JP3405906B2 - ワークの加工方法とキャリアプレート - Google Patents
ワークの加工方法とキャリアプレートInfo
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、円柱形のインゴッ
トからスライスして得られる硬質で薄板状のワークの表
裏両面または片面を研削あるいはラップ加工して、例え
ば半導体に使用されるウエハに仕上げる際などに適用さ
れるワークの加工方法と、該加工方法を行う際に、ワー
クを回転するためのキャリアプレートに関する。
トからスライスして得られる硬質で薄板状のワークの表
裏両面または片面を研削あるいはラップ加工して、例え
ば半導体に使用されるウエハに仕上げる際などに適用さ
れるワークの加工方法と、該加工方法を行う際に、ワー
クを回転するためのキャリアプレートに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種のワークを研削加工する場合
には、インゴットからスライスされた薄板状のワーク
を、ワークより薄いキャリアプレートに設けたセット穴
に嵌め込み、該キャリアプレートを回転し、その回転力
によってワークも回転し、且つ上下砥石を回転し、更に
砥石を加工送りして研削するものである。ところでキャ
リアプレートのセット穴に嵌めたワークがキャリアプレ
ートと一緒に回転されるためには、ワークとキャリアプ
レート間に回転力の伝達機構を介在する必要があるが、
従来の手段として図１３に示しているように、ワークＷ
４の外周部の一部には結晶方位を示す三角状のノッチ１
が設けられるもので、このノッチ１を利用してワークＷ
４が回転できるように、図１４の如く、キャリアプレー
ト２ｃに設けたセット穴３ｃに前記ノッチ１に嵌る突子
４を設ける。また他の例として図１５に示すように、円
形をなすワークＷ５の円の一部を切欠して直線部となす
オリフラ５を利用し、キャリアプレート２ｄに設けてい
る円形のセット穴３ｄを、その円の一部を切欠した形態
に形成するものである。
には、インゴットからスライスされた薄板状のワーク
を、ワークより薄いキャリアプレートに設けたセット穴
に嵌め込み、該キャリアプレートを回転し、その回転力
によってワークも回転し、且つ上下砥石を回転し、更に
砥石を加工送りして研削するものである。ところでキャ
リアプレートのセット穴に嵌めたワークがキャリアプレ
ートと一緒に回転されるためには、ワークとキャリアプ
レート間に回転力の伝達機構を介在する必要があるが、
従来の手段として図１３に示しているように、ワークＷ
４の外周部の一部には結晶方位を示す三角状のノッチ１
が設けられるもので、このノッチ１を利用してワークＷ
４が回転できるように、図１４の如く、キャリアプレー
ト２ｃに設けたセット穴３ｃに前記ノッチ１に嵌る突子
４を設ける。また他の例として図１５に示すように、円
形をなすワークＷ５の円の一部を切欠して直線部となす
オリフラ５を利用し、キャリアプレート２ｄに設けてい
る円形のセット穴３ｄを、その円の一部を切欠した形態
に形成するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のようにワークを
回転するために、ワークに設けたノッチやオリフラなど
の切欠部を利用しているが、特に半導体のウエハである
と、その材料自体が高価なものであり、一枚のウエハか
らのチップ取りの点数が無駄なく多く取られることが望
まれているが、前述のようにノッチやオリフラなどがあ
ると、そのノッチやオリフラなどを避けて部品取りされ
るために、材料の無駄が多くなるという問題があった。
またウエハの大口径化に伴って、ウエハの位置合わせの
基準となるノッチやオリフラを設けることなく、例えば
レーザーでマーキングするなどの方法が採られるように
なってきていることから、ノッチやオリフラのないウエ
ハも安定した状態で回転して加工する方法が望まれてい
る。
回転するために、ワークに設けたノッチやオリフラなど
の切欠部を利用しているが、特に半導体のウエハである
と、その材料自体が高価なものであり、一枚のウエハか
らのチップ取りの点数が無駄なく多く取られることが望
まれているが、前述のようにノッチやオリフラなどがあ
ると、そのノッチやオリフラなどを避けて部品取りされ
るために、材料の無駄が多くなるという問題があった。
またウエハの大口径化に伴って、ウエハの位置合わせの
基準となるノッチやオリフラを設けることなく、例えば
レーザーでマーキングするなどの方法が採られるように
なってきていることから、ノッチやオリフラのないウエ
ハも安定した状態で回転して加工する方法が望まれてい
る。
【０００４】本発明は以上の問題を解決するために開発
したもので、ワークにノッチなどの切欠部を設ける必要
がなく、しかも回転するキャリアプレートにその回転力
がワークに確実に伝達できるようになる加工方法を確立
することにあり、更に該加工方法を実現化できるよう
に、ワークを回転するためのキャリアプレートを提供す
ることにある。
したもので、ワークにノッチなどの切欠部を設ける必要
がなく、しかも回転するキャリアプレートにその回転力
がワークに確実に伝達できるようになる加工方法を確立
することにあり、更に該加工方法を実現化できるよう
に、ワークを回転するためのキャリアプレートを提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による解決手段
は、円柱形のインゴットの長手方向に沿う取付けステー
に少なくとも中間ステーを接着剤で固定した支持部材
に、前記インゴットを中間ステーに付着した状態で固着
し、そのインゴットと中間ステーを薄くスライスして得
られたワークに、同じくスライスされた少なくとも中間
ステーからなる突起部を付着している状態のままで分離
し、この突起部付きワークを、回転するキャリアプレー
