JP3386723B2 - 磁気検知装置 - Google Patents
磁気検知装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気的な感度を高
めた磁気検知装置及びそれを用いたシリンダ装置に関す
る。
めた磁気検知装置及びそれを用いたシリンダ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来において、シリンダ装置のピストン
位置を検知するために、ピストンに取り付けられた永久
磁石の磁界を検知する検知装置が用いられる。検知装置
には、磁界（磁束）によって動作する素子として、ＭＲ
素子、ホ−ル素子、又はリ−ドスイッチなどが内蔵され
ている。
位置を検知するために、ピストンに取り付けられた永久
磁石の磁界を検知する検知装置が用いられる。検知装置
には、磁界（磁束）によって動作する素子として、ＭＲ
素子、ホ−ル素子、又はリ−ドスイッチなどが内蔵され
ている。
【０００３】ピストンに取り付けるた永久磁石として
は、ピストンの外径よりも若干小さい径の環状のものが
用いられる。シリンダ装置は、シリンダチューブの内径
の種々異なるものが提供されるので、それぞれの内径に
応じて種々異なる径の永久磁石が製作され用いられる。
は、ピストンの外径よりも若干小さい径の環状のものが
用いられる。シリンダ装置は、シリンダチューブの内径
の種々異なるものが提供されるので、それぞれの内径に
応じて種々異なる径の永久磁石が製作され用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
においては環状の永久磁石が用いられるが、検知装置は
シリンダチューブの周囲の一部に取り付けられて作動す
るものであるから、永久磁石から全周囲の方向に向かっ
て出る磁束のうち、ごく一部の磁束のみが検知装置を作
動させるために使用され、残りの大部分の磁束は有効に
利用されない。つまり、永久磁石の利用効率が悪い。
においては環状の永久磁石が用いられるが、検知装置は
シリンダチューブの周囲の一部に取り付けられて作動す
るものであるから、永久磁石から全周囲の方向に向かっ
て出る磁束のうち、ごく一部の磁束のみが検知装置を作
動させるために使用され、残りの大部分の磁束は有効に
利用されない。つまり、永久磁石の利用効率が悪い。
【０００５】したがって、それだけ過剰な大きさ又は性
能の永久磁石を使用していることとなり、検知装置を作
動させるために必要な永久磁石が全体として大型化して
いた。
能の永久磁石を使用していることとなり、検知装置を作
動させるために必要な永久磁石が全体として大型化して
いた。
【０００６】また、永久磁石の利用効率が悪いため、シ
リンダチューブの肉厚を薄くする必要があり、シリンダ
チューブの材料として強度の高い高価な材料を用いる必
要があった。
リンダチューブの肉厚を薄くする必要があり、シリンダ
チューブの材料として強度の高い高価な材料を用いる必
要があった。
【０００７】本発明は、上述の問題に鑑みてなされたも
ので、ピストンなどに装着される永久磁石の利用効率を
高め、永久磁石の小型化又はシリンダチューブのコスト
低減などを図ることの可能な磁気検知装置を提供するこ
とを目的とする。
ので、ピストンなどに装着される永久磁石の利用効率を
高め、永久磁石の小型化又はシリンダチューブのコスト
低減などを図ることの可能な磁気検知装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る装
置は、シリンダチューブの外側の表面に取り付けられ、
前記シリンダチューブの軸方向に沿った方向にＮ極及び
Ｓ極が配されて前記シリンダチューブの内側の表面に沿
うように移動する永久磁石の磁界を検知するための磁気
検知装置であって、前記永久磁石から出る磁束によって
作動する磁気センサと、前記永久磁石から出る磁束を集
束して前記磁気センサに導くものであって、前記シリン
ダチューブの表面に沿った裏面形状を有し且つ周方向に
延びており前記シリンダチューブの軸方向に沿って配置
される２つの脚部と前記各脚部から連続する棒状の２つ
の作用部とを有し、軟磁性体からなる集磁部材と、を有
してなり、前記磁気センサは、前記永久磁石の前記シリ
