JP3456253B2 - スパッタイオン真空ポンプの電源装置 - Google Patents
スパッタイオン真空ポンプの電源装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スパッタイオン真空ポ
ンプ給電用の漏洩変圧器を保護することができるスパッ
タイオン真空ポンプの電源装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】図４は従来のスパッタイオン真空ポンプ
（以下、スパッタイオンポンプという）の電源装置の構
成図であり、スパッタイオンポンプ１は電源装置２にお
ける整流回路３を介して漏洩変圧器４の２次巻線４2か
ら給電される。漏洩変圧器４の１次巻線４1はトリップ
コイル付き熱動形サーキットブレーカ５の接点５ａを介
して交流電源５に接続されており、同ブレーカは１次巻
線と直列に接続された低レベルの過電流値でブレーカを
作動させる第１の加熱要素５ｌ及び高レベルの過電流値
でブレーカを作動させる第２の加熱要素５ｈを有し、第
１の加熱要素にはスパッタイオンポンプの起動時に閉成
する手動スイッチ７が並列に接続されている。電源装置
１の出力回路には電圧計８及び電流計９が接続されてお
り、同電流計によって、スパッタイオンポンプ１が働く
真空装置の真空度が測定される。 【０００３】手動スイッチ７を閉じてから熱動形サーキ
ットブレーカ５の接点５ａを投入することにより、漏洩
変圧器４が給電され、スパッタイオンポンプ１は起動す
る。例えば真空装置としての電子線照射装置における電
子線発生部内を真空排気するときには、図示しない別の
真空ポンプで真空粗引きをしてから所要の高真空度とな
るようにスパッタイオンポンプ１を作動させるが、同ポ
ンプの運転時、図５の特性図に示すように、ポンプ電流
Ｉは真空装置内の圧力Ｐが低下するほど、即ち高真空度
になるほどポンプ電流は低下する特性を示し、ポンプ電
流Ｉは起動開始時と定常真空状態時とでは大きく変化す
る。 【０００４】かかるポンプ電流Ｉの大きな変化を考慮
し、スパッタイオンポンプ１は漏洩変圧器４から給電さ
れており、同変圧器は図６に示すように、２次巻線電流
Ｉの増加に対し２次巻線電圧Ｖが低下する垂下特性を有
する（漏洩変圧器の２次巻線電流の値と整流回路を介す
るスパッタイオンポンプの電流の値、そして２次巻線電
圧値とポンプ印加電圧値はそれぞれ比例関係にあるか
ら、両電流の符号として同じＩ，両電圧の符号として同
じＶで示す。）。スパッタイオンポンプ１及び漏洩変圧
器４は、手動スイッチ７の閉成に伴い、高レベルの過電
流状態が継続するときサーキットブレーカの第２の加熱
要素５ｈに応答してトリップコイルが働き接点５ａが開
放し、漏洩変圧器４を保護する。真空装置内の圧力が定
常状態域に達すると手動スイッチ７を遮断（開放）し、
サーキットブレーカ５は第１の加熱要素５ｌにより低レ
ベルの過電流状態の発生に応動する。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】このように従来のスパ
ッタイオンポンプの電源装置は、ポンプが定常状態にな
ったら手動スイッチ７を開放して過電流保護レベルを切
り換えるという操作者の手をわずらわせることを要する
ものである。さらに、定常状態において停電した場合、
サーキットブレーカ５（の接点５ａ）が投入されたまま
の状態で停電が復旧すると、手動スイッチ７が開放して
いることにより定常状態時の過電流保護レベルでスパッ
タイオンポンプが再起動し、不必要にサーキットブレー
カ５が動作してしまい、ポンプは運転状態に復帰できな
い場合がある。 【０００６】また、スパッタイオンポンプ１の給電源と
しては、ポンプ電流Ｉが大きく変化することを考慮し、
電流が増加するときには電圧が大きく低下する垂下特性
をもつ漏洩変圧器４から給電しているが、通常スパッタ
イオンポンプの起動当初、ポンプ電流は大きく、変圧器
はほぼ短絡状態となり、ポンプ電流の最大値は変圧器の
ほぼ短絡電流Ｉｓで抑えられてしまう。この点、起動時
における漏洩変圧器４の保護は、サーキットブレーカ５
