JP2000138533A - Quartz oscillator - Google Patents

Quartz oscillator

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JP2000138533A
JP2000138533A JP10309665A JP30966598A JP2000138533A JP 2000138533 A JP2000138533 A JP 2000138533A JP 10309665 A JP10309665 A JP 10309665A JP 30966598 A JP30966598 A JP 30966598A JP 2000138533 A JP2000138533 A JP 2000138533A
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cavity
crystal
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conductor film
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a quartz oscillator which can be reduced in size and height and can suppress the occurrence of high-frequency noise and the quartz resonator of which can operate stably. SOLUTION: A crystal oscillator is constituted in such a way that a crystal resonator 2 is arranged on the surface of an enclosure-like container having a cavity section 11 on its bottom face and the top side of the container 1 is airtightly sealed with a metallic cap 3 so as to cover the resonator. Then a circuit element 4 which controls oscillating operations is housed in the cavity section 11. In addition, conductor films 23 (23a-23c) having earth potentials are formed in the container 1 so that the films 23 may three-dimensionally surround the cavity section 11.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、容器体の一方の表
面に水晶振動子を搭載した水晶発振器に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a crystal oscillator having a crystal resonator mounted on one surface of a container.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、水晶発振器の発振源である水晶振
動子としては、キャンケースなどの気密的容器内に水晶
振動子を収容した水晶発振素子が用いられていた。この
場合、プリント配線基板上に水晶振動子の発振動作を制
御する制御素子とともに実装されていた。
2. Description of the Related Art Heretofore, as a crystal oscillator as an oscillation source of a crystal oscillator, a crystal oscillation element having a crystal oscillator housed in an airtight container such as a can case has been used. In this case, it is mounted on a printed wiring board together with a control element for controlling the oscillation operation of the crystal unit.

【0003】このような構造では、水晶振動子をキャン
ケースに収容した水晶発振子を用いるため水晶発振器が
非常に大きくなってしまう。
[0003] In such a structure, a crystal oscillator having a crystal oscillator housed in a can case is used, so that the crystal oscillator becomes very large.

【0004】また、水晶振動子をそのまま利用し、容器
体に水晶振動子を実装し、その収容領域を気密的に用い
ていた。典型的な構造として、段差部が形成されたキャ
ビティーを有する容体を用いて、キャビティー部の底面
に制御素子を配置し、キャビティー部の段差部に水晶振
動子を架設し、キャビティー部全体を気密封止可能な金
属蓋体で封止していた。
Further, the quartz oscillator is used as it is, the quartz oscillator is mounted on a container body, and the housing area is used in an airtight manner. As a typical structure, using a container having a cavity in which a step is formed, a control element is arranged on the bottom surface of the cavity, a crystal resonator is erected on the step of the cavity, and a cavity is formed. The whole was sealed with a metal lid that can be hermetically sealed.

【0005】このような構造では、キャンケースを用い
ておらず、同一キャビティー部内に、水晶振動子と制御
素子とが厚み方向に重畳するように配置されいることか
ら小型化が可能である。しかし、同一キャビティー部に
制御素子と水晶振動子とが配置されているため、制御素
子を接合したり、保護したりする部材から不要なガスが
発生してしまい、その結果、水晶振動子の動作が変動し
てしまうという問題があった。
[0005] In such a structure, since the quartz resonator and the control element are arranged in the same cavity so as to overlap in the thickness direction without using a can case, the size can be reduced. However, since the control element and the crystal resonator are arranged in the same cavity, unnecessary gas is generated from members that join and protect the control element, and as a result, the crystal resonator There is a problem that the operation fluctuates.

【0006】このような問題を解決するために構造とし
ては、底面側にキャビティー部を有する容器体の表面側
に、水晶振動子を実装し、底面側のキャビティー部に制
御素子を実装し、表面側の水晶振動子を金属蓋体で気密
封止した構造が提案されている(例えば特開平10−2
8024)。
In order to solve such a problem, as a structure, a quartz oscillator is mounted on the front side of a container having a cavity on the bottom side, and a control element is mounted on the cavity on the bottom side. There has been proposed a structure in which a crystal unit on the front side is hermetically sealed with a metal lid (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2).
8024).

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の構造で
は、水晶振動子の発振動作を制御する発振回路を含む回
路素子は、高周波でスイッチング動作を行うため、高周
波ノイズの発生源となってしまう。
However, in the above-described structure, the circuit element including the oscillation circuit for controlling the oscillation operation of the crystal unit performs a switching operation at a high frequency, and thus becomes a source of high-frequency noise. .

【0008】また、水晶振動子と回路素子とは異なる収
容領域に配置されているにしても、水晶振動子の振動電
極と回路素子の配線パターンとの間に浮遊容量成分が発
生してしまい、その結果、この浮遊容量成分が水晶振動
子の等価容量成分を変動させてしまい、周波数特性が安
定しないという問題があった。
Further, even if the crystal unit and the circuit element are arranged in different housing areas, a floating capacitance component is generated between the vibrating electrode of the crystal unit and the wiring pattern of the circuit element. As a result, there is a problem that the stray capacitance component fluctuates the equivalent capacitance component of the crystal resonator, and the frequency characteristics are not stable.

【0009】本発明は、上述の問題点に鑑みて案出され
たものであり、その目的は、高周波ノイズの発生を抑
え、水晶振動子の安定的な動作が可能となり、さらに組
立処理が非常に簡略化される水晶発振器を提供すること
にある。
The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems, and has as its object to suppress the generation of high-frequency noise, to enable stable operation of a crystal unit, and to make assembly processing extremely difficult. Another object of the present invention is to provide a crystal oscillator which is simplified.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、底面にキャビ
ティー部を有する筐体状容器と、前記容器の表面に搭載
した水晶振動子と、前記容器のキャビティー部内に収容
した水晶振動子の発振動作を制御する回路素子とから成
る水晶発振器であって、前記容器に、キャビティー部を
立体的に取り囲むアース電位の導体膜を形成したことを
特徴とする水晶発振器である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a housing-like container having a cavity on the bottom surface, a crystal oscillator mounted on the surface of the container, and a crystal oscillator housed in the cavity of the container. And a circuit element for controlling the oscillating operation of (1), wherein a conductive film having a ground potential surrounding the cavity in a three-dimensional manner is formed in the container.

