JP3408813B2 - 差圧測定変換器 - Google Patents

差圧測定変換器

Info

Publication number
JP3408813B2
JP3408813B2 JP52050894A JP52050894A JP3408813B2 JP 3408813 B2 JP3408813 B2 JP 3408813B2 JP 52050894 A JP52050894 A JP 52050894A JP 52050894 A JP52050894 A JP 52050894A JP 3408813 B2 JP3408813 B2 JP 3408813B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
housing
pressure sensor
bore
differential pressure
housing part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP52050894A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH08507862A (ja
Inventor
チース、ウエルナー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of JPH08507862A publication Critical patent/JPH08507862A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3408813B2 publication Critical patent/JP3408813B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/142—Multiple part housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0061—Electrical connection means
    • G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、長手方向軸線に対して横方向に二分された
内部ハウジングを有し、その両ハウジング部分の間に圧
力センサを取付けられている中央ダイアフラムが張られ
ており、またその一方のハウジング部分が孔のなかに電
気リードを含んでおり、その外側延長部が孔の拡大部分
のなかに位置している差圧測定変換器に関する。
公知の差圧測定変換器（米国特許第4135408号明細
書）では、電気リードを受け入れる穴が測定変換器の長
手方向軸線に対して横方向に外から内へ延びている。電
気リードが外側延長部で内側の段落に向かって押される
ように、孔は外方に向かって広げられている。外側延長
部と段落との間にＯリングが置かれており、それによっ
て外方への確実な密閉が行われる。公知の差圧測定変換
器では電気リードに測定変換器の内部の全静圧が作用す
るので、電気リードの外側延長部に対して中実なねじが
孔のなかにねじ締めされている。
本発明の課題は、電気リードの配置に関して比較的簡
単に製造することのできる差圧測定変換器を提案するこ
とにある。
この課題を解決するため、冒頭に記載した種類の差圧
測定変換器において、本発明によれば、孔が長手方向軸
線に対して平行に延びており、また他方のハウジング部
分のほうに向けられたその端部に拡大部分を有し、他方
のハウジング部分と反対方向のほうに向けられたその端
部において孔は外方へ通ずる横孔に移行している。
本発明による差圧測定変換器の主要な利点は、孔の配
置およびその形態により電気リードがその外側延長部で
静的内圧により、孔の拡大部により形成される延長部に
向けて押され、それによって静的内圧による電気リード
の圧力負荷が一方のハウジング部分により支えられるこ
とにある。従って、電気リードに及ぼされる静圧を支え
るための中実なねじ締めは本発明による差圧測定変換器
では必要でない。
電気リードを受け入れる孔の配置および電気リード自
体の取付は、本発明による差圧測定変換器においては有
利なことに、電気リードをその外側延長部の範囲内で一
方のハウジング部分と溶接することを可能にする。その
際に溶接個所は本発明による差圧測定変換器の内部空間
を外部に対して密封する役割のみをする。溶接個所が圧
力負荷に曝されないので、溶接の質に高度の要求を満足
しなくてもよい。
本発明による差圧測定変換器では圧力センサと電気リ
ードとの間の電気的接続はさまざまな仕方で、たとえば
個々の電気導体により行われ得る。しかし、簡単な組立
を顧慮して、圧力センサと電気リードとの間に帯状の導
体箔が延びていると特に有利である。ピエゾ抵抗式圧力
測定セルをそのボンドワイヤに関して直接に合成樹脂箔
材料セクションの上の導線と接続することはドイツ特許
出願公開第3500613A1号明細書から公知であるが、ボン
ド板およびハウジングを設けられた完成された圧力セン
サを電気リードと簡単な仕方で接続することを狙いとし
ていない。
本発明による差圧測定変換器において使用可能な通常
の圧力センサの組立高さを顧慮して、帯状の導体箔が圧
力センサの傍で曲げられることにより中央ダイアフラム
に密に導かれるようにすると有利である。こうして簡単
な仕方で、中央ダイアフラムまたはその上に取付けられ
た圧力センサの運動自由度への影響が排除され得る。
圧力センサと電気リードとの間の電気的接続に関して
本発明による差圧測定変換器の特に簡単な組立を可能に
するため、帯状の導体箔が電気リードの範囲内でループ
を形成すると有利である。このループにより帯状の導体
箔が圧力センサとの電気的接続の後に簡単な仕方で電気
リードの電気端子とろう付けされ得る。なぜならば、こ
