JP3459473B2 - リードフレームのクリーニング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ、トランジス
タ、ダイオード、ＬＥＤ、タンタル・コンデンサ等（以
下単に電子部品という）のリードフレームを清掃するた
めのクリーニング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記電子部品は、例えば図７で示すよう
に、リードフレーム６０上に絶縁性樹脂でモールドさ
れ、このモールドされた電子部品６１の一側からリード
フレーム６０と一体に形成された複数本のリード６２が
ダム部６３を介して出ている。ところで、上記リードフ
レーム６０には、破線で示すようにモールド処理に際し
てモールド樹脂による薄膜状のバリ６５ができる。この
薄膜状のバリ６５は、リード６２にハンダやメッキ等を
のりにくくさせる。また、後工程においてダム部６３を
ダム抜き金型でプレス切断するが、モールド樹脂には強
固剤等が混入されているため、バリ６５が付着したまま
で当該ダム部６３を切断すると金型が早期に摩耗する。

【０００３】そこで、モールド処理の後工程として、上
記リード６２やダム部６３（以下、これらをリード部分
６２ａと総称する）に付着した薄膜状のバリ６５を除去
することが必要になる。このような装置としては、従来
より例えば、ドライ・デフラッシャーあるいはウエット
・デフラッシャーと称する装置が知られている。ドライ
・デフラッシャーは、乾燥したアルミ粒子、ガラス粒
子、あるいは研磨材粒子等（以下単に研磨材粒子とい
う）を、ウエット・デフラッシャーは水を多量に含んだ
研磨材粒子を、それぞれリード部分６２ａに向けて強力
に噴射させて薄膜状のバリ６５を除去するように構成さ
れている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ド
ライ・デフラッシャーの場合は、研磨材粒子の粒度分布
に偏りが生じ易く、粒子の大きいものはリード隙間に詰
まり易い。特に最近では電子部品６１のリード間ピッチ
Ｐが約０.３mm（リード幅０.１８mm、隙間０.１２mm)と
狭くなり、粒子の小さいものを用いることが必要にな
る。しかし、粒子の小さい研磨材は薄膜状のバリ６５を
除去するのに十分な噴射衝突力が得られない。このため
リードフレームのバリを除去するのに時間がかかる。

【０００５】一方、ウエット・デフラッシャーの場合
は、上記のような問題はないが、水を多量に使用するた
め、機械の構成が複雑で大掛かりになるうえ、電力消費
量も多くなり、機械の腐食対策や水の後処理のためにコ
ストが大変高くつく。また、両方とも研磨材粒子を噴射
させる構造であるから、研磨材粒子の噴射領域が拡がっ
てモールドされた電子部品６１のパッケージ表面が荒ら
される。これを防止するには、そのパッケージ表面をマ
スキングして保護する必要がある。そのうえ、研磨材粒
子の消費量も多くなり、ランニングコストが高くつく。
しかも、研磨材粒子の摩耗埃が飛散してクリーンルーム
とはほど遠い劣悪な環境となる。このため、前段のモー
ルド工程と本工程（薄膜状のバリ除去及び清掃工程）と
を一連の工程としてつなげることはできなかった。

【０００６】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、 機械の構成を簡素にして、電力消費量も少なく、機
械の腐食対策や水の後処理を考慮する必要がなく、安価
なクリーニング装置を提供すること、 上記バリ除去・清掃工程を短時間で終了させるこ
と、 モールドされたパッケージ表面の荒れを解消しつ
つ、パッケージ表面のマスキングの必要をなくすこと、 研磨材粒子や水の使用をなくして、ランニングコス
トの大幅な低減を図ること、 研磨材の塵埃飛散による劣悪な環境を改善し、前段
工程と薄膜状バリ除去及び清掃工程とをクリーンルーム
内で一連の工程としてつなげるようにすることを技術課
題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下のように構成される。即ち、本発明に
よるリードフレームのクリーニング装置は、リードフレ
ーム６０を長手方向に搬送する搬送手段５と、この搬送
手段５により形成される搬送路Ｒに沿って配置されたブ
ラシ連打式清掃手段２０と、その搬送路の下流側に配置
されたブラシ掃引式清掃手段４０とを備えて成る。