【0011】また、このましくは、前記容器のキャビテ
ィー部の開口周囲面に、前記アース電位の導体膜と接続
するアース電極が形成されている水晶発振器である。
Preferably, the crystal oscillator has an earth electrode connected to the conductor film having the earth potential formed on the peripheral surface of the opening of the cavity of the container.

【0012】[0012]

【作用】本発明によれば、水晶振動子が容器の表面側に
実装されている。また、発振動作を制御する回路素子が
容器の底面のキャビティー部内に収容されている。即
ち、水晶振動子の収容環境が独立しているので、水晶振
動子の経時的な特性変動を有効に防止できる。
According to the present invention, the quartz oscillator is mounted on the front side of the container. Further, a circuit element for controlling the oscillating operation is accommodated in the cavity on the bottom surface of the container. That is, since the accommodation environment of the crystal unit is independent, it is possible to effectively prevent the characteristic fluctuation of the crystal unit over time.

【0013】また、水晶振動子を表面に気密的に搭載し
た容器の底面側には、水晶振動子の発振動作を制御する
回路素子を収容しえるキャビティー部が形成されてい
る。このため、ベース基板に振動部を接合しても、全体
として低背化した水晶発振器が維持できる。
On the bottom side of the container on which the crystal unit is mounted airtight, a cavity is formed which can accommodate a circuit element for controlling the oscillation operation of the crystal unit. For this reason, even if the vibrating portion is bonded to the base substrate, a crystal oscillator having a reduced height can be maintained as a whole.

【0014】特に、スイッチ動作を行う発振回路は、高
周波ノイズの発生源となってしまう。しかし、容器のキ
ャビティー部を立体的に取り囲んむアース電位の導体膜
(シールド膜)が形成されている。このため、外部に高
周波ノイズを与えることを有効に防止でき、他の回路、
例えば,PLL素子などを組み合わせたり、通信機の送
受信回路と組み合わせたりしても、他の回路の誤動作を
発生させないものとなる。
In particular, an oscillation circuit that performs a switching operation becomes a source of high-frequency noise. However, a conductor film (shield film) having a ground potential and three-dimensionally surrounding the cavity of the container is formed. For this reason, it is possible to effectively prevent high frequency noise from being applied to the outside, and other circuits,
For example, even if a PLL element or the like is combined or combined with a transmission / reception circuit of a communication device, malfunction of other circuits does not occur.

【0015】また、水晶振動子の振動電極と他の配線パ
ターンとの間に浮遊容量が発生しようとしても、このア
ース電位の導体膜で遮断できるため、水晶振動子の振動
電極には、浮遊容量成分が発生しににく、水晶振動子の
等価容量成分が変化しない。
Further, even if a stray capacitance is generated between the vibrating electrode of the crystal unit and another wiring pattern, the stray capacitance can be cut off by the conductor film having the ground potential. The equivalent capacitance component of the crystal unit does not change because the component hardly occurs.

【0016】これによって、水晶振動子の振動特性が安
定する。
As a result, the oscillation characteristics of the crystal unit are stabilized.

【0017】特に、容器の組み立て工程を非常に容易に
するために、容器のキャビティー部の開口周囲面に、キ
ャビティー部を取り囲む導体膜と接続するアース電極と
が形成している。したがって、プリント配線基板上に実
装するにあたって、非常に簡単にアース電位の配線パタ
ーンに接続することができる。
Particularly, in order to make the assembling process of the container very easy, an earth electrode connected to the conductor film surrounding the cavity is formed around the opening of the cavity of the container. Therefore, when mounting on a printed wiring board, it can be very easily connected to the wiring pattern of the ground potential.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の水晶発振器を図面
に基づいて詳説する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a crystal oscillator according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0019】図1は本発明の水晶発振器の外観斜視図で
あり、図2はその断面図である。
FIG. 1 is an external perspective view of a crystal oscillator according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view thereof.

【0020】図において、1は容器であり、2は水晶振
動子、3は金属製蓋体であり、4は、回路素子である。
In the figure, 1 is a container, 2 is a quartz oscillator, 3 is a metal lid, and 4 is a circuit element.

【0021】容器1は、複数のセラミック層1a、1b
・・・が積層されて構成されている。そして、容器1の
裏面には凹状のキャビティー部11が形成されている。
容器1の表面には、水晶振動子2が搭載される水晶振動
子用接続パッド21、22(22は図から現れない)が
形成されている。また、表面の周囲にはシール用導体膜
31が周設されている。また、キャビティー部11を取
り囲むようにアース電位となる導体膜23が形成されて
いる。ここで、アース電位の導体膜23とは、例えばセ
ラミック層1bと1cとの層間で、キャビティー部11
の天井面と平行に広がる導体膜23aと、セラミック層
1c〜1eの層間でキャビティー部11を平面的に取り
囲むように形成されたリング状または概略馬蹄形状の複
数の導体膜23bと、該概略馬蹄形状の導体膜23bを
セラミック層1c〜1dの厚み方向に接続するビアホー
ル導体23cとから構成されている。
The container 1 has a plurality of ceramic layers 1a and 1b.
Are laminated. A concave cavity 11 is formed on the back surface of the container 1.
On the surface of the container 1, connection pads 21 and 22 for the crystal resonator on which the crystal resonator 2 is mounted (22 is not shown in the drawing) are formed. A sealing conductor film 31 is provided around the surface. A conductor film 23 having a ground potential is formed so as to surround the cavity 11. Here, the conductor film 23 at the ground potential is, for example, between the ceramic layers 1b and 1c and the cavity 11
And a plurality of ring-shaped or roughly horseshoe-shaped conductor films 23b formed so as to planarly surround the cavity portion 11 between the ceramic layers 1c to 1e. And a via-hole conductor 23c that connects the horseshoe-shaped conductor film 23b in the thickness direction of the ceramic layers 1c to 1d.

