JP3377378B2 - 化学研磨剤 - Google Patents
化学研磨剤Info
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
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- C23F3/04—Heavy metals
- C23F3/06—Heavy metals with acidic solutions
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、化学研磨剤に係
り、特に鉄あるいは鉄合金の表面処理に用いる化学研磨
剤に関する。
り、特に鉄あるいは鉄合金の表面処理に用いる化学研磨
剤に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ニッケルを４２重量％含有する
鉄ニッケル合金、いわゆる４２材は、電子部品のリード
フレーム等に広く使用されている。この４２材からなる
リードフレームは、その形成段階で圧延等の処理が施さ
れるので、表面に微小な傷が発生している。また、リー
ドフレームは、電子部品作製段階で種々の熱処理を受け
るので、表面が熱酸化されて酸化被膜が形成されている
場合がある。このようなリードフレームにメッキを行う
場合、予め上記の微小な傷や酸化被膜を除去して表面を
平滑にする必要がある。
鉄ニッケル合金、いわゆる４２材は、電子部品のリード
フレーム等に広く使用されている。この４２材からなる
リードフレームは、その形成段階で圧延等の処理が施さ
れるので、表面に微小な傷が発生している。また、リー
ドフレームは、電子部品作製段階で種々の熱処理を受け
るので、表面が熱酸化されて酸化被膜が形成されている
場合がある。このようなリードフレームにメッキを行う
場合、予め上記の微小な傷や酸化被膜を除去して表面を
平滑にする必要がある。
【０００３】従来、鉄あるいは４２材のような鉄合金の
表面処理には、酸化剤としての硝酸に硫酸やリン酸を混
合した化学研磨剤が用いられていた。
表面処理には、酸化剤としての硝酸に硫酸やリン酸を混
合した化学研磨剤が用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
化学研磨剤では、化学研磨剤中の被処理金属溶解濃度が
数ｇ／ｌ程度に達すると、被処理金属の表面に酸化物残
渣（スマット）が発生し、所望の表面処理が達成できな
いとともに、外観不良が発生するという問題があった。
したがって、従来の化学研磨剤による表面処理効率は極
めて低く、処理浴の化学研磨剤を頻繁に交換する必要が
あり、操作が煩雑であった。
化学研磨剤では、化学研磨剤中の被処理金属溶解濃度が
数ｇ／ｌ程度に達すると、被処理金属の表面に酸化物残
渣（スマット）が発生し、所望の表面処理が達成できな
いとともに、外観不良が発生するという問題があった。
したがって、従来の化学研磨剤による表面処理効率は極
めて低く、処理浴の化学研磨剤を頻繁に交換する必要が
あり、操作が煩雑であった。
【０００５】本発明は上述のような事情に鑑みてなされ
たものであり、被処理金属の溶解濃度が高くなっても酸
化物残渣（スマット）の発生がなく表面処理効率が高い
とともに、作業性に優れた鉄あるいは鉄合金用の化学研
磨剤を提供することを目的とする。
たものであり、被処理金属の溶解濃度が高くなっても酸
化物残渣（スマット）の発生がなく表面処理効率が高い
とともに、作業性に優れた鉄あるいは鉄合金用の化学研
磨剤を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の化学研磨剤は、少なくとも硝酸とス
マット発生防止成分とを含有し、前記スマット発生防止
成分は、不飽和脂肪族カルボン酸とその無水物の少なく
