JP3466492B2 - Crystal oscillator - Google Patents

Crystal oscillator

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JP3466492B2
JP3466492B2 JP30966598A JP30966598A JP3466492B2 JP 3466492 B2 JP3466492 B2 JP 3466492B2 JP 30966598 A JP30966598 A JP 30966598A JP 30966598 A JP30966598 A JP 30966598A JP 3466492 B2 JP3466492 B2 JP 3466492B2
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crystal oscillator
cavity
crystal
conductor film
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洋一 村木
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、容器体の一方の表
面に水晶振動子を搭載した水晶発振器に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a crystal oscillator having a crystal unit mounted on one surface of a container body.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、水晶発振器の発振源である水晶振
動子としては、キャンケースなどの気密的容器内に水晶
振動子を収容した水晶発振素子が用いられていた。この
場合、プリント配線基板上に水晶振動子の発振動作を制
御する制御素子とともに実装されていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a crystal oscillator which is an oscillation source of a crystal oscillator, a crystal oscillation element in which a crystal oscillator is housed in an airtight container such as a can case has been used. In this case, it was mounted on the printed wiring board together with a control element for controlling the oscillation operation of the crystal unit.

【0003】このような構造では、水晶振動子をキャン
ケースに収容した水晶発振子を用いるため水晶発振器が
非常に大きくなってしまう。
In such a structure, since the crystal oscillator in which the crystal resonator is housed in the can case is used, the crystal oscillator becomes very large.

【0004】また、水晶振動子をそのまま利用し、容器
体に水晶振動子を実装し、その収容領域を気密的に用い
ていた。典型的な構造として、段差部が形成されたキャ
ビティーを有する容体を用いて、キャビティー部の底面
に制御素子を配置し、キャビティー部の段差部に水晶振
動子を架設し、キャビティー部全体を気密封止可能な金
属蓋体で封止していた。
Further, the crystal unit is used as it is, the crystal unit is mounted on the container body, and the accommodation area is hermetically used. As a typical structure, using a container having a cavity with a stepped portion, a control element is arranged on the bottom surface of the cavity portion, and a crystal oscillator is erected on the stepped portion of the cavity portion. The whole was sealed with a metal lid capable of hermetically sealing.

【0005】このような構造では、キャンケースを用い
ておらず、同一キャビティー部内に、水晶振動子と制御
素子とが厚み方向に重畳するように配置されいることか
ら小型化が可能である。しかし、同一キャビティー部に
制御素子と水晶振動子とが配置されているため、制御素
子を接合したり、保護したりする部材から不要なガスが
発生してしまい、その結果、水晶振動子の動作が変動し
てしまうという問題があった。
In such a structure, a can case is not used, and the crystal resonator and the control element are arranged in the same cavity so as to overlap each other in the thickness direction, so that the size can be reduced. However, since the control element and the crystal oscillator are arranged in the same cavity, unnecessary gas is generated from the member that joins or protects the control element, and as a result, the crystal oscillator There was a problem that the movement fluctuated.

【0006】このような問題を解決するために構造とし
ては、底面側にキャビティー部を有する容器体の表面側
に、水晶振動子を実装し、底面側のキャビティー部に制
御素子を実装し、表面側の水晶振動子を金属蓋体で気密
封止した構造が提案されている(例えば特開平10−2
8024)。
In order to solve such a problem, as a structure, a crystal oscillator is mounted on the front surface side of a container body having a cavity portion on the bottom surface side, and a control element is mounted on the cavity portion on the bottom surface side. , A structure in which a crystal resonator on the front surface side is hermetically sealed with a metal lid is proposed (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 10-2.
8024).

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の構造で
は、水晶振動子の発振動作を制御する発振回路を含む回
路素子は、高周波でスイッチング動作を行うため、高周
波ノイズの発生源となってしまう。
However, in the above-mentioned structure, the circuit element including the oscillation circuit for controlling the oscillation operation of the crystal unit performs a switching operation at a high frequency and thus becomes a source of high frequency noise. .