のろう付け個所へのアクセスがループを開くことにより
特によく保証されるからである。
図１は本発明による差圧測定変換器の実施例の縦断面
図、また 図２は図１による差圧測定変換器の内側ハウジングの
ハウジング部分の範囲の分解図である。
図１に示されている差圧測定変換器は、図面中で上側
の一方のハウジング部分２および（図面中で下側の）他
方のハウジング部分３を含んでいる内側ハウジング１を
有する。一方のハウジング部分２は中央に凹み４を有す
る。他方のハウジング部分３も別の中央の凹み５を設け
られている。中央の凹み４および５により形成される空
所のなかに、中央ダイアフラム７の上に取付けられてい
る圧力センサ６が位置している。中央ダイアフラム７は
内側ハウジング１のハウジング部分２と３との間で外縁
において公知の仕方で溶接により張られている。
圧力センサ６はたとえば詳細にはゲー・エールラー著
「ピエゾ抵抗式シリコン基本圧力センサ」アーエムアー
ゼミナー、ハイデルベルグ、1989年３月14〜15日、第81
〜95頁に記載されているように構成されている。この圧
力センサは公知のセンサ要素９から成っており、また同
じく公知の仕方でボンド板10の上に取付けられている。
その電気端子は、後で図２と関連して詳細に説明される
ように、帯状の導体箔11を介して電気リード12と接続さ
れている。
一方のハウジング部分２の中央の凹み４は内側チャネ
ル13を介して公知の仕方で隔離ダイアフラム14を介し
て、また開口16を介して圧力を供給される前室15と圧力
を伝導するように接続されている。前室15は外側ハウジ
ングキャップ17内の凹みにより形成される。
相応して、他方のハウジング部分３の別の中央の凹み
５は別の内側チャネル18および別の隔離ダイアフラム19
を介して、また開口21を介して圧力を供給される別の前
室20と圧力を伝導するように接続されている。前室20
は、締めねじ23および24を介して他方のハウジングキャ
ップ17と、Ｏリング25および26を中間に置いて締め付け
られている別のハウジングキャップ22とにより形成され
ている。
両ハウジング部分２および３の内側チャネル13および
18の内側には公知のようにして、チャネル27および28を
経て公知の仕方で入れられる油が位置している。これら
のチャネル27および28は続いて、概要のみを示されてい
る密閉装置29および30により密に閉じられる。
図１からさらにわかるように、一方のハウジング部分
２は差圧測定変換器の長手方向軸線に対して平行な孔31
を有する。この孔31は、他方のハウジング部分３のほう
に向けられたその端部に拡大部33を設けられている。電
気リード12は電気リード12の外側の金属シリンダ35に相
応の延長部34を有する。外側の延長部34により電気リー
ド12は、拡大部33により形成されている段落36に向けて
押されている。
電気リード12はガラスブロック37のなかに埋込まれた
電気接触ピン38を含んでおり、これらのピンは両側で電
気リード12から突出している。従って、接触ピン38の図
１中で下側の端部39を帯状の導体箔11と接続する可能性
が生じ、この導体箔はベンディングの後に１つの平面内
で中央ダイアフラム７に対して平行に延びまたセラミッ
クスブロック40の周りにループ41を形成し、その圧力セ
ンサ６の方向とは逆の端部で接触ピン38とろう付けされ
る。別のセラミックス片42は予め接触ピン38の端部39の
上に押し込められている。図１中で上側の端部で接触ピ
ン38は同じく別の帯状の導体箔43の上の導体帯とろう付
けにより接続されている。この別の帯状の導体箔は孔31
まで延びている横孔44を通して外方に導かれている。
図１に示されている差圧測定変換器では電気リード12
の下側の空間は静圧を与えられ、従ってこの静圧は電気
リード12にも作用する。それにより電気リード12に及ぼ
される負荷は外側延長部34を介して一方のハウジング部
分２に伝達されるので、単に差圧測定変換器の内部空間
を外方に密閉するためには、外側延長部の範囲内の簡単
な溶接継目で十分である。電気リードの範囲内で静圧を
支えるための他の措置は必要でない。
図１中と一致する部分には等しい符号を付されている
図２には、中央ダイアフラム７と圧力センサ６がボンド
板10を取付けられた状態で結合されることが示されてい
る。一般に金属ハウジングを設けられている圧力センサ
６を帯状の導体箔11から絶縁するために、圧力センサ６
の電気接続ピン51の配置に相応する凹みを有するセラミ
ック板50が設けられている。
帯状の導体箔11をその範囲52において圧力センサ６の
接続ピン51とろう付けした後にセラミック覆い板53がか
ぶせられ、一方のハウジング部分２に対しての中央ダイ
アフラム７の強い振れの際に圧力センサ６の絶縁を達成
する。
他方において、内側ハウジング１のハウジング部分２
および３のその後の結合の前にハウジング部分２の一方
の孔31のなかに電気リード12が入れられ、また別の導体
箔43の端部と接触ピン38がろう付けされる。続いて別の
セラミック片42が電気リード12の接触ピン38の図２中で
は見えない端部39に取付けられ、またその後に一方の帯
状の導体箔11の他方の端部55のろう付けが行われる。そ
の際に取付けは、セラミック円板40の周りに帯状の導体
箔11のループ41が形成されるように行われる。円板40は
その際にループの範囲内で帯状の導体箔11の屈曲を防止
する役割をする。
組立がここまで進められると、内側ハウジングのハウ
ジング部分２および３が圧力センサ６と中央ダイアフラ
ム７を張った状態で溶接により結合され得る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 13/06 G01L 19/14 G01L 9/00 303

