JP3364042B2 - 高速x線ctシステムの検出器位置決め装置 - Google Patents
高速x線ctシステムの検出器位置決め装置Info
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Description
検出器位置のずれを精度良く検出し、得られたデータか
らCT画像を精度良く再構成するための高速X線CTシ
ステムの検出器位置決め装置に関する。 【0002】 【従来の技術】高速X線CTシステムは従来よりあるX
線CTスキャナのスキャン時間を、X線発生を電気的に
ON,OFFさせる電子ビーム制御方式を採用すること
により、1/60〜1/2000秒のスキャンスピード
でX線の断層撮影を行い、実現させるものである。 【0003】図3はこのX線CTシステムの構成を示
し、(a)はその検出部の平面図、(b)はその断面と
構成を示す図である。図において、1は真空容器、2は
容器1内で円周上に複数個並べられた陰極、3はその上
部に配置されたグリッド、4は陽極、5は電子ビーム、
6は照射窓、7は陽極4より発生する扇状のX線、8は
X線発生側とは異なる径で複数個円周状に配置された検
出器、9はプリアンプ、10は測定対象、11は真空ポ
ンプ、12はデータ収録装置、13はデータ処理装置、
14は計測制御装置、15はX線発生装置である。 【0004】このような構成の高速X線CTシステムに
おいて、真空容器1内に配置された複数個の円周状の陰
極2から電子ビーム5が発射され、グリッド3を通って
陽極4に衝突し、陽極4からはX線が発生する。発生し
たX線7は照射窓6を通して測定対象10を透過した
後、X線発生側の陽極4とは異径で同心円周上に複数個
並べられた検出器8で受け止められる。 【0005】検出器8はこのX線を検出し、電流信号に
変換した後、この信号はプリアンプ9で増幅し、電圧信
号としてデータ収録装置12に送り、次のデータ処理装
置13で二次元CT再構成像を得る。なお、真空容器1
は予め真空ポンプ11で所定の真空度に設定しており、
又、データの収録及びX線発生の指令は計測制御装置1
4とX線発生制御装置15により制御されて行なわれ
る。 【0006】 【発明が解決しようとする課題】従来の高速X線CTシ
ステムにおいては、検出器8の設計上の配置と実際の配
置との間には誤差があり、その違いに起因してデータ処
理装置13で得られたCT二次元再構成像にひずみが生
じ、計測精度が低下する。 【0007】本発明はこのひずみを減少させるため現有
のX線CTシステムを大幅に改造することなく又現有シ
ステムを活用して、検出器が実際に配置されている位置
情報を得るための高速X線CTシステムの検出器位置決
め装置を提供することを目的としている。 【0008】 【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、高速
X線CTシステムにおける検出器の取付位置を検出し、
位置決めをする装置として、複数の検出器の中心に回転
する回転台と、同回転台に取付けた放射線源とを備え、
回転する放射線源から較正用放射線を検出器に照射し、
その検出信号で検出器の取付位置を求め、CT再構成像
作成時のデータとする構成とする。 【0009】即ち、本発明は、中心に測定対象を挿通
し、その周囲よりX線を発射するX線発生源及び前記測
定対象を中心として円周状に配置した複数個の検出器を
備え、前記X線発生源から発射し、前記測定対象を透過
したX線を前記検出器で検出してCT再構成像を作成す
る高速X線CTシステムの検出器位置を測定する検出器
位置決め装置であって、前記複数の検出器の同じ円中心
に配置され、一定速度で回転する回転台と、同回転台上
に取付けられ、同回転台と共に回転し、かつ狭いスリッ
トをもって同スリットから較正用放射線を発射する放射
線源とを具備してなり、前記各検出器に前記放射線源よ
り前記較正用放射線を照射し、その検出信号で前記各検
出器の位置を求め、前記CT再構成像作成時のデータと
することを特徴とする高速X線CTシステムの検出器位
置決め装置を提供する。 【0010】 【作用】本発明はこのような手段により、検出器中心に
モータ駆動等により回転する台上に狭い照射スリットを
持つ放射線源が取付けられ、放射線源が一定の回転速度
で回転し、較正用放射線が順次円周状に配置され、計測
状態にした複数の検出器に照射される。各検出器ではこ
の較正用放射線を検出し、検出信号を発し、それぞれの
検出器で発生する信号のピーク間時間と、検出器が配置
されている径(長さ)が既知であるので、この径より検
出器間の実際の配置角度が求められる。この実際の配置
角度はCT画像構成プログラムに反映され、X線CTシ
ステム中にはあらかじめ設計上の検出器配置角度が入力
され、記憶されているので、この求められた実際の配置
角度で記憶されている設計上の配置角度を補正し、正し
い配置角度とする。 【0011】正しい検出器の位置が得られると、回転台
を取りのぞき、その位置に測定対象を挿通し、高速X線
CTシステムを作動させるので検出器の位置情報が正確
となり、そのためCT再構成像が高精度で歪のない像と
なる。 【0012】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて具体
的に説明する。図1は本発明の高速X線CTシステムの
検出器位置決め装置を示す図で、(a)は検出部の平面
図、(b)はその全体構成図である。図において図3に
示す従来例と同一又は相当部分には同一符号を用い、詳
しい説明は省略し、そのまま引用して本発明の特徴部分
について説明する。 【0013】本発明の特徴となる点は符号16,17,
18で示す部分であり、以下、これらの部分につき説明
する。図において、17は回転台、16は狭いスリット
を有する放射線源、18は較正用放射線であり、その他
は従来例と同じである。 【0014】前述のように本発明の実施例は先に図3で
説明した従来の高速X線CTシステムにおいて、中央に
設けた測定対象10を抜きとり、これに変えて図示省略
