JP3371178B2 - 搬送過負荷検出システム - Google Patents

搬送過負荷検出システム

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JP3371178B2
JP3371178B2 JP10544695A JP10544695A JP3371178B2 JP 3371178 B2 JP3371178 B2 JP 3371178B2 JP 10544695 A JP10544695 A JP 10544695A JP 10544695 A JP10544695 A JP 10544695A JP 3371178 B2 JP3371178 B2 JP 3371178B2
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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  • Control Of Conveyors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、可動搬送爪を有する搬
送機構において、該搬送爪に働く過負荷を検出する搬送
過負荷検出システムに関する。
【0002】
【従来の技術】IC製造ラインにおいて、リードカッ
ト、マーキング、ダイボンド、ワイヤーボンド、キュア
ーなどを行う装置では、複数のワーク(IC)が一括し
てキャリアに保持され、搬送及び位置決めされる。この
キャリアを搬送する機構で、搬送過負荷検出システムを
備えたものの一例を図4〜図6により説明する。
【0003】図4は従来の搬送過負荷検出システムを備
えた搬送機構の正面図、図5は通常負荷時の動作状態を
表す説明図、図6は過負荷時の動作状態を表す説明図で
ある。本体ベース1の上にはガイドレール3を介して可
動ベース5が摺動自在に設けられ、可動ベース5は本体
ベース1に固設された駆動シリンダ7の駆動軸9と結合
される。可動ベース5にはガイドレール11を介して更
に搬送爪13が摺動自在に設けられ、搬送爪13の摺動
方向両端にはスプリング15が張架される。搬送爪13
には爪部17が起立され、爪部17は図示しないキャリ
アの穴に挿入される。
【0004】可動ベース5の摺動方向両端には発光側、
受光側からなる透過センサ19、21が設けられ、透過
センサ19、21は発光側からの入射光が遮られること
で動作する。透過センサ19、21には信号線23が接
続され、信号線23は先ず固定部25で可動ベース5に
固定された後、可動ベース5の移動量分だけ弛みを持た
せ固定部27で本体ベース1に固定され、図示しない制
御装置へと配線される。搬送爪13の摺動方向両端には
遮蔽杆29が突出され、遮蔽杆29は搬送爪13が可動
ベース5に対して相対摺動した際に透過センサ19、2
1の入射光を遮るようになっている。
【0005】このように構成された従来の搬送過負荷検
出システムにおいて、通常負荷時では、図5に示すよう
に、駆動シリンダ7が駆動されることで、可動ベース5
が駆動軸9の伸長方向に摺動され、これに伴って搬送爪
13が移動され、爪部17に係合された図示しないキャ
リアが搬送爪13と同一方向に搬送された。一方、図6
に示すように、駆動軸9が伸長された際、例えば障害物
31によって搬送爪13に過負荷が作用すると、搬送爪
13が可動ベース5と相対摺動し、駆動シリンダ7側の
遮蔽杆29が透過センサ21の入射光を遮り、過負荷が
生じたことが検出された。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述の搬送過負荷検出
システムでは、透過センサ19、21からの信号線23
が固定部25、27で可動ベース5と本体ベース1に固
定されていたため、可動ベース5が図中左側へ摺動され
ると、図7(a)に示すように信号線23が本体ベース
1側へ引っ張られ、可動ベース5が中央位置になると、
図7(b)に示すように信号線23が元に戻り、可動ベ
ース5が図中右側へ摺動されると、図7(c)に示すよ
うに信号線23が大きく湾曲して上へ持ち上げられた。
このため、駆動シリンダ7のストロークが小さい場合
(数センチ程度)では、さほど問題は生じないが、スト
ロークが大きい場合(10センチ以上)では、例えば固
定部25で図8に示すように信号線23が大きく上下に
屈曲され、断線が発生する問題があった。このような問
題の対策として、フラットケーブルなどが使用されるこ
ともあったが、信号線23の屈曲を皆無にすることはで
きず、いずれは断線が生じることとなった。本発明は上
記状況に鑑みてなされたもので、可動ベースと本体ベー
スとの間に信号線を配線せずに過負荷が検出できる搬送
過負荷検出システムを提供し、断線を防止して検出機能
