JP3380934B2 - 円盤状記録媒体の取扱装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクプレイヤー
等の光学式の記録再生装置に用いられる光ディスク、磁
気ディスク等の円盤状記録媒体に、保護膜や記録膜等を
形成する成膜工程において用いられる円盤状記録媒体の
取扱装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、光ディスクプレイヤー等の光学式
の記録再生装置は、情報信号の光学式記録媒体として円
盤状記録媒体（以下、光ディスクと称する。）を用い
て、光ディスクの信号記録領域に記録された情報信号の
読み取り又は、光ディスクの信号記録領域に情報信号の
記録を行なっている。そして、光ディスク基板の情報が
記録される主面には、反射膜や記録膜或いはこれらを保
護する保護膜等の薄膜が形成されている。これらの薄膜
を形成する成膜工程は、光ディスクの製造工程におい
て、光ディスクの品質及び製造コストに大きな影響を与
える。 【０００３】成膜工程には、真空蒸着装置を用いた真空
蒸着法やスパッタリング法等が採用されている。真空蒸
着法は、蒸着物質を電子ビームにより加熱し蒸発させ、
この蒸発物が光ディスク基板の記録領域に付着し、冷却
されることで記録膜を形成する。また、スパッタリング
法は、エネルギーを有する粒子、例えば、原子、分子、
イオン等がターゲットの表面をたたくことにより、この
ターゲットを形成している物質の粒子がこのエネルギー
を有する粒子と運動量の変換をして、ターゲットの表面
からこのターゲットを形成していた物質の粒子を飛び出
させる原理を利用する。ターゲットを形成していた物質
の粒子は、光ディスク基板の記録領域に付着し、冷却さ
れることでこの記録領域上に記録膜を形成する。 【０００４】真空蒸着装置により光ディスク基板の記録
領域に薄膜を形成する成膜工程においては、光ディスク
基板の取扱装置によって、光ディスク基板の搬送や載置
が行われている。従来の光ディスク基板の取扱装置５０
について、図４及び図５を参照して説明する。光ディス
ク基板には、製造上及び使用上の取扱い並びに記録再生
特性の確保等に必要なために、光ディスク基板の外周部
と内周部との主面に非成膜領域が設けられる。したがっ
て、この光ディスク基板の取扱装置５０は、成膜工程に
おいて、光ディスク基板３３の成膜領域を規制するため
に、非成膜領域を覆うマスク部材５５と、このマスク部
材５５を光ディスク基板３３に着脱するマスク取扱治具
５４とから構成されている。 【０００５】マスク部材５５は、光ディスク基板３３の
内周部側の主面を覆うための内周マスク部材５３と光デ
ィスク基板３３の外周部側の主面を覆うための外周マス
ク部材５２との１組で構成されている。このマスク部材
５５は、図４に示すように、光ディスク基板３３の主面
の成膜領域を規制するために用いられるもので、光ディ
スク基板３３の内周部及び外周部にそれぞれ取り付ける
ことにより、光ディスク基板３３の主面を覆って非成膜
領域とする。マスク取扱治具５４は、図示しない真空蒸
着装置のパネルに載置される光ディスク基板３３の主面
に内周マスク部材５３及び外周マスク部材５２を取り付
け、蒸着完了後に、光ディスク基板３３から内周マスク
部材５３及び外周マスク部材５２を取り外すことに用い
られる。 【０００６】そして、光ディスク基板３３の記録領域に
対する成膜は、次の第１の工程乃至第５の工程を経て行
われる。先ず、第１の工程は、図４に示すように、光デ
ィスク基板３３に内周マスク部材５３及び外周マスク部
材５２を取り付けることにより、光ディスク基板３３の
主面の成膜領域を規制した状態でパレット３２上に載置
する工程である。第２の工程は、内周マスク部材５３及
び外周マスク部材５２を取り付けた光ディスク基板３３
が載置されたパレット３２を真空蒸着装置のパネル上に
載置する工程である。 【０００７】第３の工程は、真空蒸着装置によりパレッ
ト３２上の光ディスク基板３３の成膜領域を規制された
主面に記録膜を形成する工程である。第４の工程は、真
空蒸着装置により成膜領域を規制された主面に記録膜が
形成された光ディスク基板３３を、この真空蒸着装置内
部からパレット３２と共に取り出す工程である。第５の
工程は、光ディスク基板３３に取り付けた内周マスク部
材５３及び外周マスク部材５２を取り外して、この成膜
された光ディスク基板３３と次に成膜処理を施す光ディ
スク基板３３とを交換する工程である。 【０００８】そして、この第５の工程終了後、再び第１
の工程に戻り、新たに記録膜を成膜する光ディスク基板
３３は、内周マスク部材５３及び外周マスク部材５２が
取り付けられ、その主面の成膜領域を規制してパレット
３２上に載置される。すなわち、成膜工程は、上述した
第１乃至第５の工程が繰り返し連続して行われる。した
がって、マスク部材５５の表面には、光ディスク基板３
３の主面に真空蒸着装置で記録膜を形成する度に、繰り
返し成膜されるため薄膜が次第に積層形成される。 【０００９】光ディスク基板３３に記録膜を成膜する上
述した工程においては、内周マスク部材５３及び外周マ
スク部材５２は、光ディスク基板３３に対して図６及び
図７に示した機械式チャック法により取り付けられてい
た。従来の機械式チャック法においては、内周マスク部
材３４、３７は、いずれも光ディスク基板３３の内周部
に嵌合する円筒部４３に弾性部材が設けられ、この弾性
部材の弾性力によって、光ディスク基板３３に取り付け
られる。 【００１０】すなわち、図６に示す機械式チャック法に
おいては、内周マスク部材３４は、弾性部材として略く
字状の板バネ３５を備えている。この板バネ３５は、断
面が略波形に形成され、円弧状の部分が円筒部４３の外
周面より突出するようにして一端が円筒部４３の先端部
に固着されている。したがって、内周マスク部材３４
は、円筒部４３が光ディスク基板３３の内周部に嵌合さ
れることにより板バネ３５が弾性変形し、この板バネ３
５の弾性力により、この光ディスク基板３３に取り付け
られる。 【００１１】また、図７に示す機械式チャック法は、内
周マスク部材３７に、弾性部材として円形縦断面の環状
パッキンであるＯーリング３８を備えている。このＯ−
リング３８は、内周マスク部材３７の円筒部４３の外周
部に設けられた溝に、周面が円筒部４３の外周面より突
出する状態で配されている。したがって、内周マスク部
材３７は、円筒部４３が光ディスク基板３３の内周部に
嵌合されることによりＯーリング３８が弾性変形し、こ
のＯ−リング３８の弾性力により、この光ディスク基板
３３に取り付けられる。 【００１２】内周マスク部材６３及び外周マスク部材６
２は、マスク取扱治具６４に保持される。内周マスク部
材６３及び外周マスク部材６２は、磁性材料から形成さ
れている。また、マスク取扱治具６４の内部には、内周
マスク部材６３及び外周マスク部材６２に臨む位置に、
複数個の図示しない可動式マグネットが設けられてい
る。そして、マスク取扱治具６４は、可動式マグネット
を内周マスク部材６３及び外周マスク部材６２に近づく
方向に移動することによって、内周マスク部材６３及び
外周マスク部材６２を磁力により保持する。また、マス
ク取扱治具６４は、可動式マグネットを内周マスク部材
６３及び外周マスク部材６２に遠ざかる方向に移動する
ことにより、内周マスク部材６３及び外周マスク部材６
２を保持した状態を解除する。 【００１３】次に、マスク取扱治具６４は、内周マスク
部材６３及び外周マスク部材６２を取り付けた光ディス
ク基板３３を、図８に示した真空吸着法によって保持す
る。この真空吸着法において用いられるマスク取扱治具
６４には、光ディスク基板３３を保持した状態におい
て、この光ディスク基板３３の取り付けられた内周マス
ク部材６３及び外周マスク部材６２との間に位置して開
口され、図示しない真空ポンプと連結された空気吸出管
６６が埋設された空気吸出穴６５が設けられている。 【００１４】そして、この真空吸着法においては、マス
ク取扱治具６４と光ディスク基板３３との間に、光ディ
スク基板３３に取り付けられた内周マスク部材６３及び
外周マスク部材６２とで囲まれた密閉空間部が構成され
ている。したがって、マスク取扱治具６４は、上述した
磁気保持手段によって内周マスク部材６３及び外周マス
ク部材６２とを保持した状態で、真空ポンプが駆動され
ると、空気吸出管６６から前記密閉空間部の空気を吸い
出す。密閉空間部には、空気が吸い出されることにより
減圧されて真空吸着力が生じ、光ディスク基板３３を吸
着保持する。 【００１５】直径寸法が１３０ｍｍである光ディスク基
板３３は、基板重量が１６ｇ（ポリカーボネイト製）〜
４０ｇ（ガラス製）である。マスク取扱治具６４が光デ
ィスク基板３３を安定して保持するためには、光ディス
ク基板３３の基板重量の２倍以上の吸着力が必要であ
る。したがって、真空吸着法においては、上述した密閉
空間は、保持する光ディスク基板の重量の２倍以上の吸
着力が得られるように断面積が決定されている。 【００１６】 【発明が解決しようとする課題】上述したようにマスク
取扱治具と内周マスク部材及び外周マスク部材との機械
的接触を避けることができない。したがって、機械式チ
ャック法及び真空吸着法には、以下に述べる問題があ
る。 【００１７】上述した機械式チャック法は、内周マスク
部材３４に用いられた板バネ３５のコーナ部のエッジ等
が光ディスク基板３３の内周部に当接する。このため
に、内周マスク部材３４は、板バネ３５によって、光デ
ィスク基板３３の内周部を損傷させてしまうという問題
があった。 【００１８】また、機械式チャック法は、内周マスク部
材３４及び内周マスク部材３７を光ディスク基板３３か
ら取り外す際、光ディスク基板３３の内周部と板バネ３
５又はＯーリング３８との間に摩擦力が生じているた
め、この摩擦力以上の大きな力が必要である。したがっ
て、機械式チャック法は、内周マスク部材３４及び内周
マスク部材３７が、この大きな力によって光ディスク基
板３３の内周部等を損傷させるといった問題があった。 【００１９】さらに、この機械式チャック法は、内周マ
スク部材３４及び内周マスク部材３７を光ディスク基板
３３から取り外す際に、光ディスク基板３３の内周部と
板バネ３５又はＯーリング３８との間に生じている摩擦
力以上の大きな力が不足することにより、取り外しミス
が頻繁に発生するという問題があった。 【００２０】さらにまた、機械式チャック法おいて、内
周マスク部材３４及び内周マスク部材３７は、板バネ３
５及びＯ−リング３８の摩耗等により、繰り返し再現性
が低いために、光ディスク基板３３の生産効率を低下さ
せる要因となっているという問題があった。 【００２１】一方、マスク取扱治具６４が光ディスク基
板３３を保持する真空吸着法は、密閉された空間内部か
ら空気を吸い出す際、光ディスク基板３３、マスク取扱
治具６４、内周マスク部材６３及び外周マスク部材６２
との各間隙から空気漏れが発生する。このため、光ディ
スク基板３３を保持する吸着力が不足することによっ
て、光ディスク基板３３の保持ミスが頻繁に発生すると
いう問題があった。 【００２２】また、この真空吸着法においては、上述し
た密閉された空間の間隙からの空気漏れや、密閉された
空間容積が大きいために、この空間内部に高速度の気流
が発生する。この気流に伴い内周マスク部材６３表面及
び外周マスク部材６２表面に付着している蒸着物質が剥
離し飛散して微粉末が発生する。この微粉末は、成膜前
の光ディスク基板３３の主面に付着して、この微粉末の
付着した光ディスク基板３３に薄膜が形成されることに
より、製造された光ディスク基板３３に欠陥（いわゆる
ディフェクト）を増加させてしまうという問題があっ
た。 【００２３】したがって、従来の真空吸着法において
は、微粉末の発生を防止する対策として、密閉された空
間から空気を吸い出す際、この空間内部に気流を生じさ
せないように、空間内部の圧力変化を徐々に行うといっ
た対策が講じられていた。かかる対策は、光ディスク基
板３３の成膜工程において、生産効率を低下させるとい
った問題点があった。 【００２４】そこで、本発明は、マスク取扱治具によっ
て、光ディスク基板を真空吸着法によって保持して取扱
う際に、微粉末の発生を抑制し、光ディスクを高精度に
製造するとともに、取扱い動作の信頼性を向上させた取
扱装置を提供することを目的とするものである。 【００２５】 【課題を達成するための手段】上述したような目的を達
成するため、本発明に係る円盤状記録媒体の取扱装置
は、円盤状記録媒体の内周部及び外周部に取り付けら
れ、真空薄膜形成装置により円盤状記録媒体の主面に薄
膜を形成する際に成膜領域を規制する内周マスク部材及
び外周マスク部材とからなるマスク部材と、前記マスク
部材を円盤状記録媒体に対して着脱するマスク取扱治具
とを備える。マスク取扱治具には、マスク部材の内周マ
スク部材及び外周マスク部材に対応して、それぞれ独立
して空気を吸い出す空気吸出孔を穿設するとともに、こ
の空気吸出孔のマスク部材との対向部側には、弾性変形
自在な漏斗状開口部を有する吸着部材を連結して組み付
けられ、前記吸着部材の漏斗状開口部には、空気吸出孔
が穿設されるとともに、該空気吸出孔が内周マスク用吸
出孔及び外周マスク用空気吸出孔と軸線を一致させて組
み付けられ、前記マスク部材の内周マスク部材には、前
記マスク取扱治具及び漏斗状開口部の空気吸出孔と連通
する空気吸出孔が軸線を一致させて穿設し、かつ、この
空気吸出孔の他端が開口する環状凹部を円盤状記録媒体
との接合部に設ける。 【００２６】 【００２７】 【作用】以上のように構成した本発明に係る円盤状記録
媒体の取扱装置によれば、円盤状記録媒体には、その非
記録領域に対応して内周マスク部材と外周マスク部材と
が取り付けられる。マスク取扱治具は、空気吸出孔が円
盤状記録媒体に取り付けられた内周マスク部材と外周マ
スク部材とに対応するようにして、円盤状記録媒体と組
み合わされる。また、円盤状記録媒体の内周部に取付け
られた内周マスク部材と円盤状記録媒体との間には、内
周マスク部材に形成された環状凹部によって、密閉空間
部が構成される。 【００２８】マスク取扱治具は、真空ポンプ等が起動さ
れて空気吸出孔から空気が吸い出されることによって、
内周マスク部材と外周マスク部材とを真空吸着して保持
する。円盤状記録媒体は、内周マスク部材の環状凹部に
よって構成された密閉空間部から空気が吸い出されるこ
とによって、内周マスク部材を介してマスク取扱治具に
真空吸着されて保持される。 【００２９】マスク取扱治具の空気吸出孔の先端部に組
み付けられた吸着部材は、内周マスク部材及び外周マス
ク部材とに弾性変形した状態で接合し、空気漏れの発生
を防止する。空気漏れの防止は、マスク部材に覆われて
いない円盤状記録媒体の主面とマスク取扱治具とによっ
て構成される空間部の気流の発生を防止する。したがっ
て、円盤状記録媒体の主面には、気流によって発生され
る微粉末が付着することが防止される。 【００３０】 【実施例】本発明に係る実施例光ディスク取扱装置１に
ついて、図１乃至図３を参照して説明する。実施例光デ
ィスク取扱装置１は、光ディスク基板５の主面に取り付
けられて、記録領域を構成する成膜領域を規制するマス
ク部材８と、このマスク部材８を光ディスク基板５に対
して着脱するマスク取扱治具４とから構成される。 【００３１】マスク部材８は、光ディスク基板５の非成
膜領域である内周部側の主面を覆うための内周マスク部
材３と、光ディスク基板５の非成膜領域である外周部側
の主面を覆うための外周マスク部材２との１組で構成さ
れている。内周マスク部材３は、光ディスク基板５の内
周部の主面を覆うために、光ディスク基板５の内周の中
心穴に嵌め込まれる。外周マスク部材２は、光ディスク
基板５の外周部の主面を覆うために、この外周マスク部
材２に光ディスク基板５が嵌め込まれる。 【００３２】内周マスク部材３は、図３に示すように、
円板状の基部と、この基部の一方の主面の中心部に軸線
を一致させて一体に形成された円柱状凸部とか構成され
ている。円柱状凸部は、その外形が光ディスク基板５の
中心孔とほぼ同一とされている。したがって、内周マス
ク部材３は、円柱状凸部が光ディスク基板５の中心孔に
嵌め込まれることによって、光ディスク基板５に嵌脱自
在に取り付けられる。 【００３３】また、内周マスク部材３は、その光ディス
ク基板５の主面と接合する主面に、前記円柱状凸部を取
り囲むようにして光ディスク基板吸着用の環状凹部１０
が設けられている。さらに、内周マスク部材３には、こ
の環状凹部１０の底面に開口する所定個数の空気吸出孔
１１が穿設されている。これら空気吸出孔１１は、内周
マスク部材３が光ディスク基板５に取り付けられた状態
において、後述するマスク取扱治具４に保持されると、
このマスク取扱治具４の吸着ゴムパッド１６に穿設され
た空気吸出孔２７と連通される。 【００３４】外周マスク部材２は、金属材料からなる環
状に形成され、図２に示すように、外周部に沿って、光
ディスク基板５の外径とほぼ等しい内径の環状凸部７０
が形成されている。光ディスク基板５は、この環状凸部
７０の内周と光ディスク基板５の外周部とが当接して嵌
め込まれることにより、外周マスク部材２に嵌脱自在に
取り付けられる。なお、この外周マスク部材２は、上述
した従来の光ディスク取扱装置の外周マスク部材５２と
ほぼ同一に構成されている。 【００３５】マスク取扱治具４は、金属材料によって円
形状に形成され、その一方主面側には内径が外周マスク
部材２よりもやや大とされた円形の凹部が形成されてい
る。また、マスク取扱治具４には、この凹部の底面に開
口する所定個数の第１空気吸出孔２０乃至第３空気吸出
孔２２がそれぞれ同心円上に位置して穿設されている。
これら第１空気吸出孔２０乃至第３空気吸出孔２２は、
マスク取扱治具４が、外周マスク部材２と内周マスク部
材３とを取り付けた状態の光ディスク基板５を保持した
状態において、それぞれ外周マスク部材２と内周マスク
部材３とに対応位置するようにしてマスク取扱治具４に
穿設されている。 【００３６】すなわち、第１空気吸出孔２０は、円形凹
部の外周部近傍の底面に位置して開口する複数個の空気
吸出孔によって構成されている。これら第１空気吸出孔
２０は、光ディスク基板５に取り付けられた外周マスク
部材２に対応位置されることによって、この外周マスク
部材２の吸着用の空気吸出孔として作用する。また、第
２空気吸出孔２１は、円形凹部の中心位置に開口され、
光ディスク基板５に取り付けられた内周マスク部材３の
中心部に対応位置されることによって、この内周マスク
部材３の吸着用の空気吸出孔として作用する。さらに、
第３空気吸出孔２２は、第２空気吸出孔２１の外周部に
位置して円形凹部の底面に開口する複数個の空気吸出孔
によって構成される。これら第３空気吸出孔２２は、光
ディスク基板５に取り付けられた内周マスク部材３に穿
設した前記空気吸出孔１１に対応位置されることによっ
て、光ディスク基板５の吸着用の空気吸出孔として作用
する。 【００３７】そして、マスク取扱治具４には、マスク吸
着ゴムパッド１６乃至１８が、円状凹部底面側の空気吸
出孔２０乃至２２にそれぞれ対応して組み付けられてい
る。これらのマスク吸着ゴムパッド１６乃至１８は、空
気吸出孔２５乃至２７がそれぞれ穿設されるとともに、
漏斗状開口部７１乃至７３がそれぞれ薄肉とされた漏斗
状に形成されている。すなわち、内周マスク用空気吸出
孔２１には、内周マスク吸着ゴムパッド１７が対応位置
して組み付けられている。この内周マスク吸着ゴムパッ
ド１７は、漏斗状開口部７２を有する空気吸出孔２６が
穿設されており、この空気吸出孔２６が内周マスク用空
気吸出孔２１と軸線を一致させて組み合わされている。 【００３８】また、外周マスク用空気吸出孔２０には、
外周マスク吸着ゴムパッド１８が対応位置して組み付け
られている。この外周マスク吸着ゴムパッド１８は、漏
斗状開口部７１を有する空気吸出孔２５が穿設されてお
り、この空気吸出孔２５が、外周マスク用空気吸出孔２
０と軸線を一致させて組み合わされている。 【００３９】さらに、光ディスク基板用空気吸出孔２２
には、光ディスク基板吸着ゴムパッド１６が対応位置し
て組み付けられている。この光ディスク基板吸着ゴムパ
ッド１６は、漏斗状開口部７３を有する空気吸出孔２７
が穿設されており、この空気吸出孔２７が、光ディスク
基板用空気吸出孔２２と軸線を一致させて組み合わされ
ている。 【００４０】マスク取扱治具４には、光ディスク基板用
空気吸出孔２１、内周マスク用空気吸出孔２２及び外周
マスク用空気吸出孔２０とに、それぞれ軸線を一致させ
て連結された空気吸出管１３が埋設されている。なお、
空気吸出管１３には、図示しない真空ポンプが連結され
ている。 【００４１】以上のように構成されたマスク取扱治具
４、内周マスク部材３及び外周マスク部材２とを備える
光ディスク取扱装置１による光ディスク基板５、内周マ
スク部材３及び外周マスク部材２の取扱い動作について
以下説明する。光ディスク取扱装置１は、真空ポンプが
駆動されて、マスク取扱治具４に穿設されたそれぞれの
空気吸出管１３から空気を吸い出すことにより、光ディ
スク基板５、内周マスク部材３及び外周マスク部材２と
をそれぞれ独立して保持する。 【００４２】光ディスク基板５は、内周マスク部材３と
外周マスク部材２とが取り付けられた状態において、マ
スク取扱治具４に穿設された光ディスク基板用空気吸出
孔２２を介して空気が吸い出されることにより、マスク
取扱治具４によって保持される。すなわち、上述したよ
うに、光ディスク基板５には、その中心穴に円形凸部を
嵌合することによって内周マスク部材３が取り付けられ
ている。そして、この内周マスク部材３には、マスク取
扱治具４に設けた光ディスク基板吸着用のゴムパッド１
６が、空気吸出孔１１に漏斗状開口部７３を連通するよ
うにして接合される。空気吸出孔１１は、光ディスク基
板５との接合面に設けた環状凹部１０と連通している。 【００４３】したがって、真空ポンプが駆動されると、
第３空気吸出孔２２からは、ゴムパッド１６の漏斗状開
口部７３ー空気吸出孔１１ー環状凹部１０のルートを介
して、環状凹部１０によって構成された光ディスク基板
５と内周マスク部材３との密閉空間部より空気が吸い出
される。これによって、この密閉空間部には、真空吸着
力が発生し、光ディスク基板５は、内周マスク部材３を
介してマスク取扱治具４によって保持される。なお、こ
の場合、ゴムパッド１６は、漏斗状開口部７３が弾性変
形して、内周マスク部材３の主面にしっかりと密着し、
光ディスク基板５、内周マスク部材３、外周マスク部材
２及びマスク取扱治具４とのよって構成される空間、換
言すれば光ディスク基板５の成膜空間に気流を生じさせ
ない。 【００４４】内周マスク部材３は、真空ポンプが起動さ
れることにより、マスク取扱治具４に保持される。すな
わち、内周マスク部材３と、その主面に接合された内周
マスク吸着ゴムパッド１７とによって構成された密閉空
間の空気は、マスク取扱治具４に穿設された内周マスク
用空気吸出孔２１から空気を吸い出される。これによっ
てこの密閉空間部には、真空吸着力が発生し、内周マス
ク部材３は、マスク取扱治具４に保持される。なお、こ
の場合、内周マスク吸着ゴムパッド１７は、漏斗状開口
部７２が弾性変形して、内周マスク部材３の主面上にし
っかりと密着し、光ディスク基板５、内周マスク部材
３、外周マスク部材２及びマスク取扱治具４とによって
構成される空間、換言すれば光ディスク基板５の成膜空
間に気流を生じさせない。 【００４５】外周マスク部材２は、真空ポンプが起動さ
れることにより、マスク取扱治具４に保持される。すな
わち、外周マスク部材２と、その主面に接合された外周
マスク吸着ゴムパッド１８とによって構成された密閉空
間の空気は、マスク取扱治具４に穿設された外周マスク
用空気吸出孔２０から空気を吸い出される。これによっ
てこの密閉空間部には、真空吸着力が発生し、外周マス
ク部材２は、マスク取扱治具４に保持される。なお、こ
の場合、外周マスク吸着ゴムパッド１８は、漏斗状開口
部７１が弾性変形して、外周マスク部材２の主面上にし
っかりと密着し、光ディスク基板５、内周マスク部材
３、外周マスク部材２及びマスク取扱治具４とによって
構成される空間、換言すれば光ディスク基板５の成膜空
間に気流を生じさせない。 【００４６】上述したように実施例の光ディスク取扱装
置１によれば、光ディスク基板５、内周マスク部材３及
び外周マスク部材２とにそれぞれ独立して空気吸出孔２
０乃至２２及び吸着ゴムパッド１６乃至１８が設けられ
ているため、内周マスク吸着ゴムパッド１７に連結され
た空気吸出孔２２のみから空気を吸い出すことにより、
内周マスク部材３だけを保持することが可能である。ま
た、外周マスク吸着ゴムパッド１８に連結された空気吸
出孔２０のみから空気を吸い出すことにより、外周マス
ク部材２だけを保持することが可能である。 【００４７】さらに、マスク取扱治具４は、光ディスク
基板５、内周マスク部材３及び外周マスク部材２とを保
持した状態において、光ディスク基板吸着ゴムパッド１
６に空気を供給して、生じている吸着力を解除すること
により、内周マスク部材３及び外周マスク部材２を保持
した状態のままで、光ディスク基板５のみの保持を解除
して、切り離すことが可能である。このため、光ディス
ク基板５にマスク部材８を取り付ける際の取扱い動作を
後述するように簡便にすることができる。 【００４８】以下、本発明の実施例に係る光ディスク取
扱装置１を用いた成膜工程について、図１に示した実施
例により詳細に説明する。光ディスク基板５に記録膜を
成膜する際に、実施例の取扱装置１と共に用いられる各
部材の構成は、概略、光ディスク基板５の主面の成膜領
域を規制するために非成膜領域を覆うマスク部材８と、
このマスク部材８を光ディスク基板５に着脱するマスク
取扱治具４と、前記マスク部材８を取り付けた光ディス
ク基板５が載置される保持台であるパレット９とにより
構成される。 【００４９】パレット９には、これらの光ディスク基板
５及びマスク部材８がパレット９上に、このパレット９
の円状凹部を介して載置されて、真空蒸着装置のパネル
上に載置される保持台である。 【００５０】実施例の光ディスク取扱装置１を用いた光
ディスク基板５の成膜工程は、次の第１の工程乃至第５
の工程を経て行われる。以下、各工程について詳細に説
明する。先ず、第１の工程は、マスク取扱治具４により
内周マスク部材３及び外周マスク部材２を保持する。マ
スク取扱治具４が内周マスク部材３及び外周マスク部材
２を保持した状態で、光ディスク基板５を保持すること
により、光ディスク基板５の内周部に内周マスク部材３
が取り付けられ、光ディスク基板５の外周部に外周マス
ク部材２が取り付けられる。そして、マスク取扱治具４
が、内周マスク部材３及び外周マスク部材２が取り付け
られた光ディスク基板５をパレット９上に切り離すこと
により、成膜領域が規制された光ディスク基板５をパレ
ット９上に載置する工程である。 【００５１】第２の工程は、上述した光ディスク基板５
に内周マスク部材３及び外周マスク部材２を取り付けて
パレット９上に載置されたこのパレット９を、真空蒸着
装置のパネル上に載置する工程である。 【００５２】第３の工程は、真空蒸着装置により、パレ
ット９上の光ディスク基板５の内周マスク部材３及び外
周マスク部材２が取り付けられることにより規制されて
いない成膜領域に記録膜を形成する工程である。 【００５３】第４の工程は、真空蒸着装置により主面に
記録膜が形成された光ディスク基板５を、真空蒸着装置
の内部から、この光ディスク基板５が取り付けられたパ
レット９と共に取り出す工程である。 【００５４】第５の工程は、光ディスク基板５に取り付
けた内周マスク部材３及び外周マスク部材２をマスク取
扱治具４によってそれぞれ保持して取り外す工程であ
る。そして、記録膜が成膜された光ディスク基板５をパ
レット９上から取り外すことにより、この光ディスク基
板５の成膜領域に記録膜を形成する成膜工程は完了す
る。 【００５５】そして、この第５の工程終了後、再び第１
の工程に戻る。光ディスク取扱装置１を用いた光ディス
ク基板５の成膜は、上述した第１の工程乃至第５の工程
を繰り返し連続して行うことにより成膜を行う。 【００５６】すなわち、光ディスク基板５の成膜工程に
おいて、実施例光ディスク取扱装置１を用いることによ
り、マスク部材８は、吸着ゴムパッド１６乃至１８を介
して取り扱われるため、マスク取扱治具４との接触によ
ってマスク部材８に付着した蒸着物質の微粉末が剥離す
ることが抑制される。さらに、マスク部材８は、マスク
取扱治具４により吸着される際に、密閉された空間から
吸い出される空気による気流が発生しないことにより、
光ディスク基板５に付着する微粉末が低減されるため
に、製造された光ディスクを高精度に製造することがで
きる。 【００５７】また、従来の第１の工程においては、光デ
ィスク基板に内周マスク部材及び外周マスク部材を取り
付ける場合、光ディスク基板をパレット上に取り付け、
光ディスク基板に内周マスク部材及び外周マスク部材を
それぞれマスク取扱治具が保持して取り付けることによ
り、パレット上に組み付けていた。上述した実施例の光
ディスク取扱装置１を用いれば、必要に応じて内周マス
ク部材３と外周マスク部材２とをそれぞれ別々に保持を
解除して、独立して着脱することができるために、第１
の工程における取扱い動作を簡便にすることが可能とな
る。 【００５８】さらに、この光ディスク取扱装置１は、金
属製のマスク取扱治具に空気吸出孔を穿設したことによ
り、このマスク取扱治具の重量が軽減される。また、光
ディスク取扱装置１は、空気を吸い出す際、密閉空間の
圧力変化を徐々に行う必要がなくなることにより、光デ
ィスク基板の成膜工程における生産効率を向上させるこ
とができる。 【００５９】 【発明の効果】上述したように本発明に係る円盤状記録
媒体の取扱装置によれば、光ディスクとの接合部に環状
凹部及びこの環状凹部に空気吸出孔を穿設した内周マス
ク部材と、内周マスク部材及び外周マスク部材に対応し
て空気吸出孔をそれぞれ穿設するとともに、この空気吸
出孔のマスク部材との対向部側には弾性変形自在な漏斗
状開口部を有する吸着部材を連結して組み付けたマスク
取扱治具とを備えて構成されることにより、成膜工程に
おける光ディスク及びマスク部材の取扱い動作が簡便に
