JP3463988B2 - 中間電位化回路 - Google Patents

中間電位化回路

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JP3463988B2 JP2000089637A JP2000089637A JP3463988B2 JP 3463988 B2 JP3463988 B2 JP 3463988B2 JP 2000089637 A JP2000089637 A JP 2000089637A JP 2000089637 A JP2000089637 A JP 2000089637A JP 3463988 B2 JP3463988 B2 JP 3463988B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、メモリ回路のメモ
リ・セルに接続されるディジット線、あるいは、センス
・アンプに接続されるデータ線などの信号線のように、
データのアクセス期間には活性化され、非アクセス期間
には不活性となり、活性期間中に信号線の電位に応じて
充電あるいは放電される容量性負荷を有する信号線を、
不活性期間時に、中間電位化する中間電位化回路に関
し、特に、nチャンネル・トランジスタを充電経路に、
pチャンネル・トランジスタを放電経路に、各々使用す
るようにした中間電位化回路に関する。
【0002】
【従来の技術】以下に図面を参照して従来技術を説明す
る。図5は、「特開平8−171432号特許公開公
報」に記載された中間電位発生回路の構成を示す回路図
である。図5の中間電位発生回路は、基準電位発生段5
50と、出力段552とから構成されている。基準電位
発生段では、(1/2)Vcc+Vtnを基準電位Vref1と
して、(1/2)Vcc−|Vtp|を基準電位Vref2とし
て発生する。出力段は、電源ノード500にドレイン電
極を、出力ノード54にソース電極を接続したnチャン
ネルMOSトランジスタ521と、出力ノード54にソ
ース電極を、グランド・ノード600にドレイン電極を
接続したpチャンネルMOSトランジスタ522を備
え、これらのトランジスタ521、522は電源ノード
500とグランド・ノード600との間に直列接続され
ている。また、基準電圧発生段のpチャンネルMOSト
ランジスタ501及びnチャンネルMOSトランジスタ
504の各ゲート電極に、出力ノードの電圧がフィード
バック接続されている。
【0003】Vref1は出力段のnチャンネルMOSトラ
ンジスタ521のゲート電極に、Vref2は出力段のpチ
ャンネルMOSトランジスタ522のゲート電極に与え
られて、トランジスタ521及び522は、共に、わず
かに導通状態となっている。
【0004】ここで、出力ノード54の電圧が下降する
と、nチャンネルMOSトランジスタ521の導通抵抗
は小さくなって、電源ノード500からトランジスタ5
21を介して出力ノード54に電流が流れて、出力ノー
ドの電圧は上昇する。また、同時にこの出力ノード電圧
は、基準電位発生段のpチャンネルMOSトランジスタ
501のゲート電極にフィードバック接続されているの
で、このトランジスタ501の導通抵抗が小さくなって
ノードN1に電流が流れてトランジスタ521のゲート
電極の電位を上昇させ、出力ノード54の電圧は速やか
に元の中間電位(1/2)Vccに戻る。
【0005】一方、出力ノード54の電圧が上昇する場
合には、同様の理由によって、pチャンネルMOSトラ
ンジスタ522、nチャンネルMOSトランジスタ50
4の導通抵抗が小さくなって、出力ノード54の電圧は
速やかに元の中間電位に戻る。
【0006】以上のようにして、出力ノード54の電位
を中間電位化するようにしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た図5の中間電位発生回路においては、出力段52の直
列接続したnチャンネルMOSトランジスタ521及び
pチャンネルMOSトランジスタ522は、共にわずか
に導通状態とされているので、電源ノード500からグ
ランド・ノード600に、常に、電流が流れており、こ
の部分で電力が常態的に消費されている。本発明は、こ
の部分の電力消費を削減するようにした中間電位化回路
を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の中間電位化回路は、所定の弁別電圧に対し
