JP3333353B2 - 温度測定装置 - Google Patents
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Description
した温度測定装置の改良に関し、更に詳細には、測温対
象物の放射率、反射率、透過率の違いによる計測値の誤
差補正を自動的に行うことができる温度測定装置に関す
るものである。
は、大まかに2種類に分類できる。一方は、物体の表面
に感温部を接触させて温度を測定する接触式温度計であ
り、他方は、物体の表面から放射される赤外線エネルギ
ーを検出して温度を測定する非接触式温度計である。
多くの利点があるため、最近では様々な場所で利用され
ている。上記利点としては、測温対象物の表面に対する
熱の授受が少ないこと、測温対象物の表面に傷をつけな
いこと、応答速度が早いこと、などがある。しかしなが
ら、非接触式温度計は、その測定原理上、次のような問
題点を抱えている。即ち、非接触式温度計の計測値
は、物体の材質、物体の表面状態に対して赤外線エネル
ギー量が変化するため、材質や表面状態により、表面か
ら放射される赤外線エネルギーの量を補正しなければな
らない。
線エネルギーに加えて、測温対象表面以外からの赤外線
エネルギーが測温対象表面に反射し、これが感知される
ことにより測定値に誤差を含むことになる。このような
問題に対して、上記については、物体の材質や表面状
態により分類分けされた補正値(放射率)を、文献の中
の一覧表より選定し非接触式温度計の補正装置にパラメ
ータとして設定し計測している。しかし、文献の中の補
正値は、あくまでも実験的に求められたもので、実際の
測温対象物の材質や表面状態に適合するかどうかは不確
かであり、パラメータの選択により測定値に誤差を含む
可能性が大きい。また、については、非接触式温度計
の誤差を含んだ指示値が真値だと思い込まれている場合
が多々ある。
決するために、前記接触式温度計を併用してこの接触式
温度計によって測定された測温対象物の温度に基づい
て、手動で誤差補正を行うことにより、非接触式温度計
によっても正確な温度測定ができるかのように思われて
いた。
補正では、人為的なミスを招くばかりでなく、接触式温
度計の測定値を瞬時に非接触式温度計の誤差補正に使用
できないため、補正した時点ではすでに接触式温度計の
測定値が変化してしまい、結局のところ正確な補正値が
求まらないという問題があった。本発明は、以上の問題
点に鑑みて、接触式温度計にて計測した計測データを真
値として、接触式温度計の計測データと非接触式温度計
の計測データをもとに非接触式温度計の計測データを真
値に補正する補正乗数を自動的に求め、この補正乗数を
もとに非接触式温度計の計測データを補正し、非接触式
にて常に正確な温度測定ができる温度測定装置を提供す
ることを目的とするものである。また、本発明の別の目
的は、補正乗数値により測定環境の適、不適を検証する
機能を有する温度測定装置を提供することである。
めの本発明の温度測定装置は、測温対象物との間におけ
る熱放射の授受をもとに、この測温対象物の温度を測定
する非接触式温度計と、センサ部を前記測温対象物の表
面に当接して、この測温対象物の温度を測定する接触式
温度計と、前記非接触式温度計の測定データと接触式温
度計の測定値に基づいて、非接触式温度計の測定データ
の誤差を補正するための補正乗数を算出し、且つ、この
補正乗数により前記非接触式温度計の測定データを補正
して補正値を算出する演算手段と、前記測定値及び補正
値を表示するための表示手段と、を備えた温度測定装置
において、前記表示手段は、測温対象物と非接触式温度
計の間の 熱放射が所定値よりも少ない場合に、正確な補
正値が求まらないことを表示 し、測温対象物と非接触式
温度計の間の熱放射に外部からの熱放射が影響を 与えた
場合に、測温対象物の温度測定データに誤差を含んでい
ることを表示 し、非接触式温度計の補正乗数及び補正乗
数を決定した時の接触式温度計指 示値及び計測中の補正
された非接触式温度計指示値を同一画面に表示するこ と
を特徴とするものである。
ミスタ等の各種のセンサから、用途に合わせて適宜選択
して使用することができ、また前記非接触式温度計とし
ては、赤外線検出器として、サーモパイル、サーミスタ
ボロメータ等を使用すると好ましい。尚、表示の手段と
しては、視覚で認識する手段の他に、聴覚で認識する手
段を使用しても良い。
の表面に接触式温度計のセンサ部を接触させて測定した
温度を基に、この測温対象物から離間して設けられた非
接触式温度計の測定データの誤差補正を行い、表示装置
によって測定者は、その誤差補正の内容即ち補正乗数を
認識できる。
する。図1〜図4に示す如く、本実施例の温度測定装置
1には、本体ケース2に収蔵された非接触式温度計3
と、本体ケース2から側方に突出するホルダー4に支持
されたセンサ部5を有し、前記同様に本体ケース2内に
収蔵された接触式温度計測部とを備えており、このセン
サ部5はケーブル6を介して、本体ケース2内の接触式
温度計測部の回路に接続されている。
おり、図3に示す如く、照準用レーザーを照射するため
のレーザースイッチ8と、表示の一時停止及び補正デー
タを確定するためのホールドスイッチ9が設けられてい
る。更に、液晶表示部10の下方には図4に示すようなス
イッチパネル11が設けられており、このスイッチパネル
