JP3346647B2 - 遮光性感光性樹脂組成物および遮光性画像の形成方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、膜深部まで十分に光硬
化する遮光性感光性樹脂組成物、遮光性感光性転写材料
を用いた遮光性画像の形成方法に関する。特に本発明の
遮光性画像の形成方法はセルフアライメント露光方式に
よるカラーフィルターの作成等に好適に用いられる。

【０００２】

【従来の技術】従来、カラーフィルターを作成するにあ
たりＲ(赤)、Ｇ(緑)、Ｂ(青)の各画素の間隙には表示コ
ントラスト向上等の目的でブラックマトリックスをＲ、
Ｇ、Ｂの各画素の間隙に形成している。その方法とし
て、クロム等の金属膜をブラックマトリックスとして用
いる方法や遮光性顔料等を分散させた感光性樹脂を用い
る方法等が知られている。何れの場合においてもそのブ
ラックマトリックスとＲ、Ｇ、Ｂの各画素はアライメン
トズレ等で発生する白ヌケ等を防止する目的で一部重な
りを有して形成される。クロム等の金属膜を用いたブラ
ックマトリックスは、金属膜を蒸着等の方法で基板上に
形成し、次にフォトレジストを使用したフォトリソとエ
ッチング工程により金属膜をパターニングする。遮光性
顔料等を分散させた感光性樹脂を用いる方法は、遮光性
顔料等を分散した感光性樹脂層を塗布や印刷等の方法で
基板上に形成し、パターン露光−現像の工程でブラック
マトリックスが形成される。

【０００３】一方で、例えば特開昭６２−９３０１に開
示されているように、この遮光性顔料等を分散させた感
光性樹脂を用いたセルフアライメント方式でブラックマ
トリックスを形成する方式がコスト、製造工程の面から
注目視されている。その方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素
が形成された基板にカーボンブラック等の黒色遮光性顔
料等を分散させた感光性樹脂層を設け、Ｒ、Ｇ、Ｂの各
画素が、フォトマスクとして作用するよう裏面から露光
し、画素の間隙にブラックマトリックスを形成する。こ
の場合、従来必要であった位置合せの手間が省け、なお
かつ白ヌケは原理上発生しない利点がある。

【０００４】このセルフアライメント方式において、裏
面からの露光時に遮光性感光性樹脂層が十分に硬化しな
い、つまり遮光性感光性樹脂層の感光波長域におけるカ
ーボン等の黒色遮光性顔料の光吸収性が大きいため、裏
面からの露光が遮光膜表面まで十分達せず光硬化不足を
生じ、結果的には得られた遮光膜の光学濃度が低くなっ
てしまう問題を有していた。

【０００５】遮光膜の膜深部まで光硬化する遮光性感光
性材料として特開平３−２７４５０３には紫外線透過性
かつ可視光不透過性のフォトレジストが開示されている
が、この場合、可視光よりも紫外部の方が透過率が大き
く、色相が黒となる化合物として満足するものは非常に
特殊であり、ある種の金属酸化物が挙げられている。し
かし、これらの金属酸化物は感光性樹脂液等への分散性
に問題があった。

【０００６】遮光材料として特開平４−１３１０５には
互いに補色関係にある二色の顔料を混合した遮光膜につ
いて開示されているが、導電性の観点から検討されたも
のであり、色相は黒となるものの紫外線領域の透過性が
改善されてはいない。

【０００７】特開昭６３−３０９９１６には複数の色相
の顔料を組合わせた遮光性感光性材料が開示されてい
る。しかし、この場合は単純に遮光性を得るために複数
の顔料を組合わせているもので、その遮光膜を深部まで
硬化させうるものではなかった。

