JP3435503B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JP3435503B2
JP3435503B2 JP31164794A JP31164794A JP3435503B2 JP 3435503 B2 JP3435503 B2 JP 3435503B2 JP 31164794 A JP31164794 A JP 31164794A JP 31164794 A JP31164794 A JP 31164794A JP 3435503 B2 JP3435503 B2 JP 3435503B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路装置に
係り、特に、高速のアドレス信号遷移検出回路(ATD
回路:Address Transition Det
ection回路)等を有するBiCMOS論理回路と
して用いるに好適な半導体集積回路装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ATD回路は、アドレス信号の遷移を検
出してパルス信号を生成する回路として用いられてい
る。従来のこの種の回路としては、たとえば、特開平2
−228136号公報に記載されているように、エミッ
タが共通に接続された複数個のバイポーラトランジスタ
の各ベースにCMOSまたはBiCMOSの多入力NA
ND、多入力NORゲートからなる論理回路を接続し、
論理回路の出力をバイポーラトランジスタのエミッタで
高速にワイヤード・オア論理を取る複合論理回路を構成
したものが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、少なく
とも一つのバイポーラトランジスタが選択されている時
に、非選択状態のバイポーラトランジスタには逆バイア
ス電圧が印加されることについては十分配慮されていな
い。すなわち、ワイヤード・オア接続されたバイポーラ
トランジスタのうち非選択状態にあるバイポーラトラン
ジスタのベース電位は、全てのバイポーラトランジスタ
が非選択状態にある時には、論理回路のローレベル側の
電位Vss(たとえば0V)にある。そして少なくとも
一つのバイポーラトランジスタが選択されてONになる
と、共通接続されたエミッタの電位は、論理回路のハイ
レベル側の電位Vcc(たとえば3.3V)よりもベー
ス・エミッタ順方向電圧Vbe(約0.8V)だけ低い
電位(3.3V−0.8V=2.5V)にある。このた
め、非選択状態のバイポーラトランジスタは、ベース電
位が0Vにあるが、エミッタ電位が2.5Vとなるの
で、ベース・エミッタ間には2.5Vの逆バイアス電圧
が印加されることになる。特に、エージング試験時に
は、Vccとして6V程度の電圧が印加されるので、非
選択状態のバイポーラトランジスタには5.2Vの逆バ
イアスが印加されることになる。この電圧は、バイポー
ラトランジスタの逆耐圧と同程度となる上、エージング
時には電流増幅率の低下を招くことになる。
【0004】本発明の目的は、非選択状態にあるトラン
ジスタに印加される逆バイアス電圧を低減することがで
きる半導体集積回路装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、複数のトランジスタの信号出力側が互い
にワイヤード・オア接続され、各トランジスタの信号入
力側に各トランジスタの導通・非導通を制御するための
信号を発生する信号発生回路が接続された半導体集積回
路装置において、前記各トランジスタの信号入力側と信
号発生回路との間に、信号発生回路からの導通信号に応
答して導通し、且つ少なくとも一つのトランジスタが導
通状態にあることを条件に信号発生回路からの非導通信
号に応答して非導通状態となるトランジスタに印加され
る逆方向のバイアス電圧を小さくする、又は各トランジ
スタの順方向バイアス電圧よりも低い順方向バイアス電
圧を発生する自己補償手段を備えていることを特徴とす
る半導体集積回路装置を構成したものである。
【0006】前記半導体集積回路装置を構成するに際し
ては、ワイヤード・オア接続されたトランジスタとし
て、バイポーラトランジスタを用いることができる。さ
らに、自己補償手段として、信号発生回路からの導通信
号に応答して導通し、且つ少なくとも一つのバイポーラ
トランジスタが導通状態にあることを条件に信号発生回
路からの非導通信号に応答してバイポーラトランジスタ