【０００８】上記ブラシ連打式清掃手段２０は、上記搬
送路Ｒに沿って配置されたブラシハウジング２１と、多
数の可撓性線状体Ｗの基端部Ｗａを束ねて構成したブラ
シ部材Ｂを備えて成り、上記ブラシ部材Ｂをブラシハウ
ジング２１内に設け、そのブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂを
ブラシハウジング２１の先端ガイド孔２１ｂから突出さ
せるとともに、その基端部Ｗａを往復駆動手段３１で往
復動させることにより、当該ブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂ
をリードフレーム６０のリード部分６２ａに衝突させる
ように構成する。

【０００９】上記ブラシ掃引式清掃手段４０は、上記搬
送路Ｒに沿って配置された回転部材４１と、上記ブラシ
部材Ｂを備えて成り、上記回転部材４１内に所要の回転
角度ピッチでブラシハウジング４３を設け、そのブラシ
部材Ｂの先端部Ｗｂをブラシハウジング４３の先端ガイ
ド孔４３ａから突出させるとともに、上記回転部材４１
を回転駆動手段４７で回転させることにより、当該ブラ
シ部材Ｂの先端部Ｗｂでリードフレーム６０のリード部
分６２ａを掃引するように構成する。そして、上記の各
ブラシハウジング(２１)(４３)内にそれぞれ可撓性線状
体(Ｗ)の撓み空間(Ｓ)を形成する。

【００１０】

【発明の作用】本発明では、搬送手段５によりリードフ
レーム６０を長手方向に搬送しつつ、先ず、ブラシ連打
式清掃手段２０によりリードフレーム６０のリード部分
６２ａに付着しているバリ６５を除去し、引き続きブラ
シ掃引式清掃手段４０によりリード部分６２ａに付着し
ている残余のバリ６５を除去する。

【００１１】先ず、ブラシ連打式清掃手段２０の往復駆
動手段３１でブラシ部材Ｂを往復動させることにより、
ブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂがリードフレーム６０のリー
ド部分６２ａに衝突を繰り返す。なお、ブラシ部材Ｂを
構成する可撓性線状体Ｗとして、前記リード間ピッチＰ
よりも十分細い金属ワイヤ、ナイロン繊維、炭素繊維等
を採用することができるが、従来例の研磨材粒子の衝突
力とは比較にならない大きな衝突力でリード部分６２ａ
に衝突する。

【００１２】ブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂが半導体用リー
ドフレーム６０のリード部分６２ａに繰り返し衝突する
とき、例えば図３(Ａ)(Ｂ)で示すように、当該先端部Ｗ
ｂのうちリード隙間６４に対向位置する可撓性線状体Ｗ
₁ は、隙間６４を突き抜けて薄膜状のバリ６５を突き落
とし、その他の可撓性線状体Ｗ₂ はリード６２に接当し
てその途中部が撓む。そして、その他の可撓性線状体Ｗ
₂ の先端部はリード６２の表面に付着している薄膜を粉
砕除去する。これにより、リード部分６２ａに付着した
薄膜状のバリ６５の除去及び清掃が可能になる。

【００１３】引き続き、ブラシ掃引式清掃手段４０の回
転部材４１を回転駆動手段４７で回転させることによ
り、ブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂがリードフレーム６０の
リード部分６２ａに間欠的に摺接する。即ち、上記ブラ
シ部材Ｂは、回転部材４１に所要の回転角度ピッチで形
成されたブラシハウジング４３内に設けられ、そのブラ
シハウジング４３から突出した先端部Ｗｂがリードフレ
ーム６０のリード部分６２ａに間欠的に摺接して薄膜状
のバリ６５の除去及び清掃をする。