【0008】また、水晶振動子と回路素子とは異なる収
容領域に配置されているにしても、水晶振動子の振動電
極と回路素子の配線パターンとの間に浮遊容量成分が発
生してしまい、その結果、この浮遊容量成分が水晶振動
子の等価容量成分を変動させてしまい、周波数特性が安
定しないという問題があった。
Even if the crystal unit and the circuit element are arranged in different accommodation areas, a stray capacitance component is generated between the vibration electrode of the crystal unit and the wiring pattern of the circuit element, As a result, the stray capacitance component fluctuates the equivalent capacitance component of the crystal unit, resulting in a problem that the frequency characteristic is not stable.

【0009】本発明は、上述の問題点に鑑みて案出され
たものであり、その目的は、高周波ノイズの発生を抑
え、水晶振動子の安定的な動作が可能となり、さらに組
立処理が非常に簡略化される水晶発振器を提供すること
にある。
The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems, and an object thereof is to suppress generation of high frequency noise, to enable stable operation of the crystal unit, and to further improve the assembling process. It is to provide a crystal oscillator that is simplified.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明の水晶発振器は、
複数のセラミック層を積層して構成され、底面にキャビ
ティー部を有する筐体状容器と、前記容器の表面に搭載
した水晶振動子と、前記容器のキャビティー部内に収容
し、且つ水晶振動子の発振動作を制御する回路素子とか
ら成る水晶発振器であって、前記容器内で、前記セラミ
ック層の層間に、前記キャビティー部の天井面と平行に
広がる導体膜と、前記キャビティー部の内壁面を平面的
に取り囲むリング状または概略馬蹄形状をなしたアース
電位の導体膜とを配置させるとともに、これら導体膜を
前記セラミック層の厚み方向に形成されたビアホール導
体によって接続したことを特徴とするものである。
The crystal oscillator of the present invention comprises:
A casing-shaped container configured by laminating a plurality of ceramic layers and having a cavity portion on the bottom surface, a crystal resonator mounted on the surface of the container, and a crystal resonator housed in the cavity portion of the container And a circuit element for controlling the oscillating operation of the cavity, wherein a conductive film extending parallel to the ceiling surface of the cavity is provided between the ceramic layers in the container, and A ring-shaped or substantially horseshoe-shaped conductor film surrounding the wall surface in a plane is arranged, and the conductor films are connected by a via-hole conductor formed in the thickness direction of the ceramic layer. It is a thing.

【0011】また、このましくは、前記容器のキャビテ
ィー部の開口周囲面に、前記アース電位の導体膜と接続
するアース電極が形成されている水晶発振器である。
Further, preferably, the crystal oscillator has a ground electrode connected to the conductor film having the ground potential, formed on the peripheral surface of the opening of the cavity of the container.

【0012】[0012]

【作用】本発明によれば、水晶振動子が容器の表面側に
実装されている。また、発振動作を制御する回路素子が
容器の底面のキャビティー部内に収容されている。即
ち、水晶振動子の収容環境が独立しているので、水晶振
動子の経時的な特性変動を有効に防止できる。
According to the present invention, the crystal unit is mounted on the front surface side of the container. In addition, a circuit element that controls the oscillation operation is housed in the cavity portion on the bottom surface of the container. That is, since the environment in which the crystal unit is housed is independent, it is possible to effectively prevent the characteristic variation of the crystal unit with time.

【0013】また、水晶振動子を表面に気密的に搭載し
た容器の底面側には、水晶振動子の発振動作を制御する
回路素子を収容しえるキャビティー部が形成されてい
る。このため、ベース基板に振動部を接合しても、全体
として低背化した水晶発振器が維持できる。
Further, on the bottom surface side of the container in which the crystal unit is hermetically mounted on the surface thereof, there is formed a cavity for accommodating a circuit element for controlling the oscillation operation of the crystal unit. Therefore, even if the vibrating portion is bonded to the base substrate, it is possible to maintain the crystal oscillator having a low profile as a whole.