11には、電源を入れるためのONスイッチ12、電源を切
るためのOFFスイッチ13、補正計測モードへの移行又
は現状に復帰させるためのCALスイッチ14、接触式・
非接触式計測モードの切り替えをするためのMODEス
イッチ15、補正乗数Aεの値を設定するための補正乗数
設定スイッチ16,17が設けられている。
る回路構成の概略図を、図5にブロック図で示す。非接
触温度計測部18(赤外線を検出するための光学部)にて
測定された、測温対象物からの赤外線エネルギーを検出
する検出器(サーモパイル等)の出力:Vdと、検出器
の温度:Tdの計測データは、補正乗数演算部19に送ら
れ、センサ部5から接触式温度計測部20に入力される計
測データは温度値TTCに変換され、補正乗数演算部19に
送られる。補正乗数演算部19内では、送られてきたデー
タを基に次のような工程を経て補正乗数Aεが算定され
る。
きた検出器の温度:Td及び、接触式温度計測部20より
送られてきた温度値(測温対象物の温度)TTCをその温
度値に相当する赤外線エネルギー量に変換する。 検出器の温度:Td → 赤外線エネルギー量:Ld 測温対象物の温度:TTC → 赤外線エネルギー量:LTC 変換されたエネルギー量を基に、補正乗数Aεは次式で
求まる。
が外乱を全反射し、外乱の影響のみを計測することを意
味しており、これに対して、Aε=1の場合には、測温
対象物が外乱を全吸収し、外乱の影響を含まない状態で
計測される条件となることを意味している。
物の温度と検出器の温度の関係により、次のような外乱
の影響を受けていることが考察される。即ち、測温対象
物が検出器の温度より高い場合は、測温対象物の温度よ
り高い温度の外乱発生源が存在する。また、測温対象物
の温度が検出器の温度より低い温度の場合は、測温対象
物の温度より低い温度の外乱発生源が存在する。このよ
うに、外乱を含んだ補正乗数(Aε>1の範囲)を与え
ることにより、Aεに対する外乱発生源の影響を考察で
きる。
換部21に送られ、前記Vd,Tdは非接触温度計測部18
より非接触温度変換部21に送られ、非接触温度変換部21
で非接触式温度計3の補正値TIRが次のような工程で変
換される。まず、補正値TIRに相当する赤外線エネルギ
ー量(LIR)を求めるために、検出器の温度Tdを赤外
線エネルギー量に変換する。
求める。 LIR=Vd/Aε+Ld この式にて求まったLIRを温度に換算し、非接触式温度
計3の補正値TIRを求める。
するときに使用した接触式温度計の計測値及び補正乗数
Aεと共に液晶表示部10に表示されるようになってい
る。また、LIRを求める式に注目すると、Vd値が0
(即ち、測温対象物との熱放射の授受が無い場合)に
は、Aεがどのような値をとっても、LIRの赤外線エネ
ルギー量に変化を与えることがない。この場合を考慮
し、測温対象物との熱放射の授受が一定以上の場合以外
Aεを算出できないようにする必要がある。範囲に関し
ては、感知器の測定精度等を考慮する必要がある。
や、光学特性による温度ドリフトを補正する補正式を加
えるようにすると良い。実際に測定する際には、図6に
示す手順に従って行う。まず、(a)に示す状態でキャ
リブレーションモードに切り替え、(b)に示す状態で
センサ部5を接触させた測温対象物22の表面温度を測定
する。次に、(c)に示す状態で非接触式温度計3によ
る温度測定を行い、測温対象物22の表面からの赤外線エ
ネルギー量を確定し、(d)に示す状態で補正乗数Aε
を演算し、この補正乗数Aεにより変換後の温度を表示
する。
する場合には、図7に示す要領で操作する。即ち、スイ
ッチパネル11のONスイッチ12を押すと、S1 で示す如
く、液晶表示部10の全てのセグメントが点灯して、温度
測定装置1が起動したことを表示し、その後、直ぐにS
2 又はS3 で示す如く、前回の電源停止前に使用されて
いた測定モードで測定できる状態となる。
るモードの表示を示しており、S3は接触式温度計を使
用して測定するモードの表示を示している。測定モード
をS 2 からS3 へ、或いはその逆に切り替える場合に
は、スイッチパネル11のMODEスイッチ15を押す。次
にS4 に示す補正乗数計測モードに移行するためには、
CALスイッチ14を押すことにより行い、補正乗数Aε
を決定する条件の接触式温度計の温度測定値を確定す
る。そして、液晶表示部10には、補正乗数計測モードで
あることを示すCALのセグメントを表示すると共に、
乗数決定に必要な接触式温度計の温度表示値を表示させ
る。
に示すように、補正乗数Aεを決定する条件の非接触式
温度計3の温度測定値を確定する。この時、補正乗数計
測モードであることを示すCALのセグメントと、前段
階で確定した接触式温度計の温度表示値を表示すると共
に、乗数決定に必要な非接触式温度計3の温度計測値
(但しAε=1のとき)を表示させる。
た状態で、補正乗数Aεを決定したときの補正乗数値が
Aε>1のときには、S6 に示す画面となり、乗数記号
を点滅させて、補正乗数Aεが1以上であることによ
り、計測値に外部からの熱放射による誤差が生じている
ことを表示する。これに対して、補正乗数Aεを決定し
たときの補正乗数値が0<Aε<1のときには、S7 に
示す画面になり、補正乗数Aεが正常な範囲にあり、温
度測定装置1が正常に動作しているため、各セグメント
は点滅はしない。
必要な条件が揃わないために補正乗数Aεが定まらない