【００１４】

【発明の効果】本発明によるリードフレームのクリーニ
ング装置は、ブラシ連打式清掃手段とブラシ掃引式清掃
手段とを設けたことにより、以下の効果を奏する。 ブラシハウジング内に多数の可撓性線状体の基端部
を束ねて構成したブラシ部材を設け、そのブラシ部材の
先端部をリードフレームのリード部分に衝突させ、ある
いは間欠的に掃引して清掃するだけであるから、従来技
術に比較して電力消費量も格段に少なく、機械の腐食対
策や水の後処理を考慮する必要がなく、安価なクリーニ
ング装置を提供することができる。 特にブラシ連打式清掃手段においては、ブラシ部材
は従来例の研磨材粒子の衝突力とは比較にならない大き
な衝突力でリードに衝突するので、衝突力が強まり上記
バリ除去・清掃工程を短時間で終了させることができ
る。

【００１５】 ブラシ部材は、多数の可撓性線状体の
基端部を束ねて構成したものであるから、従来例のよう
にモールドされた半導体のパッケージ表面を研磨材粒子
による摩耗で荒らす等の不都合はなくなり、そのパッケ
ージ表面をマスキングする必要もなくなる。 研磨材粒子や水を使用しなくて済み、ランニングコ
ストの大幅な低減を図ることができる。

【００１６】 研磨材粒子の塵埃が飛散することもな
いから、従来例の劣悪な環境を改善し、前段工程と薄膜
状のバリ除去及び清掃工程とをクリーンルーム内で一連
の工程としてつなげることができる。 ブラシ掃引式清掃手段においては、ブラシ部材の先
端部が間欠的に掃引するため、バリの掃き残しは少なく
なり、連続的に掃引するものに比較して格段に清掃効果
が向上する。

【００１７】

【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいてさらに
詳しく説明する。図１は本発明の実施例に係るリードフ
レームのクリーニング装置を示し、同図(Ａ)はそのクリ
ーニング装置の上側カバーを取り外した状態を示す概略
平面図、同図(Ｂ)はそのクリーニング装置の概略正面図
である。このクリーニング装置は、図１(Ａ)(Ｂ)に示す
ように、リードフレーム(図７符号６０)を長手方向に搬
送する搬送手段５と、この搬送手段５により形成される
搬送路Ｒに沿って上側に４台、下側に３台づつ配置され
たブラシ連打式清掃手段２０と、その下流側に上下各１
台づつ配置されたブラシ掃引式清掃手段４０と、上記搬
送路Ｒに沿って上下に適当間隔で配置された複数の吸引
式集塵器５０とを備えて成る。

【００１８】上記搬送手段５は、図１(Ｂ)に示すよう
に、減速機７を有する搬送駆動モータ６と、正面視で矩
形をなすように機台フレーム１に沿って配置された従動
ローラ８ａ〜８ｅと、駆動ローラ６ａと上記従動ローラ
８ａ〜８ｅとに巻掛けられた無端ベルト９と、上記無端
ベルト９をガイドするために機台フレーム１の上縁に沿
って設けられ、搬送路Ｒを形成する多数のガイドローラ
１０と、リードフレーム６０の搬入部４ａと搬出部４ｂ
とを構成するガイド部材４とから成り、リードフレーム
６０を所要速度で搬送するように構成されている。

【００１９】上記ガイドローラ１０は、図１(Ｂ)、図２
(Ａ)、図５及び図６に示すように、後述するブラシ連打
式清掃手段２０の各ブラシ部材Ｂに対向して配置された
メインローラ１０Ａ・１０Ｂと、無端ベルト９を押さえ
る押さえローラ１０Ｃとから構成されている。メインロ
ーラ１０Ａは搬送路Ｒの上側に配置されたブラシ連打式
清掃手段２０に対向するもので、他方のメインローラ１
０Ｂは搬送路Ｒの下側に配置されたブラシ連打式清掃手
段２０に対向するものである。