て、出力ノードに接続する信号線の電圧レベルが、高電
位レベル電圧であるのか、あるいは、低電位レベル電圧
であるのかを弁別して、弁別信号を生成するモニタ回路
と、ドレインが電源ノードに接続され、ソースが前記出
力ノードに接続された第1のnチャンネル・トランジス
タと、ドレインが接地ノードに接続され、ソースが前記
出力ノードに接続された第2のpチャンネル・トランジ
スタと、前記モニタ回路の弁別信号及び外部入力ノード
から入力される許可信号とから、前記第1のnチャンネ
ル・トランジスタのゲートに与える第1の制御信号を、
前記第2のpチャンネル・トランジスタのゲートに与え
る第2の制御信号を生成する制御回路とを備え、前記制
御回路は、前記許可信号が能動レベルの場合に、前記モ
ニタ回路の弁別信号が、前記信号線の電圧が高電位レベ
ル電圧であることを弁別するときには、前記第1及び第
2の制御信号を低電位レベルとし、前記モニタ回路の弁
別信号が、前記信号線の電圧が低電位レベル電圧である
ことを弁別するときには、前記第1及び第2の制御信号
を高電位レベルとして、前記第1及び第2のトランジス
タを導通・非導通状態に制御し、前記許可信号が非能動
レベルの場合には、前記第1の制御信号を低電位レベル
に、前記第2の制御信号を高電位レベルとして、前記第
1及び第2のトランジスタを共に非導通状態に制御する
ようにしている。
【0009】また、前記の信号線がメモリ回路のメモリ
・セルに接続されるディジット線、あるいは、センス・
アンプ/メイン・アンプに接続される入出力線であり、
前記の許可信号が前記メモリ回路の行選択信号(ワード
線)が非活性期間であることを示す信号、あるいは、前
記メモリ回路の列選択信号が非活性期間であることを示
す信号である場合に、本願発明の中間電位化回路を採用
するようにしている。
【0010】また、前記モニタ回路が、電源電圧レベル
と接地線電圧レベルとの中間電圧レベルを弁別電圧とし
て、前記信号線の電圧レベルを高電位レベル電圧か低電
位レベル電圧のいずれかに弁別するものであり、前記第
1のnチャンネル・トランジスタ及び前記第2のpチャ
ンネル・トランジスタのしきい値電圧を前記弁別電圧よ
り高いレベルの電圧値に設定するようにしている。
【0011】また、前記モニタ回路が、前記信号線の電
圧レベルを弁別する弁別回路としてインバータ回路を使
用するものであり、前記インバータ回路のしきい値電圧
を弁別電圧とし、前記しきい値電圧を、電源ノードの電
圧レベルと接地ノードの電圧レベルとの中間電圧レベル
に設定するようにしている。
【0012】さらに、前記制御回路が、前記モニタ回路
の弁別信号と、前記許可信号との論理積をとる論理積回
路(AND回路)により前記第1の制御信号を生成し、
また、前記モニタ回路の弁別信号と、前記許可信号の反
転信号との論理和をとる論理和回路(OR回路)により
前記第2の制御信号を生成するようにしている。
【0013】あるいは、前記制御回路が、前記モニタ回
路の弁別信号の伝達・非伝達を前記許可信号により制御
するトランスファー・ゲート回路と、前記トランスファ
ー・ゲート回路の出力をラッチするラッチ回路を備え、
前記ラッチ回路が2個のインバータ回路をリング状に接
続した構成であり、前記ラッチした弁別信号と、前記許
可信号の反転信号との否定論理和をとる否定論理和回路
(NOR回路)により前記第1の制御信号を生成し、ま
た、前記ラッチした弁別信号と、前記許可信号との否定
論理積をとる否定論理積回路(NAND回路)により前
記第2の制御信号を生成するようにしている。
【0014】また、前記中間電位化回路をCMOSプロ
セスにより製造するようにしている。
【0015】また、中間電位化回路を内蔵する半導体メ
モリ装置に、前記中間電位化回路を採用するようにして
いる。
【0016】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、以
下に図面を参照して説明する。
【0017】図1は、本発明の第1の実施の形態の中間
電位化回路の構成を説明する回路図である。
【0018】図1において、本願発明の第1の実施の形
態の中間電位化回路は、所定の弁別電圧に対して、出力
ノード10に接続された信号線400の電圧レベルが、
高電位レベル電圧であるのか、あるいは、低電位レベル
電圧であるのかを弁別して、弁別信号21を生成するモ
ニタ回路2と、ドレインが電源ノード100に接続さ