の信頼性向上を図ることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る搬送過負荷検出システムの構成は、本体
ベースに摺動自在に設けられる可動ベースと、該可動ベ
ースに前記摺動方向と同一方向で摺動自在に設けられる
搬送爪と、前記可動ベースに形成され前記摺動方向の両
側が傾斜面となる断面V字状の溝と、前記搬送爪に設け
られ前記摺動方向と直交する方向のシャフトと、該シャ
フトに中央部が回動自在に支持され通常時起立姿勢とな
って一端を前記溝に内接する揺動杆と、前記可動ベース
と連動する可動部以外の場所に設けられ前記摺動方向の
一方に発光側、他方に受光側を配置する透過センサと、
前記揺動杆の他端に設けられ前記揺動杆の起立姿勢で該
透過センサの発光側と受光側との間に配置されて入射光
を遮るフラグとを具備したことを特徴とするものであ
る。
【0008】
【作用】通常負荷時、可動ベースが摺動されると、これ
に伴って搬送爪が移動され、可動ベースと搬送爪とは相
対摺動しない。このため、揺動杆が起立姿勢を保持し続
け、フラグが発光側と受光側との間に配置され、過負荷
が検出されない。一方、可動ベースが摺動された際、搬
送爪に過負荷が作用すると、搬送爪が可動ベースと相対
摺動し、揺動杆の一端が溝の傾斜面を滑り上がり、揺動
杆がシャフトを中心に揺動される。揺動杆が揺動する
と、フラグが発光側と受光側とを結ぶ直線上から退くこ
とになり、発光側からの光が受光側に入射して透過セン
サが動作し、過負荷の生じたことが検出される。
【0009】
【実施例】以下、本発明に係る搬送過負荷検出システム
の好適な実施例を図面を参照して詳細に説明する。図1
は本発明搬送過負荷検出システムを備えた搬送機構の正
面図、図2は本発明搬送過負荷検出システムの要部拡大
図である。なお、図4に示した部材と同一の部材には同
一の符号を付し、重複する説明は省略する。搬送機構の
可動部(例えば可動ベース5)以外の場所、例えば本体
ベース1には透過センサ41が固設され、透過センサ4
1は可動ベース5の摺動方向一方に発光側41a、他方
に受光側41bが配置される。なお、本実施例では、受
光側41bに発光側41aからの光が入射した時に、過
負荷が生じたものと判断するように、透過センサ41が
使用される。
【0010】本体ベース1に摺動自在に設けられた可動
ベース5には、フラグベース43が固設される。フラグ
ベース43の中央部には、図2に示すように、可動ベー
ス5の摺動方向両側を傾斜面とする断面V字状の溝45
が形成されている。一方、可動ベース5に摺動自在に設
けられた搬送爪13には摺動方向に直交する方向のシャ
フト47が設けられ、シャフト47は揺動杆49の中央
部を回動自在に支持している。揺動杆49の一端には、
シャフト47と同一方向の軸で回動自在に支持された転
動子51が設けられ、転動子51は溝45に内接してい
る。
【0011】搬送爪13は、過負荷が作用しない状態
で、スプリング15によって可動ベース5の中央に配置
される。この状態で、搬送爪13に設けられたシャフト
47と、フラグベース43の溝45とは、鉛直線上に配
置される。また、揺動杆49の一端には引っ張りバネ5
3の一端が固定され、引っ張りバネ53の他端は可動ベ
ース5に固定されている。つまり、過負荷が作用しない
状態では、引っ張りバネ53により一端が引っ張られる
ことにより、揺動杆49は、転動子51を溝45に当接
させ、鉛直方向に起立した姿勢を保持するのである。
【0012】この揺動杆49の他端には遮蔽板であるフ
ラグ55が設けられ、フラグ55は揺動杆49が起立し
た状態で、透過センサ41の発光側41aと受光側41
bとを結ぶ直線上に配置される。つまり、通常負荷時で
は、フラグ55が発光側41aと受光側41bの間に配
置されることで、発光側41aからの入射光は遮られた
状態となる。
【0013】このように構成された搬送過負荷検出シス
テムの作用を説明する。図3は本発明システムにおける
過負荷時の動作状態を表す説明図である。通常負荷時で
は、従来と同様に、駆動シリンダ7が駆動されること
で、可動ベース5が駆動軸9の伸長方向に摺動され、こ
れに伴って搬送爪13が移動され、爪部17に係合され
た図示しないキャリアが搬送爪13と同一方向に搬送さ
れる。この際、可動ベース5と搬送爪13とが相対摺動
しないことにより、揺動杆49が起立姿勢を保持し続
け、フラグ55が発光側41aと受光側41bとの間に
配置されることで、過負荷は検出されない。
【0014】一方、駆動軸9が伸長された際、例えば障
害物31によって搬送爪13に過負荷が作用すると、搬
送爪13が可動ベース5と相対摺動する。搬送爪13が
可動ベース5と相対摺動することにより、転動子51が
溝45の傾斜面を滑り上がり、揺動杆49がシャフト4
7を中心に時計方向(矢印a方向)に揺動する。揺動杆
49が揺動すると、フラグ55が発光側41aと受光側
