JP3373165B2 - 液溜まり防止コネクタ− - Google Patents
液溜まり防止コネクタ−Info
- Publication number
- JP3373165B2 JP3373165B2 JP03328299A JP3328299A JP3373165B2 JP 3373165 B2 JP3373165 B2 JP 3373165B2 JP 03328299 A JP03328299 A JP 03328299A JP 3328299 A JP3328299 A JP 3328299A JP 3373165 B2 JP3373165 B2 JP 3373165B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- plug
- valve
- passage
- socket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液溜まり防止コネク
タ−、より詳細には、ＬＳＩやＶＬＳＩ等のチップの洗
浄や、バイオテクノロジ−関係の器具の高圧蒸気殺菌等
に用いる電気抵抗率の大きい超純水その他の液を、給液
ラインから分岐ラインを経てその末端のスプレ−ノズル
等に供給するに当たり、該分岐ラインに取り付ける送液
用のコネクタ−で、不使用時において液溜まりを起こさ
ない液溜まり防止コネクタ−に関するものである。
タ−、より詳細には、ＬＳＩやＶＬＳＩ等のチップの洗
浄や、バイオテクノロジ−関係の器具の高圧蒸気殺菌等
に用いる電気抵抗率の大きい超純水その他の液を、給液
ラインから分岐ラインを経てその末端のスプレ−ノズル
等に供給するに当たり、該分岐ラインに取り付ける送液
用のコネクタ−で、不使用時において液溜まりを起こさ
ない液溜まり防止コネクタ−に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記チップの洗浄工程を例にとると、そ
れは、スピンスプレ−によって超純水をチップ表面に勢
いよく噴射し、ダイシング工程によってチップに付着し
た削りかす等を飛ばして洗浄するものであって、その場
合超純水は、メイン給液ライン、分岐ライン、送液用コ
ネクタ−を経てスプレ−から噴射される。そして、送液
用コネクタ−内に残った超純水は、当該ライン不使用時
にはそのまま滞留することになる。
れは、スピンスプレ−によって超純水をチップ表面に勢
いよく噴射し、ダイシング工程によってチップに付着し
た削りかす等を飛ばして洗浄するものであって、その場
合超純水は、メイン給液ライン、分岐ライン、送液用コ
ネクタ−を経てスプレ−から噴射される。そして、送液
用コネクタ−内に残った超純水は、当該ライン不使用時
にはそのまま滞留することになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
送液用コネクタ−の場合は、ライン不使用時にコネクタ
−内に超純水等の液が残って滞留し、不使用状態が長時
間に亘る場合には雑菌が発生する虞があり、その後の使
用に支障を来たす。そこで本発明は、不使用時において
コネクタ−内に液が滞留することがないために雑菌が発
生する虞がない、超純水等の液溜まり防止コネクタ−を
提供することを課題とする。
送液用コネクタ−の場合は、ライン不使用時にコネクタ
−内に超純水等の液が残って滞留し、不使用状態が長時
間に亘る場合には雑菌が発生する虞があり、その後の使
用に支障を来たす。そこで本発明は、不使用時において
コネクタ−内に液が滞留することがないために雑菌が発
生する虞がない、超純水等の液溜まり防止コネクタ−を
提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、プラグとこれ
に脱着可能に結合されるソケットから成る送液用のコネ
クタ−であって、前記プラグは、その通液路に、前記ソ
ケットとの結合時には通液口を開き非結合時には前記通
液口を閉じるバルブを備えると共に、前記結合時には前
記バルブによって閉塞され前記非結合時には前記バルブ
の移動に伴って開口されるオリフィスを、前記通液路か
ら外方に向けて形成したことを特徴とする液溜まり防止
コネクタ−、を以て上記課題を解決した。
に脱着可能に結合されるソケットから成る送液用のコネ
クタ−であって、前記プラグは、その通液路に、前記ソ
ケットとの結合時には通液口を開き非結合時には前記通
液口を閉じるバルブを備えると共に、前記結合時には前
記バルブによって閉塞され前記非結合時には前記バルブ
の移動に伴って開口されるオリフィスを、前記通液路か
ら外方に向けて形成したことを特徴とする液溜まり防止
コネクタ−、を以て上記課題を解決した。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を添付図面に
依拠して説明する。図１は本発明に係るコネクタ−の縦
断面を示すもので、図中１はメイン給液ライン２に接続
された分岐ライン３に取り付けられるプラグで（図３参
照）、上下に貫通する通液路４を有し、通液路４の下部
に、通液口５を開閉するバルブ６を摺動可能にして備え
る。通液口５は、プラグ１の下面に突設されていて後述
するソケット２１内に嵌合する頸部７の下面に形成され
る。頸部７の外周面には周溝７ａが形成される。
依拠して説明する。図１は本発明に係るコネクタ−の縦
断面を示すもので、図中１はメイン給液ライン２に接続
された分岐ライン３に取り付けられるプラグで（図３参
照）、上下に貫通する通液路４を有し、通液路４の下部
に、通液口５を開閉するバルブ６を摺動可能にして備え