れ、ソースが前記出力ノード10に接続された第1のn
チャンネル・トランジスタ11と、ドレインが接地ノー
ド200に接続され、ソースが前記出力ノード10に接
続された第2のpチャンネル・トランジスタ12と、前
記モニタ回路2の弁別信号21及び外部入力ノード30
から入力される許可信号39とから、前記第1のnチャ
ンネル・トランジスタ11のゲートに与える第1の制御
信号31、及び、前記第2のpチャンネル・トランジス
タ12のゲートに与える第2の制御信号32を生成する
制御回路3とを備えている。
【0019】前記制御回路3は、前記許可信号39が能
動レベルの場合(正論理回路であれば、論理レベル
「1」の場合)に、前記モニタ回路2の弁別信号21
が、前記出力ノード10に接続された前記信号線400
の電圧が高電位レベル電圧であることを弁別するときに
は、前記第1及び第2の制御信号31・32をともに低
電位レベルにして、前記第1のnチャンネル・トランジ
スタ11を非導通状態に、前記第2のpチャンネル・ト
ランジスタを導通状態にするようにし、また、前記モニ
タ回路2の弁別信号21が、前記信号線10の電圧が低
電位レベル電圧であることを弁別するときには、前記第
1及び第2の制御信号31・32をともに高電位レベル
にして、前記第1のnチャンネル・トランジスタ11を
導通状態に、前記第2のpチャンネル・トランジスタを
非導通状態にするようにして、前記第1及び第2のトラ
ンジスタ11・12を導通・非導通制御する。
【0020】また、前記制御回路3は、前記許可信号3
0が非能動レベルの場合(正論理回路の場合には、論理
レベル「0」の場合)には、前記第1の制御信号31を
低電位レベルに、前記第2の制御信号32を高電位レベ
ルとして、前記第1及び第2のトランジスタ11・12
を共に非導通状態に制御するようにしている。
【0021】ここで、前記の信号線400の電圧レベル
が高電位レベル電圧である場合の、動作について説明す
る。前述したように、この場合には、第1及び第2の制
御信号31・32がともに低電位レベルとされ、電源ノ
ード100に接続された第1のnチャンネル・トランジ
スタ11は非導通状態となり、接地ノード200に接続
された第2のpチャンネル・トランジスタ12は導通状
態となることによって、信号線400から接地ノード2
00に向けて電流が流れ、信号線400側の容量性負荷
に充電された電荷が、第2のpチャンネル・トランジス
タ12を介して接地ノード200に放電される。
【0022】文献(「アドバンスト エレクトロニクス
I−9;超LSIメモリ」培風館、1994の61ペ
ージ参照)などに記載されているように、pチャンネル
・トランジスタは充電動作は得意で、放電動作は不得意
であり、逆に、nチャンネル・トランジスタは放電動作
は得意、充電動作は不得意である。
【0023】すなわち、容量性負荷に充電された電荷
を、pチャンネル・トランジスタで放電する場合には、
出力電圧は漸近的にpチャンネル・トランジスタのしき
い値電圧Vtpに近づいてゆく。逆に、放電した容量性
負荷を、nチャンネル・トランジスタで充電する場合に
は、出力電圧は、電源ノードの電圧VDDからnチャンネ
ル・トランジスタのしきい値電圧Vtnだけ低い電圧
(VDD−Vtn)に漸近的に近づいてゆく。この様子
を、図4に模式的に示した。
【0024】したがって、前述したように、信号線40
0の電荷は、pチャンネル・トランジスタ12を介して
放電されるが、信号線400の電圧は、接地ノードの電
位からpチャンネル・トランジスタ12のしきい値電圧
Vtpだけ高い電圧レベルに漸近してゆく。
【0025】ここで、前記、モニタ回路の弁別電圧を電
源ノードの電圧と接地ノードの電圧との中間電圧レベル
の電圧、すなわち、(1/2)VDDに設定し、前記pチ
ャンネル・トランジスタ12のしきい値電圧Vtpを、
前記の弁別電圧である(1/2)VDDよりも高い電圧レ
ベルに設定すれば、信号線400の電圧レベルは、中間
電位化期間中、高電位レベル電圧と弁別されるので、信
号線400の電圧レベルは、pチャンネル・トランジス
タ12のしきい値電圧Vtpで安定化される。このと
き、第1のnチャンネル・トランジスタ11は、信号線
400の電圧が安定化する間、常に非導通状態となって
いるので、貫通電流が流れることはない。
【0026】次に、前記の信号線400の電圧レベルが
低電位レベル電圧である場合の、動作について説明す
