JP3382947B2 - 自動位置検出機能を備えた能動磁気軸受 - Google Patents
自動位置検出機能を備えた能動磁気軸受Info
- Publication number
- JP3382947B2 JP3382947B2 JP52218295A JP52218295A JP3382947B2 JP 3382947 B2 JP3382947 B2 JP 3382947B2 JP 52218295 A JP52218295 A JP 52218295A JP 52218295 A JP52218295 A JP 52218295A JP 3382947 B2 JP3382947 B2 JP 3382947B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- frequency
- magnetic bearing
- electromagnet
- active magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0451—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0446—Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors
- F16C32/0448—Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors by using the electromagnet itself as sensor, e.g. sensorless magnetic bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
れた強磁性体の両側に配置された第1及び第2の対向す
る電磁石からなり、第1及び第2の電磁石は、軸X'Xに
沿って向きを定められ、共に、第一に共通の所定の値e0
と一致した平均値からなる夫々のエアーギャップe1、e2
を物体と共に画成する磁気回路と、第二に入力電流が第
1及び第2の磁石の磁気回路に対する物体の位置の関数
としてサーボ制御された電力増幅器によって給電された
励磁巻線とにより構成され、自動位置検出機能を備えた
能動磁気軸受に関する。
て、機械式回転子又はディスクでもよい吊り下げられた
物体の位置は、例えば、所定の作業位置に吊り下げられ
た物体を保持するため必要とされる力を発生する能動軸
受の電磁石が関連した位置検出器を用いて連続的に監視
される。
検出器を用いることは、検出器自体のため、付随した接
続手段のため、及び、それらに給電するための電子回路
のため、機械のコストを著しく増加させる。
の結果として、検出点は反応点に対し同一線上ではあり
得ない。このようなアクチュエータ部材に対する検出器
のオフセットのため、回転子が回転中に受ける変形を考
慮する必要があるときには、回転子に対し悪影響が生じ
る可能性がある。例えば、検出器を変形の節に置き、一
方、作動中の電磁石を変形の腹に近づけてもよく、或い
は、その逆でもよい。検出器によって与えられる情報
は、軸受自体の実体を正確に反映していない。
向に対し、直列に接続され、軸受によって吊り下げられ
た運動物体の位置を安定化させる電流と検出電流の両方
を伝達するコイルからなる自動検出を有する磁気軸受が
開示されている。しかしながら、かかる磁気軸受システ
ムは、永久磁石を用いて実現される固定子の予備の磁化
と、各々が運動物体の位置に依存して正と負の間で変化
し得る電流を供給する能力がある増幅器とを必要とす
る。上記予備の磁化手段と、4−コードラント(quadra
nt)タイプの複雑な線形増幅器の実装は、機器を複雑化
させ、全体的な信頼性に影響を与える。
ような別の位置検出器を必要としない態様で、吊り下げ
られた部材の位置に関する情報を提供することにより、
上記種々の欠点を緩和し、能動磁気軸受の電磁石の信頼
性の高いサーボ制御を提供できるようにすることを目的
とする。
個の検出コイルを付加する必要がなく、かつ、予備の磁
化手段を付加する必要がなく、あらゆる所定の方向に、
運動物体上に誘引力を発生させる2個の対向する電磁石
だけを使用すると共に、従来の能動磁気軸受において誘
導タイプの位置検出を可能にさせることを目的とする。
工用スピンドル、真空ポンプ、及び、コンピュータ用ハ
ードディスクのような大量に生産されるべき機械用の能
動磁気軸受が比較的安価に製造され得るようにすること
を目的とする。
ことなく吊り下げられた強磁性物体の両側に配置され、
軸X'Xに沿う方向に向けられた第1及び第2の対向する
電磁石からなり、上記第1及び第2の電磁石が、共に、
共通の所定の値e0と一致した平均値からなる夫々のエア
ーギャップを上記物体と共に画成する磁気回路と、入力
電流が上記第1及び第2の磁石の磁気回路に対する上記
物体の位置の関数としてサーボ制御された電力増幅器に
よって給電された励磁巻線とにより構成されている自動
位置検出を備えた能動磁気軸受であって、上記電力増幅
器がチョッパー増幅器により構成され;上記第1及び第
2の電磁石のコイルが、誘導タイプの位置検出器を直接
的に構成し;角周波数ωで上記増幅器の一方によって送
出された検出電圧の上記対応する電磁石によって加えら
れる力を与える電圧に対する比が5%乃至20%、好まし
くは、10%付近のオーダーであり、上記第1及び第2の
対向する電磁石の上記コイルに給電する上記電力増幅器
の入力と同時に、サーボ制御回路によって送出された主
電流と重畳させて、一定振幅I0と、角周波数ωと、同相
の正弦波信号I0sinωtを流入する手段が設けられ;角
周波数ωの搬送波を構成する上記正弦波信号の周波数で
測定されたような上記励磁コイルの端子の両側の電圧
u1,u2から、上記サーボ制御回路によって上記電力増幅
器に供給されるべき上記主電流の大きさを判定する位置
情報を直接的に得る回路を有することを特徴とする能動
磁気軸受によって達成される。