【００２０】上記メインローラ１０Ａは、図５に示すよ
うに、ローラ組付用ブロック１１で枢支された支軸１２
と、この支軸１２にそれぞれ固設されたベルトガイド用
の段付ローラ１３及びフレームガイド用の段付きローラ
１４とから成り、ベルト用段付ローラ１３の小径部１３
ｂで無端ベルト９を支え、大径部１３ａの内端面と爪ロ
ーラ部１３ｃとで無端ベルト９をガイドするとともに、
フレーム用段付きローラ１４の小径部１４ｂで電子部品
６１を支え、大径部１４ａの内端面で当該電子部品６１
を規制することにより、リードフレーム６０が搬送路Ｒ
から脱落するのを防止するように構成されている。な
お、ローラ組付用ブロック１１は、前記機台フレーム１
の機台テーブル１Ａに着脱自在に固設される。

【００２１】他方のメインローラ１０Ｂは、図６に示す
ように、ベルトガイド用段付ローラ１３の小径部１３ｂ
と無端ベルト９とによりリードフレーム６０を挟持する
とともに、支軸１２で電子部品６１を支え、フレーム用
段付きローラ１４の内端面で当該電子部品６１を規制す
るように構成され、その他は上記メインローラ１０Ａと
同様に構成されている。なお、図５及び図６中の符号１
５は軸受、１６は支軸１２の抜止め、１７・１８はブロ
ック固定用ネジ穴である。

【００２２】上記押さえローラ１０Ｃは、図１(Ｂ)、図
２(Ａ)、図５及び図６に示すように、一方のメインロー
ラ１０Ａ・１０Ａの間や他方のメインローラ１０Ｂ・１
０Ｂの間に配置され、あるいは、上記ローラ組付用ブロ
ック１１の間においては上下一対配置されており、前記
メインローラ１０Ａ・１０Ｂ及び無端ベルト９とともに
リードフレーム６０を挟持搬送するように構成されてい
る。これらの押さえローラ１０Ｃは、上記ローラ組付用
ブロック１１及び機台テーブル１Ａに固定される。ま
た、これらの押さえローラ１０Ｃは、図５(Ａ)中の仮想
線で示すように、その支軸が水平姿勢から起立姿勢に略
９０°その姿勢を変更することが可能であり、無端ベル
ト９の交換を容易にするように構成されている。なお、
上記搬送ローラ１０の形状や個数は、リードフレーム６
０の形態に対応させて、ローラ組付用ブロック１１ごと
交換して適宜変更することができる。

【００２３】次にブラシ連打式清掃手段２０について説
明する。図２はブラシ連打式清掃手段２０を示し、同図
(Ａ)はその正面図、同図(Ｂ)はその左側面図、同図(Ｃ)
は図１の搬送路Ｒの下側に設けられたブラシ連打式清掃
手段２０の要部側面図である。このブラシ連打式清掃手
段２０は、図２に示すように、搬送路Ｒに沿って並設さ
れた２個のブラシハウジング２１・２１を搭載する搭載
ブロック２３と、この搭載ブロック２３を進退調節可能
に、かつ、傾斜角度調節可能に固定する基台ブロック２
５とを備えている。

【００２４】上記基台ブロック２５は、機台フレーム上
の機台テーブル１Ａに固定されている固定ブロック２５
ａと、この固定ブロック２５ａに対して進退位置調節可
能に固定された可動ブロック２５ｂとから成り、進退調
節ネジ２４ａにより可動ブロック２５ｂを進退調節した
後で固定ネジ２４ｂにより固定するように構成されてい
る。