時には、S8 に示す画面となり、接触式温度計の温度表
示値、及び非接触式温度計3の温度表示値を、それぞれ
不確定を示す「−−−−」とし、Aε値を「or(OV
ER)」と表示させる。そして、S6 に示す状態と、S
7 に示す状態において、CALスイッチ14を押すことに
より、S2 に示す状態に復帰し、一方、S8 に示す状態
となった場合には、数秒間表示した後、自動的にS4 に
示す画面に戻る。
温対象物の表面に接触式温度計のセンサ部を接触させて
測定した温度を基に、この測温対象物から離間して設け
られた非接触式温度計の測定値の誤差補正を行うことが
でき、しかも、表示装置によって測定者は、その誤差補
正の内容即ち補正乗数を認識することができる。
放射に、外部からの熱放射が影響している場合には、そ
の外部からの熱放射を含んだ補正乗数を設定することが
できる。更に、測温対象物と温度測定装置の間の熱放射
が少ないために、正確な補正値が求まらない場合には、
それを表示して、補正ができていないことを測定者に認
識させることができる。
熱放射に、外部からの熱放射が影響を与え、測温対象物
の温度測定値に誤差が含まれている時にも、それを認識
することができる。また、非接触式温度計の補正乗数及
び補正乗数を決定した時のデータ(接触式温度計指示値
等)、及び計測中の非接触式温度計指示値を同一画面に
表示することができ、補正されている状況を把握するこ
とができる。従って、非接触式温度計の利点と接触式温
度計の利点を融合させた、高精度な非接触式温度計測を
可能にする温度測定装置を提供することができる。
図である。
大図である。
図である。
行う際の手順を示す概略図である。
行う際の液晶表示部の表示内容を示す概略図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 測温対象物との間における熱放射の授受
をもとに、この測温対象物の温度を測定する非接触式温
度計と、センサ部を前記測温対象物の表面に当接して、
この測温対象物の温度を測定する接触式温度計と、前記
非接触式温度計の測定データと接触式温度計の測定値に
基づいて、非接触式温度計の測定データの誤差を補正す
るための補正乗数を算出し、且つ、この補正乗数により
前記非接触式温度計の測定データを補正して補正値を算
出する演算手段と、前記測定値及び補正値を表示するた
めの表示手段と、を備えた温度測定装置において、前記
表示手段は、測温対象物と非接触式温度計の 間の熱放射
が所定値よりも少ない場合に、正確な補正値が求まらな
いことを 表示し、測温対象物と非接触式温度計の間の熱
放射に外部からの熱放射が影 響を与えた場合に、測温対
象物の温度測定データに誤差を含んでいることを 表示
し、計測中は、非接触式温度計の補正乗数及び補正乗数
を決定した時の 接触式温度計指示値及び計測中の補正さ
れた非接触式温度計指示値を同一画 面に表示することを
特徴とする温度測定装置。
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Families Citing this family (42)
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US5653238A (en) * | 1988-12-06 | 1997-08-05 | Exergen Corporation | Radiation detector probe |
US6004029A (en) * | 1995-07-10 | 1999-12-21 | Cvc Products, Inc. | Method for automated calibration of temperature sensors in rapid thermal processing equipment |
US6027452A (en) * | 1996-06-26 | 2000-02-22 | Vital Insite, Inc. | Rapid non-invasive blood pressure measuring device |
US6495195B2 (en) * | 1997-02-14 | 2002-12-17 | Arcturus Engineering, Inc. | Broadband absorbing film for laser capture microdissection |
US6056435A (en) * | 1997-06-24 | 2000-05-02 | Exergen Corporation | Ambient and perfusion normalized temperature detector |
JP2001522141A (ja) * | 1997-11-03 | 2001-11-13 | エーエスエム アメリカ インコーポレイテッド | 低質量サポートを用いたウェハの加工方法 |
DE19853513A1 (de) * | 1997-11-21 | 1999-05-27 | Omega Engineering | Kombination aus Pyrometer und Multimeter |
US6292685B1 (en) * | 1998-09-11 | 2001-09-18 | Exergen Corporation | Temporal artery temperature detector |