る。前述したように、この場合には、第1及び第2の制
御信号31・32がともに高電位レベルとされ、電源ノ
ードに接続された第1のnチャンネル・トランジスタ1
1は導通状態となり、接地ノードに接続された第2のp
チャンネル・トランジスタ12は非導通状態となる。こ
れによって、電源ノード100から信号線400に向け
て電流が流れ、信号線400の容量性負荷が第1のnチ
ャンネル・トランジスタ11を介して充電される。
【0027】この場合にも、前述したように、信号線4
00は、nチャンネル・トランジスタ11を介して充電
されるが、信号線400の電圧は、電源ノードの電位か
らnチャンネル・トランジスタ11のしきい値電圧Vt
nだけ低い電圧レベル(VDD−Vtn)に漸近してゆ
く。
【0028】ここで、前記、モニタ回路の弁別電圧を電
源ノードの電圧と接地ノードの電圧との中間レベル電
圧、すなわち、(1/2)VDDに設定し、前記nチャン
ネル・トランジスタ11のしきい値電圧Vtnを、前記
の弁別電圧である(1/2)VDDよりも高い電圧レベル
に設定すれば、信号線の電圧レベルは中間電位化期間
中、低電位レベル電圧と弁別されるので、信号線の電圧
レベルは、電源ノードの電圧からnチャンネル・トラン
ジスタ11のしきい値電圧Vtnだけ低い電圧レベルで
安定化される。このとき、第2のpチャンネル・トラン
ジスタ12は、信号線400の電圧が安定化する間、常
に非導通状態となり、貫通電流が流れるということはな
い。
【0029】次に、本願発明の第2の実施の形態の中間
電位化回路について説明する。図2は、本願発明の第2
の実施の形態の中間電位化回路を説明する回路図で、図
1のモニタ回路2、制御回路3を具体的に例示してい
る。
【0030】図2において、前記モニタ回路2は、電源
ノードの電圧レベル(VDD)と接地ノードの電圧レベル
(通常は0ボルト)との中間電圧レベル(1/2)VDD
を弁別電圧として、前記信号線400の電圧レベルを高
電位レベル電圧か低電位レベル電圧かのいずれかに弁別
するインバータ回路20で構成している。さらに、前記
第1のnチャンネル・トランジスタ11のしきい値電圧
Vtn及び前記第2のpチャンネル・トランジスタ12
のしきい値電圧Vtpを前記中間電圧レベルである(1
/2)VDDより高いレベルの電圧値に設定するようにし
ている。
【0031】また前記制御回路3は、前記モニタ回路2
(インバータ回路20)の出力である弁別信号21(イ
ンバータ回路20の出力信号)と、前記許可信号39と
の論理積回路(AND回路)33により前記第1の制御
信号31を生成し、また、前記モニタ回路の弁別信号2
1と、前記許可信号39の反転信号との論理和回路(O
R回路)34により前記第2の制御信号32を生成する
ようにしている。
【0032】この中間電位化回路の動作は、第1の実施
の形態の中間電位化回路の説明において、述べたのと同
様である。
【0033】次に、本願発明の第3の実施の形態の中間
電位化回路について説明する。図3は、本願発明の第3
の実施の形態の中間電位化回路を説明する回路図で、図
2と大きく異なる点は、制御回路部3に、許可信号39
によって弁別信号21を伝達・非伝達するように制御さ
れるトランスファー・ゲート回路35と、前記トランス
ファー・ゲート回路から出力される弁別信号をラッチす
るように、2個のインバータ回路をリング状に接続した
ラッチ回路36を設けた点である。これに伴って、第1
の制御信号は、前記ラッチ回路から出力される弁別信号
21と許可信号39の反転信号との否定論理和をとる否
定論理和回路(NOR回路)37により生成し、第2の
制御信号は、前記ラッチ回路から出力される弁別信号2
1と許可信号39との否定論理積をとる否定論理積回路
(NAND回路)38により生成するようにしている。
【0034】このようにラッチ回路を設けることで、信
号線400の電圧が不規則に変動する場合にも、中間電
位化期間中は、弁別信号21を固定して、出力ノード1
0の電圧を安定化することができる。
【0035】前述した第2、第3の実施の形態におい
て、判別信号、あるいは、許可信号を正論理信号あるい
は負論理信号に変更して、それに応じて、前述したモニ
タ回路あるいは制御回路の論理回路の構成を変更しても
よいことは当然である。
【0036】また、前記中間電位化回路を、通常のCM
OSプロセスにより製造することは容易に可能である。
