JP3336343B2 - 外部リーク量計測方法 - Google Patents
外部リーク量計測方法Info
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- JP3336343B2 JP3336343B2 JP20978093A JP20978093A JP3336343B2 JP 3336343 B2 JP3336343 B2 JP 3336343B2 JP 20978093 A JP20978093 A JP 20978093A JP 20978093 A JP20978093 A JP 20978093A JP 3336343 B2 JP3336343 B2 JP 3336343B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外部リーク量計測方法
に係る。
に係る。
【０００２】
【従来の技術】従来外部リーク量の計測方法としては、
Ｈｅリークディテクターを用いた技術が知られている。
Ｈｅリークディテクターを用いた技術が知られている。
【０００３】しかし、この技術を用いて外部リーク量を
計測場合、計測に時間がかかるという欠点、また、感度
が必ずしも良好でないという欠点があった。
計測場合、計測に時間がかかるという欠点、また、感度
が必ずしも良好でないという欠点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、簡易に計測
を行うことができ、また、感度が良好な外部リーク量計
測方法を提供することを目的とする。
を行うことができ、また、感度が良好な外部リーク量計
測方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本願発明の要旨は、外部リーク量計測部を大気中に設
置して該外部リーク量計測部の外部を大気成分とし、該
外部リーク量計測部の内部に、大気成分である窒素（Ｎ
２）及び酸素（Ｏ２）が１ｐｐｂ以下しか含まれていな
いキャリアガスを供給するガス供給工程と、前記外部リ
ーク量計測部内部を通過してきたキャリアガス中に含ま
れる窒素又は酸素の濃度を、該外部リーク量計測部に接
続した大気圧イオン化質量分析計（ＡＰＩＭＳ）にて計
測することからなる外部リーク量計測方法を提供するこ
とである。
の本願発明の要旨は、外部リーク量計測部を大気中に設
置して該外部リーク量計測部の外部を大気成分とし、該
外部リーク量計測部の内部に、大気成分である窒素（Ｎ
２）及び酸素（Ｏ２）が１ｐｐｂ以下しか含まれていな
いキャリアガスを供給するガス供給工程と、前記外部リ
ーク量計測部内部を通過してきたキャリアガス中に含ま
れる窒素又は酸素の濃度を、該外部リーク量計測部に接
続した大気圧イオン化質量分析計（ＡＰＩＭＳ）にて計
測することからなる外部リーク量計測方法を提供するこ
とである。
【０００６】
【作用】本発明では、外部リーク量計測部内部を通過し
てきた第一のガス中に含まれる第二のガス成分を計測す
るだけであるので、極めて簡易に外部リーク量を計測す
ることができる。また、第一のガス中の第二のガス成分
は任意の計測器（例えば、ＡＰＩＭＳ）を用いて行うこ
とができるので、高感度の計測も行うことができる。
てきた第一のガス中に含まれる第二のガス成分を計測す
るだけであるので、極めて簡易に外部リーク量を計測す
ることができる。また、第一のガス中の第二のガス成分
は任意の計測器（例えば、ＡＰＩＭＳ）を用いて行うこ
とができるので、高感度の計測も行うことができる。
【０００７】
【実施例】以下に実施例を示して本発明をさらに詳しく
説明する。
説明する。
【０００８】（試験例１：実施例１） 本発明は、リーク箇所のリーク量に対するＡＰＩＭＳ計
測機器における検出感度の関係を示すものである。評価
システムの概略図を図１に示す。評価システムは、全て
電解研磨管（１／４″）を使用し使用部品も全て電解研
磨されたオールメタル部品で校正した。
測機器における検出感度の関係を示すものである。評価
システムの概略図を図１に示す。評価システムは、全て
電解研磨管（１／４″）を使用し使用部品も全て電解研
磨されたオールメタル部品で校正した。
【０００９】第一にＭＣＧ（金属Ｃリング）継手にて作
製したリーク箇所１０１のリーク量をＨｅリークディテ
クター１０２において計測した。ただし、Ｈｅリークデ
ィテクター１０２は、標準リークボンベ（９．５×１０
-7ａｔｏｍ・ｃｃ／ｓｅｃ、２０℃）にて構成したもの
を使用した。
製したリーク箇所１０１のリーク量をＨｅリークディテ
クター１０２において計測した。ただし、Ｈｅリークデ
ィテクター１０２は、標準リークボンベ（９．５×１０
-7ａｔｏｍ・ｃｃ／ｓｅｃ、２０℃）にて構成したもの
を使用した。
【００１０】第二に、Ｈｅリークディテクター計測する
ことで既知のリーク箇所１０１に対し、Ｈ2／Ａｒガス
１０４を供給し、リーク箇所を通過して きたＨ2／Ａｒ
ガス１０４中に含まれるＮ2及びＯ2成分量をＡＰＩＭＳ
１０３に より計測した。
ことで既知のリーク箇所１０１に対し、Ｈ2／Ａｒガス
１０４を供給し、リーク箇所を通過して きたＨ2／Ａｒ
ガス１０４中に含まれるＮ2及びＯ2成分量をＡＰＩＭＳ
１０３に より計測した。
【００１１】リーク箇所１０１におけるリーク量と計測
機器であるＡＰＩＭＳ１０３の検出強度の関係を図２に
示す。Ｎ2及びＯ2成分は、リーク箇所１０１の外部雰囲
気である大気成分が、リーク箇所１０１から混入してき
たものである。ただし、本試験例にて使用したＨ2／Ａ
ｒガス１０４は、Ｈ2を１００ｐｐｍ含むＡｒガスと
し、流量は１０ｃｃ／ｍｉｎ、配管内圧力は、０．１ｋ
ｇ／ｃｍ2（Ｇ）とした。また、このＨ2／Ａｒガス１０
４中のＮ2及びＯ2成分濃度は、それぞれ１０ｐｐｔ以下
である。図２より本発明方法により、１×１０-11ａｔ
ｍ・ｃｃ／ｓｅｃ以上の外部リークが検出・定量可能で
あることがわかる。
機器であるＡＰＩＭＳ１０３の検出強度の関係を図２に
示す。Ｎ2及びＯ2成分は、リーク箇所１０１の外部雰囲
気である大気成分が、リーク箇所１０１から混入してき
たものである。ただし、本試験例にて使用したＨ2／Ａ
ｒガス１０４は、Ｈ2を１００ｐｐｍ含むＡｒガスと
し、流量は１０ｃｃ／ｍｉｎ、配管内圧力は、０．１ｋ
ｇ／ｃｍ2（Ｇ）とした。また、このＨ2／Ａｒガス１０
４中のＮ2及びＯ2成分濃度は、それぞれ１０ｐｐｔ以下
である。図２より本発明方法により、１×１０-11ａｔ
ｍ・ｃｃ／ｓｅｃ以上の外部リークが検出・定量可能で
あることがわかる。
【００１２】上記試験例において、計測機器にＡＰＩＭ
Ｓを用いた場合について説明したが、計測機器は、ガス
クロマトグラフィーなど高検出感度計測機器であれば、
何でもよいと言うことはいうまでもない。しかし、計測
機器へのサンプリング流量は数１０ｃｃ／ｍｉｎ以下の
計測機器が最も適している。
Ｓを用いた場合について説明したが、計測機器は、ガス
クロマトグラフィーなど高検出感度計測機器であれば、
何でもよいと言うことはいうまでもない。しかし、計測
機器へのサンプリング流量は数１０ｃｃ／ｍｉｎ以下の
計測機器が最も適している。
【００１３】ＡＰＩＭＳの場合、第一のガスはＡｒのみ
では検出感度が鈍いため水素を混入せしめることが好ま
しく、また、Ｈ2／ＡｒガスのＨ2濃度は１ｐｐｍ以上が
好ましい。
では検出感度が鈍いため水素を混入せしめることが好ま
しく、また、Ｈ2／ＡｒガスのＨ2濃度は１ｐｐｍ以上が
好ましい。
【００１４】リーク量計測部のみＣＯ2等の主大気成分
（Ｏ2、Ｎ2）以外の成分ガス雰囲気（第三のガス雰囲
気）とすること等の操作により、複数個あるリーク箇所
の中からリーク箇所の特定も可能である。キャリアガス
は、Ｈ2／Ａｒガス以外に使用してもよい事は言うま で
もない。
（Ｏ2、Ｎ2）以外の成分ガス雰囲気（第三のガス雰囲
気）とすること等の操作により、複数個あるリーク箇所
の中からリーク箇所の特定も可能である。キャリアガス
は、Ｈ2／Ａｒガス以外に使用してもよい事は言うま で
もない。
【００１５】（試験例２：比較例１） 本試験例では、試験例１におけるリーク箇所１０１の外
部雰囲気を大気に代え、ＣＨ4、ＣＯ2及びＣＣｌ2Ｆ
2（いずれも１００％）とし、リーク箇所１０１の内部
を流れるＡｒ中に含まれるそれぞれの雰囲気成分の計測
を実施した。他の点は試験例１と同様とした。評価結果
を図３に示す。すなわち、検出成分を他の成分として
も、試験例１と同様に、高検出感度、高定量が可能であ
ることがわかる。ただし、リーク箇所１０１の外部雰囲
気の分圧の高い成分の方が検出感度は上昇する。
部雰囲気を大気に代え、ＣＨ4、ＣＯ2及びＣＣｌ2Ｆ
2（いずれも１００％）とし、リーク箇所１０１の内部
を流れるＡｒ中に含まれるそれぞれの雰囲気成分の計測
を実施した。他の点は試験例１と同様とした。評価結果
を図３に示す。すなわち、検出成分を他の成分として
も、試験例１と同様に、高検出感度、高定量が可能であ
ることがわかる。ただし、リーク箇所１０１の外部雰囲
気の分圧の高い成分の方が検出感度は上昇する。
【００１６】（試験例３：実施例２） 本試験例では、試験例１におけるリーク箇所１０１の内
部を流れるＨ2／Ａｒガス圧力を０．１ｋｇ／ｃｍ
2（Ｇ）に代え、０．１〜３．０ｋｇ／ｃｍ2（Ｇ）の圧
力変化とし、Ｈ2／Ａｒガス圧力に対する計測器（本例
ではＡＰＩＭＳ）の検出感度 を評価した。外部リーク
量は１×１０-9ａｔｍ・ｃｃ／ｓｅｃとした。他の点
は、試験例１と同様とした。評価結果を図４に示す。図
４の結果より高検出感度のためには、圧力が低いほど高
検出可能であることがわかる。ただし、実用上、５ｋｇ
／ｃｍ2以下が望ましく、さらに３ｋｇ／ｃｍ2以下がよ
り望ましく、１ｋｇ／ｃｍ2以下が最も望ましい。
部を流れるＨ2／Ａｒガス圧力を０．１ｋｇ／ｃｍ
2（Ｇ）に代え、０．１〜３．０ｋｇ／ｃｍ2（Ｇ）の圧
力変化とし、Ｈ2／Ａｒガス圧力に対する計測器（本例
ではＡＰＩＭＳ）の検出感度 を評価した。外部リーク
量は１×１０-9ａｔｍ・ｃｃ／ｓｅｃとした。他の点
は、試験例１と同様とした。評価結果を図４に示す。図
４の結果より高検出感度のためには、圧力が低いほど高
検出可能であることがわかる。ただし、実用上、５ｋｇ
／ｃｍ2以下が望ましく、さらに３ｋｇ／ｃｍ2以下がよ
り望ましく、１ｋｇ／ｃｍ2以下が最も望ましい。
【００１７】（試験例４：参考例２） 本試験例は、リーク量計測部内部を真空状態とする真空
法を用いて、リーク箇所のリーク量に対するＡＰＩＭＳ
計測機器における検出感度の関係を示すものである。評
価システムの概略図を図５に示す。評価システムは、全
て電解研磨管（１／４″）を使用し、使用部品も全て電
解研磨されたオールメタル部品で構成した。
法を用いて、リーク箇所のリーク量に対するＡＰＩＭＳ
計測機器における検出感度の関係を示すものである。評
価システムの概略図を図５に示す。評価システムは、全
て電解研磨管（１／４″）を使用し、使用部品も全て電
解研磨されたオールメタル部品で構成した。
【００１８】第一に、ＭＣＧ継手にて作成したリーク箇
所２０１のリーク量をＨｅリークディテクター２０２に
おいて計測した。リーク箇所２０１のリーク量は、５×
１０-9ａｔｏｍ・ｃｃ／ｍｉｎであった。ただし、Ｈｅ
リークディテクター２０２は、標準リークボンベ（９．
５×１０-7ａｔｏｍ・ｃｃ／ｓｅｃ、２０℃）にて構成
したものを使用した。
所２０１のリーク量をＨｅリークディテクター２０２に
おいて計測した。リーク箇所２０１のリーク量は、５×
１０-9ａｔｏｍ・ｃｃ／ｍｉｎであった。ただし、Ｈｅ
リークディテクター２０２は、標準リークボンベ（９．
５×１０-7ａｔｏｍ・ｃｃ／ｓｅｃ、２０℃）にて構成
したものを使用した。
【００１９】第二に、リーク箇所２０１に対し、バルブ
２０３とバルブ２０４を閉状態とした後、バルブ２０６
からＨｅリークディテクター２０２により真空引きし、
再度２０６バルブを閉じリーク箇所２０１内部を真空状
