JP3393556B2 - セラミックス積層体の製造装置およびセラミックス積層体の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はセラミックス積層体の
製造装置およびセラミックス積層体の製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術と発明が解決しようとする課題】従来セラ
ミックス積層体の一例として積層コンデンサが知られて
いる。この積層コンデンサはセラミックユニットの内部
に複数層の内部電極が形成され、その両端部に内部電極
と電気的に接続された外部電極を形成してなる。

【０００３】このような積層コンデンサを製造する方法
としては、従来では、セラミックグリーンシート上に長
方形の電極を複数形成しておき、このような複数の電極
が形成されたグリーンシートを複数枚積層した後に、こ
れを剛体プレスで圧着する方法が知られている。剛体プ
レスによる圧着工程は、金型の下型内へ積層したグリー
ンシートを入れ、上型を加圧することにより、各グリー
ンシートと内部電極とを隙間なく圧着する。圧着後は、
グリーンシートを直方体に切断してチップにし、これを
焼成した後に両側に外部電極を形成している。

【０００４】内部電極の形成された部分と形成されてい
ない部分とでシートの厚みに差が生じるので、剛体プレ
スを用いて圧着する方法では、内部電極の形成されてい
ない部分の成形密度が上がらず、この部分で層剥れが生
じ易いという問題がある。

【０００５】特に、グリーンシートの積層枚数が増える
程、圧着時における密度差が顕著となるので、その影響
が大きい。このために、多層の積層コンデンサを製造す
る場合は、圧着不良に起因して、不良品が生じ易く、歩
留りが悪くなるという問題がある。

【０００６】また、剛体プレスによる圧着方法は、加圧
した時に金型に歪みを生じるので、上型と下型の作用位
置によって力の加わり方が異なり、加圧力の不均一を生
じ易くなり、これまた層剥れの原因になっている。

【０００７】さらに、剛体プレスで圧着すると、焼成後
のチップがほぼ完全な直方体になるので、これに外部電
極を形成すると外部電極の厚み分だけ直方体から突出す
るようになるので、基板への実装性が低下するという問
題もある。

【０００８】この発明は前記事情に基づいて完成され
た。すなわち、この発明の目的は、前記問題点を解決
し、積層されたセラミックのグリーンシートを均一に圧
着することにより、層剥れを生じることなく、しかもセ
ラミックス積層体をその製造装置からセラミックス積層
体を損傷することなく、歩留り良くセラミックス積層体
を製造することのできる装置および製造方法を提供する
ことにある。

【０００９】

【前記課題を解決するための手段】前記課題を解決する
ための請求項１に記載の発明は、セラミックス製の複数
のグリーンシートを収容することのできる凹陥部を形成
してなる基体と、前記凹陥部の底面に配置され、その底
面を液密に覆蓋し、前記グリーンシートを加圧成形して
得られるセラミックス積層体を押し出し可能とする第１
弾性部材と、前記凹陥部の上部開口部を液密に覆蓋する
第２弾性部材と、前記第２弾性部材を介して前記凹陥部
の上部開口部を覆蓋する蓋体と、前記基体に設けられ、
前記凹陥部の底面と第１弾性部材との間に圧力流体を導
入する第１圧力流体導入手段と、前記第２弾性部材に圧
力を印加する圧力流体を導入する第２圧力流体導入手段
と、グリーンシートの加圧成形時に前記蓋体を固定する
固定部材と、前記凹陥部内の第１弾性部材と第２弾性部
材との間にある凹陥部内壁面に開口する開口部から凹陥
部内のエアーを排気するエアー排気手段とを有すること
を特徴とするセラミックス積層体の製造装置であり、請
求項２に記載の発明は、セラミックス製の複数のグリー
ンシートを収容することのできる凹陥部を形成してなる
基体と、前記凹陥部の底面に配置され、その底面を液密
に覆蓋する第１弾性部材と、前記凹陥部の上部開口部を
液密に覆蓋し、前記グリーンシートを加圧成形して得ら
れるセラミックス積層体を押し出し可能とする蓋体と、
前記凹陥部の底面と前記第１弾性部材との間に圧力流体
を導入する第１圧力流体導入手段と、グリーンシートの
加圧成形時に前記蓋体を固定する固定部材と、前記凹陥
部内の第１弾性部材と蓋体との間にある凹陥部内壁面に
開口する開口部から凹陥部内のエアーを排気するエアー
排気手段とを有することを特徴とするセラミックス積層
体の製造装置であり、請求項３に記載の発明は、前記蓋
体の凹陥部に臨む面に離型性部材が介装されてなる前記
請求項２に記載のセラミックス積層体の製造装置であ
り、請求項４に記載の発明は、セラミックス製の複数の
グリーンシートを収容することのできる凹陥部を形成し
てなる基体と、前記凹陥部の底面に配置され、その底面
を液密に覆蓋し、前記グリーンシートを加圧成形して得
られるセラミックス積層体を押し出し可能とする第１弾
性部材と、前記凹陥部の上部開口部を液密に覆蓋する第
２弾性部材と、前記基体に設けられ、前記凹陥部の底面
と前記第１弾性部材との間に圧力流体を導入する第１圧
力流体導入手段と、前記第２弾性部材を介して前記凹陥
部の上部開口部を覆蓋する蓋体と、前記第２弾性部材と
蓋体との間に封入された圧力流体層と、グリーンシート
の加圧成形時に前記蓋体を固定する固定部材と、前記凹
陥部内の第１弾性部材と第２弾性部材との間にある壁面
に開口する開口部から凹陥部内のエアーを排気するエア
ー排気手段とを有することを特徴とするセラミックス積
層体の製造装置であり、請求項５に記載の発明は、前記
第１弾性部材の上面に第１硬質板材が配置されてなる前
記請求項１〜４のいずれかに記載のセラミックス積層体
の製造装置であり、請求項６に記載の発明は、前記第２
弾性部材の下面に第２硬質板材が配置されてなる前記請
求項１、４または５に記載のセラミックス積層体の製造
装置であり、請求項７に記載の発明は、前記凹陥部が複
数個設けられてなる前記請求項１〜６のいずれかに記載
のセラミックス積層体の製造装置であり、請求項８に記
載の発明は、前記凹陥部の上部開口部縁辺に傾斜部が設
けられてなる前記請求項１〜７のいずれかに記載のセラ
ミックス積層体の製造装置であり、請求項９に記載の発
明は、前記第１弾性部材の縁辺が凹陥部の壁面に設けら
れた間隙に装入されてなる前記請求項１〜８のいずれか
に記載のセラミックス積層体の製造装置であり、請求項
１０に記載の発明は、前記請求項１に記載のセラミック
ス積層体の製造装置を使用し、凹陥部内にセラミックス
製の複数のグリーンシートを積み重ねた状態に配置し、
第１圧力流体導入手段により凹陥部の底面と第１弾性部
材との間に圧力流体を圧入し、かつ、第２圧力流体導入
手段により圧力流体を圧入することにより、第１弾性部
材および第２弾性部材を介して複数のグリーンシートを
加圧成形し、加圧成形後に、第２圧力流体導入手段によ
る加圧力を除き、セラミックス積層体を第１圧力流体導
入手段による加圧力により凹陥部から取り出すことを特
徴とするセラミックス積層体の製造方法であり、請求項
１１に記載の発明は、前記請求項１に記載のセラミック
ス積層体の製造装置を使用し、凹陥部内にセラミックス
製の複数のグリーンシートを積み重ねた状態に配置し、
第２圧力流体導入手段により第２弾性部材を加圧するこ
とによりセラミックス製の複数のグリーンシートを加圧
成形し、第２圧力流体導入手段による加圧を停止してか
ら、第１圧力流体導入手段により第１弾性部材と凹陥部
の底面との間に圧力流体を導入することにより、凹陥部
からセラミックス積層体を取り出すことを特徴とするセ
ラミックス積層体の製造方法である。

