JP3440034B2 - 被測定ガス中の窒素酸化物濃度の測定方法 - Google Patents

被測定ガス中の窒素酸化物濃度の測定方法

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JP3440034B2
JP3440034B2 JP22542999A JP22542999A JP3440034B2 JP 3440034 B2 JP3440034 B2 JP 3440034B2 JP 22542999 A JP22542999 A JP 22542999A JP 22542999 A JP22542999 A JP 22542999A JP 3440034 B2 JP3440034 B2 JP 3440034B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は被測定ガス中の窒素
酸化物濃度の測定方法に係り、詳しくは、燃焼機器や内
燃機関などの排気ガスの成分である窒素酸化物の濃度を
測定する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、被測定ガス中の窒素酸化物濃
度を測定するために、酸素イオンポンプセルを有する第
1室および第2室を備えた窒素酸化物濃度検出器を用い
る方法が知られている。
【0003】この方法では、まず、被測定ガス(例え
ば、燃焼機器や内燃機関などの排気ガス)を第1拡散通
路(例えば、拡散制限を行う拡散孔)を介して第1室に
導入し、第1室の第1酸素イオンポンプセルにポンプ電
圧を印加することにより、第2室の入口の酸素濃度が一
定になると共に、酸素濃度測定セルの電圧が一定になる
ように第1室の酸素を汲み出す。このとき、被測定ガス
中の酸素を分解させるだけでなく、一酸化窒素について
もある程度分解される。そして、第1酸素イオンポンプ
セルに流れる第1ポンプ電流Ip1を測定する。この第1
ポンプ電流Ip1は、第1室に導入された被測定ガス中の
酸素および一酸化窒素の分解によって生じた酸素イオン
の量に比例する。
【0004】次に、第1室の被測定ガスを第2拡散通路
(例えば、拡散制限を行う拡散孔)を介して第2室に導
入し、第2室の第2酸素イオンポンプセルにポンプ電圧
を印加することにより、被測定ガス中の一酸化窒素を分
解させて、第2室の酸素を汲み出す。そして、第2酸素
イオンポンプセルに流れる第2ポンプ電流Ip2を測定す
る。
【0005】図3に、第1室に導入された被測定ガス中
の窒素酸化物(NOx)濃度と第2ポンプ電流Ip2との
関係を示す。この関係により、窒素酸化物(NOx)濃
度は式(1)によって求められる。 NOx濃度=G(Ip2−β) ……(1) 但し、β:第2ポンプ電流Ip2のオフセット成分 G:ゲイン ここで、オフセット成分βは、窒素酸化物濃度が0pp
mのときに測定される第2ポンプ電流Ip2であり、第1
室で分解されずに第2室に導入された被測定ガス中の残
留酸素が分解されることで生じるポンプ電流分に相当す
る。
【0006】尚、オフセット成分βを測定するには、窒
素酸化物濃度が0ppmで酸素濃度が既知の標準ガスを
用い、その標準ガスの酸素濃度を変化させたときの第2
ポンプ電流Ip2を計測すればよい。また、ゲインGは、
酸素濃度が一定で、窒素酸化物濃度が既知の標準ガスを
用い、その標準ガスの窒素酸化物濃度を変化させたとき
の第2ポンプ電流Ip2を計測すればよい。ゲインGおよ
びオフセット成分βは被測定ガス中の酸素濃度にも依存
するが、被測定ガス中の酸素濃度は第1ポンプ電流Ip1
としてほぼ正確に測定される。そのため、ゲインGは第
1ポンプ電流Ip1に基づいて補正しなければならない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した方