とも１種からなり、前記硝酸の濃度Ａｍｌ／ｌと前記ス
マット発生防止成分の濃度Ｂｇ／ｌは、１０≦Ａ≦５０
０、Ａ／１０≦Ｂ≦Ａ／３の関係にあるような構成とし
た。
るために、本発明の化学研磨剤は、少なくとも硝酸とス
マット発生防止成分とを含有し、前記スマット発生防止
成分は、不飽和脂肪族カルボン酸とその無水物の少なく
とも１種からなり、前記硝酸の濃度Ａｍｌ／ｌと前記ス
マット発生防止成分の濃度Ｂｇ／ｌは、１０≦Ａ≦５０
０、Ａ／１０≦Ｂ≦Ａ／３の関係にあるような構成とし
た。
【０００７】また、本発明の化学研磨剤は、前記不飽和
脂肪族カルボン酸とその無水物がマレイン酸、イタコン
酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸であるような構成
とした。
脂肪族カルボン酸とその無水物がマレイン酸、イタコン
酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸であるような構成
とした。
【０００８】このような本発明では、硝酸が酸化剤とし
て鉄あるいは鉄合金の表面処理作用をなし、同時に、ス
マット発生防止剤が酸化物残渣であるスマットの発生原
因である物質を化学研磨剤中に溶解させる作用をなす。
て鉄あるいは鉄合金の表面処理作用をなし、同時に、ス
マット発生防止剤が酸化物残渣であるスマットの発生原
因である物質を化学研磨剤中に溶解させる作用をなす。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の最適な実施形態に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１０】本発明の化学研磨剤は、酸化剤としての硝
酸とスマット発生防止成分とを少なくとも含有する。こ
こで、スマットとは、硝酸を主体とした化学研磨剤によ
る鉄あるいは鉄化合物の表面処理において、化学研磨剤
中の被処理金属濃度が増大したときに被処理金属の表面
に生じる酸化物残渣を示す。
酸とスマット発生防止成分とを少なくとも含有する。こ
こで、スマットとは、硝酸を主体とした化学研磨剤によ
る鉄あるいは鉄化合物の表面処理において、化学研磨剤
中の被処理金属濃度が増大したときに被処理金属の表面
に生じる酸化物残渣を示す。
【００１１】本発明の化学研磨剤を構成するスマット発
生防止成分としては、不飽和脂肪族カルボン酸とその無
水物、エチレンジアミン４酢酸（ＥＤＴＡ）とその誘導
体、トリエチレンテトラアミン６酢酸（ＴＴＨＡ）のな
かの１種、あるいは、２種以上の混合物を使用する。
生防止成分としては、不飽和脂肪族カルボン酸とその無
水物、エチレンジアミン４酢酸（ＥＤＴＡ）とその誘導
体、トリエチレンテトラアミン６酢酸（ＴＴＨＡ）のな
かの１種、あるいは、２種以上の混合物を使用する。
【００１２】本発明で使用できる不飽和脂肪族カルボン
酸、および、その無水物としては、マレイン酸、無水マ
レイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、アクリル酸、
無水アクリル酸、ブテン酸、無水ブテン酸、ペンテン
酸、無水ペンテン酸、ヘキセン酸、無水ヘキセン酸、ヘ
プテン酸、無水ヘプテン酸、オクテン酸、無水オクテン
酸、デセン酸、無水デセン酸、ウンデセン酸、無水ウン
デセン酸、ドデセン酸、無水ドデセン酸、テトラデセン
酸、無水テトラデセン酸、ヘキサデセン酸、無水ヘキサ
デセン酸、オクタデセン酸、無水オクタデセン酸、アイ
コセン酸、無水アイコセン酸、ドコセン酸、無水ドコセ
ン酸、テトラコセン酸、無水テトラコセン酸、フマル
酸、シトラコン酸、メサコン酸、グルタコン酸、ジヒド
ロムコン酸、ムコン酸、アセチレンジカルボン酸、１−
プロピン−１，３−ジカルボン酸、１−ブチン−１，４
−ジカルボン酸、２−ブチン−１，４−ジカルボン酸、
