JP3445066B2 - 真空濾過方法及び濾過装置 - Google Patents
真空濾過方法及び濾過装置Info
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Description
びその方法に適した濾過装置に関する。
合物を濾過する真空濾過装置は、従来より広く用いられ
ている。特に固液混合物を水平状態で保持して濾過す
る、いわゆる水平型真空濾過装置は、円筒型真空濾過装
置よりも安価であることから、工業的に広範囲に使用さ
れている。中でも、固液混合物を保持する濾過容器(パ
ン或はトレーなど)が転倒できる構造とした、いわゆる
転倒パンタイプの水平型真空濾過装置は、パン或はトレ
ーなどの転倒動作によって濾過後の固体ケーキを容易に
取り出しできるという利点を有している。その利便性か
ら、医薬、農薬、香料、染料、無機薬品及び金属防蝕等
の各種鉱工業分野で汎用されている。
転倒パンタイプの水平型真空濾過装置を用いる濾過方法
によれば、濾過時に比抵抗(α)が大きい固体を含む固
液混合物を分離する際、特にこの比抵抗が例えば、10
11m/kg以上であるような場合には、固体ケーキ中に
おける水分等の液分含有率が高く、固体ケーキを乾燥す
る際の負荷が大きくなるという問題点があった。
って、その目的とするところは、効率良く固液混合物を
分離できると共に、固体ケーキの乾燥負荷が低減でき、
もって利便性の高い真空濾過方法及びその方法に適した
濾過装置を提供することにある。
ために、本発明の請求項1記載の発明は、『固液混合物
を濾過容器の濾過面上へ供給する工程と、前記濾過面の
下面側を負圧にすることにより、前記濾過面の下面側へ
濾液を排出する工程と、前記濾過面の下面側を負圧に
し、前記濾液の排出により前記濾過面上に生成された固
体ケーキに、水蒸気を通過させて水蒸気の熱と負圧によ
り該固体ケーキを脱液する工程と、前記濾過容器を傾倒
又は転倒させ、前記濾過面上の固体ケーキを下方向へ排
出する工程とを有し、前記固体ケーキが脱液される工程
は、有蓋濾過容器内で行われる固液混合物の真空濾過方
法』を特徴としたものである。
面上で負圧の作用を受けて濾過された後、濾過面上に生
成された固体ケーキに、水蒸気を通過させてこれを脱液
するようにした。つまり、水蒸気を固体ケーキへ通過さ
せて、この間に、水蒸気の熱と負圧により固体ケーキ内
部の液体分が効率良く蒸発され、固体ケーキを容易に乾
燥させることができる。また固体ケーキの乾燥後は、パ
ン或はトレーが傾倒又は転倒されて容易に固体ケーキを
排出させることができる。よって効率良く固液混合物を
濾過分離することができると共に、固体ケーキの乾燥負
荷を低減することができる。
蓋濾過容器内で行うことにより、固体ケーキを通過させ
る水蒸気の熱エネルギーのロスが低減され、結果的に固
体ケーキに対する脱液効率が高められる。よって、固体
ケーキの乾燥負荷を一層低減することができる。ここで
有蓋濾過容器内とは、濾過容器の内部が蓋により閉じら
れていることであるが、この濾過容器への蓋は、濾過容
器内の水蒸気が濾過容器の外部へ散逸しない程度とされ
ていればよい。
と共に、開口の内部で前記上側を濾過面とする濾過容器
と、前記濾過容器に固定され、軸線が水平方向に規定さ
れると共に回転自在に軸受支持される円筒状の軸部材
と、前記軸部材の内部と、前記濾過容器の前記濾過面の
下側とを連通し、負圧が印加される一方、前記濾過面か
らの濾液が導出される吸引路と、昇降自在に設けられ、
下降時に前記開口を閉塞する蓋体と、前記蓋体に連結さ
れ、前記蓋体が前記開口を閉塞時に、前記濾過容器内へ
流体又は気体を供給する供給管路とを備え、前記濾過面
の下面側を負圧にし、前記濾液の排出により前記濾過面
上に生成された固体ケーキに、水蒸気を通過させて水蒸
気の熱と負圧により該固体ケーキを脱液するようにした
真空濾過装置』を特徴としたものである。
上に被濾過部材として固液混合物体が供給されると、軸
部材の内部と濾過面の下側とを連通する吸引路が負圧と
され、固液混合物が濾過されて濾液は吸引路を通って所