法では、第2ポンプ電流Ip2が大きい領域(窒素酸化物
濃度が高い領域)については窒素酸化物濃度を正確に測
定できるものの、第2ポンプ電流Ip2が小さい領域(窒
素酸化物濃度が低い領域)については窒素酸化物濃度を
正確に測定できなかった。
【0008】ここで、第1ポンプ電流Ip1は被測定ガス
中の酸素濃度に比例することは確かめられている。しか
し、窒素酸化物濃度が低い領域で前記式(1)が成立し
なくなる理由は、拡散による物理現象からは十分に説明
することができない。本発明は上記問題点を解決するた
めになされたものであって、その目的は、被測定ガス中
の窒素酸化物の濃度を測定する際に、窒素酸化物濃度が
低い領域についても正確な測定が可能な測定方法を提供
することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めになされた請求項1に記載の発明は、固体電解質層に
一対の電極を備えた第1酸素イオンポンプセルを有する
第1室と、固体電解質層に一対の電極を備えた第2酸素
イオンポンプセルを有する第2室と、前記第1室を被測
定ガス側に連通する第1拡散通路と、前記第1室を前記
第2室に連通する第2拡散通路とを備えた窒素酸化物濃
度検出器を用いて、被測定ガス中の窒素酸化物濃度を測
定する測定方法である。そして、第2室へ導入される被
測定ガス中の酸素濃度を、第1室内で一酸化窒素が分解
する程度に低くなるように前記第1酸素イオンポンプセ
ルにポンプ電圧を加えて、第1室内の酸素および一酸化
窒素が分解した結果生じた酸素をポンピングして汲み出
すか又は汲み入れる工程を備える。また、前記第2酸素
イオンポンプセルにポンプ電圧を加えて前記第2室に導
入された被測定ガス中の一酸化窒素を分解する工程を備
える。さらに、前記第1酸素イオンポンプセルに流れる
第1ポンプ電流を測定する工程と、前記第2酸素イオン
ポンプセルに流れる第2ポンプ電流を測定する工程とを
備える。そして、前記被測定ガス中の窒素酸化物濃度が
近似される前記第2ポンプ電流による非1次式を用い
て、前記第2ポンプ電流から前記第1室に導入された被
測定ガス中の窒素酸化物濃度を求める工程を備える。
【0010】従って、本発明によれば、被測定ガス中の
窒素酸化物濃度が近似される第2ポンプ電流による非1
次式を用いて窒素酸化物濃度を測定するため、従来のよ
うに線形方程式を用いた場合に比べ、窒素酸化物濃度が
低い領域についても正確な測定が可能になる。
【0011】ところで、請求項2に記載の発明のよう
に、請求項1に記載の被測定ガス中の窒素酸化物濃度の
測定方法において、前記被測定ガス中の酸素濃度が近似
される前記第1ポンプ電流による非1次式を用いて、前
記第1ポンプ電流から前記第1室に導入された被測定ガ
スの酸素濃度を求めるようしてもよい。
【0012】また、請求項3に記載の発明のように、請
求項1に記載の被測定ガス中の窒素酸化物濃度の測定方
法において、前記非1次式の係数を前記第1ポンプ電流
から求めるようにしてもよい。また、請求項4に記載の
発明のように、請求項1に記載の被測定ガス中の窒素酸
化物濃度の測定方法において、第2ポンプ電流を1次式
で近似して求めた仮の窒素酸化物濃度に対して、高次方
程式による補正を加えることにより、前記第1室に導入
された被測定ガス中の窒素酸化物濃度を求めるようにし
てもよい。尚、前記高次方程式の係数は、仮の窒素酸化
物濃度と実際の窒素酸化物濃度との関係から求める。
【0013】また、請求項5に記載の発明のように、請
求項1に記載の被測定ガス中の窒素酸化物濃度の測定方
法において、第2ポンプ電流を1次式で近似して求めた
仮の窒素酸化物濃度に対して、実際の窒素酸化物濃度か
ら仮の窒素酸化物濃度を差し引いた値を高次方程式で近
似した偏差分を加えることにより、前記第1室に導入さ
