JP3459710B2 - 触針式プローブ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学素子、例えば
反射鏡やレンズ等の表面形状の測定に用いられる触針子
プローブ（接針式プローブとも称される）に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図８は例えば特開平０５−０６０５４２
号公報に記載された従来の触針式プローブを示す構成図
である。同図において、１は触針子２の一端に取付けら
れている真球（マスターボール）である。触針子２は断
面が正方形の角柱より成り、その４つの面は微小な隙間
１２を介して多孔質材１３に対向している。この多孔質
材１３はハウジング３の内周部に固定されており、触針
子２と対向する面と反対側には圧縮空気を導くための溝
４が形成され、この溝４にチューブ１４を介して圧縮空
気が送り込まれるようになっている。

【０００３】上記触針子２の真球１を設けた一端と反対
側の上部（他端）には、センサーターゲット部材５が取
り付けられている。そして、触針子２の上下方向（１軸
方向）２ａの変位を測定する非接触式の変位センサー
（例えば静電容量変化を検出するもの等）１０と１軸方
向と直交する横方向の変位を測定するための非接触変位
センサー１７とがハウジング３の一部に固定配置してあ
る。１０１は触針式プローブの全体構成を示す。

【０００４】上記構成において、チューブ１４を通じて
圧縮空気供給源（不図示）からの圧縮空気を、多孔質材
１３を介して隙間１２に吹き出すことにより、静圧空気
軸受を形成して触針子２を上下方向（１軸方向）にのみ
移動自在に支持している。この支持状態において、真球
１が被測定面１８に当接したとき、この被測定面１８か
ら受ける力としては、被測定面１８の法線方向に作用す
る押し付け力Ｆ１と接線方向に作用する摩擦力Ｆ２とが
あり、触針子２はこれらの力の合力を受け、その１軸方
向２ａの力による上下方向変位を変位センサー１０で測
定する。そして、横方向の力によって生じるプローブシ
ャフトの傾きは横方向の変位センサー１７で測定する。
ここで、プローブシャフトとは、真球１、触針子２およ
びセンサーターゲット部材５の総体である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例では、触針子（以下、プローブと称する）が被測
定面（以下、ワークと称する）に接触していない時の上
下方向の振動が大きいため、次の課題があり、精度の高
い表面形状の測定ができなかった。 （１）プローブとワークとの接触検出の困難 プローブがワークと接触したかどうかを検出するため、
プローブシャフトの変位を常に監視する必要があるが、
このプローブシャフトが上下に激しく振動すると、その
検出ができない。そのため、プロープがワークに激しく
衝突するおそれがあった。 （２）接触力のゼロ点検出の困難 プローブシャフトの上下方向の動きに対し、復元力を持
つばねでプローブシャフトの自重を支える構成の場合、
接触力のゼロ点は自重がばねの発生する復元力と釣り合
うプローブ位置である。しかし、プローブシャフトが上
下に激しく振動していると、その検出ができない。その
ため、接触力を精度良く制御することができず、形状測
定の不安定要因となった。

【０００６】本発明は上記のような従来の課題を解消す
るためになされたもので、第１にプローブシャフトの上
下方向の振動を小さくすることを目的とする。第２にプ
ローブとワークの接触形態を正しく、迅速に判断できる
ようにすることを目的とする。第３にプローブとワーク
の接触力のゼロ点の精度を向上させることを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決する為の手段】請求項1の発明の触針式プ
ローブは触針子先端に設けた真球を一定の押し付け力で
被測定物面に接触させながら表面形状をなぞり、その触
針子の１軸方向の変位をハウジングに設けた変位センサ
ーで検出して被測定物面の形状を測定する触針式プロー
ブにおいて、前記触針子を１軸方向に移動可能にハウジ
ングに支持する平行板ばねと、該平行板ばねと該ハウジ
ングとの間に配置され、該平行板ばねと接触する、前記
触針子に対し１軸方向に作用する粘性流体とを用いた振
動減衰機構を備えたことを特徴としている。 請求項２の
発明は、請求項１の発明において前記平行板ばねと接触
するハウジング面には溝部が形成されており、該溝部に
前記粘性流体が充填されている事を特徴としている。