【0022】また、キャビティー部11の開口周囲面
(容器1の底面)には、発振回路の出力端子電極、電源
の供給を行う電源端子電極12や導体膜23と接続する
アース端子電極13が形成されている。
The output terminal electrode of the oscillation circuit, the power supply terminal electrode 12 for supplying power, and the ground terminal electrode 13 connected to the conductor film 23 are provided on the peripheral surface of the opening of the cavity 11 (the bottom surface of the container 1). Is formed.

【0023】また、キャビティー部11の天井面には、
回路素子7を搭載するための各種配線パターン、電極パ
ッドが形成されており、水晶振動子2の電極パッド2
1、22や各種端子電極12等とは、容器1の内部に形
成された導通経路14、15を介して接続されている。
この導通経路14、15と導体膜23aとの短絡を防止
するために、導体膜23aには、導体膜が形成されてい
ない内部導通経路14、15の貫通領域が形成されてい
る。
On the ceiling surface of the cavity 11,
Various wiring patterns and electrode pads for mounting the circuit element 7 are formed.
1, 22 and various terminal electrodes 12 are connected via conduction paths 14 and 15 formed inside the container 1.
In order to prevent a short circuit between the conductive paths 14 and 15 and the conductive film 23a, a through region of the internal conductive paths 14 and 15 where no conductive film is formed is formed in the conductive film 23a.

【0024】また、容器1の内部には、所定導体膜23
bが、容器1の表面のシール用導体膜31、他の導体膜
23a、23cをアース電位とすべく、アース電位の電
極13に導通する導通経路を構成している。
A predetermined conductor film 23 is provided inside the container 1.
b constitutes a conduction path that conducts to the electrode 13 at the earth potential so that the sealing conductor film 31 and the other conductor films 23a and 23c on the surface of the container 1 are at the earth potential.

【0025】このような容器1は、容器表面側を構成す
る矩形状のグリーンシート、容器底面側を構成する枠状
のグリーンシートを用いて、所定ビアホール導体を含む
所定導体膜が形成された複数のグリーンシートが積層圧
着されて、さらに、一体的に焼成処理されて形成され
る。
Such a container 1 has a plurality of rectangular green sheets forming the container front side and a frame-shaped green sheet forming the container bottom side, on which a predetermined conductor film including a predetermined via-hole conductor is formed. The green sheets are laminated and pressed, and are further integrally baked.

【0026】そして、グリーンシート上に形成される導
体膜とは、電極パッド2 1、22、シールド用導体膜3
1、導体膜23となる導体膜、各種端子電極12、13
となる導体膜、内部導通経路14、14となる導体など
が例示される。このような導体膜は、所定グリーンシー
トに、必要に応じて貫通孔を形成し、この貫通孔に銀や
銅やタングステンやモリブデンなどの導電性ペーストを
充填するとともに、グリーンシート上に上述の導電性ペ
ーストで印刷により形成される。
The conductive film formed on the green sheet includes the electrode pads 21 and 22 and the conductive film 3 for shielding.
1. Conductive film serving as conductive film 23, various terminal electrodes 12, 13
Conductor film to be used, conductors to be used as the internal conduction paths 14, and the like. Such a conductive film forms a through hole as necessary in a predetermined green sheet, fills the through hole with a conductive paste such as silver, copper, tungsten, or molybdenum, and forms the above conductive film on the green sheet. It is formed by printing with a conductive paste.

【0027】このようなグリーンシートを積層圧着し、
所定雰囲気で焼成し、各導電膜上にNiメッキやAuメ
ッキなどが施される。
Such green sheets are laminated and pressed,
Baking is performed in a predetermined atmosphere, and Ni plating or Au plating is applied on each conductive film.

【0028】このような容器1には、水晶振動子2及び
回路素子4が各々配置される。
In such a container 1, a quartz oscillator 2 and a circuit element 4 are arranged.

【0029】水晶振動子2は、所定カット、例えばAT
カットされた矩形状の水晶板25の両主面に形成された
振動電極26、27、該振動電極26、27から一方他
端部に延出された引出電極部とから構成されている。
The crystal oscillator 2 is provided with a predetermined cut, for example, AT
Vibration electrodes 26, 27 formed on both main surfaces of the cut rectangular quartz plate 25, and extraction electrode portions extending from the vibration electrodes 26, 27 to the other end.

【0030】そして、水晶振動子2は、水晶振動子用電
極パッド21、22上に形成されたギャップを確保する
バンプ部材などを介して導電性接着材21a、22a
(22aは図に現れない)を介して接続される。尚、水
晶振動子2の先端側には水晶振動子2と容器1の表面と
の間隔を保持するバンプ部材を形成してもかまわない。
The crystal resonator 2 is electrically connected to the conductive adhesives 21a and 22a via bump members formed on the crystal resonator electrode pads 21 and 22 to secure a gap.
(22a does not appear in the figure). It should be noted that a bump member may be formed on the tip side of the crystal unit 2 to maintain a distance between the crystal unit 2 and the surface of the container 1.

【0031】容器1の表面側に搭載された水晶振動子2
は金属製蓋体3によって気密的に封止されている。金属
製蓋体3は、コバールや42アロイなどの金属材料から
なり、容器体1の表面のシール用導体膜31にAgろう
付けされた枠状のシームリング32に溶接・接合され
る。
A quartz oscillator 2 mounted on the front side of the container 1
Is hermetically sealed by a metal lid 3. The metal lid 3 is made of a metal material such as Kovar or 42 alloy, and is welded and joined to a frame-shaped seam ring 32 that is Ag-brazed to the sealing conductor film 31 on the surface of the container 1.

【0032】また、水晶振動子2の所定振動に基づく発
振動作を制御する発振回路を構成する各種回路素子7
は、容器1のキャビティー部11内に収容・配置されて
いる。
Further, various circuit elements 7 constituting an oscillation circuit for controlling an oscillation operation based on a predetermined oscillation of the quartz oscillator 2
Are housed and arranged in the cavity 11 of the container 1.