れた被測定ガス中の窒素酸化物濃度を求めるようにして
もよい。
【0014】
【発明の実施の形態】(第1実施形態)以下、本発明を
具体化した第1実施形態を図面と共に説明する。図1
は、本第1実施形態で使用される窒素酸化物濃度検出器
1の概略構造を表す要部断面図である。
【0015】窒素酸化物濃度検出器1は、第1拡散通路
2、第1室3、第2拡散通路4、第2室5、第1酸素イ
オンポンプセル6、酸素濃度測定セル7、第2酸素イオ
ンポンプセル8を備えた検出器本体9と、加熱ヒータ1
0a,10bとから構成されている。
【0016】検出器本体9は、薄板状ジルコニアから成
る固体電解質層11a,11c,11eがこの順番で積
層されて構成されている。また、固体電解質層11a,
11c,11eをそれぞれ電気的に絶縁するため、アル
ミナから成る絶縁層15aが各固体電解質層11a,1
1cの間に積層されると共に、同じくアルミナから成る
絶縁層15bが各固体電解質層11c,11eの間に積
層されている。
【0017】そして、第1酸素イオンポンプセル6は、
固体電解質層11aの表裏面に一対の多孔質電極12
a,12bが配置されて構成されている。また、酸素濃
度測定セル7は、固体電解質層11cの表裏面に一対の
多孔質電極13a,13bが配置されて構成されてい
る。また、第2酸素イオンポンプセル8は、固体電解質
層11eの表面に一対の多孔質電極14a,14bが配
置されて構成されている。
【0018】第1室3は各固体電解質層11a,11c
および絶縁層15aに囲まれ、第1酸素イオンポンプセ
ル6および酸素濃度測定セル7を有している。つまり、
第1室3内には各多孔質電極12b,13aが配置され
ている。そして、第1室3は、各固体電解質層11a,
11c間に挟設された第1拡散通路2を介して被測定ガ
ス側(例えば、燃焼機器や内燃機関などの排気ガス側)
に連通されている。第2室5は各固体電解質層11c,
11eおよび絶縁層15bに囲まれ、第2酸素イオンポ
ンプセル8を有している。つまり、第2室5内には多孔
質電極14aが配置されている。そして、第2室5は、
固体電解質層11cに嵌設された第2拡散通路4を介し
て第1室3に連通されている。
【0019】尚、各拡散通路2,4は拡散律速を行い、
例えば、拡散制限を行う拡散孔が設けられたアルミナ粉
末の焼成体によって形成されている。また、各固体電解
質層11a,11c,11eは、例えば、ZrO2グリ
ーンシートによって形成されている。
【0020】そして、各絶縁層15a,15bは、例え
ば、Al23ペーストまたはAl23グリーンシートに
よって形成されている。加熱ヒータ10aは固体電解質
11aに対向し、加熱ヒータ10bは固体電解質11e
に対向して、平板状の各加熱ヒータ10a,10bが検
出器本体9を両側から挟み込むように配置されている。
そして、各加熱ヒータ10a,10bを用いて、検出器
本体9の温度が550〜900℃になるように制御され
る。これは、窒素酸化物の分解率が温度によって変化す
ることから、分解率が変化しない温度範囲で窒素酸化物
濃度の測定を行うためである。尚、各加熱ヒータ10b
は省いてもよい。
【0021】各多孔質電極12b,13a,14aは抵
抗Rを介してアースされている。多孔質電極12aには
直流電源E1からプラスのポンプ電圧V1が印加され、
直流電源E1から多孔質電極12aに流れる第1ポンプ
電流Ip1が測定される。また、多孔質電極14bには直
流電源E2からプラスのポンプ電圧V2が印加され、直
流電源E2から多孔質電極14bに流れる第2ポンプ電
流Ip2が測定される。
【0022】次に、上記のように構成された窒素酸化物
濃度検出器1を使用した被測定ガス中の窒素酸化物濃度
の測定方法について説明する。まず、被測定ガスを第1
拡散通路2を介して第1室3に導入し、第2室5の入口