トに穿孔してあるワークの形状に応じた穴、及び突起部
が嵌る凹形状溝を備えているセット穴に嵌め、キャリア
プレートと共に突起部付きワークを、その突起部を介し
て回転して加工することを特徴とする。
は、円柱形のインゴットの長手方向に沿う取付けステー
に少なくとも中間ステーを接着剤で固定した支持部材
に、前記インゴットを中間ステーに付着した状態で固着
し、そのインゴットと中間ステーを薄くスライスして得
られたワークに、同じくスライスされた少なくとも中間
ステーからなる突起部を付着している状態のままで分離
し、この突起部付きワークを、回転するキャリアプレー
トに穿孔してあるワークの形状に応じた穴、及び突起部
が嵌る凹形状溝を備えているセット穴に嵌め、キャリア
プレートと共に突起部付きワークを、その突起部を介し
て回転して加工することを特徴とする。
【０００６】他の解決手段は、円柱形のインゴットの長
手方向に沿う取付けステーと少なくとも中間ステーと、
前記インゴットの全外周を直接覆って付着する保護層と
を順次重ねて固着してある支持部材によって前記インゴ
ットを保持し、該インゴットを少なくとも中間ステーに
至るまで薄くスライスした後に、前記支持部材の取付け
ステーから、スライスされたワークの全周を覆う保護
層、及び少なくとも中間ステーからなる突起部を付着し
ている状態のままで分離し、該全周を覆う保護層及び突
起部付きワークを、回転するキャリアプレートに穿孔さ
れた保護層を含むワークの形状に応じた穴、及び前記突
起部が嵌る凹形状溝を備えているセット穴に嵌めて、キ
ャリアプレートを回転することにより、全周を覆う保護
層及び突起部付きワークを、その突起部を介して回転し
て加工することを特徴とする。
手方向に沿う取付けステーと少なくとも中間ステーと、
前記インゴットの全外周を直接覆って付着する保護層と
を順次重ねて固着してある支持部材によって前記インゴ
ットを保持し、該インゴットを少なくとも中間ステーに
至るまで薄くスライスした後に、前記支持部材の取付け
ステーから、スライスされたワークの全周を覆う保護
層、及び少なくとも中間ステーからなる突起部を付着し
ている状態のままで分離し、該全周を覆う保護層及び突
起部付きワークを、回転するキャリアプレートに穿孔さ
れた保護層を含むワークの形状に応じた穴、及び前記突
起部が嵌る凹形状溝を備えているセット穴に嵌めて、キ
ャリアプレートを回転することにより、全周を覆う保護
層及び突起部付きワークを、その突起部を介して回転し
て加工することを特徴とする。
【０００７】更に他の解決手段は、前記インゴットの外
周を覆う保護層の外周縁に切欠部を設け、該保護層に少
なくとも中間ステーを介して取付けステーに保持してス
ライスし、スライスして得られたワークには切欠部を有
する保護層が付着しているから、このワークを、回転す
るキャリアプレートに穿孔された保護層を含むワークの
形状に応じた穴、及び前記切欠部内に嵌る凸部を備えて
いるセット穴に嵌めて、キャリアプレートを回転するこ
とにより、全周を覆う保護層及び切欠部付きワークを、
セット穴の凸部を介して回転して加工することを特徴と
する。
周を覆う保護層の外周縁に切欠部を設け、該保護層に少
なくとも中間ステーを介して取付けステーに保持してス
ライスし、スライスして得られたワークには切欠部を有
する保護層が付着しているから、このワークを、回転す
るキャリアプレートに穿孔された保護層を含むワークの
形状に応じた穴、及び前記切欠部内に嵌る凸部を備えて
いるセット穴に嵌めて、キャリアプレートを回転するこ
とにより、全周を覆う保護層及び切欠部付きワークを、
セット穴の凸部を介して回転して加工することを特徴と
する。
【０００８】また、上記加工方法を行う際に使用するキ
ャリアプレートが、ワークの形状に応じた穴、及びワー
クの外周に接着された突起部が嵌る凹形状溝を備えてい
るセット穴、または穴内に向かって突出する凸部を有す
るセット穴が穿設してあると共に、回転可能に支持して
あることを特徴とする。
ャリアプレートが、ワークの形状に応じた穴、及びワー
クの外周に接着された突起部が嵌る凹形状溝を備えてい
るセット穴、または穴内に向かって突出する凸部を有す
るセット穴が穿設してあると共に、回転可能に支持して
あることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明による実施形態を図面によ
って説明すると、ワークＷ１を成形する素材は、例えば
シリコンの円柱形のインゴット６を図８に示すワイヤソ
ー７でスライスされるもので、その際インゴット６は支
持部材８ａに固着して行なわれるものであって、この支
持部材８ａは図１と図２に示すように、インゴットの長
手方向に沿って、該インゴット６の外周面に、中間ステ
ー９の下側円弧面が接着剤によって固着され、必要に応
じてその上面にガラス製または合成樹脂製のスペースプ
レート１０を水平に接着し、該スペースプレート１０の
上面に取付けステー１１を接着剤によって固着して形成
されるものである。尚、前記スペースプレートは絶縁材
で成形する場合もある。
って説明すると、ワークＷ１を成形する素材は、例えば
シリコンの円柱形のインゴット６を図８に示すワイヤソ
ー７でスライスされるもので、その際インゴット６は支
持部材８ａに固着して行なわれるものであって、この支
持部材８ａは図１と図２に示すように、インゴットの長
手方向に沿って、該インゴット６の外周面に、中間ステ
ー９の下側円弧面が接着剤によって固着され、必要に応
じてその上面にガラス製または合成樹脂製のスペースプ
レート１０を水平に接着し、該スペースプレート１０の
上面に取付けステー１１を接着剤によって固着して形成
されるものである。尚、前記スペースプレートは絶縁材
で成形する場合もある。
【００１０】またワイヤソー７は図８に示すように、三
角形や四角形の各頂点にローラ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ
を配し、ワイヤー１３を矢印Ａの方向に送入し、ローラ
１２ａからローラ１２ｂに掛け、次いでローラ１２ｃを
経て再びローラ１２ａに、その長手方向に順次掛け、ロ
ーラ１２ｃよりワイヤー１３を矢印Ｂの方向に排送する
ものであるが、このワイヤー１３の送りは周期的に往復
動を繰り返したり、あるいは一方向へ走行すもので、往
復動する場合には、その往動と復動の送り量に差をもた
せることにより、総体的にワイヤー１３が少しづつ移動
するように走行するものである。また各ローラ１２ａ，
１２ｂ，１２ｃの下方に砥粒を含むスラリーを貯留する
タンク１４を備え、ローラ１２ａとローラ１２ｂとの間
に、スラリーを各ワイヤー１３に注ぐノズル１５を列設
し、タンク１４に貯留するスラリーをポンプ１６によっ
てノズル１５に供給し、流下するスラリーをパン１７に
受けてタンク１４に帰流するようになっている。
角形や四角形の各頂点にローラ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ
を配し、ワイヤー１３を矢印Ａの方向に送入し、ローラ
１２ａからローラ１２ｂに掛け、次いでローラ１２ｃを
経て再びローラ１２ａに、その長手方向に順次掛け、ロ
ーラ１２ｃよりワイヤー１３を矢印Ｂの方向に排送する
ものであるが、このワイヤー１３の送りは周期的に往復
動を繰り返したり、あるいは一方向へ走行すもので、往
復動する場合には、その往動と復動の送り量に差をもた
せることにより、総体的にワイヤー１３が少しづつ移動
するように走行するものである。また各ローラ１２ａ，
１２ｂ，１２ｃの下方に砥粒を含むスラリーを貯留する
タンク１４を備え、ローラ１２ａとローラ１２ｂとの間
に、スラリーを各ワイヤー１３に注ぐノズル１５を列設
し、タンク１４に貯留するスラリーをポンプ１６によっ
てノズル１５に供給し、流下するスラリーをパン１７に
受けてタンク１４に帰流するようになっている。
【００１１】従って上記ワイヤソー７におけるローラ１
２ａとローラ１２ｂ間の上方から、前記の如く支持部材
８ａに保持されたインゴット６を下降することにより、
インゴット６がローラ１２ａ，１２ｂ間を走行する各ワ
イヤー１３によって多数枚に亘りスライスされるもので
あり、またワイヤー１３が中間ステー９からスペースプ
レート１０に至るまで切り込まれるものである。
２ａとローラ１２ｂ間の上方から、前記の如く支持部材
８ａに保持されたインゴット６を下降することにより、
インゴット６がローラ１２ａ，１２ｂ間を走行する各ワ
イヤー１３によって多数枚に亘りスライスされるもので
あり、またワイヤー１３が中間ステー９からスペースプ
レート１０に至るまで切り込まれるものである。
【００１２】また、ワイヤソー７でスライスされたイン
ゴット６から一枚ごとの各ワークＷ１を傷付けることな
く簡単に分離できるように、図９に示す手段によること
が望ましい。
ゴット６から一枚ごとの各ワークＷ１を傷付けることな
く簡単に分離できるように、図９に示す手段によること
が望ましい。
【００１３】その手段は、前記ワイヤソー７のワイヤー
１３を走行する点では前記のものと同様であるが、図９
に示すように、前記パン１７に代えてスライスされたイ
ンゴット６が収まるのに十分な深さの受け槽１８を設
け、その受け槽１８内にスライスされたインゴット６を
受け込む受け篭１９を着脱自在に設け、更にその受け篭
１９内の両端部にクッション材２０を設けたもので、イ
ンゴット６を保持している取付けステー１１を下降して
ワイヤー１３によってスペースプレート１０までスライ
スされた際には、そのスライスされたインゴット６及び
それに付着した中間ステー９が受け篭１９内に収められ
ているものである。
１３を走行する点では前記のものと同様であるが、図９
に示すように、前記パン１７に代えてスライスされたイ
ンゴット６が収まるのに十分な深さの受け槽１８を設
け、その受け槽１８内にスライスされたインゴット６を
受け込む受け篭１９を着脱自在に設け、更にその受け篭
１９内の両端部にクッション材２０を設けたもので、イ
ンゴット６を保持している取付けステー１１を下降して
ワイヤー１３によってスペースプレート１０までスライ
スされた際には、そのスライスされたインゴット６及び
それに付着した中間ステー９が受け篭１９内に収められ
ているものである。
【００１４】上記手段によってスライスする場合には、
取付けステー１１にスペースプレート１０及び中間ステ
ー９を介してインゴット６を保持するが、取付ステー１
１にスペースプレート１０をその全面に亘って接着剤に
よって接合し、スペースプレート１０に中間ステー９を
接合する際には、中間ステー９の長手方向における前後
両端部分２１，２１のみを図９中の太線で示しているよ
うに接着し、更にインゴット６は中間ステー９に対し
て、インゴット６の長手方向の全面に亘って接着して保
持しておくものである。
取付けステー１１にスペースプレート１０及び中間ステ
ー９を介してインゴット６を保持するが、取付ステー１
１にスペースプレート１０をその全面に亘って接着剤に
よって接合し、スペースプレート１０に中間ステー９を
接合する際には、中間ステー９の長手方向における前後
両端部分２１，２１のみを図９中の太線で示しているよ
うに接着し、更にインゴット６は中間ステー９に対し
て、インゴット６の長手方向の全面に亘って接着して保
持しておくものである。
【００１５】以上のように設備して、インゴット６をワ
イヤー１３上より下降してスペースプレート１０までス
ライスした時には、インゴット６が一挙に多数枚にスラ
イスされ、しかも受け篭１９内に収納されるもので、そ
こで取付けステー１１を上昇すれば、受け篭１９内には
スライスされたインゴット６が、同じくスライスされた
中間ステー９を付着したままで残存し、スペースプレー
ト１０とは分離しているものである。以後受け槽１８を