DE19929503B4 (de) * | 1999-06-28 | 2008-06-26 | Braun Gmbh | IR-Thermometer für unterschiedliche Messorte |
DE19940463A1 (de) * | 1999-08-26 | 2001-03-01 | Ruetgers Automotive Ag | Verfahren zum Bestimmen eines Abbilds einer Temperaturverteilung auf einer Reiboberfläche |
US6191399B1 (en) | 2000-02-01 | 2001-02-20 | Asm America, Inc. | System of controlling the temperature of a processing chamber |
US6596973B1 (en) | 2002-03-07 | 2003-07-22 | Asm America, Inc. | Pyrometer calibrated wafer temperature estimator |
US6818864B2 (en) | 2002-08-09 | 2004-11-16 | Asm America, Inc. | LED heat lamp arrays for CVD heating |
DE10332248B4 (de) * | 2003-07-11 | 2014-05-22 | Iav Gmbh Ingenieurgesellschaft Auto Und Verkehr | Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung eines Lichtleiteraufnehmers |
US7785266B2 (en) | 2003-08-19 | 2010-08-31 | Advanced Monitors Corporation | Medical thermometer for determining body core temperature |
US7938783B2 (en) * | 2003-08-19 | 2011-05-10 | Advanced Monitors Corporation | Medical body core thermometer |
DE10346993A1 (de) * | 2003-10-07 | 2005-06-02 | Alcan Technology & Management Ag | Berührungslose Temperaturmessung |
DE10360676A1 (de) * | 2003-12-23 | 2005-07-21 | Daimlerchrysler Ag | Verfahren zur Temperaturerfassung |
JP2006292713A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-10-26 | Keyence Corp | 放射温度計 |
US7520668B2 (en) * | 2007-01-24 | 2009-04-21 | Innova Electronics Corporation | Multi function thermometer |
US7661876B2 (en) * | 2007-11-14 | 2010-02-16 | Fluke Corporation | Infrared target temperature correction system and method |
EP2250720B1 (en) | 2008-03-07 | 2019-08-14 | Milwaukee Electric Tool Corporation | Battery pack for use with a power tool and a non-motorized sensing tool |
US20090257469A1 (en) * | 2008-04-09 | 2009-10-15 | Jones Mike N | Infrared thermometer |
US8529126B2 (en) | 2009-06-11 | 2013-09-10 | Rosemount Inc. | Online calibration of a temperature measurement point |
US20120083710A1 (en) | 2010-09-30 | 2012-04-05 | Medism Ltd. | Ergonomic hand-held thermometer |
JP5520238B2 (ja) * | 2011-01-27 | 2014-06-11 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 温度測定装置における補正データの取得方法およびこれを行う、温度測定方法、及び、温度測定装置。 |
US9885123B2 (en) | 2011-03-16 | 2018-02-06 | Asm America, Inc. | Rapid bake of semiconductor substrate with upper linear heating elements perpendicular to horizontal gas flow |