の酸素濃度が一定になるように酸素濃度測定セル7の電
位を一定としつつ、第1室3の第1酸素イオンポンプセ
ル6に直流電源E1からポンプ電圧V1を印加すること
により、第2室5の入口の酸素濃度が一定になるように
第1室3の酸素を汲み出す。このとき、被測定ガス中の
酸素を分解させるだけでなく、一酸化窒素についてもあ
る程度分解させる。そして、第1酸素イオンポンプセル
6に流れる第1ポンプ電流Ip1を測定する。第1ポンプ
電流Ip1は、第1室3に導入された被測定ガス中の酸素
および一酸化窒素の分解によって生じた酸素イオンの量
に比例する。
【0023】次に、第1室3の被測定ガスを第2拡散通
路4を介して第2室5に導入し、第2室5の第2酸素イ
オンポンプセル8に直流電源E2からポンプ電圧V2を
印加することにより、被測定ガス中の一酸化窒素を分解
させて、第2室5の酸素を汲み出す。そして、第2酸素
イオンポンプセル8に流れる第2ポンプ電流Ip2を測定
する。
【0024】ところで、被測定ガスを第1室3に導入す
る際に、第2室5の入口の酸素濃度が一定になるように
酸素濃度測定セル7の電位が一定となるようにポンプ電
圧V1を制御することにより、第1室3から第2室5に
導入される被測定ガス中の酸素濃度を高精度に制御する
ことができる。
【0025】上記の測定方法により、窒素酸化物濃度が
既知の標準ガスを被測定ガスとした実験により、第2ポ
ンプ電流Ip2が小さい領域(窒素酸化物濃度が低い領
域)について窒素酸化物(NOx)濃度を測定した結果
を図2に示す。図3および前記式(1)では、第2ポン
プ電流Ip2が窒素酸化物濃度に比例するとしている。し
かし、第2ポンプ電流Ip2が小さい領域では、式(1)
で求めた窒素酸化物濃度の計算値よりも実測値の方が小
さく、第2ポンプ電流Ip2は被測定ガス中の窒素酸化物
濃度の2乗に比例することがわかった。
【0026】従って、窒素酸化物(NOx)濃度は式
(2)によって求められることがわかる。
【0027】
【数1】
【0028】但し、β:第2ポンプ電流Ip2のオフセッ
ト成分 a,b:定数(係数) 尚、各定数a,bおよびオフセット成分βを測定するに
は、窒素酸化物濃度および酸素濃度が既知の標準ガスを
用い、その標準ガスの窒素酸化物濃度および酸素濃度を
変化させたときの第2ポンプ電流Ip2を計測すればよ
い。各定数a,bおよびオフセット成分βは被測定ガス
中の酸素濃度に依存するが、被測定ガス中の酸素濃度は
第1ポンプ電流Ip1としてほぼ正確に測定される。その
ため、オフセット成分βは第1ポンプ電流Ip1から計算
して求めることができる。また、各定数a,bは窒素酸
化物濃度に依存するため、既知の窒素酸化物濃度および
酸素濃度から求めることができる。
【0029】このように本第1実施形態によれば、第2
ポンプ電流Ip2が小さい領域では第2ポンプ電流Ip2が
被測定ガス中の窒素酸化物濃度の2乗に比例することを
利用するため、窒素酸化物濃度が低い領域(特に、窒素
酸化物濃度が100ppm以下の領域)についても正確
な測定が可能になる。
【0030】ところで、第2ポンプ電流Ip2が窒素酸化
物濃度の2乗に比例することは、以下の各式(3)〜
(7)に示すように解析することができる。尚、以下の
各式における各符号は以下のようにSI単位系で定義さ
れる。 R:気体定数[J/mol・K] T:絶対温度[K] F:ファラデー定数[C/mol] e:電気素量[C] Pos3 :第2室5内の酸素分圧[Pa] Por2 :多孔質電極14bが配置されていると仮定され
る仮想空間内の酸素分圧[Pa] Rip2 :第2酸素イオンポンプセル8の内部抵抗[Ω] k:ボルツマン定数[J/K] I1 :第1拡散通路2の長さ[m] I3 :第2拡散通路5の長さ[m] A1 :第1拡散通路2の断面積[m2] A3 :第2拡散通路5の断面積[m2] D1,D3:拡散定数[m2/sec] Poe(NO):第2室5で窒素酸化物が分離して発生する酸