【0037】また、中間電位化回路を内蔵するようにし
た半導体メモリ装置に、本願発明の中間電位化回路を採
用することは容易に可能である。
【0038】
【発明の効果】以上のように、本願発明の中間電位化回
路は、弁別電圧を(1/2)VDDに設定したモニタ回路
と、しきい値電圧を前記弁別電圧よりも大きな電圧値に
設定した第1のnチャンネル・トランジスタを充電経路
に、しきい値電圧を前記弁別電圧よりも大きな電圧値に
設定した第2のpチャンネル・トランジスタを放電経路
に使用するようにし、また、信号線の電圧レベルを、モ
ニタ回路により、これらのトランジスタのゲート電圧を
制御する制御信号にフィードバックするようにしたの
で、貫通電流が発生せず、消費電力が削減された、ま
た、出力が安定した中間電位化回路を提供できるという
効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の中間電位化回路を
説明する回路図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態の中間電位化回路を
説明する回路図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態の中間電位化回路を
説明する回路図である。
【図4】pチャンネル・トランジスタ、nチャンネル・
トランジスタにより容量性負荷を放電、充電する場合の
電圧変動を示す図である。
【図5】特開平8−171432号公報に記載された、
従来の中間電位発生回路を説明する回路図である。
【符号の説明】
1 中間電位化回路 2 モニタ回路 3 制御回路 10 出力ノード 11 nチャンネル・トランジスタ 12 pチャンネル・トランジスタ 21 弁別信号 30 外部入力ノード 31 第1の制御信号 32 第2の制御信号 33 論理積回路(AND回路) 34 論理和回路(OR回路) 35 トランスファー・ゲート回路 36 ラッチ回路 37 否定論理和回路(NOR回路) 38 否定論理積回路(NAND回路) 39 許可信号 54 出力ノード 100 電源ノード 200 接地ノード 400 信号線 500 電源ノード 501、503、522 pチャンネルMOSトラン
ジスタ 502、504、521 nチャンネルMOSトラン
ジスタ 550 基準電位発生段 552 出力段 600 グランド・ノード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−69691(JP,A) 特開 平2−1615(JP,A) 特開 平4−38012(JP,A) 特開 平6−29805(JP,A) 特開 平7−57478(JP,A) 特開 平9−212247(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03K 17/00 - 17/70

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 接地線との間に容量性負荷を有する信号
    線について、前記信号線が活性化されているとき、その
    活性化電圧レベルに応じて、前記容量性負荷が高電位に
    充電され、あるいは、低電位に放電された状態の前記信
    号線を、前記信号線が不活性のときに、前記信号線を中
    間電位化する中間電位化回路において、前記中間電位化
    回路は、所定の弁別電圧に対して、出力ノードに接続さ
    れる前記信号線の電圧レベルが、高電位レベル電圧であ
    るのか、あるいは、低電位レベル電圧であるのかを弁別
    して、弁別信号を生成するモニタ回路と、ドレインが電
    源ノードに接続され、ソースが前記出力ノードに接続さ
    れた第1のnチャンネル・トランジスタと、ドレインが
    接地ノードに接続され、ソースが前記出力ノードに接続
    された第2のpチャンネル・トランジスタと、前記モニ
    タ回路の弁別信号及び外部入力ノードから入力される許
    可信号とから、前記第1のnチャンネル・トランジスタ
    のゲートに与える第1の制御信号、及び、前記第2のp
    チャンネル・トランジスタのゲートに与える第2の制御
    信号を生成する制御回路とを備え、前記制御回路は、前
    記許可信号が能動レベルの場合に、前記モニタ回路の弁
    別信号が、前記信号線の電圧が高電位レベル電圧である