２−ペンチン−１，５−ジカルボン酸、３−ヘキシン−
１，６−ジカルボン酸、５−デシン−１，１０−ジカル
ボン酸、ブタジエン−１，４−ジカルボン酸、２，４−
ヘキサジイン−１，６−ジカルボン酸、３，５−オクタ
ジイン−１，８−ジカルボン酸、８，１０−オクタデカ
ジイン−１，１８−ジカルボン酸、９，１１−アイコサ
ジイン−１，２０−ジカルボン酸、１，３，５−ヘキサ
トリイン−１，６−ジカルボン酸等を挙げることができ
る。
酸、および、その無水物としては、マレイン酸、無水マ
レイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、アクリル酸、
無水アクリル酸、ブテン酸、無水ブテン酸、ペンテン
酸、無水ペンテン酸、ヘキセン酸、無水ヘキセン酸、ヘ
プテン酸、無水ヘプテン酸、オクテン酸、無水オクテン
酸、デセン酸、無水デセン酸、ウンデセン酸、無水ウン
デセン酸、ドデセン酸、無水ドデセン酸、テトラデセン
酸、無水テトラデセン酸、ヘキサデセン酸、無水ヘキサ
デセン酸、オクタデセン酸、無水オクタデセン酸、アイ
コセン酸、無水アイコセン酸、ドコセン酸、無水ドコセ
ン酸、テトラコセン酸、無水テトラコセン酸、フマル
酸、シトラコン酸、メサコン酸、グルタコン酸、ジヒド
ロムコン酸、ムコン酸、アセチレンジカルボン酸、１−
プロピン−１，３−ジカルボン酸、１−ブチン−１，４
−ジカルボン酸、２−ブチン−１，４−ジカルボン酸、
２−ペンチン−１，５−ジカルボン酸、３−ヘキシン−
１，６−ジカルボン酸、５−デシン−１，１０−ジカル
ボン酸、ブタジエン−１，４−ジカルボン酸、２，４−
ヘキサジイン−１，６−ジカルボン酸、３，５−オクタ
ジイン−１，８−ジカルボン酸、８，１０−オクタデカ
ジイン−１，１８−ジカルボン酸、９，１１−アイコサ
ジイン−１，２０−ジカルボン酸、１，３，５−ヘキサ
トリイン−１，６−ジカルボン酸等を挙げることができ
る。
【００１３】また、本発明で使用できるエチレンジアミ
ン４酢酸（ＥＤＴＡ）の誘導体としては、Ｎ−ヒドロキ
シエチルエチレンジアミン−Ｎ，Ｎ´，Ｎ´−三酢酸、
１，２−プロピレンジアミン−Ｎ，Ｎ，Ｎ´，Ｎ´−四
酢酸、ｄ，ｌ−２，３−ジアミノブタン−Ｎ，Ｎ，Ｎ
´，Ｎ´−四酢酸、ｍｅｓｏ−２，３−ジアミノブタン
−Ｎ，Ｎ，Ｎ´，Ｎ´−四酢酸、１−フェニルエチレン
ジアミン−Ｎ，Ｎ，Ｎ´，Ｎ´−四酢酸、ｄ，ｌ−１，
２−ジフェニルエチレンジアミン−Ｎ，Ｎ，Ｎ´，Ｎ´
−四酢酸等を挙げることができる。
ン４酢酸（ＥＤＴＡ）の誘導体としては、Ｎ−ヒドロキ
シエチルエチレンジアミン−Ｎ，Ｎ´，Ｎ´−三酢酸、
１，２−プロピレンジアミン−Ｎ，Ｎ，Ｎ´，Ｎ´−四
酢酸、ｄ，ｌ−２，３−ジアミノブタン−Ｎ，Ｎ，Ｎ
´，Ｎ´−四酢酸、ｍｅｓｏ−２，３−ジアミノブタン
−Ｎ，Ｎ，Ｎ´，Ｎ´−四酢酸、１−フェニルエチレン
ジアミン−Ｎ，Ｎ，Ｎ´，Ｎ´−四酢酸、ｄ，ｌ−１，
２−ジフェニルエチレンジアミン−Ｎ，Ｎ，Ｎ´，Ｎ´
−四酢酸等を挙げることができる。
【００１４】本発明の化学研磨剤は、硝酸を１０〜５０
０ｍｌ／ｌの範囲、好ましくは、３０〜２００ｍｌ／ｌ
の範囲で含有する。硝酸濃度が１０ｍｌ／ｌ未満である
と、化学研磨剤の酸化作用が不十分であり、良好な表面
処理が行えず、また、硝酸濃度が５００ｍｌ／ｌを超え
ると、化学研磨剤の酸化作用が過剰になり、表面処理が
良好に行えず、かつコスト高となり好ましくない。そし
て、化学研磨剤中の硝酸濃度がＡｍｌ／ｌである場合、
化学研磨剤中のスマット発生防止成分の好ましい含有量
をＢｇ／ｌとすると、ＡとＢとの間には下記の（１）、
（２）の関係が成り立つことが好ましい。
０ｍｌ／ｌの範囲、好ましくは、３０〜２００ｍｌ／ｌ
の範囲で含有する。硝酸濃度が１０ｍｌ／ｌ未満である
と、化学研磨剤の酸化作用が不十分であり、良好な表面