のベース電位を非導通信号のレベルよりも高いレベルに
維持するものを用いたり、信号発生回路からの導通信号
に応答して導通信号を伝送し、且つ少なくとも一つのバ
イポーラトランジスタが導通状態にあることを条件に信
号発生回路からの非導通信号に応答して非導通信号のレ
ベルよりも高いレベルの信号を発生するものを用いたり
することができる。
【0007】また、各半導体集積回路装置を構成するに
際しては、自己補償手段と並列に、ワイヤードオア接続
されたトランジスタのうち少なくとも一つのトランジス
タが導通状態になった後全てのトランジスタが非導通状
態になったことを条件に導通状態となって非導通信号の
レベルに近似したレベルの電圧を発生する補助自己補償
手段を備えているものを構成することができる。
【0008】前記各半導体集積回路装置を構成するに際
しては、自己補償手段として、PMOSトランジスタで
構成され、このPMOSトランジスタのゲート電極の電
位は、信号発生回路から発生する非導通信号のレベルと
同電位に維持され、PMOSトランジスタの残りの電極
のうち一方の電極は信号発生回路に接続され、他方の電
極はワイヤードオヤ接続されたトランジスタのベースに
接続されているものを用いることができる。さらに、補
助自己補償手段としては、NMOSトランジスタで構成
され、このNMOSトランジスタのゲートと残りの電極
のうち一方の電極は互いにダイオード接続されて信号発
生回路に接続され、他方の電極はワイヤードアオ接続さ
れたトランジスタのベースに接続されているものを用い
ることができる。
【0009】また、前記各半導体集積回路装置を構成す
るに際して、自己補償手段と補助自己補償手段として
は、互いに直列接続された第1PMOSトランジスタ及
び第2PMOSトランジスタと、ゲート電極が互いに接
続されていると共に残りの電極のうち一方の電極が互い
に接続されて縦続接続されている第3PMOSトランジ
スタ及び第1NMOSトランジスタとを備えており、第
1PMOSトランジスタのゲート電極の電位は、信号発
生回路から発生する非導通信号のレベルと同電位に維持
され、第1PMOSトランジスタの残りの電極のうち一
方の電極は信号発生回路に接続され、第1PMOSトラ
ンジスタの他方の電極は、ワイヤードオヤ接続されたト
ランジスタのベースに第2PMOSトランジスタを介し
て接続され、第2PMOSトランジスタのゲート電極
は、第3PMOSトランジタと第1NMOSトランジス
タとの接続点に接続され、第3PMOSトランジスタの
一方の電極は、第1PMOSトランジスタと第2PMO
Sトランジスタとの接続点に接続され、第1NMOSト
ランジスタの一方の電極の電位は、信号発生回路から発
生する非導通信号のレベルと同電位に維持され、第3P
MOSトランジスタと第1NMOSトランジスタのゲー
ト電極は信号発生回路に接続されているものを用いるこ
とができる。
【0010】
【作用】前記した手段によれば、各トランジスタの信号
入力側と信号発生回路との間に自己補償手段を設けたた
め、少なくとも一つのトランジスタが選択されて導通信
号によって導通状態となった時には、非選択状態の他の
トランジスタには非道通信号が入力されるが、非選択状
態のトランジスタに接続された自己補償手段からは、非
導通状態となるトランジスタに印加される逆方向のバイ
アス電圧を小さくたり、トランジスタの順方向バイアス
電圧よりも低い順方向バイアス電圧が発生したり、非導
通信号のレベルよりも高いレベルの信号が発生したりす
る。あるいは、自己補償手段は、バイポーラトランジス
タのベース電位を非導通信号のレベルよりも高いレベル
に維持するように作用する。このため非選択状態にある
トランジスタに印加される逆バイアス電圧を低減するこ
とができ、トランジスタの素子特性の劣化を防止するこ
とができる。そしてトランジスタとしてバイポーラトラ
ンジスタを用いた時には、非選択状態にあるバイポーラ
トランジスタのベース・エミッタ間に印加される逆バイ
アス電圧を低減することができる。
【0011】PMOSトランジスタで自己補償手段を構
成し、電源電位を3.3Vとした場合、通常動作時に全
てのバイポーラトランジスタが非選択状態になった時に
は、バイポーラトランジスタのコモンエミッタの電位は
ローレベルになるので、予め非選択状態にあったバイポ
ーラトランジスタのベース電位(約1.3V)はカップ
リングにより、Vcc−Vbe=2.5Vだけ引き下げ