【０００８】

【０００９】

【００１０】

【００１１】

【００１２】

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
について説明する。

【００１４】実施の形態例１ 図１、図２、図３、図４は本発明の特徴を最もよく表す
図面であり、同図において、１は真球ホルダー１５に接
着固定された真球であり、この真球ホルダー１５は触針
子２の一端にセットビス１６を用いて取付けられてい
る。触針子２は断面が正方形の角柱より成り、その４つ
の面は微小な隙間１２を介して多孔質材１３と対向して
いる。この対向質材１３はハウジング３の内周部に固定
されており、触針子２と対向する面と反対側には圧縮空
気を導くための溝４が形成され、この溝４にチューブ１
４を介して圧縮空気が送り込まれるようになっている。

【００１５】上記の触針子２の真球１を設けた一端とは
反対側の上部（他端）には、センサーターゲット部材５
が取り付けられている。そして、触針子２の上下方向
（１軸方向）２ａの変位を測定する非接触式の変位セン
サー（例えば静電容量変化を検出するもの等）１０と１
軸方向と直交する横方向の変位を測定するための非接触
変位センサー１７とが、上記センサーターゲット部材５
に対向してハウジング３の一部に固定配置されている。

【００１６】また、センサーターゲット部材５には触針
子２やセンターターゲット５などの自重を支えるための
ばね６の一端が取り付けられており、このばね６の他端
はばね取付部材７に固定され、スペーサー８を介してハ
ウジング３に固定されている。したがって、スペーサー
８の厚みを適当に変化させることにより、ばね６が触針
子２やセンサーターゲット５を引っ張り上げる力を調整
することができる。さらに、センサーターゲット部材５
は下面周縁に突起部１１を有し、この突起部１１がハウ
ジング３に設けられて粘度の高いグリス２３を充填した
溝部９に非接触に挿入されている。

【００１７】この場合、溝部９に充填される材料はゴム
のような弾性を持つものであってはならない。なぜな
ら、プローブシャフトの動きを妨げる復元力を発生して
しまい、固有振動数を上げてしまう。また、ゴムのかた
さは一般的に周囲温度に大きく依存するので、環境の影
響に対して敏感になってしまうからである。

【００１８】次に上記の構成からなる実施の形態例１の
動作について説明する。チューブ１４を通じて圧縮空気
供給源（不図示）からの圧縮空気を、多孔質材１３を介
して隙間１２に吹き出すことにより、静圧空気軸受が形
成され、触針子２は上下方向２ａにのみ自由に移動でき
るように支持される。この支持状態において、真球１が
被測定面１８に当接したとき、この被測定面１８から受
ける力として、被測定面１８の法線方向に作用する押し
付け力Ｆ１と接線方向に作用する摩擦力Ｆ２とがある。
触針子２はこれらの力の合力を受け、その軸方向２ａの
力による上下方向変位は変位センサー１０で測定する。
そして、横方向の力によって生じるプローブシャフトの
傾きは横方向の変位センサー１７で測定する。

【００１９】この時、被測定面１８への接触力は真球
１、真球ホルダー１５、セットビス１６、触針子２およ
びセンサーターゲット部材５の重量からばね６の引っ張
り力を差し引いた値となる。

【００２０】ばね６の引っ張り力はばねののび量で変化
する。すなわち、プローブの位置で変化するので、これ
を一定にするため、変位センサー１０の出力を一定にす
るように、図示してない移動機構によりハウジング３を
１軸方向２ａに移動する。

【００２１】図２は実施の形態例１の力学的なモデルを
示す。図２において、真球１、真球ホルダー１５、セッ
トビス１６、触針子２およびセンサーターゲット部材５
の総体を指すプローブシャフト部分の質量をｍとし、例
えば５０ｇ程度とする。ｋ１はばね、ｋ２は接触部分の
剛性であり、ヘルツの接触理論によると比較的高い値で
ある。例えばφ５ｍｍの球をガラスに０．２ｇｆで押し
当るとき、ほぼ５００Ｎ／ｍｍである。それに対してば
ね６は中立位置からのずれが押し付け力となるので、弱
い方が高精度に押し付け力を制御できるため好ましく、
例えば１Ｎ／ｍｍである。