    ことを弁別するときには、前記第1及び第2の制御信号
    をともに低電位レベルとして、前記第1のnチャンネル
    ・トランジスタを非導通状態、前記第2のpチャンネル
    ・トランジスタを導通状態とし、前記モニタ回路の弁別
    信号が、前記信号線の電圧が低電位レベル電圧であるこ
    とを弁別するときには、前記第1及び第2の制御信号を
    ともに高電位レベルとして、前記第1のnチャンネル・
    トランジスタを導通状態、前記第2のpチャンネル・ト
    ランジスタを非導通状態とするようにして、前記第1及
    び第2のトランジスタを導通・非導通制御し、前記許可
    信号が非能動レベルの場合には、前記第1の制御信号を
    低電位レベルに、前記第2の制御信号を高電位レベルと
    して、前記第1及び第2のトランジスタを共に非導通状
    態に制御するものであることを特徴とする中間電位化回
    路。
  2. 【請求項2】 前記の信号線がメモリ回路のメモリ・セ
    ルに接続されるディジット線であり、前記の許可信号が
    前記メモリ回路の行選択信号(ワード線)が非活性期間
    であることを示す信号であることを特徴とする請求項1
    記載の中間電位化回路。
  3. 【請求項3】 前記の信号線がメモリ回路のセンス・ア
    ンプあるいはメイン・アンプに接続される入出力線であ
    り、前記の許可信号が前記メモリ回路の列選択信号線が
    非活性期間であることを示す信号であることを特徴とす
    る請求項1記載の中間電位化回路。
  4. 【請求項4】 前記モニタ回路が、電源ノードの電圧レ
    ベルと接地ノードの電圧レベルとの中間電圧レベル(平
    均値電圧レベル)を弁別電圧として、前記信号線の電圧
    レベルを高電位レベル電圧、低電位レベル電圧のいずれ
    かに弁別するものであり、前記第1のnチャンネル・ト
    ランジスタ及び前記第2のpチャンネル・トランジスタ
    のしきい値電圧を前記弁別電圧より高いレベルの電圧値
    に設定するようにしたものであることを特徴とする請求
    項1、2または3記載の中間電位化回路。
  5. 【請求項5】 前記モニタ回路が、前記信号線の電圧レ
    ベルを弁別する弁別回路としてインバータ回路を使用す
    るものであり、前記インバータ回路のしきい値電圧を弁
    別電圧とし、前記しきい値電圧を、電源ノードの電圧レ
    ベルと接地ノードの電圧レベルとの中間電圧レベルに設
    定するものであることを特徴とする請求項1、2、3ま
    たは4記載の中間電位化回路。
  6. 【請求項6】 前記制御回路が、前記モニタ回路の弁別
    信号と、前記許可信号との論理積をとる論理積回路(A
    ND回路)により前記第1の制御信号を生成し、また、
    前記モニタ回路の弁別信号と、前記許可信号の反転信号
    との論理和をとる論理和回路(OR回路)により前記第
    2の制御信号を生成するものであることを特徴とする請
    求項5記載の中間電位化回路。
  7. 【請求項7】 前記制御回路が、前記モニタ回路の弁別
    信号の伝達・非伝達を前記許可信号により制御するトラ
    ンスファー・ゲート回路と、前記トランスファー・ゲー
    ト回路の出力をラッチするラッチ回路を備え、前記ラッ
    チ回路が2個のインバータ回路をリング状に接続した構
    成であり、前記ラッチした弁別信号と、前記許可信号の
    反転信号との否定論理和をとる否定論理和回路(NOR
    回路)により前記第1の制御信号を生成し、また、前記
    ラッチした弁別信号と、前記許可信号との否定論理積を
    とる否定論理積回路(NAND回路)により前記第2の
    制御信号を生成するようにしたものであることを特徴と
    する請求項5記載の中間電位化回路。
  8. 【請求項8】 前記中間電位化回路をCMOSプロセス
    により製造するようにしたことを特徴とする請求項1、
    2、3、4、5、6または7記載の中間電位化回路。
  9. 【請求項9】 請求項1、2、3、4、5、6、7また
    は8記載の中間電位化回路を内蔵した半導体メモリ装
    置。
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