【0014】特に、スイッチ動作を行う発振回路は、高
周波ノイズの発生源となってしまう。しかし、容器のキ
ャビティー部を立体的に取り囲むアース電位の導体膜
(シールド膜)が形成されている。このため、外部に高
周波ノイズを与えることを有効に防止でき、他の回路、
例えば,PLL素子などを組み合わせたり、通信機の送
受信回路と組み合わせたりしても、他の回路の誤動作を
発生させないものとなる。
In particular, the oscillator circuit that performs the switch operation becomes a source of high frequency noise. However, a conductor film (shield film) having a ground potential that three-dimensionally surrounds the cavity of the container is formed. Therefore, it is possible to effectively prevent the high frequency noise from being given to the outside, and other circuits,
For example, even if a PLL element or the like is combined or combined with a transmission / reception circuit of a communication device, malfunction of other circuits will not occur.

【0015】また、水晶振動子の振動電極と他の配線パ
ターンとの間に浮遊容量が発生しようとしても、このア
ース電位の導体膜で遮断できるため、水晶振動子の振動
電極には、浮遊容量成分が発生しににく、水晶振動子の
等価容量成分が変化しない。
Further, even if a stray capacitance is generated between the vibrating electrode of the crystal unit and another wiring pattern, the stray capacitance can be cut off by the conductor film of the ground potential, so that the stray capacitance is present at the vibrating electrode of the crystal unit. The component is unlikely to occur, and the equivalent capacitance component of the crystal unit does not change.

【0016】これによって、水晶振動子の振動特性が安
定する。
This stabilizes the vibration characteristics of the crystal unit.

【0017】特に、容器の組み立て工程を非常に容易に
するために、容器のキャビティー部の開口周囲面に、キ
ャビティー部を取り囲む導体膜と接続するアース電極と
が形成している。したがって、プリント配線基板上に実
装するにあたって、非常に簡単にアース電位の配線パタ
ーンに接続することができる。
In particular, in order to make the process of assembling the container very easy, a ground electrode is formed on the peripheral surface of the opening of the cavity of the container to connect with a conductor film surrounding the cavity. Therefore, when mounting on a printed wiring board, it is possible to very easily connect to a wiring pattern of earth potential.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の水晶発振器を図面
に基づいて詳説する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The crystal oscillator of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0019】図1は本発明の水晶発振器の外観斜視図で
あり、図2はその断面図である。
FIG. 1 is an external perspective view of a crystal oscillator of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view thereof.

【0020】図において、1は容器であり、2は水晶振
動子、3は金属製蓋体であり、4は、回路素子である。
In the figure, 1 is a container, 2 is a crystal oscillator, 3 is a metallic lid, and 4 is a circuit element.

【0021】容器1は、複数のセラミック層1a、1b
・・・が積層されて構成されている。そして、容器1の
裏面には凹状のキャビティー部11が形成されている。
容器1の表面には、水晶振動子2が搭載される水晶振動
子用接続パッド21、22(22は図から現れない)が
形成されている。また、表面の周囲にはシール用導体膜
31が周設されている。また、キャビティー部11を取
り囲むようにアース電位となる導体膜23が形成されて
いる。ここで、アース電位の導体膜23とは、例えばセ
ラミック層1bと1cとの層間で、キャビティー部11
の天井面と平行に広がる導体膜23aと、セラミック層
1c〜1eの層間でキャビティー部11を平面的に取り
囲むように形成されたリング状または概略馬蹄形状の複
数の導体膜23bと、該概略馬蹄形状の導体膜23bを
セラミック層1c〜1dの厚み方向に接続するビアホー
ル導体23cとから構成されている。
The container 1 comprises a plurality of ceramic layers 1a, 1b.
... are laminated and configured. A concave cavity portion 11 is formed on the back surface of the container 1.
On the surface of the container 1, crystal resonator connection pads 21 and 22 (22 not shown in the figure) on which the crystal resonator 2 is mounted are formed. A sealing conductor film 31 is provided around the surface. Further, a conductor film 23 having a ground potential is formed so as to surround the cavity portion 11. Here, the conductor film 23 at the ground potential means, for example, between the ceramic layers 1b and 1c, the cavity portion 11
A conductor film 23a extending in parallel with the ceiling surface of the above, a plurality of ring-shaped or substantially horseshoe-shaped conductor films 23b formed so as to planarly surround the cavity portion 11 between the ceramic layers 1c to 1e, It is composed of a horseshoe-shaped conductor film 23b and a via-hole conductor 23c connecting the ceramic layers 1c to 1d in the thickness direction.