素分圧[Pa] KNO:平衡定数[−:単位無] PN2:被測定ガス中の窒素分圧[Pa] PNOe :被測定ガス中の窒素酸化物分圧[Pa]
【0031】
【数2】
【0032】
【数3】
【0033】K3=Pos2/Pos3 ……(5) 窒素酸化物の分離は式(6)の化学平衡で表される。
【0034】
【数4】
【0035】式(3),(6)より式(7)が求められ
る。
【0036】
【数5】
【0037】式(7)より、被測定ガス中の窒素酸化物
分圧に対して第2ポンプ電流Ip2が定まる。ここで、式
(7)の右辺の分母内の第2項は、被測定ガス中の窒素
酸化物分圧PNOeに対して無視できる。そのため、第2
ポンプ電流Ip2は窒素酸化物分圧PNOeの2乗に比例す
る。ところで、窒素酸化物分圧PNOeは窒素酸化物濃度
に対応する。従って、第2ポンプ電流Ip2は被測定ガス
中の窒素酸化物濃度の2乗に比例することがわかる。
【0038】(第2実施形態)次に、本発明を具体化し
た第2実施形態について説明する。本第2実施形態にお
ける被測定ガス中の窒素酸化物濃度の測定方法において
も、図1に示す窒素酸化物濃度検出器1を用いて第1ポ
ンプ電流Ip1および第2ポンプ電流Ip2を測定する。
【0039】そして、前記式(1)によって求めた窒素
酸化物濃度を、仮の窒素酸化物濃度(以下、「NO´」
と表記する)とする。尚、オフセット成分βについて
は、前記したように第1ポンプ電流Ip1から求める。次
に、仮の窒素酸化物濃度NO´を式(8)に代入するこ
とにより、被測定ガス中の窒素酸化物濃度を求める。
【0040】
【数6】
【0041】但し、β:第2ポンプ電流Ip2のオフセッ
ト成分 c,d:定数(係数) 尚、各定数c,dは、仮の窒素酸化物濃度NO´と、標
準ガスを被測定ガスとして実測した窒素酸化物濃度との
関係から求めることができる。
【0042】つまり、第1実施形態の式(2)において
は、第2ポンプ電流Ip2が窒素酸化物濃度の2乗に比例
することを利用して、2次式の関係により第2ポンプ電
流Ip2から窒素酸化物濃度を直接求めている。それに対
して、本第2実施形態では、第2ポンプ電流Ip2が窒素
酸化物濃度の2乗に比例することを利用し、第2ポンプ
電流Ip2が窒素酸化物濃度に比例するとして式(1)に
示す1次式で近似して求めた仮の窒素酸化物濃度NO´
に対して、式(8)に示す1/2次式による補正を加え
ることにより、正確な窒素酸化物濃度を求めている。
【0043】従って、本第2実施形態によれば、第1実
施形態と同様に、第2ポンプ電流Ip2が小さい領域では
第2ポンプ電流Ip2が被測定ガス中の窒素酸化物濃度の
2乗に比例することを利用するため、窒素酸化物濃度が
低い領域についても正確な測定が可能になる。
【0044】(第3実施形態)次に、本発明を具体化し
た第3実施形態について説明する。本第3実施形態にお
ける被測定ガス中の窒素酸化物濃度の測定方法において
も、図1に示す窒素酸化物濃度検出器1を用いて第1ポ
ンプ電流Ip1および第2ポンプ電流Ip2を測定する。そ
して、前記式(1)によって求めた窒素酸化物濃度を、
仮の窒素酸化物濃度NO´とする。
【0045】次に、仮の窒素酸化物濃度NO´および第
2ポンプ電流Ip2を式(9)に代入することにより、被
測定ガス中の窒素酸化物濃度を求める。 NOx濃度 =NO´+f(Ip2−β)2+g(Ip2−β) =G(Ip2−β)+f(Ip2−β)2+g(Ip2−β) =(Ip2−β)(G+g)+f(Ip2−β)2 ……(9 ) 但し、β:第2ポンプ電流Ip2のオフセット成分 G:ゲイン f,g:定数(係数) 尚、各定数f,gは、標準ガスを被測定ガスとして実測
した窒素酸化物濃度から仮の窒素酸化物濃度NO´を差