【０００８】さらに特開平４−４０４２０や特開平４−
１９０３６２には複数の有機顔料とカーボンとの混合や
複数の有機顔料と有機黒色顔料の混合による遮光性材料
について開示されている。これらは何れも遮光材料の導
電性の観点から検討されたもので赤色と青色の組合せな
どの、互いに補色関係にある顔料の混合による疑似黒色
材にカーボン等の遮光材をさらに組合せる事により導電
性の小さな、遮光性の高いブラックマトリックスを形成
するもので、セルフアライメントによる遮光性画像形成
性についてはまだ不十分であった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明の第１の目的
は、低露光量でも膜深部まで光硬化する高光学濃度遮光
性感光性樹脂組成物及びそれを用いた転写材料を提供す
ることにある。本発明の第２の目的は、セルフアライメ
ント方式による高光学濃度の遮光性画像の形成方法を提
供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、少なく
とも（１）アルカリ可溶性バインダー、（２）光重合開
始剤、（３）エチレン性不飽和二重結合を有する付加重
合性モノマー、（４）少なくとも２種類の着色剤、を含
有する遮光性感光性樹脂組成物において、色相的に黒色
に等しいか、あるいは近く、かつ、膜厚１〜３μｍの遮
光性感光性樹脂層を形成した時に可視光領域の透過性が
２以下で、かつ、可視光領域の透過性と紫外光領域の透
過性の比が１：１から２０：１であることを特徴とする
遮光性感光性樹脂組成物、該組成物を仮支持体の上に設
けた転写材料、及びこれらの組成物もしくは転写材料を
用いた遮光性画像形成方法により達成された。以下、本
発明を詳細に説明する。

【００１１】請求項２の態様において、遮光性感光性樹
脂組成物を転写するには、少なくとも圧をかけながら通
常は加熱し、両者の膜面を密着させる。この後仮支持体
を剥離するが、この工程は、透明基板を通して露光する
前、後のいずれでも良く、現像処理の前迄に除去されて
いれば良い。

【００１２】本発明に用いられるアルカリ可溶性バイン
ダーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するポリマー、
例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４
３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２
５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−
７１０４８号の各明細書に記載されているようなメタク
リル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重
合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分
エステル化マレイン酸共重合体等があり、また側鎖にカ
ルボン酸基を有するセルローズ誘導体が挙げられる。こ
の他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加し
たものも有用である。特に好ましくは米国特許第４１３
９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレー
トと（メタ）アクリル酸の共重合体やベンジル（メタ）
アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの
多元共重合体を挙げることができる。以上のものは水不
溶性のバインダーを挙げたが、水溶性ポリマーとして、
ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキシド、ポリビ
ニルアルコール等を挙げることができる。以上の他に、
種々の性能、例えば硬化膜の強度を改良するために、現
像性等に悪影響を与えない範囲でアルカリ不溶のポリマ
ーを添加することができる。これらのポリマーとしては
アルコール可溶性ナイロンあるいはエポキシ樹脂が挙げ
られる。バインダーの遮光性感光性樹脂組成物固形分中
の固形分含有量は１０〜９５重量％で、より好ましくは
２０〜９０重量％である。１０重量％未満では感光性樹
脂層の粘着性が高すぎ、９５重量％を越えると形成され
る画像の強度及び光感度の点で劣る。

【００１３】本発明に用いられる光重合開始剤として
は、米国特許第２３６７６６０号明細書に開示されてい
るビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第２４４
８８２８号明細書に記載されているアシロインエーテル
化合物、米国特許第２７２２５１２号明細書に記載のα
−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国
特許第３０４６１２７号及び同第２９５１７５８号の各
明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第３５４９
３６７号明細書に記載のトリアリールイミダゾール二量
体とｐ−アミノケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１
６号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメ
チル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２３９８５
０号明細書に記載されているトリハロメチル−ｓ−トリ
アジン化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記
載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物等
が挙げられる。特に好ましくはトリハロメチル−ｓ−ト
リアジン、トリハロメチルオキサジアゾール、トリアリ
ールイミダゾール二量体である。光重合開始剤の光重合
性組成物固形分中の固形分含有量は０．５〜２０重量％
で、より好ましくは１〜１５重量％である。０．５重量
％未満では光感度や画像の強度が低く、２０重量％を越
えても性能への良好な効果が認められない。