【0022】また、キャビティー部11の開口周囲面
(容器1の底面)には、発振回路の出力端子電極、電源
の供給を行う電源端子電極12や導体膜23と接続する
アース端子電極13が形成されている。
On the peripheral surface of the opening of the cavity portion 11 (bottom surface of the container 1), the output terminal electrode of the oscillation circuit, the power supply terminal electrode 12 for supplying power and the ground terminal electrode 13 for connection with the conductor film 23 are provided. Has been formed.

【0023】また、キャビティー部11の天井面には、
回路素子7を搭載するための各種配線パターン、電極パ
ッドが形成されており、水晶振動子2の電極パッド2
1、22や各種端子電極12等とは、容器1の内部に形
成された導通経路14、15を介して接続されている。
この導通経路14、15と導体膜23aとの短絡を防止
するために、導体膜23aには、導体膜が形成されてい
ない内部導通経路14、15の貫通領域が形成されてい
る。
On the ceiling surface of the cavity portion 11,
Various wiring patterns and electrode pads for mounting the circuit element 7 are formed, and the electrode pad 2 of the crystal unit 2 is formed.
1, 22 and various terminal electrodes 12 and the like are connected via conduction paths 14 and 15 formed inside the container 1.
In order to prevent a short circuit between the conduction paths 14 and 15 and the conductor film 23a, the conductor film 23a is provided with a penetrating region of the internal conduction paths 14 and 15 in which the conductor film is not formed.

【0024】また、容器1の内部には、所定導体膜23
bが、容器1の表面のシール用導体膜31、他の導体膜
23a、23cをアース電位とすべく、アース電位の電
極13に導通する導通経路を構成している。
A predetermined conductor film 23 is provided inside the container 1.
b forms a conduction path that conducts to the electrode 13 at the ground potential so that the sealing conductor film 31 and the other conductor films 23a and 23c on the surface of the container 1 have the ground potential.

【0025】このような容器1は、容器表面側を構成す
る矩形状のグリーンシート、容器底面側を構成する枠状
のグリーンシートを用いて、所定ビアホール導体を含む
所定導体膜が形成された複数のグリーンシートが積層圧
着されて、さらに、一体的に焼成処理されて形成され
る。
In such a container 1, a plurality of predetermined conductor films including predetermined via-hole conductors are formed by using a rectangular green sheet forming the container surface side and a frame-like green sheet forming the container bottom side. The green sheets are laminated and pressure-bonded, and further integrally fired to form.

【0026】そして、グリーンシート上に形成される導
体膜とは、電極パッド2 1、22、シールド用導体膜3
1、導体膜23となる導体膜、各種端子電極12、13
となる導体膜、内部導通経路14、14となる導体など
が例示される。このような導体膜は、所定グリーンシー
トに、必要に応じて貫通孔を形成し、この貫通孔に銀や
銅やタングステンやモリブデンなどの導電性ペーストを
充填するとともに、グリーンシート上に上述の導電性ペ
ーストで印刷により形成される。
The conductor film formed on the green sheet means the electrode pads 21 and 22, the conductor film 3 for shielding.
1, a conductor film to be the conductor film 23, various terminal electrodes 12, 13
Examples thereof include a conductor film serving as the conductor and the conductor serving as the internal conduction paths 14 and 14. Such a conductor film has a through hole formed in a predetermined green sheet as needed, and the through hole is filled with a conductive paste such as silver, copper, tungsten, or molybdenum, and the above-mentioned conductive film is formed on the green sheet. It is formed by printing with a conductive paste.