【００１０】

【作用】請求項１に記載の発明に係るセラミックス積層
体の製造装置により、次のようにしてセラミックス積層
体を製造する。

【００１１】すなわち、凹陥部の底面に配置された第１
弾性部材上に、セラミックス製の複数のグリーンシート
を配置する。凹陥部における上部開口部を、第２弾性部
材で液密に覆蓋する。第２弾性部材で覆蓋された凹陥部
における上部開口部に、さらに蓋体で覆蓋する。この蓋
体を固定部材で固定する。この固定部材による固定は、
グリーンシートの加圧成形時に蓋体が上部開口部から突
出するのを阻止するように、固定部材で蓋体を基体に固
定する、あるいは蓋体の上端面に固定部材を配置するな
どにより、実現することができる。

【００１２】次いで、エアー排気手段により凹陥部内の
エアーを排気して、凹陥部内を高度の減圧状態にする。
このエアーの排気と同時に、あるいはエアーの排気を完
了してから、次のようにしてグリーンシートの加圧成形
を行う。

【００１３】すなわち、請求項１０に記載された製造方
法に従い、第１圧力流体導入機構により第１弾性部材と
凹陥部の底面との間に圧力流体を圧入し、第２圧力流体
導入機構により第２弾性部材と蓋体との間に圧力流体を
圧入する。これによって、第１弾性部材および第２弾性
部材を介して、導入された圧力流体による加圧力が、積
層された複数枚のグリーンシートに印加され、複数枚の
グリーンシートが一体化する。このとき、積み重ねられ
た複数枚のグリーンシートには、固定部材により蓋体が
固定されているので、第１弾性部材と第２弾性部材とに
よって互いに向き合うベクトル方向の加圧力が作用す
る。

【００１４】圧力流体による加圧を所定時間維持してか
ら、蓋体と第２弾性部材との間の加圧流体による圧力を
常圧に戻すのと同時に、基体における凹陥部の底面と第
１弾性部材との加圧流体による圧力を常圧に戻す。固定
部材による蓋体の固定を解除し、蓋体を凹陥部の上部開
口部から取り外す。第１圧力流体導入機構により、第１
弾性部材と凹陥部の底面との間に圧力流体を圧入するこ
とにより、セラミックス積層体を凹陥部から押し出す。
押し出されたセラミックス積層体を凹陥部から取り出
す。

【００１５】またグリーンシートの上記操作によらない
加圧成形として、請求項１１に記載された製造方法に従
い、第２圧力流体導入機構により第２弾性部材を加圧す
ることによりセラミックス製の複数枚のグリーンシート
を加圧する。このとき、固定部材により蓋体が固定され
ているので、第２圧力流体導入機構により圧入された圧
力流体による圧力は、第２弾性部材から凹陥部の底面に
向かうベクトル方向で作用する。

【００１６】圧力流体による加圧を所定時間維持してか
ら、第２圧力流体導入機構により蓋体と第２弾性部材と
の間の圧力流体を吸引排除して圧力流体による加圧を停
止する。エアー排気手段によるエアーの排気を停止し、
凹陥部内を常圧状態に戻す。固定部材による蓋体の固定
を解除し、蓋体を凹陥部の上部開口部から取り外す。

【００１７】第１圧力流体導入機構により凹陥部の底面
と第１弾性部材との間に圧力流体を圧入する。圧力流体
の圧入により凹陥部からセラミックス積層体が押し出さ
れる。押し出されたセラミックス積層体を凹陥部から取
り出す。

【００１８】請求項２に記載の発明に係るセラミックス
積層体の製造装置により、次のようにしてセラミックス
積層体を製造する。

【００１９】すなわち、凹陥部の底面に配置された第１
弾性部材上に、セラミックス製の複数枚のグリーンシー
トを配置する。凹陥部における上部開口部を、蓋体で液
密に覆蓋する。この蓋体を固定部材で固定する。この固
定部材による固定は、グリーンシートの加圧成形時に蓋
体が上部開口部から突出するのを阻止するように、固定
部材で蓋体を基体に固定する、あるいは蓋体の上端面に
固定部材を配置するなどにより、実現することができ
る。

【００２０】次いで、エアー排気手段により凹陥部内の
エアーを排気して、凹陥部内を高度の減圧状態にする。
このエアーの排気と同時に、あるいはエアーの排気を完
了してから、次のようにしてグリーンシートの加圧成形
を行う。

【００２１】すなわち、第１流体圧力導入機構により第
１弾性部材と凹陥部の底面との間に圧力流体を圧入す
る。固定部材により蓋体が固定されているので、第１流
体圧力導入機構による圧力流体の圧入により、セラミッ
クス製の複数枚のグリーンシートに圧力が印加される。
加圧流体による加圧によってセラミックス積層体が形成
される。

【００２２】所定時間かけて加圧流体による加圧処理を
終えたならば、第１流体圧力導入機構による加圧流体の
圧入による加圧を停止し、加圧流体による圧力を常圧に
戻す。エアー排気手段による凹陥部内の排気を停止し、
凹陥部内を常圧に戻す。

【００２３】固定部材による蓋体の固定を解除する。凹
陥部における上部開口部から蓋体を取り除く。第１圧力
流体導入機構により第１弾性部材と凹陥部の底面との間
に圧力流体を圧入することにより、セラミックス積層体
を凹陥部から押し出す。押し出されたセラミックス積層
体を凹陥部から取り出す。

【００２４】請求項２に記載のセラミックス積層体の製
造装置においては、請求項３に記載の発明のように、蓋
体の凹陥部に臨む面に離型性部材を介装させるのが好ま
しい。この離型性部材が蓋体の凹陥部に臨む面に介装さ
れていないときには、グリーンシートを加圧成形する
と、成形されたセラミックス積層体の上面が蓋体の下面
に固着してしまって、蓋体を凹陥部から取り外すのが困
難になることがたまにあるが、この離型性部材を蓋体の
凹陥部に臨む面に介装しておくことにより、セラミック
ス積層体の上面が蓋体の下面に固着することが確実に防
止され、セラミックス積層体の凹陥部からの取り出しを
確実に実行することができる。

【００２５】請求項４に記載されたセラミックス積層体
の製造装置においては、次のようにしてセラミックス積
層体を製造することができる。

【００２６】すなわち、凹陥部の底面に配置された第１
弾性部材上に、セラミックス製の複数枚のグリーンシー
トを配置する。凹陥部における上部開口部を、第２弾性
部材で液密に覆蓋し、第２弾性部材の上面に圧力流体層
を設け、その圧力流体層の上を蓋体で液密に覆蓋する。
この蓋体を固定部材で固定する。この固定部材による固
定は、グリーンシートの加圧成形時に蓋体が上部開口部
から突出するのを阻止するように、固定部材で蓋体を基
体に固定する、あるいは蓋体の上端面に固定部材を配置
するなどにより、実現することができる。

【００２７】次いで、エアー排気手段により凹陥部内の
エアーを排気して、凹陥部内を高度の減圧状態にする。
このエアーの排気と同時に、あるいはエアーの排気を完
了してから、次のようにしてグリーンシートの加圧成形
を行う。

【００２８】すなわち、第１圧力流体導入機構により第
１弾性部材と凹陥部の底面との間に圧力流体を圧入する
ことにより、グリーンシートを加圧する。固定部材によ
り蓋体が固定されているので、圧力流体により複数枚の
グリーンシートが第１弾性部材により第２弾性部材に向
かって加圧されることになる。このとき、圧力流体層が
第２弾性部材と蓋体の下面との間に介在しているので、
第２弾性部材から第１弾性部材に向かうベクトル方向で
反力が生じる。これによって複数枚のグリーンシートに
は、互いに向き合う方向の加圧力が作用し、セラミック
ス積層体が形成される。

【００２９】所定時間かけて加圧流体による加圧処理を
終えたならば、第１流体圧力導入機構による加圧流体の
圧入による加圧を停止し、加圧流体による圧力を常圧に
戻す。エアー排気手段による凹陥部内の排気を停止し、
凹陥部内を常圧に戻す。

【００３０】固定部材による蓋体の固定を解除する。凹
陥部における上部開口部から蓋体を取り除く。圧力流体
層および第２弾性部材を凹陥部から取り除く。第１圧力
流体導入機構により第１弾性部材と凹陥部の底面との間
に圧力流体を圧入することにより、セラミックス積層体
を凹陥部から押し出す。押し出されたセラミックス積層
体を凹陥部から取り出す。

【００３１】前記請求項１〜４のいずれに記載されたセ
ラミックス積層体の製造装置においても、請求項５に記
載の発明のように、第１弾性部材の上面に第１硬質板材
を配置するのが好ましい。

【００３２】第１硬質板材を第１弾性部材の上面に配置
しておくと、セラミックス製のグリーンシートを加圧成
形してセラミックス積層体を製造するときに、第１弾性
部材を介して圧力流体の加圧力をグリーンシートに均一
に印加することができる。

【００３３】請求項１、４または５に記載のセラミック
ス積層体の製造装置においても、請求項６に記載の発明
のように、第２弾性部材の下面に第２硬質板材を配置し
ておくのが好ましい。

【００３４】第２弾性部材の下面に第２硬質板材を配置
しておくと、セラミックス製のグリーンシートを加圧成
形してセラミックス積層体を製造するときに、第２弾性
部材を介して圧力流体の加圧力をグリーンシートに均一
に印加することができる。

【００３５】請求項７に記載のセラミックス積層体の製
造装置のように、基体に複数の凹陥部を設けると、一度
に複数のセラミックス積層体を製造することができるの
で、効率的になる。

【００３６】請求項８に記載のセラミックス積層体の製
造装置のように、凹陥部の上部開口部縁辺に傾斜部を設
けておくと、加圧成形後にセラミックス積層体を凹陥部
から取り出すときにセラミックス積層体の縁部分を損傷
することがなく、欠けや割れを生じることなく完全な形
状のセラミックス積層体を製造することができる。

【００３７】請求項９に記載のセラミックス積層体の製
造装置のように、第１弾性部材の縁辺を凹陥部の壁面に
設けられた間隙に挿入しておくと、第１弾性部材の凹陥
部への装着を一層完全に液密にすることができる。

【００３８】

【実施例】以下にこの発明の一実施例を図面を用いて説
明する。この発明は以下の実施例に限定されず。この発
明の要旨の範囲内で適宜に設計変更をすることができる
ことは言うまでもない。

【００３９】（実施例１）図１に示すように、請求項１
に記載の発明の一実施例であるセラミックス積層体の製
造装置１は、基体３と、第１弾性部材４と、第２弾性部
材５と、蓋体６と、固定部材であるヨーク８とを有す
る。

【００４０】基体３は、例えば円柱状である。もっと
も、この基体３は円柱状である必要は特になく、設計上
四角柱状であっても良い。

【００４１】図２に示すように、基体３の上面には、方
形の開口部３ａを有する４個の凹陥部３ｂが設けられ
る。この開口部３ａの大きさは、得ようとするセラミッ
クス積層体の上平面の大きさにほぼ等しくなるように設
定される。この基体３の内部に各凹陥部３ｂの底面が形
成されている。

【００４２】この各凹陥部３ｂの底面には、この凹陥部
３ｂの周面に対して液密になるように第１弾性部材４が
配置される。なお、図１においては、凹陥部３ｂの底面
と第１弾性部材４との間に圧力流体が圧入され、これに
よって第１弾性部材４が凹陥部３ｂの底面から上方に浮
き上がった状態が、示されている。

【００４３】第１弾性部材４としては、弾性を有し、耐
圧性を有するのであればその材質に特に制限がないので
あるが、通常はゴム製である。第１弾性部材４を凹陥部
３ｂの底面に配置するには、たとえば、図３に示すよう
に、凹陥部３ｂの底面近傍における内周面に設けた間隙
３ｃに第１弾性部材４の端辺部４ａを緊密に装着する手
法を採用しても良いし、また、図４に示すように、基体
３を、方形の開口部３ａを有する４個の連通孔を有する
円柱状の第１基体３ｄと、前記第１基体３ｄと同じ直径
を有し、前記４個の連通孔と同じ形状の方形の４個の浅
い窪み３ｅを有する円盤状の第２基体３ｆとで形成し、
前記第１基体３ｄの下面と第２基体３ｆの上面との間
に、この第１基体３ｄおよび第２基体３ｆと同じ面積を
有するたとえばゴム製の第１弾性部材４を介装させる手
法を採用しても良い。

【００４４】図１に示すように、この基体３には、前記
凹陥部３ｂの底面に開口する第１開口部３ｇと基体３の
外周面に開口する第２開口部３ｈとを連絡する第１圧力
流体導排出路３ｉを有し、基体３の外部に設置された、
たとえば圧力流体貯留槽（図示せず。）、圧力流体貯留
槽から第２開口部３ｈへ圧力流体を導入する配管３ｊ、
およびこの配管３ｊの途中に設けられ、圧力流体を前記
第１圧力流体導排出路３ｉに圧送するポンプ（図示せ
ず。）からなる第１圧力流体供給手段（図示せず。）に
より、凹陥部３ｂの底面と第１弾性部材４との間に圧力
流体が圧入されるようになっている。この実施例におい
ては、第１圧力流体導入機構が、前記第１圧力流体導排
出路３ｉおよび第１圧力流体供給手段を有して構成され
ている。

【００４５】この基体３には、前記凹陥部３ｂの内周面
であって前記第１弾性部材４および第２弾性部材５によ
り被覆されていない内周面に開口する第３開口部３ｋと
基体３の外周面に開口する第４開口部３ｍとを連絡する
エアー導排出路３ｎが設けられ、このエアー導排出路３
ｎには、前記第４開口部３ｍに接続された配管３ｐ、そ
の配管３ｐの一端に接続されたエアー排出ポンプ（図示
せず。）および、前記配管３ｐの途中に設けられたエア
ーリーク用バルブ（図示せず。）を備えたエアー排気装
置（図示せず。）が結合されている。この実施例では、
エアー排気手段が、前記エアー導排出路３ｎおよびエア
ー排気装置を有して構成されている。

【００４６】第２弾性部材５は、たとえばゴムなどの弾
性体により形成され、前記基体３の上面に開口する４個
の凹陥部３ａの開口部を全て覆うことのできる大きさを
有するように形成されたシートである。

【００４７】蓋体６は、前記基体３の上面と実質的に同
じ形状および面積を有する下面を有し、その下面には、
基体３の上面に設けられた４個の凹陥部３ｂの開口部を
全て覆蓋することができるに十分な面積の凹部７を有し
ている。この凹部７には前記第２弾性部材５が、第２弾
性部材の周端面とこの凹部７の周壁とが液密になるよう
に、装着されている。したがって、この凹部７の開口形
状は前記第２弾性部材５の平面形状とは実質的に同じで
あるように、あるいは第２弾性部材５の平面形状が前記
凹部７の開口形状よりわずかに大きくなるように、第２
弾性部材５および凹部７が設計される。

【００４８】この蓋体６には、その凹部７の天井部に適
宜の位置に開口する第５開口部６ａとこの蓋体６の外周
面に開口する第６開口部６ｂとを連絡する第２圧力流体
導排出路６ｃが設けられ、基体３の外部に設置された、
たとえば圧力流体貯留槽（図示せず。）、圧力流体貯留
槽から第６開口部６ｂへ圧力流体を導入する配管６ｄ、
およびこの配管６ｄの途中に設けられ、圧力流体を前記
に第２圧力流体導排出路６ｃに圧送するポンプ（図示せ
ず。）からなる第２圧力流体供給手段（図示せず。）に
より、蓋体６の下面と第２弾性部材５との間に圧力流体
が圧入されるようになっている。この実施例では、第２
圧力流体導入機構が、前記第２圧力流体導排出路６ｃお
よび第２圧力流体供給手段を有して構成される。

【００４９】図１および図５に示すように、前記ヨーク
８は、垂直に立設された一対の垂直部８ｂと、その垂直
部８ｂの上部および下部で水平に架け渡すように平行に
設けられた上部水平部８ｃおよび下部水平部８ｄとを有
する。この上部水平部８ｃおよび下部水平部８ｄと一対
の垂直部８ｂで形成される開口部８ａは、蓋体６を装着
した基体３を収容するに十分な大きさを有し、蓋体６を
装着した基体３をこの開口部８ａ内に収容した場合に、
上部水平部８ｃの下面が蓋体６の上面よりわずかに高い
位置にあり、下部水平部８ｄの上面が基体３の下面に位
置し、一対の垂直部８ｂの相互の間隔が前記基体３の直
径よりも十分に大きな長さになるように設計される。な
お、基体３は、適宜の手段例えばフレーム（図示せ
ず。）などによって支持される。

【００５０】このヨーク８は、たとえばレール９上を転
動する車輪１０を備えるなどによって水平移動自在に構
成される。そして、基体３の凹陥部３ｂ内にセラミック
ス製の複数のグリーンシートを配置するときには、基体
３から蓋体６を取り外す必要から、この基体３から退避
した位置に待機し、加圧成形をするときにはこのヨーク
８の開口部８ａに、蓋体６を装着した基体３を収容する
ように移動する。

【００５１】以上構成のセラミックス積層体の製造装置
によるセラミックス積層体の製造について以下に説明す
る。

【００５２】まず、初期状態としてヨーク８は基体３か
ら退避した位置に待機している。

【００５３】基体３の上面から蓋体６および第２弾性部
材５を取り除いておくことにより、凹陥部３ｂの上部開
口部３ａを露出させておく。セラミックス製の複数枚の
グリーンシートからなる積層物をこの凹陥部３ｂ内にい
れ、第１弾性部材４の上に前記積層物を安置する。

【００５４】この積層物としては、セラミックス製の薄
いシートを積み重ね、必要に応じて軽く押圧することに
よりシート相互を接着させてなり、あるいは必要に応じ
て軽く焼成することによりシート相互を結着させてな
り、あるいはシートの形成に使用されたバインダーによ
ってシート相互が軽く接着されてなる積層物を挙げるこ
とができる。また、このセラミックス積層体の製造方法
により製造されるセラミックス積層体が、たとえば積層
コンデンサに加工されるのであれば、図６に示すよう
に、前記積層物１１は、セラミックス製の一枚のグリー
ンシート１２に複数の内部電極１３を形成し、同様に複
数の内部電極１３を形成したグリーンシート１２を相互
に積層して形成されることができる。

【００５５】図６においては、積層物１１として、内部
電極１３を三層にし、グリーンシート１２を四層にした
場合を示している。もっとも、このグリーンシート１２
の積層枚数は４枚に限らず、電極も三層に限らず、任意
の枚数が適宜に選択される。

【００５６】凹陥部３ｂ内に積層物１１を収容した後
に、第２弾性部材５を凹部７に装着してなる蓋体６を、
この第２弾性部材５が４個の凹陥部３ｂを全て覆蓋する
ように、基体３の上面に配置する。

【００５７】ヨーク８を移動させて、ヨーク８の開口部
８ａに、蓋体６を装着した基体３を配置する。この配置
状態では、ヨーク８における上部水平部８ｃの下面が蓋
体６の上面に殆ど接する位に近接した状態にあり、また
ヨーク８の下部水平部８ｄの上面は基体３の下面に殆ど
接する位に近接した状態にある。

【００５８】この状態で次のようにして、セラミックス
製の複数枚のグリーンシート１２を積み重ねた積層物１
１の加圧成形を行う。

【００５９】加圧成形の方法として以下の二方法があ
る。

【００６０】まず、第１の方法は、本願請求項１０に記
載の方法に従う。すなわち、エアー排気手段により、凹
陥部３ｂ内のエアーを排気する。エアーの排気を行いつ
つ、あるいはエアーの排気により凹陥部３ｂ内を高度の
減圧度にしてから、第１圧力流体供給手段におけるポン
プを駆動して圧力流体貯留槽から配管および第１圧力流
体導排出路３ｉを介して凹陥部３ｂの底面と第１弾性部
材４との間に圧力流体Ｐ₁ を圧入し、かつ第２圧力流体
供給手段におけるポンプを駆動して圧力流体貯留槽から
配管および第２圧力流体導排出路６ｃを介して蓋体６の
下面と第１弾性部材４との間に圧力流体Ｐ₂ を圧入す
る。第１弾性部材４と凹陥部３ｂの底面との間に圧入さ
れた圧力流体Ｐ₁ によって、基体３を下方に向かって押
し下げようとし、かつ第１弾性部材４を凹陥部３ｂ内の
上方に押し上げようとする圧力が発生する。ところが、
基体３の下面にはヨーク８の下部水平部８ｄが位置して
いるので基体３の下方への移動が阻止されてしまい、結
局、第１弾性部材４と凹陥部３ｂの底面との間に圧入さ
れた加圧流体Ｐ₁ によって、第１弾性部材４を介して積
層物１１を上方に押圧する大きな加圧力が発生する。一
方、蓋体６の下面と第２弾性部材５との間に圧入された
加圧流体Ｐ₂ によって、蓋体６を押し上げると共に第２
弾性部材５を押し下げる圧力が発生する。ところが、蓋
体６の上面にはヨーク８の上方水平部が蓋体６の上方移
動を阻止しているので、圧力流体Ｐ₂ の圧入によって、
第２弾性部材５を介して積層物１１を下方に圧縮する大
きな圧力が発生する。

【００６１】凹陥部３ｂ内に装入された積層物１１に対
して第１弾性部材４による上方に向かう大きな圧力と第
２弾性部材５による下方に向かう大きな圧縮力とによ
り、積層物１１は加圧され、各セラミックス製のグリー
ンシート１２は相互に固着して一体化し、セラミックス
積層体が形成される。

【００６２】第１弾性部材４および第２弾性部材５を介
して積層物１１の加圧を所定時間継続するのが好まし
い。この加圧においては、圧力流体を使用しているの
で、第１弾性部材４および第２弾性部材５を介してグリ
ーンシート１２の全面に均一に圧力が印加される。した
がって、積み重ねられたグリーンシート１２に圧力が不
均一に印加されることによる成形不良がない。

【００６３】所定時間の加圧の後に、配管３ｐおよび配
管６ｄそれぞれに設けられた圧力リーク弁（図示せ
ず。）を解放することにより、第１弾性部材４と凹陥部
３ｂの底面との間に充填されている圧力流体Ｐ₁ と第２
弾性部材５と凹陥部７との間に圧入されている圧力流体
Ｐ₂ を排出する。圧力流体Ｐ₁ 、Ｐ₂ を排出することに
より第１弾性部材４および第２弾性部材５を介した加圧
力が低下する。

【００６４】前記加圧力が小さくなり、あるいは加圧力
が消失することにより、蓋体６の上面を規制していたヨ
ーク８の上部水平部８ｃと蓋体６の上面とにクリアラン
スを生じる。そこで、ヨーク８を元の退避位置に水平移
動させる。

【００６５】基体３の上面から蓋体６および第２弾性部
材５を取り除く。次いで、第１圧力流体供給手段におけ
るポンプを更に駆動して第１弾性部材４と凹陥部３ｂの
底面との間に再び圧力流体を圧入することにより、第１
弾性部材４を介してセラミックス積層体に圧力を印加す
る。この圧力の印加によりセラミックス積層体が凹陥部
３ｂから押し出される。押し出されたセラミックス積層
体を抜き取ることにより、凹陥部３ｂからのセラミック
ス積層体の取り出しを完了する。

【００６６】加圧成形の第２の方法は、本願請求項１１
に記載の方法に従う。すなわち、エアー排気手段によ
り、凹陥部３ｂ内のエアーを排気する。エアーの排気を
行いつつ、あるいはエアーの排気により凹陥部３ｂ内を
高度の減圧度にしてから、第２圧力流体供給手段におけ
るポンプを駆動して圧力流体貯留槽から配管および第２
圧力流体導排出路６ｃを介して蓋体６における凹部７の
天井面と第２弾性部材５との間に圧力流体Ｐ₂ を圧入す
る。蓋体６の下面と第２弾性部材５との間に圧入された
加圧流体Ｐ₂ によって、蓋体６を押し上げると共に第２
弾性部材５を押し下げる圧力が発生する。ところが、蓋
体６の上面にはヨーク８の上方水平部が蓋体６の上方移
動を阻止しているので、圧力流体の圧入によって、第２
弾性部材５を介して積層物１１を下方に圧縮する大きな
圧力が発生する。

【００６７】凹陥部３ｂ内に装入された積層物１１に対
して第２弾性部材５による下方に向かう大きな圧縮力に
より、積層物１１は加圧され、各セラミックス製のグリ
ーンシート１２は相互に固着して一体化し、セラミック
ス積層体が形成される。

【００６８】第２弾性部材５を介して積層物１１の加圧
を所定時間継続するのが好ましい。この加圧において
は、圧力流体を使用しているので、第２弾性部材５を介
してグリーンシート１２の全面に均一に圧力が印加され
る。したがって、積み重ねられたグリーンシート１２に
圧力が不均一に印加されることによる成形不良がない。
また、第１弾性部材４を介して圧縮力を受けるセラミッ
クス製の積層物１１は凹陥部３ｂの底面に対して第１弾
性部材４を介して押しつけられるので、第１弾性部材４
が緩衝部材の作用を示す。

【００６９】所定時間の加圧の後に、第２圧力流体供給
手段におけるポンプを駆動することにより第２弾性部材
５と蓋体６の下面との間に圧入されている圧力流体Ｐ₂
を排出する。圧力流体Ｐ₂ を排出することにより第２弾
性部材５を介した加圧力が低下する。

【００７０】前記加圧力が小さくなり、あるいは加圧力
が消失することにより、蓋体６の上面を規制していたヨ
ーク８の上部水平部８ｃと蓋体６の上面とにクリアラン
スを生じる。そこで、ヨーク８を元の退避位置に水平移
動させる。

【００７１】基体３の上面から蓋体６および第２弾性部
材５を取り除く。蓋体６および第２弾性部材５を除去し
た状態においては、凹陥部３ｂの内壁にセラミックス積
層体の周面が固着している。

【００７２】そこで、第１圧力流体供給手段におけるポ
ンプを駆動して第１弾性部材４と凹陥部３ｂの底面との
間に更に圧力流体Ｐ₁ を圧入することにより、第１弾性
部材４を介してセラミックス積層体に圧力を印加する。
この圧力の印加によりセラミックス積層体が凹陥部３ｂ
から押し出される。押し出されたセラミックス積層体を
抜き取ることにより、凹陥部３ｂからのセラミックス積
層体の取り出しを完了する。

【００７３】（実施例２）次に、本願請求項２に記載の
セラミックス積層体の製造装置の一例について図面を参
照しながら説明する。なお、以下の図面において、本願
請求項１に記載のセラミックス積層体の製造装置の一例
におけるのと同様の部材については図１〜６において示
された番号を用いる。

【００７４】図７に示すように、請求項２に記載の発明
の一実施例であるセラミックス積層体の製造装置３０
は、基体３と、第１弾性部材４と、蓋体３１と、固定部
材であるヨーク８とを有する。

【００７５】基体３、第１弾性部材４、およびヨーク８
については、前記実施例１において説明したのと実質的
に同様である。

【００７６】蓋体３１は、前記基体３の上面と実質的に
同じ形状および面積の下面を有する円柱体である。

【００７７】この蓋体３１はその下面に、前記実施例に
おけるような凹部が設けられてはいない。

【００７８】この蓋体３１には、図１に示されるよう
な、その下面に開口する第５開口部６ａとこの蓋体３１
の外周面に開口する第６開口部６ｂとを連絡する第２圧
力流体導排出路６ｃが設けられていない。したがって、
このセラミックス積層体の製造装置３０においては、図
１に示されるような、基体３０の外部に設置された、た
とえば圧力流体貯留槽、圧力流体貯留槽から第６開口部
６ｂへ圧力流体を導入する配管６ｄ、およびこの配管６
ｄの途中に設けられ、圧力流体を前記第２圧力流体導排
出路６ｃに圧送するポンプからなる第２圧力流体供給手
段を有していない。結局、このセラミックス積層体の製
造装置は、第２圧力流体導入機構を備えていない。

【００７９】以上構成のセラミックス積層体の製造装置
３０によるセラミックス積層体の製造について以下に説
明する。

【００８０】まず、初期状態としてヨーク８は基体３か
ら退避した位置に待機している。

【００８１】基体３の上面から蓋体３１を取り除いてお
くことにより、凹陥部３ｂの上部開口部３ａを露出させ
ておく。セラミックス製の複数枚のグリーンシートから
なる積層物をこの凹陥部３ｂ内にいれ、第１弾性部材４
の上に前記積層物１１を安置する。

【００８２】凹陥部３ｂ内に積層物１１を収容した後
に、基体３の上面に蓋体３１を配置する。

【００８３】ヨーク８を移動させて、ヨーク８の開口部
８ａに、蓋体３１を装着した基体３を配置する。この配
置状態では、ヨーク８における上部水平部８ｃの下面が
蓋体３１の上面に殆ど接する位に近接した状態にあり、
またヨーク８の下部水平部８ｄの上面は基体３の下面に
殆ど接する位に近接した状態にある。

【００８４】この状態で次のようにして、たとえば図６
に示すような、セラミックス製の複数枚のグリーンシー
ト１２を積み重ねた積層物１１の加圧成形を行う。

【００８５】すなわち、エアー排気手段により、凹陥部
３ｂ内のエアーを排気する。エアーの排気を行いつつ、
あるいはエアーの排気を行って凹陥部３ｂ内を高度の減
圧度にしてから、第１圧力流体供給手段におけるポンプ
を駆動して圧力流体貯留槽から配管および第１圧力流体
導排出路３ｉを介して凹陥部３ｂの底面と第１弾性部材
４との間に圧力流体を圧入する。第１弾性部材４と凹陥
部３ｂの底面との間に圧入された圧力流体によって、基
体３を下方に向かって押し下げようとし、かつ第１弾性
部材４を凹陥部３ｂ内の上方に押し上げようとする圧力
が発生する。ところが、基体３の下面にはヨーク８の下
部水平部８ｄが位置しているので基体３の下方への移動
が阻止されてしまい、結局、第１弾性部材４と凹陥部３
ｂの底面との間に圧入された加圧流体Ｐ₁ によって、第
１弾性部材４を介して積層物１１を上方に押圧する大き
な加圧力が発生する。

【００８６】この大きな加圧力は、積層物１１を介して
蓋体３１に印加され、蓋体３１を筒状体７の上方開口部
から押し出すように蓋体３１に作用する。ところが、蓋
体３１の上面にはヨーク８の上方水平部が蓋体３１の上
方移動を阻止しているので、積層物１１には第１弾性部
材４と蓋体１１とにより高圧の圧縮力を受けることにな
る。圧縮力を受けた積層物１１においては、各セラミッ
クス製のグリーンシート１２が相互に固着して一体化
し、セラミックス積層体が形成される。

【００８７】第１弾性部材４を介して積層物１１の加圧
を所定時間継続するのが好ましい。この加圧において
は、圧力流体Ｐ₁ を使用しているので、第１弾性部材４
を介してグリーンシート１２の全面に均一に圧力が印加
される。したがって、積み重ねられたグリーンシート１
２に圧力が不均一に印加されることによる成形不良がな
い。

【００８８】所定時間の加圧の後に、配管３ｐの適宜の
箇所に設けられた圧力リーク弁（図示せず。）を解放す
ることにより、第１弾性部材５と蓋体３１の下面との間
に圧入されている圧力流体Ｐ₁ を排出する。圧力流体Ｐ
₁ を排出することにより第１弾性部材５を介した加圧力
が低下する。

【００８９】前記加圧力が小さくなり、あるいは加圧力
が消失することにより、蓋体３１の上面を規制していた
ヨーク８の上部水平部８ｃと蓋体３１の上面とにクリア
ランスを生じる。そこで、ヨーク８を元の退避位置に水
平移動させる。

【００９０】基体３の上面から蓋体３１を取り除く。蓋
体３１を除去した状態においては、凹陥部３ｂの内壁に
セラミックス積層体の周面が固着している。

【００９１】そこで、第１圧力流体供給手段におけるポ
ンプを更に駆動して第１弾性部材４と凹陥部３ｂの底面
との間に再び圧力流体Ｐ₁ を圧入することにより、第１
弾性部材４を介してセラミックス積層体に圧力を印加す
る。この圧力の印加によりセラミックス積層体が凹陥部
３ｂから押し出される。押し出されたセラミックス積層
体を抜き取ることにより、凹陥部３ｂからのセラミック
ス積層体の取り出しを完了する。

【００９２】この実施例においては、基体３の上面に配
置された蓋体３１の下面に、凹陥部３ｂ内に収容した積
層物１１の上面が直接に接触する態様になっているが、
本願請求項２に記載されたように、また、図８に示され
るように、前記蓋体３１の凹陥部３ｂに臨む面に離型性
部材を介装させるのが好ましい。

【００９３】離型性部材としては、セラミックス製のグ
リーンシートに対して離型性を有する部材たとえばテフ
ロン（登録商標）で、凹陥部３ｂの開口部と実質的に同
じ直径を有する円盤状に形成することができる。もっと
も、この離型性部材の形状は、凹陥部３ｂの開口部と実
質的に同じ直径を有する円盤状にする必然性はなく、要
するに、圧力流体で積層物１１を加圧しているときに積
層物１１の上面と蓋体３１の下面とを離隔することので
きる形状に設計されていればよいのである。

【００９４】凹陥部３ｂの開口部にこの離型性部材を装
着し、蓋体３１の下面に積層物１１の上面が直接に接触
しないようにしておくことにより、積層物１１を加圧成
形した後に、蓋体３１とセラミックス積層体の上面とが
固着するのを防止することができる。

【００９５】（実施例３）次に、本願請求項４に記載の
セラミックス積層体の製造装置の一例について図面を参
照しながら説明する。なお、以下の図面において、本願
請求項１に記載のセラミックス積層体の製造装置の一例
におけるのと同様の部材については図１〜６において示
された番号を用いる。

【００９６】図９に示すように、請求項４に記載の発明
の一実施例であるセラミックス積層体の製造装置４０
は、基体３と、第１弾性部材４と、蓋体４１と、固定部
材であるヨーク８とを有する。

【００９７】基体３、第１弾性部材４、およびヨーク８
については、前記実施例１において説明したのと実質的
に同様である。

【００９８】蓋体４１は、前記基体３の上面と実質的に
同じ形状および面積の下面を有する円柱体である。この
円柱体である蓋体４１の下面には、この蓋体４１を基体
３の上面に装着したときに基体３における４個の凹陥部
３ｂの開口部を覆蓋するに十分な大きさの開口面積を有
する凹部４２が、形成される。この凹部４２内には、流
体Ｆを収容し、耐圧性の部材で形成された袋状物４３が
収容される。この実施例においては、流体を封入したこ
の袋状物４３が、圧力流体層を形成する。

【００９９】もっとも、この実施例においては、圧力流
体層として前記袋状物４３が用いられているのである
が、この圧力流体層は、積層物１１を加圧する際のクッ
ションとして作用することのできる構造であればよいの
であって、その構造に特別の制限があるわけではなく、
例えば、蓋体４１の下面に設けられた凹部４２の開口部
に液密に張設された弾性シートとこの弾性シートで凹部
４２内に封じられた流体とで形成することもできる。

【０１００】この蓋体４１には、図１に示されるよう
な、その下面に開口する第５開口部６ａとこの蓋体４１
の外周面に開口する第６開口部６ｂとを連絡する第２圧
力流体導排出路６ｃが設けられていない。したがって、
このセラミックス積層体の製造装置３０においては、図
１に示されるような、基体３０の外部に設置された、た
とえば圧力流体貯留槽、圧力流体貯留槽から第６開口部
６ｂへ圧力流体を導入する配管６ｄ、およびこの配管６
ｄの途中に設けられ、圧力流体を前記第２圧力流体導排
出路６ｃに圧送するポンプからなる第２圧力流体供給手
段を有していない。結局、このセラミックス積層体の製
造装置４０は、第２圧力流体導入機構を備えていない。

【０１０１】以上構成のセラミックス積層体の製造装置
４０によるセラミックス積層体の製造について以下に説
明する。

【０１０２】まず、初期状態としてヨーク８は基体３か
ら退避した位置に待機している。

【０１０３】基体３の上面から蓋体４１を取り除いてお
くことにより、凹陥部３ｂの上部開口部３ａを露出させ
ておく。セラミックス製の複数枚のグリーンシートから
なる積層物１１をこの凹陥部３ｂ内にいれ、第１弾性部
材４の上に前記積層物１１を安置する。

【０１０４】凹陥部３ｂ内に積層物１１を収容した後
に、袋状物４３が４個の凹陥部３ｂの開口部を覆蓋する
ようにして蓋体４１を配置する。

【０１０５】ヨーク８を移動させて、ヨーク８の開口部
８ａに、蓋体４１を装着した基体３を配置する。この配
置状態では、ヨーク８における上部水平部８ｃの下面が
蓋体４１の上面に殆ど接する位に近接した状態にあり、
またヨーク８の下部水平部８ｄの上面は基台２の下面に
殆ど接する位に近接した状態にある。

【０１０６】この状態で次のようにして、たとえば図６
に示すような、セラミックス製の複数枚のグリーンシー
ト１２を積み重ねた積層物１１の加圧成形を行う。

【０１０７】すなわち、エアー排気手段により、凹陥部
３ｂ内のエアーを排気する。エアーの排気を行いつつ、
あるいはエアーの排気を行って凹陥部３ｂ内を高度の減
圧度にしてから、第１圧力流体供給手段におけるポンプ
を駆動して圧力流体貯留槽から配管および第１圧力流体
導排出路３ｉを介して凹陥部３ｂの底面と第１弾性部材
４との間に圧力流体Ｐ₁ を圧入する。第１弾性部材４と
凹陥部３ｂの底面との間に圧入された圧力流体Ｐ₁ によ
って、基体３を下方に向かって押し下げようとし、かつ
第１弾性部材４を凹陥部３ｂ内の上方に押し上げようと
する圧力が発生する。ところが、基台２の下面にはヨー
ク８の下部水平部８ｄが位置しているので基体３の下方
への移動が阻止されてしまい、結局、第１弾性部材４と
凹陥部３ｂの底面との間に圧入された加圧流体によっ
て、第１弾性部材４を介して積層物１１を上方に押圧す
る大きな加圧力が発生する。

【０１０８】この大きな加圧力は、積層物１１を介して
蓋体４１に印加され、蓋体４１を筒状体７の上方開口部
から押し出すように蓋体４１に作用する。ところが、蓋
体４１の上面にはヨーク８の上方水平部が蓋体４１の上
方移動を阻止しているので、積層物１１には第１弾性部
材４と蓋体４１とにより高圧の圧縮力を受けることにな
る。圧縮力を受けた積層物１１においては、各セラミッ
クス製のグリーンシート１２が相互に固着して一体化
し、セラミックス積層体が形成される。

【０１０９】この加圧成形においては、圧力流体層とし
ての袋状物４３を設けているので、この袋状物４３から
第１弾性部材４に向かうベクトル方向での反力が生じ、
この反力によって複数枚のグリーンシートには、互いに
向き合う方向の加圧力が作用し、グリーンシート相互の
固着が達成されてセラミックス積層体が形成される。

【０１１０】第１弾性部材４を介して積層物１１の加圧
を所定時間継続するのが好ましい。この加圧において
は、圧力流体を使用しているので、第１弾性部材４を介
してグリーンシート１２の全面に均一に圧力が印加され
る。したがって、積み重ねられたグリーンシート１２に
圧力が不均一に印加されることによる成形不良がない。

【０１１１】所定時間の加圧の後に、配管３ｉの途中に
適宜に設けられた圧力リーク弁（図示せず。）を解放す
ることにより第１弾性部材４と蓋体４１の下面との間に
圧入されている圧力流体を排出する。圧力流体を排出す
ることにより第１弾性部材４を介した加圧力が低下す
る。

【０１１２】前記加圧力が小さくなり、あるいは加圧力
が消失することにより、蓋体４１の上面を規制していた
ヨーク８の上部水平部８ｃと蓋体４１の上面とにクリア
ランスを生じる。そこで、ヨーク８を元の退避位置に水
平移動させる。

【０１１３】基体３の上面から蓋体４１を取り除く。蓋
体４１を除去した状態においては、凹陥部３ｂの内壁に
セラミックス積層体の周面が固着している。

【０１１４】そこで、第１圧力流体供給手段におけるポ
ンプを更に駆動して第１弾性部材４と凹陥部３ｂの底面
との間に再び圧力流体を圧入することにより、第１弾性
部材４を介してセラミックス積層体に圧力を印加する。
この圧力の印加によりセラミックス積層体が凹陥部３ｂ
から押し出される。押し出されたセラミックス積層体を
抜き取ることにより、凹陥部３ｂからのセラミックス積
層体の取り出しを完了する。

【０１１５】（変形例）上記実施例はこの発明の要旨の
範囲内で様々の設計変更を行うことができる。

【０１１６】(1) 前記請求項５に記載の発明のよう
に、図１０に示されるように、前記実施例１〜３におい
て、第１弾性部材４の上面に、第１硬質板材５０を配置
するのが好ましい。第１弾性部材４と凹陥部３ｂの底面
との間に圧力流体を圧入してセラミックス製の積層物１
１を加圧成形する場合に、第１弾性部材４の上面に直接
に前記積層物１１が載置されているときには、第１弾性
部材４の表面が波打っていたりすると、第１弾性部材４
を介して伝達される加圧力によって積層物１１の下面も
波打った状態に押圧され、変形したセラミックス積層体
の形成されることがあるところ、第１弾性部材４の上面
に第１硬質板材５０を配置することにより、たとえば第
１弾性部材４の上面が波打った状態に変形していても、
セラミックス製の積層物１１の下面には平らな状態で加
圧成形され、変形のないセラミックス積層体が製造され
る。

【０１１７】この第１硬質板材は、凹陥部の底面と同じ
形状を有し、通常、耐圧性の部材で形成されている。

【０１１８】(2) 前記請求項６に記載の発明のよう
に、図１０に示されるように、前記実施例１〜３におい
て、第２弾性部材５の下面に、第２硬質板材５１を配置
するのが好ましい。セラミックス製の積層物１１を加圧
成形する場合に、第２弾性部材５の下面に直接に前記積
層物１１の上面が接触しているときには、第２弾性部材
５の下面が波打っていたりすると、圧力媒体の圧入によ
る加圧力によって積層物１１の上面も波打った状態に押
圧され、変形したセラミックス積層体の形成されること
があるところ、第２弾性部材５の下面に第２硬質板材５
１を配置することにより、たとえば第２弾性部材５の上
面が波打った状態に変形していても、セラミックス製の
積層物１１の下面には平らな状態で加圧成形され、変形
のないセラミックス積層体が製造される。

【０１１９】この第２硬質板材５１は、凹陥部の開口部
と同じ形状を有し、通常、耐圧性の部材で形成されてい
る。

【０１２０】(3) 前記実施例１〜３におけるセラミッ
クス積層体の製造装置においては、基体に凹陥部が２基
設けられたように図示されているが、基体に設ける凹陥
部の数には特に限定がなく、この発明の目的を阻害しな
い範囲で任意の数の凹陥部を設けることができる。

【０１２１】また、凹陥部の形状は水平断面形状が方形
であるに限られず、水平断面形状が円形であるような凹
陥部の形状を選択することができる。

【０１２２】(4) 請求項８に記載の発明のように、図
１１に示されるように、基体３に設けられた凹陥部３ｂ
の開口部縁辺に傾斜面６０を設けるのも良い。

【０１２３】凹陥部３ｂの開口部縁辺に傾斜面６０を設
けておくと、成形されたセラミックス積層体を開口部縁
辺により損傷を与えることなく取り出すことができるの
で、製品の歩留を更に向上させることができる。

【０１２４】(5) 前記実施例においては固定部材がヨ
ークであったが、この発明においては、この固定部材
は、圧力流体を所定の部位に圧入することにより発生す
る圧力により、蓋体が基体から外れないように、蓋体の
上方移動を阻止することができるようになっている限り
その構造に特に制限がない。固定部材として前記ヨーク
の代わりに、基体と蓋体とを固定的に結合する適宜の手
段であっても良い。また、固定部材が、基体とこの基体
を収容する筒状体とを固定するたとえばピン、あるいは
ボルトと、筒状体と基体上の蓋体とを固定するたとえば
ピン、あるいはボルトとの組み合わせであっても良い。

【０１２５】

【発明の効果】

(1) 請求項１、２および４に記載の発明によると、層
剥れを生じることなく、しかも歩留り良くセラミックス
積層体を製造することのできるセラミックス積層体の製
造装置を提供することができる。 (2) 請求項３に記載の発明によると、加圧成形によっ
てセラミックス積層体の上面が蓋体の下面に固着し、固
着したセラミックス積層体を蓋体の下面から引き剥す際
にワレや欠けが発生するという不都合を解消することが
でき、セラミックス積層体を一層歩留良く製造すること
ができる。

【０１２６】(3) 請求項５に記載の発明によると、セ
ラミックス積層体の下面に第１弾性部材の上面形状を写
し取らず、第１弾性部材による変形を生じることのない
セラミックス積層体を製造することができる。これによ
って、製品の歩留を向上させることができる。

【０１２７】(4) 請求項６に記載の発明によると、セ
ラミックス積層体の上面に第２弾性部材の下面形状を写
し取らず、第２弾性部材による変形を生じることのない
セラミックス積層体を製造することができる。これによ
って、製品の歩留を向上させることができる。

【０１２８】(5) 請求項７に記載の発明によると、複
数個の凹陥部を設けた基体を使用するので、一回の加圧
成形操作によって複数のセラミックス積層体を一度に製
造することができる。これによって、製品の歩留を向上
させることができる。

【０１２９】(6) 請求項８に記載の発明によると、凹
陥部の開口部縁辺に傾斜面を設けているので、成形後に
セラミックス積層体を凹陥部から取り出す際に、凹陥部
の開口部縁辺による傷がつかず、したがって、無傷のセ
ラミックス積層体を製造することができる。これによっ
て、製品の歩留を向上させることができる。

【０１３０】(7) 請求項９に記載の発明によると、第
１弾性部材の縁辺が凹陥部の壁面に設けられた間隙に挿
入されているので、第１弾性部材が確実に液密に装着さ
れることになり、第１弾性部材と凹陥部の底面とに圧入
される圧力流体のリークがなく効率的にセラミックス製
のグリーンシートの加圧成形を行うことができる。これ
によって、セラミックス成形体の製造効率を高めること
ができる。

【０１３１】(8) 請求項１０および１１に記載の製造
方法によると、層剥れを生じることなく、成形されたセ
ラミックス積層体を凹陥部から容易に取り出すことがで
き、しかも歩留り良くセラミックス積層体を製造するこ
とのできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明のセラミックス積層体の製造装
置の一例を示す概略断面図である。

【図２】図２はこの発明のセラミックス積層体の製造装
置の一例における基体の平面を示す概略平面図である。

【図３】図３はこの発明のセラミックス積層体の製造装
置の一例における基体の一部の断面を示す概略断面図で
ある。

【図４】図４はこの発明のセラミックス積層体の製造装
置の一例における基体の変形例を示す概略断面図であ
る。

【図５】図５はこの発明のセラミックス積層体の製造装
置の一例を示す概略側面図である。

【図６】図６はセラミックス製のグリーンシートを積み
重ねてなる積層物の概略断面図である。

【図７】図７はこの発明のセラミックス積層体の製造装
置の他の例を示す概略断面図である。

【図８】図８はこの発明のセラミッス積層体の製造装置
の他の例であって、離型性部材を凹陥部に装着した状態
を示す概略断面図である。

【図９】図９はこの発明のセラミックス積層体の製造装
置の他の例であって、圧力流体層を有する装置を示す概
略断面図である。

【図１０】図１０はこの発明のセラミックス積層体の製
造装置の他の例を示す部分概略断面図である。

【図１１】図１１はこの発明のセラミックス積層体の製
造装置の他の例を示す部分概略断面図である。

【符号の説明】

１、３０、４０・・・セラミックス積層体の製造装置、
３・・・基体、３ａ・・・開口部、３ｂ・・・凹陥部、
３ｃ・・・間隙、４ａ・・・端辺部、３ｄ・・・第１基
体、３ｅ・・・窪み、３ｆ・・・第２基体、３ｇ・・・
第１開口部、３ｈ・・・第２開口部、３ｉ・・・第１圧
力流体導排出路、３ｊ・・・配管、３ｋ・・・第３開口
部、３ｍ・・・第４開口部、３ｎ・・・エアー導排出
路、３ｐ・・・配管、４・・・第１弾性部材、５・・・
第２弾性部材、６、３１、４１・・・蓋体、６ａ・・・
第５開口部、６ｂ・・・第６開口部、６ｃ・・・第２圧
力流体導排出路、６ｄ・・・配管、７・・・凹部、８・
・・ヨーク、８ａ・・・開口部、８ｂ・・・垂直部、８
ｃ・・・上部水平部、８ｄ・・・下部水平部、９・・・
レール、１０・・・車輪、８ａ・・・開口部、１１・・
・積層物、１２・・・グリーンシート、５０・・・第１
硬質部材。

フロントページの続き (72)発明者 香川 輝生 東京都渋谷区恵比寿３−43−２ 日機装 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−292309（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−215506（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−28018（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−161713（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−154409（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−208103（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−249106（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B28B 3/00 102 B28B 3/02 H01G 4/30

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 セラミックス製の複数のグリーンシート
   を収容することのできる凹陥部を形成してなる基体と、
   前記凹陥部の底面に配置され、その底面を液密に覆蓋
   し、前記グリーンシートを加圧成形して得られるセラミ
   ックス積層体を押し出し可能とする第１弾性部材と、前
   記凹陥部の上部開口部を液密に覆蓋する第２弾性部材
   と、前記第２弾性部材を介して前記凹陥部の上記開口部
   を覆蓋する蓋体と、前記基体に設けられ、前記凹陥部の
   底面と第１弾性部材との間に圧力流体を導入する第１圧
   力流体導入手段と、前記第２弾性部材に圧力を印加する
   圧力流体を導入する第２圧力流体導入手段と、グリーン
   シートの加圧成形時に前記蓋体を固定する固定部材と、
   前記凹陥部内の第１弾性部材と第２弾性部材との間にあ
   る凹陥部内壁面に開口する開口部から凹陥部内のエアー
   を排気するエアー排気手段とを有することを特徴とする
   セラミックス積層体の製造装置。
2. 【請求項２】 セラミックス製の複数のグリーンシート
   を収容することのできる凹陥部を形成してなる基体と、
   前記凹陥部の底面に配置され、その底面を液密に覆蓋
   し、前記グリーンシートを加圧成形して得られるセラミ
   ックス積層体を押し出し可能とする第１弾性部材と、前
   記凹陥部の上部開口部を液密に覆蓋する蓋体と、前記凹
   陥部の底面と前記第１弾性部材との間に圧力流体を導入
   する第１圧力流体導入手段と、グリーンシートの加圧成
   形時に前記蓋体を固定する固定部材と、前記凹陥部内の
   第１弾性部材と蓋体との間にある凹陥部内壁面に開口す
   る開口部から凹陥部内のエアーを排気するエアー排気手
   段とを有することを特徴とするセラミックス積層体の製
   造装置。
3. 【請求項３】 前記蓋体の凹陥部に臨む面に離型性部材
   が介装されてなる前記請求項２に記載のセラミックス積
   層体の製造装置。
4. 【請求項４】 セラミックス製の複数のグリーンシート
   を収容することのできる凹陥部を形成してなる基体と、
   前記凹陥部の底面に配置され、その底面を液密に覆蓋
   し、前記グリーンシートを加圧成形して得られるセラミ
   ックス積層体を押し出し可能とする第１弾性部材と、前
   記凹陥部の上部開口部を液密に覆蓋する第２弾性部材
   と、前記基体に設けられ、前記凹陥部の底面と前記第１
   弾性部材との間に圧力流体を導入する第１圧力流体導入
   手段と、前記第２弾性部材を介して前記凹陥部の上部開
   口部を覆蓋する蓋体と、前記第２弾性部材と蓋体との間
   に封入された圧力流体層と、グリーンシートの加圧成形
   時に前記蓋体を固定する固定部材と、前記凹陥部内の第
   １弾性部材と第２弾性部材との間にある壁面に開口する
   開口部から凹陥部内のエアーを排気するエアー排気手段
   とを有することを特徴とするセラミックス積層体の製造
   装置。
5. 【請求項５】 前記第１弾性部材の上面に第１硬質板材
   が配置されてなる前記請求項１〜４のいずれかに記載の
   セラミックス積層体の製造装置。
6. 【請求項６】 前記第２弾性部材の下面に第２硬質板材
   が配置されてなる前記請求項１、４または５に記載のセ
   ラミックス積層体の製造装置。
7. 【請求項７】 前記凹陥部が複数個設けられてなる前記
   請求項１〜６のいずれかに記載のセラミックス積層体の
   製造装置。
8. 【請求項８】 前記凹陥部の上部開口部縁辺に傾斜部が
   設けられてなる前記請求項１〜７のいずれかに記載のセ
   ラミックス積層体の製造装置。
9. 【請求項９】 前記第１弾性部材の縁辺が凹陥部の壁面
   に設けられた間隙に装入されてなる前記請求項１〜８の
   いずれかに記載のセラミックス積層体の製造装置。
10. 【請求項１０】 前記請求項１に記載のセラミックス積
    層体の製造装置を使用し、凹陥部内にセラミックス製の
    複数のグリーンシートを積み重ねた状態に配置し、第１
    圧力流体導入手段により凹陥部の底面と第１弾性部材と
    の間に圧力流体を圧入し、かつ、第２圧力流体導入手段
    により圧力流体を圧入することにより、第１弾性部材お
    よび第２弾性部材を介して複数のグリーンシートを加圧
    成形し、加圧成形後に、第２圧力流体導入手段による加
    圧力を除き、セラミックス積層体を第１圧力流体導入手
    段による加圧力により凹陥部から取り出すことを特徴と
    するセラミックス積層体の製造方法。
11. 【請求項１１】 前記請求項１に記載のセラミックス積
    層体の製造装置を使用し、凹陥部内にセラミックス製の
    複数のグリーンシートを積み重ねた状態に配置し、第２
    圧力流体導入手段により第２弾性部材を加圧することに
    よりセラミックス製の複数のグリーンシートを加圧成形
    し、第２圧力流体導入手段による加圧を停止してから、
    第１圧力流体導入手段により第１弾性部材と凹陥部の底
    面との間に圧力流体を導入することにより、凹陥部から
    セラミックス積層体を取り出すことを特徴とするセラミ
    ックス積層体の製造方法。