【００１４】本発明に用いられるエチレン性不飽和二重
結合を有する付加重合性モノマーとしては、分子中に少
なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基をも
ち沸点が常圧で１００℃以上の化合物である。例えばポ
リエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリ
プロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェ
ノキシエチル（メタ）アクリレートなどの単官能アクリ
レートや単官能メタクリレート。ポリエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール
ジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペン
チルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリス
リトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリ
トールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ
（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ
（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アク
リロイルオキシエチル）イソシアヌレート、トリ（アク
リロイルオキシエチル）シアヌレート、グリセリントリ
（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンやグリ
セリン等の多官能アルコールにエチレンオキシドよプロ
ピレンオキシドを付加反応した後で（メタ）アクリレー
ト化したもの。特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０
−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号の各公報に記
載されているウレタンアクリレート類。特開昭４８−６
４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−
３０４９０号の各公報に記載されているポリエステルア
クリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反
応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アク
リレートやメタクリレートを挙げることができる。より
好ましくはトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリ
レート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレ
ートを挙げることができる。エチレン性不飽和二重結合
を有する付加重合性モノマーの遮光性感光性樹脂組成物
固形分中の固形分含有量は５〜５０重量％で、より好ま
しくは１０〜４０重量％である。５重量％未満では光感
度や画像の強度が低く、５０重量％を越えると感光性樹
脂層の粘着性が過剰になり好ましくない。

【００１５】本発明に用いられる少なくとも２種類以上
の着色剤としては、赤色、緑色、青色、黄色、紫色、マ
ゼンタ色、シアン色、黒色の顔料、および染料が用いら
れるが、好ましい顔料の例として、下記のものが挙げら
れる。

【００１６】赤としては、モノアゾ系、ディスアゾ系、
キサンテン系、アンスラキノン系、ペリレン系、ペリノ
ン系、キナクリドン系及びピランスロン系有機もしくは
無機顔料。これらの中では、アンスラキノン系顔料が好
ましい。

【００１７】緑としては、トリフェニルメタン系、フタ
ロシアニン系、ニトロソ系、インダミン系、モノアゾ系
及びアンスラキノン系の有機もしくは無機顔料。これら
の中では、フタロシアニン系顔料が好ましい。

【００１８】青としては、トリフェニルメタン系、フタ
ロシアニン系、アンスラキノン系、トリアリールメタン
系、ディスアゾ系及びインジゴイド系の有機もしくは無
機顔料。これらの中では、フタロシアニン系顔料が好ま
しい。

【００１９】黄としては、モノアゾ系、ディスアゾ系、
アンスラキノン系、イソインドリノン系、キノフタロン
系、ベンズイミダゾロン系及びジオキシム系の有機もし
くは無機顔料が用いられる。これらの中では、イソイン
ドリノン系顔料が好ましい。

【００２０】紫としては、キサンテン系、トリフェニル
メタン系、アンスラキノン系、モノアゾ系、ジオキサジ
ン系、キナクリドン系、インジゴイド系及びペリレン系
の有機もしくは無機顔料。これらの中では、ジオキサジ
ン系の顔料が好ましい。