【0027】このようなグリーンシートを積層圧着し、
所定雰囲気で焼成し、各導電膜上にNiメッキやAuメ
ッキなどが施される。
[0027] Such green sheets are laminated and pressure-bonded,
The film is baked in a predetermined atmosphere, and each conductive film is plated with Ni or Au.

【0028】このような容器1には、水晶振動子2及び
回路素子4が各々配置される。
In such a container 1, a crystal oscillator 2 and a circuit element 4 are arranged.

【0029】水晶振動子2は、所定カット、例えばAT
カットされた矩形状の水晶板25の両主面に形成された
振動電極26、27、該振動電極26、27から一方他
端部に延出された引出電極部とから構成されている。
The crystal unit 2 has a predetermined cut, for example, AT
It is composed of vibrating electrodes 26, 27 formed on both main surfaces of the cut rectangular quartz plate 25, and an extraction electrode portion extending from the vibrating electrodes 26, 27 to the other end.

【0030】そして、水晶振動子2は、水晶振動子用電
極パッド21、22上に形成されたギャップを確保する
バンプ部材などを介して導電性接着材21a、22a
(22aは図に現れない)を介して接続される。尚、水
晶振動子2の先端側には水晶振動子2と容器1の表面と
の間隔を保持するバンプ部材を形成してもかまわない。
Then, the crystal unit 2 is made of conductive adhesive material 21a, 22a via a bump member or the like that secures a gap formed on the crystal unit electrode pads 21, 22.
(22a does not appear in the figure). It should be noted that a bump member may be formed on the tip end side of the crystal unit 2 for holding the space between the crystal unit 2 and the surface of the container 1.

【0031】容器1の表面側に搭載された水晶振動子2
は金属製蓋体3によって気密的に封止されている。金属
製蓋体3は、コバールや42アロイなどの金属材料から
なり、容器体1の表面のシール用導体膜31にAgろう
付けされた枠状のシームリング32に溶接・接合され
る。
Crystal oscillator 2 mounted on the front side of container 1
Is hermetically sealed by the metal lid 3. The metallic lid 3 is made of a metallic material such as Kovar or 42 alloy and is welded and joined to the frame-shaped seam ring 32 that is brazed with Ag on the sealing conductor film 31 on the surface of the container 1.

【0032】また、水晶振動子2の所定振動に基づく発
振動作を制御する発振回路を構成する各種回路素子7
は、容器1のキャビティー部11内に収容・配置されて
いる。
Further, various circuit elements 7 constituting an oscillating circuit for controlling an oscillating operation based on a predetermined vibration of the crystal unit 2
Are housed and arranged in the cavity 11 of the container 1.

【0033】回路素子7とは、発振用インバータ、増幅
用インバータを少なくとも具備するICチップ、発振回
路の負荷容量を構成したり、また、電源ノイズを吸収し
たり、出力発振の波形を整えるコンデンサ、発振回路の
帰還回路を構成する抵抗素子などが例示できる。尚、I
Cチップを使用せず、デスクリート部品のトランジスタ
を用いても構わない。また、ICの集積化技術によっ
て、抵抗や一部のコンデンサをICチップに集積化する
こともできる。
The circuit element 7 is an IC chip having at least an oscillating inverter and an amplifying inverter, a load capacitor of an oscillating circuit, a capacitor for absorbing power source noise, and for adjusting an output oscillation waveform. A resistance element or the like forming a feedback circuit of the oscillator circuit can be exemplified. Incidentally, I
The discrete chip transistor may be used instead of the C chip. In addition, it is possible to integrate resistors and some capacitors in an IC chip by the IC integration technology.