41bとを結ぶ直線上から退くことになり、発光側41
aからの光が受光側41bに入射して透過センサ41が
動作し、過負荷の生じたことが検出される。
【0015】そして、障害物が取り除かれ、又は駆動シ
リンダ7が逆方向に駆動されることにより、過負荷が作
用しなくなり、搬送爪13がスプリング15によって可
動ベース5の中央に配置されれば、再びシャフト47と
溝45とが鉛直線上に配置され、揺動杆49が引っ張り
バネ53の付勢力によって起立した姿勢となり、フラグ
55が再び発光側41aと受光側41bとの間に配置さ
れ、発光側41aからの入射光を遮って過負荷が検出さ
れなくなるのである。
【0016】上述した搬送過負荷検出システムによれ
ば、従来、可動ベース5に設けていた透過センサ19、
21(図4参照)を排除し、可動部以外の例えば本体ベ
ース1に透過センサ41を設け、この透過センサ41を
搬送爪13に設けたフラグ55により動作させるように
したので、過負荷が可動部以外で検知でき、可動ベース
5と本体ベース1とに亘って信号線を配線する必要がな
くなる。この結果、可動ベース5の移動に伴って信号線
が疲労し断線する虞れが皆無となる。また、従来システ
ムでは二組の透過センサ19、21が必要であったのに
対し、本実施例のシステムでは、可動ベース5の摺動方
向両側に発光側41aと受光側41bを配置すればよい
ので、一組の透過センサ41で過負荷の検出が可能とな
り、部材コストを低減することができる。
【0017】なお、本実施例では、透過センサ41を本
体ベース1に設けたが、透過センサ41は本体ベース1
以外の否可動部に設けるものであってもよい。また、本
実施例では、揺動杆49の一端に転動子51を設け、溝
45に対する滑動性を良好にしたが、揺動杆49の滑動
性が確保できれば、転動子51を設けず、溝45に直接
揺動杆49の一端を内接させるものであってもよい。
【0018】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る搬送過負荷検出システムによれば、従来、可動ベース
に設けていた透過センサを排除し、可動部以外に透過セ
ンサを設け、この透過センサを搬送爪に設けたフラグに
より動作させるようにしたので、過負荷が可動部以外で
検知でき、可動ベースと本体ベースとに亘って信号線を
配線する必要がなくなる。この結果、可動ベースの移動
に伴って信号線が疲労して断線する虞れがなくなり、検
出機能の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明搬送過負荷検出システムを備えた搬送機
構の正面図である。
【図2】本発明搬送過負荷検出システムの要部拡大図で
ある。
【図3】本発明システムにおける過負荷時の動作状態を
表す説明図である。
【図4】従来の搬送過負荷検出システムを備えた搬送機
構の正面図である。
【図5】通常負荷時の動作状態を表す説明図である。
【図6】過負荷時の動作状態を表す説明図である。
【図7】信号線の屈曲状態を表す説明図である。
【図8】信号線固定部の屈曲状態を表す説明図である。
【符号の説明】
1 本体ベース 5 可動ベース 13 搬送爪 41 透過センサ 41a 発光側 41b 受光側 45 溝 47 シャフト 49 揺動杆 51 転動子 53 引っ張りバネ 55 フラグ

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 本体ベースに摺動自在に設けられる可動
    ベースと、 該可動ベースに前記摺動方向と同一方向で摺動自在に設
    けられる搬送爪と、 前記可動ベースに形成され前記摺動方向の両側が傾斜面
    となる断面V字状の溝と、 前記搬送爪に設けられ前記摺動方向と直交する方向のシ
    ャフトと、 該シャフトに中央部が回動自在に支持され通常時起立姿
    勢となって一端を前記溝に内接する揺動杆と、 前記可動ベースと連動する可動部以外の場所に設けられ
    前記摺動方向の一方に発光側、他方に受光側を配置する
    透過センサと、 前記揺動杆の他端に設けられ前記揺動杆の起立姿勢で該
    透過センサの発光側と受光側との間に配置されて入射光
    を遮るフラグと、 を具備したことを特徴とする搬送過負荷検出システム。
  2. 【請求項2】 前記揺動杆の一端に回動自在に設けられ
    前記溝の傾斜面に内接する転動子を具備したことを特徴
    とする請求項1記載の搬送過負荷検出システム。
  3. 【請求項3】 前記揺動杆の一端と前記可動ベースとに
    亘って張架され前記揺動杆の一端を前記溝内に強制配置
    させる引っ張りバネを具備したことを特徴とする請求項
    1又は2記載の搬送過負荷検出システム。
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