能を適切に行う以外に、付加的なコイルを全く追加する
必要なく、電圧が吊り下げられた物体(回転子)の変位
にある程度で比例する条件下で電圧が軸受の各電磁コイ
ルの両端の間で測定される誘導タイプの位置検出器とし
て使用される。
向した電磁石内に両側で同相を伴って同時に流入される
ことにより、常に回転子がその公称中心位置にあると
き、特に、軸受をドライブする電力増幅器によって送出
された電圧を使い果たすことを避けるため搬送波を構成
する正弦波電流の周波数を十分に低い状態に保つ必要が
あるとき、回転子上のわずかな外乱の生成が回避され
る。
数ωの正弦波電流の周波数がサーボ制御回路の所望の閉
ループ通過帯域よりもかなり高いということを特徴とす
る。
かつ、軸受のコイルに非常に大きい無効電力を伝達する
ことが可能になる。
ッチング周波数を有することにより利点が得られる。
流の周波数で測定された励磁コイルの両端子間の電圧
u1、u2は、物体の平衡位置に対する変位に比例した電圧
uを供給する比較器における差動測定によって比較され
る。
起因し、平均エアーギャップe0と関係した式U0=L0I0ω
と、電磁コイルの漏れインダクタンスLsに起因し、磁気
損失に関係した定数項UsI0ωの2個の定数項を除去する
ことが可能になる。
正弦波電流の周波数に中心が置かれ、サーボ制御回路の
所望の通過達域に適合した電流半値幅を示す帯域フィル
タを有する。
かれ、角周波数ωの正弦波電流の周波数によって制御さ
れる同期復調器を有する。
って生成された角周波数2ωに対応する周波数を除波す
る2次フィルタを有する。
波数ωの正弦波電流の周波数が同期されることにより利
点が得られる。これにより、周波数ビートに起因したノ
イズの問題が回避される。
気回路を構成するため使用される材料の飽和ゾーンの外
側にある磁気誘導に対し得られるような態様で、寸法が
定められる。
維持され、電磁石の要求される力とは無関係に略一定の
状態に維持されるならば、軸受電磁コイルのインダクタ
ンスの測定量は、エアーギャップに反比例した状態に維
持することが可能である。
ら離れている電磁石の動作ゾーン内で、磁気誘導の関数
として殆ど変化しない材料から作られる。
得る回路からの位置信号を基準位置の値と比較する比較
器と、信号処理訂正器回路網及び零入力電流線形化器を
含む少なくとも一つの回路とを有する。
らなる回路と、角周波数ωの正弦波電流I0sinωtを受
ける流入手段を構成する加算回路との間に挿入された磁
束調整ループを更に有する。
周波数ωに中心が置かれ、対応する増幅器によって出力
された電圧信号をその入力に受けるストップフィルタ
と、対応するストップフィルタからの出力信号と、対応
する加算回路にも供給される磁束調整器からの出力信号
の両方が供給される磁束計算回路と、訂正器回路網及び
線形化器からなる回路によって送出された信号から、対
応する磁束計算回路からの信号を減算し、出力信号を対
応する磁束調整回路の入力に送出する減算回路とを含
む。
XX'及びYY'の方向に向けられた上記の定義されたタイプ
の2個の能動磁気軸受システムからなる能動磁気軸受に
及ぶ。
となく与えられ、添付図面を参照して説明がなされてい
る本発明の種々の具体的な実施例の以下の記載から明ら
かになり、添付図面において: ・図1は、軸受の電磁石を使用する位置検出システムを
組み込む本発明の能動磁気軸受システムのブロック図で
あり; ・図2は、電磁石のエアーギャップの変化の関数として
位置検出システムによって送出された位置信号の様子を
示す曲線である。
れた回転子1が示され、電磁石は回転子1の軸に直交し
た軸XX'に沿って向きを定められている。各電磁石は、
強磁性材料から作られ、回転子1の方に向けられた2個
の磁極片121、122;221、222を含むU字形の区画を有す
る夫々の磁気回路12、22からなり、回転子1は、それ自
体が強磁性材料から作られ、或いは、強磁性材料の接極
子内に覆われている。各磁極片121、122は、エアーギャ
ップe1=e0+xを画成するため回転子1と協働し、式
中、e0は回転子がその平衡位置にあるときの平均エアー
ギャップを表わし、xは半径方向X'Xにおける回転子1
の変位によって発生させられたようなエアーギャップの
平均値e0に対する変化を表わしている。回転子1がその
平衡位置にあるとき、磁極片221及び222は、回転子の軸
1に関し磁極片121及び122と対称であり、各磁極片22
1、222は、エアーギャップe2=e0−xを画成するため回
転子1と協働し、式中、e0は回転子がその平衡位置にあ
るときの平均エアーギャップを表わし、xは半径方向X'
Xにおける回転子1の変位によって発生させられたよう
なエアーギャップの平均値e0に対する変化を表わしてい
る。かくして、xの正の値は、磁気回路22の方に向かっ
て運動する回転子1を表わし、一方、xの負の値は、磁
気回路12の方に向かって運動する回転子1を表わしてい
る。
器である夫々の電力増幅器13、23によって給電された夫
々の励磁コイル11、21を更に含む。各電力増幅器13又は
23は、回転子1を所定の平衡位置に保持するため必要と
されるエネルギーをコイル11又は21に供給できるように
する主入力電流を受ける。主入力電流は、それ自体で回
転子の実際の位置に関する情報を受け、基準位置を考慮
するサーボ制御回路から発生する。各増幅器13、23は、
対向して取付けられた増幅器13、23によって独立に給電
され、軸XX'の向きに両側で運動中の物体1に誘引力を
発生する電磁石を用いて、他の増幅器23、13によって送
出された電流とは無関係に、単向電流を送出する。
置に関する情報を得るため、加算回路14及び24が、一定
振幅I0、角周波数ω、同相のI0sinωtの形の夫々の正
弦波電流を、電力増幅器13及び23の入力に同時に流入す
るため機能する。
供することを意図した電流に重畳されたi1=i2=I0sin
ωt形式の電流i1及びi2を流入する。
ギャップe1及びe2は、場合によっては、上記の与えられ
た形式、即ち: e1=e0+x e2=e0−x である。