られて約−1.2Vとなる。しかし、PMOSトランジ
スタと並列にNMOSトランジスタによる補助自己補償
手段を設けると、全てのバイポーラトランジスタが非選
択状態になる時にNMOSトランジスタがONとなって
トランジスタのベース電圧をローレベルよりNMOSト
ランジスタのしき値電圧分だけ低い電圧、約−0.3V
に抑制することができる。この場合、次にバイポーラト
ランジスタが選択された時に、バイポーラトランジスタ
のベース電位が通常のレベルに回復するまでの時間を短
縮することができ、高速動作を維持することが可能とな
る。
【0012】また自己補償手段と補助自己補償手段をP
MOSを直列接続したもので構成した場合には、全ての
バイポーラトランジスタが非選択状態になった時でも、
ベース電位を0.1Vに抑制することができる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
【0014】図1は、本発明をBiCMOS複合論理回
路に適応した時の一実施例を示す回路構成図である。図
1において、複数のバイポーラトランジスタQ1〜Qn
は互いにワイヤード・オア接続されており、各バイポー
ラトランジスタQiのコレクタは電源端子Vccに接続
され、エミッタは出力端子OUTに接続されているとと
もに、定電流源Mmを介して電源端子Vssに接続され
ている。さらに各バイポーラトランジスタQiのベース
B1〜BnはトランスファMOSトランジスタTM1〜
TMnを介して2入力NANDゲート回路NA1〜NA
nに接続されている。2入力NANDゲート回路NA1
〜NAnは、各バイポーラトランジスタQiのベース電
位を制御する論理回路であり、各バイポーラトランジス
タQiの導通・非導通を制御するための導通信号と非道
通信号を発生する信号発生回路として用いられている。
すなわち、2入力NANDゲート回路NA1〜NAnの
出力がハイレベルにある時にはバイポーラトランジスタ
が選択状態となってONとなる。
【0015】トランスファMOSトランジスタTM1〜
TMnは、自己補償手段を構成するPMOSトランジス
タM1b〜Mnb、補助自己補償手段を構成するNMO
SトランジスタM1a〜Mnaを備えて構成されてお
り、各トランジスタが互いに並列に接続され、PMOS
トランジスタM1b〜Mnbのゲート電極が電源端子V
ssに接続され、NMOSトランジスタM1a〜Mna
のゲート電極が2入力NANDゲート回路NA1〜NA
nに接続されている。各PMOSトランジスタM1iは
導通信号に応答してONとなり、少なくとも一つのバイ
ポーラトランジスタQiが選択されて導通状態にある時
には、非導通信号に応答して、バイポーラトランジスタ
Qiのベース電位を非導通信号のレベル(0V)に近づ
けるようになっている。すなわち、PMOSトランジス
タM1iは、図2に示すように、ソース電極とウェル1
0の電位が同じ時にはしきい値電圧として0.3〜0.
4Vの電圧を示すが、一つのバイポーラトランジスタQ
iがONにある時に非選択状態となってベース電位が低
下し、ソース電極の電位よりもウェル10の電位が高く
なって逆バイアス電圧が印加された時には、しきい値電
圧として約1.3Vの電圧を示すようになっている。
【0016】一方、各NMOSトランジスタM1iは、
全てのバイポーラトランジスタQiがOFFでない通常
動作時には、導通信号に応答してONになり、非道通信
号に応答してOFFとなる。しかし、全てのバイポーラ
トランジスタQiがOFFとなった時には、非道通信号
に応答してONとなって、しきい値に相当する電圧を発
生するようになっいる。
【0017】次に、トランスファMOSトランジスタT
Miの具体的な作用を図3と図4に従って説明する。
【0018】まず、トランスファMOSトランジスタT
Miがない時には、図3に示すように、バイポーラトラ
ンジスタQ2を選択し、それ以外のトランジスタを非選
択状態とすると、非選択状態のトランジスタのベース電
位は2入力NANDゲート回路NAiの出力電位Vss
(=0V)となる。一方、選択状態にあるトランジスタ
Q2のベース電位は電源電位(=3.3V)となる。出
力端子OUTの電位は、トランジスタQ2のベースB2
の電位よりベース・エミッタ順方向電圧(0.8V)だ
け低下して(3.3−0.8=2.5V)2.5Vとな
る。この結果、非選択状態にあるバイポーラトランジス
タのベース・エミッタ間には2.5Vの逆バイアス電圧