処理が行えず、また、硝酸濃度が５００ｍｌ／ｌを超え
ると、化学研磨剤の酸化作用が過剰になり、表面処理が
良好に行えず、かつコスト高となり好ましくない。そし
て、化学研磨剤中の硝酸濃度がＡｍｌ／ｌである場合、
化学研磨剤中のスマット発生防止成分の好ましい含有量
をＢｇ／ｌとすると、ＡとＢとの間には下記の（１）、
（２）の関係が成り立つことが好ましい。
【００１５】（１） １０≦Ａ≦５００
（２） Ａ／１０≦Ｂ≦Ａ／３
化学研磨剤のスマット発生防止成分の含有量Ｂｇ／ｌ
が、上記の関係を満足する範囲に満たない場合、スマッ
ト発生の防止が不十分となり、本発明の効果が奏され
ず、一方、上記の関係を満足する範囲を超える場合、ス
マット発生防止効果は十分であるがコスト高を来たし好
ましくない。
が、上記の関係を満足する範囲に満たない場合、スマッ
ト発生の防止が不十分となり、本発明の効果が奏され
ず、一方、上記の関係を満足する範囲を超える場合、ス
マット発生防止効果は十分であるがコスト高を来たし好
ましくない。
【００１６】本発明の化学研磨剤は、硝酸とスマット発
生防止成分の他に、必要に応じて硫酸、リン酸、ほう酸
等の無機酸、界面活性剤等の添加剤を含有してもよい。
更に、グリシンのようなアミノ酸を添加して、浴中に生
成する亜硝酸イオンをガスとして放出するようにしても
よい。このような添加剤の含有量は０．０１〜１０重量
％程度が好ましい。
生防止成分の他に、必要に応じて硫酸、リン酸、ほう酸
等の無機酸、界面活性剤等の添加剤を含有してもよい。
更に、グリシンのようなアミノ酸を添加して、浴中に生
成する亜硝酸イオンをガスとして放出するようにしても
よい。このような添加剤の含有量は０．０１〜１０重量
％程度が好ましい。
【００１７】上述のような本発明の化学研磨剤を用いて
鉄あるいは鉄合金の表面処理を行う場合、処理浴の温度
に特に制限はないが、例えば、２０〜６０℃の範囲に設
定することができる。
鉄あるいは鉄合金の表面処理を行う場合、処理浴の温度
に特に制限はないが、例えば、２０〜６０℃の範囲に設
定することができる。
【００１８】本発明の化学研磨剤は、上述のように、酸
化剤としての硝酸と、スマット発生防止成分を含有して
いるため、硝酸によって被処理金属である鉄あるいは鉄
合金の表面処理がなされ、同時に、スマット発生防止成
分がスマットの発生原因である物質を化学研磨剤中に溶
解する作用をなす。したがって、従来の化学研磨剤では
スマットの発生が見られるような濃度まで化学研磨剤中
の被処理金属溶解濃度が増大しても、本発明の化学研磨
剤はスマットの発生を起こすことなく安定した表面処理
を行うことができる。
化剤としての硝酸と、スマット発生防止成分を含有して
いるため、硝酸によって被処理金属である鉄あるいは鉄
合金の表面処理がなされ、同時に、スマット発生防止成
分がスマットの発生原因である物質を化学研磨剤中に溶
解する作用をなす。したがって、従来の化学研磨剤では
スマットの発生が見られるような濃度まで化学研磨剤中
の被処理金属溶解濃度が増大しても、本発明の化学研磨
剤はスマットの発生を起こすことなく安定した表面処理
を行うことができる。
【００１９】また、本発明の化学研磨剤では、スマット
発生防止成分として不飽和脂肪族カルボン酸やその無水
物を使用することによって、被処理金属の光沢が向上
し、かつ、被処理金属の表面平滑性をより良好なものと
することができる。
発生防止成分として不飽和脂肪族カルボン酸やその無水
物を使用することによって、被処理金属の光沢が向上
し、かつ、被処理金属の表面平滑性をより良好なものと
することができる。
【００２０】
【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。 （実施例１）まず、スマット発生防止成分として下記の
物質を準備した。