【００２１】黒としては、カーボン系の顔料が好まし
い。

【００２２】これらの好ましい具体例としては、カーミ
ン６Ｂ（Ｃ．Ｉ．１２４９０）、フタロシアニングリー
ン（Ｃ．Ｉ．７４２６０）、フタロシアニンブルー
（Ｃ．Ｉ．７４１６０）、三菱カーボンブラックＭＡ−
１００、ペリレンブラック（ＢＡＳＦ Ｋ００８４、Ｋ
００８６）、シアニンブラック、＃１２０１リオノール
イエロー（Ｃ．Ｉ．２１０９０）、リオノールイエロー
ＧＲＯ（Ｃ．Ｉ．２１０９０）、シムラ−ファーストイ
エロー８ＧＦ（Ｃ．Ｉ．２１１０５）、ベンジジンイエ
ロー４Ｔ−５６４Ｄ（Ｃ．Ｉ．２１０９５）、シムラ−
ファーストレッド４０１５（Ｃ．Ｉ．１２３５５）、リ
オノールレッド７Ｂ４４０１（Ｃ．Ｉ．１５８５０）、
ファーストゲンブルーＴＧＲ−Ｌ（Ｃ．Ｉ．７４１６
０）、リオノールブルーＳＭ（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、
三菱カーボンブラックＭＡ−１００、三菱カーボンブラ
ック＃４０、ビクトリアピュアブルー（Ｃ．Ｉ．４２５
９５）、オーラミンＯ（Ｃ．Ｉ．４１０００）、カロチ
ンブリリアントフラビン（Ｃ．Ｉ．ベーシック１３）、
ローダミン６ＧＣＰ（Ｃ．Ｉ．４５１６０）、ローダミ
ンＢ（Ｃ．Ｉ．４５１７０）、サフラニンＯＫ７０：１
００（Ｃ．Ｉ．５０２４０）、エリオグラウシンＸ
（Ｃ．Ｉ．４２０８０）、ファーストブラックＨＢ
（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド
９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピ
グメント・レッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド
１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．Ｉ．
ピグメント・レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッ
ド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１５、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グ
リーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：１、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・ブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー２
２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・ブルー６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３
９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントバイオレット２３等を挙げることができる。この他
金属粉、白色顔料、蛍光顔料なども用いられる。これら
の着色剤を２種類以上混合して色相的に黒色になるよう
に用いる。

【００２３】これらの着色剤を混合する際の組合わせや
混合比は、その遮光性感光性樹脂組成物が、色相的には
黒色に等しいか、あるいは、近く、かつ、遮光性感光性
樹脂組成物層の膜厚が１〜３μｍの時、可視光領域の透
過性が２以下で、かつ、可視光領域の透過性と紫外光領
域の透過性の比が１：１から２０：１になるように選択
される。

【００２４】色相的に黒色に等しいか、あるいは、近く
とは、液晶表示パネル等の表示装置に用いられる光源
（Ｆ１０光源等）におけるＣＩＥ表色法で定義される無
彩色点が黒色であると定義され、その無彩色点のｘ、ｙ
値からの差である△ｘ、△ｙの値が、△ｘ≦０．１かつ
△ｙ≦０．１の範囲にあることと定義される。上記以外
の色相では液晶表示パネルとしての表示コントラストが
不足してしまう。

【００２５】上記の遮光性感光性樹脂組成物の可視光領
域の透過性とは、ＣＩＥ表色法で示される３刺激値の一
つであるＹ値で定義され、０．０１≦Ｙ≦２の範囲にあ
ることが好ましい。Ｙ値が２を越えると光透過性が高す
ぎ、遮光膜としての性能が不十分である。紫外光領域の
透過性とは、露光時使用する光源の３５０ｎｍ以上４０
０ｎｍ以下の発光ピーク波長での透過率（％）で定義さ
れる。光源として超高圧水銀灯を用いた場合は３６５ｎ
ｍの透過率となる。光源として超高圧水銀灯を用いる場
合、高光学濃度の遮光膜の膜深部まで光硬化させるに
は、その可視光領域の透過性と紫外光領域透過性の比、
つまりＹ値と３６５ｎｍ透過率の比が１：１から２０：
１であることが必須である。その比が２０：１を超える
と遮光膜深部まで十分に光硬化せず、十分な膜厚の遮光
膜が得られない。また、この比が１：１未満では実用膜
厚の範囲では遮光性が不十分なものしか作成できない。