ワイヤソー７から外部へ引き出すか、あるいは受け槽１
８の一側壁を開放してスライスされたインゴット６が収
納されているままで受け篭１９を取り出すものである。
イヤー１３上より下降してスペースプレート１０までス
ライスした時には、インゴット６が一挙に多数枚にスラ
イスされ、しかも受け篭１９内に収納されるもので、そ
こで取付けステー１１を上昇すれば、受け篭１９内には
スライスされたインゴット６が、同じくスライスされた
中間ステー９を付着したままで残存し、スペースプレー
ト１０とは分離しているものである。以後受け槽１８を
ワイヤソー７から外部へ引き出すか、あるいは受け槽１
８の一側壁を開放してスライスされたインゴット６が収
納されているままで受け篭１９を取り出すものである。
【００１６】上述のように受け篭１９内に収納されてい
るスライスされたインゴット６には中間ステー９が付着
しているもので、その一枚一枚の各薄板を次工程の研削
加工されるワークＷ１とするものである。即ち以上のよ
うに成形されたワークＷ１は図３に示しているように、
インゴット６からスライスされた薄板に、同じくスライ
スされた中間ステー９から得られた突起部２２ａがその
まま付着しているものである。
るスライスされたインゴット６には中間ステー９が付着
しているもので、その一枚一枚の各薄板を次工程の研削
加工されるワークＷ１とするものである。即ち以上のよ
うに成形されたワークＷ１は図３に示しているように、
インゴット６からスライスされた薄板に、同じくスライ
スされた中間ステー９から得られた突起部２２ａがその
まま付着しているものである。
【００１７】尚、前記のものはスペースプレート１０を
介在してインゴット６を取付けステー１１に取付た例に
よって説明しているが、必ずしもスペースプレート１０
を必要としない場合もある。この場合には図示してない
が、インゴット６を中間ステー９にその全面に亘って接
着すると共に、その中間ステー９を取付けステー１１に
同じく全面に亘って接着しても良いが、前記受け篭１９
を備える手段のものであれば、インゴット６は中間ステ
ー９に全面に亘って接着するが、その中間ステー９はそ
の長手方向の前後両端部分２１，２１のみを取付けステ
ー１１に接着することが最も好ましい。
介在してインゴット６を取付けステー１１に取付た例に
よって説明しているが、必ずしもスペースプレート１０
を必要としない場合もある。この場合には図示してない
が、インゴット６を中間ステー９にその全面に亘って接
着すると共に、その中間ステー９を取付けステー１１に
同じく全面に亘って接着しても良いが、前記受け篭１９
を備える手段のものであれば、インゴット６は中間ステ
ー９に全面に亘って接着するが、その中間ステー９はそ
の長手方向の前後両端部分２１，２１のみを取付けステ
ー１１に接着することが最も好ましい。
【００１８】また、前記突起部２２ａを中間ステー９の
みから切断成形することなく、前述のように、スペース
プレート１０を介在したものである場合、そのスペース
プレート１０と中間ステー９とを互いに全面に亘って接
着し、そのスペースプレート１０の前後端部のみを取付
けステー１１に接着して、スペースプレート１０までス
ライスすることにより、図示してないが、スライスされ
たスペースプレート１０と中間ステー９が接着された状
態の突起部に形成することもある。
みから切断成形することなく、前述のように、スペース
プレート１０を介在したものである場合、そのスペース
プレート１０と中間ステー９とを互いに全面に亘って接
着し、そのスペースプレート１０の前後端部のみを取付
けステー１１に接着して、スペースプレート１０までス
ライスすることにより、図示してないが、スライスされ
たスペースプレート１０と中間ステー９が接着された状
態の突起部に形成することもある。
【００１９】ところで、上記ワークＷ１に付着している
突起部２２ａの巾がインゴット６の直径とほぼ同寸法の
ものもあり、この場合図４に示すように、研削加工機の
キャリアプレート２ａのセット穴３ａを、円形のワーク
Ｗ１が遊嵌する円形の穴の一部に、前述のように中間ス
テー９からスライスして得られた突起部２２ａが嵌る凹
形状溝２３を設けることにより、突起部２２ａと凹形状
溝２３との係合関係が回転力の伝達手段となり、キャリ
アプレート２ａの回転に伴ってワークＷ１も共に回転す
るものである。
突起部２２ａの巾がインゴット６の直径とほぼ同寸法の
ものもあり、この場合図４に示すように、研削加工機の
キャリアプレート２ａのセット穴３ａを、円形のワーク
Ｗ１が遊嵌する円形の穴の一部に、前述のように中間ス
テー９からスライスして得られた突起部２２ａが嵌る凹
形状溝２３を設けることにより、突起部２２ａと凹形状
溝２３との係合関係が回転力の伝達手段となり、キャリ
アプレート２ａの回転に伴ってワークＷ１も共に回転す
るものである。
【００２０】しかし回転力を伝達するのに、ワークＷ１
に付着している突起部２２ａの巾が必ずしも前述のよう
な巾を必要とするものではないから、図５に示すよう
に、突起部２２ａのワークＷ１に接着している部分のみ
の巾の狭いものでも良い。
に付着している突起部２２ａの巾が必ずしも前述のよう
な巾を必要とするものではないから、図５に示すよう
に、突起部２２ａのワークＷ１に接着している部分のみ
の巾の狭いものでも良い。
【００２１】尚、前記研削機のキャリアプレート２ａ
は、図１０に示しているように、テーブル２４の上面に
Ｖ溝を有する複数の支持ローラ２５を円周方向に等間隔
置きに設け、各支持ローラ２５によってリング状の回転
枠２６を回転自在に支持し、この回転枠２６の外周面に
従動歯車２７が刻設してあり、前記テーブル２４に設け
ているモータ２８で回転する駆動歯車２９に前記従動歯
車２７を噛合したものであって、モータ２８の駆動によ
り回転枠２６が回転されるものであり、この回転枠２６
の下面に前記キャリアプレート２ａを回転枠２６の中空