【００２２】したがって、真球１が被測定面１８に接触
している場合は固有振動数が高く、被測定面１８の形状
によく追従するが、真球１が被測定面１８から離れてい
る場合、ばねｋ１がないので、固有振動数は極端に低下
する。上記の例では約２２Ｈｚとなる。このため、ひと
たび外乱がはいると、図３（ａ）に示すように、周期が
長く、振幅の大きい振幅となるが、溝部９、突起部１
１、グリス２３からなる粘性ダンパの振動減衰機構によ
り、図３（ｂ）のようにすぐに減衰する。この結果、プ
ローブシャフトの上下方向の振動を小さくすることがで
きる。

【００２３】図４は接触状態を測定する電気回路図であ
る。プローブシャフトの上下位置を測定する変位センサ
ー１０の出力電圧ｅ１をローパスフィルタ１９に導き、
このローパスフィルタ４１の出力電圧と接触状態を判定
する変位量を表す電圧ｖ０とを比較回路４２で比較し、
その結果を電圧ｅ２として出力する。この時、上記変位
センサー１０の出力電圧ｅ１に周波数の低いノイズが入
ると、その電圧信号はローパスフィルタ４１を容易に通
過し、比較回路４２を反転させる外乱となってしまう。
このような状態ではワークとの接触状態を監視できず、
場合によっては触針子２と被測定面１８との衝突も考え
られ、危険である。

【００２４】また、ローパスフィルタ１９のカットオフ
周波数を下げて対処すると、触針子２が被測定面１８に
接触して比較回路４２から電圧ｅ２が出力されるまでに
時間がかかるので、やはり好ましくない。

【００２５】しかるに、実施の形態例１のように振動減
衰機構を設け、ｋ２が低く、従って固有振動数が低くて
も減衰性能を向上させることにより、周波数の低いノイ
ズを低減させ、安定な接触状態の検出が可能となる。

【００２６】また、同じように中立位置、すなわちプロ
ーブシャフトの重量とばね６の引っ張り力の釣合位置も
振動が少ないので精度よく測定することができる。従っ
て、接触力のゼロ点の精度が向上するので、接触力の精
度が増し、測定精度も向上する。

【００２７】実施の形態例２ 図５は実施の形態例２に示す構成図であり、図５におい
て、１は真球ホルダー１５に接着固定された真球であ
り、この真球ホルダー１５は触針子２の一端にセットビ
ス１６を用いて取付けられている。ハウジング３の穴３
ｃには、スリーブ２１を嵌め、この穴３ｃの上下端面に
当接させて位置決めした板ばね１９をネジ２０でハウジ
ング３にネジ止めする。しかる後、触針子２を下側から
鍔部２ｂが板ばね１９に当接するまでスリーブ２１に通
し、この触針子２の上端に設けた雄ネジ２ａにセンサー
ターゲット５の雌ネジ５ａをネジ止めすることにより、
全体を一体的に組付ける。この結果、真球１、真球ホル
ダー１５、セットビス１６、触針子２およびセンサータ
ーゲット部材５の総体であるプローブシャフトは平行板
ばね１９の変形で１軸方向２ａにガイドされることにな
る。

【００２８】この時、プローブシャフトは、自重と平行
板ばね１９の復元力が釣り合う位置に移動する。その中
立位置からの移動量を変位センサー１０で測定し、その
値を一定にするように図示してない移動機構によりハウ
ジング３を１軸方向２ａに移動する。

【００２９】上記１軸方向２ａと直交する横方向の変位
を測定するための非接触変位センサー１７がハウジング
３の一部に固定配置してある。また、上部の板ばね１９
が接触するハウジング面には溝部２２が設けてあり、板
ばね１９との間の溝部２２にグリス２３を充填し、ダン
パとしての振動減衰機構を構成している。

【００３０】次に上記の構成からなる実施の形態例２の
動作について説明する。真球１が被測定面１８から受け
る力としては被測定面１８の法線方向に作用する押し付
け力Ｆ１と接線方向に作用する摩擦力Ｆ２とがある。触
針子２はこれらの力の合力を受け、その１軸方向２ａの
力による上下方向変位はセンサー１０で測定する。そし
て横方向の力によって生じるプローブシャフトの傾きを
横方向の変位センサー１７で測定する。