【００２６】好ましい着色剤の組合わせとしては、赤色
系と青色系の互いに補色関係にある顔料混合物と黄色系
と紫色系の互いに補色関係にある顔料混合物との組合せ
や上記の混合物に更に黒色の顔料を加えた組み合わせで
ある。赤色と青色の補色関係の組合せによりＹ値２以下
の遮光膜を得ることは可能であるが、この組合せでは紫
外線領域の吸収が大きく、Ｙ値と３６５ｎｍ透過率の比
が２０：１を超えてしまい、遮光膜深部まで光硬化する
ことが困難である。また、黄色と紫色の補色関係を組合
せにおいては、Ｙ値と３６５ｎｍ透過率の比は２０：１
以下に抑えられるものの、遮光膜膜厚を３μｍを超えて
大きくしないとＹ値２以下の遮光膜を得ることができな
い。

【００２７】叉は、黄色と紫色の補色関係の組み合わせ
に更に、青色の顔料を加えることにより、Ｙ値が２以下
で、且つ、Ｙ値と３６５ｎｍ透過率の比が２０：１以下
の遮光膜を得ることができる。この場合も、黒色顔料を
上記のＹ値と３６５ｎｍ透過率の比が２０：１を超えな
い範囲で添加することによりＹ値を小さくすることが可
能である。

【００２８】このように、上記の様に顔料を組合せるこ
とにより初めて、遮光膜厚１〜３μｍ範囲内でＹ値２以
下であり、かつＹ値と３６５ｎｍ透過率の比が２０：１
以下の遮光膜が得られる。さらに遮光膜厚を大幅に変化
させること無くＹ値を小さくする（遮光性向上）させる
にはカーボン等の黒色顔料を上記のＹ値と３６５ｎｍ透
過率の比が２０：１を超えない範囲で添加することによ
り可能である。着色剤の遮光性感光性樹脂組成物固形分
中の固形分含有量は１〜５０重量％であることが好まし
い。

【００２９】以上の成分の他に、更に熱重合防止剤を添
加することが好ましい。その例としては、ハイドロキノ
ン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−ク
レゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベン
ゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−
ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メ
チル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベ
ンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。

【００３０】さらにに本発明の組成物には必要に応じて
公知の添加剤、例えば可塑剤、界面活性剤、溶剤等を添
加することができる。

【００３１】本発明の遮光性感光性樹脂組成物により形
成された遮光膜の厚さは１μｍ以上から３μｍ以下が好
ましい。１μｍ未満では遮光膜中の顔料濃度が高くな
り、現像性が悪化する。３μｍを越えると現像性悪化、
画像形成再現性悪化等の問題が発生する。この遮光膜の
膜厚は上記の範囲において任意に設定可能である。特に
カラーフィルター作成時には完成品カラーフィルターの
平坦性が良好であることが望まれ、従って、この場合は
その他の着色層（赤、青、緑の各着色層等）と同じ膜厚
に設定することが望ましい。

【００３２】本発明の遮光性感光性樹脂組成物は公知の
方法で基板上に設けることができる。具体的にはスピナ
ー、ホワイラー、ローラーコーター、カーテンコータ
ー、ナイフコーター、ワイヤーバーコーター、エクスト
ルーダー等を用いて塗布し、乾燥させ遮光性感光性樹脂
層を基板上に設ける。特に、仮支持体上に少なくとも本
発明の遮光性感光性樹脂組成物層を設けた遮光性感光性
転写材料を用いて基板上に転写する方式が好ましい。具
体的な転写材料としては特開平４−２０８９４０、特開
平５−７２７２４、特開平５−８０５０３、特開平５−
１７３３２０に記載の転写材料が用いられる。

【００３３】透明基板を通した露光（裏面露光）に際し
て、光源は遮光性感光性樹脂層の感光性に応じて選択さ
れ、超高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、ア
ルゴンレーザー等の公知の物が使用できる。特願平４−
１５０６９１に記載の様に４００ｎｍ以上の波長の光透
過率が２％以下である光学フィルター等を併用しても良
い。また、あらかじめ基板上に形成される赤色、緑色、
青色画素は特願平４−１５０６９１に記載の様に遮光性
感光性樹脂層の感光波長域における上記各画素の光透過
率が２％以下にすることが好ましい。以下、本発明を実
施例に基づいて更に詳細に説明するが、本発明はこれら
に限定されるものではない。

