JP3435514B2 - 可視光透過性の耐熱ガラス製品 - Google Patents
可視光透過性の耐熱ガラス製品Info
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Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、ガラス基板の透過性被覆に関するものであ
り、特にガラスの強化や曲げの最中に遭遇するような高
温度に耐えることができる被膜を有するガラス基板に関
する。
り、特にガラスの強化や曲げの最中に遭遇するような高
温度に耐えることができる被膜を有するガラス基板に関
する。
（背景技術）
ガラスシートは、被覆されたシートの光学的特性を変
えるために、透過性で、金属を含有する多くのフィルム
で被覆される。特に好ましくは、可視光を容易に透過
し、他の光線、特に赤外線波長域の透過を最小にする能
力を特徴とする。
えるために、透過性で、金属を含有する多くのフィルム
で被覆される。特に好ましくは、可視光を容易に透過
し、他の光線、特に赤外線波長域の透過を最小にする能
力を特徴とする。
これらの特性は、可視特性を損なうことなく、熱放射
移動を最小にするために有用で、またこのタイプのガラ
スは、建築用ガラス、自動車用フロントガラス等に有効
である。
移動を最小にするために有用で、またこのタイプのガラ
スは、建築用ガラス、自動車用フロントガラス等に有効
である。
通常、高透過性で低熱放射性を有する被覆は、金属酸
化物フィルムのような、非反射誘電フィルム間に設けら
れる、高赤外線反射率の１あるいはそれ以上の薄い金属
フィルムからなる多層フィルムからなる。この金属フィ
ルムは、銀でもよく、金属酸化物フィルムは、種々の金
属の酸化物及び亜鉛、スズ、チタニウム等を含む金属合
金でよい。通常、ここに記載されるフィルムのタイプ
は、周知のマグネトロン蒸着技術によって商業生産ベー
スでのガラス基板に蒸着される。
化物フィルムのような、非反射誘電フィルム間に設けら
れる、高赤外線反射率の１あるいはそれ以上の薄い金属
フィルムからなる多層フィルムからなる。この金属フィ
ルムは、銀でもよく、金属酸化物フィルムは、種々の金
属の酸化物及び亜鉛、スズ、チタニウム等を含む金属合
金でよい。通常、ここに記載されるフィルムのタイプ
は、周知のマグネトロン蒸着技術によって商業生産ベー
スでのガラス基板に蒸着される。
自動車用フロントガラスのような所望の形状にガラス
が曲げられるように、あるいはガラスを強化するため
に、ガラスシートを融点あるいはその近くの温度まで加
熱することがしばしば必要である。被覆されたガラス製
品は、しばしば数時間の間、高温に耐えねばならない。
知られているように、強化は、自動車用フロントガラス
としての使用を意図するガラスに特に重要である；破壊
に際して、フロントガラスは、大きく、危険な鋭い破片
よりむしろ、望ましくは、非常に多くの小さな破片に粉
砕される破片模様を呈する。摂氏600度のようなそして
それ以上の温度が要求される。赤外線反射フィルムのよ
うな銀を用いる多層フィルムは、銀フィルムの劣化なし
にそのような温度にしばしば耐えることができない。
が曲げられるように、あるいはガラスを強化するため
に、ガラスシートを融点あるいはその近くの温度まで加
熱することがしばしば必要である。被覆されたガラス製
品は、しばしば数時間の間、高温に耐えねばならない。
知られているように、強化は、自動車用フロントガラス
としての使用を意図するガラスに特に重要である；破壊
に際して、フロントガラスは、大きく、危険な鋭い破片
よりむしろ、望ましくは、非常に多くの小さな破片に粉
砕される破片模様を呈する。摂氏600度のようなそして
それ以上の温度が要求される。赤外線反射フィルムのよ
うな銀を用いる多層フィルムは、銀フィルムの劣化なし
にそのような温度にしばしば耐えることができない。
この問題を避けるために、ガラスシートは、被覆され
る前に加熱され、曲げられ、あるいは強化され、その
後、所望の金属や金属酸化物被覆が加えられる。特に、
曲線ガラス製品のために、この工程は通常、一様でない
被覆を生じ、コストも高い。
る前に加熱され、曲げられ、あるいは強化され、その
後、所望の金属や金属酸化物被覆が加えられる。特に、
曲線ガラス製品のために、この工程は通常、一様でない
被覆を生じ、コストも高い。
高温での損傷から赤外線反射金属フィルムを保護する
ための他の報告は、チタニウムのような酸化しうる金属
の保護フィルム間に銀フィルムをはさみ込むことであ
り、この保護フィルムは、被覆されたガラスが高温に加
熱されるとき、保護金属フィルムが酸化するような、十
分な厚さである。通常、金属酸化物が金属それ自体より
可視光透過性が大であるので、そのような被覆を保持す
るガラスシートは、加熱において透過率が増加する傾向
にある。参考文献として、フッファ（Huffer）他の米国
特許第4790922号及びフィンリー（Finley）の米国特許
第4806220号がある。
ための他の報告は、チタニウムのような酸化しうる金属
の保護フィルム間に銀フィルムをはさみ込むことであ
り、この保護フィルムは、被覆されたガラスが高温に加
熱されるとき、保護金属フィルムが酸化するような、十
分な厚さである。通常、金属酸化物が金属それ自体より
可視光透過性が大であるので、そのような被覆を保持す
るガラスシートは、加熱において透過率が増加する傾向
にある。参考文献として、フッファ（Huffer）他の米国
特許第4790922号及びフィンリー（Finley）の米国特許
第4806220号がある。
米国特許第5344718号［ハーティグ（Hartig）他］
は、銀がニッケルあるいはニクロム間にはさみ込まれる
多層フィルムの使用を記述しており、はさみ込まれたも
のは、さらにSi3N4のフィルム間にはさみ込まれ、その
ガラス製品は特定の透過率と熱放射率を有する。Ni:Cr
（50:50）合金が使用されるとき、蒸着中のCrは部分的
にCrの窒化物に変換され、可視光線の透過率が増加す
る。しかし、ニッケル、クロミウム（chromium）及びク
ロミウム窒化物の可視光線を透過する能力は、顕著では
なく、結果として、ニクロム（nichrome）のフィルムを
含むガラス製品の透過率は、所望のものよりやや少な
い。
は、銀がニッケルあるいはニクロム間にはさみ込まれる
多層フィルムの使用を記述しており、はさみ込まれたも
のは、さらにSi3N4のフィルム間にはさみ込まれ、その
ガラス製品は特定の透過率と熱放射率を有する。Ni:Cr
（50:50）合金が使用されるとき、蒸着中のCrは部分的
にCrの窒化物に変換され、可視光線の透過率が増加す
る。しかし、ニッケル、クロミウム（chromium）及びク
ロミウム窒化物の可視光線を透過する能力は、顕著では
なく、結果として、ニクロム（nichrome）のフィルムを
含むガラス製品の透過率は、所望のものよりやや少な
い。
（発明の開示）
発明の第１の実施形態は、ガラス上に多層フィルムを
作ることによって製造される所望の高耐熱性ガラス製品
に関するものであり、この多層フィルムには、銀等の赤
外線反射フィルムが、金属またはシリコン半導体からな
る薄い保護フィルム間にはさみ込まれ、そのような構造
は、シリコン窒化物等の窒化物からなるフィルムの間に