定に導出される。そして昇降自在に設けられた蓋体によ
り、濾過容器の開口は、蓋体の下降動作によって容器内
部が閉塞され、蓋体に連結された供給管路から流体又は
気体が容器内部へ供給される。この供給管路には、例え
ば固体ケーキの乾燥のために、供給管路から水蒸気など
が濾過容器内部へ供給され、容器内部は蓋体により閉塞
されているから、固体ケーキを通過する水蒸気の熱エネ
ルギーのロスが低減され、この結果、可及的に固体ケー
キ内部の液体分が効率良く蒸発され、固体ケーキが乾燥
される。或は被濾過部材の固液混合物が供給管路から濾
過容器内へ供給されることもできる。そして、ここで言
う前記蓋体の閉塞とは、前記蓋体により濾過容器内部が
閉塞されるものであるが、この濾過容器への閉塞は、前
者であれば、濾過容器内に供給された水蒸気が濾過容器
の外部へ散逸しない程度とされ、或は後者であれば、供
給管路から供給される固液混合物が溢流しない程度とさ
れればよい。
自在に軸受支持されているから、濾過容器が回転転倒す
ることにより、濾過された濾過面上の固体ケーキは、そ
の自重によって容易に濾過容器から排出される。
示例と共に説明する。図1は、転倒パンタイプの水平型
真空濾過装置の全体断面図である。濾室1の内部に形成
された濾室内10には固液混合物(以下、原液と呼ぶ)
を保持すると共にこれを濾過処理するトレー2が設けら
れている。トレー2は、上面に広がって開口するように
傾斜した側壁25を備え、方形状の開口で形成されてい
る。トレー2の上部には、図の上下方向へ昇降自在に駆
動されると共に、トレー2の開口を閉塞するためのカバ
ー部材9(以後、スチーミングカバーという)が設けら
れている。スチーミングカバー9は、トレー2の開口形
状に対応して、開口を被覆するよう略傘状に形成されて
いる。スチーミングカバー9は、その中心部に管路14
が接続固定され、この管路14は図示省略のエアシリン
ダーなどの駆動手段によって上下方向に駆動される。図
1において、実線に示すスチーミングカバー9は、濾室
内10における最上昇位置であり、想像線に示すスチー
ミングカバー9が同様に最下降位置である。また管路1
4の濾室外部には、バルブ15が接続されており、バル
ブ15の開栓により、水蒸気がトレー2側へ供給され
る。管路14から供給される水蒸気は、例えば、飽和水
蒸気、加圧水蒸気、減圧水蒸気、不活性気体(例えば窒
素ガス等)を含む水蒸気、1気圧の水蒸気或は過熱水蒸
気が用いられ、このうち、不活性気体(例えば窒素ガス
等)を含む水蒸気、1気圧の水蒸気或は過熱水蒸気を用
いるのが好ましい。なおバルブ15はタイマーTに連動
し、予め設定されたタイマーTの所定時間だけ開栓する
よう構成されている。
濾室1の外部から管路12を経てトレー2へ原液が供給
される原液供給孔11を備えており、スチーミングカバ
ー9の昇降動作に応じて移動するよう構成されている。
管路12は、原液供給孔11の昇降移動に対応するよ
う、可撓性のチューブ材で構成されている。さらにスチ
ーミングカバー9の内部側には、装置外部側から導入さ
れる洗浄水を内部へ吐出する吐出孔16が設けられてい
る。吐出孔16は可撓性のチューブ材による管路16a
に接続されている。
れ、トレー2の下部の吸入孔22内が減圧状態とされた
際にその圧力を一定にするよう調整されている。濾室1
の図の左側には、後述するトレー2にオーバーフローし
た原液を原液供給元側へ還流させるための管路13が接
続されている。一方、濾室1の下部には、原液濾過処理
後に生成される固体ケーキを外部へ排出するための排出
バルブ18が設けられている。また排出バルブ18の下
方には、排出された固体ケーキを回収する排出受け部4
が配置されている。
けられた底部26には、その内部に図示省略する金網が
平面状に設けられ、その上面に炉材としてのフィルター
21が装着されている。フィルター21は、固液混合物
の種類により、例えば金属製の編み目部材、粒子の層、
不織布そして多孔質材料など、種々の部材が採用され
る。また底部26の内部中央には、フィルター21の下