の過電流保護レベルを設定しても、漏洩変圧器の特性に
よって制約されることになる。そして、電源装置の小型
化を図る際には、小型の漏洩変圧器４を用いることにな
るが、スパッタイオンポンプ１の起動開始時における真
空度が悪いときには、漏洩変圧器が短絡に近い状態で動
作する時間が長くなり、変圧器は過熱される。そこで、
ポンプ電流Ｉが低下しない状態が継続する場合、操作者
は一旦サーキットブレーカ５を遮断し、変圧器の冷却を
待って再起動操作を行っている。 【０００７】本発明は、スパッタイオンポンプの起動時
と定常時で過電流保護設定レベルを切り換えることを要
しないものとし、漏洩変圧器の小型化を図る際にも同変
圧器を保護することができるスパッタイオンポンプの電
源装置の提供を目的とするものである。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明は、スパッタイオ
ンポンプの電源装置において、サーキットブレーカを介
して交流電源に接続された１次巻線及びスパッタイオン
ポンプに給電する２次巻線を有する漏洩変圧器と、前記
真空ポンプの印加電圧に応動するメータリレーと、この
メータリレーの常閉接点と直列に接続されたタイマー
と、このタイマーの遅延動作に応動する前記サーキット
ブレーカのトリップコイルとを備えてなることを特徴と
するものである。 【０００９】 【作用】スパッタイオンポンプの起動時、ポンプ電流が
大きく、ポンプ印加電圧はメータリレーが作動する規定
電圧以下であり、タイマーはメータリレーの常閉接点を
介して通電されるが、タイマーがタイムアップ、遅延動
作する前にポンプ電流が低下し、ポンプ印加電圧はメー
タリレーの規定作動電圧以上に上昇し、起動完了とな
る。ポンプの定常時、例えば真空度悪化でポンプ電流が
増加し、ポンプ印加電圧がメータリレーの規定作動電圧
以下となり、この状態が継続するとタイマーが作動し、
トリップコイルの通電によりサーキットブレーカを遮断
する。 【００１０】 【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１はスパッタイオンポンプに給電する電源装置
の構成図であり、図４ないし図６と同一符号は同等部分
を示す。スパッタイオンポンプ１は電源装置２における
整流回路３を介して漏洩変圧器４の２次巻線４2から給
電されており、同変圧器の１次巻線４1はトリップコイ
ル付きサーキットブレーカ１０の接点１０ａを介して交
流電源６に接続されている。電源装置２の出力回路に
は、ポンプ印加電圧に応答するメータリレー１１及びポ
ンプ電流Ｉから真空度を監視する電流計９が設けられて
いる。 【００１１】漏洩変圧器４の１次巻線４1と並列に、メ
ータリレー１１の常閉接点１１ｂを介してタイマー１２
（Ｔ）が、そして同タイマーの遅延動作接点１２ａを介
してサーキットブレーカ１０のトリップコイル１０ｃが
それぞれ接続されている。 【００１２】サーキットブレーカ１０を投入（接点１０
ａを閉成）することにより、スパッタイオンポンプ１は
漏洩変圧器４から給電されて起動する。漏洩変圧器４の
２次巻線電流に対する２次巻線電圧したがって整流回路
２の出力であるポンプ電流Ｉ対ポンプ印加電圧Ｖの関係
は図２（ａ）に示す垂下特性を有し、通常、ポンプ起動
当初のポンプ電流Ｉは大きく、漏洩変圧器はほぼ短絡状
態となり、同変圧器としては図２（ｂ）に示すように例
えば短絡電流Ｉｓのもとで２分間程度の耐短絡許容時間
ｔｓを有するものが用いられる。 【００１３】スパッタイオンポンプ１の運転開始に伴
い、真空装置の圧力したがってポンプ電流Ｉは低下し、
図３（ａ）に示すように、ポンプ印加電圧Ｖは上昇して
いく。ポンプ印加電圧Ｖに応答するメータリレー１１は
図２の漏洩変圧器の動作特性説明図における電圧Ｖａ、
例えば漏洩変圧器が連続して給電できる２次巻線電流Ｉ
ｃに対応する連続して給電可能な最小２次巻線電圧以上
の規定作動電圧Ｖａに達するまで同リレーの常閉接点１
１ｂは閉じ、タイマー１２は通電状態にあるが、同タイ
マーは漏洩変圧器４の耐短絡許容時間ｔｓに合わせて例