サンドイッチされ、その結果、保護フィルムの一方ある
いは両方は、窒化物フィルムの一方あるいは双方に含ま
れる元素を含んでいる。
作ることによって製造される所望の高耐熱性ガラス製品
に関するものであり、この多層フィルムには、銀等の赤
外線反射フィルムが、金属またはシリコン半導体からな
る薄い保護フィルム間にはさみ込まれ、そのような構造
は、シリコン窒化物等の窒化物からなるフィルムの間に
サンドイッチされ、その結果、保護フィルムの一方ある
いは両方は、窒化物フィルムの一方あるいは双方に含ま
れる元素を含んでいる。
保護フィルムと窒化物フィルムが共通して備えている
好ましい元素は、シリコンである。本発明の多層フィル
ムを含むガラス製品が摂氏600度あるいはそれ以上の高
温、例えば摂氏700度〜750度に加熱されるとき、ガラス
製品の可視光線に対する透過率は、わずかに増加する。
好ましい元素は、シリコンである。本発明の多層フィル
ムを含むガラス製品が摂氏600度あるいはそれ以上の高
温、例えば摂氏700度〜750度に加熱されるとき、ガラス
製品の可視光線に対する透過率は、わずかに増加する。
保護フィルムの厚さは、赤外線反射層の接着性が加熱
処理によって過度に減少しないように選択される。以下
の説明に拘束されることなく、薄い保護フィルムに隣接
する窒化物フィルム、特に外側の窒化物フィルムからの
窒素は、高い強化温度まで上げられたとき、窒素を遊離
させ、そのように解放された窒素は、保護フィルムと窒
化物を形成するために結合するようにみえる。また、外
側の保護フィルムからいくらかの酸化物が発生する。こ
の点で、保護フィルムは、赤外線反射金属フィルムが窒
化あるいは酸化されることから保護することに役立つ。
処理によって過度に減少しないように選択される。以下
の説明に拘束されることなく、薄い保護フィルムに隣接
する窒化物フィルム、特に外側の窒化物フィルムからの
窒素は、高い強化温度まで上げられたとき、窒素を遊離
させ、そのように解放された窒素は、保護フィルムと窒
化物を形成するために結合するようにみえる。また、外
側の保護フィルムからいくらかの酸化物が発生する。こ
の点で、保護フィルムは、赤外線反射金属フィルムが窒
化あるいは酸化されることから保護することに役立つ。
シリコンが保護フィルムのために使用されるとき、保
護フィルムは少なくとも部分的にシリコン窒化物に変換
されるようにみえる。シリコン窒化物はシリコン元素よ
り透過性があり、結果として、ガラス製品全体の透過率
は、もし事実として透過率が高温にさらされることによ
って完全に変化するのであれば、増大する。
護フィルムは少なくとも部分的にシリコン窒化物に変換
されるようにみえる。シリコン窒化物はシリコン元素よ
り透過性があり、結果として、ガラス製品全体の透過率
は、もし事実として透過率が高温にさらされることによ
って完全に変化するのであれば、増大する。
さらに、窒化物フィルム及び保護フィルムの双方の元
素成分（例えば、シリコン）が同じであれば、保護フィ
ルムと窒化物ウィルム間の急峻な界面は、より避けられ
そうであり、保護フィルムから窒化物が剥離することに
よる破壊の可能性を減少させ、多層膜の均一性を増加さ
せる。しかし、もしシリコンやシリコン含有膜からなる
保護膜が薄すぎる場合は、膜の耐久性はしばしば低下し
てしまう。保護フィルムがシリコンを含み、シリコン含
有フィルムが非常に薄いのであれば、その時は、多層フ
ィルムの耐久性はしばしば減少する。シリコン含有層、
特に、反射層上の保護フィルムは、多層フィルムが良好
な耐久性を維持しつつ高温処理に耐えることができるよ
うな厚さで蒸着される。この現象は、赤外線反射層の両
側に反応しないシリコン金属が保持されているためと考
えられる。
素成分（例えば、シリコン）が同じであれば、保護フィ
ルムと窒化物ウィルム間の急峻な界面は、より避けられ
そうであり、保護フィルムから窒化物が剥離することに
よる破壊の可能性を減少させ、多層膜の均一性を増加さ
せる。しかし、もしシリコンやシリコン含有膜からなる
保護膜が薄すぎる場合は、膜の耐久性はしばしば低下し
てしまう。保護フィルムがシリコンを含み、シリコン含
有フィルムが非常に薄いのであれば、その時は、多層フ
ィルムの耐久性はしばしば減少する。シリコン含有層、
特に、反射層上の保護フィルムは、多層フィルムが良好
な耐久性を維持しつつ高温処理に耐えることができるよ
うな厚さで蒸着される。この現象は、赤外線反射層の両
側に反応しないシリコン金属が保持されているためと考
えられる。
他の実施例において、窒化物フィルムは、酸化物フィ
ルムに置き換えられる。例えば、そのようなフィルム
は、金属またはシリコン等の半導体の薄い保護層の間
に、または、金属酸化物の層またはシリコン酸化物（例
SiO2）等の半導体層の間に、あるいは、あまり好ましく
はないがチタニウム酸化物（Tiox）のような酸化物］の
間に挟まれた挟まれた銀からなる。
ルムに置き換えられる。例えば、そのようなフィルム
は、金属またはシリコン等の半導体の薄い保護層の間
に、または、金属酸化物の層またはシリコン酸化物（例
SiO2）等の半導体層の間に、あるいは、あまり好ましく
はないがチタニウム酸化物（Tiox）のような酸化物］の
間に挟まれた挟まれた銀からなる。
多層フィルムのこれらのタイプは、限界的に適切な多
層フィルムを製造できるとはいえ、上記実施形態では、
酸化物よりも窒化物を用いる方が好ましい。
層フィルムを製造できるとはいえ、上記実施形態では、
酸化物よりも窒化物を用いる方が好ましい。
（図面の簡単な説明）
第１図は、本発明のフィルム積層体の断面を示す概略図
であり、第２図は、図１のフィルム積層体の変形例を示
す断面概略図である。
であり、第２図は、図１のフィルム積層体の変形例を示
す断面概略図である。
（発明を実施するための最良の形態）
図１に示された多層フィルムを参照すると、ガラスシ
ートは、12で示されている。ガラスシートの表面14の上
には、順次、窒化物フィルム（nitride film）16、薄い
保護フィルム18、赤外線反射金属フィルム20、薄い保護
フィルム22、及び窒化物フィルム24が蒸着されている。
図面に示された種々のフィルム及び複数のフィルムの厚
さは、その寸法通りではないことが理解されるであろ
う。
ートは、12で示されている。ガラスシートの表面14の上
には、順次、窒化物フィルム（nitride film）16、薄い
保護フィルム18、赤外線反射金属フィルム20、薄い保護
フィルム22、及び窒化物フィルム24が蒸着されている。
図面に示された種々のフィルム及び複数のフィルムの厚
さは、その寸法通りではないことが理解されるであろ
う。
本発明の多層フィルムの各フィルムは、通常の手段に
よりガラス基板12の上に蒸着される。好ましい蒸着方法
は、チャピン（Chapin）の米国特許第4,166,018号に記
載されている、直流マグネトロンによるスパッタリング
を含み、その技術は、本明細書に参考として含まれる。
マグネトロンによるスパッタリング蒸着（sputter depo
sition）は、ガラス基板を一連の低圧ゾーンを通過させ
て移送し、その中で、多層フィルムに作り上げる種々の
フィルムが順次積み重ねられる。
よりガラス基板12の上に蒸着される。好ましい蒸着方法
は、チャピン（Chapin）の米国特許第4,166,018号に記