以下の形式: L1=Ls+L0/(1+x/e0) L2=Ls+L0/(1−x/e0) であり、式中: Lsは磁気漏れに関係した電磁石11、12又は21、22の漏
れインダクタンスを表わし; L0は平均エアーギャップe0に関係した電磁石11、12又
は21、22のインダクタンスを表わす。
入された電流i1及びi2に起因して、以下の形式: u1=−ωI0L1cosωt u2=−ωI0L2cosωt である。
の形式の表現: u=u1−u2 =−ωI0cosωt(L1−L2) =(ωI0cosωt)×2L0 ×(x/e0)/(1−(x/e0)2) =A×f(x/e0) が得られ、式中: A=(ωI0cosωt)×2L0=定数 f(x/e0)=(x/e0)/(1−(x/e0)2) である。
て、平均エアーギャップe0に関係したインダクタンスL0
と、磁気漏れに関係した漏れインダクタンスLsとに起因
した定数項の除去が可能になるので、得られた電圧が回
転子1の変位xに比例する。
られ、磁気軸受システムのサーボ制御に対し望まれる通
過帯域に適合した電流半値幅を有するローパスフィルタ
42において除波される。
て制御された同期復調器43において復調される。
ィルタ44を通過した後に、同期復調器43からの出力が、
軸受の電磁石の間で軸X'Xに沿った回転子の実際の位置
を表わす信号を供給する。
回転子の変位xの比x/e0の関数として、得られた位置信
号u(x)の直線性が示されている。
れていることが分かる。
両方の対向した電磁石に両側で同相を伴って同時に流入
され、これにより、差動測定によって行われるべき比較
が可能になるならば、軸受の電磁石とは別に検出器を追
加することなく、かつ、回転子が公称中心位置にある限
り非常に僅かな外乱力さえ回転子に生じさせることな
く、軸受の2個の対向した電磁石の測定されたインダク
タンスから回転子位置信号を推定することが可能であ
る。
て発生された力を供給すべく設計されたサーボ制御電流
よりも値が小さく、対応する回転子損失を非常に小さい
状態に保つことが可能である。
は、システムの閉ループ通過帯域よりもかなり高いが、
それにも関わらず、軸受を給電する電力増幅器によって
送出された電圧の使い果たしを制限するため十分に低い
状態に維持される。
め、通常のタイプのチョッパー増幅器によって構成され
ることにより利点が得られる。かかるチョッパー増幅器
は、例えば、50kHzのオーダーのスイッチング周波数を
有し、或いは、100kHz以上のように50kHzの値よりも大
きくても構わない。いずれにしても、ビート周波数に起
因したノイズの問題を避けるため、増幅器13及び23のス
イッチング周波数を角周波数ωの注入された搬送波の周
波数と同期させることが好ましい。
る検出周波数の約20倍であり、検出周波数自体は、サー
ボ制御周波数の20倍である。
に使用される材料の飽和ゾーンの外側にある磁気誘導に
対し得られるような態様で寸法が定められ、軸受の磁気
回路は、特に、電磁石の動作ゾーン、即ち、その飽和ゾ
ーン内で、透磁率が磁気誘導の関数として殆ど変化しな
い材料から作られる。
を用いた予備の磁化を全く含まないので、実現が簡単化
され、ロバスト性と信頼性が増大されることが明らかで
ある。
て信号が得られていたような従来の態様で、サーボ回路
内で次に使用されるが、情報信号は軸受の電磁石の位置
に正確に対応することが保証される。
較され、比較器31からの信号は、例えば、PID(比例−
積分−微分)タイプの信号処理訂正器回路網と、零入力
電流線形化器とを含む回路32に供給される。回路32から
の信号は、次に、増幅器13及び23の入力にある各加算回
路14及び24の入力の一つに異なる符号で供給される。
回路14、24に挿入された磁束調整ループを更に有するこ
とにより利点が得られる。
対応する増幅器13、23から出力された電圧信号を入力と
して受けるストップフィルタ15、25と、対応するストッ
プフィルタ15、25からの出力信号と、対応する加算回路
14、24の入力の一方にも供給される磁束調整器18、28か
らの出力信号の両方を受ける磁束計算回路16、26と、回
路32によって送出された信号から、対応する磁束計算回
路16及び26から到来する信号を減算し、夫々の出力信号
を対応する磁束調整回路18、28の入力に送出する減算回
路17、27とを含む。
れる信号を有効に利用する磁束ループの使用によって、
位置検出システムの通過帯域が狭い場合でさえ、より優
れたダイナミックな挙動が得られる。
に直交した方向XX'及びYY'に沿って向きを定められた1
対の対向した電磁石からなる本発明の2台の能動磁気軸
受システムを、例えば、1台の放射状の能動磁気軸受に
組み込むことが可能である。
スクの二つの面と協働する同軸軸受として使用すること
ができる。かかる状況下では、電磁石は、図1に示され
た位置に対し90゜回転させられるので、磁極片121、12
2、221及び222は、ディスクの軸と平行になる。
Claims (13)
- 【請求項1】電磁石の間に接触することなく吊り下げら
れた強磁性物体(1)の両側に配置された対向する第1
及び第2の電磁石を含み、 上記第1及び第2の電磁石は、軸X'Xの方向へ向けら
れ、 上記第1及び第2の電磁石は、共通の所定の値e0と一致
した平均値からなる夫々のエアーギャップ(e1,e2)を
上記物体と共に画成する磁気回路(12;22)と、上記第
1及び第2の電磁石の磁気回路(12;22)に対する上記
物体(1)の位置の関数としてサーボ制御された入力電
流が与えられる電力増幅器(13;23)によって給電され
た励磁巻線(11;21)とにより構成され、 自動位置検出機能を備えた能動磁気軸受であって、 各電力増幅器(13;23)は、上記第1の電磁石と上記第
2の電磁石が上記電力増幅器(13;23)によって独立に
給電されるように、他の電力増幅器から送出された電流
とは無関係に一方向の電流を送出し、 上記電力増幅器(13;23)はチョッパー増幅器により構
成され、 上記第1及び第2の電磁石のコイル(11;21)自体が、