えば通電２分後にタイムアップ、遅延動作し、接点１２
ａが閉じるようにする。 【００１４】したがって、スパッタイオンポンプ１の運
転により真空装置の圧力が充分に低下し、タイマー１２
のタイムアップ前にポンプ印加電圧Ｖが規定作動電圧Ｖ
ａ以上になれば、メータリレー１１が動作し、図３
（ｂ）に示すように常閉接点１１ｂが開き（ｏｆｆ）、
タイマーの通電は解除され、電源装置２は起動運転から
定常運転状態に入る。 【００１５】スパッタイオンポンプ１の起動前に他の真
空ポンプで粗引きと呼ぶ真空引きを行うが、その時の到
達真空度が良くない場合、ポンプ印加電圧がメータリレ
ー１１の規定作動電圧Ｖａに達する前にタイマー１２が
タイムアップし、その遅延動作接点１２ａが閉じ、サー
キットブレーカ１０のトリップコイル１０ｃが動作し、
ブレーカの遮断、接点１０ａを開く。これにより漏洩変
圧器３の過負荷状態の継続が保護される。なお、このと
きは、３０秒程度、漏洩変圧器４が冷えるのを待って、
再度、ブレーカを投入して、スパッタイオンポンプ１を
再起動させる。 【００１６】定常運転時に、何らかの原因で真空装置の
真空度が悪化し、ポンプ電流Ｉの増加により、ポンプ印
加電圧Ｖがメータリレー１１の規定作動電圧Ｖａより低
下すると図３（ｂ）に示すように常閉接点１１ｂが閉じ
（ｏｎ）タイマー１２が通電状態となる。かかるポンプ
印加電圧の低下状態が継続し、図３（ｃ）に示すよう
に、タイマー１２が遅延時間Ｔｄ後にタイムアップし接
点１２ａが閉じるとサーキットブレーカ１０のトリップ
コイル１０ｃへの通電（ｏｎ）により接点１０ａが開
き、漏洩変圧器４への給電を遮断し、同変圧器の過負荷
状態の継続を断ち保護する。 【００１７】かかる定常運転時におけるポンプ印加電圧
Ｖの低下に伴う保護態様は電源装置２内の故障の場合に
も働く。例えば整流回路３における整流素子の故障、漏
洩変圧器４の内部故障、電源装置２における配線の絶縁
劣化等があるとポンプ印加電圧Ｖの低下となって現れ、
その低下状態が継続するとサーキットブレーカ１０を遮
断し、電源装置を保護する。かかるポンプ印加電圧Ｖの
低下検出によれば、従来の電源装置における漏洩変圧器
の１次巻線電流を監視しているサーキットブレーカ
（５）の加熱要素（５ｌ，５ｈ）では検出できない部分
の故障、例えば同加熱要素より交流電源側部分の故障、
絶縁劣化状態をも検出することができ、メータリレー１
１の規定作動電圧Ｖａ以下の漏洩変圧器４の垂下特性は
電流の増加に対して電圧が大きく変化しているから、ポ
ンプ印加電圧の低下によって上述の故障状態を早期に検
出することができ、損傷の拡大を防止することができ
る。 【００１８】定常運転時に停電が発生し、サーキットブ
レーカ１０の接点１０ａが投入状態に留まっているとき
に停電が復旧した場合、ポンプ印加電圧Ｖがメータリレ
ー１１の規定作動電圧Ｖａ以上であれば定常運転状態に
入り、規定作動電圧以下であればタイマー１２への通電
が行われる起動運転モードとなる。 【００１９】 【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、従来の電源装置のように過電流保護レベルを切り
換える必要がなくなるから、操作者の手間が省けること
になり、切り換え忘れによる漏洩変圧器の過熱、過負荷
状態の継続を防止することができる。 【００２０】さらに、スパッタイオンポンプの運転中に
停電が発生し、その後復旧した場合、従来装置のように
スパッタイオンポンプが運転できない事態を生ずること
がなくなり、復旧した際の真空度に応じて、定常運転或
いは起動運転モードで自動的にポンプ運転を再開するこ
とができる。 【００２１】ポンプ印加電圧を検出してしていることに
より、電源装置内部の故障、例えば漏洩変圧器の故障、
整流回路における整流素子の故障、配線の絶縁劣化を早
期に検出することができ、損傷の拡大を防止することが
できる。
ンプ給電用の漏洩変圧器を保護することができるスパッ
タイオン真空ポンプの電源装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】図４は従来のスパッタイオン真空ポンプ