載されている、直流マグネトロンによるスパッタリング
を含み、その技術は、本明細書に参考として含まれる。
マグネトロンによるスパッタリング蒸着（sputter depo
sition）は、ガラス基板を一連の低圧ゾーンを通過させ
て移送し、その中で、多層フィルムに作り上げる種々の
フィルムが順次積み重ねられる。
金属フィルムは、メタル源またはターゲットから飛散
される。１つの金属フィルムは、アルゴン等の不活性ガ
ス雰囲気内の金属ターゲットからのスパッタリングによ
り形成され、一方、シリコン窒化物等の窒化物フィルム
は、反応性雰囲気内のシリコンターゲットを利用して、
スパッタリングされる。このように蒸着されるフィルム
の厚さは、コーティング室を通過するガラス基板の搬送
速度を変えることおよびその出力とスパッタリング率を
変えることによって制御される。
される。１つの金属フィルムは、アルゴン等の不活性ガ
ス雰囲気内の金属ターゲットからのスパッタリングによ
り形成され、一方、シリコン窒化物等の窒化物フィルム
は、反応性雰囲気内のシリコンターゲットを利用して、
スパッタリングされる。このように蒸着されるフィルム
の厚さは、コーティング室を通過するガラス基板の搬送
速度を変えることおよびその出力とスパッタリング率を
変えることによって制御される。
薄い保護フィルムと窒化物フィルムをガラス基板上に
蒸着させる別の方法は、プラズマによる化学蒸着法を必
要とする。この参考文献として、ジョンコック（Johnco
ck）等の米国特許第4,619,729号、及びハジェンス（Hud
gens）等の米国特許第4,737,379号において知られた方
法がある。
蒸着させる別の方法は、プラズマによる化学蒸着法を必
要とする。この参考文献として、ジョンコック（Johnco
ck）等の米国特許第4,619,729号、及びハジェンス（Hud
gens）等の米国特許第4,737,379号において知られた方
法がある。
プラズマによる化学蒸着法は、プラズマを介してガス
源の分解を必要とし、そして、ガラス基板等の固体表面
上にフィルムを形成する。フィルムの厚さは、ガラス基
板がプラズマゾーンを通過するときの基板の搬送速度を
変えることにより、また、出力及びガス流の速度を変え
ることにより調整される。
源の分解を必要とし、そして、ガラス基板等の固体表面
上にフィルムを形成する。フィルムの厚さは、ガラス基
板がプラズマゾーンを通過するときの基板の搬送速度を
変えることにより、また、出力及びガス流の速度を変え
ることにより調整される。
赤外線反射金属フィルムとして、銀から作られたフィ
ルムが好ましい。銀の厚さは、80Å〜170Åの範囲とす
るのが適当であることが見い出されたが、約105Å〜120
Åの範囲の厚さが好ましい。銀の層の厚さは、表面の導
電率及び色に対する要求に従って選択される。
ルムが好ましい。銀の厚さは、80Å〜170Åの範囲とす
るのが適当であることが見い出されたが、約105Å〜120
Åの範囲の厚さが好ましい。銀の層の厚さは、表面の導
電率及び色に対する要求に従って選択される。
窒素及び酸素は、ガラスの調質すなわち強化（temper
ing）温度において、銀製フィルムと接触して反応する
のを防止しなければならない。そして、薄い保護フィル
ムは、窒素や酸素と化学的に反応する能力を有し、窒素
や酸素を捕捉して窒化物や酸化物を形成することから、
高い温度で、銀製の反射フィルムとの反応を防止しなけ
ればならない。
ing）温度において、銀製フィルムと接触して反応する
のを防止しなければならない。そして、薄い保護フィル
ムは、窒素や酸素と化学的に反応する能力を有し、窒素
や酸素を捕捉して窒化物や酸化物を形成することから、
高い温度で、銀製の反射フィルムとの反応を防止しなけ
ればならない。
シリコンは、高温において、窒素及び酸素と容易に反
応して、窒化物及び酸化物を形成する。このシリコンの
窒化物や酸化物は、可視光線を大いに透過させる。それ
ゆえ、銀製フィルムのいずれの側でも薄い保護フィルム
としてシリコンを使用することが好ましい。シリコンの
合金もまた考慮できる。
応して、窒化物及び酸化物を形成する。このシリコンの
窒化物や酸化物は、可視光線を大いに透過させる。それ
ゆえ、銀製フィルムのいずれの側でも薄い保護フィルム
としてシリコンを使用することが好ましい。シリコンの
合金もまた考慮できる。
シリコンを含有する薄い保護フィルム18,22は、高温
度での劣化から銀製フィルムを保護するのに十分な厚さ
が必要であるが、強化後の可視光線の透過率を不正に減
少させたり、あるいは放射率（emissivity）を減少させ
るほど大きくない厚さに蒸着される。
度での劣化から銀製フィルムを保護するのに十分な厚さ
が必要であるが、強化後の可視光線の透過率を不正に減
少させたり、あるいは放射率（emissivity）を減少させ
るほど大きくない厚さに蒸着される。
本発明の多層フィルムを有するガラス基板が、高い温
度に上昇させられると、多層フィルムの可視光線の透過
率は、わずかに上昇する。透過率における変化が生じる
程度でわずかに上昇する。透過率のわずかな増加は、少
なくとも部分的な窒化または酸化によりもたらされる
か、あるいは、銀製フィルムをサンドイッチする薄い保
護フィルムとの両方によるものと考えられる。
度に上昇させられると、多層フィルムの可視光線の透過
率は、わずかに上昇する。透過率における変化が生じる
程度でわずかに上昇する。透過率のわずかな増加は、少
なくとも部分的な窒化または酸化によりもたらされる
か、あるいは、銀製フィルムをサンドイッチする薄い保
護フィルムとの両方によるものと考えられる。
保護フィルムに対する８Å程度の厚さは、許容可能な
結果を与える。３Å〜15Åの範囲にある厚さが使用可能
であり、６Å〜10Åの範囲の厚さが、好ましく、さら
に、７Å〜９Åの範囲の厚さが最も好ましい。
結果を与える。３Å〜15Åの範囲にある厚さが使用可能
であり、６Å〜10Åの範囲の厚さが、好ましく、さら
に、７Å〜９Åの範囲の厚さが最も好ましい。
銀製フィルムの下にある（即ち、銀製フィルムとガラ
ス基板との間にある）シリコン層の保護フィルムは、そ
の厚さが６Å〜８Åの範囲であることが好ましく、ま
た、銀製フィルム上のシリコン保護フィルムは、その厚
さが８Å〜10Åの範囲であることが好ましい。これらの
シリコン層は、10Åよりも厚くなると、透過性が減少
し、さらに、強化後の放射率が、好ましくないあるいは
受け入れ不能なレベルに増加する。
ス基板との間にある）シリコン層の保護フィルムは、そ
の厚さが６Å〜８Åの範囲であることが好ましく、ま
た、銀製フィルム上のシリコン保護フィルムは、その厚
さが８Å〜10Åの範囲であることが好ましい。これらの
シリコン層は、10Åよりも厚くなると、透過性が減少
し、さらに、強化後の放射率が、好ましくないあるいは
受け入れ不能なレベルに増加する。
（銀を薄い保護フィルムの間にサンドイッチして形成
した）「内側サンドイッチ」と呼ぶ層のいずれの側の窒
化物フィルム16,24は、好ましくは、シリコン窒化物で
ある。このシリコン窒化物は、可視光線の透過率が高く
なるという利点があり、また、多層フィルムとして、化
学的及び物理的に耐久性を与える利点がある。
した）「内側サンドイッチ」と呼ぶ層のいずれの側の窒
化物フィルム16,24は、好ましくは、シリコン窒化物で