が印加されることになる。なお、全てのバイポーラトラ
ンジスタQiが非選択状態にある時には各トランジスタ
Qiのベース電位は0Vとなる。
【0019】これに対して、トランスファMOSトラン
ジスタTMiを設けた時には、図4と図5に示すよう
に、導通信号によりバイポーラトランジスタQ2のみが
選択され、それ以外のトランジスタが非選択状態にある
時には、トランジスタQ2のベースB2の電位が3.3
Vとなり、出力端子OUTの電位が2.5Vとなる。こ
の時非選択状態にあるバイポーラトタンジスタは、コモ
ンエミッタが2.5Vに維持されているので、ベース・
エミッタ間には逆バイアス電圧が印加される。ところ
が、非選択状態にあるトランジスタに接続されたPMO
Sトランジスタのしきい値電圧はソース電極の電位より
もウェル10の電位が高く、いわゆる基板効果の影響を
受けてしきい値電圧として約1.3Vを示すため、非選
択状態にあるバイポーラトランジスタに印加される逆バ
イアス電圧は、Vcc−Vbe−1.3V=1.2Vと
なる。すなわち、自己補償手段としてのPMOSトラン
ジスタが無い時には、非選択状態のあるバイポーラトラ
ンジスタには2.5Vの逆バイアス電圧が印加される
が、自己補償手段としてPMOSトランジスタを設ける
と、非選択状態にあるバイポーラトランジスタには逆バ
イアス電圧として1.2Vの電圧が印加されることにな
る。このため逆バイアス電圧によって素子が劣化するの
を抑制することができる。またエージング試験などによ
って電源電圧として6Vの電圧を印加しても、非選択状
態にあるバイポーラトランジスタには3.9Vの逆バイ
アス電圧が印加されるだけであり、素子特性の劣化を実
用上問題の無いレベルに抑えることができる。
【0020】一方、出力端子OUTの電位が2.5Vに
維持されている時に、バイポーラトランジスタQ2がO
FFとなって、全てのバイポーラトランジスタが非選択
状態になると、出力端子OUTの電位が2.5Vから0
Vに下がるときに、バイポーラトランジスタQ1のベー
ス・エミッタ間容量によるカップリングにより、ベース
B1のベース電圧は出力端子OUTの電圧が下がるのと
同期して1.3Vから2.5Vだけ下がろうとする。し
かし、ベースB1の電圧がNMOSトランジスタM1a
のゲート電圧0Vよりしきい値電圧(0.3V)だけ下
がると、NMOSトランジスタM1aがONしてベース
B1の電圧は−0.3Vより下に下がらなくなる。この
NMOSトランジスタM1aはベースB1の電圧が−
0.3Vになって安定するまでON状態にある。ベース
B1の電位が−0.3Vに維持されると、次に、バイポ
ーラトランジスタQ1が選択されても、ベースB1の電
位が通常のレベルに回復するまでの時間を短縮すること
ができ、高速動作を保つことができる。
【0021】次に、本発明の他の実施例を図6、図7及
び図8に従って説明する。
【0022】本実施例は、トランスファMOSトランジ
スタTM1として、PMOSトランジスタM1b、M1
c、M1d、NMOSトランジスタM1eを設けたもの
であり、他の構成は図1のものと同様であるので、同一
のものには同一符号を付してそれらの説明は省略する。
なお、トランスファMOSトランジスタTMiは同一の
構成であるため、TM1についてのみ説明する。
【0023】トランジスタM1bとM1cは互いに直列
に接続され、一方の電極がトランジスタQ1のベースB
1に接続され、他方の電極が2入力NANDゲート回路
Na1に接続され、トランジスタM1bのゲート電極が
電源端子Vssに接続され、トランジスタM1cのゲー
ト電極がトランジスタM1dとM1eとの接続点に接続
されている。トランジスタM1dとトランジスタM1e
はゲート電極が互いに接続されてゲート回路NA1の接
続点O1に接続されている。トランジスタM1dの一方
の電極はトランジスタM1cとトランジスタM1bとの
接続点O2に接続されている。またトランジスタM1e
の一方の電極は電源端子Vssに接続されている。
【0024】上記構成において、トランスファMOSト
ランジスタTM1に導通信号が入力されると、トランジ
スタM1b、M1cがともにONに、トランジスタM1
dがOFFに、トランジスタM1eがONになる。この
結果、接続点O1、O2の電位は3.3V、ベースB1
の電位は3.3Vとなり、エミッタE1の電位は2.5
Vとなる。
【0025】次に、バイポーラトランジスタQ1がON
になった後(トランジスタQ2が選択されてONになっ