（以下、スパッタイオンポンプという）の電源装置の構
成図であり、スパッタイオンポンプ１は電源装置２にお
ける整流回路３を介して漏洩変圧器４の２次巻線４2か
ら給電される。漏洩変圧器４の１次巻線４1はトリップ
コイル付き熱動形サーキットブレーカ５の接点５ａを介
して交流電源５に接続されており、同ブレーカは１次巻
線と直列に接続された低レベルの過電流値でブレーカを
作動させる第１の加熱要素５ｌ及び高レベルの過電流値
でブレーカを作動させる第２の加熱要素５ｈを有し、第
１の加熱要素にはスパッタイオンポンプの起動時に閉成
する手動スイッチ７が並列に接続されている。電源装置
１の出力回路には電圧計８及び電流計９が接続されてお
り、同電流計によって、スパッタイオンポンプ１が働く
真空装置の真空度が測定される。 【０００３】手動スイッチ７を閉じてから熱動形サーキ
ットブレーカ５の接点５ａを投入することにより、漏洩
変圧器４が給電され、スパッタイオンポンプ１は起動す
る。例えば真空装置としての電子線照射装置における電
子線発生部内を真空排気するときには、図示しない別の
真空ポンプで真空粗引きをしてから所要の高真空度とな
るようにスパッタイオンポンプ１を作動させるが、同ポ
ンプの運転時、図５の特性図に示すように、ポンプ電流
Ｉは真空装置内の圧力Ｐが低下するほど、即ち高真空度
になるほどポンプ電流は低下する特性を示し、ポンプ電
流Ｉは起動開始時と定常真空状態時とでは大きく変化す
る。 【０００４】かかるポンプ電流Ｉの大きな変化を考慮
し、スパッタイオンポンプ１は漏洩変圧器４から給電さ
れており、同変圧器は図６に示すように、２次巻線電流
Ｉの増加に対し２次巻線電圧Ｖが低下する垂下特性を有
する（漏洩変圧器の２次巻線電流の値と整流回路を介す
るスパッタイオンポンプの電流の値、そして２次巻線電
圧値とポンプ印加電圧値はそれぞれ比例関係にあるか
ら、両電流の符号として同じＩ，両電圧の符号として同
じＶで示す。）。スパッタイオンポンプ１及び漏洩変圧
器４は、手動スイッチ７の閉成に伴い、高レベルの過電
流状態が継続するときサーキットブレーカの第２の加熱
要素５ｈに応答してトリップコイルが働き接点５ａが開
放し、漏洩変圧器４を保護する。真空装置内の圧力が定
常状態域に達すると手動スイッチ７を遮断（開放）し、
サーキットブレーカ５は第１の加熱要素５ｌにより低レ
ベルの過電流状態の発生に応動する。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】このように従来のスパ
ッタイオンポンプの電源装置は、ポンプが定常状態にな
ったら手動スイッチ７を開放して過電流保護レベルを切
り換えるという操作者の手をわずらわせることを要する
ものである。さらに、定常状態において停電した場合、
サーキットブレーカ５（の接点５ａ）が投入されたまま
の状態で停電が復旧すると、手動スイッチ７が開放して
いることにより定常状態時の過電流保護レベルでスパッ
タイオンポンプが再起動し、不必要にサーキットブレー
カ５が動作してしまい、ポンプは運転状態に復帰できな
い場合がある。 【０００６】また、スパッタイオンポンプ１の給電源と
しては、ポンプ電流Ｉが大きく変化することを考慮し、
電流が増加するときには電圧が大きく低下する垂下特性
をもつ漏洩変圧器４から給電しているが、通常スパッタ
イオンポンプの起動当初、ポンプ電流は大きく、変圧器
はほぼ短絡状態となり、ポンプ電流の最大値は変圧器の
ほぼ短絡電流Ｉｓで抑えられてしまう。この点、起動時
における漏洩変圧器４の保護は、サーキットブレーカ５
の過電流保護レベルを設定しても、漏洩変圧器の特性に
よって制約されることになる。そして、電源装置の小型
化を図る際には、小型の漏洩変圧器４を用いることにな
るが、スパッタイオンポンプ１の起動開始時における真
空度が悪いときには、漏洩変圧器が短絡に近い状態で動
作する時間が長くなり、変圧器は過熱される。そこで、
ポンプ電流Ｉが低下しない状態が継続する場合、操作者
は一旦サーキットブレーカ５を遮断し、変圧器の冷却を
待って再起動操作を行っている。 【０００７】本発明は、スパッタイオンポンプの起動時