なるとともに、信頼性が向上される。また、光ディスク
及びマスク部材の取扱いで生じる微粉末の発生が低減
し、成膜された光ディスクを高精度に製造することが可
能である。さらに、密閉空間の圧力変化を徐々に行う必
要がなくなり、生産効率を向上することが可能である。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明に係る円盤状記録媒体の取扱装置を成膜
工程において用いる状態を示す縦断面図である。 【図２】同円盤状記録媒体の取扱装置を示す分解縦断面
図である。 【図３】同円盤状記録媒体の取扱装置の要部である内周
マスク部材を示す縦断面図である。 【図４】従来の円盤状記録媒体の取扱装置を成膜工程に
おいて用いる状態を示す縦断面図である。 【図５】従来の円盤状記録媒体の取扱装置を示す分解縦
断面図である。 【図６】従来の機械式チャック法による内周マスク部材
を用いる状態を示す縦断面図である。 【図７】従来の機械式チャック法による内周マスク部材
を用いる状態を示す縦断面図である。 【図８】従来の真空吸着法による円盤状記録媒体の取扱
装置を示す縦断面図である。 【符号の説明】 １ 取扱装置 ２ 外周マスク部材 ３ 内周マスク部材 ４ マスク取扱治具 ５ 光ディスク基板 ８ マスク部材 ９ パレット １０ 光ディスク基板吸着環状凹部（環状凹部） １１ 空気吸出孔 １３ 空気吸出管 １６ 光ディスク基板吸着ゴムパッド（吸着部材） １７ 内周マスク吸着ゴムパッド（吸着部材） １８ 外周マスク吸着ゴムパッド（吸着部材） ２０ 外周マスク用空気吸出孔 ２１ 内周マスク用空気吸出孔 ２２ 光ディスク基板用空気吸出孔 ７１ 漏斗状開口部 ７２ 漏斗状開口部 ７３ 漏斗状開口部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−283290（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−161773（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−68526（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−110457（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−67924（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−37879（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−77018（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−86475（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 7/26

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】円盤状記録媒体の内周部及び外周部に取り
   付けられ、真空薄膜形成装置により円盤状記録媒体の主
   面に薄膜を形成する際に成膜領域を規制する内周マスク
   部材及び外周マスク部材とからなるマスク部材と、前記
   マスク部材を円盤状記録媒体に対して着脱するマスク取
   扱治具とを備えた円盤状記録媒体の取扱装置において、前記マスク取扱治具には、マスク部材の内周マスク部材
   及び外周マスク部材に対応してそれぞれ独立して空気を
   吸い出す空気吸出孔を穿設するとともに、この空気吸出
   孔のマスク部材との対向部側には、弾性変形自在な漏斗
   状開口部を有する吸着部材を連結して組み付けられ、 前記吸着部材の漏斗状開口部には、空気吸出孔が穿設さ
   れるとともに、該空気吸出孔が内周マスク用吸出孔及び
   外周マスク用空気吸出孔と軸線を一致させて組み付けら
   れ、 前記マスク部材の内周マスク部材には、前記マスク取扱
   治具及び漏斗状開口部の空気吸出孔と連通する空気吸出
   孔が軸線を一致させて穿設し、かつ、この空気吸出孔の
   他端が開口する環状凹部を円盤状記録媒体との接合部に
   設けたことを特徴とする円盤状記録媒体の取扱装置。