【００３１】この実施の形態例２においては、前記の実
施の形態例１の場合と同様、グリスを用いた振動減衰機
構が付加されているので、プローブの上下方向の振動振
幅を小さくすることができる。従って、接触位置の検出
も安定して可能になり、接触力のゼロ点も安定するので
高い精度の測定が可能になる。

【００３２】また、本実施の形態例２における特有な効
果として、プローブシャフトのガイドに板ばね１９、２
０を用いているので、実施の形態例１に比べて構造が簡
単である。従って、小型化できるし、低コストに製作で
きる。

【００３３】実施の形態例３ 図６は実施の形態例３を示す構成図であり、１は真球ホ
ルダー１５に接着固定された真球であり、この真球ホル
ダー１５は触針子２の一端にセットビス１６を用いて取
付けられている。そして、触針子２、センサーターゲッ
ト５、ハウジング３は一塊の材料から例えばワイヤー放
電加工により一体的に製作されている。この製作時、ハ
ウジング３にくびれ部２４を８箇所製作し、ヒンジ機構
を構成する。このヒンジ機構により、触針子２は１軸方
向２ａにガイドされることになる。

【００３４】この時、触針子２は、自重とハウジング３
の平行板ばね部３ａ、３ｂの復元力が釣り合う位置に移
動する。その中立位置からの移動量を変位センサー１０
で測定し、その値を一定にするように図示してない移動
機構によりハウジング３を１軸方向２ａに移動する。

【００３５】また、１軸方向２ａと直交する横方向の変
位を測定するための非接触変位センサー１７がハウジン
グ３の一部に固定配置してある。上記平行板ばね部３ａ
とハウジング３のヒンジ機構の隙間にグリス２３を充填
し、ダンパとしての信号減衰機構を構成している。

【００３６】次に上記の構成からなる実施の形態例３の
動作について説明する。真球１が被測定面１８から受け
る力としては、被測定面１８の法線方向に作用する押し
付け力Ｆ１と接線方向に作用する摩擦力Ｆ２とがある。
触針子２はこれらの力の合力を受け、その１軸方向２ａ
の力による上下方向変位は変位センサー１０で測定す
る。そして横方向の力によって生じるプローブシャフト
の傾きは横方向の変位センサー１７で測定する。

【００３７】この実施の形態例３においては、前記の実
施の形態例１の場合と同様、グリス２３を用いた振動減
衰機構が付加されているので、プローブの上下方向の振
動振幅を小さくすることができる。従って、接触位置の
検出も安定して可能になり、接触力のゼロ点も安定する
ので高い精度の測定が可能になる。

【００３８】また、本実施の形態例３における特有な効
果として、主要な構成要素を一塊の材料から製作してい
るため、前記実施の形態例２に比べてさらに構造が簡単
であり、さらに小型化できる。また、ハウジング、触針
子等はつなぎめがなく一体であるので、周囲温度変化に
より、熱膨張が一様で、熱影響を受けにくい。つまり、
異種金属の組合せは熱膨張係数の差により大きな熱歪を
生じる。また、この材料を線熱膨張係数の低い材料に選
べば、さらに、環境温度の影響を排除することができ
る。

【００３９】実施の形態例４ 図７は実施の形態例４を示す構成図であり、図７におい
て、１は真球ホルダー１５に接着固定された真球であ
り、この真球ホルダー１５は触針子２の一端にセットビ
ス１６を用いて取付けられている。触針子２はその断面
が正方形の角柱よりなり、その４つの面は微小な隙間１
２を介してエアーベアリングを構成する多孔質材１３に
対向している。この多孔質材１３ハウジング３の内周部
に固定されており、触針子２と対向する面と反対側には
圧縮空気を導くための溝４が形成され、この溝４にチュ
ーブ１４を介して圧縮空気が送り込まれるようになって
いる。

【００４０】上記触針子２の真球１を設けた一端とは反
対側の上部（他端）には、センサーターゲット部材５が
取り付けられている。そして、触針子２の上下方向（１
軸方向）２ａの変位を測定する例えば静電容量変化を検
出する非接触式の変位センサー１０と１軸方向２ａと直
交する横方向の変位を測定するための非接触変位センサ
ー１７とが、上記センサーターゲット部材５に対向して
ハウジング３の一部に固定配置されている。