ある。このシリコン窒化物は、可視光線の透過率が高く
なるという利点があり、また、多層フィルムとして、化
学的及び物理的に耐久性を与える利点がある。
この窒化物フィルムは、反射防止フィルムとして役立
つ。シリコン窒化物フィルム24は、「内側サンドイッ
チ」の上に蒸着され、最終製品として望まれる色に基づ
く厚さとして、好ましくは350Åから約600Åの範囲にあ
ることが望ましい。シリコン窒化物フィルム16は、ガラ
ス基板と内側サンドイッチとの間に位置し、厚さが、所
望の色に基づいて、250Åから約500Åの範囲とすること
ができる。
つ。シリコン窒化物フィルム24は、「内側サンドイッ
チ」の上に蒸着され、最終製品として望まれる色に基づ
く厚さとして、好ましくは350Åから約600Åの範囲にあ
ることが望ましい。シリコン窒化物フィルム16は、ガラ
ス基板と内側サンドイッチとの間に位置し、厚さが、所
望の色に基づいて、250Åから約500Åの範囲とすること
ができる。
本発明の多層フィルムは、上記したように、マグネト
ロンのスパッタリング装置を利用して、窒化物フィルム
を形成するために、第１の低圧室内に窒素を含有する反
応性雰囲気内のターゲットからシリコン等の窒素反応物
質をガラス基板上にスパッタリングし、そして、非反応
性の（例えば、アルゴン）雰囲気を含む１つまたはそれ
以上の低圧室にガラス基板を搬送して、薄い保護フィル
ムを蒸着し、続いて銀製フィルムや他の赤外線反射金属
フィルム、さらに、第２保護フィルムを蒸着する。こう
して、第１の窒化物フィルムの上に「内側サンドイッ
チ」を形成することができる。
ロンのスパッタリング装置を利用して、窒化物フィルム
を形成するために、第１の低圧室内に窒素を含有する反
応性雰囲気内のターゲットからシリコン等の窒素反応物
質をガラス基板上にスパッタリングし、そして、非反応
性の（例えば、アルゴン）雰囲気を含む１つまたはそれ
以上の低圧室にガラス基板を搬送して、薄い保護フィル
ムを蒸着し、続いて銀製フィルムや他の赤外線反射金属
フィルム、さらに、第２保護フィルムを蒸着する。こう
して、第１の窒化物フィルムの上に「内側サンドイッ
チ」を形成することができる。
ガラス基板は、反応性窒素雰囲気を含む別の低圧室内
に搬送され、そして、内側サンドイッチ構造体上の窒化
物フィルムを蒸着させるターゲットからスパッタリング
処理される。
に搬送され、そして、内側サンドイッチ構造体上の窒化
物フィルムを蒸着させるターゲットからスパッタリング
処理される。
薄い保護フィルムがシリコンで作られ、また内側サンド
イッチのいずれの側に形成される窒化物フィルムが、シ
リコン窒化物で作られる場合、被覆されたガラス製品
は、加熱処理の前に一般的に可視光線（光源Ｃ）が約78
％〜81％の可視光透過率を有する。被覆されたガラス基
板が700℃の温度に熱処理され、続いて空冷された場
合、可視光線の透過率は、約80％〜85％、即ち、約２％
〜５％の増加となって、わずかに増加することがわか
る。
イッチのいずれの側に形成される窒化物フィルムが、シ
リコン窒化物で作られる場合、被覆されたガラス製品
は、加熱処理の前に一般的に可視光線（光源Ｃ）が約78
％〜81％の可視光透過率を有する。被覆されたガラス基
板が700℃の温度に熱処理され、続いて空冷された場
合、可視光線の透過率は、約80％〜85％、即ち、約２％
〜５％の増加となって、わずかに増加することがわか
る。
強化後、ガラス製品を撓ませ、あるいは、高温度での
曲げに関して、反射フィルムとなる金属膜と、保護フィ
ルム及び誘電体フィルムの合成物が選択され、フィルム
の厚さも制御されので、光源Ｃでの可視光線の透過率が
約80％以上を示し、好ましくは、85％となり、高温の熱
処理により、可視光線に対する透過率がわずかに増加す
る。
曲げに関して、反射フィルムとなる金属膜と、保護フィ
ルム及び誘電体フィルムの合成物が選択され、フィルム
の厚さも制御されので、光源Ｃでの可視光線の透過率が
約80％以上を示し、好ましくは、85％となり、高温の熱
処理により、可視光線に対する透過率がわずかに増加す
る。
以下の説明により制限されることなく、シリコン窒化
物等の窒化物フィルムがマグネトロンのスパッタリング
または化学的蒸着法あるいは同等の方法により、形成さ
れるとき、結果として生じるシリコン窒化物は、フィル
ムが形成される際に、窒化ガスの吸着作用または吸収作
用あるいはその両方を可能とする無定形構造を有する。
物等の窒化物フィルムがマグネトロンのスパッタリング
または化学的蒸着法あるいは同等の方法により、形成さ
れるとき、結果として生じるシリコン窒化物は、フィル
ムが形成される際に、窒化ガスの吸着作用または吸収作
用あるいはその両方を可能とする無定形構造を有する。
多層フィルムがガラスの強化温度に加熱されると、窒化
物フィルムからの窒素ガスがこれらのフィルムから逃げ
出し、さらに、このような高温度において、銀製の赤外
線反射フィルムと非常に反応しやすくなる。銀の層がサ
ンドイッチされている薄い保護フィルムによって捕捉さ
れるのは、まさに、この窒化物フィルムから放出される
高い反応性を有するこの窒素ガスであると考えられてい
る。
物フィルムからの窒素ガスがこれらのフィルムから逃げ
出し、さらに、このような高温度において、銀製の赤外
線反射フィルムと非常に反応しやすくなる。銀の層がサ
ンドイッチされている薄い保護フィルムによって捕捉さ
れるのは、まさに、この窒化物フィルムから放出される
高い反応性を有するこの窒素ガスであると考えられてい
る。
一般的にガラスの強化は、空気内に酸化雰囲気を生じ
させるので、ある程度の反応性酸素ガスが最も外側の窒
化物層を通過するが、反応性窒素ガスと同じように、酸
素ガスもまた窒化物層の下にある保護フィルムにより捕
捉されてその要素と酸化物を形成する。
させるので、ある程度の反応性酸素ガスが最も外側の窒
化物層を通過するが、反応性窒素ガスと同じように、酸
素ガスもまた窒化物層の下にある保護フィルムにより捕
捉されてその要素と酸化物を形成する。
他の更なるフィルムが、本発明の多層フィルムに使用
することができる。特に、１つまたはそれ以上のフィル
ムがガラス基板の表面と第１の窒化物フィルムとの間に
下塗り層として、また、他の窒化物フィルムの上に使用
することができる。
することができる。特に、１つまたはそれ以上のフィル
ムがガラス基板の表面と第１の窒化物フィルムとの間に
下塗り層として、また、他の窒化物フィルムの上に使用
することができる。
好ましくは、「内側サンドイッチ」構造は、２つの薄
い保護シリコンフィルムの間に銀製フィルムをサンドイ
ッチしたものからなり、この銀とシリコンのフィルム
は、隣接、即ち、接触しており、ガラス基板に近い側の
シリコンフィルムは、他のシリコンフィルムよりも薄く
なっている。
い保護シリコンフィルムの間に銀製フィルムをサンドイ
ッチしたものからなり、この銀とシリコンのフィルム
は、隣接、即ち、接触しており、ガラス基板に近い側の
シリコンフィルムは、他のシリコンフィルムよりも薄く
なっている。
好ましい実施形態では、「内側サンドイッチ」構造体
をその間に受け入れる金属窒化物フィルムが、それぞれ
薄い保護フィルムに接触しており、その結果、多層フィ
ルムは、順次、次のフィルムが隣接するフィルムに互い
に接触して、シリコン窒化物−シリコン−銀−シリコン
−シリコン窒化物の形となっている。この最も好ましい
実施形態において、本発明の多層フィルムは、以下のも
のを含む。
をその間に受け入れる金属窒化物フィルムが、それぞれ
薄い保護フィルムに接触しており、その結果、多層フィ
ルムは、順次、次のフィルムが隣接するフィルムに互い
に接触して、シリコン窒化物−シリコン−銀−シリコン
−シリコン窒化物の形となっている。この最も好ましい
実施形態において、本発明の多層フィルムは、以下のも
のを含む。
（１）シリコン窒化物の第１フィルムは、その厚さが25
0Å〜450Åの範囲である。
0Å〜450Åの範囲である。
（２）第２のシリコンフィルムは、第１フィルムの上に
蒸着され、その厚さが５Å〜７Åの範囲である。
蒸着され、その厚さが５Å〜７Åの範囲である。
（３）第３の銀製フィルムは、第２のシリコンフィルム
の上に蒸着され、その厚さが105Å〜120Åの範囲であ
る。
の上に蒸着され、その厚さが105Å〜120Åの範囲であ
る。
（４）第４の保護シリコンフィルムは、その厚さが８Å
〜10Åの範囲である。
〜10Åの範囲である。
（５）第５のシリコン窒化物フィルムは、その厚さが35
0Å〜600Åの範囲である。
0Å〜600Åの範囲である。
必要ならば、第２フィルムないし第４フィルムは繰り
返され、所望の透過率と放射率を得るための厚さのフィ
ルムに適当に調整される。この実施形態では、図２に示
すように、第６のシリコンフィルム25、第７の銀製フィ
ルム26、第８のシリコンフィルム28、および第９のシリ
コン窒化物フィルム30が付加されている。
返され、所望の透過率と放射率を得るための厚さのフィ
ルムに適当に調整される。この実施形態では、図２に示
すように、第６のシリコンフィルム25、第７の銀製フィ
ルム26、第８のシリコンフィルム28、および第９のシリ
コン窒化物フィルム30が付加されている。
実施例
市販の直流マグネトロンのスパッタリング被膜形成装
置（Airco）を用いて、厚さが3mmの洗浄したガラスシー
トが一連のスパッタリング被覆の低圧室を通過すると、
ガラス表面上に連続した層のフィルムを蒸着する。フィ
ルムの厚さは、スパッタリング率によって決定される。
アルゴンと窒素からなる低圧の雰囲気を含む１つの被覆
室では、シリコンが飛散してガラス表面上に直接厚さが
320Åの第１フィルムを形成する。このシリコン窒化物
フィルムの上には、直接、薄い（６Å）第２のシリコン
フィルムがシリコンターゲットにより蒸着され、続いて
厚さが110Åの第３の銀製フィルムが、銀メタルターゲ
ットにより蒸着され、さらに、薄い（８Å）第４のシリ
コンフィルムが、シリコンターゲットにより蒸着され
る。これらのシリコンおよび銀のフィルムは、低圧のア
ルゴン雰囲気内で蒸着される。
置（Airco）を用いて、厚さが3mmの洗浄したガラスシー
トが一連のスパッタリング被覆の低圧室を通過すると、
ガラス表面上に連続した層のフィルムを蒸着する。フィ
ルムの厚さは、スパッタリング率によって決定される。
アルゴンと窒素からなる低圧の雰囲気を含む１つの被覆
室では、シリコンが飛散してガラス表面上に直接厚さが
320Åの第１フィルムを形成する。このシリコン窒化物
フィルムの上には、直接、薄い（６Å）第２のシリコン
フィルムがシリコンターゲットにより蒸着され、続いて
厚さが110Åの第３の銀製フィルムが、銀メタルターゲ
ットにより蒸着され、さらに、薄い（８Å）第４のシリ
コンフィルムが、シリコンターゲットにより蒸着され
る。これらのシリコンおよび銀のフィルムは、低圧のア
ルゴン雰囲気内で蒸着される。
第４のシリコンフィルムの上に直接、第１のフィルム
に関して上述したように、シリコン窒化物でなりかつ厚
さが490Åの第５のフィルムが蒸着される。こうしてで
きたガラス製品は、熱処理炉で730℃に加熱され、直ち
に空冷される。標準加熱と焼き戻しのサイクルは２分30
秒〜３分である。
に関して上述したように、シリコン窒化物でなりかつ厚
さが490Åの第５のフィルムが蒸着される。こうしてで
きたガラス製品は、熱処理炉で730℃に加熱され、直ち
に空冷される。標準加熱と焼き戻しのサイクルは２分30
秒〜３分である。
強化前に測定された透過率は、78％であり、強化後
は、82％であった。電気的な表面抵抗は、ほぼ放射率に
比例して変化するが、４つのプローブ抵抗計（時々、４
ポイント測定と呼ばれる。）を用いて測定された。抵抗
率は、単位面積あたり約6.5〜約10オームの範囲が望ま
しい。強化前と強化後の表面抵抗は、単位面積あたり11
〜12オームが８〜９オームの範囲の値に減少することが
示された。これは放射率の減少を意味する。
は、82％であった。電気的な表面抵抗は、ほぼ放射率に
比例して変化するが、４つのプローブ抵抗計（時々、４
ポイント測定と呼ばれる。）を用いて測定された。抵抗
率は、単位面積あたり約6.5〜約10オームの範囲が望ま
しい。強化前と強化後の表面抵抗は、単位面積あたり11
〜12オームが８〜９オームの範囲の値に減少することが
示された。これは放射率の減少を意味する。
単一の銀製フィルムまたは他の赤外線反射フィルムを
有する本発明の多層フィルムでは、４ポイントの抵抗
は、単位面積当たり10オームを越えないことが望まし
い。２つの銀製フィルムまたは他の赤外線反射フィルム
を有する本発明の多層フィルムでは、４ポイントの抵抗
は、単位面積当たり５オームを越えないことが望まし
く、2.5〜５オームの範囲であることが好ましい。
有する本発明の多層フィルムでは、４ポイントの抵抗
は、単位面積当たり10オームを越えないことが望まし
い。２つの銀製フィルムまたは他の赤外線反射フィルム
を有する本発明の多層フィルムでは、４ポイントの抵抗
は、単位面積当たり５オームを越えないことが望まし
く、2.5〜５オームの範囲であることが好ましい。
上述したように、シリコン含有の薄い保護フィルムの厚
さの制御には注意を払う必要があり、銀製フィルム層の
上に蒸着するフィルムについては、特に注意しなければ
ならない。
さの制御には注意を払う必要があり、銀製フィルム層の
上に蒸着するフィルムについては、特に注意しなければ
ならない。
１つの実験において、保護フィルム層のいずれかが、
特に薄い場合、多層フィルムの耐久性に害を及ぼすこと
が判明しており、銀製フィルムと保護フィルムの間、あ
るいは銀製フィルムが挟まれた一方または両方の保護フ
ィルムとの間の接着の失敗により耐久性が落ちると考え
られる。この実験において、上述した値での最も好まし
い銀製及びシリコン窒化物の厚さ、さらに、シリコンフ
ィルムの厚さは、市販の直流マグネトロンのスパッタリ
ング被膜形成装置（Airco）の84インチ幅を用いて、ス
パッタリング出力が1kWと2.8kWの間で変わり、かつガラ
スの搬送速度が１分間につき375インチ移動する速度と
した場合においてに変化した。
特に薄い場合、多層フィルムの耐久性に害を及ぼすこと
が判明しており、銀製フィルムと保護フィルムの間、あ
るいは銀製フィルムが挟まれた一方または両方の保護フ
ィルムとの間の接着の失敗により耐久性が落ちると考え
られる。この実験において、上述した値での最も好まし
い銀製及びシリコン窒化物の厚さ、さらに、シリコンフ
ィルムの厚さは、市販の直流マグネトロンのスパッタリ
ング被膜形成装置（Airco）の84インチ幅を用いて、ス
パッタリング出力が1kWと2.8kWの間で変わり、かつガラ
スの搬送速度が１分間につき375インチ移動する速度と
した場合においてに変化した。
耐水性は、湿った綿の手袋で擦った場合にコーティン
グが耐えられる程度を示す。
グが耐えられる程度を示す。
本発明の好ましい実施形態について述べてきたが、種々
の変更、適合、及び修正は、本発明の技術的思想および
請求の範囲から逸脱しない範囲で可能であることは理解
できるであろう。
の変更、適合、及び修正は、本発明の技術的思想および
請求の範囲から逸脱しない範囲で可能であることは理解
できるであろう。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C03C 15/00 - 23/00
B32B 1/00 - 35/00
ＷＰＩ
Claims (17)
- 【請求項１】ガラス基板と、可視光透過性の多層フィル
ムとを含み、この多層フィルムは、前記ガラス基板上に
被膜されかつ前記ガラス基板の外側に、可視光透過性の
赤外線反射金属フィルム、このフィルム上に置かれたシ
リコンフィルム、及び可視光透過性の誘電体フィルムを
有し、前記シリコンフィルムの厚さを３Å〜15Åの範囲
とし、この厚さにより、高熱処理の間、前記誘電体フィ
ルムから排出され又は通過してくる窒素または酸素をシ
リコンフィルムと化学的に反応させて、前記赤外線反射
金属フィルムが窒化または酸化されないように保護する
ことを特徴とする可視光透過性の耐熱ガラス製品。 - 【請求項２】前記可視光透過性の誘電体フィルムは、シ
リコン窒化物からなることを特徴とする請求の範囲第１
項に記載の可視光透過性ガラス製品。 - 【請求項３】前記可視光透過性の赤外線反射金属フィル
ムは、銀製であることを特徴とする請求の範囲第１項に
記載の可視光透過性ガラス製品。 - 【請求項４】赤外線反射金属フィルムとガラス基板との
間に配置され、かつ前記赤外線反射金属フィルムに隣接
しているシリコンフィルムを含んでいることを特徴とす
る請求の範囲第１項に記載の可視光透過性ガラス製品。 - 【請求項５】ガラス基板と、このガラス基板上に被膜さ
れた可視光透過性の多層フィルムとを含み、この多層フ
ィルムは、前記ガラス基板の外側に、順次、可視光透過
性のシリコン窒化フィルム、シリコンフィルム、銀を含
有する可視光透過性の赤外線反射金属フィルム、シリコ
ンフィルム、および可視光透過性のシリコン窒化物フィ
ルムからなることを特徴とする可視光透過性の耐熱ガラ
ス製品。 - 【請求項６】前記銀を含有する層は、シリコンフィルム
の間に挟まれ、前記銀を含有するフィルム上のシリコン
フィルムは、前記銀を含有するフィルムとガラス基板と
の間のシリコンフィルムよりも厚いことを特徴とする請
求の範囲第５項に記載の可視光透過性ガラス製品。 - 【請求項７】ガラス表面の外側に、可視光透過性の赤外
線反射金属フィルム、シリコンを含有する薄い保護フィ
ルム、及び可視光透過性の誘電体フィルムを蒸着してな
る可視光透過性多層フィルムをガラス製品上に被膜し、
前記保護フィルムは、３Å〜15Åの範囲の厚さを有して
前記赤外線反射金属フィルムに隣接し、高熱処理の間、
前記誘電体フィルムから排出され又は通過してくる窒素
または酸素を前記シリコンと化学的に反応させて、前記
赤外線反射金属フィルムが窒化または酸化されないよう
に保護することを特徴とする、可視光透過性ガラス製品
を製造するための方法。 - 【請求項８】赤外線反射フィルムの下に直にシリコンを
含有する保護フィルムを蒸着するステップを有し、前記
保護フィルムは、高熱処理の間、酸素及び窒素の一方ま
たは両方を取り除いて前記赤外線反射フィルムに対して
未反応のシリコンを維持できるような厚さを有すること
を特徴とする請求の範囲第７項に記載の方法。 - 【請求項９】ガラス基板の外側に、第１の可視光透過性
の窒化物フィルム、第２のシリコン含有フィルム、第３
の可視光透過性の赤外線反射金属フィルム、第４のシリ
コン含有フィルム、第５の可視光透過性の窒化物フィル
ムを有する可視光透過性の多層フィルムを前記ガラス基
板の表面に被覆し、前記窒化物フィルムがシリコン窒化
物からなり、前記被覆されたガラス製品を加熱するステ
ップを有することを特徴とする、熱処理された可視光透
過性のガラス製品を製造する方法。 - 【請求項１０】ガラス表面の外側に、可視光透過性の赤
外線反射金属フィルム、シリコンを含有する薄い保護フ
ィルム、可視光透過性の誘電体フィルムを有する可視光
透過性のフィルム積層体をガラス基板の前記表面に被覆
し、前記保護フィルムは、３Å〜15Åの範囲の厚さを有
して前記赤外線反射金属フィルムに隣接し、高熱処理の
間、前記誘電体フィルムから排出され又は通過してくる
窒素または酸素を前記シリコンと化学的に反応させて、
前記赤外線反射金属フィルムが窒化または酸化されない
ように保護することを特徴とする、可視光透過性のガラ
ス製品を製造する方法。 - 【請求項１１】ガラス基板と、この基板上に蒸着された
可視光透過性の多層フィルムを有し、この多層フィルム
は、ガラス基板の外側に、第１の可視光透過性の窒化物
フィルム、第２のシリコン含有フィルム、第３の可視光
透過性の赤外線反射金属フィルム、第４のシリコン含有
フィルム、第５の可視光透過性の窒化物フィルムを有
し、前記金属窒化物フィルムは、シリコン窒化物である
ことを特徴とする、可視光透過性の耐熱ガラス製品。 - 【請求項１２】可視光透過性の金属窒化物フィルムの各
々が、シリコン窒化物であることを特徴とする請求の範
囲第11項に記載の可視光透過性ガラス製品。 - 【請求項１３】可視光透過性の赤外線反射金属フィルム
は、銀であることを特徴とする請求の範囲第11項に記載
の可視光透過性ガラス製品。 - 【請求項１４】透過性の赤外線反射金属フィルムは、３
Å〜15Åの範囲の厚さのシリコンを有することを特徴と
する請求の範囲第11項に記載の透過性ガラス製品。 - 【請求項１５】ガラス基板と、この基板上に配置された
可視光透過性の多層フィルムとを含み、この多層フィル
ムは、ガラス基板の外側に、250Å〜500Åの範囲の厚さ
を有する可視光透過性のシリコン窒化物フィルム、シリ
コンメタルの第１保護フィルム、銀を含有する可視光透
過性の赤外線反射金属フィルム、シリコンメタルの第２
保護フィルム、および、350Å〜600Åの範囲の厚さを有
する可視光透過性のシリコン窒化物フィルムを含み、第
１、第２の保護フィルムは、３Å〜15Åの範囲の厚さを
有することを特徴とする、可視光透過性の耐熱ガラス製
品。 - 【請求項１６】ガラス基板と、この基板上に配置された
可視光透過性の多層フィルムとを含み、この多層フィル
ムは、可視光透過性の赤外線反射金属フィルムの両側に
シリコン含有フィルムを蒸着したサンドイッチ構造体を
形成し、さらに、ガラスを強化温度に加熱されるとき窒
素の影響を受けない可視光透過性フィルムを前記サンド
イッチ構造体の両側に被覆したことを特徴とする、可視
光透過性の耐熱ガラス製品。 - 【請求項１７】ガラス基板と、この基板上に配置された
可視光透過性の多層フィルムとを含み、この多層フィル
ムは、可視光透過性の誘電体フィルムと、該誘電体フィ
ルムの間に介装されかつ厚さが３Å〜15Åであるシリコ
ンメタルの保護フィルムの間に隣接しかつサンドイッチ
