９．９９９％以上)で置換させた
後、アルミニウム材を該高純度窒素ガスを用いるブロー
乾燥処理に６０分間付した。次いで、密閉容器内の高純
度窒素ガスをＮ2(純度９９．９９９％以上)−Ｏ2(純度
９９.９９９％以上)混合ガス(Ｎ2:Ｏ2＝９９:１)で置換
した後、５０℃で１時間保持したところ、アルミニウム
材の表面には緻密で均一な酸化皮膜(厚さ:約１５Ａ)が
形成された。
「ネオパワーチャレンジャー」((株)ネオス製脱脂剤)の５
％水溶液(５０℃)に１０分間浸漬した後、水道水を用い
て流水洗浄し、これを図１に模式的に示す密閉容器内へ
入れ、該容器内を０．５規定の水酸化ナトリウム水溶液
(２５℃)で充満させ、該水溶液を１０分間循環させるこ
とによってアルミニウム材のエッチング処理をおこなっ
た。図１において、(１)は密閉容器を示し、(２)はエッ
チング液または純水の循環用ポンプを示し、(３)および
(４)はエッチング液または純水の導入用バルブを示し、
(５)および(６)はエッチング液または純水の排出用バル
ブを示し、(７)はエッチング液または純水の循環用バル
ブを示し、(８)はガス導入用バルブを示し、(９)はガス
排出用バルブを示し、(１０)はヒーターを示す。エッチ
ング処理後のアルミニウム材に空気を接触させない状態
で、密閉容器内の水酸化ナトリウム水溶液を純水(比抵
抗１７．２ＭΩ・cm)で置換させた後、純水を用いる流
水洗浄処理を１０分間おこなった。密閉容器内の純水を
高純度窒素ガス(純度９９．９９９％以上)で置換させた
後、アルミニウム材を該高純度窒素ガスを用いるブロー
乾燥処理に６０分間付した。次いで、密閉容器内の高純
度窒素ガスをＮ2(純度９９．９９９％以上)−Ｏ2(純度
９９.９９９％以上)混合ガス(Ｎ2:Ｏ2＝９９:１)で置換
した後、５０℃で１時間保持したところ、アルミニウム
材の表面には緻密で均一な酸化皮膜(厚さ:約１５Ａ)が
形成された。
【００１６】上記の表面処理に付したアルミニウム材の
ＥＳＣＡ(化学分析用電子分光法)による分析結果を図２
に示す。図２の(Ａ)、(Ｂ)および(Ｃ)は、酸素、炭素お
よびアルミニウムについてのＥＳＣＡの分析結果をそれ
ぞれ示す。ＥＳＣＡの測定条件は次の通りである: 図２に示す分析結果から明らかなように、本発明による
処理法によれば、従来法に比べ酸素、炭素の汚染がごく
表層だけにとどまっていることが確認できる。
ＥＳＣＡ(化学分析用電子分光法)による分析結果を図２
に示す。図２の(Ａ)、(Ｂ)および(Ｃ)は、酸素、炭素お
よびアルミニウムについてのＥＳＣＡの分析結果をそれ
ぞれ示す。ＥＳＣＡの測定条件は次の通りである: 図２に示す分析結果から明らかなように、本発明による
処理法によれば、従来法に比べ酸素、炭素の汚染がごく
表層だけにとどまっていることが確認できる。
【００１７】また、上記の表面処理に付したアルミニウ
ム材を昇温加熱処理に付したときに放出されるガス（Ｈ
2Ｏ、ＣＯおよびＣＯ2)の質量分析の結果を図３に示
す。図３において、(a)、(b)および(c)はＣＯ、Ｈ2Ｏお
よびＣＯ2をそれぞれ示す。図３から明らかなように、
金属表面からのガス放出量が比較例に比べ大幅に少な
い。これはアルミニウム表面が薄く緻密な酸化膜におお
われ、Ｈ2ＯやＣＯ2等も内部まで浸透していないことを
示している。
ム材を昇温加熱処理に付したときに放出されるガス（Ｈ
2Ｏ、ＣＯおよびＣＯ2)の質量分析の結果を図３に示
す。図３において、(a)、(b)および(c)はＣＯ、Ｈ2Ｏお
よびＣＯ2をそれぞれ示す。図３から明らかなように、
金属表面からのガス放出量が比較例に比べ大幅に少な
い。これはアルミニウム表面が薄く緻密な酸化膜におお
われ、Ｈ2ＯやＣＯ2等も内部まで浸透していないことを
示している。
【００１８】比較例１
開放容器を使用する以外は実施例１の手順に準拠して、
押出し加工したアルミニウム材を脱脂処理、水洗処理、
エッチング処理、純水洗浄処理および窒素ガスを用いる
ブロー乾燥処理に付した。上記の表面処理に付したアル
ミニウム材のＥＳＣＡによる分析結果を図４に示す。図
４の(Ａ)、(Ｂ)および(Ｃ)は図２の場合と同意義であ
る。図４に示す分析結果から明らかなように、本発明品
の場合、酸素元素に於いては約２０分スパッタ後、炭素
元素の場合約１０分後には認められないのに対し、比較
例の場合４５分後においても確認できる。又、アルミの
場合本発明品の場合、約５分後に純元素だけを確認す
る、比較例の場合４５分後もわずかにアルミニウム化合
物が確認できる。この様に本発明品で得られる表面の汚
染はごく表層部だけにとどまっていることがわかる。ま
た、上記の表面処理に付したアルミニウム材を昇温加熱
処理に付したときに放出されるガスの質量分析の結果を