【0033】回路素子7とは、発振用インバータ、増幅
用インバータを少なくとも具備するICチップ、発振回
路の負荷容量を構成したり、また、電源ノイズを吸収し
たり、出力発振の波形を整えるコンデンサ、発振回路の
帰還回路を構成する抵抗素子などが例示できる。尚、I
Cチップを使用せず、デスクリート部品のトランジスタ
を用いても構わない。また、ICの集積化技術によっ
て、抵抗や一部のコンデンサをICチップに集積化する
こともできる。
The circuit element 7 includes an oscillation inverter, an IC chip having at least an amplification inverter, a load capacitance of an oscillation circuit, a capacitor for absorbing power supply noise and adjusting the waveform of output oscillation, For example, a resistance element constituting a feedback circuit of an oscillation circuit can be exemplified. Note that I
Instead of using the C chip, a discrete transistor may be used. In addition, a resistor and a part of a capacitor can be integrated in an IC chip by an IC integration technique.

【0034】例えば、キャビティー部11の天井面に形
成された電極パッドに、ICチップが超音波融着による
表面実装、フリップチップ接合、ワイヤボンディング接
合されて形成され、コンデンサや抵抗が導電性接着材を
介して接合される。
For example, an IC chip is formed on an electrode pad formed on the ceiling surface of the cavity portion 11 by surface mounting by ultrasonic fusion, flip chip bonding, or wire bonding, and a capacitor or a resistor is electrically conductively bonded. It is joined through materials.

【0035】また、キャビティー部11内に配置された
回路素子は、耐湿性及び耐衝撃性の向上させるための供
給樹脂5が充填硬化される。
The circuit elements arranged in the cavity 11 are filled and hardened with the supply resin 5 for improving the moisture resistance and the impact resistance.

【0036】上述の例では、水晶振動子2の固有の温度
特性を補償するために、回路素子4であるICチップに
補償データを書き込んでおり、周囲の温度に応じて適正
な周波数補償を行うICチップである。このため、図1
に示すように、容器1の側面には、補償データを書き込
むためのデータ端子16が形成されいる。
In the above-described example, in order to compensate for the temperature characteristic inherent in the crystal unit 2, compensation data is written in the IC chip, which is the circuit element 4, and appropriate frequency compensation is performed according to the ambient temperature. It is an IC chip. Therefore, FIG.
As shown in (1), a data terminal 16 for writing compensation data is formed on the side surface of the container 1.

【0037】以上のようの構成により水晶発振器によれ
ば、水晶振動子2と、回路素子4とが異なる収容領域に
配置されることになるため、即ち、水晶振動子2を配置
した収容環境を汚染することが一切ないため、水晶振動
子2の安定した動作が可能となる。また、全体として、
水晶振動子2と回路素子4とが発振器の厚み方向に配置
されており、しかも、回路素子4はキャビティー部11
内に収容されているため、発振器の厚み方向において低
背化が達成できる。
According to the crystal oscillator having the above configuration, the crystal unit 2 and the circuit element 4 are arranged in different accommodation regions, that is, the accommodation environment in which the crystal unit 2 is arranged is changed. Since there is no contamination, the crystal oscillator 2 can operate stably. Also, as a whole,
The crystal unit 2 and the circuit element 4 are arranged in the thickness direction of the oscillator.
Since the oscillator is housed in the oscillator, the height can be reduced in the thickness direction of the oscillator.

【0038】また、水晶振動子2が配置された直下に
は、キャビティー部11には、回路素子4が配置されて
いる。特に、回路素子4はスイッチング動作を行うもの
である。しかも容器1の厚みを減少させようとすると、
水晶振動子2の振動電極27の周囲に浮遊容量が発生し
てしまう。
The circuit element 4 is disposed in the cavity 11 immediately below the position where the crystal unit 2 is disposed. In particular, the circuit element 4 performs a switching operation. Moreover, when trying to reduce the thickness of the container 1,
A stray capacitance occurs around the vibrating electrode 27 of the crystal resonator 2.

【0039】この点、本発明のように、水晶振動子2と
回路素子4との間の容器1内部に、アース電位の導体2
3が配置されている。このため、水晶振動子2の振動電
極27に寄生する浮遊容量の発生、または、浮遊容量の
変動を有効を防止することができ、水晶振動子2の安定
した振動動作が可能となる。
In this respect, as in the present invention, a conductor 2 having a ground potential is provided inside the container 1 between the crystal unit 2 and the circuit element 4.
3 are arranged. For this reason, generation of stray capacitance parasitic on the vibrating electrode 27 of the crystal resonator 2 or fluctuation of the stray capacitance can be effectively prevented, and a stable vibration operation of the crystal resonator 2 becomes possible.

【0040】また、キャビティー部11を立体的に取り
囲むように、導体23、即ち、キャビティー部11の天
井面と略平行に導体膜23aが、また、キャビティー部
11の内側面を取り囲むように、リング状導体膜23
b、このリング状導体膜23bの隙間を補完するよう
に、ビアホール導体23cが形成されている。しかも、
この導体23は、キャビティー部11の周囲面(容器1
の底面)に形成されたアース電位の端子電極13に接続
されている。
The conductor 23, that is, a conductor film 23 a substantially parallel to the ceiling surface of the cavity 11, surrounds the inner surface of the cavity 11 so as to surround the cavity 11 three-dimensionally. The ring-shaped conductor film 23
b, A via-hole conductor 23c is formed so as to supplement the gap between the ring-shaped conductor films 23b. Moreover,
The conductor 23 is provided on the peripheral surface of the cavity 11 (the container 1).
Is connected to a terminal electrode 13 having a ground potential formed on the bottom surface of the IGBT.

【0041】これにより、特に、スイッチング動作を行
う回路素子4から発生する高周波ノイズを遮断し、外部
に放出することを有効に防止している。
In this way, high frequency noise generated from the circuit element 4 performing the switching operation is particularly cut off and effectively prevented from being emitted to the outside.