【0034】例えば、キャビティー部11の天井面に形
成された電極パッドに、ICチップが超音波融着による
表面実装、フリップチップ接合、ワイヤボンディング接
合されて形成され、コンデンサや抵抗が導電性接着材を
介して接合される。
For example, an IC chip is formed on the electrode pad formed on the ceiling surface of the cavity portion 11 by surface mounting by ultrasonic fusion, flip chip bonding, or wire bonding, and capacitors and resistors are conductively bonded. It is joined through the material.

【0035】また、キャビティー部11内に配置された
回路素子は、耐湿性及び耐衝撃性の向上させるための供
給樹脂5が充填硬化される。
The circuit element arranged in the cavity 11 is filled and hardened with the supply resin 5 for improving the moisture resistance and the impact resistance.

【0036】上述の例では、水晶振動子2の固有の温度
特性を補償するために、回路素子4であるICチップに
補償データを書き込んでおり、周囲の温度に応じて適正
な周波数補償を行うICチップである。このため、図1
に示すように、容器1の側面には、補償データを書き込
むためのデータ端子16が形成されいる。
In the above example, the compensation data is written in the IC chip which is the circuit element 4 in order to compensate for the temperature characteristic peculiar to the crystal unit 2, and the appropriate frequency compensation is performed according to the ambient temperature. It is an IC chip. For this reason,
As shown in, the data terminal 16 for writing the compensation data is formed on the side surface of the container 1.

【0037】以上のようの構成により水晶発振器によれ
ば、水晶振動子2と、回路素子4とが異なる収容領域に
配置されることになるため、即ち、水晶振動子2を配置
した収容環境を汚染することが一切ないため、水晶振動
子2の安定した動作が可能となる。また、全体として、
水晶振動子2と回路素子4とが発振器の厚み方向に配置
されており、しかも、回路素子4はキャビティー部11
内に収容されているため、発振器の厚み方向において低
背化が達成できる。
According to the crystal oscillator having the above-described structure, the crystal resonator 2 and the circuit element 4 are arranged in different accommodating regions, that is, the accommodating environment in which the crystal resonator 2 is arranged is reduced. Since there is no contamination, the crystal oscillator 2 can operate stably. Also, as a whole,
The crystal unit 2 and the circuit element 4 are arranged in the thickness direction of the oscillator, and moreover, the circuit element 4 has the cavity portion 11
Since it is housed inside, a low profile can be achieved in the thickness direction of the oscillator.

【0038】また、水晶振動子2が配置された直下に
は、キャビティー部11には、回路素子4が配置されて
いる。特に、回路素子4はスイッチング動作を行うもの
である。しかも容器1の厚みを減少させようとすると、
水晶振動子2の振動電極27の周囲に浮遊容量が発生し
てしまう。
Further, the circuit element 4 is arranged in the cavity portion 11 just below the crystal resonator 2. In particular, the circuit element 4 performs a switching operation. Moreover, when trying to reduce the thickness of the container 1,
A stray capacitance is generated around the vibrating electrode 27 of the crystal unit 2.

【0039】この点、本発明のように、水晶振動子2と
回路素子4との間の容器1内部に、アース電位の導体2
3が配置されている。このため、水晶振動子2の振動電
極27に寄生する浮遊容量の発生、または、浮遊容量の
変動を有効を防止することができ、水晶振動子2の安定
した振動動作が可能となる。
In this respect, as in the present invention, the conductor 2 of earth potential is provided inside the container 1 between the crystal resonator 2 and the circuit element 4.
3 are arranged. Therefore, it is possible to prevent the generation of stray capacitance parasitic on the vibrating electrode 27 of the crystal resonator 2 or the effective fluctuation of the stray capacitance, and the stable vibration operation of the crystal resonator 2 is possible.