の駆動源で回転する回転台17を設ける。回転台17の
上端には狭いスリットを持つ放射線源16を取付け、一
定速度で回転させる構成となっている。 【0015】このような構成で放射線源16を一定速度
で回転させながら較正用放射線18を検出器8に照射す
る。放射線源16は回転しているのでその較正用放射線
18も一定速度で回転しており、このとき検出器8は連
続計測状態で較正用放射線18の信号の変化は図3に示
す様に時間的にとらえることができる。なお、図3の例
では検出器8の数は128個の例として図示している。
この実際の検出信号と検出器8が配置されている径より
各検出器8間の正しい位置を求めることができる。 【0016】上記に説明の実施例によれば、前項課題で
ある検出器位置を正確に計測する手段として、円周状に
配置した検出器8の中央にモータ駆動等により一定速度
で回転する回転台17上に狭い照射スリットを持つ放射
線源16を置き、検出器8を連続計測状態にしたところ
へ、放射線源16を一定の回転速度で回転させ、較正用
放射線18を順次検出器8に照射する。 【0017】それぞれの検出器8でこの較正用放射線1
8を受け、発生する信号のピーク間時間を測定し、検出
器8が配置されている径(長さ)は既知であるのでこの
径より検出器8間の配置角度を求めることができる。 【0018】この求められた配置角度を用いて、例えば
データ収録装置12又はデータ処理装置13にあらかじ
め設計上の配置角度を入力し、記憶させておき、測定に
より求められた検出器8の配置角度を用いて記憶してい
る設計上の配置角度を補正して正しい配置角度情報を求
め、この配置角度を用いてデータ処理装置13により二
次元CT再構成像を作成するので正確な像が作成され
る。このように検出器8の位置情報の精度が向上するの
で歪の少ない二次元再構成像を得ることができる。 【0019】 【発明の効果】以上、具体的に説明したように、本発明
によれば、高速X線CTシステムにおける検出器の取付
位置を検出し、位置決めをする装置として、複数の検出
器の中心に回転する回転台と、同回転台に取付けた放射
線源とを備え、回転する放射線源から較正用放射線を検
出器に照射し、その検出信号で検出器の取付位置を求
め、CT再構成像作成時のデータとする構成としたの
で、検出器の正しい位置情報をCT画像構成を行なうデ
ータ処理装置のプログラムに反映させることで従来より
精度のよい画像が得られる。
の検出器位置決め装置の構成図で、(a)は検出部の平
面図、(b)はその全体構成を示す図である。 【図2】本発明の一実施例に係る高速X線CTシステム
の検出器位置決め装置により得られる較正用放射線の検
出信号の説明図である。 【図3】従来の高速X線CTシステムの構成図で、
(a)は検出部の平面図、(b)はその全体構成を示す
図である。 【符号の説明】 1 真空容器 2 陰極 4 陽極 5 電子ビーム 6 照射窓 7 X線 8 検出器 10 測定対象 12 データ収録装置 13 データ処理装置 14 計測制御装置 15 X線発生制御装置 16 放射線源 17 回転台 18 較正用放射線
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 中心に測定対象を挿通し、その周囲より
X線を発射するX線発生源及び前記測定対象を中心とし
て円周状に配置した複数個の検出器を備え、前記X線発
生源から発射し、前記測定対象を透過したX線を前記検
出器で検出してCT再構成像を作成する高速X線CTシ
ステムの検出器位置を測定する検出器位置決め装置であ
って、前記複数の検出器の同じ円中心に配置され、一定
速度で回転する回転台と、同回転台上に取付けられ、同
回転台と共に回転し、かつ狭いスリットをもって同スリ
ットから較正用放射線を発射する放射線源とを具備して
なり、前記各検出器に前記放射線源より前記較正用放射
線を照射し、その検出信号で前記各検出器の位置を求
め、前記CT再構成像作成時のデータとすることを特徴
とする高速X線CTシステムの検出器位置決め装置。
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP08802695A JP3364042B2 (ja) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | 高速x線ctシステムの検出器位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH08280662A JPH08280662A (ja) | 1996-10-29 |
JP3364042B2 true JP3364042B2 (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=13931323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08802695A Expired - Fee Related JP3364042B2 (ja) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | 高速x線ctシステムの検出器位置決め装置 |
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EP2927948A1 (en) * | 2014-04-04 | 2015-10-07 | Nordson Corporation | X-ray inspection apparatus for inspecting semiconductor wafers |
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1995
- 1995-04-13 JP JP08802695A patent/JP3364042B2/ja not_active Expired - Fee Related
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