ている時に)、トランスファMOSトランジスタTM1
に非導通信号が入力されると、トランジスタM1b、M
1cがそれぞれONからOFFとなり、トランジスタM
1dがONの状態に、トランジスタM1eがOFFの状
態になる。これにより、接続点(ノード)O1の電位は
0Vに、接続点O2の電位は1.3Vとなる。さらにベ
ースB1の電位は2.6Vとなる。すなわち、トランジ
スタM1b、M1cの基板効果に伴うしき値電圧(約
1.3V)の総和に相当する電圧2.6VがベースB1
の電位となる。
【0026】このように、トランジスタQ2が選択され
てONになっている時に、トランジスタQ1がOFFと
なっても、非選択状態にあるトランジスタQ1のベース
・エミッタ間に逆バイアス電圧が印加されるのを防止す
ることができる。
【0027】一方、出力端子OUTの電位が2.5Vに
維持されている時に、全てのバイポーラトランジスタが
非選択状態になると、トランジスタM1bはOFFとな
り、トランジスタM1cはOFFとなる。一方、トラン
ジスタM1dはONの状態に維持され、トランジスタM
1eはOFFの状態に維持されている。このため、出力
端子OUTの電位が2.5Vから0Vに下がる過程で、
ベースB1の電位はカップリングにより2.6Vから
2.5V下がり、約0.1Vとなる。このときトランジ
スタM1b、バイポーラトランジスタQ1は共にOFF
状態にあるので、ベースの電位は0.1Vに維持され
る。ベース電位が0.1Vに維持されると、次に、バイ
ポーラトランジスタQ1が選択されても、ベースB1の
電位が通常のレベルに回復するまでの時間を短縮するこ
とができ、高速動作を保つことができる。
【0028】次に、本発明の応用例を図9乃至図13に
従って説明する。
【0029】図9は、本発明のBiCMOS複合論理回
路を高速ATD回路に適応した場合の回路図である。A
TD回路はパルス発生部2000、オア論理形成部30
00から構成されており、オア論理形成部3000内に
トランスファMOSトランジスタTMIが設けられてい
る。
【0030】パルス発生部2000は、2入力NAND
2030、インバータ列2050、2入力NAND20
60、2入力NANDゲート回路NA1を備えて構成さ
れている。パルス発生部200は、入力信号のレベルが
ローレベルからハイレベルに遷移すると、2入力NAN
D2030の入力がともにハイレベルとなり、その出力
はローレベルとなる。このため2入力NAND回路NA
1の出力はローレベルからハイレベルに遷移する。そし
てインバータ列2050の伝達遅延時間を得た後、2入
力NAND2030の一方の入力がハイレベルからロー
レベルに変わるので、2入力NAND2030の出力は
ハイレベルとなり、2入力NANDゲート回路NA1の
出力は再びローレベルに戻る。
【0031】入力信号のレベルがハイレベルからローレ
ベルに遷移した時は、まず、2入力NAND2060の
両方の入力がともにハイレベルになるので、その出力は
ローレベルとなり、2入力NANDゲート回路NA1の
出力は最初ローレベルにあるがその後ハイレベルに遷移
する。そしてインバータ列2050の伝達遅延時間を得
た後、2入力NAND2060の一方の入力がハイレベ
ルからローレベルに変わるので、その出力はハイレベル
となる。一方、2入力NANDゲート回路2030の出
力もハイレベルになるので、2入力NANDゲート回路
NA1の出力は再びローレベルに戻る。この結果、アド
レス信号の遷移に従って、インバータ列2050の伝達
遅延時間に対応したパルス幅を持ったATDパルス信号
が形成される。
【0032】パルス発生部2000の各出力は、それぞ
れトランスファMOSトランジスタTM1〜TMnを得
てバイポーラトランジスタQ1〜Qnのベースに入力さ
れる。そしてATDパルス信号がバイポーラトランジス
タQ1〜Qnの内いづれかの一つに入力されると、選択
されたバイポーラトランジスタがONとなり、出力端子
OUTからATDパルス信号が出力されることになる。
【0033】図10は本発明に係るATD回路をメモリ
LSIに適応した場合のチップの全体構成を示す図であ
る。図10において、半導体集積回路チップ10は、メ
モリセルアレイからなるメモリブロック1000a〜1
000h、メモリブロックを分割したメモリマット10
10a、1020a、……、1160a、……1010
h、……、1160h、アドレス入力バッファ100、