【００３４】

【実施例】

実施例１〜８ 厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
仮支持体の上に下記の処方Ｈ１からなる塗布液を塗布、
乾燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの熱可塑性樹脂層を設け
た。

【００３５】 熱可塑性樹脂層処方Ｈ１： メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／２８．８／１１．７／４．５、重量平均分子量＝８００００） １５．０重量部 ＢＰＥ−５００（新中村化学社製多官能アクリレート） ７．０重量部 Ｆ１７７Ｐ（大日本インキ社製フッ素系界面活性剤） ０．３重量部 メタノール ３０．０重量部 メチルエチルケトン １９．０重量部 １−メトキシ−２−プロパノール １０．０重量部

【００３６】次に上記熱可塑性樹脂層上に下記処方Ｂ１
から成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が１．６μ
ｍ厚の中間層を設けた。 分離層処方Ｂ１： ポリビニルアルコール（クラレ（株）製ＰＶＡ２０５、鹸化率＝８０％） １３０重量部 ポリビニルピロリドン（ＧＡＦコーポレーション社製ＰＶＰ、Ｋ−３０） ６０重量部 蒸留水 ２１１０重量部 メタノール １７５０重量部

【００３７】上記熱可塑性樹脂層及び中間層を有する仮
支持体の上に、下記表１の処方からなる塗布液を塗布、
乾燥させ、乾燥膜厚が２μｍの遮光性感光性樹脂層を形
成し、さらに上記遮光性感光性樹脂層の上にポリプロピ
レン（厚さ１２μｍ）の被覆シートを圧着して、実施例
１〜８の遮光性感光性転写材料を作成した。

【００３８】

【表１】

【００３９】Ｙ値は、Ｆ１０光源を用いた場合の値であ
る。

【００４０】ガラス基板（厚さ１．１ｍｍ）上に、下記
表２の処方を有する液を当業者に公知の方法で塗布し、
マスク露光、現像を行い、膜厚２μｍのＲ、Ｇ、Ｂ画素
を有するカラーフィルターを作成した。

【００４１】 表２：感光層の処方 Ｒ層 Ｇ層 Ｂ層 ────────────────────────────────── ヘ゛ンシ゛ルメタクリレート／ 60.0 60.0 60.0 メタクリル酸共重合体 （モル比＝73/27 粘度＝0.12） ペンタエリスリトール 43.2 43.2 43.2 テトラアクリレート ミヒラーズケトン 2.4 2.4 2.4 ２−（ｏ−クロロフェニル 2.5 2.5 2.5 ジフェニルイミダゾール２量体 イルガシンレッドＢＰＴ(赤色) 5.4 --- --- スーダンブルー(青色) --- 5.2 --- 銅フタロシアニン(緑色) --- --- 5.6 カーボンブラック(黒色) --- --- --- メチルセロソルブアセテート 560 560 560 メチルエチルケトン 280 280 280

【００４２】実施例１〜８の遮光性感光性転写材料の被
覆シートを剥離し、上記Ｒ、Ｇ、Ｂカラーフィルターの
それぞれのカラーフィルター面上に、遮光性感光性樹脂
層面をラミネーター（大成ラミネータ（株）製ＶＰ−Ｉ
Ｉ）を用いて加圧（０．８ｋｇ／ｃｍ²）、加熱（１３
０℃）して貼り合わせ、続いて仮支持体と熱可塑性樹脂
層との界面で剥離し、それぞれ仮支持体を除去した。

【００４３】次に、実施例１〜８について、カラーフィ
ルター面とは反対の側から超高圧水銀灯を用いて裏露光
を行った。この際、光源とサンプルの間に東芝ガラスフ
ィルター（ＵＶＤ３６ｃ）を設けて４００ｎｍ以上の波
長の光をカットした。露光量は１００mj/cm²であった。
その後、１％炭酸ナトリウム水溶液で現像して不要部を
除去し、Ｒ、Ｇ、Ｂ各画素間隙に遮光膜を形成した。出
来上がったカラーフィルターは遮光膜とＲＧＢ層との重
なりは無く、それぞれ表１に示したＹ値の高光学濃度の
遮光膜を有していた。また平坦性も、いずれの場合も±
０．１μｍと良好であった。

【００４４】比較例１ 下記処方Ｃ１からなる塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜
厚が２μｍの遮光性感光性樹脂層を形成した以外は実施
例１と同様に行った。 処方Ｃ１： ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 （モル比＝７０／３０、極限粘度＝０．１２） １１．００重量部 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート １０．６０重量部 ２，４−ビス（トリクロロメチル）−６− ［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボメチル） −３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン ０．５２重量部 カーボンブラック １．７０重量部 ハイドロキノンモノメチルエーテル ０．０１重量部 Ｆ１７７Ｐ（大日本インキ社製界面活性剤） ０．０７重量部 メチルセロソルブアセテート ４０．００重量部 メチルエチルケトン １２５．００重量部

【００４５】得られた遮光性感光性樹脂層のＹ値は光源
をＦ１０光源とした場合は、０．７となった。３６５ｎ
ｍの透過率は０．０２％となり、Ｙ値と３６５ｎｍ透過
率の比は３５：１となった。また、無彩色点からのｘ、
ｙ値の差の絶対値はそれぞれ０．０３、０．０４となっ
た。また、最終的に得られたカラーフィルターにおいて
遮光膜とＲＧＢ層との重なりは無いものの、膜深部まで
光硬化しないので、得られた遮光膜のＹ値は５であり、
光学濃度が不足していた。

【００４６】比較例２ 下記処方Ｃ２からなる塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜
厚が２μｍの遮光性感光性樹脂層を形成した以外は実施
例１と同様に行った。 処方Ｃ２： ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 （モル比＝７０／３０、極限粘度＝０．１２） １１．００重量部 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート １０．６０重量部 ２，４−ビス（トリクロロメチル）−６− ［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボメチル） −３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン ０．５２重量部 ピグメントレッド１７７ ４．００重量部 ピグメントブルー１５：６ ２．８６重量部 ハイドロキノンモノメチルエーテル ０．０１重量部 Ｆ１７７Ｐ（大日本インキ社製界面活性剤） ０．０７重量部 メチルセロソルブアセテート ４０．００重量部 メチルエチルケトン １２５．００重量部

【００４７】得られた遮光性感光性樹脂層のＹ値は光源
をＦ１０光源とした場合は、０．７となった。３６５ｎ
ｍの透過率は０．０２％となり、Ｙ値と３６５ｎｍ透過
率の比は３５：１となった。また、無彩色点からのｘ、
ｙ値の差の絶対値はそれぞれ０．０４、０．０３となっ
た。また、最終的に得られたカラーフィルターにおいて
遮光膜とＲＧＢ層との重なりは無いものの、膜深部まで
光硬化しないので、得られた遮光膜のＹ値は５であり、
光学濃度が不足していた。

【００４８】比較例３ 下記処方Ｃ３からなる塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜
厚が２μｍの遮光性感光性樹脂層を形成した以外は実施
例１と同様に行った。 処方Ｃ３： ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体 （モル比＝７０／３０、極限粘度＝０．１２） １１．００重量部 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート １０．６０重量部 ２，４−ビス（トリクロロメチル）−６− ［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボメチル） −３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン ０．５２重量部 ピグメントイエロー１３９ ２．２７重量部 ピグメントバイオレット２３ ０．３９重量部 カーボンブラック １．７０重量部 ハイドロキノンモノメチルエーテル ０．０１重量部 Ｆ１７７Ｐ（大日本インキ社製界面活性剤） ０．０７重量部 メチルセロソルブアセテート ４０．００重量部 メチルエチルケトン １２５．００重量部