部を覆うように固着してあって、キャリアプレート２ａ
はワークＷ１の厚さよりも薄い板体で、その自重によっ
て撓んで変形しないように水平外周方向に緊張した状態
で架設してある。またこのキャリアプレート２ａの中央
部に前述のセット穴３ａを設けているものである。ま
た、上記キャリアプレート２ａの上方及び下方でワーク
Ｗ１の中心から偏心した位置にそれぞれ砥石３０，３１
を回転し且つ上下に昇降するように設けている。
は、図１０に示しているように、テーブル２４の上面に
Ｖ溝を有する複数の支持ローラ２５を円周方向に等間隔
置きに設け、各支持ローラ２５によってリング状の回転
枠２６を回転自在に支持し、この回転枠２６の外周面に
従動歯車２７が刻設してあり、前記テーブル２４に設け
ているモータ２８で回転する駆動歯車２９に前記従動歯
車２７を噛合したものであって、モータ２８の駆動によ
り回転枠２６が回転されるものであり、この回転枠２６
の下面に前記キャリアプレート２ａを回転枠２６の中空
部を覆うように固着してあって、キャリアプレート２ａ
はワークＷ１の厚さよりも薄い板体で、その自重によっ
て撓んで変形しないように水平外周方向に緊張した状態
で架設してある。またこのキャリアプレート２ａの中央
部に前述のセット穴３ａを設けているものである。ま
た、上記キャリアプレート２ａの上方及び下方でワーク
Ｗ１の中心から偏心した位置にそれぞれ砥石３０，３１
を回転し且つ上下に昇降するように設けている。
【００２２】以上のように突起部２２ａを付着している
ワークＷ１を加工する時には、そのワークＷ１をセット
穴３ａに嵌め込むと共に、付着している突起部２２ａを
凹形状溝２３内に嵌め込み、下側の砥石３１上に載置し
て設置する。そこでキャリアプレート２ａを回転駆動す
ることにより、突起部２２ａを介してワークＷ１も一緒
に回転され、しかも上下の砥石３０，３１を回転し、且
つ上砥石３０をワークＷ１に向かって加工送りすること
により、ワークＷ１の全面に亘って研削加工が行われる
ものである。
ワークＷ１を加工する時には、そのワークＷ１をセット
穴３ａに嵌め込むと共に、付着している突起部２２ａを
凹形状溝２３内に嵌め込み、下側の砥石３１上に載置し
て設置する。そこでキャリアプレート２ａを回転駆動す
ることにより、突起部２２ａを介してワークＷ１も一緒
に回転され、しかも上下の砥石３０，３１を回転し、且
つ上砥石３０をワークＷ１に向かって加工送りすること
により、ワークＷ１の全面に亘って研削加工が行われる
ものである。
【００２３】次に他の例を図６と図７に示しているよう
に、前記例とは異なる支持部材８ｂによるもので、その
違いは、前記例の中間ステー９に代えて、円柱形のイン
ゴット６の外周全面を保護層３２で覆い、その外周の一
部に、前記例と同様に中間ステー９を介して取付けステ
ー１１に接着した構造によるもので、ワイヤソー７によ
ってスライスする際には、取付ステー１１まで切り込
む。以後、取付けステー１１と中間ステー９の間の接着
剤を剥離することにより、前述のようにインゴットから
スライスされた薄板は図７に示すように、前記外周を覆
う保護層３２で全周に亘って覆われ、その外周の一部に
同じく中間ステー９のスライスによって得られた突起部
２２ｂが付着しているもので、これを研削加工するワー
クＷ２とするものである。
に、前記例とは異なる支持部材８ｂによるもので、その
違いは、前記例の中間ステー９に代えて、円柱形のイン
ゴット６の外周全面を保護層３２で覆い、その外周の一
部に、前記例と同様に中間ステー９を介して取付けステ
ー１１に接着した構造によるもので、ワイヤソー７によ
ってスライスする際には、取付ステー１１まで切り込
む。以後、取付けステー１１と中間ステー９の間の接着
剤を剥離することにより、前述のようにインゴットから
スライスされた薄板は図７に示すように、前記外周を覆
う保護層３２で全周に亘って覆われ、その外周の一部に
同じく中間ステー９のスライスによって得られた突起部
２２ｂが付着しているもので、これを研削加工するワー
クＷ２とするものである。
【００２４】上記ワークＷ２を、図５と同様に研削加工
機のキャリアプレート２ａのセット穴３ａに嵌めて加工
するものである。
機のキャリアプレート２ａのセット穴３ａに嵌めて加工
するものである。
【００２５】尚、前記インゴット６の全周を保護層３２
で覆う手段として、合成樹脂またはカーボンによる材料
でパイプ状に形成し、これをインゴットに嵌め込んで接
着するか、あるいは円筒形の型内の中心部にインゴット
を挿入し、その周囲に前記材料を注入し、これを固化し
て成形しても良い。
で覆う手段として、合成樹脂またはカーボンによる材料
でパイプ状に形成し、これをインゴットに嵌め込んで接
着するか、あるいは円筒形の型内の中心部にインゴット
を挿入し、その周囲に前記材料を注入し、これを固化し
て成形しても良い。
【００２６】上述のように、スライスして得られたワー
クＷ１，Ｗ２には突起部２２ａ，２２ｂが付着している
ものであり、またこの突起部２２ａ，２２ｂはワークと
同時に研削されるものであるから、支持部材８ａ，８ｂ
のうち中間ステー９、合成樹脂製のスペースプレート１
０，及びインゴット６の全周を覆う保護層３２を成形す
る各材料に、砥石のドレス作用を備える例えばＧＣ砥粒
などの研摩粒子を混入したもので形成しても良い。以上
のように研摩粒子が混入してあれば、研削時に、研削加
工を行いつつ砥石のドレスが同時に行われるという点で
好ましい。
クＷ１，Ｗ２には突起部２２ａ，２２ｂが付着している
ものであり、またこの突起部２２ａ，２２ｂはワークと
同時に研削されるものであるから、支持部材８ａ，８ｂ
のうち中間ステー９、合成樹脂製のスペースプレート１
０，及びインゴット６の全周を覆う保護層３２を成形す
る各材料に、砥石のドレス作用を備える例えばＧＣ砥粒
などの研摩粒子を混入したもので形成しても良い。以上