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】長手方向軸線に対して横方向に二分された
    ハウジング（１）を有し、その両ハウジング部分（2,
    3）の間に、圧力センサ（６）を取付けられている中央
    ダイアフラム（７）が張られており、またその一方のハ
    ウジング部分（２）が孔（31）のなかに電気リード（1
    2）を含んでおり、その外側延長部（34）が孔の拡大部
    分（33）のなかに位置している差圧測定変換器におい
    て、 孔（31）が長手方向軸線（32）に対して平行に延びてお
    り、また他方のハウジング部分（３）のほうに向けられ
    たその端部に拡大部分（33）を有し、他方のハウジング
    部分（３）と反対方向のほうに向けられたその端部にお
    いて外方へ通ずる横孔（44）に移行し、圧力センサ
    （６）と電気リード（12）との間に帯状の導体箔（11）
    が延び、帯状の導体箔（11）が圧力センサ（６）の傍で
    曲げられて中央ダイアフラム（７）に密に導かれ、帯状
    の導体箔（11）が電気リード（12）の範囲内でループ
    （41）を形成することを特徴とする差圧測定変換器。
  2. 【請求項２】電気リード（12）がその外側延長部（34）
    の範囲内で一方のハウジング部分（２）と溶接されてい
    ることを特徴とする請求項１記載の差圧測定変換器。
JP52050894A 1993-03-15 1994-03-09 差圧測定変換器 Expired - Lifetime JP3408813B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4308718A DE4308718C2 (de) 1993-03-15 1993-03-15 Druckdifferenz-Meßumformer
DE4308718.3 1993-03-15
PCT/DE1994/000262 WO1994021992A1 (de) 1993-03-15 1994-03-09 Druckdifferenz-messumformer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08507862A JPH08507862A (ja) 1996-08-20
JP3408813B2 true JP3408813B2 (ja) 2003-05-19

Family

ID=6483170

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP52050894A Expired - Lifetime JP3408813B2 (ja) 1993-03-15 1994-03-09 差圧測定変換器