誘導タイプの位置検出器を構成し、 上記対向する第1及び第2の電磁石のコイルに給電する
上記電力増幅器(13;23)の入力と同時に、サーボ制御
回路(31,32)によって送出された主電流と重畳させ
て、一定振幅I0、角周波数ω、及び、同相の正弦波電流
I0sinωtを流入する手段(14;24)が設けられ、 角周波数ωで上記電力増幅器(13;23)の一方によって
送出された検出電圧が対応した電磁石によって加えられ
る力を生ずる電圧に対し5%乃至20%の範囲内に収まる
約10%の比率であり、 角周波数ωの搬送波を構成する上記正弦波電流の周波数
で測定された上記励磁コイル(11;21)の端子間の電圧u
1,u2から、上記サーボ制御回路(31.32)によって上記
電力増幅器(13;23)に供給される上記主電流の大きさ
を決める位置情報を直接的に得る回路(41乃至44)が更
に設けられ、 上記電力増幅器(13;23)のスイッチング周波数は、角
周波数ωの上記正弦波電流の周波数と同期させられるこ
とを特徴とする能動磁気軸受。 - 【請求項2】角周波数ωの上記流入された正弦波電流の
周波数は、上記サーボ制御回路の所望の閉ループの通過
帯域のサーボ制御周波数の約20倍であることを特徴とす
る請求項1記載の能動磁気軸受。 - 【請求項3】上記増幅器(13;23)は数十キロヘルツの
オーダーのスイッチング周波数を有することを特徴とす
る請求項1又は2記載の能動磁気軸受。 - 【請求項4】角周波数ωの上記正弦波電流の上記周波数
で測定された上記励磁コイル(11;21)の上記端子間の
上記電圧u1、u2は、上記物体(1)の平衡位置に対する
変位に比例した電圧uを供給する比較器(41)の差測定
によって比較されることを特徴とする請求項1乃至3の
うちいずれか1項記載の能動磁気軸受。 - 【請求項5】位置情報を得る上記回路(41乃至44)は、
角周波数ωの上記正弦波電流の上記周波数に中心が置か
れた帯域フィルタ(42)を有し、 上記帯域フィルタ(42)は、上記サーボ制御回路(31,3
2)の上記所望の通過帯域に適合した電流半値幅を示す
ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項記
載の能動磁気軸受。 - 【請求項6】位置情報を得る上記回路(41乃至44)は、
上記帯域フィルタ(42)の出力側に置かれた同期復調器
(43)を有し、 上記同期復調器(43)は、角周波数ωの上記正弦波電流
の上記周波数によって制御されることを特徴とする請求
項5記載の能動磁気軸受。 - 【請求項7】位置情報を得る上記回路(41乃至44)は、
上記同期復調器(43)内の全波復調によって生成された
角周波数2ωに対応する周波数を除波する2次フィルタ
(44)を有することを特徴とする請求項6記載の能動磁
気軸受。 - 【請求項8】上記電磁石は、上記電磁石の要求される最
大の力が上記電磁石の上記磁気回路(12;22)を構成す
るため使用される材料の飽和ゾーンの外側にある磁気誘
導に対し得られるような態様で、寸法が定められること
を特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項記載の
能動磁気軸受。 - 【請求項9】上記電磁石の上記磁気回路(12;22)は、
上記飽和ゾーンから離れている上記電磁石の動作ゾーン
内では透磁率が磁気誘導の関数として殆ど変化しない材
料から作られることを特徴とする請求項8記載の能動磁
気軸受。 - 【請求項10】上記電力増幅器(13;23)に給電する上
記サーボ制御回路(31,32)は、位置情報を得る上記回
路(41乃至44)からの位置信号を基準位置の値と比較す
る比較器(31)と、信号処理訂正器回路網及び零入力電
流線形化器を含む少なくとも一つの回路とを有すること
を特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項記載の
能動磁気軸受。 - 【請求項11】上記サーボ制御回路は、信号処理訂正器
回路網及び零入力電流線形化器からなる上記回路(32)
と、角周波数ωの上記正弦波電流I0sinωtを受ける上
記流入する手段(14;24)を構成する加算回路との間に
挿入された磁束調整ループを更に有することを特徴とす
る請求項10記載の能動磁気軸受。 - 【請求項12】各磁束調整ループは、 角周波数ωに中心が置かれ、対応した上記増幅器(13;2
3)によって出力された電圧信号を入力に受けるストッ
プフィルタ(15;25)と、 上記対応するストップフィルタ(15;25)からの出力信
号、及び、対応する加算回路(14;24)にも供給される
磁束調整器(18;28)からの出力信号の両方が供給され
る磁束計算回路(16;26)と、 訂正器回路網及び線形化器からなる上記回路(32)によ
って送出された上記信号から、上記対応する磁束計算回
路(16;26)からの信号を減算し、出力信号を上記対応
する磁束調整回路(18;28)の入力に送出する減算回路
(17;27)とを含むことを特徴とする請求項11記載の能
動磁気軸受。 - 【請求項13】軸XX'と直交した軸YY'の方向に向けられ
た別の電磁石に対応した能動磁気軸受を更に有すること
を特徴とする請求項1乃至12のうちいずれか一項記載の
能動磁気軸受。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9402236A FR2716700B1 (fr) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Palier magnétique actif à auto-détection de position. |
FR94/02236 | 1994-02-28 | ||
PCT/FR1995/000231 WO1995023297A1 (fr) | 1994-02-28 | 1995-02-28 | Palier magnetique actif a auto-detection de position |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09510280A JPH09510280A (ja) | 1997-10-14 |