明する。 （実施例１）まず、スマット発生防止成分として下記の
物質を準備した。
【００２１】
・マレイン酸 ・無水マレイン酸
・イタコン酸 ・無水イタコン酸
・酢酸 ・プロピオン酸
・酒石酸 ・コハク酸
・クエン酸 ・リンゴ酸
・ニコチン酸 ・イミノニ酢酸
・ニトリロ三酢酸 ・グリコール酸
・エチレンジアミン４酢酸（ＥＤＴＡ）２ナトリウム
・Ｎ−ヒドロキシエチルエチレンジアミン−Ｎ，Ｎ´，
Ｎ´−三酢酸（ＥＤＴＡ誘導体）（帝国化学（株）製
Ｃｌｅｗａｔ ＯＨ−３００） ・アジピン酸、グルタル酸およびコハク酸の混合物（Ｂ
ＡＳＦ社製Ｓｏｋａｌａｎ ＤＣＳ） ・ジエチレントリアミン五酢酸（ＤＴＰＡ） ・トリエチレンテトラアミン６酢酸（ＴＴＨＡ） ・Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）イミノ二酢酸二ナトリ
ウム（帝国化学（株）製 Ｃｌｅｗａｔ Ｂｉ−ＨＤ
Ｓ） ・エチレンジアミン四酢酸三トリエタノールアミン（帝
国化学（株）製 Ｃｌｅｗａｔ ＢＭ） 次に、上記のスマット発生防止成分を用いて、下記の組
成の化学研磨剤を調製した。尚、スマット発生防止成分
の含有量は１０ｇ／ｌと５０ｇ／ｌの２種とし、使用し
たスマット発生防止成分が２２種であるので、合計４４
種の化学研磨剤を調製した。
Ｎ´−三酢酸（ＥＤＴＡ誘導体）（帝国化学（株）製
Ｃｌｅｗａｔ ＯＨ−３００） ・アジピン酸、グルタル酸およびコハク酸の混合物（Ｂ
ＡＳＦ社製Ｓｏｋａｌａｎ ＤＣＳ） ・ジエチレントリアミン五酢酸（ＤＴＰＡ） ・トリエチレンテトラアミン６酢酸（ＴＴＨＡ） ・Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）イミノ二酢酸二ナトリ
ウム（帝国化学（株）製 Ｃｌｅｗａｔ Ｂｉ−ＨＤ
Ｓ） ・エチレンジアミン四酢酸三トリエタノールアミン（帝
国化学（株）製 Ｃｌｅｗａｔ ＢＭ） 次に、上記のスマット発生防止成分を用いて、下記の組
成の化学研磨剤を調製した。尚、スマット発生防止成分
の含有量は１０ｇ／ｌと５０ｇ／ｌの２種とし、使用し
たスマット発生防止成分が２２種であるので、合計４４
種の化学研磨剤を調製した。
【００２２】
化学研磨剤の組成
・９８％硫酸 … １００ｍｌ／ｌ
・６７．５％硝酸 … １５０ｍｌ／ｌ
・グリシン … ２０ｇ／ｌ
・スマット発生防止成分 … １０または５０ｇ／ｌ
また、スマット発生防止成分を含有しない他は、上記の
組成と同じ組成をもつ化学研磨剤を調製した。
組成と同じ組成をもつ化学研磨剤を調製した。
【００２３】次いで、上記の各化学研磨剤を使用して、
４２材（鉄ニッケル（５８／４２）合金）の表面処理を
下記の条件で行い、４２材上へのスマットの発生の有無
を観察して結果を下記の表１および表２に示した。
４２材（鉄ニッケル（５８／４２）合金）の表面処理を
下記の条件で行い、４２材上へのスマットの発生の有無
を観察して結果を下記の表１および表２に示した。
【００２４】表面処理条件
・処理浴の温度 ： ４０℃
・浴中の被処理金属溶解濃度 ： ２０ｇ／ｌとなるま
で表面処理実施 ・曝 気 ： ２時間
で表面処理実施 ・曝 気 ： ２時間
【００２５】
【表１】
【００２６】
【表２】
表１および表２に示されるように、スマット発生防止成
分として、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、
無水イタコン酸（以上、不飽和脂肪族カルボン酸とその
無水物）、ＥＤＴＡ・２ナトリウム、帝国化学（株）製
ＣｌｅｗａｔＯＨ−３００（以上、ＥＤＴＡとその誘
導体）、ＴＴＨＡを使用した本発明の化学研磨剤は、浴
中の被処理金属溶解濃度が２０ｇ／ｌと高い状態になっ
ても、スマットを発生することなく４２材の表面処理を
安定して行うことができた。 （実施例２）スマット発生防止成分として下記の物質を