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5596148A (ja)
EP (1) EP0689668B1 (ja)
JP (1) JP3408813B2 (ja)
KR (1) KR960701356A (ja)
CN (1) CN1059035C (ja)
AT (1) ATE162624T1 (ja)
DE (2) DE4308718C2 (ja)
RU (1) RU2114407C1 (ja)
WO (1) WO1994021992A1 (ja)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19608310C1 (de) * 1996-02-22 1997-07-17 Hartmann & Braun Ag Differenzdruckmeßumformereinheit mit einem Überlastschutzsystem
DE19608321C2 (de) * 1996-02-22 2002-01-24 Abb Patent Gmbh Differenzdruckmeßumformereinheit mit einem Überlastschutzsystem
DE19744208C1 (de) 1997-09-30 1998-12-03 Siemens Ag Verfahren zum Befüllen einer Meßkammer eines Druck- oder Druckdifferenz-Meßumformers mit einer Druckübertragungsflüssigkeit und Druck- oder Druckdifferenz-Meßumformer
DE19754402B4 (de) * 1997-12-09 2007-03-15 Webasto Ag Zweiteilige Dichtung an einem Deckel eines öffnungsfähigen Fahrzeugdachs
DE10325799B3 (de) * 2003-06-06 2004-08-26 Siemens Ag Verfahren zur Überprüfung der Vakuumfestigkeit einer Druckübertragungsflüssigkeit in einem Druckmessumformer sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
US7775966B2 (en) 2005-02-24 2010-08-17 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Non-invasive pressure measurement in a fluid adjustable restrictive device
US7927270B2 (en) 2005-02-24 2011-04-19 Ethicon Endo-Surgery, Inc. External mechanical pressure sensor for gastric band pressure measurements
US8016744B2 (en) 2005-02-24 2011-09-13 Ethicon Endo-Surgery, Inc. External pressure-based gastric band adjustment system and method
US7658196B2 (en) 2005-02-24 2010-02-09 Ethicon Endo-Surgery, Inc. System and method for determining implanted device orientation
US8066629B2 (en) 2005-02-24 2011-11-29 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Apparatus for adjustment and sensing of gastric band pressure
US7699770B2 (en) 2005-02-24 2010-04-20 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Device for non-invasive measurement of fluid pressure in an adjustable restriction device
US7775215B2 (en) 2005-02-24 2010-08-17 Ethicon Endo-Surgery, Inc. System and method for determining implanted device positioning and obtaining pressure data
US8870742B2 (en) 2006-04-06 2014-10-28 Ethicon Endo-Surgery, Inc. GUI for an implantable restriction device and a data logger
US8152710B2 (en) 2006-04-06 2012-04-10 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Physiological parameter analysis for an implantable restriction device and a data logger
US8187163B2 (en) 2007-12-10 2012-05-29 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Methods for implanting a gastric restriction device
US8100870B2 (en) 2007-12-14 2012-01-24 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Adjustable height gastric restriction devices and methods
US8377079B2 (en) 2007-12-27 2013-02-19 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Constant force mechanisms for regulating restriction devices
US8142452B2 (en) 2007-12-27 2012-03-27 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Controlling pressure in adjustable restriction devices
US8591395B2 (en) 2008-01-28 2013-11-26 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Gastric restriction device data handling devices and methods
US8192350B2 (en) 2008-01-28 2012-06-05 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Methods and devices for measuring impedance in a gastric restriction system
US8337389B2 (en) 2008-01-28 2012-12-25 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Methods and devices for diagnosing performance of a gastric restriction system
US7844342B2 (en) 2008-02-07 2010-11-30 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Powering implantable restriction systems using light
US8221439B2 (en) 2008-02-07 2012-07-17 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Powering implantable restriction systems using kinetic motion
US8114345B2 (en) 2008-02-08 2012-02-14 Ethicon Endo-Surgery, Inc. System and method of sterilizing an implantable medical device
US8591532B2 (en) 2008-02-12 2013-11-26 Ethicon Endo-Sugery, Inc. Automatically adjusting band system
US8057492B2 (en) 2008-02-12 2011-11-15 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Automatically adjusting band system with MEMS pump
US8034065B2 (en) 2008-02-26 2011-10-11 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Controlling pressure in adjustable restriction devices
US8187162B2 (en) 2008-03-06 2012-05-29 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Reorientation port
CN103063356A (zh) * 2012-12-25 2013-04-24 天津俞昌科技有限公司 一种高精度差压变送器
CH709550A1 (fr) 2014-04-22 2015-10-30 Memsens S Rl Capteur de pression différentielle.
US10126193B2 (en) * 2016-01-19 2018-11-13 Rosemount Aerospace Inc. Compact or miniature high temperature differential pressure sensor capsule