ンダチューブの軸方向に通過する磁束を最高感度で検知
するようにかつ両端面が前記２つの作用部で挟まれるよ
うに配置され、てなる。
置は、シリンダチューブの外側の表面に取り付けられ、
前記シリンダチューブの軸方向に沿った方向にＮ極及び
Ｓ極が配されて前記シリンダチューブの内側の表面に沿
うように移動する永久磁石の磁界を検知するための磁気
検知装置であって、前記永久磁石から出る磁束によって
作動する磁気センサと、前記永久磁石から出る磁束を集
束して前記磁気センサに導くものであって、前記シリン
ダチューブの表面に沿った裏面形状を有し且つ周方向に
延びており前記シリンダチューブの軸方向に沿って配置
される２つの脚部と前記各脚部から連続する棒状の２つ
の作用部とを有し、軟磁性体からなる集磁部材と、を有
してなり、前記磁気センサは、前記永久磁石の前記シリ
ンダチューブの軸方向に通過する磁束を最高感度で検知
するようにかつ両端面が前記２つの作用部で挟まれるよ
うに配置され、てなる。
【０００９】
【００１０】請求項２の発明に係る装置は、シリンダ装
置のシリンダチューブに請求項１記載の磁気検知装置が
取り付けられており、前記シリンダ装置のピストンに
は、前記磁気検知装置の取り付けられた側にのみ、前記
永久磁石が装着されてなる。
置のシリンダチューブに請求項１記載の磁気検知装置が
取り付けられており、前記シリンダ装置のピストンに
は、前記磁気検知装置の取り付けられた側にのみ、前記
永久磁石が装着されてなる。
【００１１】集磁部材の材料として、アモルファス合
金、パーマロイ、ケイ素鋼、鉄コバルト合金、鉄ニッケ
ル合金、及びパーマロイクラッドステンレスなどが用い
られる。
金、パーマロイ、ケイ素鋼、鉄コバルト合金、鉄ニッケ
ル合金、及びパーマロイクラッドステンレスなどが用い
られる。
【００１２】磁気センサとして、ホール素子、ホールＩ
Ｃ、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）、磁気トランジス
タ、リードスイッチ、近接センサ、及びコイルなどが用
いられる。
Ｃ、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）、磁気トランジス
タ、リードスイッチ、近接センサ、及びコイルなどが用
いられる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る検知装置１６
が取り付けられた流体圧シリンダ１の断面正面図、図２
は流体圧シリンダ１の断面側面図である。
が取り付けられた流体圧シリンダ１の断面正面図、図２
は流体圧シリンダ１の断面側面図である。
【００１４】これらの図において、流体圧シリンダ１
は、シリンダチューブ１１、ピストン１２、ピストンロ
ッド１３、永久磁石１４、パッキン１５、検知装置１
６、及び図示しないシリンダカバーなどから構成されて
いる。
は、シリンダチューブ１１、ピストン１２、ピストンロ
ッド１３、永久磁石１４、パッキン１５、検知装置１
６、及び図示しないシリンダカバーなどから構成されて
いる。
【００１５】シリンダチューブ１１は、多くの場合に、
アルミニウム合金、ステンレス鋼、又は合成樹脂などの
非磁性材料からなる。しかし、後述の理由によって、炭
素鋼鋼管などの磁性材料を用いることも可能である。
アルミニウム合金、ステンレス鋼、又は合成樹脂などの
非磁性材料からなる。しかし、後述の理由によって、炭
素鋼鋼管などの磁性材料を用いることも可能である。
【００１６】ピストン１２は、アルミニウム合金、ステ
ンレス鋼などの非磁性材料からなり、外周に設けられた
環状の溝に、永久磁石１４及びパッキン１５が装着され
ている。
ンレス鋼などの非磁性材料からなり、外周に設けられた
環状の溝に、永久磁石１４及びパッキン１５が装着され
ている。
【００１７】ピストンロッド１３は、鋼材などからな
り、その先端部に設けられたネジなどによりピストン１
２と一体に連結されている。永久磁石１４は、環状であ
り、ピストンロッド１３の軸方向に沿った方向に、Ｎ極
及びＳ極が設けられている。永久磁石１４の材料とし
て、種々のものを用いることが可能であるが、フェライ
トや合成樹脂を用いるとコスト的に有利である。永久磁