JP3382947B2 true JP3382947B2 (ja) | 2003-03-04 |
Family
ID=9460471
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP52218295A Expired - Lifetime JP3382947B2 (ja) | 1994-02-28 | 1995-02-28 | 自動位置検出機能を備えた能動磁気軸受 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5844339A (ja) |
EP (1) | EP0749538B1 (ja) |
JP (1) | JP3382947B2 (ja) |
DE (1) | DE69503613T2 (ja) |
FR (1) | FR2716700B1 (ja) |
WO (1) | WO1995023297A1 (ja) |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2741486B1 (fr) * | 1995-11-20 | 1998-02-20 | Jeumont Ind | Procede et dispositif de compensation des forces d'attraction magnetique a l'interieur d'une machine discoide |
FR2768470B1 (fr) * | 1997-09-12 | 2002-02-01 | Mecanique Magnetique Sa | Pompe rotative a rotor immerge |
US6191513B1 (en) * | 1997-10-27 | 2001-02-20 | Mohawk Innovative Technology, Inc. | Stator-controlled magnetic bearing |
JPH11257352A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-21 | Hitachi Ltd | 磁気軸受及びそれを搭載した回転機械並びに回転機械の運転方法 |
JP2000145773A (ja) * | 1998-11-13 | 2000-05-26 | Nsk Ltd | 磁気軸受装置 |
DE19860814A1 (de) * | 1998-12-30 | 2000-07-20 | Teldix Gmbh | Verfahren und Einrichtung zur Verbesserung des dynamischen Verhaltens eines Magnetlagers |
JP4036567B2 (ja) | 1999-01-27 | 2008-01-23 | 株式会社荏原製作所 | 制御形磁気軸受装置 |
DE10032440A1 (de) * | 2000-07-04 | 2002-01-17 | Schlafhorst & Co W | Rotorspinnvorrichtung mit einer berührungslosen passiven radialen Lagerung des Spinnrotors |
US6603230B1 (en) | 2002-01-30 | 2003-08-05 | Honeywell International, Inc. | Active magnetic bearing assembly using permanent magnet biased homopolar and reluctance centering effects |
DE10353101B4 (de) * | 2003-11-12 | 2005-12-15 | Technische Universität Dresden | Verfahren zur Regelung dreiphasiger elektromagnetischer Lager |
FR2867819B1 (fr) * | 2004-03-22 | 2006-06-02 | Mecanique Magnetique Sa | Palier magnetique actif a auto-detection de position |
KR20060065277A (ko) * | 2004-12-10 | 2006-06-14 | 삼성전자주식회사 | 디스플레이장치 및 그 제어방법 |
DE102004061991A1 (de) * | 2004-12-23 | 2006-07-13 | Lindauer Dornier Gesellschaft Mit Beschränkter Haftung | Rundbreithalter zum Behandeln texiler Schlauchware |
US7830056B2 (en) * | 2005-07-05 | 2010-11-09 | Ebara Corporation | Magnetic bearing device and method |
DE102005032184A1 (de) * | 2005-07-09 | 2007-01-18 | Saurer Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Betreiben eines elektromotorischen Antriebs |
DE102005032675A1 (de) * | 2005-07-13 | 2007-01-25 | Renk Ag | Aktives Magnetlager mit integrierter Wegsensorik |