プリデコーダ200、中間バッファ110、デコーダお
よびセンス回路300などを備えて構成されている。そ
してこの半導体集積回路チップ10には、アドレス遷移
を検出してパルス状のATD信号を発生させるパルス発
生部2000、複数のパルス発生部間のオア論理を取る
オア論理形成部3000、ATD信号を各メモリセルア
レイまたはデータ入出力回路に分配する分配回路400
0、4100、4200が設けられている。
【0034】なお、図10においては、入力バッファ1
00は、簡単なために2個しか示していないが、実際に
はメモリ容量および出力ビット構成に応じて存在し、た
とえば、メモリ容量64Mb,×4構成(16Mb×
4)では24個存在する。
【0035】次に、上記ATD回路を用いたデータ線の
イコライズに関する動作を説明する。 パルス発生部2
000は、アドレスの遷移による入力バッファ100の
出力の変化を検出してATDパルス信号を生成する。そ
して各アドレス遷移の検出出力はオア論理形成部300
0でオア論理を形成した後、分配回路4000、410
0、4200を経由してデータ線イコライズ回路に入力
される。すなわちオア論理を取るのは、アドレスのいず
れか一つが遷移したらATDパルスを発生してイコライ
ズを行なえるようにするためである。
【0036】分配回路4000の実施例を図11に、分
配回路4100の実施例を図12に、分配回路4200
の実施例を図13に示す。
【0037】#0の分配回路4000は、チップ選択信
号CSとオア論理形成部3000の出力を入力に持つ2
入力NAND4010と、インバータ4020、403
0、4040から構成されている。この分配回路400
0は、チップが選択状態、すなわちチップ選択信号CS
がハイレベルにある時にのみATDパルス信号を次段の
分配回路4100に伝達する。
【0038】#1の分配回路4100は、ブロック選択
信号BSBと分配回路4000の出力を入力に持つ2入
力NOR回路4110、4120とインバータ413
0、4140から構成されている。この分配回路410
0は、選択させたメモリブロックのみ(選択されたメモ
リブロックのみBSBがハイレベル)にATDパルス信
号を伝達する。
【0039】#2の分配回路4200は、マット選択信
号MSBと分配回路4100の出力を入力に持つ2入力
NOR回路4210〜4225とインバータ4230〜
4245から構成されている。この分配回路4200
は、選択されたメモリブロックの内選択されたメモリマ
ットのみ(選択されたメモリマットのみMSBがハイレ
ベル)にATDパルス信号を伝達し、選択されたメモリ
マットのデータ線をイコライズするようになっている。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワイヤード・オア接続されたトランジスタと信号発生回
路との間に自己補償手段を設け、ワイヤード・オア接続
されたトランジスタの内少なくとも一つのトランジスタ
が導通状態にある時に、非選択状態にあるトランジスタ
の入力側の電位を高めるようにしたため、非選択状態に
あるトランジスタに加わる逆バイアス電圧を低減するこ
とができ、素子の特性劣化を防止することができ、信頼
性の向上に寄与することができる。さらに、自己補償手
段とともに補助自己補償手段を設けたため、ワイヤード
・オア接続されたトランジスタが全て非選択状態になっ
た時でも、各トランジスタの入力側の電位を非導通信号
のレベルに近似したレベルにすることができ、非選択状
態にあるトランジスタが選択状態に移行する時の時間を
短縮することができ、高速動作を保持することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す半導体集積回路装置の
全体構成図でる。
【図2】図1に示す装置の要部断面図である。
【図3】トランスファMOSトランジスタが無い時の動
作を説明するための特性図である。
【図4】トランスファMOSトランジスタを設けた時の
作用を説明するための特性図である。
【図5】トランスファMOSトランジスタを設けた時の
作用を説明するための電圧波形図である。
【図6】本発明の他の実施例を示す回路構成図である。
【図7】図6に示す回路の動作を説明するための特性図
である。
【図8】図6に示す回路の動作を説明するための電圧波
形図である。
【図9】本発明の応用例を示す高速ATD回路構成図で
ある。
【図10】ATD回路をメモリLSIに適応した時のチ