石１４は、その外径がシリンダチューブ１１の内径より
もかなり小さく、その隙間にパッキン１５が装着され
る。パッキン１５は、シリンダチューブ１１の内周面と
ピストン１２との間を気密に保持する。
り、その先端部に設けられたネジなどによりピストン１
２と一体に連結されている。永久磁石１４は、環状であ
り、ピストンロッド１３の軸方向に沿った方向に、Ｎ極
及びＳ極が設けられている。永久磁石１４の材料とし
て、種々のものを用いることが可能であるが、フェライ
トや合成樹脂を用いるとコスト的に有利である。永久磁
石１４は、その外径がシリンダチューブ１１の内径より
もかなり小さく、その隙間にパッキン１５が装着され
る。パッキン１５は、シリンダチューブ１１の内周面と
ピストン１２との間を気密に保持する。
【００１８】検知装置１６は、永久磁石１４の磁界を検
知し、これによってピストン１２の位置を検知するため
のものである。検知装置１６は、ケーシング３０、集磁
部材３１，３２、磁気センサ３４、ケーブル３７、及
び、電気回路を実装した図示しない基板、その他の部材
から構成されている。
知し、これによってピストン１２の位置を検知するため
のものである。検知装置１６は、ケーシング３０、集磁
部材３１，３２、磁気センサ３４、ケーブル３７、及
び、電気回路を実装した図示しない基板、その他の部材
から構成されている。
【００１９】ケーシング３０は、合成樹脂などからな
り、その内部に集磁部材３１，３２及び基板などの部品
を収納する。集磁部材３１，３２は、永久磁石１４から
出る磁束を集束して磁気センサ３４に導くためのもので
あり、磁路中に切り欠きなどがなく、できるだけ滑らか
に且つ大きな曲率で変化する形状が望ましい。２つの集
磁部材３１，３２は互いに同じ形状である。各集磁部材
３１，３２は、シリンダチューブ１１に近い位置に配置
されるようにシリンダチューブ１１の表面に沿った裏面
形状を有し且つ周方向に延びる脚部５１、及び、脚部５
１から連続して磁気センサ３４の表面の近辺に至る作用
部５２を有する。これら作用部５２，５２の間隙ＧＰ
に、磁気センサ３４が挟み込まれている。
り、その内部に集磁部材３１，３２及び基板などの部品
を収納する。集磁部材３１，３２は、永久磁石１４から
出る磁束を集束して磁気センサ３４に導くためのもので
あり、磁路中に切り欠きなどがなく、できるだけ滑らか
に且つ大きな曲率で変化する形状が望ましい。２つの集
磁部材３１，３２は互いに同じ形状である。各集磁部材
３１，３２は、シリンダチューブ１１に近い位置に配置
されるようにシリンダチューブ１１の表面に沿った裏面
形状を有し且つ周方向に延びる脚部５１、及び、脚部５
１から連続して磁気センサ３４の表面の近辺に至る作用
部５２を有する。これら作用部５２，５２の間隙ＧＰ
に、磁気センサ３４が挟み込まれている。
【００２０】したがって、脚部５１は、シリンダチュー
ブ１１の表面と接触するか又は十分の数ミリメートル程
度の間隙を有して配置されることとなる。作用部５２
は、図１の左右方向に延びる棒状のものであり、２つの
集磁部材３１，３２の作用部５２，５２は、それらの先
端の各表面が磁気センサ３４の各表面と接触するか又は
十分の数ミリメートル程度の間隙を有して配置されるこ
ととなる。
ブ１１の表面と接触するか又は十分の数ミリメートル程
度の間隙を有して配置されることとなる。作用部５２
は、図１の左右方向に延びる棒状のものであり、２つの
集磁部材３１，３２の作用部５２，５２は、それらの先
端の各表面が磁気センサ３４の各表面と接触するか又は
十分の数ミリメートル程度の間隙を有して配置されるこ
ととなる。
【００２１】磁気センサ３４は、図１における左右方向
に通過する磁束を最高感度で検知するので、一方の作用
部５２から他方の作用部５２に至る磁束を高感度で検知
することとなる。これら集磁部材３１，３２は、全体と
して永久磁石１４の両磁極の方向、つまりシリンダチュ
ーブ１１の軸方向に沿って配置されている。
に通過する磁束を最高感度で検知するので、一方の作用
部５２から他方の作用部５２に至る磁束を高感度で検知
することとなる。これら集磁部材３１，３２は、全体と
して永久磁石１４の両磁極の方向、つまりシリンダチュ