【００２５】上記搭載ブロック２３は、上記可動ブロッ
ク２５ｂの先端部に支軸２６を介して傾動可能に支持さ
れた傾動ブロック２３ａと、この傾動ブロック２３ａに
対して上下位置調節可能に固定されたハウジングブロッ
ク２３ｂとから成り、上記可動ブロック２５ｂに対して
傾動ブロック２３ａの傾斜角度を調節し、傾斜部材２７
とその両端部を固定する一組の固定ネジ２８ａ・２８ｂ
とにより当該傾動ブロック２３ａを固定するように構成
されている。また、上記ハウジングブロック２３ｂは、
ブラシハウジング２１を支持する側面視Ｌ字状の部材か
ら成り、上記傾動ブロック２３ａに対して上下位置調節
ネジ２２ａでハウジングブロック２３ｂの上下位置を調
節して固定ネジ２２ｂにより固定するように構成されて
いる。これにより後述するブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂを
リードフレームの所要位置に向けて位置調節することが
できる。

【００２６】上記ハウジングブロック２３ｂの正面には
２個のブラシハウジング２１・２１を懸架固定する突起
部３０が一体に突設され、その突起部３０の上側にはブ
ラシハウジング２１内に設けられたブラシ部材Ｂの基端
側固定部材Ｂ₁ を上下動させるリンク部材３５ａ及びク
ランク部材３５ｂが設けられている。なお、符号３６は
リンク部材３５ａの上下動ガイド部材、３７はクランク
部材３５ｂに固定されたバランサである。

【００２７】上記ハウジングブロック２３ｂの背面に
は、図２(Ｂ)に示すように、ブラシ部材Ｂを上下駆動す
るパルスモータ３１が設けられている。なお、図２(Ｂ)
中の符号３２はパルスエンコーダ、３３は光学式パルス
カウンタである。即ち、上記パルスモータ３１の出力軸
３１ａは、ハウジングブロック２３ｂを貫通して正面側
に突出され、伝動軸３１ｂを介してその先端部に偏心カ
ム３４が固定されている。この偏心カム３４により上記
クランク部材３５ｂ及びリンク部材３５ａを介してブラ
シ部材Ｂを上下動させる。

【００２８】図３は上記ブラシ連打式清掃手段２０の要
部を示し、同図(Ａ)はブラシハウジング２１の縦断面
図、同図(Ｂ)はブラシハウジング２１の要部拡大図であ
る。上記ブラシハウジング２１は筒状のケースから成
り、この筒状のケース２１にはこれと同心状をなす基端
ガイド孔２１ａと先端ガイド孔２１ｂが開口形成され、
このブラシハウジング２１内には、同図(Ａ)に示すよう
に、多数の可撓性線状体Ｗの基端部Ｗａを基端側固定部
材Ｂ₁ で束ねて構成したブラシ部材Ｂが設けられてい
る。

【００２９】このブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂは、ブラシ
ハウジング２１の先端ガイド孔２１ｂから突出させ、そ
の基端側固定部材Ｂ₁ は基端ガイド孔２１ａから上向き
に突出させてリンク部材３５ａに固定してある。上記リ
ンク部材３５ａ・クランク部材３５ｂをパルスモータ３
１で上下動させることにより、当該ブラシ部材Ｂの先端
部Ｗｂは前記リードフレーム６０のリード部分６２ａに
衝突する。ちなみに、本実施例では０.１ｍｍφ程度の
カーボン繊維、あるいはピアノ線で構成したブラシ部材
Ｂを１０〜５０ｃ／ｓで繰り返し衝突させる。また、上
記ブラシハウジング２１内には撓み空間Ｓが形成されて
おり、同図（Ａ）中の仮想線で示すように、ブラシ部材
Ｂを構成する可撓性線状体Ｗの途中部が容易に撓むこと
ができるように構成されている。また、上記ブラシ部材
Ｂは、消耗時の交換部品として構成され、ブラシ部材Ｂ
の先端部Ｗｂが摩耗した場合には、これらを一体に交換
することができる。