【００４１】また、センサーターゲット部材５にはボイ
スコイル型リニアモータＬＭの可動子であるコイル２８
が取り付けられており、このリニアモータＬＭの固定子
は図で上下方向に着磁した磁石２７と該磁石を挟む２つ
のヨーク２５、２６からなっており、ハウジング３に固
定されている。

【００４２】触針子２の上下位置はハウジング３に固定
された変位センサー１０で測定し、触針子２の横方向の
位置はハウジング３に固定された変位センサー１７で測
定する。上記変位センサー１０の出力はアンプ３０で信
号レベルｅ１に整えた後、ｅ１を微分回路３２に導いて
定数ｋ倍し、微分する。また、ある一定の電圧ｖ０を発
生する定電圧回路３１を設け、両回路３１、３２の出力
を加算回路３３で加算して電圧ｅ０を出力する。この出
力電圧ｅ０をリニアモータＬＭの駆動回路としてのドラ
イバーアンプ３４に供給し、このドライバーアンプ３４
から上記出力電圧ｅ０に比例した電流を発生させ、ケー
ブル２９を通してリニアモータＬＭのコイル２８に供給
する構成である。

【００４３】次に上記の構成からなる実施の形態例４の
動作について説明する。チューブ１４を通じて圧縮空気
供給源（不図示）からの圧縮空気を、多孔質材１３を介
して隙間１２に吹き出すことにより、静圧空気軸受が形
成され、触針子２は上下方向２ａにのみ自由に移動でき
るように支持される。この支持状態において、真球１が
被測定面１８に当接したとき、この被測定面１８から受
ける力として、被測定面１８の法線方向に作用する押し
付け力Ｆ１と接線方向に作用する摩擦力Ｆ２とがある。
触針子２はこれらの力の合力を受け、その軸方向ａの力
による上下方向変位は変位センサー１０で測定する。そ
して、横方向の力によって生じるプローブシャフトの傾
きは横方向の変位センサー１７で測定する。

【００４４】また、この時、一定電圧ｖ０を適当に選択
し、加算回路３３でリニアモータＬＭの出力に対応する
電圧ｅ０を得る構成により所望の接触力を得ることがで
きる。また、微分回路３２で適当な倍率ｋを掛け、微分
し、加算回路３３でリニアモータＬＭの出力に対応する
電圧ｅ０を得る構成により、触針子２の移動速度に比例
した力が該触針子にかかる。この速度に比例した力はす
なわち粘性のことであり、粘性流体を用いたダンパと同
じ効果をもたらす。

【００４５】この実施の形態例４においては、前記実施
の形態例１の場合と同様、振動減衰機構が付加されるの
で、プローブの上下方向の振動振幅を小さくすることが
できる。従って、接触位置の検出も安定して可能にな
り、接触力のゼロ点も安定するので高い精度の測定が可
能になる。

【００４６】また、本実施の形態例４における特有な効
果として、リニアモータＬＭに加える電圧を調整するこ
とにより（一定電圧ｖ０を調整）、容易に接触力を変化
させることができる。また、粘性力の強さも微分回路の
倍率ｋを変えることにより同様に変更可能である。

【００４７】

【発明の効果】以上のように請求項１記載の発明によれ
ば、触針子に対し１軸方向に作用する粘性流体を用いた
振動減衰機構を備えた構成としたので、非接触時のプロ
ーブの振動を押さ小さくすることができる。

【００４８】請求項２記載の発明によれば、触針子に対
し１軸方向に作用する粘性流体を用いた振動減衰機構
と、前記変位センサーからの出力電圧を入力するローバ
スフィルタと、このローパスフィルタの出力電圧と接触
状態を判定する変位量を表す電圧とを比較する接触状態
の検出手段を備えた構成としたので、プローブの振動を
押え、被測定物との接触状態の検出が簡単な構成ででき
る。また、接触力の原点の検出精度を向上させ、接触力
の精度、そして形状測定精度を向上させることができ
る。