【0040】また、キャビティー部11を立体的に取り
囲むように、導体23、即ち、キャビティー部11の天
井面と略平行に導体膜23aが、また、キャビティー部
11の内側面を取り囲むように、リング状導体膜23
b、このリング状導体膜23bの隙間を補完するよう
に、ビアホール導体23cが形成されている。しかも、
この導体23は、キャビティー部11の周囲面(容器1
の底面)に形成されたアース電位の端子電極13に接続
されている。
Further, the conductor 23, that is, the conductor film 23a substantially parallel to the ceiling surface of the cavity 11, surrounds the inner surface of the cavity 11 so as to surround the cavity 11 three-dimensionally. The ring-shaped conductor film 23
b, the via-hole conductor 23c is formed so as to complement the gap of the ring-shaped conductor film 23b. Moreover,
The conductor 23 is formed on the peripheral surface of the cavity portion 11 (container 1
Is connected to the terminal electrode 13 of ground potential formed on the bottom surface).

【0041】これにより、特に、スイッチング動作を行
う回路素子4から発生する高周波ノイズを遮断し、外部
に放出することを有効に防止している。
As a result, in particular, the high frequency noise generated from the circuit element 4 which performs the switching operation is blocked and effectively prevented from being emitted to the outside.

【0042】尚、シール用導体膜31も同様にアース電
位に接続されており、この結果、金属蓋体3もアース電
位となっていることから、水晶振動子2の上面側の振動
電極26に寄生する浮遊容量の発生を低減でき、水晶振
動子2の等価容量成分に変動を発生させることが一切な
い。
Since the sealing conductor film 31 is similarly connected to the ground potential, and as a result, the metal lid 3 is also at the ground potential, the vibration electrode 26 on the upper surface side of the crystal resonator 2 is connected. The generation of parasitic stray capacitance can be reduced, and the equivalent capacitance component of the crystal unit 2 is never changed.

【0043】また、発振器の厚み的には、2重シールド
されていることから、高周波ノイズの放出を一層有効に
防止できる。
Further, since the oscillator is double shielded in terms of thickness, the emission of high frequency noise can be prevented more effectively.

【0044】さらに、容器1のキャビティー部11の周
囲面(容器の底面)には、アース電位となる端子電極1
3や電源端子となる端子電極12、それ以外に、制御端
子、発振出力端子となる端子電極が形成されている。こ
のため、プリント配線基板に表面実装により簡単に接合
することができ、しかも、導体膜23及びシール用導体
膜31を容易・確実にアース電位とすることができる。
Further, on the peripheral surface of the cavity portion 11 of the container 1 (bottom surface of the container), the terminal electrode 1 having ground potential is formed.
3, a terminal electrode 12 serving as a power supply terminal, and other than that, a terminal electrode serving as a control terminal and an oscillation output terminal are formed. Therefore, it can be easily joined to the printed wiring board by surface mounting, and the conductor film 23 and the sealing conductor film 31 can be easily and reliably set to the ground potential.

【0045】このような図1、図2は、容器1に水晶振
動子2及び回路素子4を直接収容配置した例である。
1 and 2 are examples in which the crystal unit 2 and the circuit element 4 are directly accommodated in the container 1.

【0046】[0046]

【0047】[0047]

【0048】[0048]

【0049】[0049]

【0050】[0050]

【0051】[0051]

【0052】[0052]

【0053】[0053]

【0054】[0054]

【0055】[0055]

【0056】[0056]

【0057】[0057]

【0058】[0058]

【0059】[0059]

【0060】[0060]

【0061】[0061]

【0062】[0062]

【0063】[0063]

【0064】[0064]

【0065】[0065]

【0066】[0066]

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【0068】[0068]

【0069】[0069]

【0070】[0070]

【0071】[0071]

【0072】[0072]

【0073】[0073]

【0074】[0074]

【0075】[0075]

【0076】尚、図2のキャビティー部11を立体的に
取り囲む導体膜23に関して、キャビティー部11の上
面側に位置する平板状の導体膜を平面的広がっる縦横の
帯状導体膜からなるマトリックパターンにしても構わな
い。
Regarding the conductor film 23 that three-dimensionally surrounds the cavity portion 11 in FIG. 2, a matrix composed of vertical and horizontal strip conductor films that planarly spreads the flat conductor film located on the upper surface side of the cavity portion 11. It can be a pattern.