【００４９】得られた遮光性感光性樹脂層のＹ値は光源
をＦ１０光源とした場合は、５．０となった。３６５ｎ
ｍの透過率は１．０％となり、Ｙ値と３６５ｎｍ透過率
の比は５：１となった。また、無彩色点からのｘ、ｙ値
の差の絶対値はそれぞれ０．０４、０．０３となった。
また、最終的に得られたカラーフィルターにおいて遮光
膜とＲＧＢ層との重なりは無く、遮光膜表面まで光硬化
したものの、得られた遮光膜のＹ値は５であり、光学濃
度が不足していた。

【００５０】

【発明の効果】本発明の、２種以上の着色材を含有する
遮光性感光性樹脂組成物を用いれば、遮光性能が高く、
白抜け等の欠陥の無い遮光性画像を、裏面からの露光
（セルフアライメント）という簡便な方法で得ることが
できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−153353（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−63870（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−190362（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−34517（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02B 5/20 101 G03F 7/00 - 7/42

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （１）透明基板上に赤、青、緑の各画素
   から成る画像を形成する工程、 （２）（１）により画像を形成した面に、少なくとも、
   アルカリ可溶性バインダー、光重合開始剤、エチレン性
   不飽和二重結合を有する付加重合性モノマー、及び少な
   くとも２種類の着色剤、を含有し、色相的に黒色に等し
   いか、あるいは近く、かつ、膜厚１〜３μｍの遮光性感
   光性樹脂層を形成した時に可視光領域の透過性が２以下
   で、かつ、可視光領域の透過性と紫外光領域の透過性の
   比が１：１から２０：１である遮光性感光性樹脂組成物
   を用いてなる遮光性感光性樹脂層を設ける工程、 （３）該透明基板を通して露光する工程、 （４）現像処理を行い、少なくとも（１）で形成した画
   像の非画素部の基板上に遮光性画像を形成する工程、 を含むことを特徴とする遮光性画像の形成方法。
2. 【請求項２】 （１）透明基板上に赤、青、緑の各画素
   から成る画像を形成する工程、 （２）（１）により画像を形成した面に、仮支持体上に
   設けられた、少なくとも、アルカリ可溶性バインダー、
   光重合開始剤、エチレン性不飽和二重結合を有する付加
   重合性モノマー、及び少なくとも２種類の着色剤、を含
   有し、色相的に黒色に等しいか、あるいは近く、かつ、
   膜厚１〜３μｍの遮光性感光性樹脂層を形成した時に可
   視光領域の透過性が２以下で、かつ、可視光領域の透過
   性と紫外光領域の透過性の比が１：１から２０：１であ
   る遮光性感光性樹脂組成物を用いてなる遮光性感光性樹
   脂層を転写する工程、 （３）該透明基板を通して露光する工程、 （４）必要に応じて仮支持体を除去した後、現像処理を
   行い、少なくとも（１）で形成した画像の非画素部の基
   板上に 遮光性画像を形成する工程、 を含むことを特徴とする遮光性画像の形成方法。
3. 【請求項３】 請求項１又は２において、該少なくとも
   ２種類の着色剤が、それぞれ着色顔料であることを特徴
   とする遮光性画像の形成方法。
4. 【請求項４】 請求項３において赤系と青系の互いに補
   色関係にある顔料混合物と、黄系と紫系の互いに補色関
   係にある顔料混合物とを混合することを特徴とする遮光
   性画像の形成方法。
5. 【請求項５】 請求項４においてさらに黒系の顔料を混
   合することを特徴とする遮光性画像の形成方法。
6. 【請求項６】 請求項３において黄系と紫系の互いに補
   色関係にある顔料混合物と、青系の顔料とを混合するこ
   とを特徴とする遮光性画像の形成方法。
7. 【請求項７】 請求項６においてさらに黒系の顔料を混
   合することを特徴とする遮光性画像の形成方法。