【0042】尚、シール用導体膜31も同様にアース電
位に接続されており、この結果、金属蓋体3もアース電
位となっていることから、水晶振動子2の上面側の振動
電極26に寄生する浮遊容量の発生を低減でき、水晶振
動子2の等価容量成分に変動を発生させることが一切な
い。
The conductor film 31 for sealing is also connected to the ground potential. As a result, the metal cover 3 is also at the ground potential. The generation of parasitic stray capacitance can be reduced, and no fluctuation occurs in the equivalent capacitance component of the crystal unit 2.

【0043】また、発振器の厚み的には、2重シールド
されていることから、高周波ノイズの放出を一層有効に
防止できる。
Further, since the thickness of the oscillator is double shielded, emission of high frequency noise can be more effectively prevented.

【0044】さらに、容器1のキャビティー部11の周
囲面(容器の底面)には、アース電位となる端子電極1
3や電源端子となる端子電極12、それ以外に、制御端
子、発振出力端子となる端子電極が形成されている。こ
のため、プリント配線基板に表面実装により簡単に接合
することができ、しかも、導体膜23及びシール用導体
膜31を容易・確実にアース電位とすることができる。
Further, a terminal electrode 1 having a ground potential is provided on the peripheral surface of the cavity 11 of the container 1 (the bottom surface of the container).
3 and a terminal electrode 12 serving as a power supply terminal, and in addition, a terminal electrode serving as a control terminal and an oscillation output terminal are formed. For this reason, it can be easily joined to the printed wiring board by surface mounting, and the conductor film 23 and the sealing conductor film 31 can be easily and reliably set to the ground potential.

【0045】図1、図2は、容器1に水晶振動子2及び
回路素子4を直接収容配置した例であるが、図3〜図5
は、容器1に水晶振動子2のみを配置し、回路素子4を
べース基板7側に実装した例である。
FIGS. 1 and 2 show an example in which the crystal unit 2 and the circuit element 4 are directly housed and arranged in the container 1, and FIGS.
Is an example in which only the crystal unit 2 is arranged in the container 1 and the circuit element 4 is mounted on the base substrate 7 side.

【0046】図3〜図5において、6は容器であり、7
はベース基板であり、41〜43は回路素子である。
In FIGS. 3 to 5, reference numeral 6 denotes a container;
Is a base substrate, and 41 to 43 are circuit elements.

【0047】図2に示す容器2に比較して、キャビティ
ー部11の内部の配線パターン、電極パット、内部導通
経路14、15、データ端子、アース電位の端子電極1
3を除く端子電極が排除されて、全体として非常に簡素
化されている。
As compared with the container 2 shown in FIG. 2, the wiring pattern inside the cavity portion 11, the electrode pads, the internal conduction paths 14, 15, the data terminal, and the terminal electrode 1 at the ground potential
Terminal electrodes other than 3 are eliminated, and the whole is greatly simplified.

【0048】容器6は、例えば、複数のセラミック層6
a〜6dが積層されて構成されている。そして、容器6
の裏面には凹状のキャビティー部61が形成されてい
る。容器6の表面には、上述のように水晶振動子2が搭
載され、さらに金属製蓋体6によって気密的に封止して
いる。
The container 6 includes, for example, a plurality of ceramic layers 6.
a to 6d are laminated. And container 6
A concave cavity portion 61 is formed on the back surface of the. The quartz oscillator 2 is mounted on the surface of the container 6 as described above, and is hermetically sealed with a metal lid 6.

【0049】また、キャビティー部61の内面には、ア
ース電位となる導体膜62が形成されている。
On the inner surface of the cavity 61, a conductor film 62 having a ground potential is formed.

【0050】また、キャビティー部61の開口周囲面
(容器6の底面)には、水晶振動子用電極パッド21
(22は図には現れない)に接続する入力出力64、6
5(65は図には現れない)、導体膜62や必要に応じ
てシール用導体膜31に接続するアース電位の端子電極
63が形成されている。
The electrode pad 21 for the crystal unit is provided around the opening of the cavity 61 (the bottom surface of the container 6).
(22 is not shown in the figure) input and output 64, 6 connected to
5 (65 does not appear in the figure), a terminal electrode 63 having a ground potential connected to the conductive film 62 and, if necessary, the sealing conductive film 31 is formed.

【0051】このような容器6は、容器表面側を構成す
る矩形状のグリーンシート、容器底面側を構成する枠状
のグリーンシートを用いて、所定ビアホール導体を含む
所定導体膜が形成された複数のグリーンシートが積層圧
着されて、さらに、一体的に焼成処理されて形成され
る。
Such a container 6 has a plurality of rectangular green sheets forming the container front side and a frame-shaped green sheet forming the container bottom side, on which a predetermined conductor film including a predetermined via-hole conductor is formed. The green sheets are laminated and pressed, and are further integrally baked.

【0052】導体膜とは、電極パッド2 1、22、シー
ルド用導体膜31、導体膜62となる導体膜、入出力端
子電極64、65、アース電位の端子電極63となる導
体膜、さらに、電極パッド2 1、22と入出力電極6
4、65とを接続する導体、導体膜62とアース電位の
端子電極63となる内部導通経路66、67などが例示
される。
The conductor film includes the electrode pads 21 and 22, the shielding conductor film 31, the conductor film serving as the conductor film 62, the input / output terminal electrodes 64 and 65, the conductor film serving as the ground potential terminal electrode 63, and Electrode pads 21 and 22 and input / output electrodes 6
For example, conductors for connecting the conductive films 4 and 65, internal conductive paths 66 and 67 serving as the conductive film 62 and the terminal electrode 63 at the ground potential are exemplified.

【0053】これらは、所定グリーンシートに、必要に
応じて貫通孔を形成し、この貫通孔に銀や銅やタングス
テン、モリブデンなどの導電性ペーストを充填するとと
もに、グリーンシート上に銀や銅やタングステン、モリ
ブデンなどの導電性ペーストで印刷により形成すること
により形成される。
In these, through holes are formed in predetermined green sheets as necessary, and the through holes are filled with a conductive paste such as silver, copper, tungsten, or molybdenum, and silver, copper, or the like is formed on the green sheets. It is formed by printing with a conductive paste such as tungsten or molybdenum.