ップの全体構成図である。
【図11】ATD信号を分配する分配回路の回路図であ
る。
【図12】ATD信号を分配する分配回路の回路図であ
る。
【図13】ATD信号を分配する分配回路の回路図であ
る。
【符号の説明】
Q1〜Qn バイポーラトランジスタ TM1〜TMn トランスファMOSトランジスタ M1a〜Mna NMOSトランジスタ M1b〜Mnb PMOSトランジスタ NA1〜NAn 2入力NANDゲート回路
フロントページの続き (72)発明者 光本 欽哉 東京都小平市上水本町五丁目20番1号 株式会社 日立製作所 半導体事業部内 (56)参考文献 特開 平6−69783(JP,A) 特開 平4−111611(JP,A) 特開 平3−278615(JP,A) 特開 平1−226215(JP,A) 特開 昭63−272119(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03K 19/08 H03K 19/003 H01L 21/8249 H01L 27/06

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のトランジスタの信号出力側が互い
    にワイヤード・オア接続され、各トランジスタの信号入
    力側に各トランジスタの導通・非導通を制御するための
    信号を発生する信号発生回路が接続された半導体集積回
    路装置において、前記各トランジスタの信号入力側と信
    号発生回路との間に、信号発生回路からの導通信号に応
    答して導通し、且つ少なくとも一つのトランジスタが導
    通状態にあることを条件に信号発生回路からの非導通信
    号に応答して非導通状態となるトランジスタに印加され
    る逆方向のバイアス電圧を小さくする、又は各トランジ
    スタの順方向バイアス電圧よりも低い順方向バイアス電
    圧を発生する自己補償手段を備えていることを特徴とす
    る半導体集積回路装置。
  2. 【請求項2】 複数のバイポーラトランジスタのエミッ
    タが互いにワイヤード・オア接続され、各バイポーラト
    ランジスタのベースに各バイポーラトランジスタの導通
    ・非導通を制御するための信号を発生する信号発生回路
    が接続された半導体集積回路装置において、前記各バイ
    ポーラトランジスタのベースと信号発生回路との間に、
    信号発生回路からの導通信号に応答して導通し、且つ少
    なくとも一つのバイポーラトランジスタが導通状態にあ
    ることを条件に信号発生回路からの非導通信号に応答し
    て非導通状態となるバイポーラトランジスタに印加され
    る逆方向のバイアス電圧を小さくする、又は各バイポー
    ラトランジスタの順方向バイアス電圧よりも低い順方向
    バイアス電圧を発生する自己補償手段を備えていること
    を特徴とする半導体集積回路装置。
  3. 【請求項3】 複数のバイポーラトランジスタのエミッ
    タが互いにワイヤード・オア接続され、各バイポーラト
    ランジスタのベースに各バイポーラトランジスタの導通
    ・非導通を制御するための信号を発生する信号発生回路
    が接続された半導体集積回路装置において、前記各バイ
    ポーラトランジスタのベースと信号発生回路との間に、
    信号発生回路からの導通信号に応答して導通し、且つ少
    なくとも一つのバイポーラトランジスタが導通状態にあ
    ることを条件に信号発生回路からの非導通信号に応答し
    てバイポーラトランジスタのベース電位を非導通信号の
    レベルよりも高いレベルに維持する自己補償手段を備え
    ていることを特徴とする半導体集積回路装置。
  4. 【請求項4】 複数のバイポーラトランジスタのエミッ
    タが互いにワイヤード・オア接続され、各バイポーラト
    ランジスタのベースに各バイポーラトランジスタの導通
    ・非導通を制御するための信号を発生する信号発生回路
    が接続された半導体集積回路装置において、前記各バイ
    ポーラトランジスタのベースと信号発生回路との間に、
    信号発生回路からの導通信号に応答して導通信号を伝送
    し、且つ少なくとも一つのバイポーラトランジスタが導
    通状態にあることを条件に信号発生回路からの非導通信
    号に応答して非導通信号のレベルよりも高いレベルの信
    号を発生する自己補償手段を備えていることを特徴とす
    る半導体集積回路装置。
  5. 【請求項5】 自己補償手段と並列に、ワイヤードオア
    接続されたトランジスタのうち少なくとも一つのトラン
    ジスタが導通状態になった後全てのトランジスタが非導
    通状態になったことを条件に導通状態となって非導通信
    号のレベルに近似したレベルの電圧を発生する補助自己
    補償手段を備えている請求項1、2、3又は4記載の半
    導体集積回路装置。
  6. 【請求項6】 自己補償手段はPMOSトランジスタで
    構成され、このPMOSトランジスタのゲート電極の電
    位は、信号発生回路から発生する非導通信号のレベルと
    同電位に維持され、PMOSトランジスタの残りの電極
    のうち一方の電極は信号発生回路に接続され、他方の電
    極はワイヤードオヤ接続されたトランジスタのベースに
    接続されている請求項1、2、3又は4記載の半導体集
    積回路装置。
  7. 【請求項7】 補助自己補償手段はNMOSトランジス
    タで構成され、このNMOSトランジスタのゲートと残
    りの電極のうち一方の電極は互いにダイオード接続され
    て信号発生回路に接続され、他方の電極はワイヤードア
    オ接続されたトランジスタのベースに接続されている請
    求項5記載の半導体集積回路装置。
  8. 【請求項8】 自己補償手段は、互いに直列接続された
    第1PMOSトランジスタ及び第2PMOSトランジス
    タと、ゲート電極が互いに接続されていると共に残りの
    電極のうち一方の電極が互いに接続されて縦続接続され
    ている第3PMOSトランジスタ及び第1NMOSトラ
    ンジスタとを備えており、第1PMOSトランジスタの
    ゲート電極の電位は、信号発生回路から発生する非導通
    信号のレベルと同電位に維持され、第1PMOSトラン
    ジスタの残りの電極のうち一方の電極は信号発生回路に
    接続され、第1PMOSトランジスタの他方の電極は、
    ワイヤードオヤ接続されたトランジスタのベースに第2
    PMOSトランジスタを介して接続され、第2PMOS
    トランジスタのゲート電極は、第3PMOSトランジス
    タと第1NMOSトランジスタとの接続点に接続され、
    第3PMOSトランジスタの一方の電極は、第1PMO
    Sトランジスタと第2PMOSトランジスタとの接続点
    に接続され、第1NMOSトランジスタの一方の電極の
    電位は、信号発生回路から発生する非導通信号のレベル
    と同電位に維持され、第3PMOSトランジスタと第1
    NMOSトランジスタのゲート電極は信号発生回路に接
    続されている請求項1、2、3又は4記載の半導体集積
    回路装置。
  9. 【請求項9】 補助自己補償手段は、互いに直列接続さ
    れた第1PMOSトランジスタ及び第2PMOSトラン
    ジスタと、ゲート電極が互いに接続されていると共に残
    りの電極のうち一方の電極が互いに接続されて縦続接続
    されている第3PMOSトランジスタ及び第1NMOS
    トランジスタとを備えており、第1PMOSトランジス
    タのゲート電極の電位は、信号発生回路から発生する非
    導通信号のレベルと同電位に維持され、第1PMOSト
    ランジスタの残りの電極のうち一方の電極は信号発生回
    路に接続され、第1PMOSトランジスタの他方の電極
    は、ワイヤードオヤ接続されたトランジスタのベースに
    第2PMOSトランジスタを介して接続され、第2PM
    OSトランジスタのゲート電極は、第3PMOSトラン
    ジタと第1NMOSトランジスタとの接続点に接続さ
    れ、第3PMOSトランジスタの一方の電極は、第1P
    MOSトランジスタと第2PMOSトランジスタとの接
    続点に接続され、第1NMOSトランジスタの一方の電
    極の電位は、信号発生回路から発生する非導通信号のレ
    ベルと同電位に維持され、第3PMOSトランジスタと
    第1NMOSトランジスタのゲート電極は信号発生回路
    に接続されている請求項5記載の半導体集積回路装置。
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