と定常時で過電流保護設定レベルを切り換えることを要
しないものとし、漏洩変圧器の小型化を図る際にも同変
圧器を保護することができるスパッタイオンポンプの電
源装置の提供を目的とするものである。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明は、スパッタイオ
ンポンプの電源装置において、サーキットブレーカを介
して交流電源に接続された１次巻線及びスパッタイオン
ポンプに給電する２次巻線を有する漏洩変圧器と、前記
真空ポンプの印加電圧に応動するメータリレーと、この
メータリレーの常閉接点と直列に接続されたタイマー
と、このタイマーの遅延動作に応動する前記サーキット
ブレーカのトリップコイルとを備えてなることを特徴と
するものである。 【０００９】 【作用】スパッタイオンポンプの起動時、ポンプ電流が
大きく、ポンプ印加電圧はメータリレーが作動する規定
電圧以下であり、タイマーはメータリレーの常閉接点を
介して通電されるが、タイマーがタイムアップ、遅延動
作する前にポンプ電流が低下し、ポンプ印加電圧はメー
タリレーの規定作動電圧以上に上昇し、起動完了とな
る。ポンプの定常時、例えば真空度悪化でポンプ電流が
増加し、ポンプ印加電圧がメータリレーの規定作動電圧
以下となり、この状態が継続するとタイマーが作動し、
トリップコイルの通電によりサーキットブレーカを遮断
する。 【００１０】 【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１はスパッタイオンポンプに給電する電源装置
の構成図であり、図４ないし図６と同一符号は同等部分
を示す。スパッタイオンポンプ１は電源装置２における
整流回路３を介して漏洩変圧器４の２次巻線４2から給
電されており、同変圧器の１次巻線４1はトリップコイ
ル付きサーキットブレーカ１０の接点１０ａを介して交
流電源６に接続されている。電源装置２の出力回路に
は、ポンプ印加電圧に応答するメータリレー１１及びポ
ンプ電流Ｉから真空度を監視する電流計９が設けられて
いる。 【００１１】漏洩変圧器４の１次巻線４1と並列に、メ
ータリレー１１の常閉接点１１ｂを介してタイマー１２
（Ｔ）が、そして同タイマーの遅延動作接点１２ａを介
してサーキットブレーカ１０のトリップコイル１０ｃが
それぞれ接続されている。 【００１２】サーキットブレーカ１０を投入（接点１０
ａを閉成）することにより、スパッタイオンポンプ１は
漏洩変圧器４から給電されて起動する。漏洩変圧器４の
２次巻線電流に対する２次巻線電圧したがって整流回路
２の出力であるポンプ電流Ｉ対ポンプ印加電圧Ｖの関係
は図２（ａ）に示す垂下特性を有し、通常、ポンプ起動
当初のポンプ電流Ｉは大きく、漏洩変圧器はほぼ短絡状
態となり、同変圧器としては図２（ｂ）に示すように例
えば短絡電流Ｉｓのもとで２分間程度の耐短絡許容時間
ｔｓを有するものが用いられる。 【００１３】スパッタイオンポンプ１の運転開始に伴
い、真空装置の圧力したがってポンプ電流Ｉは低下し、
図３（ａ）に示すように、ポンプ印加電圧Ｖは上昇して
いく。ポンプ印加電圧Ｖに応答するメータリレー１１は
図２の漏洩変圧器の動作特性説明図における電圧Ｖａ、
例えば漏洩変圧器が連続して給電できる２次巻線電流Ｉ
ｃに対応する連続して給電可能な最小２次巻線電圧以上
の規定作動電圧Ｖａに達するまで同リレーの常閉接点１
１ｂは閉じ、タイマー１２は通電状態にあるが、同タイ
マーは漏洩変圧器４の耐短絡許容時間ｔｓに合わせて例
えば通電２分後にタイムアップ、遅延動作し、接点１２
ａが閉じるようにする。 【００１４】したがって、スパッタイオンポンプ１の運
転により真空装置の圧力が充分に低下し、タイマー１２
のタイムアップ前にポンプ印加電圧Ｖが規定作動電圧Ｖ
ａ以上になれば、メータリレー１１が動作し、図３
（ｂ）に示すように常閉接点１１ｂが開き（ｏｆｆ）、
タイマーの通電は解除され、電源装置２は起動運転から
定常運転状態に入る。 【００１５】スパッタイオンポンプ１の起動前に他の真
空ポンプで粗引きと呼ぶ真空引きを行うが、その時の到