【0054】このようなグリーンシートを積層圧着し、
所定雰囲気で焼成し、必要に応じて各導電膜上にNiメ
ッキやAuメッキなどが施される。
Such green sheets are laminated and pressed,
Baking is performed in a predetermined atmosphere, and Ni plating, Au plating, or the like is performed on each conductive film as necessary.

【0055】尚、キャビティー部61の内壁面のうち、
図4で天井面となる面に導体膜62aの形成は、平面で
あるためグリーンシート上の導体膜の形成によって比較
的簡単に形成することができる。また、キャビティー部
61の内壁面のうち、側面となる垂直面に一面に導体膜
62bは、枠状のグリーンシートに導体膜を印刷する際
に、枠の内面を導電性ペーストによるだれにより形成す
ることができる。
Incidentally, of the inner wall surface of the cavity 61,
The formation of the conductor film 62a on the surface serving as the ceiling surface in FIG. 4 can be relatively easily formed by forming the conductor film on the green sheet since it is a flat surface. In addition, the conductor film 62b is formed on one surface of the inner wall surface of the cavity portion 61 on a vertical surface which is a side surface, when the conductor film is printed on the frame-shaped green sheet, the inner surface of the frame is formed by dripping with a conductive paste. can do.

【0056】ベース基板7は、セラミックやガラスエポ
キシ樹脂からなる基板71上に所定配線パターン72が
形成され、さらに、水晶振動子2の振動に基づく発振動
作を制御する発振回路を構成する各種回路素子41〜4
3が配置されいる。回路素子4のうち、例えば、回路素
子41は発振用インバータ、増幅用インバータを少なく
とも集積化したICチップが例示できる。また、回路素
子42は、発振回路の負荷容量を構成したり、また、電
源ノイズを吸収したり、出力発振の波形を整えるコンデ
ンサ、発振回路の帰還回路を構成する抵抗素子などが例
示できる。この回路素子41、42は、ベース基板7の
中央部寄りに、特に、容器6のキャビティー部61に隠
蔽されるように配置される。これに対して、回路素子4
3は、容器6の外部のベース基板7上に配置されるもの
であり、例えば水晶発振器の出力を利用して高機能化を
行うための回路素子が例示でき、例えば、電圧制御発振
回路中のPLL素子やフィルタ素子、各種コンバータな
どが例示できる。
The base substrate 7 has a predetermined wiring pattern 72 formed on a substrate 71 made of ceramic or glass epoxy resin, and various circuit elements constituting an oscillation circuit for controlling an oscillation operation based on the vibration of the quartz oscillator 2. 41-4
3 are arranged. Among the circuit elements 4, for example, the circuit element 41 can be exemplified by an IC chip in which at least an oscillation inverter and an amplification inverter are integrated. Examples of the circuit element 42 include a capacitor that forms a load capacitance of an oscillation circuit, absorbs power supply noise, adjusts the waveform of output oscillation, and a resistance element that forms a feedback circuit of the oscillation circuit. The circuit elements 41 and 42 are arranged near the center of the base substrate 7, particularly so as to be concealed by the cavity 61 of the container 6. On the other hand, the circuit element 4
Reference numeral 3 denotes a circuit element arranged on the base substrate 7 outside the container 6, for example, a circuit element for enhancing the function using the output of a crystal oscillator. Examples include a PLL element, a filter element, and various converters.

【0057】尚、上述のICチップの代替として、デス
クリート部品のトランジスタを用いても構わない。ま
た、ICの集積化技術によって、抵抗や一部のコンデン
サをICチップ41に集積化することもできる。
As an alternative to the above-mentioned IC chip, a transistor as a discrete component may be used. Further, a resistor and a part of the capacitor can be integrated in the IC chip 41 by an IC integration technology.

【0058】基板71にセラミック基板を用いた場合に
は、配線パターン72は、銀や銅を主成分とする導電性
ペーストを印刷焼き付けして形成される。また、基板7
1にガラス−エポキシ樹脂の場合には、配線パターン7
2は銅箔などで形成される。
When a ceramic substrate is used as the substrate 71, the wiring pattern 72 is formed by printing and printing a conductive paste containing silver or copper as a main component. Also, the substrate 7
1. In the case of glass-epoxy resin, the wiring pattern 7
2 is formed of a copper foil or the like.

【0059】この配線パターン72は、所定発振回路を
構成する導体、回路素子41〜43を実装する電極パッ
ド、容器6のアース電位の端子電極63、入出力電極6
4、65と接合する接続パッド、外部回路と接続する端
子となる。
The wiring pattern 72 includes a conductor constituting a predetermined oscillation circuit, an electrode pad on which the circuit elements 41 to 43 are mounted, a terminal electrode 63 at the ground potential of the container 6, and an input / output electrode 6
These are connection pads that are connected to the terminals 4 and 65 and terminals that are connected to an external circuit.

【0060】例えば、図5に示すように、電極パッド7
2a・・・には、ICチップである回路素子41が、電
極パッド72bには回路素子42が、接合用パッド72
c、72dには、容器6の入出力電極64、アース電位
の電極63が夫々接合されるようになっている。
For example, as shown in FIG.
2a, the circuit element 41 as an IC chip, the electrode pad 72b, the circuit element 42, and the bonding pad 72.
The input / output electrode 64 of the container 6 and the electrode 63 of the ground potential are respectively joined to c and 72d.

【0061】具体的には、各電極パッド72b、72
c、72dにクリーム半田などを塗布し、まず、回路素
子42を基板71上に載置し、リフロ処理により接合を
行う。
More specifically, each electrode pad 72b, 72
C, 72d is coated with cream solder or the like. First, the circuit element 42 is mounted on the substrate 71, and bonding is performed by reflow processing.