【００３０】以下、上記ブラシ連打式清掃手段２０の動
作について説明する。本実施例では、前記無端ベルト９
と搬送ローラ１０とによりリードフレーム６０を間欠搬
送あるいは低速で連続搬送する。上記リンク部材３５ａ
・クランク部材３５ｂをパルスモータ３１で上下動させ
ることにより、当該ブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂをリード
フレーム６０のリード部分６２ａに反復して衝突させ
る。このとき、ブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂは、従来例の
研磨材粒子の衝突力とは比較にならない大きな衝突力で
リード部分６２ａに衝突する。

【００３１】そして衝突時には、図３(Ｂ)で示すよう
に、先端部Ｗｂのうちリード隙間６４に対向する可撓性
線状体Ｗ₁ は、リード６２の隙間６４を突き抜けて、そ
こに付着していた薄膜状のバリ６５を突き落とし、その
他の可撓性線状体Ｗ₂ は、リード６２に接当してその途
中部が撓み、その可撓性線状体Ｗ₂ の先端部が繰り返し
リード部分６２の表面に衝突することにより、そこに付
着している薄膜を粉砕除去する。粉砕され、突き落とさ
れたバリ６５は、前記吸引式集塵器５０で排除される。
これによりリード部分６２ａに付着した薄膜状のバリ６
５の除去及び清掃が可能になる。

【００３２】次にブラシ掃引式清掃手段４０について説
明する。図４はブラシ掃引式清掃手段４０を示し、同図
(Ａ)はその正面図、同図(Ｂ)はその左側面図、同図(Ｃ)
はそのブラシ掃引式清掃手段４０の要部側面図である。
このブラシ掃引式清掃手段４０は、図４に示すように、
回転部材４１を搭載する搭載ブロック２３と、この搭載
ブロック２３を進退調節可能に、かつ、傾斜角度調節可
能に固定する基台ブロック２５とを備えている。なお、
上記基台ブロック２５の進退位置及び搭載ブロック２３
の傾動位置を調節するための支持構造は、前記ブラシ連
打式清掃手段２０の支持構造と同様であり、前記部材と
同一の符号を付して重複する説明を省略する。

【００３３】上記ブラシ掃引式清掃手段４０は、上記搭
載ブロック２３の前面に搭載され、搬送路Ｒに沿って配
置された回転部材４１と、当該搭載ブロック２３の背面
に搭載され、回転部材４１を所要の回転速度で回転駆動
する駆動モータ４７と、上記回転部材４１内に設けられ
たブラシ部材Ｂを備えて成る。上記駆動モータ４７の出
力軸４８は、上記搭載ブロック２３を貫通して正面側に
突出され、この出力軸４８に回転部材４１の軸支ボス部
４２ａを固定して回転部材４１を回転駆動するように構
成されてる。

【００３４】上記回転部材４１は、軸支ボス部４２ａを
一体に形成した回転基体４２と、この回転基体４２の正
面にネジ４４ａで固定された蓋体４４とから成り、上記
回転基体４２には所要の回転角度ピッチ（本実施例では
３６°ピッチ）でブラシハウジング４３が凹設されてい
る。そしてブラシハウジング４３内には、前記ブラシ連
打式清掃手段２０のブラシ部材と同様のブラシ部材Ｂが
着脱自在に装填され、上記蓋体４４にあけた各ネジ孔４
５にそれぞれ固定ネジ４６をねじ込んで各ブラシ部材Ｂ
の基端側固定部材Ｂ₁ を固定してある。

【００３５】ブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂは、ブラシハウ
ジング４３の先端ガイド孔４３ａから突出させてあり、
上記回転部材４１を駆動モータ４７で回転させることに
より、当該ブラシ部材Ｂの先端部Ｗｂを前記リードフレ
ーム６０のリード部分６２ａに当接掃引させ、当該リー
ド部分６２ａに付着している薄膜状のバリ６５を除去す
るように構成されている。なお、上記ブラシ部材Ｂの先
端部Ｗｂが摩耗した場合には、上記蓋体４４を取り外し
てブラシ部材Ｂを交換することができる。