準備した。
分として、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、
無水イタコン酸（以上、不飽和脂肪族カルボン酸とその
無水物）、ＥＤＴＡ・２ナトリウム、帝国化学（株）製
ＣｌｅｗａｔＯＨ−３００（以上、ＥＤＴＡとその誘
導体）、ＴＴＨＡを使用した本発明の化学研磨剤は、浴
中の被処理金属溶解濃度が２０ｇ／ｌと高い状態になっ
ても、スマットを発生することなく４２材の表面処理を
安定して行うことができた。 （実施例２）スマット発生防止成分として下記の物質を
準備した。
【００２７】
・マレイン酸 ・無水マレイン酸
・イタコン酸 ・無水イタコン酸
・エチレンジアミン４酢酸（ＥＤＴＡ）２ナトリウム
・Ｎ−ヒドロキシエチルエチレンジアミン−Ｎ，Ｎ´，
Ｎ´−三酢酸（ＥＤＴＡ誘導体）（帝国化学（株）製
Ｃｌｅｗａｔ ＯＨ−３００） ・トリエチレンテトラアミン６酢酸（ＴＴＨＡ） 次に、上記のスマット発生防止成分を用いて、下記の組
成の化学研磨剤を調製した。尚、硝酸の含有量（Ａｇ／
ｌ）とスマット発生防止成分の含有量（Ｂｇ／ｌ）、お
よび、１０≦Ａ≦５００、Ａ／１０≦Ｂ≦Ａ／３となる
関係が成立するか否かを下記の表３および表４に示し
た。
Ｎ´−三酢酸（ＥＤＴＡ誘導体）（帝国化学（株）製
Ｃｌｅｗａｔ ＯＨ−３００） ・トリエチレンテトラアミン６酢酸（ＴＴＨＡ） 次に、上記のスマット発生防止成分を用いて、下記の組
成の化学研磨剤を調製した。尚、硝酸の含有量（Ａｇ／
ｌ）とスマット発生防止成分の含有量（Ｂｇ／ｌ）、お
よび、１０≦Ａ≦５００、Ａ／１０≦Ｂ≦Ａ／３となる
関係が成立するか否かを下記の表３および表４に示し
た。
【００２８】
化学研磨剤の組成
・９８％硫酸 … １００ｍｌ／ｌ
・硝酸 … Ａｍｌ／ｌ
・グリシン … ２０ｇ／ｌ
・スマット発生防止成分 … Ｂｇ／ｌ
次いで、上記の各化学研磨剤を使用して、４２材（鉄ニ
ッケル（５８／４２）合金）の表面処理を実施例１と同
様の条件で行い、４２材上へのスマットの発生の有無、
４２材の処理面の光沢性、表面平滑性を評価して結果を
下記の表３および表４に示した。尚、４２材の光沢性お
よび表面平滑性は下記のようにして評価した。
ッケル（５８／４２）合金）の表面処理を実施例１と同
様の条件で行い、４２材上へのスマットの発生の有無、
４２材の処理面の光沢性、表面平滑性を評価して結果を
下記の表３および表４に示した。尚、４２材の光沢性お
よび表面平滑性は下記のようにして評価した。
【００２９】光沢性の評価方法
あらかじめアルカリ性の脱脂剤で陰極電解脱脂した４２
材を４０℃に加温した処理浴に１分間浸漬し、その後水
洗して乾燥する。こうして処理した４２材表面の光沢性
を目視により以下の基準で評価した。
材を４０℃に加温した処理浴に１分間浸漬し、その後水
洗して乾燥する。こうして処理した４２材表面の光沢性
を目視により以下の基準で評価した。
【００３０】◎：処理前の表面より光沢がある。
【００３１】○：処理前の表面と同等の光沢。
【００３２】△：処理前の表面より光沢が劣る。
【００３３】×：明らかに光沢のない表面であるがメッ
キ面としての実用性は問題なし。
キ面としての実用性は問題なし。
【００３４】平滑性の評価方法
あらかじめアルカリ性の脱脂剤で陰極電解脱脂した４２
材を４０℃に加温した処理浴に１分間浸漬し、その後水
洗して乾燥する。こうして処理した４２材表面の平滑性
を目視により以下の基準で評価した。
材を４０℃に加温した処理浴に１分間浸漬し、その後水
洗して乾燥する。こうして処理した４２材表面の平滑性
を目視により以下の基準で評価した。
【００３５】◎：処理前の表面より平滑。
【００３６】○：処理前の表面と同等の平滑性。
【００３７】△：処理前の表面より荒れている。
【００３８】×：著しく粗化されているがメッキ面とし