達真空度が良くない場合、ポンプ印加電圧がメータリレ
ー１１の規定作動電圧Ｖａに達する前にタイマー１２が
タイムアップし、その遅延動作接点１２ａが閉じ、サー
キットブレーカ１０のトリップコイル１０ｃが動作し、
ブレーカの遮断、接点１０ａを開く。これにより漏洩変
圧器３の過負荷状態の継続が保護される。なお、このと
きは、３０秒程度、漏洩変圧器４が冷えるのを待って、
再度、ブレーカを投入して、スパッタイオンポンプ１を
再起動させる。 【００１６】定常運転時に、何らかの原因で真空装置の
真空度が悪化し、ポンプ電流Ｉの増加により、ポンプ印
加電圧Ｖがメータリレー１１の規定作動電圧Ｖａより低
下すると図３（ｂ）に示すように常閉接点１１ｂが閉じ
（ｏｎ）タイマー１２が通電状態となる。かかるポンプ
印加電圧の低下状態が継続し、図３（ｃ）に示すよう
に、タイマー１２が遅延時間Ｔｄ後にタイムアップし接
点１２ａが閉じるとサーキットブレーカ１０のトリップ
コイル１０ｃへの通電（ｏｎ）により接点１０ａが開
き、漏洩変圧器４への給電を遮断し、同変圧器の過負荷
状態の継続を断ち保護する。 【００１７】かかる定常運転時におけるポンプ印加電圧
Ｖの低下に伴う保護態様は電源装置２内の故障の場合に
も働く。例えば整流回路３における整流素子の故障、漏
洩変圧器４の内部故障、電源装置２における配線の絶縁
劣化等があるとポンプ印加電圧Ｖの低下となって現れ、
その低下状態が継続するとサーキットブレーカ１０を遮
断し、電源装置を保護する。かかるポンプ印加電圧Ｖの
低下検出によれば、従来の電源装置における漏洩変圧器
の１次巻線電流を監視しているサーキットブレーカ
（５）の加熱要素（５ｌ，５ｈ）では検出できない部分
の故障、例えば同加熱要素より交流電源側部分の故障、
絶縁劣化状態をも検出することができ、メータリレー１
１の規定作動電圧Ｖａ以下の漏洩変圧器４の垂下特性は
電流の増加に対して電圧が大きく変化しているから、ポ
ンプ印加電圧の低下によって上述の故障状態を早期に検
出することができ、損傷の拡大を防止することができ
る。 【００１８】定常運転時に停電が発生し、サーキットブ
レーカ１０の接点１０ａが投入状態に留まっているとき
に停電が復旧した場合、ポンプ印加電圧Ｖがメータリレ
ー１１の規定作動電圧Ｖａ以上であれば定常運転状態に
入り、規定作動電圧以下であればタイマー１２への通電
が行われる起動運転モードとなる。 【００１９】 【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、従来の電源装置のように過電流保護レベルを切り
換える必要がなくなるから、操作者の手間が省けること
になり、切り換え忘れによる漏洩変圧器の過熱、過負荷
状態の継続を防止することができる。 【００２０】さらに、スパッタイオンポンプの運転中に
停電が発生し、その後復旧した場合、従来装置のように
スパッタイオンポンプが運転できない事態を生ずること
がなくなり、復旧した際の真空度に応じて、定常運転或
いは起動運転モードで自動的にポンプ運転を再開するこ
とができる。 【００２１】ポンプ印加電圧を検出してしていることに
より、電源装置内部の故障、例えば漏洩変圧器の故障、
整流回路における整流素子の故障、配線の絶縁劣化を早
期に検出することができ、損傷の拡大を防止することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の構成図である。
【図２】漏洩変圧器の動作特性説明図である。
【図３】実施例の保護動作についての説明図である。
【図４】従来のスパッタイオンポンプの電源装置の構成
図である。 【図５】スパッタイオンポンプの圧力対電流特性図であ
る。 【図６】漏洩変圧器の特性図である。 【符号の説明】 １ スパッタイオンポンプ ２ 電源装置 ３ 整流回路 ４ 漏洩変圧器 ９ 電流計 １０ サーキットブレーカ １０ｃ トリップコイル １１ メータリレー １１ｂ メータリレーの常閉接点 １２ タイマー
図である。 【図５】スパッタイオンポンプの圧力対電流特性図であ