US7679248B2 (en) * | 2005-09-28 | 2010-03-16 | Shimadzu Corporation | Magnetic bearing system |
FR2892780B1 (fr) * | 2005-10-27 | 2009-07-03 | Mecanique Magnetique Sa Soc D | Dispositif de suspension magnetique a bobinages proteges contre les surchauffes et procede de controle de la temperature de ces bobinages |
DE102008007512A1 (de) * | 2007-07-30 | 2009-02-05 | Schaeffler Kg | Verfahren und Anordnung zum sensorlosen Betrieb von Magnetlagern |
BRPI0912392A2 (pt) | 2008-05-06 | 2019-09-24 | Fmc Tech Inc | método e aparelho para o controle de um mancal através de um limite de pressão |
US8777596B2 (en) | 2008-05-06 | 2014-07-15 | Fmc Technologies, Inc. | Flushing system |
DE102009039485B4 (de) * | 2009-08-31 | 2012-02-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Regelungssystem und Verfahren zur Regelung eines Magnetlagers |
KR101158812B1 (ko) * | 2010-03-02 | 2012-06-26 | 주식회사 디엔엠 테크놀로지 | 변위 센서 및 이를 이용한 자기 베어링 시스템 |
EP2589827A1 (en) * | 2011-11-04 | 2013-05-08 | ETH Zürich | Rotating electrical machine and method for measuring a displacement of a rotating electrical machine |
WO2013152061A2 (en) | 2012-04-04 | 2013-10-10 | Carrier Corporation | Multiple-axis magnetic bearing and control of the magnetic bearing with active switch topologies |
FR2995646B1 (fr) | 2012-09-17 | 2014-08-29 | Ge Energy Power Conversion Technology Ltd | Dispositif et procede de commande d'un palier magnetique actif |
US9624974B2 (en) | 2013-01-28 | 2017-04-18 | Shimadzu Corporation | Magnetic bearing device and vacuum pump |
EP2781887B1 (en) * | 2013-03-19 | 2016-08-10 | Skf Magnetic Mechatronics | Variable inductance type position sensor system and method |
CZ2013205A3 (cs) * | 2013-03-22 | 2014-10-22 | Rieter Cz S.R.O. | Zařízení pro snímání polohy otáčejícího se pracovního prostředku v aktivním magnetickém ložisku |
US10177627B2 (en) | 2015-08-06 | 2019-01-08 | Massachusetts Institute Of Technology | Homopolar, flux-biased hysteresis bearingless motor |
JP6937671B2 (ja) * | 2017-11-22 | 2021-09-22 | エドワーズ株式会社 | 磁気軸受制御装置及び真空ポンプ |
US10833570B2 (en) | 2017-12-22 | 2020-11-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Homopolar bearingless slice motors |
CN109611451B (zh) * | 2018-11-05 | 2020-03-17 | 南京航空航天大学 | 一种磁悬浮轴承的控制方法 |
EP3825657A1 (de) * | 2019-11-22 | 2021-05-26 | Berlin Heart GmbH | Rotationsmaschine mit sensorloser rotorlagedetektion |
CN112240346B (zh) * | 2020-12-18 | 2021-03-23 | 天津飞旋科技有限公司 | 磁悬浮轴承控制系统及磁悬浮轴承 |
CN115085591B (zh) * | 2022-07-11 | 2022-11-11 | 西南交通大学 | 基于复合线圈的间隙自传感电磁悬浮系统及其控制方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3508444A (en) * | 1967-03-27 | 1970-04-28 | Massachusetts Inst Technology | Time sharing pulsed rebalancing system |