面に並行して、例えば紙面と直交状に位置付けられて、
軸線が一直線になるように軸、例えば円筒状の軸部材
(円筒軸)29が設けられている。円筒軸29は、図示
省略の一対の軸受により回転支持されるものであって、
さらに図示省略する外部電動機に連結されている。この
電動機の駆動により、トレー2は、その最大外形の移動
で生成される、図示の軌跡Cのように回転駆動される。
円筒軸29の開口(吸入孔)22は、円筒軸29内部を
貫通するものであるが、この貫通路22は、図示省略の
真空ポンプとシール機構3を介して連通するよう接続さ
れている。そして真空ポンプの作動により、吸入孔22
を介してフィルター21の下面に負圧が作用するよう構
成されている。
は、トレー2に供給される原液をオーバーフローさせる
溢流孔23が設けられ、その外側に溢流孔23を覆うよ
うにポケット状の側室24が一体に形成されている。側
室24には、オーバーフローした原液の有無を検知する
センサ62が装着されている。側室24の下部は開口
し、側室24に流入した原液を管路13へ排出させる。
洗浄液で固体ケーキが洗浄される。洗浄が必要なとき、
洗浄水吐出孔16から洗浄水が固体ケーキに向って吐出
され固体ケーキが洗浄される。また濾室内10には、装
置外部から導入される洗浄水を内部へ吐出する洗浄水吐
出孔17を設けてもよい。この吐出孔17は、フィルタ
ー洗浄用であり、例えばこれは図の中央側部に設けら
れ、図の右下から左上に向けて洗浄水を吐出することが
できる。
の濾過処理を行うため、操作スイッチ71を備え、これ
に接続された制御装置7によって所定の動作を行うよう
に、構成されていてもよい。この場合、制御装置7は、
スチーミングカバー9の昇降動作、トレー2の回転駆
動、原液供給のための原液供給孔11の開閉動作の他、
バルブ15及び排出バルブ18の開閉動作、吐出孔1
6,17の吐出動作等を所定のシーケンスに従い実行さ
れると共に、センサ61,62などの検出手段に基づい
て制御される。
真空濾過装置を用い、原液を濾過処理する工程について
以下の図2から図7を参照しつつ説明する。図2から図
5は、本実施例の図1における装置の主としてトレー2
の部分を拡大して示したもので、各処理工程の動作を表
している。また図6及び図7は、これらの工程を説明す
るフローチャートである。
ば、塩化亜鉛26重量%、酢酸亜鉛2重量%及び水72
重量%を含む酸性廃水(pH=約4)を、27%の苛性
ソーダ中に加えて得た原液(固体は、酸化亜鉛及び水酸
化亜鉛の混合物)が用いられる。以下、各処理工程に従
い順次説明する。 [原液の供給]操作スイッチ71をオン状態とさせるこ
とにより、本装置の動作が開始される。まず原液供給の
工程の前に、予め濾室1の下部のバルブ18が閉の状態
であるかどうかが、所定の検出手段で確認される(S10
1)。そして引き続き、トレー2が所定の状態、即ち原液
5を受け入れられるよう開口が上向きの水平状態となっ
ているかが同様の手段により確認される(S102)。
ングカバー9が下降して、トレー2の開口付近に達する
と停止し、トレー2の開口を閉塞する(S103)。これによ
りトレー2の濾過面の内部空間が実質上封止される。な
お、この閉塞は、水蒸気がトレー2内部から散逸しない
程度であればよい。次にトレー2の下面の吸引孔22が
所定に減圧される(S104)。減圧は本実施例では、約20
0mmHgの圧力とされる。吸引孔22が所定の減圧状
態となっているかは、図示省略の圧力センサにより確認
され、制御装置7へ出力される。
を受け入れる準備が完了し、図2(b) に示すように、原
液供給孔11が開栓され、図示省略の原液供給元から管
路12を経て原液5がトレー2の上面に供給される(S10
5)。処理される原液の種類により、原液供給孔11の開
栓に伴って、原液供給元側において原液を送出するよう
ポンプ手段を同時に作動させるように構成することもで
きる。
面に原液5が供給されることにより、トレー2内の原液
液面が上昇し続け、トレー2の側壁25に沿って設けら
れた溢流孔23にまで達すると、原液5はこの溢流孔2
