JP3337820B2 - 半導体素子パッケージ - Google Patents
半導体素子パッケージInfo
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Description
関し、更に詳しくは、新規なボールグリッドアレイ(ba
ll grid array:BGA)構造を有する半導体素子パッケ
ージに関する。
ネルなどの各種電子機器では、それらの主回路基板には
CPUやゲートアレイとしてクワッド・フラット・パッ
ケージ(quad flat package:QFP)が搭載されてい
る。このQFPは、所定パターンの導体回路が配線され
ている回路基板の表面にLSIなどの半導体素子を実装
し、4つの側面の全てから半導体素子のリード端子をガ
ルウイング状に引き出し、それらリード端子を除いた部
分を樹脂で封止した構造になっている。そして、これら
リード端子を一括リフローはんだ付けによって主回路基
板の入・出力端子と接続してそこに搭載される。
化の要請が強まっているが、それに伴い、搭載するQF
Pの入出力リード端子の数を増加させることが必要にな
る。そして、パッケージの外形寸法をできるだけ小型化
しようとする場合には、端子間のピッチを狭くしなけれ
ばならなくなる。しかしながら、パッケージにおける端
子間ピッチを狭くすると、一括リフローはんだ付け時
に、脇に流れたはんだによって互いに隣りあう端子が電
気的に接続することがあり、不良品の発生率は高くな
る。
して多ピン化が可能なパッケージとして、最近、BGA
構造の半導体素子パッケージが注目を集めている。この
BGA構造の半導体素子パッケージは、所定の導体回路
パターンが配線されている例えばガラス繊維−エポキシ
樹脂回路基板のようなプリント回路基板の上面に所定の
半導体素子を実装し、前記基板の配線をスルーホールを
介して回路基板の下面にまで引き出しその引き出された
配線の入・出力端子をアレイ状に配列し、それぞれの端
子に通常0.7mm程度の大きさのはんだボールをバンプ電
極として添着し、実装されている半導体素子を樹脂で封
止した構造のものである。
するに際しては、これを主回路基板の所定搭載個所に置
き、そのままの状態でリフロー炉に通す。はんだボール
は溶融し、またパッケージの自重を受けて通常200μ
m程度沈み込み、溶融したはんだボールと主回路基板の
端子とが同時に一括して接続される。このBGAパッケ
ージの場合は、端子間ピッチをQFPの場合よりも広く
とることができる。また、BGAパッケージの主回路基
板への搭載位置が正規の位置から多少ずれた場合であっ
ても、はんだのリフロー時には、はんだボールがセルフ
アライメント効果を発揮して、正規の位置でのはんだ付
けが可能になる。
は、従来のQFPに比べて、多ピン化対策として有利な
構造であり、また一括リフローはんだ付け時における不
良品の発生率も低くなり、歩留りの向上、ひいてはコス
ト低減にとって有利である。
ージを採用する際における最大の問題は、一旦、リフロ
ーはんだ付けを行ったのちは、はんだボールと主回路基
板の端子とのはんだ接合部を非破壊で外観検査すること
が極めて困難であり、また、従来からはんだ付け後の検
査時に用いられていたインサーキットテスタのプローブ
ピンを当てることができないということである。したが
って、BGAパッケージには、一括リフローはんだ付け
時に、前記はんだ接合部を確実に形成することが必要に
なる。
プリント回路基板には、基板成形後における樹脂収縮に
基づき、通常、反りが発生している。とくに、基板形状
が大型化するにつれてその反りは大きくなる傾向を示
す。また、下面の配線端子に添着されたはんだボールの
高さもばらついている。そのため、BGAパッケージの
場合、用いたプリント回路基板の反りとはんだボールの
高さのばらつきとが合算されるので、その下面、すなわ
ち、アレイ状に配列しているはんだボールの最先端は同
一水平面を形成しているわけではない。例えば、225
ピン,端子間ピッチ1.5mmのBGAパッケージの場合、
はんだボールの先端の高さは、水平面に対し130μm
程度ばらついている。
基板の所定個所に載置すると、はんだボールの全てが主
回路基板の端子と接触するわけではなく、端子から浮き
あがって離隔するはんだボールも存在することになる。
したがって、主回路基板の端子と離隔している距離が一
括リフローはんだ付け時におけるはんだボールの沈み込
み量より小さい場合には、主回路基板との間で正常なは
んだ接合部を形成することが可能である。しかし、上記
した離隔距離がはんだボールの沈み込み量よりも大きい
場合にははんだ接合部が形成されず、BGAパッケージ