態に保持した。真空度は３０Ｔｏｒｒ、真空保持時間は
８時間とした。
２０３とバルブ２０４を閉状態とした後、バルブ２０６
からＨｅリークディテクター２０２により真空引きし、
再度２０６バルブを閉じリーク箇所２０１内部を真空状
態に保持した。真空度は３０Ｔｏｒｒ、真空保持時間は
８時間とした。
【００２０】第三に、Ａｒガスをバルブ２０５からリー
ク量計測部に導入し、１０分間保持した。このときのリ
ーク量計測部のＡｒガス圧力は、４ｋｇ／ｃｍ2とし
た。
ク量計測部に導入し、１０分間保持した。このときのリ
ーク量計測部のＡｒガス圧力は、４ｋｇ／ｃｍ2とし
た。
【００２１】最後に、ＡＰＩＭＳにリーク量計測部内部
に保持されているＡｒガスを導入した。ＡＰＩＭＳへの
Ａｒ導入量は、１Ｌ／ｍｉｎとした。リーク量計測部内
部に保持されたＡｒガスが大気圧状態となった時点でバ
ルブ２０３を開状態とし、配管内部に残留しているＡｒ
ガスを完全にＡＰＩＭＳへ導入するため、Ａｒガスを１
Ｌ／ｍｉｎにて供給した。ただし、ＡＰＩＭＳは、バイ
パスからＡｒガスがいつでも供給可能とされており、常
にＡＰＩＭＳはクリーン状態に保持されるようにした。
に保持されているＡｒガスを導入した。ＡＰＩＭＳへの
Ａｒ導入量は、１Ｌ／ｍｉｎとした。リーク量計測部内
部に保持されたＡｒガスが大気圧状態となった時点でバ
ルブ２０３を開状態とし、配管内部に残留しているＡｒ
ガスを完全にＡＰＩＭＳへ導入するため、Ａｒガスを１
Ｌ／ｍｉｎにて供給した。ただし、ＡＰＩＭＳは、バイ
パスからＡｒガスがいつでも供給可能とされており、常
にＡＰＩＭＳはクリーン状態に保持されるようにした。
【００２２】この計測評価におけるＡＰＩＭＳチャート
を図６に示す。図６の横軸に示す経過時間は、リーク量
計測部内部に保持したＡｒガスをＡＰＩＭＳに導入して
からの経過時間を示す。縦軸は、ＡＰＩＭＳで検出され
たＯ2強度を示す。図６よ り、計測開始から約６．５分
の時点で、瞬間的にＯ2成分が多量に検出されてい るこ
とから、リーク量計測部から真空状態で放置している間
に混入してきた大気成分は、Ａｒガス導入部２０５から
下流末端（バルブ２０３近傍）に濃縮されたことがわか
る。
を図６に示す。図６の横軸に示す経過時間は、リーク量
計測部内部に保持したＡｒガスをＡＰＩＭＳに導入して
からの経過時間を示す。縦軸は、ＡＰＩＭＳで検出され
たＯ2強度を示す。図６よ り、計測開始から約６．５分
の時点で、瞬間的にＯ2成分が多量に検出されてい るこ
とから、リーク量計測部から真空状態で放置している間
に混入してきた大気成分は、Ａｒガス導入部２０５から
下流末端（バルブ２０３近傍）に濃縮されたことがわか
る。
【００２３】（試験例５：参考例３） 本試験例は、試験例４において、真空保持後のリーク箇
所２０１へのＡｒ導入をバルブ２０３から行ったときの
結果を図７に示す。他は全て試験例４と同一とした。図
７より、計測開始から約１０秒の時点で、瞬間的にＯ2
成分が多量に、検出されていることから、リーク量計測
部から真空状態で放置している間に混入してきた大気成
分は、Ａｒガス導入部２０３から下流末端（バルブ２０
４近傍）に濃縮されたことがわかる。
所２０１へのＡｒ導入をバルブ２０３から行ったときの
結果を図７に示す。他は全て試験例４と同一とした。図
７より、計測開始から約１０秒の時点で、瞬間的にＯ2
成分が多量に、検出されていることから、リーク量計測
部から真空状態で放置している間に混入してきた大気成
分は、Ａｒガス導入部２０３から下流末端（バルブ２０
４近傍）に濃縮されたことがわかる。
【００２４】（試験例６：参考例４） 本試験例は、試験例４に対し、リーク箇所２０１のリー
ク量を代え、リーク量とＡＰＩＭＳのＯ2およびＮ2の検
出強度の関係を計測した。図８にＯ2強度、図９にＮ2強
度とＡＰＩＭＳ検出強度との関係を示す。キャリアガス
流量は、１０ｃｃ／ｍｉｎで行った。
ク量を代え、リーク量とＡＰＩＭＳのＯ2およびＮ2の検
出強度の関係を計測した。図８にＯ2強度、図９にＮ2強
度とＡＰＩＭＳ検出強度との関係を示す。キャリアガス
流量は、１０ｃｃ／ｍｉｎで行った。
【００２５】本試験例により、より高感度に外部リーク
量が検出されることがわかる。さらに、真空保持時間を
変更することで任意に検出感度を変更可能である。
量が検出されることがわかる。さらに、真空保持時間を
変更することで任意に検出感度を変更可能である。
【００２６】試験例４および試験例５において、計測機
器にＡＰＩＭＳを用いた場合について説明したが、計測
機器は、ガスクロマトグラフィー等高検出感度計測機器
であれば、何でもよいことは言うまでもない。しかし、
計測機器へのサンプリング流量は数１０ｃｃ／ｍｉｎ以
下の計測機器が最も適している。
器にＡＰＩＭＳを用いた場合について説明したが、計測
機器は、ガスクロマトグラフィー等高検出感度計測機器
であれば、何でもよいことは言うまでもない。しかし、
計測機器へのサンプリング流量は数１０ｃｃ／ｍｉｎ以
下の計測機器が最も適している。
【００２７】リーク量計測部のみＣＯ2等の主大気成分
（Ｏ2、Ｎ2）以外の成分ガス雰囲気とする事等の操作に
より、複数個あるリーク箇所の中からリーク箇所の特定
も可能である。キャリアガスは、Ｈ2／Ａｒガス以外を
使用してもよいことは言うまでもない。
（Ｏ2、Ｎ2）以外の成分ガス雰囲気とする事等の操作に
より、複数個あるリーク箇所の中からリーク箇所の特定
も可能である。キャリアガスは、Ｈ2／Ａｒガス以外を
使用してもよいことは言うまでもない。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、極めて簡易に外部リー
ク量を計測することができる。また、第一のガス中の第
二のガス成分は任意の計測器（例えば、ＡＰＩＭＳ）を
用いて行うことができるので、高感度の計測も行うこと
ができる。
ク量を計測することができる。また、第一のガス中の第
二のガス成分は任意の計測器（例えば、ＡＰＩＭＳ）を
用いて行うことができるので、高感度の計測も行うこと
ができる。
【図１】試験例１〜試験例３で用いた評価システムの概
略図である。
略図である。
【図２】試験例１における、評価結果を示すグラフであ
る。
る。
【図３】試験例２における、評価結果を示すグラフであ
る。
る。
【図４】試験例３における、評価結果を示すグラフであ
る。
る。
【図５】試験例１〜試験例３で用いた評価システムの概
略図である。
略図である。
【図６】試験例４における、評価結果を示すグラフであ
る。
る。
【図７】試験例５における、評価結果を示すグラフであ
る。
る。
【図８】試験例６における、評価結果（Ｏ2強度）を示
すグラフである。
すグラフである。
【図９】試験例６における、評価結果（Ｎ2強度）を示
すグラフである。
すグラフである。
１０１ リーク箇所、１０２ Ｈｅリークディテクタ
ー、１０３ 計測器（ＡＰＩＭＳ）、１０４ 第一のガ
ス（１００ｐｐｍＨ2／Ａｒ）、２０１ リーク箇所、
２０２ Ｈｅリークディテクター、２０３ バルブ、２
０４ バルブ、２０５ バルブ、２０６ バルブ、２０
７ 計測器（ＡＰＩＭＳ）。
ー、１０３ 計測器（ＡＰＩＭＳ）、１０４ 第一のガ
ス（１００ｐｐｍＨ2／Ａｒ）、２０１ リーク箇所、
２０２ Ｈｅリークディテクター、２０３ バルブ、２
０４ バルブ、２０５ バルブ、２０６ バルブ、２０
７ 計測器（ＡＰＩＭＳ）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大木 厚志 埼玉県東松山市新郷75−１大阪酸素工業 株式会社開発センター内 (72)発明者 菅野 洋一 宮城県仙台市青葉区堤町１丁目12番１号 株式会社本山製作所内 (56)参考文献 特開 昭50−99188（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−100630（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−109491（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 3/20
Claims (2)
- 【請求項１】 外部リーク量計測部を大気中に設置して
該外部リーク量計測部の外部を大気成分とし、該外部リ
ーク量計測部の内部に、大気成分である窒素（Ｎ ２ ）及
び酸素（Ｏ ２ ）が１ｐｐｂ以下しか含まれていないキャ
リアガスを供給するガス供給工程と、前記外部リーク量
計測部内部を通過してきたキャリアガス中に含まれる窒
素又は酸素の濃度を、該外部リーク量計測部に接続した
大気圧イオン化質量分析計（ＡＰＩＭＳ）にて計測する
ことからなる外部リーク量計測方法。 - 【請求項２】 該キャリアガスがＨ ２ ／Ａｒ混合ガスで
あり、該Ｈ ２ ／Ａｒ混合ガス中のＨ ２ 濃度が１ｐｐｍ以
上であることを特徴とする請求項１記載の外部リーク量
計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20978093A JP3336343B2 (ja) | 1993-08-24 | 1993-08-24 | 外部リーク量計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20978093A JP3336343B2 (ja) | 1993-08-24 | 1993-08-24 | 外部リーク量計測方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0763634A JPH0763634A (ja) | 1995-03-10 |
| JP3336343B2 true JP3336343B2 (ja) | 2002-10-21 |
Family
ID=16578487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20978093A Expired - Fee Related JP3336343B2 (ja) | 1993-08-24 | 1993-08-24 | 外部リーク量計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3336343B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4159004B2 (ja) | 1997-06-13 | 2008-10-01 | 財団法人国際科学振興財団 | ガス回収方法 |
| GB0624472D0 (en) | 2006-12-07 | 2007-01-17 | Cascade Technologies Ltd | Leak detection system and method |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5099188A (ja) * | 1973-12-28 | 1975-08-06 | ||
| JPS54109491A (en) * | 1978-02-15 | 1979-08-28 | Nichiden Varian Kk | Method and device for detecting leakage |
| JPS61100630A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-19 | Osaka Gas Co Ltd | 導管の漏洩検出方法 |
-
1993
- 1993-08-24 JP JP20978093A patent/JP3336343B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0763634A (ja) | 1995-03-10 |
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