図５に示す。図５の(a)、(b)および(c)は図３の場合と
同意義である。図５から明らかなように、Ｈ2ＯとＣＯ2
の金属表面からの放出量は、図３の場合に比べて非常に
多い。
押出し加工したアルミニウム材を脱脂処理、水洗処理、
エッチング処理、純水洗浄処理および窒素ガスを用いる
ブロー乾燥処理に付した。上記の表面処理に付したアル
ミニウム材のＥＳＣＡによる分析結果を図４に示す。図
４の(Ａ)、(Ｂ)および(Ｃ)は図２の場合と同意義であ
る。図４に示す分析結果から明らかなように、本発明品
の場合、酸素元素に於いては約２０分スパッタ後、炭素
元素の場合約１０分後には認められないのに対し、比較
例の場合４５分後においても確認できる。又、アルミの
場合本発明品の場合、約５分後に純元素だけを確認す
る、比較例の場合４５分後もわずかにアルミニウム化合
物が確認できる。この様に本発明品で得られる表面の汚
染はごく表層部だけにとどまっていることがわかる。ま
た、上記の表面処理に付したアルミニウム材を昇温加熱
処理に付したときに放出されるガスの質量分析の結果を
図５に示す。図５の(a)、(b)および(c)は図３の場合と
同意義である。図５から明らかなように、Ｈ2ＯとＣＯ2
の金属表面からの放出量は、図３の場合に比べて非常に
多い。
【００１９】比較例２
アルゴン９３％と酸素７％から成る混合ガス雰囲気下に
おいて押出し加工したアルミニウム材をアセトンを用い
て洗浄した後、高純度窒素ガスを用いてブロー乾燥し
た。上記の表面処理に付したアルミニウム材のＥＳＣＡ
による分析結果および昇温加熱処理に付したときに放出
されるガスの質量分析の結果を図６および図７にそれぞ
れ示す。図６および図７における(Ａ)等および(a)等は
それぞれ図２および図３における(Ａ)等および(a)等と
同意義である。図６および図７の分析結果から明らかな
ように、ＥＸ加工と呼ばれる調整されたガス雰囲気で加
工されたアルミニウムの表面に比べても本発明品は表面
汚染の深さと真空特性共に優れていることがわかる。
おいて押出し加工したアルミニウム材をアセトンを用い
て洗浄した後、高純度窒素ガスを用いてブロー乾燥し
た。上記の表面処理に付したアルミニウム材のＥＳＣＡ
による分析結果および昇温加熱処理に付したときに放出
されるガスの質量分析の結果を図６および図７にそれぞ
れ示す。図６および図７における(Ａ)等および(a)等は
それぞれ図２および図３における(Ａ)等および(a)等と
同意義である。図６および図７の分析結果から明らかな
ように、ＥＸ加工と呼ばれる調整されたガス雰囲気で加
工されたアルミニウムの表面に比べても本発明品は表面
汚染の深さと真空特性共に優れていることがわかる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によって処理される金属表面に
は、均質で緻密な酸化皮膜が形成されるため、大気に曝
しても、大気中に含まれるＨ2Ｏ、ＣＯ2、ＳＯ2等の腐
食性成分は金属表面と反応し難く、金属表面の経時的な
腐食の進行は有意に抑制される。また、一旦付着したこ
の種の腐食性成分は真空化過程において容易に除去さ
れ、該皮膜は高真空下でのガス発生源になり難いため、
本発明によれば高真空関連装置において必要な高真空度
を安定して得ることができる。さらに、金属表面が真空
下でのスパッター処理に付される装置(例えば、イオン
スパッター装置およびシンクロトロン光スパッター装置
等)の場合には、本発明によって金属表面からの不純物
の放出量を少なくさせることができるので、該装置内は
清浄な状態に維持される。本発明は、装置内部の金属表
面の効果的な清浄化処理が困難な大型で複雑な形態を有
する高真空関連装置類の清浄化に特に有用である。
は、均質で緻密な酸化皮膜が形成されるため、大気に曝
しても、大気中に含まれるＨ2Ｏ、ＣＯ2、ＳＯ2等の腐
食性成分は金属表面と反応し難く、金属表面の経時的な
腐食の進行は有意に抑制される。また、一旦付着したこ
の種の腐食性成分は真空化過程において容易に除去さ
れ、該皮膜は高真空下でのガス発生源になり難いため、
本発明によれば高真空関連装置において必要な高真空度
を安定して得ることができる。さらに、金属表面が真空
下でのスパッター処理に付される装置(例えば、イオン
スパッター装置およびシンクロトロン光スパッター装置
等)の場合には、本発明によって金属表面からの不純物
の放出量を少なくさせることができるので、該装置内は
清浄な状態に維持される。本発明は、装置内部の金属表
面の効果的な清浄化処理が困難な大型で複雑な形態を有
する高真空関連装置類の清浄化に特に有用である。
【図１】 実施例１において使用した金属表面処理装置
の模式的構成図である。
の模式的構成図である。
【図２】 実施例１において処理したアルミニウム材の
ＥＳＣＡによるチャートである。
ＥＳＣＡによるチャートである。
【図３】 実施例１において処理したアルミニウム材を
昇温加熱処理に付したときに放出されるガスの質量分析
の結果を示すグラフである。
昇温加熱処理に付したときに放出されるガスの質量分析
の結果を示すグラフである。
【図４】 比較例１において処理したアルミニウム材の
ＥＳＣＡによるチャートである。
ＥＳＣＡによるチャートである。
【図５】 比較例１において処理したアルミニウム材を
昇温加熱処理に付したときに放出されるガスの質量分析
の結果を示すグラフである。
昇温加熱処理に付したときに放出されるガスの質量分析
の結果を示すグラフである。
【図６】 比較例２において処理したアルミニウム材の
ＥＳＣＡによるチャートである。
ＥＳＣＡによるチャートである。
【図７】 比較例２において処理したアルミニウム材を
昇温加熱処理に付したときに放出されるガスの質量分析
の結果を示すグラフである。
昇温加熱処理に付したときに放出されるガスの質量分析
の結果を示すグラフである。
１ 密閉容器
２ エッチング液または純水の循環用ポンプ
１０ ヒーター
Ａ 酸素に関するＥＳＣＡチャート
Ｂ 炭素に関するＥＳＣＡチャート
Ｃ アルミニウムに関するＥＳＣＡチャート
a ＣＯに関するグラフ
b Ｈ2Ｏに関するグラフ
c ＣＯ2に関するグラフ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭60−128259（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−128258（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−157885（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C23C 8/12
C23F 1/00
C23C 8/02
Claims (3)
- 【請求項１】 脱脂を含む前処理に付した金属表面を、
大気と接触させない閉鎖系内において、下記の工程(i)
〜(iv)に付すことを特徴とする金属表面の処理法: (i)該金属表面をエッチング処理に付し、 (ii)エッチング処理後の金属表面を純水を用いて洗浄
し、 (iii)純水洗浄後の金属表面を窒素ガスまたは不活性ガ
スの雰囲気下で乾燥させ、次いで (iv)乾燥後の金属表面上に酸化皮膜を形成させる。 - 【請求項２】 金属がアルミニウム、チタン、ステンレ
ス、鉄またはニッケルである請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 工程(iv)を、窒素ガスまたは不活性ガス
中に酸素を０.１〜２０％含有する混合ガスを常温〜１
０５℃において金属表面と接触させることによっておこ
なう請求項１または２記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00220096A JP3471507B2 (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | 金属表面の処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00220096A JP3471507B2 (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | 金属表面の処理法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09195032A JPH09195032A (ja) | 1997-07-29 |
| JP3471507B2 true JP3471507B2 (ja) | 2003-12-02 |
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ID=11522724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00220096A Expired - Fee Related JP3471507B2 (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | 金属表面の処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3471507B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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