【0062】次に、ICチップなどの回路素子41の電
極部にバンプを形成し、このバンプに導電性接着剤を塗
布しておき、基板71の電極パッド72aに載置し、熱
処理によって接合を行う。
Next, a bump is formed on the electrode portion of the circuit element 41 such as an IC chip, a conductive adhesive is applied to the bump, and the bump is placed on the electrode pad 72a of the substrate 71, and the bonding is performed by heat treatment. Do.

【0063】そして、このような水晶振動子2が気密的
に収容された容器6と、回路素子41〜43が実装され
たベース基板7とは半田などの導電性接合部材8によっ
て接合されて水晶発振器が構成される。
Then, the container 6 in which the crystal unit 2 is hermetically sealed and the base substrate 7 on which the circuit elements 41 to 43 are mounted are joined by a conductive joining member 8 such as solder to form a crystal. An oscillator is configured.

【0064】ベース基板7の表面に、回路素子41、4
2が容器6のキャビティー部61内に収容され、且つ入
力電極64と電極パッド72cとが、また、アース電位
の端子電極63とパッド72dとが夫々合致するように
配置し、最後に熱処理を行う。
On the surface of the base substrate 7, the circuit elements 41, 4
2 is accommodated in the cavity 61 of the container 6, and the input electrode 64 and the electrode pad 72c are arranged so that the terminal electrode 63 of the earth potential and the pad 72d are aligned with each other. Do.

【0065】先に回路素子42を接合するために塗布し
たクリーム半田を、この導電性接合部材8として用いて
いるため、容器6とベース基板7との接合においては、
特に導電性接合部材8の塗布は必要としない。また、容
器6に収容されないベース基板7上に実装される回路素
子43を、容器6とベース基板7との接合時に実装して
もよい。
Since the cream solder previously applied for bonding the circuit element 42 is used as the conductive bonding member 8, in bonding the container 6 and the base substrate 7,
In particular, application of the conductive bonding member 8 is not required. Further, the circuit element 43 mounted on the base substrate 7 not accommodated in the container 6 may be mounted when the container 6 and the base substrate 7 are joined.

【0066】また、導電性接合部材8の材料を、導電性
樹脂材料や、上述のクリーム半田の供給量が不足してい
る場合に、両者の接合前に、導電性接合部材8となる材
料を供給・塗布しても構わない。
Further, when the supply amount of the conductive resin material or the cream solder described above is insufficient, the material of the conductive bonding member 8 is changed to a material that becomes the conductive bonding member 8 before bonding the two. It may be supplied and applied.

【0067】また、ICチップである回路素子41は、
実装底面に導電性バンプを形成したフェースボンディン
グであるが、その他にワイヤボンディングによって接合
しても構わない。
The circuit element 41, which is an IC chip,
Although face bonding in which conductive bumps are formed on the mounting bottom surface, bonding may be performed by wire bonding.

【0068】このような構造によれば、図1、図2に示
す水晶発振器と同様、水晶振動子2と、回路素子4とが
異なる収容領域に、しかも、厚み方向に配置されること
になるため、水晶振動子2の安定した動作及び発振器の
厚み方向において低背化が可能となる。
According to such a structure, as in the case of the crystal oscillator shown in FIGS. 1 and 2, the crystal oscillator 2 and the circuit element 4 are arranged in different housing areas and in the thickness direction. Therefore, stable operation of the crystal resonator 2 and reduction in height in the thickness direction of the oscillator can be achieved.

【0069】ベース基板7のアース電位の配線パターン
72dは、導電性接合部材8、アース電位の端子電極6
3を介して、導体膜23及びシール用導体31がアース
電位となる。従って、キャビティー部61を取り囲む導
体膜23がシールド効果を有することになる。同時に、
金属製蓋体3がアース電位となる。
The ground potential wiring pattern 72 d of the base substrate 7 is formed of the conductive bonding member 8 and the ground potential terminal electrode 6.
3, the conductor film 23 and the sealing conductor 31 become the ground potential. Therefore, the conductive film 23 surrounding the cavity 61 has a shielding effect. at the same time,
The metal lid 3 is at the ground potential.

【0070】即ち、水晶振動子2が配置された直下に
は、スイッチング動作を行うICチップなどの回路素子
41を遮蔽する導電膜23aが存在する。このため、水
晶振動子2の振動電極の周囲に浮遊容量が発生及びその
変動を有効に抑えられる。 尚、金属製蓋体3も同時に
アース電位となるため、水晶振動子2の上面側振動電極
に関しても同様であり、水晶振動子2の等価容量成分に
変動を発生させることが一切ない。
That is, there is a conductive film 23a that shields a circuit element 41 such as an IC chip that performs a switching operation immediately below the position where the crystal unit 2 is arranged. For this reason, the occurrence of stray capacitance around the vibrating electrode of the crystal unit 2 and its fluctuation can be effectively suppressed. Since the metal lid 3 also has the ground potential at the same time, the same applies to the upper-side vibrating electrode of the crystal unit 2, and the equivalent capacitance component of the crystal unit 2 does not change at all.

【0071】また、キャビティー部61を立体的に取り
囲むように、導体膜23a、23bにより、スイッチン
グ動作を行う回路素子41から発生する高周波ノイズを
遮断し、外部に放出することを有効に防止できる。
Further, high frequency noise generated from the circuit element 41 performing the switching operation can be cut off by the conductor films 23a and 23b so as to surround the cavity 61 three-dimensionally, and it can be effectively prevented from being emitted outside. .

【0072】また、図3〜図5の構造の水晶発振器で
は、容器6の形成処理、ベース基板7の形成処理、及び
両者の接合処理にあたり、全て一方主面での操作となる
ため、従来のように、容器6を表裏逆向きに整列した
り、限られたキャビティー部のスペース内に各種回路素
子を実装し、接続したりする必要がないため、その処理
が非常に効率的に行われることになる。
Further, in the crystal oscillator having the structure shown in FIGS. 3 to 5, the formation of the container 6, the formation of the base substrate 7, and the bonding of both are all performed on one principal surface. As described above, since it is not necessary to arrange the container 6 upside down or mount and connect various circuit elements in a limited space of the cavity portion, the processing is performed very efficiently. Will be.