る。通液口５は、プラグ１の下面に突設されていて後述
するソケット２１内に嵌合する頸部７の下面に形成され
る。頸部７の外周面には周溝７ａが形成される。
【０００６】通液路４の中程にはストッパ−８が設置さ
れ、ストッパ−８とバルブ６との間にバルブスプリング
９が配装される。バルブスプリング９は常時バルブ６を
加圧し、バルブ６が、その先端部に取り付けられたＯリ
ング１０が通液路４下端部の内側面に密着することによ
って通液口５を閉塞するよう作用する。バルブ６は中空
形状であって、その内側から外側に抜ける流路１１を備
える。
れ、ストッパ−８とバルブ６との間にバルブスプリング
９が配装される。バルブスプリング９は常時バルブ６を
加圧し、バルブ６が、その先端部に取り付けられたＯリ
ング１０が通液路４下端部の内側面に密着することによ
って通液口５を閉塞するよう作用する。バルブ６は中空
形状であって、その内側から外側に抜ける流路１１を備
える。
【０００７】プラグ１には更に、一端が通液路４に開口
し、他端がプラグ１外に向くホ−ス接続口１３に開口す
るオリフィス１２が形成される。オリフィス１２は、そ
の通液路４側開口部が、図１に示す通液口５の閉状態時
においてはバルブ６の外周面から外れて開口し、図２に
示す通液口５の開状態時においてはバルブ６の外周面に
よって閉塞される位置にあるように形成される。ホ−ス
接続口１３には、集液ライン１４に接続される回収ホ−
ス１５が接続される（図３参照）。
し、他端がプラグ１外に向くホ−ス接続口１３に開口す
るオリフィス１２が形成される。オリフィス１２は、そ
の通液路４側開口部が、図１に示す通液口５の閉状態時
においてはバルブ６の外周面から外れて開口し、図２に
示す通液口５の開状態時においてはバルブ６の外周面に
よって閉塞される位置にあるように形成される。ホ−ス
接続口１３には、集液ライン１４に接続される回収ホ−
ス１５が接続される（図３参照）。
【０００８】図２は、プラグ１に、スプレ−等が接続さ
れるソケット２１を結合した状態を示す図である。ソケ
ット２１はソケット本体２２とスリ−ブ２３とから成
り、ソケット本体２２は、上面にプラグ１の頸部７が嵌
合する凹陥部２４を有すると共に、凹陥部２４から底面
に抜ける通液路２５を備え、通液路２５内に、バルブ６
と同様にスプリング２６によって付勢されるバルブ２７
が配備される。このバルブ２７は、凹陥部２４の底面に
開口する通液口２８を開閉する。
れるソケット２１を結合した状態を示す図である。ソケ
ット２１はソケット本体２２とスリ−ブ２３とから成
り、ソケット本体２２は、上面にプラグ１の頸部７が嵌
合する凹陥部２４を有すると共に、凹陥部２４から底面
に抜ける通液路２５を備え、通液路２５内に、バルブ６
と同様にスプリング２６によって付勢されるバルブ２７
が配備される。このバルブ２７は、凹陥部２４の底面に
開口する通液口２８を開閉する。
【０００９】更に、凹陥部２４の側面に、若干外向きに
拡開するテ−パ孔が並設され、そこにおいてボ−ル２９
が、一部が内方にはみ出た状態にて支持される。このボ
−ル２９は、プラグ１とソケット２１の結合時に頸部７
の周溝７ａに係合することにより、プラグ１とソケット
２１の確固たる結合を達成する役目を果たす。
拡開するテ−パ孔が並設され、そこにおいてボ−ル２９
が、一部が内方にはみ出た状態にて支持される。このボ
−ル２９は、プラグ１とソケット２１の結合時に頸部７
の周溝７ａに係合することにより、プラグ１とソケット
２１の確固たる結合を達成する役目を果たす。
【００１０】スリ−ブ２３はソケット本体２２の上部
に、スプリング３０により常時押上げられた状態にて嵌
着される。その押上げられた状態のときに、スリ−ブ２
３の内周面に環状に形成された環状突部３１がボ−ル２
９を押さえ、その外方への移動を阻止し得るようになっ
ている。一方、スリ−ブ２３はスプリング３０のバネ圧
に抗して押下可能であり、押下されたときには環状突部
３１がボ−ル２９から外れて、ボ−ル２９の外方への移
動を許容するようになる。これによりボ−ル２９が周溝
７ａから脱し、以てプラグ１とソケット２１の分離が可
能となる。
に、スプリング３０により常時押上げられた状態にて嵌
着される。その押上げられた状態のときに、スリ−ブ２
３の内周面に環状に形成された環状突部３１がボ−ル２
９を押さえ、その外方への移動を阻止し得るようになっ
ている。一方、スリ−ブ２３はスプリング３０のバネ圧
に抗して押下可能であり、押下されたときには環状突部
３１がボ−ル２９から外れて、ボ−ル２９の外方への移
動を許容するようになる。これによりボ−ル２９が周溝
７ａから脱し、以てプラグ１とソケット２１の分離が可
能となる。
【００１１】プラグ１にソケット２１を結合しないとき
のバルブ６は、図１に示すように通液口５を閉じると共
にオリフィス１２を開口する。従って、分岐ライン３か
ら通液路４に供給され続ける液は、そこに滞留すること
なく、少量宛ではあるがオリフィス１２を通って流出し
続ける。流出する液は、回収ホ−ス１５を通って集液ラ
イン１４に集められて回収されるので、無駄になること
はない。
のバルブ６は、図１に示すように通液口５を閉じると共
にオリフィス１２を開口する。従って、分岐ライン３か
ら通液路４に供給され続ける液は、そこに滞留すること
なく、少量宛ではあるがオリフィス１２を通って流出し
続ける。流出する液は、回収ホ−ス１５を通って集液ラ
イン１４に集められて回収されるので、無駄になること
はない。
【００１２】プラグ１にソケット２１を結合したときの
バルブ６は、図２に示すようにソケット２１のバルブ２
７と互いに押し合うことにより、上方に移動して通液口