【００３６】また、上記ブラシハウジング４３内には、
ブラシ部材Ｂを構成する可撓性線状体Ｗの途中部が容易
に撓むことができるように撓み空間Ｓが形成されてい
る。この撓み空間Ｓは、図４(Ａ)で示すように、回転部
材４１の回転方向Ｆに対して、少なくともブラシ部材Ｂ
の可撓性線状体Ｗが撓む方向に形成すれば良い。なお、
上記回転部材４１を正転及び逆転させることも可能であ
り、その場合には図４(Ｃ)で示すように、撓み空間Ｓを
ブラシ部材Ｂに対して両側に凹設するのが良い。

【００３７】上記のような撓み空間Ｓを設け、かつ、ブ
ラシ部材Ｂの先端部Ｗｂを先端ガイド孔４３ａから突出
させることにより、ブラシ部材Ｂの弾性復元力を生かし
て清掃効果を高めるとともに、ブラシ部材Ｂの寿命を大
幅に延ばし、その耐久性をたかめることができる。ま
た、上記ブラシ掃引式清掃手段４０においては、ブラシ
部材Ｂの先端部Ｗｂがリードフレーム６０に間欠的に当
接して掃引するとともに、当該先端部Ｗｂがリードフレ
ームから離間する際にブラシ部材Ｂの弾性復元力が作用
するため、バリ６５の掃き残しは少なくなる。つまり、
回転部材４１のほぼ全周にブラシを植設して連続的に掃
引するものに比較して格段に清掃効果が向上する。

【００３８】以上の説明で明らかなように、本発明のク
リーニング装置によれば、搬送路Ｒに沿ってブラシ連打
式清掃手段２０とブラシ掃引式清掃手段４０とを設ける
だけであるから、従来技術に比較して電力消費量も少な
く、機械の腐食対策や水の後処理を考慮する必要がな
く、安価な装置を提供することができる。また、ブラシ
部材Ｂは、従来例の研磨材粒子の衝突力とは比較になら
ない大きな衝突力でリードフレーム６０に衝突するの
で、衝突力が強まりバリ除去及び清掃工程は短時間で終
了する。

【００３９】そのうえ、従来例のようにモールドされた
半導体のパッケージ表面を研磨材粒子による摩耗で荒ら
す等の不都合はなくなり、そのパッケージ表面をマスキ
ングする必要もなくなる。しかも、研磨材粒子や水を使
用しなくて済み、ランニングコストの大幅な低減を図る
ことができる。さらに研磨材粒子の塵埃が飛散すること
もないから、従来例の劣悪な環境を改善し、前段工程と
薄膜状のバリ除去及び清掃工程とをクリーンルーム内で
一連の工程としてつなげることができる。

【００４０】なお、本発明は上記実施例に限るものでは
なく、以下のように適宜変更を加えて実施し得る。ブラ
シ連打式清掃手段２０の駆動手段は、パルスモータ３１
に変えて電磁ソレノイドやその他のアクチュエータを用
いてもよい。また、リードフレーム６０の形態に対応さ
せて、搬送ローラ１０の形状やブラシ連打式清掃手段２
０及びブラシ掃引式清掃手段４０の配列・個数等を適宜
変更することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係るリードフレームのクリー
ニング装置を示し、同図(Ａ)はそのクリーニング装置の
上側カバーを取り外した状態を示す概略平面図、同図
(Ｂ)はそのクリーニング装置の概略正面図である。

【図２】ブラシ連打式清掃手段２０を示し、同図(Ａ)は
その正面図、同図(Ｂ)はその左側面図、同図(Ｃ)は図１
の搬送路Ｒの下側に設けられたブラシ連打式清掃手段の
要部側面図である。