された少なくとも１つの銀製のフィルムを含んでいるこ
とを特徴とする、可視光透過性の耐熱ガラス製品。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/613,817 | 1996-03-01 | ||
| US08/613,817 US6316111B1 (en) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | Heat-emperable coated glass article |
| PCT/US1997/002826 WO1997031872A1 (en) | 1996-03-01 | 1997-02-25 | Heat temperable transparent coated glass article |
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Family
ID=24458796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53103997A Expired - Lifetime JP3435514B2 (ja) | 1996-03-01 | 1997-02-25 | 可視光透過性の耐熱ガラス製品 |
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| AU (1) | AU734261B2 (ja) |
| CA (1) | CA2247864C (ja) |
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| DK (1) | DK0883584T3 (ja) |
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| DE19825424C1 (de) * | 1998-06-06 | 2000-01-05 | Ver Glaswerke Gmbh | Glasscheibe mit einem metallisch reflektierenden Schichtsystem |
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| US6495263B2 (en) | 1999-12-06 | 2002-12-17 | Guardian Industries Corp. | Low-E matchable coated articles and methods of making same |
| US6576349B2 (en) | 2000-07-10 | 2003-06-10 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable low-E coated articles and methods of making same |
| US20040107138A1 (en) * | 2000-10-12 | 2004-06-03 | Maggio Frank S. | Method and system for verifying immersion in advertising content via an immersion enhancing content vignette |
| DE10105199C1 (de) | 2001-02-06 | 2002-06-20 | Saint Gobain | Vorspannbares Low-E-Schichtsystem für Fensterscheiben sowie mit dem Low-E-Schichtsystem beschichtete transparente Scheibe |
| US20030049464A1 (en) | 2001-09-04 | 2003-03-13 | Afg Industries, Inc. | Double silver low-emissivity and solar control coatings |
| US6919133B2 (en) | 2002-03-01 | 2005-07-19 | Cardinal Cg Company | Thin film coating having transparent base layer |
| EP1480921B1 (en) * | 2002-03-01 | 2006-01-25 | Cardinal CG Company | Thin film coating having niobium-titanium layer |
| US7005190B2 (en) * | 2002-12-20 | 2006-02-28 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with reduced color shift at high viewing angles |
| US20040121146A1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-06-24 | Xiao-Ming He | Composite barrier films and method |
| DE602006012817D1 (de) * | 2005-03-31 | 2010-04-22 | Cardinal Cg Co | Gegen anlaufen beständige beschichtungen mit geringem emissionsvermögen |
| KR101386806B1 (ko) | 2005-05-12 | 2014-04-21 | 에이지씨 플랫 글래스 노스 아메리카, 인코퍼레이티드 | 저태양열 획득 계수, 향상된 화학적 및 기계적 특성을 갖는 저방사율 코팅 및 이의 제조 방법 |
| DE102006014796B4 (de) * | 2006-03-29 | 2009-04-09 | Saint-Gobain Glass Deutschland Gmbh | Thermisch hoch belastbares Low-E-Schichtsystem für transparente Substrate |
| DE102006037909A1 (de) * | 2006-08-11 | 2008-02-14 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Temperbares, Infrarotstrahlung reflektierendes Schichtsystem und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US7901781B2 (en) | 2007-11-23 | 2011-03-08 | Agc Flat Glass North America, Inc. | Low emissivity coating with low solar heat gain coefficient, enhanced chemical and mechanical properties and method of making the same |