５を開くと共にオリフィス１２を閉塞する。従って、オ
リフィス１２側への流出は止まり、通液路４から通液路
２５への流路が形成され、末端のスプレ−等への送液が
行われる。
バルブ６は、図２に示すようにソケット２１のバルブ２
７と互いに押し合うことにより、上方に移動して通液口
５を開くと共にオリフィス１２を閉塞する。従って、オ
リフィス１２側への流出は止まり、通液路４から通液路
２５への流路が形成され、末端のスプレ−等への送液が
行われる。
【００１３】上記説明は主にチップ洗浄用超純水に関す
るものであったが、本発明に係るコネクタ−はその用途
に限定されるものではなく、飲料用水、薬液、オイル類
その他の液の送液ラインについても利用可能であること
は言うまでもない。
るものであったが、本発明に係るコネクタ−はその用途
に限定されるものではなく、飲料用水、薬液、オイル類
その他の液の送液ラインについても利用可能であること
は言うまでもない。
【００１４】
【発明の効果】本発明は上述した通りであり、簡易な構
成にして、不使用時において液の滞留が起こらないため
に液の滞留による雑菌の発生が確実に防止され、また、
不使用時において流出する液は回収されるので無駄がな
いといった効果がある。
成にして、不使用時において液の滞留が起こらないため
に液の滞留による雑菌の発生が確実に防止され、また、
不使用時において流出する液は回収されるので無駄がな
いといった効果がある。
【図１】 本発明に係る液溜まり防止コネクタ−のプラ
グの縦断面図である。
グの縦断面図である。
【図２】 本発明に係る液溜まり防止コネクタ−のプラ
グとソケットの結合状態を示す縦断面図である。
グとソケットの結合状態を示す縦断面図である。
【図３】 本発明に係る液溜まり防止コネクタ−を組み
込んだ給液ラインの概略構成図である。
込んだ給液ラインの概略構成図である。
１ プラグ
２ メイン給液ライン
３ 分岐ライン
４ 通液路
５ 通液口
６ バルブ
７ 頸部
７ａ 周溝
８ ストッパ−
９ バルブスプリング
１０ Ｏリング
１２ オリフィス
１３ ホ−ス接続口
１４ 集液ライン
１５ 回収ホ−ス
２１ ソケット
２２ ソケット本体
２３ スリ−ブ
２４ 凹陥部
２５ 通液路
２６ スプリング
２７ バルブ
２８ 通液口
Claims (3)
- 【請求項１】 プラグとこれに脱着可能に結合されるソ
ケットから成る送液用のコネクタ−であって、前記プラ
グは、その通液路に、前記ソケットとの結合時には通液
口を開き非結合時には前記通液口を閉じるバルブを備え
ると共に、前記結合時には前記バルブによって閉塞され
前記非結合時には前記バルブの移動に伴って開口される
オリフィスを、前記通液路から外方に向けて形成したこ
とを特徴とする液溜まり防止コネクタ−。 - 【請求項２】 前記オリフィスの外方端部に、流出液回
収手段を設置可能にした請求項１に記載の液溜まり防止
コネクタ−。 - 【請求項３】 前記流出液回収手段が集液ラインに接続
される回収ホ−スである請求項２に記載の液溜まり防止
コネクタ−。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03328299A JP3373165B2 (ja) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | 液溜まり防止コネクタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03328299A JP3373165B2 (ja) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | 液溜まり防止コネクタ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000230685A JP2000230685A (ja) | 2000-08-22 |
| JP3373165B2 true JP3373165B2 (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=12382189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03328299A Expired - Lifetime JP3373165B2 (ja) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | 液溜まり防止コネクタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3373165B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4036817B2 (ja) | 2003-11-11 | 2008-01-23 | 日東工器株式会社 | 管継手の継手部材及び継手部材で用いられる弁体 |
| JP2006093001A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Toshiba Corp | カプラ |
-
1999
- 1999-02-10 JP JP03328299A patent/JP3373165B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000230685A (ja) | 2000-08-22 |
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