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3456508A (en) * 1967-05-24 1969-07-22 Sperry Rand Corp Vibrating diaphragm pressure sensor apparatus
US3691842A (en) * 1970-09-08 1972-09-19 Beckman Instruments Inc Differential pressure transducer
US3780588A (en) * 1972-03-31 1973-12-25 Honeywell Inc Differential pressure responsive apparatus
DE2712846A1 (de) * 1976-03-24 1977-11-24 Ict Instr Inc Messumformer zum messen von druckunterschieden
JPS5550131A (en) * 1978-10-06 1980-04-11 Hitachi Ltd Electronic transmitter
JPS5687196A (en) * 1979-12-19 1981-07-15 Hitachi Ltd Differential pressure transmitter
GB2124770B (en) * 1982-08-05 1985-12-11 Airflow Dev Ltd Differential capacitance pressure transducer
DE3500613A1 (de) * 1984-03-09 1985-09-19 Hans W. Dipl.-Phys. ETH Winterthur Keller Piezoresistive druckmesszelle
DE3437668A1 (de) * 1984-10-13 1986-04-17 Deutsche Itt Industries Gmbh, 7800 Freiburg Messeinrichtung fuer druckmessung
US4766769A (en) * 1985-06-05 1988-08-30 The Foxboro Company Differential-pressure measuring apparatus with improved arrangement for coupling pressures to a semiconductor sensor
US4798089A (en) * 1987-03-12 1989-01-17 Rosemount Inc. Isolator apparatus
DE3719620A1 (de) * 1987-06-12 1988-12-29 Hottinger Messtechnik Baldwin Mechanisch-elektrischer differenzdruckwandler und verfahren zur justierung eines derartigen wandlers
US4909083A (en) * 1989-06-26 1990-03-20 Itt Corporation Pressure/differential pressure measuring device

Also Published As

Publication number Publication date
DE59405115D1 (de) 1998-02-26
KR960701356A (ko) 1996-02-24
CN1059035C (zh) 2000-11-29
DE4308718C2 (de) 1996-04-25
US5596148A (en) 1997-01-21
RU2114407C1 (ru) 1998-06-27
DE4308718A1 (de) 1994-09-22
JPH08507862A (ja) 1996-08-20
CN1119469A (zh) 1996-03-27
EP0689668A1 (de) 1996-01-03
EP0689668B1 (de) 1998-01-21
ATE162624T1 (de) 1998-02-15
WO1994021992A1 (de) 1994-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3408813B2 (ja) 差圧測定変換器
JP4774678B2 (ja) 圧力センサ装置
US4040297A (en) Pressure transducer
US5412994A (en) Offset pressure sensor
RU2279650C2 (ru) Модуль с датчиком давления
JP2854897B2 (ja) 圧力変換器の高圧パッケージ
US20040200286A1 (en) High pressure sensor comprising silicon membrane and solder layer
US6883379B2 (en) Absolute-pressure type of pressure sensor
JPH11351990A (ja) 圧力センサ
JPH0546489B2 (ja)
JP4027655B2 (ja) 圧力センサ装置
JPH10170381A (ja) 圧力検出器
JP5278448B2 (ja) 圧力センサ装置
KR20150139173A (ko) 스트레인 게이지 압력 센서
JPH01169333A (ja) 半導体圧力変換器
JP4103227B2 (ja) 圧力センサ
JPH07311109A (ja) 差圧センサ
JP3414203B2 (ja) 半導体圧力検出装置
JP2006208087A (ja) 圧力センサ
JPS63228038A (ja) 半導体圧力変換器
JPH11132887A (ja) 圧力検出装置
JPH01250732A (ja) 圧力センサ
JPH07280680A (ja) 半導体ダイの接続構造
JPH10132681A (ja) 半導体圧力センサ
JP2002039901A (ja) 圧力センサ

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080314

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090314

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100314

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100314

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120314

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130314

Year of fee payment: 10