【0077】[0077]

【発明の効果】本発明は、容器の底面のキャビティー部
を立体的に取り囲むアース電位の導体膜が形成されてい
る。このため、キャビティー部内に収容されている回路
素子から高周波ノイズが外部に漏れることを抑えること
ができる。
According to the present invention, a conductor film having a ground potential that three-dimensionally surrounds the cavity portion on the bottom surface of the container is formed. Therefore, it is possible to prevent the high frequency noise from leaking to the outside from the circuit element housed in the cavity portion.

【0078】また、容器の表面側に配置された水晶振動
子の振動電極に発生する浮遊容量を有効に抑え、また、
その変動を完全に抑えることができ、安定的な動作が可
能となる。
Further, the stray capacitance generated in the vibrating electrode of the crystal resonator arranged on the surface side of the container is effectively suppressed, and
The fluctuation can be completely suppressed, and stable operation becomes possible.

【0079】また、水晶振動子と回路素子とが、異なる
収容領域で厚み方向に配置されているため、小形、低背
化が可能で、特性が安定した水晶発振器となる。
Further, since the crystal unit and the circuit element are arranged in different thicknesses in the thickness direction, the size and height can be reduced, and the crystal oscillator has stable characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の水晶発振器の外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of a crystal oscillator according to the present invention.

【図2】本発明の水晶発振器の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a crystal oscillator of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・・容器部 2・・・水晶振動子 3・・・金属製蓋体 4・・・回路素子 1 .... Container part 2 ... Crystal oscillator 3 ... Metal lid 4 ... Circuit element

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数のセラミック層を積層して構成され、
底面にキャビティー部を有する筐体状容器と、前記容器
の表面に搭載した水晶振動子と、前記容器のキャビティ
ー部内に収容し、且つ水晶振動子の発振動作を制御する
回路素子とから成る水晶発振器であって、 前記容器内で、前記セラミック層の層間に、前記キャビ
ティー部の天井面と平行に広がる導体膜と、前記キャビ
ティー部の内壁面平面的に取り囲むリング状または概
略馬蹄形状をなしたアース電位の導体膜とを配置させる
とともに、これら導体膜を前記セラミック層の厚み方向
に形成されたビアホール導体によって接続したことを特
徴とする水晶発振器。
1. A laminate comprising a plurality of ceramic layers,
It is composed of a casing-like container having a cavity portion on the bottom surface, a crystal oscillator mounted on the surface of the container, and a circuit element housed in the cavity portion of the container and controlling the oscillation operation of the crystal oscillator. A crystal oscillator, wherein the cavity is provided between the ceramic layers in the container .
A conductive film that extends in parallel with the ceiling surface of the tee portion and a ring-shaped or substantially surrounding the inner wall surface of the cavity portion.
Arrange a substantially horseshoe-shaped conductor film of earth potential
Together with these conductor films in the thickness direction of the ceramic layer.
A crystal oscillator characterized by being connected by a via-hole conductor formed in the .
【請求項2】 前記容器のキャビティー部の開口周囲面
に、前記アース電位の導体膜と接続するアース電極が形
成されていることを特徴とする請求項1記載の水晶発振
器。
2. The crystal oscillator according to claim 1, wherein a ground electrode connected to the conductor film having the ground potential is formed on the peripheral surface of the opening of the cavity of the container.
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