搭載後の製品は不良品になってしまう。この傾向は、B
GAパッケージに用いるプリント回路基板の形状が大型
化しその反りが大きくなるにつれて多発するようにな
る。
ピン化にとって不都合な事態である。多ピン化に伴い、
用いるプリント回路基板の形状も大型化せざるを得ない
からである。本発明は、BGAパッケージにおける上記
した問題を解決し、用いるプリント回路基板が大型化し
ても、一括リフローはんだ付け時に主回路基板の端子と
の間で正常なはんだ接合部を確実に形成することができ
る半導体素子パッケージの提供を目的とする。
ために、本発明においては、主回路基板に搭載される半
導体素子パッケージにおいて、上面および下面の少なく
とも一方の実装面に半導体素子が実装されているプリン
ト回路基板と、前記プリント回路基板の周縁部に設けら
れ、前記実装面と直交する方向に離間して位置しかつ前
記主回路基板への搭載のための同一水平面を有する樹脂
成形体、若しくは前記プリント回路基板の前記周縁部に
前記同一水平面を形成するための樹脂成形体と、前記同
一水平面に設けられた電極と、前記電極と前記プリント
回路の端子とを接続する導体とを備えていることを特徴
とする半導体素子パッケージが提供される。
ト回路基板の周縁部に樹脂成形体が一体成形されて、そ
の樹脂成形体の下端面は前記プリント回路基板の下面よ
りも突設し、かつ同一の水平面を構成している。したが
って、この樹脂成形体の下端面においては、プリント回
路基板の反りは吸収された状態になっており、その下端
面に設けられたアレイ構造の電極群における高さのばら
つきは、当該電極それ自体の高さのばらつきになる。例
えば、電極がはんだバンプ電極であった場合、その高さ
のばらつきは回路基板の大きさや回路層数に関わりな
く、一般に、±20μmの範囲内におさめることができ
る。
本発明の半導体素子パッケージを主回路基板に載置した
場合、はんだバンプと主回路基板の端子との離隔距離は
±20μmの範囲内におさまる。この距離は、一括リフ
ロー時におけるはんだボール(直径約700μm)の沈
み込み量(約200μm)の範囲内にあるため、一括リ
フローはんだ付けを行った場合、主回路基板の端子との
間で確実にはんだ接合部を形成することができる。
示す断面図である。図1において、所定の回路パターン
(図示しない)が配線され、周縁部に前記回路パターン
の端子(図示しない)を有するプリント回路基板1の上
面1aには半導体素子2aがフリップチップ方式で実装
され、また下面1bには別の半導体素子2bがダイボン
ディングペースト3を介してTAB方式で実装されてい
る。
方式に限定されるものではなく、その他に、例えば、他
のベアチップ実装(ワイヤボンディング方式など)や薄
型のQFPのような表面実装部品などを採用してもよ
い。また、半導体素子は、プリント回路基板の片面だけ
に実装されていてもよい。このプリント回路基板1の周
縁部には、半導体素子2a,2bを実装している中央部
分を取り囲むようにして所望の幅と高さを有する枠型形
状をした樹脂成形体4が一体成形されている。そのた
め、プリント回路基板1の側面1cはこの樹脂成形体4
によって封止された状態になっている。
導体素子2bが実装されているプリント回路基板1の下
面よりも突設していて、しかも、同一水平面を形成して
いる。したがって、樹脂成形体4の下端面4bを例えば
定盤の上に載せた場合、樹脂成形体4はその定盤の上で
がたつくことがなく、しかも、プリント回路基板1の下
面1bに実装されている半導体素子2bが定盤と接触す
ることはない。
端面4bにかけてスルーホール5が穿設され、その壁面
には例えば銅から成るめっき層6が形成されている。し
たがって、スルーホール5の穿設によってその壁面に表
出したプリント回路基板の端子は、めっき層6を介し
て、樹脂成形体4の上端面4aと下端面4bにまで引き
出されている。
は、そのめっき層6と接触してパッド7aが配置され、
更にその上に、例えば球状はんだ7bを溶着してバンプ
電極7が形成されている。したがって、樹脂成形体4の
中には、バンプ電極7からスルーホールのめっき層6を
介してプリント回路基板4の端子までを接続する導体回
路が形成されている。
して製造することができる。その製造方法の1例を、半
導体素子の実装を最終の工程で行う場合について説明す
る。まず、図2で示したように、プリント回路基板1の
周縁部に形成すべき樹脂成形体4が2分割された形状の
溝が形成されている一対の金型8a,8bを用意する。
そして、一方の金型8aの上に、回路パターンが配線さ
れているプリント回路基板1を載置し、他の金型8bを
セットする。したがって、プリント回路基板1の周縁部
は、金型8a,8bが形成するキャビティー8cの中に