3からオーバーフローして側室24へ流入する。すると
側室24に設けられたセンサ62が、この原液5の存在
を検出し(S106)、信号が制御装置7へ送られる。これに
伴ってトレー2には十分な所定量の原液が供給されたと
認識され、原液供給孔11が閉栓され(S107)、原液供給
が終了し停止される。またその際、併せて原液供給元側
の送出ポンプ手段が停止される。オーバーフローした側
室24内の原液5は、その下部に設けられた開口から滴
下し、管路13へ排出される。そして管路13に流入し
た原液5は再び原液供給元側へ還流される。従って本実
施では、トレー2に原液をオーバーフローさせることに
より、供給の停止を行う構成としている。言うまでもな
く、原液の液面高さを検出するセンサをトレー2内に設
けることにより原液供給の制御を行うようにすることも
できる。
ー2に原液5が供給されると、真空ポンプが動作する。
トレー2の内部は、この真空ポンプと連通した吸入孔2
2より減圧され、真空圧がフィルター21の下面に作用
する(S108)。そしてフィルター21の下面が負圧となっ
て原液5が濾過される。フィルター21で濾過された濾
液はトレー2の底部内壁を伝わり、吸引孔22で吸引さ
れ、円筒軸29の貫通口を経て開口装置内部側へ排出さ
れる。濾液の存在を検出する、吸入孔22或は円筒軸2
9側に設けられた図示省略のセンサにより、濾液の排出
状態が検出され(S109)、信号が制御装置7へ送られる。
濾液の排出が所定値以下となった時に、原液5の濾過処
理が終了したと認識される。(S110)。そして、フィルタ
ー21の上面には、濾過処理により生成された固体ケー
キ51が残存する。
ィルター21上面に生成された固体ケーキ51は、必要
に応じて清浄水により洗浄される。洗浄は、図3(a) に
示すように、上側の吐出孔16から固体ケーキ51に向
けて清浄水が吐出され(S111)、固体ケーキ51にまんべ
んなく行きわたるようスプレー状に吐出される。洗浄さ
れた汚水は吸入孔22で回収され、所定に排出される。
この吐出は、予め設定された所定量の清浄水が吐出した
後に自動的に停止される。また或は所定時間の間吐出さ
れた後に自動的に停止させるようにしてもよい。この
他、洗浄汚水の汚水濃度を検出して所定の清浄度となっ
た時に停止させることもできる。
1の脱液処理が行われる。脱液は、スチーミングカバー
9内の(トレー2との)内部空間に水蒸気が導入され、
この水蒸気が固体ケーキを通過する時に、減圧と加熱に
より、固体ケーキが脱液される(スチーミング脱液)。
即ち図3 (b)に示すように、水蒸気8がバルブ15から
管路14によりスチーミングカバー9内へ導入され、固
体ケーキ51が脱液される(S113)。この脱液処理は、濾
過時の比抵抗が1011m/kg以上であるような固体の
時に特に有効である。
ように、吸入孔22等から排出される。この脱液処理
は、ステップ(S103)から引き続いているように、スチー
ミングカバー9内で行われる。そしてこの脱液処理は実
質上密閉状態とされることにより、固体ケーキ51を通
過させる水蒸気8の熱エネルギーのロスが低減され、結
果的に固体ケーキに対する脱液効率が高められる。な
お、このような脱液処理は、水蒸気の種類や濾過の処理
状態に応じて、スチーミングカバー9を使用しない状態
下で行っても差し支えない。
の温度は、100.5℃から120℃の範囲であり、水
蒸気8を導入する導入時間は、0.5時間から10時間
程度である。なお、本実施例では110℃の過熱水蒸気
を用いている。濾室内10へ導入される水蒸気8は、バ
ルブ15の開閉により導入、停止が行われるが、タイマ
ーTの設定時間に基づいて、所定時間の間開栓するよう
構成されている。本実施例では上記の温度の過熱水蒸気
で2時間の連続導入が行われ、水蒸気8がトレー2内へ
導入される前記ステップ(S113)の前工程において、この
タイマーTが作動する(S112)よう設けられている。
4)、所定時間(本実施例では2時間)が経過した時点
で、バルブ15が閉栓され(S115)、水蒸気8の導入が終