【００４９】請求項３記載の発明によれば、１軸方向に
移動可能となるようにエアーベアリングを介してハウジ
ングに設けた触針子の自重をキャンセルする引っ張りば
ねと、前記触針子に対し１軸方向に作用する粘性流体を
用いた振動減衰機構を備えた構成としたので、簡単な構
成で非接触時のプローブの振動を押さえることができ
る。また、エアーベアリングを用いてプローブを非接触
に支持するため小さな接触力の設定が可能である。

【００５０】請求項４記載の発明によれば、触針子を１
軸方向に移動可能にハウジングに支持する平行板ばね
と、前記触針子に対し１軸方向に作用する粘性流体を用
いた振動減衰機構を設けた構成としたので、簡単な構成
で非接触時のプローブの振動を押えることができる。ま
た、平行板ばねを用いてプローブを支持しているため、
安価にまた、小型に製作できる。

【００５１】請求項５記載の発明によれば、触針子を１
軸方向に移動可能にハウジングに支持するヒンジ機構を
用いたガイドを該ハウジングとともに一体で設け、この
ヒンジ機構の隙間に前記触針子に対し１軸方向に作用す
る粘性流体を用いた振動減衰機構を設けた構成としたの
で、簡単な構成で非接触時のプローブの振動を押さえる
ことができる。また、ヒンジ機構を用いてプローブを構
成するため、小型化が可能である。しかも、一塊の材料
からつなぎめなく製作するので、環境温度に対して熱影
響を受けにくい効果がある。

【００５２】請求項６記載の発明によれば、１軸方向に
移動可能にエアーベアリングを介してハウジングに支持
した触針子に力を加えるリニアモータと、前記変位セン
サーからの出力電圧を定数倍し、微分する微分回路と、
一定電圧を発生する回路、この両回路の出力電圧を加え
合わせる加算回路と、この加算回路の出力電圧に比例し
た力を前記リニアモータに発生させる駆動回路とを備え
た構成としたので、簡単な構成で非接触時のプローブの
振動を押さえることができる。また、リニアモータの発
生する力を制御することにより、減衰力および、接触力
を所望の値に設定することが容易にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態例１による触針式プローブ
を示す縦断面図。

【図２】上記実施の形態例１による触針式プローブの振
動モデルを説明する図。

【図３】上記実施の形態例１による触針式プローブの振
動減衰特性を説明する図。

【図４】上記実施の形態例１による触針式プローブの接
触状態検出回路を説明する図。

【図５】本発明の実施の形態例２による触針式プローブ
を示す縦断面図。

【図６】本発明の実施の形態例３による触針式プローブ
を示す縦断面図。

【図７】本発明の実施の形態例４による触針式プローブ
を示す縦断面図。

【図８】従来の触針式プローブを示す縦断面図。

【符号の説明】

１ 真球 ２ 触針子 ３ ハウジング １０、１７ 非接触式変位センサー（変位センサ） １３ 多孔質材（エアーベアリング） １８ ワーク（被測定面） １９ 板ばね（平行板ばね） ２３ グリース（粘性流体） ２４ ヒンジのくびれ部（ヒンジ機構） ３１ 定電圧回路 ３２ 微分回路（定数ｋ倍し、微分する） ３３ 加算回路 ３４ ドライバーアンプ（駆動回路） ４１ ローパスフィルタ ４２ 比較回路（検出手段） ＬＭ リニアモータ

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−60542（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−87551（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−31710（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−98114（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−258008（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−47502（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−50904（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−90810（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−61506（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−51206（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 21/00 G01B 7/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 触針子先端に設けた真球を一定の押し付
   け力で被測定物面に接触させながら表面形状をなぞり、
   その触針子の１軸方向の変位をハウジングに設けた変位
   センサーで検出して被測定物面の形状を測定する触針式
   プローブにおいて、前記触針子を１軸方向に移動可能に
   ハウジングに支持する平行板ばねと、該平行板ばねと該
   ハウジングとの間に配置され、該平行板ばねと接触す
   る、前記触針子に対し１軸方向に作用する粘性流体とを
   用いた振動減衰機構を備えたことを特徴とする触針式プ
   ローブ。
2. 【請求項２】 前記平行板ばねと接触するハウジング面
   には溝部が形成されており、該溝部に前記粘性流体が充
   填されている事を特徴とする請求項１に記載の触針式プ
   ローブ。