DE2537597A1 (de) * | 1975-08-23 | 1977-03-03 | Padana Ag | Elektromagnetische lagerungseinrichtung |
DE2656469A1 (de) * | 1976-12-09 | 1978-06-15 | Licentia Gmbh | Radiales aktives magnetisches lager |
US4551708A (en) * | 1982-06-04 | 1985-11-05 | Motornetics Corporation | Reactance-commutated high resolution servo motor system |
US4577159A (en) * | 1984-07-27 | 1986-03-18 | Hewlett-Packard Company | Low drift broadband amplifier |
JP2700904B2 (ja) * | 1988-10-18 | 1998-01-21 | セイコー精機株式会社 | 磁気浮上体の制御装置 |
CH678090A5 (ja) * | 1988-11-22 | 1991-07-31 | Mecos Traxler Ag | |
NL9001908A (nl) * | 1990-08-30 | 1992-03-16 | Philips Nv | Elektromagnetische ondersteuning met positie-onafhankelijke eigenschappen. |
DE4216481A1 (de) * | 1992-05-19 | 1993-12-02 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Magnetlagerregler |
US5469006A (en) * | 1992-09-25 | 1995-11-21 | Magnetic Bearing Technologies, Inc. | Lorentz force magnetic bearing utilizing closed conductive loops and selectively controlled electromagnets |
WO1994020767A1 (en) * | 1993-03-08 | 1994-09-15 | Noise Cancellation Technologies, Inc. | Methods and apparatus for closed-loop control of magnetic bearings |
US5397183A (en) * | 1993-07-26 | 1995-03-14 | Westinghouse Electric Corporation | Active bearing |
US5469007A (en) * | 1993-12-07 | 1995-11-21 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Magnetic bearing arrangement |
-
1994
- 1994-02-28 FR FR9402236A patent/FR2716700B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-02-28 WO PCT/FR1995/000231 patent/WO1995023297A1/fr active IP Right Grant
- 1995-02-28 EP EP95911353A patent/EP0749538B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1995-02-28 US US08/702,497 patent/US5844339A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-02-28 DE DE69503613T patent/DE69503613T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-02-28 JP JP52218295A patent/JP3382947B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69503613T2 (de) | 1999-02-25 |
FR2716700B1 (fr) | 1996-05-15 |
FR2716700A1 (fr) | 1995-09-01 |
DE69503613D1 (de) | 1998-08-27 |
US5844339A (en) | 1998-12-01 |
JPH09510280A (ja) | 1997-10-14 |
WO1995023297A1 (fr) | 1995-08-31 |
EP0749538A1 (fr) | 1996-12-27 |
EP0749538B1 (fr) | 1998-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3382947B2 (ja) | 自動位置検出機能を備えた能動磁気軸受 | |
Tera et al. | Performances of bearingless and sensorless induction motor drive based on mutual inductances and rotor displacements estimation | |
US5936370A (en) | Electromagnectic rotating machine | |
JP4184950B2 (ja) | 能動型磁気軸受 | |
US3890019A (en) | Magnetic bearings | |