ての実用性は問題なし。
ての実用性は問題なし。
【００３９】
【表３】
【００４０】
【表４】
表３および表４に示されるように、スマット発生防止成
分として不飽和脂肪族カルボン酸とその無水物、エチレ
ンジアミン４酢酸とその誘導体、トリエチレンテトラア
ミン６酢酸とその誘導体の少なくとも１種を使用し、か
つ、硝酸の濃度Ａｍｌ／ｌとスマット発生防止成分の濃
度Ｂｇ／ｌとの間に、１０≦Ａ≦５００、Ａ／１０≦Ｂ
≦Ａ／３となる関係が存在する本発明の化学研磨剤は、
４２材に対してスマットを発生することなく良好な表面
処理を行うことができ、かつ、研磨力およびコストの点
でも問題のないものであった。
分として不飽和脂肪族カルボン酸とその無水物、エチレ
ンジアミン４酢酸とその誘導体、トリエチレンテトラア
ミン６酢酸とその誘導体の少なくとも１種を使用し、か
つ、硝酸の濃度Ａｍｌ／ｌとスマット発生防止成分の濃
度Ｂｇ／ｌとの間に、１０≦Ａ≦５００、Ａ／１０≦Ｂ
≦Ａ／３となる関係が存在する本発明の化学研磨剤は、
４２材に対してスマットを発生することなく良好な表面
処理を行うことができ、かつ、研磨力およびコストの点
でも問題のないものであった。
【００４１】また、スマット発生防止成分としてマレイ
ン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸
（不飽和脂肪族カルボン酸とその無水物）を使用した場
合、表面処理後の４２材の光沢性、表面平滑性が特に良
好であった。
ン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸
（不飽和脂肪族カルボン酸とその無水物）を使用した場
合、表面処理後の４２材の光沢性、表面平滑性が特に良
好であった。
【００４２】
【発明の作用および効果】以上詳述したように、本発明
によれば不飽和脂肪族カルボン酸とその無水物、エチレ
ンジアミン４酢酸とその誘導体、トリエチレンテトラア
ミン６酢酸の少なくとも１種からなるスマット発生防止
成分と、硝酸とを少なくとも含有するような化学研磨剤
とし、硝酸の濃度Ａｍｌ／ｌとスマット発生防止成分の
濃度Ｂｇ／ｌとの間に、１０≦Ａ≦５００、Ａ／１０≦
Ｂ≦Ａ／３となる関係をもたせるので、硝酸が酸化剤と
して鉄あるいは鉄合金の表面処理作用をなし、同時に、
スマット発生防止成分が酸化物残渣（スマット）の発生
原因である物質を化学研磨剤中に溶解させる作用をな
し、これにより、化学研磨剤中の鉄あるいは鉄合金の溶
解濃度が高くなっても酸化物残渣（スマット）を発生す
ることなく表面処理を行うことができ、処理の効率が高
く作業性に優れるという効果が奏される。
によれば不飽和脂肪族カルボン酸とその無水物、エチレ
ンジアミン４酢酸とその誘導体、トリエチレンテトラア
ミン６酢酸の少なくとも１種からなるスマット発生防止
成分と、硝酸とを少なくとも含有するような化学研磨剤
とし、硝酸の濃度Ａｍｌ／ｌとスマット発生防止成分の
濃度Ｂｇ／ｌとの間に、１０≦Ａ≦５００、Ａ／１０≦
Ｂ≦Ａ／３となる関係をもたせるので、硝酸が酸化剤と
して鉄あるいは鉄合金の表面処理作用をなし、同時に、
スマット発生防止成分が酸化物残渣（スマット）の発生
原因である物質を化学研磨剤中に溶解させる作用をな
し、これにより、化学研磨剤中の鉄あるいは鉄合金の溶
解濃度が高くなっても酸化物残渣（スマット）を発生す
ることなく表面処理を行うことができ、処理の効率が高
く作業性に優れるという効果が奏される。
【００４３】また、スマット発生防止成分を不飽和脂肪
族カルボン酸とその無水物の少なくとも１種とすること
により、被処理金属である鉄あるいは鉄合金の表面光沢
および平滑性がより向上するという効果が奏される。
族カルボン酸とその無水物の少なくとも１種とすること
により、被処理金属である鉄あるいは鉄合金の表面光沢