し引いた偏差Δと、第2ポンプ電流Ip2との関係を式
(10)に示す2次式で近似することにより、当該2次
式の係数として求めることができる。
【0046】 Δ=f(Ip2−β)2+g(Ip2−β) ……(10) つまり、本第3実施形態では、第2ポンプ電流Ip2が窒
素酸化物濃度に比例するとして式(1)に示す1次式で
近似して求めた仮の窒素酸化物濃度NO´に対して、標
準ガスを被測定ガスとして実測した窒素酸化物濃度から
仮の窒素酸化物濃度NO´を差し引いた値を2次式で近
似した偏差Δ分を加えることにより、正確な窒素酸化物
濃度を求めている。
【0047】従って、本第3実施形態によれば、第1実
施形態と同様に、第2ポンプ電流Ip2が小さい領域では
第2ポンプ電流Ip2が被測定ガス中の窒素酸化物濃度の
2乗に比例することを利用するため、窒素酸化物濃度が
低い領域についても正確な測定が可能になる。
【0048】また、本第3実施形態の式(9)(10)
においては、平方根を求める演算を行わないため、窒素
酸化物濃度の算出にマイクロコンピュータを用いる場
合、算出速度を高速化することができる。従って、窒素
酸化物濃度検出器1を自動車に搭載し、窒素酸化物濃度
検出器1にて測定した窒素酸化物濃度に基づいて自動車
の内燃機関を制御する場合、車載ECUによる窒素酸化
物濃度の算出速度を高速化することが可能になるため、
内燃機関を高精度に制御することができる。
【0049】尚、本発明は上記各実施形態に限定される
ものではなく、以下のように変更してもよく、その場合
でも、上記各実施形態と同様の作用および効果を得るこ
とができる。 [1]上記各実施形態では窒素酸化物濃度を第2ポンプ
電流Ip2の2次式で近似したが、3次式以上の高次式,
指数関数,対数関数などで近似するようにしてもよい。
つまり、窒素酸化物濃度は第2ポンプ電流Ip2による非
1次式で近似することができる。
【0050】[2]第2酸素イオンポンプセル8に印加
する電圧を適宜設定することにより、窒素酸化物以外の
ガス(例えば、COx、H2O、HCなど)を選択的に分
解させれば、他のガスの測定にも利用可能である。これ
らの設定条件を濃度検出器のメモリに記憶させておけ
ば、O2、NOx、CO2、H2O等の多成分ガスを1個の
濃度検出器で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を具体化した第1〜第3実施形態で用い
られる窒素酸化物濃度検出器の概略構成を表す要部断面
図。
【図2】第2ポンプ電流Ip2と窒素酸化物濃度の正しい
関係を表す特性図。
【図3】従来正しいと考えられていた第2ポンプ電流I
p2と窒素酸化物濃度の関係を表す特性図。
【符号の説明】
1…窒素酸化物濃度検出器 2…第1拡散通路 3
…第1室 4…第2拡散通路 5…第2室 6…第1酸素イオ
ンポンプセル 8…第2酸素イオンポンプセル 11a〜11e…固
体電解質層 12a,12b,13a,13b,14a,14b…多
孔質電極 V1,V2…ポンプ電圧 Ip1…第1ポンプ電流 Ip2…第2ポンプ電流
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開2000−171438(JP,A) 特開2000−28576(JP,A) 特開 平11−237363(JP,A) 特開 平11−304758(JP,A) 特開 平10−90220(JP,A) 特開 平10−142194(JP,A) 特開 平10−160703(JP,A) 特開 平10−177008(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 27/416 G01N 27/419

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固体電解質層に一対の電極を備えた第1