了すると共に、タイマーTもオフとなる(S116)。 [トレーの転倒]固体ケーキ51が脱液された後、その
後工程となる固体ケーキ51の排出に対応するために、
図3(c) に示すように、まずスチーミングカバー9が上
昇して、トレー2の上面を開放し(S117)て常圧(大気
圧)下に戻される一方、濾室1の下部に設けられた(固
体ケーキ51の)排出バルブ18が開栓される(S118)。
そして図4(a) に示すように、円筒軸29が回転駆動さ
れ、トレー2は図の時計方向へ次第に回転され、そして
図4(b) に示すように180度回転し転倒状態となる(S
119)。
となった時点で、回転が停止され、これに伴って図4
(b)に示すように、固体ケーキ51はその自重により下
方へ落下する。固体ケーキ51は排出バルブ18を通っ
て排出され(S120)、その下方に設けられた排出受け部4
に収容される。排出バルブ18には固体ケーキ51の通
過状態を検出するセンサ61が設けられており、これに
より固体ケーキ51の排出状態を検出され、この信号が
制御装置7へ送られる。固体ケーキ51の排出がなくな
ると、固体ケーキ51のバルブ18への排出が終了した
ものと認識される(S121)。本実施例では、トレー2は1
80度回転させているが、少なくとも固体ケーキ51が
下方へ落下する程度にトレー2が傾倒すればよい。
浄が必要に応じて行われ、例えば、該洗浄は、濾室1の
吐出孔17から吐出された清浄水により行われる(S12
2)。吐出孔17は濾室1の側部に設けられており、この
洗浄吐出と実質的に同時に実行されるトレー2の回転復
帰動作(S123)に対応している。即ち図4 (c)に示すよう
に、トレー2が水平状態となるよう元の姿勢に復帰する
際、その回転動作中にトレー2の開口が吐出孔17と相
対した時にフィルター21が洗浄される。この場合も吐
出孔17は、フィルター21の全域にスプレー状に吐出
される。洗浄による汚水は、吸入孔22から排出される
一方、排出バルブ18からも外部へ排出される。この清
浄水の吐出は、トレー2の回転復帰動作に対応して、予
め設定された所定量の清浄水が吐出される。従って本ス
テップでは、図5(a)に示すように、トレー2が水平状
態に戻った時点でフィルター21の洗浄が終了され、再
び図5(b) に示す状態に戻る。フィルター21が洗浄さ
れた後、排出バルブ18が閉栓され(S124)、一連の濾過
処理が終了する。
処理により排出された固体ケーキ51は、酸化亜鉛及び
水酸化亜鉛の混合物からなる含水率約20重量%の固体
である。このようにして得られた固体ケーキ51は、別
途、乾燥機で乾燥した後、公知の方法により酸化亜鉛と
して単離され、次いで、常法により精練して金属亜鉛と
することができる。本実施例による固体ケーキ51の場
合、乾燥機で乾燥する負荷は、比較のため、下記の従来
濾過例により得られる固体ケーキに比べて格段に小さい
ものとなった。即ち水蒸気を導入しない場合、固体ケー
キの含水率は約40重量%であった。また水蒸気の導入
の有無にかかわらず、濾過時の固体の比抵抗(α)は、
1.1×1011m/kgであった。このように、本実施
例によれば、無機薬品及び金属防蝕等の分野の固液混合
物に対しても、効率良く分離でき、固体ケーキの乾燥負
荷を低減することができる。
明は、濾過された固体ケーキを水蒸気で脱液するように
したから、効率良く固液混合物を分離でき、固体ケーキ
の乾燥負荷を低減することができる。そして請求項2記
載の発明は、濾過容器に対して昇降自在の蓋体を設け、
これに連通する供給管路を備えたから、請求項1記載の
方法に適した装置となる。
造を示す全体断面図である。
る。
る。
る。
る。
の一例である。
の一例である。
ミングカバー 11・・・・原液供給孔 12,14・・管路 21・・・・・フィルター 22・・・・・吸入孔 61,62・・センサ 71・・・・・操作ス
イッチ 尚、各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (2)
- 【請求項1】 固液混合物を濾過容器の濾過面上へ供給
する工程と、 前記濾過面の下面側を負圧にすることにより、前記濾過