ーブ１１の軸方向に沿って配置されている。
【００２２】磁気バイパス部材３１，３２の材料とし
て、磁束の通り易い高透磁率材料又は強磁性体が用いら
れる。例えば、アモルファス合金、パーマロイ、ケイ素
鋼、鉄コバルト合金、鉄ニッケル合金、又はパーマロイ
クラッドステンレスなどが用いられる。これらの材料
は、磁気シールドや磁気へッドコアなどに使用される材
料であり、最大比透磁率が１００００以上と大きい。ま
た、保磁力が小さく、したがって軟磁性体でもある。
て、磁束の通り易い高透磁率材料又は強磁性体が用いら
れる。例えば、アモルファス合金、パーマロイ、ケイ素
鋼、鉄コバルト合金、鉄ニッケル合金、又はパーマロイ
クラッドステンレスなどが用いられる。これらの材料
は、磁気シールドや磁気へッドコアなどに使用される材
料であり、最大比透磁率が１００００以上と大きい。ま
た、保磁力が小さく、したがって軟磁性体でもある。
【００２３】磁気センサ３４として、ホール素子、ホー
ルＩＣ、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）、磁気トランジ
スタ、リードスイッチ、又は近接センサなどが用いられ
る。
ルＩＣ、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）、磁気トランジ
スタ、リードスイッチ、又は近接センサなどが用いられ
る。
【００２４】なお、図示しない基板には、検知装置１６
の機能を果たすための回路パターンが設けられ、その回
路パターンに、図示しない電源回路、増幅回路、出力回
路、表示回路、及び磁気センサ３４が実装される。
の機能を果たすための回路パターンが設けられ、その回
路パターンに、図示しない電源回路、増幅回路、出力回
路、表示回路、及び磁気センサ３４が実装される。
【００２５】ケーブル３７は、基板への電源の供給、磁
気センサ３４の動作に基づく出力信号の取り出しなどを
行うためのものであり、通常、電源の供給と出力とを共
通で行う場合には２本の電線が、それらを別個に行う場
合には３本の電線が、それぞれ用いられる。
気センサ３４の動作に基づく出力信号の取り出しなどを
行うためのものであり、通常、電源の供給と出力とを共
通で行う場合には２本の電線が、それらを別個に行う場
合には３本の電線が、それぞれ用いられる。
【００２６】次に、上述の流体圧シリンダ１の動作につ
いて説明する。図１において、永久磁石１４のＮ極から
出た磁束は、その周囲の空間を通過してＳ極へ戻る。そ
れらの磁束のうち、多くは集磁部材３１，３２に集束さ
れ、集磁部材３１，３２を通過する。２つの作用部５
２，５２の対向部分において、磁束は磁気センサ３４を
通過する。つまり、磁気センサ３４には多くの磁束が通
過する。
いて説明する。図１において、永久磁石１４のＮ極から
出た磁束は、その周囲の空間を通過してＳ極へ戻る。そ
れらの磁束のうち、多くは集磁部材３１，３２に集束さ
れ、集磁部材３１，３２を通過する。２つの作用部５
２，５２の対向部分において、磁束は磁気センサ３４を
通過する。つまり、磁気センサ３４には多くの磁束が通
過する。
【００２７】磁気センサ３４を通過する磁束の量つまり
磁界の強さが一定以上になると、検知装置１６は、検知
信号を出力するとともに、表示回路の表示素子が点灯す
る。検知信号は、外部の負荷をオンするためのスイッチ
ング信号である。検知信号を、検知した磁界の強さに応
じた信号とすることもできる。
磁界の強さが一定以上になると、検知装置１６は、検知
信号を出力するとともに、表示回路の表示素子が点灯す
る。検知信号は、外部の負荷をオンするためのスイッチ
ング信号である。検知信号を、検知した磁界の強さに応
じた信号とすることもできる。
【００２８】上に述べた検知装置１６によると、永久磁
石１４から出る磁束が集磁部材３１，３２によって集束
され、永久磁石１４の出す磁束の多くの部分が効率よく
磁気センサ３４を通過する。したがって、永久磁石１４
の磁力がそれほど強くなくとも、また永久磁石１４が検
知装置１６から離れていても、永久磁石１４の存在によ
って検知装置１６を作動させることができる。
石１４から出る磁束が集磁部材３１，３２によって集束
され、永久磁石１４の出す磁束の多くの部分が効率よく
磁気センサ３４を通過する。したがって、永久磁石１４
の磁力がそれほど強くなくとも、また永久磁石１４が検
知装置１６から離れていても、永久磁石１４の存在によ
って検知装置１６を作動させることができる。
【００２９】したがって、永久磁石１４の小型化及び低
コスト化を図ることができる。また、シリンダチューブ
１１の肉厚を厚くし、強度を向上させたり、シリンダチ
ューブ１１に廉価な材料を用いることが可能となる。ま
た、図１に示すように永久磁石１４の外径を小さくし、
その外周面にパッキン１５を装着することが可能とな
る。そのため、同じ大きさの永久磁石１４を、内径の異
なる流体圧シリンダのピストンに装着して用いることが
できる。そうすると、永久磁石１４の標準化が促進され
コストの低減が図られる。
コスト化を図ることができる。また、シリンダチューブ
１１の肉厚を厚くし、強度を向上させたり、シリンダチ
ューブ１１に廉価な材料を用いることが可能となる。ま
た、図１に示すように永久磁石１４の外径を小さくし、
その外周面にパッキン１５を装着することが可能とな
る。そのため、同じ大きさの永久磁石１４を、内径の異
なる流体圧シリンダのピストンに装着して用いることが
できる。そうすると、永久磁石１４の標準化が促進され
コストの低減が図られる。
【００３０】図３は本発明に係る他の実施形態の検知装
置１６Ａの集磁部材３１Ａ，３２Ａの斜視図、図４は図
３に示す集磁部材３１Ａ，３２Ａを流体圧シリンダ１Ａ
に取り付けた状態を示す正面図、図５は図４に示す集磁
部材３１Ａ，３２Ａの側面図である。
置１６Ａの集磁部材３１Ａ，３２Ａの斜視図、図４は図
３に示す集磁部材３１Ａ，３２Ａを流体圧シリンダ１Ａ
に取り付けた状態を示す正面図、図５は図４に示す集磁
部材３１Ａ，３２Ａの側面図である。
【００３１】これらの図において、検知装置１６Ａに用
いられる集磁部材３１Ａ，３２Ａは、シリンダチューブ
１１に近い位置に配置されるようにシリンダチューブ１
１の表面に沿った裏面形状を有し且つ周方向に延びる脚
部６１、及び、脚部６１から連続して磁気センサ３４Ａ
の表面の近辺に至る作用部６２を有する。
いられる集磁部材３１Ａ，３２Ａは、シリンダチューブ
１１に近い位置に配置されるようにシリンダチューブ１
１の表面に沿った裏面形状を有し且つ周方向に延びる脚
部６１、及び、脚部６１から連続して磁気センサ３４Ａ
の表面の近辺に至る作用部６２を有する。
【００３２】脚部６１は、作用部６２との境界部分にお
いて、軸方向に幅広となっており、脚部６１の裏面から
集束した磁束を効率よく作用部６２の端面に導くように
なっている。したがって、永久磁石１４Ａの磁束は、効
率よく磁気センサ３４Ａを通過する。
いて、軸方向に幅広となっており、脚部６１の裏面から
集束した磁束を効率よく作用部６２の端面に導くように
なっている。したがって、永久磁石１４Ａの磁束は、効
率よく磁気センサ３４Ａを通過する。
【００３３】なお、流体圧シリンダ１Ａにおいて、ピス
トン１２Ａには、パッキン１５の内側において、軸方向
に複数の穴が設けられ、そこに柱状の複数の永久磁石１
４Ａが埋め込まれている。ピストン１２Ａがシリンダチ
ューブ１１に対して回転しない場合には、これら永久磁
石１４Ａをピストン１２Ａの全周に設ける必要はなく、
検知装置１６Ａの配置される側に適当数設ければよい。
これによっても、永久磁石１４Ａの磁束の有効利用が図
られる。
トン１２Ａには、パッキン１５の内側において、軸方向
に複数の穴が設けられ、そこに柱状の複数の永久磁石１
４Ａが埋め込まれている。ピストン１２Ａがシリンダチ
ューブ１１に対して回転しない場合には、これら永久磁
石１４Ａをピストン１２Ａの全周に設ける必要はなく、
検知装置１６Ａの配置される側に適当数設ければよい。
これによっても、永久磁石１４Ａの磁束の有効利用が図
られる。
【００３４】また、上に述べたように、シリンダチュー
ブ１１の材料として、炭素鋼鋼管などの磁性材料を用い
た場合でも、検知装置１６，１６Ａによる検知が可能で
ある。
ブ１１の材料として、炭素鋼鋼管などの磁性材料を用い
た場合でも、検知装置１６，１６Ａによる検知が可能で
ある。
【００３５】すなわち、集磁部材３１，３２，３１Ａ，
３２Ａとして比透磁率が１００００以上の材料を用いた
場合には、炭素鋼鋼管などの比透磁率は数百程度である
ので、集磁部材は炭素鋼鋼管からなるシリンダチューブ
と比較して透磁率が数十倍以上と桁違いに大きく、集磁
部材の脚部５１，６１の近辺の磁力線のほとんどが集磁
部材に流れ込む。つまり、集磁部材３１，３２，３１
Ａ，３２Ａは、シリンダチューブ１１に流れる磁力線を
バイパスし、磁気センサ３４，３４Ａに多くの磁束を通
過させる作用を有することとなる。シリンダチューブ１
１の材料として炭素鋼鋼管を用いると、シリンダチュー
ブ１１の肉厚を薄くすることができ、外径を小さくし、
流体圧シリンダ１，１Ａの全体を小型化することができ
る。また、シリンダチューブ１１の肉厚が薄くなるの
で、材料費の低減及び軽量化を図ることができる。
３２Ａとして比透磁率が１００００以上の材料を用いた
場合には、炭素鋼鋼管などの比透磁率は数百程度である
ので、集磁部材は炭素鋼鋼管からなるシリンダチューブ
と比較して透磁率が数十倍以上と桁違いに大きく、集磁
部材の脚部５１，６１の近辺の磁力線のほとんどが集磁
部材に流れ込む。つまり、集磁部材３１，３２，３１
Ａ，３２Ａは、シリンダチューブ１１に流れる磁力線を
バイパスし、磁気センサ３４，３４Ａに多くの磁束を通
過させる作用を有することとなる。シリンダチューブ１
１の材料として炭素鋼鋼管を用いると、シリンダチュー
ブ１１の肉厚を薄くすることができ、外径を小さくし、
流体圧シリンダ１，１Ａの全体を小型化することができ
る。また、シリンダチューブ１１の肉厚が薄くなるの
で、材料費の低減及び軽量化を図ることができる。
【００３６】上述の実施形態の検知装置１６において、
集磁部材３１，３２の脚部５１がケーシング３０の下面
から外部に露出するように構成したが、集磁部材３１，
３２がケーシング３０の内部に納まるように構成しても
よい。脚部５１，６１の裏面形状をシリンダチューブ１
１の表面に沿った形状としたが、余り長くなければ直線
状（平面状）としてもよい。また、永久磁石１４，１４
Ａの形状、材質、寸法、個数は、種々のものとすること
ができる。１つの流体圧シリンダ１，１Ａに複数個の検
知装置１６，１６Ａを取り付けることができる。検知装
置１６，１６Ａ及び流体圧シリンダ１，１Ａの構造、形
状、及び寸法などは、本発明の主旨に沿って適宜変更す
ることができる。本発明の検知装置は、流体圧シリンダ
１，１Ａ以外の種々のシリンダ装置、その他の装置の位
置の検出に適用することができる。
集磁部材３１，３２の脚部５１がケーシング３０の下面
から外部に露出するように構成したが、集磁部材３１，
３２がケーシング３０の内部に納まるように構成しても
よい。脚部５１，６１の裏面形状をシリンダチューブ１
１の表面に沿った形状としたが、余り長くなければ直線
状（平面状）としてもよい。また、永久磁石１４，１４
Ａの形状、材質、寸法、個数は、種々のものとすること
ができる。１つの流体圧シリンダ１，１Ａに複数個の検
知装置１６，１６Ａを取り付けることができる。検知装
置１６，１６Ａ及び流体圧シリンダ１，１Ａの構造、形
状、及び寸法などは、本発明の主旨に沿って適宜変更す
ることができる。本発明の検知装置は、流体圧シリンダ
１，１Ａ以外の種々のシリンダ装置、その他の装置の位
置の検出に適用することができる。
【００３７】
【発明の効果】本発明によると、ピストンなどに装着さ
れる永久磁石の利用効率を高め、永久磁石の小型化又は
シリンダチューブのコスト低減などを図ることができ
る。
れる永久磁石の利用効率を高め、永久磁石の小型化又は
シリンダチューブのコスト低減などを図ることができ
る。
【図１】本発明に係る検知装置が取り付けられた流体圧
シリンダの断面正面図である。
シリンダの断面正面図である。
【図２】流体圧シリンダの断面側面図である。
【図３】本発明に係る他の実施形態の検知装置の集磁部
材の斜視図である。
材の斜視図である。
【図４】図３に示す集磁部材を流体圧シリンダに取り付
けた状態を示す正面図である。
けた状態を示す正面図である。
【図５】図４に示す集磁部材の側面図である。
１，１Ａ 流体圧シリンダ
１１ シリンダチューブ（壁部材）
１２ ピストン
１４，１４Ａ 永久磁石
１６，１６Ａ 検知装置（磁気検知装置）