【0073】また、ノイズ発生源である回路素子41を
容器6のキャビティー部61に腫瘍しているため、ベー
ス基板7に形成されている回路素子43を金属ケースで
などで覆う必要はなく、軽量化にも有効となる。
Further, since the circuit element 41, which is a noise source, is in the cavity 61 of the container 6, it is not necessary to cover the circuit element 43 formed on the base substrate 7 with a metal case. It is also effective for weight reduction.

【0074】尚、図3〜図5において、導体膜23を厚
膜手法ではなく、例えば、導電性材料の蒸着などによる
薄膜技法で形成しても構わない。
In FIGS. 3 to 5, the conductor film 23 may be formed by a thin film technique such as vapor deposition of a conductive material instead of the thick film technique.

【0075】また、導体膜23を、図2に示すように、
容器6内部に、平板状の導体膜、リング状導体膜、ビア
ホール導体を用いて形成しても構わない。仮に、キャビ
ティー部61の内面に導体膜23しておくと、電極パッ
ド21、22やシール用導体膜31の表面にメッキ処理
を行うと同時に、導体膜23の表面にまでメッキが付着
し、コスト的に不利である。この点、容器6の内部に導
体膜を形成しておけば、コスト的に非常に有利となる。
Further, as shown in FIG. 2, the conductor film 23 is
A flat conductive film, a ring-shaped conductive film, and a via-hole conductor may be formed inside the container 6. If the conductor film 23 is provided on the inner surface of the cavity portion 61, plating is performed on the surfaces of the electrode pads 21, 22 and the sealing conductor film 31, and at the same time, plating adheres to the surface of the conductor film 23, It is disadvantageous in terms of cost. In this regard, forming a conductor film inside the container 6 is very advantageous in terms of cost.

【0076】尚、図2、図3〜図5に共通し、キャビテ
ィー部11、61を立体的に取り囲む導体膜23に関し
て、キャビティー部11、61の上面側に位置する平板
状の導体膜を平面的広がっる縦横の帯状導体膜からなる
マトリックパターンにしても構わない。また、図2に示
すように、キャビティー部11、61を構成する容器
1、6の脚部となるセラミック層の層間に、キャビティ
ー部の外形形状に応じたリング状または馬蹄形状の導体
膜を形成したり、キャビティー部の周囲に複数のビアホ
ール導体を形成し、導体膜23bとしても構わない。
2 and 3 to 5, the conductive film 23 surrounding the cavities 11 and 61 in three dimensions is a flat conductive film located on the upper surface side of the cavities 11 and 61. May be made into a matrix pattern composed of vertical and horizontal strip-shaped conductor films extending in a plane. As shown in FIG. 2, a ring-shaped or horseshoe-shaped conductive film corresponding to the outer shape of the cavity is provided between the ceramic layers serving as the legs of the containers 1 and 6 constituting the cavities 11 and 61. Or a plurality of via-hole conductors may be formed around the cavity to form the conductor film 23b.

【0077】[0077]

【発明の効果】本発明は、容器の底面のキャビティー部
を立体的に取り囲むアース電位の導体膜が形成されてい
る。このため、キャビティー部内に収容されている回路
素子から高周波ノイズが外部に漏れることを抑えること
ができる。
According to the present invention, a conductor film having a ground potential is formed so as to three-dimensionally surround the cavity portion on the bottom surface of the container. For this reason, it is possible to suppress the leakage of high-frequency noise from the circuit element housed in the cavity to the outside.

【0078】また、容器の表面側に配置された水晶振動
子の振動電極に発生する浮遊容量を有効に抑え、また、
その変動を完全に抑えることができ、安定的な動作が可
能となる。
In addition, the stray capacitance generated on the vibrating electrode of the quartz oscillator disposed on the surface side of the container can be effectively suppressed.
The fluctuation can be completely suppressed, and stable operation can be performed.

【0079】また、水晶振動子と回路素子とが、異なる
収容領域で厚み方向に配置されているため、小形、低背
化が可能で、特性が安定した水晶発振器となる。
Further, since the crystal unit and the circuit element are arranged in different thicknesses in different accommodating regions, the crystal oscillator can be reduced in size and height, and has stable characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の水晶発振器の外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of a crystal oscillator according to the present invention.

【図2】本発明の水晶発振器の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a crystal oscillator according to the present invention.

【図3】本発明の別の水晶発振器の外観斜視図である。FIG. 3 is an external perspective view of another crystal oscillator according to the present invention.

【図4】図3に示す水晶発振器に用いる容器の断面図で
ある。
4 is a sectional view of a container used for the crystal oscillator shown in FIG.

【図5】図3の部分断面図である。FIG. 5 is a partial sectional view of FIG. 3;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、6・・・・容器部 2・・水晶振動子 3・・金属製蓋体 7・・ベース基板 4・・・回路素子 8・・・導電性接合部材 1, 6... Container part 2. .. quartz resonator 3... Metal lid 7... Base substrate 4... Circuit element 8.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 底面にキャビティー部を有する筐体状容
器と、前記容器の表面に搭載した水晶振動子と、前記容
器のキャビティー部内に収容し、且つ水晶振動子の発振
動作を制御する回路素子とから成る水晶発振器であっ
て、 前記容器に、前記キャビティー部を取り囲むアース電位
の導体膜を形成したことを特徴とする水晶発振器。
1. A case-like container having a cavity portion on a bottom surface, a crystal oscillator mounted on the surface of the container, and housed in the cavity portion of the container and controlling an oscillation operation of the crystal oscillator. A crystal oscillator comprising: a circuit element; and a conductor film having a ground potential surrounding the cavity is formed in the container.
【請求項2】 前記容器のキャビティー部の開口周囲面
に、前記アース電位の導体膜と接続するアース電極が形
成されていることを特徴とする請求項1記載の水晶発振
器。
2. The crystal oscillator according to claim 1, wherein an earth electrode connected to the conductor film at the earth potential is formed on the peripheral surface of the opening of the cavity of the container.
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