および平滑性がより向上するという効果が奏される。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−79983（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−18472（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−116757（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−219000（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C23F 1/00 - 3/06
C23G 1/00 - 1/36
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも硝酸とスマット発生防止成分
とを含有し、前記スマット発生防止成分は、不飽和脂肪
族カルボン酸とその無水物の少なくとも１種からなり、
前記硝酸の濃度Ａｍｌ／ｌと前記スマット発生防止成分
の濃度Ｂｇ／ｌは、１０≦Ａ≦５００、Ａ／１０≦Ｂ≦
Ａ／３の関係にあることを特徴とする化学研磨剤。 - 【請求項２】 前記不飽和脂肪族カルボン酸とその無水
物は、マレイン酸、イタコン酸、無水マレイン酸、無水
イタコン酸であることを特徴とする請求項１に記載の化
学研磨剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26775396A JP3377378B2 (ja) | 1996-09-19 | 1996-09-19 | 化学研磨剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26775396A JP3377378B2 (ja) | 1996-09-19 | 1996-09-19 | 化学研磨剤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1096089A JPH1096089A (ja) | 1998-04-14 |
| JP3377378B2 true JP3377378B2 (ja) | 2003-02-17 |
Family
ID=17449110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26775396A Expired - Lifetime JP3377378B2 (ja) | 1996-09-19 | 1996-09-19 | 化学研磨剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3377378B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013210687B4 (de) | 2013-06-07 | 2018-12-06 | Siltronic Ag | Verfahren zur Regelung des Durchmessers eines Einkristalls auf einen Solldurchmesser |
| CN104131301B (zh) * | 2014-07-01 | 2015-10-28 | 安徽宏发节能设备有限公司 | 一种添加杀菌防腐剂的适用于钢铁的抛光液及其制备方法 |
-
1996
- 1996-09-19 JP JP26775396A patent/JP3377378B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1096089A (ja) | 1998-04-14 |
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