のように研摩粒子が混入してあれば、研削時に、研削加
工を行いつつ砥石のドレスが同時に行われるという点で
好ましい。
【００２７】次に上記の各例ではワークに突起部を設け
たものであるが、この突起部を設けることなく、またノ
ッチやオリフラなどを設けることなくして、キャリアプ
レートのセット穴に嵌めたワークをキャリアプレートと
共に回転する方法もある。
たものであるが、この突起部を設けることなく、またノ
ッチやオリフラなどを設けることなくして、キャリアプ
レートのセット穴に嵌めたワークをキャリアプレートと
共に回転する方法もある。
【００２８】図１１に示しているように、インゴット６
の全外周を保護層３２で覆い、しかも該保護層３２の外
周縁に切欠部３３を１個理想的には２個乃至４個設け、
該保護層３２の切欠部３３を除く外周の一部に中間ステ
ー９を接着し、その中間ステー９に取付けステー１１を
同じく接着して、ワイヤソー７によって切欠部３３付き
の保護層３２までスライスするもので、従って支持部材
８ｃは取付けステー１１と中間ステー９及び切欠部３３
付きの保護層３２で構成するものである。しかし取付け
ステー１１と中間ステー９間にスペースプレート１０を
介在する場合もある。
の全外周を保護層３２で覆い、しかも該保護層３２の外
周縁に切欠部３３を１個理想的には２個乃至４個設け、
該保護層３２の切欠部３３を除く外周の一部に中間ステ
ー９を接着し、その中間ステー９に取付けステー１１を
同じく接着して、ワイヤソー７によって切欠部３３付き
の保護層３２までスライスするもので、従って支持部材
８ｃは取付けステー１１と中間ステー９及び切欠部３３
付きの保護層３２で構成するものである。しかし取付け
ステー１１と中間ステー９間にスペースプレート１０を
介在する場合もある。
【００２９】以上のような形態でスライスして得られた
ワークＷ３は図１２に示しているように、ワークＷ３の
外周に切欠部３３付きの保護層３２を備えるもので、こ
れを加工するには、キャリアプレート２ｂに、ワークＷ
３に付着する前記保護層３２の外周円が嵌る大きさの穴
と、該穴内に向かって係合して各切欠部３３に嵌る少な
くとも１個の凸部３４を備えたセット穴３ｂを設け、該
セット穴３ｂに切欠部３３を有する保護層３２で覆われ
たワークＷ３を嵌め込むことにより、キャリアプレート
２ｂの回転に伴ってワークＷ３も一緒に回転するもので
ある。
ワークＷ３は図１２に示しているように、ワークＷ３の
外周に切欠部３３付きの保護層３２を備えるもので、こ
れを加工するには、キャリアプレート２ｂに、ワークＷ
３に付着する前記保護層３２の外周円が嵌る大きさの穴
と、該穴内に向かって係合して各切欠部３３に嵌る少な
くとも１個の凸部３４を備えたセット穴３ｂを設け、該
セット穴３ｂに切欠部３３を有する保護層３２で覆われ
たワークＷ３を嵌め込むことにより、キャリアプレート
２ｂの回転に伴ってワークＷ３も一緒に回転するもので
ある。
【００３０】
【発明の効果】本発明によるワークの加工方法によれ
ば、インゴットをスライスする時の支持部材のうち、イ
ンゴットからスライスされた薄板に、支持部材の少なく
とも中間ステーをスライスして成形された突起部を残し
て支持部材より分離することにより、分離したワークに
はその一部に突起部が付着しているから、加工する際
に、ワークを支持するキャリアプレートのセット穴に突
起部が嵌る凹形状溝を設けることにより、キャリアプレ
ートの回転に伴って突起部を介してワークも回転される
ので、従来のように、ワークに対してノッチやオリフラ
などの切欠部を設ける必要がなくなり、また回転力がワ
ークに直接加わらないので、加工中にワークに無理な力
が加わって破損することがなくなる。更に製品化された
時には、ノッチやオリフラなどの切欠部がないインゴッ
トの断面形と同様の製品となるから、ウエハ全面に亘り
有効に使用することができるようになる。
ば、インゴットをスライスする時の支持部材のうち、イ
ンゴットからスライスされた薄板に、支持部材の少なく
とも中間ステーをスライスして成形された突起部を残し
て支持部材より分離することにより、分離したワークに
はその一部に突起部が付着しているから、加工する際
に、ワークを支持するキャリアプレートのセット穴に突
起部が嵌る凹形状溝を設けることにより、キャリアプレ
ートの回転に伴って突起部を介してワークも回転される
ので、従来のように、ワークに対してノッチやオリフラ
などの切欠部を設ける必要がなくなり、また回転力がワ
ークに直接加わらないので、加工中にワークに無理な力
が加わって破損することがなくなる。更に製品化された
時には、ノッチやオリフラなどの切欠部がないインゴッ
トの断面形と同様の製品となるから、ウエハ全面に亘り
有効に使用することができるようになる。
【００３１】また、インゴットの全外周面に支持部材の
一部である保護層を備え、該保護層の一部に、少なくと
も中間ステーからスライスして得られた突起部を設けて
いるワーク、あるいは切欠部を備えている保護層で覆わ
れたワークによれば、キャリアプレートのセット穴にワ
ークが保護層を介して嵌められるから、ワーク自体はセ
ット穴に直接接触することがなく、加工時の衝撃でワー
クが破損することなく加工することができる。また搬送
の際にも外周の保護層がワークを保護するので、ワーク
の損傷を防止することができ、且つ全面に亘り有効に使
用することができる。
一部である保護層を備え、該保護層の一部に、少なくと
も中間ステーからスライスして得られた突起部を設けて
いるワーク、あるいは切欠部を備えている保護層で覆わ
れたワークによれば、キャリアプレートのセット穴にワ
ークが保護層を介して嵌められるから、ワーク自体はセ
ット穴に直接接触することがなく、加工時の衝撃でワー
クが破損することなく加工することができる。また搬送
の際にも外周の保護層がワークを保護するので、ワーク
の損傷を防止することができ、且つ全面に亘り有効に使