| WO2010053921A1 (en) | 2008-11-04 | 2010-05-14 | Apogee Enterprises, Inc. | Coated glass surfaces and method for coating a glass substrate |
| US8512809B2 (en) | 2010-03-31 | 2013-08-20 | General Electric Company | Method of processing multilayer film |
| CN102501452A (zh) * | 2011-11-25 | 2012-06-20 | 林嘉宏 | 可钢化低辐射镀膜玻璃 |
| CN102501450A (zh) * | 2011-11-25 | 2012-06-20 | 林嘉宏 | 透光单银低辐射镀膜玻璃及其制造方法 |
| EP3356306B1 (en) | 2015-09-28 | 2021-06-16 | Tru Vue, Inc. | Near infrared reflective coated articles |
| CA3019958A1 (en) | 2016-04-19 | 2017-10-26 | Apogee Enterprises, Inc. | Coated glass surfaces and method for coating a glass substrate |
| EP3612867A4 (en) * | 2017-04-17 | 2021-01-06 | 3e Nano Inc. | ENERGY REGULATING COATINGS, ASSOCIATED STRUCTURES, DEVICES, AND MANUFACTURING PROCESSES |
| CA3058157A1 (en) | 2017-05-04 | 2018-11-08 | Apogee Enterprises, Inc. | Low emissivity coatings, glass surfaces including the same, and methods for making the same |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4166018A (en) * | 1974-01-31 | 1979-08-28 | Airco, Inc. | Sputtering process and apparatus |
| DE3160998D1 (en) | 1980-03-10 | 1983-11-03 | Teijin Ltd | Selectively light-transmitting laminated structure |
| US4737379A (en) * | 1982-09-24 | 1988-04-12 | Energy Conversion Devices, Inc. | Plasma deposited coatings, and low temperature plasma method of making same |
| US4594137A (en) * | 1983-09-09 | 1986-06-10 | Ppg Industries, Inc. | Stainless steel overcoat for sputtered films |
| US4619729A (en) * | 1984-02-14 | 1986-10-28 | Energy Conversion Devices, Inc. | Microwave method of making semiconductor members |
| AU585426B2 (en) | 1986-01-29 | 1989-06-15 | Pilkington Brothers Plc | Coated glass |
| US4799745A (en) | 1986-06-30 | 1989-01-24 | Southwall Technologies, Inc. | Heat reflecting composite films and glazing products containing the same |
| US4806220A (en) * | 1986-12-29 | 1989-02-21 | Ppg Industries, Inc. | Method of making low emissivity film for high temperature processing |
| US4790922A (en) * | 1987-07-13 | 1988-12-13 | Viracon, Inc. | Temperable low emissivity and reflective windows |
| DE3940748A1 (de) * | 1989-12-09 | 1991-06-13 | Ver Glaswerke Gmbh | Elektrisch beheizbare autoglasscheibe aus verbundglas |
| DE4109708C1 (ja) | 1991-03-23 | 1992-11-12 | Vegla Vereinigte Glaswerke Gmbh, 5100 Aachen, De | |
| US5229194A (en) | 1991-12-09 | 1993-07-20 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable sputter-coated glass systems |
| TW221703B (ja) | 1992-03-04 | 1994-03-11 | Boc Group Inc | |
| US5344718A (en) * | 1992-04-30 | 1994-09-06 | Guardian Industries Corp. | High performance, durable, low-E glass |
| FR2701475B1 (fr) * | 1993-02-11 | 1995-03-31 | Saint Gobain Vitrage Int | Substrats en verre revêtus d'un empilement de couches minces, application à des vitrages à propriétés de réflexion dans l'infra-rouge et/ou à propriétés dans le domaine du rayonnement solaire. |
| US6231999B1 (en) | 1996-06-21 | 2001-05-15 | Cardinal Ig Company | Heat temperable transparent coated glass article |
-
1996
- 1996-03-01 US US08/613,817 patent/US6316111B1/en not_active Expired - Lifetime
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