配置される。
入口8dから所定の樹脂をキャビティー8c内に注入し
てプリント回路基板1の周縁部に当該樹脂を一体成形す
る。用いる樹脂としては、機械的強度が大きく、誘電正
接が小さいものであることが好ましく、例えば、エポキ
シ樹脂,ポリフェニレンサルファイド,ポリエーテルイ
ミド,ポリエステルなどを用いることができる。また、
樹脂成形体4の機械的強度を高めるために、樹脂に例え
ばガラス繊維のチョップを所定量配合してもよい。
3で示したように、プリント回路基板1と樹脂成形体4
との一体成形品が得られる。この一体成形品において、
樹脂成形体4の上端面4a,下端面4bは、いずれも金
型の型面であるため、平坦な同一水平面になっている。
ついで、図4に示したように、樹脂成形体4の所定位置
に、上端面4aから下端面4bまでを貫通するスルーホ
ール5を穿設する。このとき、プリント回路基板1の周
縁部でスルーホール5が貫通している個所には、回路パ
ターンの端子が表出する。
成形体4の下端面4bに、公知の方法で所定の回路パタ
ーンを形成し、同時に、スルーホール5の壁面と、パッ
ドに相当する箇所に所望厚みのめっき層6とパッド7a
を形成する(図5)。パッド7aの上にはんだボールを
載せ、それをパッド7aに加熱溶着してはんだバンプ7
bとし、図6で示したように、樹脂成形体4の下端面4
bにバンプ電極7を形成する。
1aと下面1bに所定の半導体素子を実装することによ
り、図1で示した半導体素子パッケージAが得られる。
この半導体素子パッケージAは、上記した製造方法から
も明らかなように、プリント回路基板1の反りが大きい
場合であっても、プリント回路基板1は反った状態のま
までその周縁部が樹脂成形体4と一体成形されるので、
当該樹脂成形体4の下端面4bにプリント回路基板1の
反りの影響は全く現れない。また、樹脂成形体4の下端
面4bは金型8a(8b)の型面そのものであるため同
一水平面を形成している。そして、この下端面4bに形
成されるバンプ電極7の高さのばらつきは、はんだバン
プ7bの高さのばらつきであり、その値は小さい。
を主回路基板に載せて一括リフローはんだ付けを行った
場合、確実にはんだ接合部を形成することができる。ま
た、この半導体素子パッケージAの場合、プリント回路
基板1の側面1cは樹脂成形体4によって封止された状
態になっているので、プリント回路基板1の吸湿を防止
することができる。
は、実装されている半導体素子2a,2bの稼動時にお
ける熱放散を高めるために、公知のヒートスプレッダや
カバーなどを配置してもよく、また、全体を樹脂モール
ドしてもよい。 実施例2 図7は、別の実施例パッケージBの断面構造を示す断面
図である。
板1はリジッドなプリント回路基板1Aとフレキシブル
なプリント回路基板1Bとで構成されている。プリント
回路基板1Aには所定の回路パターンが配線され、上面
に半導体素子2aがダイボンディングペースト3を介し
てワイヤボンディング方式で実装されている。プリント
回路基板1Aの下面には、下面に所定の回路パターンが
配線されているプリント回路基板1Bが配置され、プリ
ント回路基板1Aの回路パターンとプリント回路基板1
Bの回路パターンは互いに接続され、下面には半導体素
子2bがダイボンディングペースト3を介してTAB方
式で実装されている。
ト回路基板1Aよりも大きく、プリント回路基板1Aの
外側の部分は下方に彎曲し、全体としてガルウィング形
状をなし、その周縁部は所望幅を有する平坦なリード部
9になっている。リード部9の下面9bは実装されてい
る半導体素子2bの下面よりも突設した位置を占め、か
つ、同一水平面を形成し、また上面9aには枠型の形状
をした樹脂成形体4が一体成形されている。
基板1Bの回路パターンのパッド7aが所定位置に配列
し、ここにはんだバンプ7bを溶着することによりバン
プ電極7が形成されている。したがって、バンプ電極7
からプリント回路基板1Bの回路パターン(導体回路)
とプリント回路基板1Aの回路パターン(導体回路)を
介して、それぞれの回路パターンの端子が接続されてい
る。
基板への実装部品や実装方法、その信頼性などの因子を
考慮して決定すればよい。この半導体素子パッケージB
は次のようにして製造することができる。その製造方法
を、半導体素子を最終の工程で実装する場合について説
明する。まず、形成すべきガルウィング形状の型面を有
する金型(雄型)10aの上に、プリント回路基板1A
の下面にプリント回路基板1Bを配設して成るプリント
回路基板1を、フレキシブルなプリント回路基板1Bが
下に位置するように載せ、この上に金型(雌型)10b
をセットする(図8)。
べき個所に所定幅の溝10cが枠状に掘られていて、ま
たリジットなプリント回路基板1Aに対向する個所はこ
のプリント回路基板1Aを液密に包み込むような凹み1
0dが掘られていて、他の部分はガルウィング形状に対
応する型面になっている。したがって、金型10bを金
型10aにセットすると、図9で示したように、フレキ
シブルプリント回路基板1Bの周縁部は金型10aの型
面に沿ってガルウィング形状に湾曲し、その周縁部9の
下端面9bは金型10aの型面に沿った平坦な同一水平
面を形成する。そして、上端面9aの上には、金型10
bの溝10cによってキャビティーが形成される。
を注入する。そのとき、キャビティー10cと凹み10
dの間は液密になっているので、注入樹脂がプリント回
路基板1Aの方に流れ込むことはない。注入樹脂の硬化
後、金型10a,10bを取り外す。その結果、図10
で示したように、プリント回路基板1Bの外側の部分は
ガルウィング形状に湾曲し、その周縁部9の上端面9a
の上には枠型形状の樹脂成形体4が一体成形される。そ
して、周縁部9の下端面9bは金型10aの型面である
ため平坦な同一水平面になっている。
プを溶着し、更に、プリント回路基板1Aとプリント回
路基板1Bのそれぞれの表面に所定の半導体素子を実装
することにより、図7で示した半導体素子パッケージB
が得られる。この半導体素子パッケージBの場合は、プ
リント回路基板1の反りは周縁部11で一体成形された
樹脂成形体4によって吸収されてしまい、下端面9bの
同一水平面を阻害しない。
としてビスマレイミドトリアジン樹脂(BTレジン)を
基材とする回路基板を用い、樹脂成形体をポリフェニレ
ンサルファイドで成形し、直径0.7mmの球状はんだを用
いて288個のバンプ電極を形成したパッケージを定盤
の上に置いて、バンプ電極の高さのばらつきを測定した
ところ、±15μmの範囲内におさまっていた。
樹脂基板の下面に、直接、同数のバンプ電極を形成した
ものの場合、バンプ電極の高さのばらつきは±60μm
の範囲内にあった。このパッケージBの場合、プリント
回路基板1の外周には樹脂成形体4が枠状に取り囲んで
形成されているので、実装されている半導体素子2aや
2bを樹脂モールドする際に、この樹脂成形体4がモー
ルド樹脂の流れ止めの働きをする。そのため、樹脂モー
ルドの際にその厚みを実装されている半導体素子2a,
2bの厚みに対応して薄くすることができ、パッケージ
全体としての厚みを薄くすることができる。
に、例えば、半導体素子の発熱によってプリント回路基
板1が熱膨張した場合であっても、プリント回路基板1
Bのガルウィング形状の部分は柔軟性に富むため、その
熱膨張を吸収してバンプ電極と主回路基板のはんだ接合
部に大きな負荷を与えない。また、プリント回路基板と
してアルミナセラミックス基板のような線熱膨張係数が
低い基板を用いることも可能であり、その場合には、例
えばフリップチップ方式で実装された半導体素子との接
合部へのストレスを低減し、そのことによって実装信頼
性を高めることができる。
す断面図である。このパッケージは、図7で示したパッ
ケージBにおいて、樹脂成形体4でリジッドなプリント
回路基板1Aの側面1cを封止した構造のものである。
このパッケージCは、パッケージBの製造時に図8,図
9で示した金型(雌型)10bの型面を図12のような
形状にすることによって容易に製造することができる。
プリント回路基板1Bのガルウィング形状の部分にも樹
脂成形体4が一体成形されているので、パッケージBに
比べて柔軟性は欠けるものの、プリント回路基板1Aの
吸湿を防止することができる。例えば、パッケージC
を、相対湿度70%,温度125℃の雰囲気下で500
時間放置し、そのときの反りを測定した。約150μm
であった。一方、プリント回路基板の側面が樹脂封止さ
れていないパッケージBの場合は、同じ条件下における
反りは350μmであった。
て、リジッドなプリント回路基板1Aの上面に半導体素
子2a,2bを実装し、それらをモールド樹脂11で封
止した構造のパッケージC’の断面構造を示す断面図で
ある。このパッケージC’の場合、プリント回路基板1
Aの吸湿が有効に防止されているとともに、樹脂成形体
4が枠状に取り付けられてモールド樹脂の流れ止めの働
きをするため、半導体素子2a,2bの樹脂モールドは
容易に行うことができる。
図である。このパッケージDは、図11で示したパッケ
ージCにおいて、フレキシブルなプリント回路基板1B
に代えて、図15で示したようなJ型リード12を用
い、かつ、主回路基板の端子の上に載せる下面12aを
曲面にしたものである。
ム12bとその片面に突設して半導体素子2bの実装個
所にまで延在するリード12cとから成る。したがっ
て、このパッケージDでは、J型リード12の下面12
aには曲面形状をなしてリード12cが表出し、それら
は全て同一水平面を形成している。そのため、パッケー
ジDを主回路基板の上に載せると、この下面12aに表
出しているリード12cは主回路基板の端子と接触する
ので、その部分をはんだ付けすることができる。
半導体素子パッケージは、半導体素子が実装されている
プリント回路基板の周縁部を樹脂モールドによって一体
成形した構造であるので、プリント回路基板に反りが存
在していても、その反りは樹脂成形体に吸収され、周縁
部の下端面は樹脂モールド時の型面のままの同一水平面
になる。
のばらつきに、プリント回路基板の反りの影響は現れな
いので、アレイ構造の電極群における電極間の高さのば
らつきは従来の場合に比べて非常に小さくなる。そのた
め、本発明の半導体素子パッケージを主回路基板に載せ
て一括フローはんだ付けを行った場合、高い信頼性の下
で確実にはんだ接合部を形成することができ、歩留りの
向上が得られる。
である。
ト回路基板を金型にセットした状態を示す断面図であ
る。
成形した状態を示す断面図である。
を穿設した状態を示す断面図である。
スルーホールの壁面とパッド部にめっき層を形成した状
態を示す断面図である。
面図である。
である。
ト回路基板を金型にセットした状態を示す断面図であ
る。
関係を示す断面図である。
体成形された状態を示す断面図である。
図である。
金型とプリント回路基板との位置関係を示す断面図であ
る。
す断面図である。
図である。
リードを示す部分斜視図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 主回路基板に搭載される半導体素子パッ
ケージにおいて、 上面および下面の少なくとも一方の実装面に半導体素子
が実装されているプリント回路基板と、 前記プリント回路基板の周縁部に設けられ、前記実装面
と直交する方向に離間して位置しかつ前記主回路基板へ
の搭載のための同一水平面を有する樹脂成形体と、 前記同一水平面に設けられた電極と、 前記電極と前記プリント回路の端子とを接続する導体と
を備えていることを特徴とする半導体素子パッケージ。 - 【請求項2】 前記プリント回路基板の周縁部を被うよ
うに前記樹脂成形体が設けられ、前記樹脂成形体の下端
面が前記同一水平面をなしている請求項1の半導体素子
パッケージ。 - 【請求項3】 主回路基板に搭載される半導体素子パッ
ケージにおいて、 上面および下面の少なくとも一方の実装面に半導体素子
が実装されているプリント回路基板と、 前記プリント回路基板の周縁部に設けられ、前記実装面
と直交する方向に離間して位置しかつ前記主回路基板へ
の搭載のための同一水平面を前記プリント回路基板の前
記周縁部に形成するための樹脂成形体と、 前記同一水平面に設けられた電極と、 前記電極と前記プリント回路の端子とを接続する導体と
を備えていることを特徴とする半導体素子パッケージ。 - 【請求項4】 前記プリント回路基板はリジッドなプリ
ント回路基板と前記リジッドなプリント回路基板よりも
大きく且つフレキシブルなプリント回路基板とが積層さ
れてなり、前記フレキシブルなプリント回路基板の周縁
部はガルウイング形状のリード部を有し、前記リード部
の上面に前記樹脂成形体が設けられて前記リード部の下
面が前記同一水平面をなしている請求項3の半導体素子
パッケージ。 - 【請求項5】 前記電極が、バンプ電極のアレイ構造で
ある請求項1〜4のいずれかの半導体素子パッケージ。 - 【請求項6】 前記リード部の下面が曲面形状をなして
いる請求項4の半導体素子パッケージ。
Priority Applications (1)
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JP09849294A JP3337820B2 (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 半導体素子パッケージ |
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JPH07307403A JPH07307403A (ja) | 1995-11-21 |
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1994
- 1994-05-12 JP JP09849294A patent/JP3337820B2/ja not_active Expired - Fee Related
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