用することができる。
【００３２】また前記保護層及び突起部の材質に砥石の
ドレス作用を有する材料を含むもので成形すれば、研削
加工時には保護層及び突起部も同時に研削されるから、
研削作業を行いながら砥石のドレス作用が得られるとい
う効果を有する。
ドレス作用を有する材料を含むもので成形すれば、研削
加工時には保護層及び突起部も同時に研削されるから、
研削作業を行いながら砥石のドレス作用が得られるとい
う効果を有する。
【００３３】更に前記各ワークには前述のように少なく
とも中間ステーからスライスによって得られた突起部を
備えているから、加工機への搬入搬出時には、ワークに
付着する突起部が把手となり、ワークに直接触れる必要
がなくなることから傷を付ける恐れがなくなり、生産の
歩留まりを一段と向上することができるようになる。
とも中間ステーからスライスによって得られた突起部を
備えているから、加工機への搬入搬出時には、ワークに
付着する突起部が把手となり、ワークに直接触れる必要
がなくなることから傷を付ける恐れがなくなり、生産の
歩留まりを一段と向上することができるようになる。
【００３４】回転可能のキャリアプレートは、ワークの
形状に応じた穴と、ワークに接着された突起部が嵌る凹
形状溝を備えるセット穴、あるいは穴内に向かって突出
する凸部備えたセット穴を穿設したものであるから、突
起部を有するワークをセット穴に差し込む操作が容易に
なり、しかも確実にワークを回転することができ、研削
時にはワークと共に突起部も研削されるが、突起部の表
裏両面乃至片面が研削されるのみであるから、厚みが薄
くなっても回転力を伝達することができるものである。
形状に応じた穴と、ワークに接着された突起部が嵌る凹
形状溝を備えるセット穴、あるいは穴内に向かって突出
する凸部備えたセット穴を穿設したものであるから、突
起部を有するワークをセット穴に差し込む操作が容易に
なり、しかも確実にワークを回転することができ、研削
時にはワークと共に突起部も研削されるが、突起部の表
裏両面乃至片面が研削されるのみであるから、厚みが薄
くなっても回転力を伝達することができるものである。
【図１】本発明によるワークの加工方法におけるスライ
ス時のインゴットを示す正面図である。
ス時のインゴットを示す正面図である。
【図２】同じくスライスされた時の状態を示す側面図で
ある。
ある。
【図３】（イ）（ロ）成形されたワークの正面図と側面
図である。
図である。
【図４】本発明によるワークの加工方法における加工時
の状態を示す平面図である。
の状態を示す平面図である。
【図５】同じく他の例による平面図である。
【図６】他の例によるスライスする時のインゴットを示
す正面図である。
す正面図である。
【図７】図６で得られたワークの正面図である。
【図８】インゴットをスライスするワイヤソーの要部を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図９】インゴットをスライスする他の例によるワイヤ
ソーの要部を示す拡大断面図である。
ソーの要部を示す拡大断面図である。
【図１０】ワークを研削する加工機のキャリアプレート
を支持する機構の要部を示す断面図である。
を支持する機構の要部を示す断面図である。
【図１１】更に他の例によるスライスする時のインゴッ
トを示す正面図である。
トを示す正面図である。
【図１２】本発明による他の例によるワークの加工方法
における加工時の状態を示す平面図である。
における加工時の状態を示す平面図である。
【図１３】従来のワークを示す平面図である。
【図１４】従来のワークの加工時のセット状態を示す平
面図である。
面図である。
【図１５】従来の他の例によるワークの加工時のセット
状態を示す平面図である。
状態を示す平面図である。
Ｗ１，Ｗ２ ワーク
２ａ，２ｂ キャリアプレート
３ａ，３ｂ セット穴
６ インゴット
８ａ，８ｂ 支持部材
９ 中間ステー
１０ スペースプレート
１１ 取付けステー
２２ａ,２２ｂ 突起部
２３ 凹形状溝
３２ 保護層
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 村井 史朗
富山県東砺波郡福野町100番地 株式会
社日平トヤマ富山工場内
(72)発明者 和田 豊尚
富山県東砺波郡福野町100番地 株式会
社日平トヤマ富山工場内
(56)参考文献 特開 昭60−259372（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−264835（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−93166（ＪＰ，Ａ)
特開 昭51−111054（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−209377（ＪＰ，Ａ)
実開 平１−114264（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B24B 37/04
B24B 1/00
B24B 27/06
H01L 21/304
B28D 5/04
Claims (8)
- 【請求項１】 円柱形のインゴットの長手方向に沿う取
付けステーに少なくとも中間ステーを接着剤で固定した
支持部材に、前記インゴットを中間ステーに付着した状
態で固着し、そのインゴットと中間ステーを薄くスライ
スした後に、スライスして得られたワークに、同じくス
ライスされた少なくとも中間ステーからなる突起部を付
着している状態のままで分離し、この突起部付きワーク
を、回転するキャリアプレートに穿孔してあるワークの
形状に応じた穴、及び前記突起部が嵌る凹形状溝を備え
ているセット穴に嵌め、キャリアプレートと共に突起部
付きワークを、その突起部を介して回転して加工するこ
とを特徴とするワークの加工方法。 - 【請求項２】 前記インゴットを固着する支持部材のう