    酸素イオンポンプセルを有する第1室と、固体電解質層
    に一対の電極を備えた第2酸素イオンポンプセルを有す
    る第2室と、前記第1室を被測定ガス側に連通する第1
    拡散通路と、前記第1室を前記第2室に連通する第2拡
    散通路とを備えた窒素酸化物濃度検出器を用いて、被測
    定ガス中の窒素酸化物濃度を測定する測定方法であっ
    て、 第2室へ導入される被測定ガス中の酸素濃度を、第1室
    内で一酸化窒素が分解する程度に低くなるように前記第
    1酸素イオンポンプセルにポンプ電圧を加えて、第1室
    内の酸素および一酸化窒素が分解した結果生じた酸素を
    ポンピングして汲み出すか又は汲み入れる工程と、 前記第2酸素イオンポンプセルにポンプ電圧を加えて前
    記第2室に導入された被測定ガス中の一酸化窒素を分解
    する工程と、 前記第1室内にて前記一酸化窒素及び酸素が分解された
    被測定ガスを、前記第2拡散通路を介して前記第2室内
    に導入し、該第2室にて、前記第2酸素イオンポンプセ
    ルにポンプ電圧を加えて前記第2室内の一酸化窒素を分
    解する工程と、 前記第1酸素イオンポンプセルに流れる第1ポンプ電流
    を測定する工程と、 前記第2酸素イオンポンプセルに流れる第2ポンプ電流
    を測定する工程と、 前記被測定ガス中の窒素酸化物濃度が近似される前記第
    2ポンプ電流による非1次式を用いて、前記第2ポンプ
    電流から前記第1室に導入された被測定ガス中の窒素酸
    化物濃度を求める工程とを備えたことを特徴とする被測
    定ガス中の窒素酸化物濃度の測定方法。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の被測定ガス中の窒素酸
    化物濃度の測定方法において、 前記被測定ガス中の酸素濃度が近似される前記第1ポン
    プ電流による非1次式を用いて、前記第1ポンプ電流か
    ら前記第1室に導入された被測定ガスの酸素濃度を求め
    る工程を備えたことを特徴とする被測定ガス中の窒素酸
    化物濃度の測定方法。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の被測定ガス中の窒素酸
    化物濃度の測定方法において、 前記非1次式の係数を前記第1ポンプ電流および第2ポ
    ンプ電流から求めることを特徴とする被測定ガス中の窒
    素酸化物濃度の測定方法。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の被測定ガス中の窒素酸
    化物濃度の測定方法において、 前記第2ポンプ電流を1次式で近似して求めた仮の窒素
    酸化物濃度に対して、高次方程式による補正を加えるこ
    とにより、前記第1室に導入された被測定ガス中の窒素
    酸化物濃度を求め、前記高次方程式の係数を仮の窒素酸
    化物濃度と実際の窒素酸化物濃度との関係から求めるこ
    とを特徴とする被測定ガス中の窒素酸化物濃度の測定方
    法。
  5. 【請求項5】 請求項1に記載の被測定ガス中の窒素酸
    化物濃度の測定方法において、 前記第2ポンプ電流を1次式で近似して求めた仮の窒素
    酸化物濃度に対して、実際の窒素酸化物濃度から仮の窒
    素酸化物濃度を差し引いた値を高次方程式で近似した偏
    差分を加えることにより、前記第1室に導入された被測
    定ガス中の窒素酸化物濃度を求めることを特徴とする被
    測定ガス中の窒素酸化物濃度の測定方法。
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