る。 【図６】漏洩変圧器の特性図である。 【符号の説明】 １ スパッタイオンポンプ ２ 電源装置 ３ 整流回路 ４ 漏洩変圧器 ９ 電流計 １０ サーキットブレーカ １０ｃ トリップコイル １１ メータリレー １１ｂ メータリレーの常閉接点 １２ タイマー
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(56)参考文献 特開 昭56−150129（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−146922（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−204840（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−99283（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−16374（ＪＰ，Ｕ)
特公 昭51−35698（ＪＰ，Ｂ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H02H 7/04
H02H 3/08 - 3/20
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 サーキットブレーカを介して交流電源に
接続された１次巻線及びスパッタイオン真空ポンプに給
電する２次巻線を有する漏洩変圧器と、前記真空ポンプ
の印加電圧に応動するメータリレーと、このメータリレ
ーの常閉接点と直列に接続されたタイマーと、このタイ
マーの遅延動作に応動する前記サーキットブレーカのト
リップコイルとを備えてなることを特徴とするスパッタ
イオン真空ポンプの電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10628594A JP3456253B2 (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | スパッタイオン真空ポンプの電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10628594A JP3456253B2 (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | スパッタイオン真空ポンプの電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07298480A JPH07298480A (ja) | 1995-11-10 |
| JP3456253B2 true JP3456253B2 (ja) | 2003-10-14 |
Family
ID=14429807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10628594A Expired - Lifetime JP3456253B2 (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | スパッタイオン真空ポンプの電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3456253B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5873425B2 (ja) * | 2012-12-18 | 2016-03-01 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 無停電電源装置 |
-
1994
- 1994-04-22 JP JP10628594A patent/JP3456253B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07298480A (ja) | 1995-11-10 |
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