ち、インゴットに直接付着する中間ステーの材料中に、
研摩粒子が混入してあることを特徴とする請求項１に記
載のワークの加工方法。 - 【請求項３】 円柱形のインゴットの長手方向に沿う取
付けステーと少なくとも中間ステーと、前記インゴット
の全外周を直接覆って付着する保護層とを順次重ねて固
着してある支持部材によって前記インゴットを保持し、
該インゴットを少なくとも中間ステーに至るまで薄くス
ライスした後に、前記支持部材の取付けステーから、ス
ライスされたワークの全周を覆う保護層、及び少なくと
も中間ステーからなる突起部を付着している状態のまま
で分離し、該全周を覆う保護層及び突起部付きワーク
を、回転するキャリアプレートに穿孔された保護層を含
むワークの形状に応じた穴、及び前記突起部が嵌る凹形
状溝を備えているセット穴に嵌めて、キャリアプレート
と共に全周を覆う保護層及び突起部付きワークを、その
突起部を介して回転して加工することを特徴とするワー
クの加工方法。 - 【請求項４】 円柱形のインゴットの長手方向に沿う取
付けステーと少なくとも中間ステーと、前記インゴット
の全外周を直接覆って付着する保護層とを順次重ねて固
着していると共に、該保護層の外周縁に切欠部を備えて
いる支持部材によって前記インゴットを保持し、該イン
ゴットを前記切欠部を有する保護層まで薄くスライスし
た後に、前記支持部材の中間ステーからスライスされた
ワークを、切欠部付き保護層を付着した状態で分離し、
該切欠部付き保護層を付着しているワークを、回転する
キャリアプレートに穿孔された保護層を含むワークの形
状に応じた穴、及びキャリアプレートから前記保護層の
切欠部と係合する凸部を備えているセット穴に嵌めて、
キャリアプレートと共に全周を覆う保護層付きワーク
を、その突起部を介して回転して加工することを特徴と
するワークの加工方法。 - 【請求項５】 前記インゴットを固着する支持部材のう
ち、インゴットの全外周を覆う保護層に、研摩粒子が混
入してあることを特徴とする請求項３または４に記載の
ワークの加工方法。 - 【請求項６】 前記インゴットを固着する支持部材のう
ち、中間ステーに研摩粒子が混入された合成樹脂で成形
してあることを特徴とする請求項３，４または５に記載
のワークの加工方法。 - 【請求項７】 インゴットを中間ステーに接着した状態
でスライスして得られた突起部付きワークのワークの形
状に応じた穴、及びワークの外周に接着された前記中間
ステーからなる突起部が嵌る凹形状溝を備えているセッ
ト穴が穿設してあると共に、回転可能に支持してあるこ
とを特徴とするキャリアプレート。 - 【請求項８】 外周に保護層が付着してあり、該保護層
の外周縁に切欠部を有するワークの形状に応じた穴、及
び該ワークの外周に付着する保護層の切欠部に係合する
凸部を備えているセット穴が穿設してあると共に、回転
可能に支持してあることを特徴とするキャリアプレー
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26203497A JP3405906B2 (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | ワークの加工方法とキャリアプレート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26203497A JP3405906B2 (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | ワークの加工方法とキャリアプレート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11102889A JPH11102889A (ja) | 1999-04-13 |
| JP3405906B2 true JP3405906B2 (ja) | 2003-05-12 |
Family
ID=17370117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26203497A Expired - Fee Related JP3405906B2 (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | ワークの加工方法とキャリアプレート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3405906B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3593451B2 (ja) * | 1998-04-01 | 2004-11-24 | 株式会社日平トヤマ | インゴットのスライス方法 |
| CN100372059C (zh) * | 2003-12-24 | 2008-02-27 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 形成半导体材料晶片的方法及其结构 |
| KR100873263B1 (ko) | 2007-09-12 | 2008-12-11 | 주식회사 실트론 | 잉곳 마운팅 방법 |
| JP2010010299A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 脆性材料からなるチップの製造方法 |
-
1997
- 1997-09-26 JP JP26203497A patent/JP3405906B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11102889A (ja) | 1999-04-13 |
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