面の下面側へ濾液を排出する工程と、 前記濾過面の下面側を負圧にし、前記濾液の排出により
前記濾過面上に生成された固体ケーキに、水蒸気を通過
させて水蒸気の熱と負圧により該固体ケーキを脱液する
工程と、 前記濾過容器を傾倒又は転倒させ、前記濾過面上の固体
ケーキを下方向へ排出する工程とを有し、 前記固体ケーキが脱液される工程は、有蓋濾過容器内で
行われる固液混合物の真空濾過方法。 - 【請求項2】 上方に開放すると共に、開口の内部で前
記上側を濾過面とする濾過容器と、 前記濾過容器に固定され、軸線が水平方向に規定される
と共に回転自在に軸受支持される円筒状の軸部材と、 前記軸部材の内部と、前記濾過容器の前記濾過面の下側
とを連通し、負圧が印加される一方、前記濾過面からの
濾液が導出される吸引路と、 昇降自在に設けられ、下降時に前記開口を閉塞する蓋体
と、 前記蓋体に連結され、前記蓋体が前記開口を閉塞時に、
前記濾過容器内へ流体又は気体を供給する供給管路とを
備え、 前記濾過面の下面側を負圧にし、前記濾液の排出により
前記濾過面上に生成された固体ケーキに、水蒸気を通過
させて水蒸気の熱と負圧により該固体ケーキを脱液する
ようにした真空濾過装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20247896A JP3445066B2 (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 真空濾過方法及び濾過装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20247896A JP3445066B2 (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 真空濾過方法及び濾過装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1043514A JPH1043514A (ja) | 1998-02-17 |
JP3445066B2 true JP3445066B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=16458186
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20247896A Expired - Fee Related JP3445066B2 (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 真空濾過方法及び濾過装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3445066B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100381297B1 (en) * | 2002-12-06 | 2003-04-26 | Ju Hwan Kim | Sewage filter, sewage treating apparatus with the filter, sewage treating method, and glass lens grinding water treating apparatus using the apparatus |
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1996
- 1996-07-31 JP JP20247896A patent/JP3445066B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JPH1043514A (ja) | 1998-02-17 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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