Schammass et al. | New results for self-sensing active magnetic bearings using modulation approach | |
US4275343A (en) | Back EMF controlled permanent magnet motor | |
JP5025505B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
US20140252899A1 (en) | Rotating electrical machine and method for measuring a displacement of a rotor of a rotating electrical machine | |
US5565722A (en) | Magnetic bearing control system | |
Kang et al. | Homopolar magnetic bearing saturation effects on rotating machinery vibration | |
US4868479A (en) | Low loss permanent magnet motor | |
CN102545744B (zh) | 无轴承同步磁阻电机的位移估算方法、悬浮控制系统 | |
Su et al. | Improving operational performance of magnetically suspended flywheel with PM-biased magnetic bearings using adaptive resonant controller and nonlinear compensation method | |
Jiang et al. | Rotor displacement self-sensing approach for permanent magnet biased magnetic bearings using double-axis PWM demodulation | |
JP4768712B2 (ja) | 位置を自動検出する能動型磁気ベアリング | |
Chen et al. | Radial displacement sensorless control in full speed range of single-winding bearingless flux-switching permanent magnet motor | |
Sun et al. | Modeling and control of a bearingless permanent magnet synchronous motor | |
US9506475B2 (en) | Sensorless magnetic levitation vacuum pump and sensorless magnetic levitation device | |
Noh et al. | Self-sensing magnetic bearings (Part I) | |
Park et al. | A self-sensing technology of active magnetic bearings using a phase modulation algorithm based on a high frequency voltage injection method | |
Stephens et al. | Influence of stator slot geometry and rotor eccentricity on field distribution in cylindrical magnetic actuators | |
Ye et al. | Development of bearingless induction motors and key technologies | |
Schammass et al. | Experimental results on self-sensing AMB using a three-state PWM amplifier | |
JP3205623B2 (ja) | 磁気浮上搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081220 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081220 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091220 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101220 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111220 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111220 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121220 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131220 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131220 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131220 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131220 Year of fee payment: 11 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |