JP3420722B2 - Local air purifier - Google Patents
Local air purifierInfo
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Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームに
おいて任意区域の清浄度を局所的に高める局所空気清浄
装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a local air cleaning device for locally increasing cleanliness in an arbitrary area in a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の空気清浄装置は、図７に示すよう
に、クリーンルーム１１の天井１２に給気口１３と還気
口１４を設け、天井１２内に前記給気口１３と還気口１
４に接続されるダクト１５を設けてを空気循環系を構成
し、前記空気循環系内に送風機１６とフィルター１７を
設けることによって、循環空気を浄化しクリーンルーム
内を清浄に維持している。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 7, a conventional air cleaning apparatus has a ceiling 12 of a clean room 11 provided with an air supply port 13 and a return air port 14, and the ceiling 12 has the air supply port 13 and the return air port. 1
An air circulation system is configured by providing a duct 15 connected to the air conditioning system 4, and a blower 16 and a filter 17 are provided in the air circulation system to purify the circulating air and maintain a clean room.
【０００３】しかしながら、従来の空気清浄装置では、
空気清浄装置を取り付け後、容易に給気口と還気口の配
置を変更することができず、例えば半導体工場のように
製造装置レイアウトが短期間の周期で変更するような用
途には十分対応することができなかった。However, in the conventional air cleaning device,
After installing the air purifier, it is not possible to easily change the arrangement of the air supply port and the return air port, and it is fully compatible with applications where the layout of the manufacturing equipment changes in a short period, such as in a semiconductor factory. I couldn't.
【０００４】したがって、従来の空気清浄装置はクリー
ンルーム全体を均等に高い清浄度に保つように、換気量
を増やし、クリーンルームの天井に多数の給気口を配置
し対処していた。しかし、換気量が過大となるために運
転エネルギーが増大し、多大な運転コストを必要とす
る。また、設備も大掛かりとなりイニシャルコストも増
加する問題があった。Therefore, in the conventional air purifying apparatus, the ventilation amount is increased and a large number of air supply ports are arranged on the ceiling of the clean room in order to uniformly maintain the cleanliness of the entire clean room. However, since the ventilation amount becomes excessive, the operating energy increases, which requires a great operating cost. Also, there is a problem that the equipment becomes large-scale and the initial cost also increases.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の事情に
鑑みてなされたもので、クリーンルームにおいて任意区
域の清浄度を局所的に高めることができ、且つ設備規模
を抑えて設備費の低減を図り、しかも省エネルギーを実
施できる局所空気清浄装置を提供することを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to locally increase the cleanliness of an arbitrary area in a clean room and suppress the equipment scale to reduce the equipment cost. It is an object of the present invention to provide a local air purifying device which can achieve energy saving.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の局所空気清浄装置は、クリーンルームの天井
から吊り下げられ周囲に垂れ壁が設けられた支持部材
と、この支持部材に移動可能に載置され且つクリーンル
ームの天井との間に間隙を設けて取り付けられた送風装
置及びフィルターよりなるファンフィルターユニットと
を具備し、ファンフィルターユニットとして、上面全て
をフィルターもしくは網状部材で覆ったファンフィルタ
ーユニットを用い、且つ支持部材に取り付けられたファ
ンフィルターユニットとファンフィルターユニットとの
間を空気流通可能にしたことを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the local air cleaning apparatus of the present invention is a support member suspended from the ceiling of a clean room and provided with a hanging wall around the support member, and movable to this support member. placed on and equipped with a fan filter unit consisting of blower and filter attached to provide a gap between the ceiling of the clean room, as a fan filter unit, the upper surface of all
Fan filter in which the filter or mesh member is covered
-A unit attached to the support member
Between the fan filter unit and the fan filter unit
It is characterized by allowing air to flow between them.
【０００７】また本発明の局所空気清浄装置は、クリー
ンルームの天井から吊り下げられ周囲に垂れ壁が設けら
れた支持部材と、この支持部材に支持部材との接触面積
を小さくし滑りをよくするよう移動可能に載置され且つ
クリーンルームの天井との間に間隙を設けて取り付けら
れた送風装置及びフィルターよりなるファンフィルター
ユニットとを具備し、ファンフィルターユニットとし
て、上面全てをフィルターもしくは網状部材で覆ったフ
ァンフィルターユニットを用い、且つ支持部材に取り付
けられたファンフィルターユニットとファンフィルター
ユニットとの間を空気流通可能にしたことを特徴とする
ものである。Further, the local air cleaning apparatus of the present invention has a support member suspended from the ceiling of a clean room and provided with a hanging wall around the support member, and a contact area between the support member and the support member is reduced to improve sliding. A fan filter unit comprising a fan device that is movably mounted and is installed with a gap between it and the ceiling of a clean room, and a fan filter unit including a filter.
Cover the entire top surface with a filter or mesh member.
Fan filter unit and attached to the support member
Worn fan filter unit and fan filter
It is characterized in that air can be communicated with the unit .
【０００８】また本発明は、前記局所空気清浄装置にお
いて、ファンフィルターユニットとして、空気吹出し面
の周辺部分の気流速度を周辺部分から内側部分の気流速
度より速くしたファンフィルターユニットを用いること
を特徴とするものである。The present invention also provides, in the above local air purifying apparatus, an air blowing surface as a fan filter unit.
Airflow velocity from the peripheral part to the inner part
It is characterized by using a fan filter unit that is faster .
【０００９】[0009]
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態例を詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００１１】図１は本発明が適用されるクリーンルーム
の一部を示す構成斜視図である。すなわち、天井スラブ
２１の下方にはクリーンルーム天井ライン２２が設けら
れ、このクリーンルーム天井ライン２２には給気口２３
が空気を下方に吹き出すようにして設けられ、この給気
口２３はダクト２４を介してクリーンルーム系統空調機
２５に接続され、このクリーンルーム系統空調機２５は
ダクト２６を介して床スラブ２７近傍に設けられた還気
口２８に接続されて空気循環系が構成される。前記クリ
ーンルーム天井ライン２２には局所空気清浄装置２９が
吊り下げて取り付けられる。前記局所空気清浄装置２９
は周囲に垂れ壁３０が設けられた支持部材３１と、この
支持部材３１に前後もしくは左右方向にスライド可能に
且つ前記クリーンルーム天井ライン２２との間に間隙を
設けて取り付けられた送風装置及びフィルターよりなる
ファンフィルターユニット３２より構成される。３３は
高清浄度域である。FIG. 1 is a configuration perspective view showing a part of a clean room to which the present invention is applied. That is, a clean room ceiling line 22 is provided below the ceiling slab 21, and an air supply port 23 is provided in the clean room ceiling line 22.
Is provided so as to blow air downward, and the air supply port 23 is connected to a clean room system air conditioner 25 via a duct 24. The clean room system air conditioner 25 is provided near a floor slab 27 via a duct 26. The air circulation system is configured by being connected to the returned air outlet 28. A local air cleaning device 29 is suspended and attached to the clean room ceiling line 22. The local air cleaning device 29
Is a support member 31 provided with a hanging wall 30 on the periphery thereof, and an air blower and a filter attached to the support member 31 so as to be slidable in the front-rear direction or the left-right direction and with a gap provided between the clean room ceiling line 22. It is composed of a fan filter unit 32. 33 is a high cleanliness range.
【００１２】図２は本発明に係る局所空気清浄装置の一
部を示す構成説明図である。すなわち、ファンフィルタ
ーユニット３２が前後もしくは左右方向にスライドでき
るように、支持部材３１と支持部材３１の間にフィルタ
ー３４が納まるように載置され、支持部材３１とフィル
ター３４の接触面積を小さくし滑りをよくするように構
成される。前記フィルター３４の上部には送風装置３５
が取り付けられる。FIG. 2 is a structural explanatory view showing a part of the local air cleaning apparatus according to the present invention. That is, the filter 34 is placed so as to be housed between the support members 31 and 31 so that the fan filter unit 32 can slide in the front-rear direction or the left-right direction, and the contact area between the support member 31 and the filter 34 can be reduced. Configured to improve. An air blower 35 is provided above the filter 34.
Is attached.
【００１３】図１に示すように、クリーンルームの室内
に給気口２３および還気口２８を設け、この給気口２３
および還気口２８にダクト２４，２６を介してクリーン
ルーム系統空調機２５を接続することにより、循環空気
を浄化しクリーンルームの室内を清浄に維持している。
さらに、クリーンルーム天井ライン２２には局所空気清
浄装置２９が任意の必要箇所に吊り下げて取り付けられ
ることにより、クリーンルームにおいて任意に必要区域
の清浄度を局所的に高めることができる。また、ファン
フィルターユニット３２を前後もしくは左右方向にスラ
イドすることによって、例えば半導体製造工場の製造ラ
イン等の変更による清浄区域の変更も容易に行なうこと
ができる。尚、クリーンルームにおいて、清浄度を必要
とする区域が変更される時はファンフィルターユニット
３２を増やすことによっても容易に用途変更に対応でき
る。As shown in FIG. 1, an air supply port 23 and a return air port 28 are provided inside the clean room.
By connecting the clean room system air conditioner 25 to the return air port 28 via the ducts 24 and 26, the circulating air is purified and the inside of the clean room is kept clean.
Further, the local air cleaning device 29 is hung and attached to the clean room ceiling line 22 at any desired location, so that the cleanliness of the required area can be locally increased in the clean room. Further, by sliding the fan filter unit 32 in the front-rear direction or the left-right direction, it is possible to easily change the clean area, for example, by changing the manufacturing line of the semiconductor manufacturing factory. In the clean room, when the area requiring cleanliness is changed, the number of fan filter units 32 can be increased to easily change the application.
【００１４】図３及び図４は本発明に係る局所空気清浄
装置の気流を説明するための構成説明図である。すなわ
ち、図３に示すように、支持部材３１に取り付けられた
ファンフィルターユニット３２とファンフィルターユニ
ット３２の間の隙間を遮蔽しないで空気流通可能にする
ため、細孔板３６を設ける（もしくは遮蔽板を設けな
い）ことで、清浄域上部の塵埃滞留部分が少なくなり、
例えば、ファンフィルターユニット３２の面から約１ｍ
下部において均一な高清浄域が得られる。ファンフィル
ターユニット３２とファンフィルターユニット３２の間
の隙間部分の空気流通を確保することで上昇気流が生
じ、塵埃が滞留し難くなり高清浄度を維持できる。尚、
図４に示すように、支持部材３１に取り付けられたファ
ンフィルターユニット３２とファンフィルターユニット
３２の間の隙間に遮蔽板３７を設けた場合には、遮蔽板
３７部分で塵埃の滞留が生じ清浄度維持の障害となる。FIG. 3 and FIG. 4 are configuration explanatory views for explaining the air flow of the local air cleaning apparatus according to the present invention. That is, as shown in FIG. 3, in order to allow air to flow without blocking the gap between the fan filter unit 32 attached to the support member 31 and the fan filter unit 32, a pore plate 36 is provided (or a shielding plate). By not providing), the dust accumulation area in the upper part of the clean area is reduced,
For example, about 1 m from the surface of the fan filter unit 32
A uniform high clean area can be obtained in the lower part. By ensuring air circulation in the gap between the fan filter unit 32 and the fan filter unit 32, an ascending airflow is generated, dust is less likely to stay, and high cleanliness can be maintained. still,
As shown in FIG. 4, when the shielding plate 37 is provided in the gap between the fan filter unit 32 attached to the support member 31 and the fan filter unit 32, dust is accumulated at the shielding plate 37 portion and the cleanliness is improved. It becomes an obstacle to maintenance.
【００１５】図５は本発明に係るファンフィルターユニ
ットを示す平面構成説明図である。すなわち、ファンフ
ィルターユニット３２として、空気吹出し面の周辺部分
３４１の気流速度を周辺部分から内側部分３４２の気流
速度より速くすることで、清浄気流がファンフィルター
ユニット３２の吸込み部に容易に回り込まれないように
し、効率的に清浄空気を活用でき、局所空気清浄装置の
空気清浄機能を高めることができる。FIG. 5 is an explanatory plan view showing a fan filter unit according to the present invention. That is, in the fan filter unit 32, the airflow velocity of the peripheral portion 341 of the air blowing surface is made higher than the airflow velocity of the inner portion 342 from the peripheral portion, so that the clean airflow does not easily enter the suction portion of the fan filter unit 32. In this way, the clean air can be used efficiently, and the air cleaning function of the local air cleaning device can be enhanced.
【００１６】図６は本発明に係るファンフィルターユニ
ットを示す側面構成説明図である。すなわち、支持部材
３１に載置されたフィルター３４及び送風装置３５より
なるファンフィルターユニット３２の上面全てをプレフ
ィルター（もしくは目の細かい網状部材）３８で覆うこ
とにより、ファンフィルターユニット３２の吸込み気流
によりファンフィルターユニット３２の上面に堆積した
塵埃を再飛散させないことができる。FIG. 6 is a side view showing a fan filter unit according to the present invention. That is, by covering the entire upper surface of the fan filter unit 32 including the filter 34 and the air blower 35 mounted on the support member 31 with the pre-filter (or fine mesh member) 38, the suction air flow of the fan filter unit 32 The dust accumulated on the upper surface of the fan filter unit 32 can be prevented from being scattered again.
【００１７】本実施形態例は以下の特徴がある。The present embodiment example has the following features.
【００１８】（１） クリーンルームの用途変更に対応
できる。(1) The application of the clean room can be changed.
【００１９】（２） 必要部分を重点的に換気し清浄性
を必要とする部分の清浄度を向上させる。(2) The required portion is ventilated intensively to improve the cleanliness of the portion requiring cleanliness.
【００２０】（３） 必要最低限の換気量により清浄度
を維持し、省エネルギーを実施する。(3) The cleanliness is maintained by the minimum necessary ventilation, and energy saving is implemented.
【００２１】（４） 自由にファンフィルターユニット
の増減を行なえ、且つファンフィルターユニットを移動
できることによって、必要最低限の設備とし、初期設備
規模を抑え初期設備費の低減を図る。(4) The number of fan filter units can be freely increased or decreased, and the fan filter units can be moved, so that the minimum required equipment is provided, the initial equipment scale is suppressed, and the initial equipment cost is reduced.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、クリ
ーンルームにおいて任意区域の清浄度を局所的に高める
ことができ、且つ設備規模を抑えて設備費の低減を図
り、しかも省エネルギーを実施できる局所空気清浄装置
を提供することができる。As described above, according to the present invention, the cleanliness of an arbitrary area can be locally increased in a clean room, the equipment scale can be suppressed to reduce the equipment cost, and the energy can be saved. A local air cleaning device can be provided.
【図１】本発明が適用されるクリーンルームの一部を示
す構成斜視図である。FIG. 1 is a configuration perspective view showing a part of a clean room to which the present invention is applied.
【図２】本発明に係る局所空気清浄装置の一例を示す一
部構成説明図である。FIG. 2 is a partial configuration explanatory view showing an example of a local air cleaning device according to the present invention.
【図３】本発明に係る局所空気清浄装置の気流例を説明
するための構成説明図である。FIG. 3 is a configuration explanatory view for explaining an example of air flow of the local air cleaning apparatus according to the present invention.
【図４】本発明に係る局所空気清浄装置の気流例を説明
するための構成説明図である。FIG. 4 is a configuration explanatory view for explaining an example of an air flow of the local air cleaning device according to the present invention.
【図５】本発明に係るファンフィルターユニットの一例
を示す平面構成説明図である。FIG. 5 is an explanatory plan view showing an example of a fan filter unit according to the present invention.
【図６】本発明に係るファンフィルターユニットの他の
例を示す側面構成説明図である。FIG. 6 is a side view illustrating the other example of the fan filter unit according to the present invention.
【図７】従来の空気清浄装置を示す構成説明図である。FIG. 7 is a structural explanatory view showing a conventional air cleaning device.
２９ 局所空気清浄装置 ３０ 垂れ壁 ３１ 支持部材 ３２ ファンフィルターユニット ３４ フィルター ３５ 送風装置 29 Local air purifier 30 hanging wall 31 Support member 32 fan filter unit 34 Filter 35 blower
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−5117（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−281519（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−247512（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−118754（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 7/04 - 7/06 ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (56) References JP-A-8-5117 (JP, A) JP-A-10-281519 (JP, A) JP-A-8-247512 (JP, A) JP-A-55- 118754 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) F24F 7/ 04-7/06
Claims (3)
周囲に垂れ壁が設けられた支持部材と、 この支持部材に移動可能に載置され且つクリーンルーム
の天井との間に間隙を設けて取り付けられた送風装置及
びフィルターよりなるファンフィルターユニットとを具
備し、 ファンフィルターユニットとして、上面全てをフィルタ
ーもしくは網状部材で覆ったファンフィルターユニット
を用い、且つ支持部材に取り付けられたファンフィルタ
ーユニットとファンフィルターユニットとの間を空気流
通可能にした ことを特徴とする局所空気清浄装置。1. A blower hung from a ceiling of a clean room and provided with a hanging wall around the ceiling, and a blower movably mounted on the support member and provided with a gap between the ceiling and the ceiling of the clean room. It is equipped with a fan filter unit consisting of a device and a filter, and the entire upper surface is filtered as a fan filter unit.
-Or a fan filter unit covered with a mesh member
Filter mounted on a support member using
-Air flow between the unit and the fan filter unit
A local air purifier characterized by being made passable.
周囲に垂れ壁が設けられた支持部材と、 この支持部材に支持部材との接触面積を小さくし滑りを
よくするよう移動可能に載置され且つクリーンルームの
天井との間に間隙を設けて取り付けられた送風装置及び
フィルターよりなるファンフィルターユニットとを具備
し、 ファンフィルターユニットとして、上面全てをフィルタ
ーもしくは網状部材で覆ったファンフィルターユニット
を用い、且つ支持部材に取り付けられたファンフィルタ
ーユニットとファンフィルターユニットとの間を空気流
通可能にした ことを特徴とする局所空気清浄装置。2. A support member suspended from a ceiling of a clean room and provided with a hanging wall around the ceiling, and the support member movably mounted on the support member so as to reduce a contact area with the support member and improve sliding. A fan filter unit including a blower and a filter installed with a gap from the ceiling of the
As a fan filter unit, filter all the upper surface
-Or a fan filter unit covered with a mesh member
Filter mounted on a support member using
-Air flow between the unit and the fan filter unit
A local air purifier characterized by being made passable.
吹出し面の周辺部分の気流速度を周辺部分から内側部分
の気流速度より速くしたファンフィルターユニットを用
いることを特徴とする請求項１または２記載の局所空気
清浄装置。3. The local air according to claim 1, wherein the fan filter unit is a fan filter unit in which the air velocity of the peripheral portion of the air blowing surface is made faster than the air velocity of the inner portion from the peripheral portion. Cleaning device.
Priority Applications (1)
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Related Child Applications (1)
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Family Applications (1)
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