３１，３１Ａ，３２，３２Ａ 集磁部材
３４ 磁気センサ
５１，６１ 脚部
５２，６２ 作用部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 7/00
F15B 15/28
G01D 5/18
Claims (2)
- 【請求項１】シリンダチューブの外側の表面に取り付け
られ、前記シリンダチューブの軸方向に沿った方向にＮ
極及びＳ極が配されて前記シリンダチューブの内側の表
面に沿うように移動する永久磁石の磁界を検知するため
の磁気検知装置であって、 前記永久磁石から出る磁束によって作動する磁気センサ
と、 前記永久磁石から出る磁束を集束して前記磁気センサに
導くものであって、前記シリンダチューブの表面に沿っ
た裏面形状を有し且つ周方向に延びており前記シリンダ
チューブの軸方向に沿って配置される２つの脚部と前記
各脚部から連続する棒状の２つの作用部とを有し、軟磁
性体からなる集磁部材と、 を有してなり、 前記磁気センサは、前記永久磁石の前記シリンダチュー
ブの軸方向に通過する磁束を最高感度で検知するように
かつ両端面が前記２つの作用部で挟まれるように配置さ
れ、 てなることを特徴とする磁気検知装置。 - 【請求項２】シリンダ装置のシリンダチューブに請求項
１記載の磁気検知装置が取り付けられており、 前記シリンダ装置のピストンには、前記磁気検知装置の
取り付けられた側にのみ、前記永久磁石が装着されてな
る、 ことを特徴とするシリンダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP23377698A JP3386723B2 (ja) | 1998-08-20 | 1998-08-20 | 磁気検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP23377698A JP3386723B2 (ja) | 1998-08-20 | 1998-08-20 | 磁気検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000065511A JP2000065511A (ja) | 2000-03-03 |
| JP3386723B2 true JP3386723B2 (ja) | 2003-03-17 |
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ID=16960400
Family Applications (1)
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| JP23377698A Expired - Fee Related JP3386723B2 (ja) | 1998-08-20 | 1998-08-20 | 磁気検知装置 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3386723B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP4558531B2 (ja) * | 2005-02-14 | 2010-10-06 | 株式会社小松製作所 | シリンダの位置計測装置 |
| JP4840019B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2011-12-21 | 株式会社デンソー | 回転センサ装置および回転センサ装置の調整方法 |
| JP6438930B2 (ja) | 2016-12-06 | 2018-12-19 | Tdk株式会社 | 磁場検出装置 |
| CN107313644B (zh) * | 2017-07-13 | 2023-06-16 | 柳州东方工程橡胶制品有限公司 | 一种大承载力永磁调节式磁流变阻尼器 |
-
1998
- 1998-08-20 JP JP23377698A patent/JP3386723B2/ja not_active Expired - Fee Related
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