【図３】ブラシ連打式清掃手段２０の要部を示し、同図
(Ａ)はブラシハウジングの縦断面図、同図(Ｂ)はブラシ
ハウジングの要部拡大図である。

【図４】ブラシ掃引式清掃手段４０を示し、同図(Ａ)は
その正面図、同図(Ｂ)はその左側面図、同図(Ｃ)はその
ブラシ掃引式清掃手段の要部縦断正面図である。

【図５】一方のメインローラ及び押さえローラを示し、
同図(Ａ)はその左側面図、同図(Ｂ)はその正面図であ
る。

【図６】他方のメインローラ及び押さえローラを示し、
同図(Ａ)はその左側面図、同図(Ｂ)はその正面図であ
る。

【図７】電子部品用リードフレームの平面図である。

【符号の説明】

５…搬送手段、Ｒ…搬送路、２０…ブラシ連打式清掃手
段、２１…ブラシハウジング、２１ｂ…先端ガイド孔、
３１…往復駆動手段（パルスモータ）、４０…ブラシ掃
引式清掃手段、４１…回転部材、４３…ブラシハウジン
グ、４３ａ…先端ガイド孔、４７…回転駆動手段、６０
…リードフレーム、６１…電子部品、６２…リード、６
２ａ…リード部分、Ｂ…ブラシ部材、Ｗ…可撓性線状
体、Ｗａ…可撓性線状体の基端部、Ｗｂ…ブラシ部材の
先端部、Ｓ…可撓性線状体の撓み空間。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01G 13/00 301 B08B 1/02 H01L 21/56 H01L 23/50

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 リードフレーム(６０)を長手方向に搬送
   する搬送手段(５)と、この搬送手段(５)により形成され
   る搬送路(Ｒ)に沿って配置されたブラシ連打式清掃手段
   (２０)と、そのブラシ連打式清掃手段(２０)の下流側に
   配置されたブラシ掃引式清掃手段(４０)とを備えて成
   り、 上記ブラシ連打式清掃手段(２０)は、上記搬送路(Ｒ)に
   沿って配置されたブラシハウジング(２１)と、多数の可
   撓性線状体(Ｗ)の基端部(Ｗａ)を束ねて構成したブラシ
   部材(Ｂ)を備えて成り、上記ブラシ部材(Ｂ)をブラシハ
   ウジング(２１)内に設け、そのブラシ部材(Ｂ)の先端部
   (Ｗｂ)をブラシハウジング(２１)の先端ガイド孔(２１
   ｂ)から突出させるとともに、その基端部(Ｗａ)を往復
   駆動手段(３１)で往復動させることにより、当該ブラシ
   部材(Ｂ)の先端部(Ｗｂ)をリードフレーム(６０)のリー
   ド部分(６２ａ)に衝突させるように構成し、 上記ブラシ掃引式清掃手段(４０)は、上記搬送路(Ｒ)に
   沿って配置された回転部材(４１)と、上記ブラシ部材
   (Ｂ)を備えて成り、上記回転部材(４１)内に所要の回転
   角度ピッチでブラシハウジング(４３)を形成し、上記ブ
   ラシ部材(Ｂ)の先端部(Ｗｂ)をブラシハウジング(４３)
   の先端ガイド孔(４３ａ)から突出させるとともに、上記
   回転部材（４１）を回転駆動手段(４７)で回転させるこ
   とにより、当該ブラシ部材(Ｂ)の先端部(Ｗｂ)をリード
   フレーム(６０)のリード部分(６２ａ)に摺接させるよう
   に構成し、 上記の各ブラシハウジング(２１)(４３)内にそれぞれ可
   撓性線状体(Ｗ)の撓み空間(Ｓ)を形成し た、 ことを特徴とするリードフレームのクリーニング装置。
2. 【請求項２】 搬送路(Ｒ)に少なくとも一対のブラシ連
   打式清掃手段（２０）と少なくとも一対のブラシ掃引式
   清掃手段(４０)とをそれぞれ対面して配置し、リードフ
   レーム(６０)の表裏両面を清掃するように構成した請求
   項１に記載したリードフレームのクリーニング装置。