CN102564598B (zh) * | 2012-01-06 | 2013-09-25 | 电子科技大学 | 一种红外探测器测温的定标和校正方法及相应的测温方法 |
US9307912B2 (en) | 2012-08-08 | 2016-04-12 | Welch Allyn, Inc. | Temperature measurement system |
US8452382B1 (en) | 2012-09-21 | 2013-05-28 | Brooklands Inc. | Non-contact thermometer sensing a carotid artery |
DE102012025504A1 (de) * | 2012-12-27 | 2014-07-03 | Ircam Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Emissionsgrad-Bestimmung bei der Temperaturmessung mit Wärmebildkameras |
GB2528044B (en) | 2014-07-04 | 2018-08-22 | Arc Devices Ni Ltd | Non-touch optical detection of vital signs |
US8965090B1 (en) | 2014-07-06 | 2015-02-24 | ARC Devices, Ltd | Non-touch optical detection of vital signs |
DE102014012697B4 (de) * | 2014-09-01 | 2016-06-09 | Minkon GmbH | Verfahren zur optischen Temperaturbestimmung eines geschmolzenen Metalls sowie Abspulvorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens |
US9854973B2 (en) | 2014-10-25 | 2018-01-02 | ARC Devices, Ltd | Hand-held medical-data capture-device interoperation with electronic medical record systems |
US10390692B2 (en) | 2015-11-25 | 2019-08-27 | Htc Corporation | Hybrid detection apparatus |
US10506926B2 (en) | 2017-02-18 | 2019-12-17 | Arc Devices Limited | Multi-vital sign detector in an electronic medical records system |
US10492684B2 (en) | 2017-02-21 | 2019-12-03 | Arc Devices Limited | Multi-vital-sign smartphone system in an electronic medical records system |
US10602987B2 (en) | 2017-08-10 | 2020-03-31 | Arc Devices Limited | Multi-vital-sign smartphone system in an electronic medical records system |
US10485431B1 (en) | 2018-05-21 | 2019-11-26 | ARC Devices Ltd. | Glucose multi-vital-sign system in an electronic medical records system |
US11391634B2 (en) | 2019-02-12 | 2022-07-19 | Accure Acne, Inc. | Temperature sensing apparatus for use with a photo-thermal targeted treatment system and associated methods |
US11504014B2 (en) | 2020-06-01 | 2022-11-22 | Arc Devices Limited | Apparatus and methods for measuring blood pressure and other vital signs via a finger |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3777568A (en) * | 1971-12-21 | 1973-12-11 | Sensors Inc | D. c. electronic apparatus for ir radiation temperature measurement |
JPS5234230B2 (ja) * | 1971-12-27 | 1977-09-02 | ||
US3969943A (en) * | 1974-03-06 | 1976-07-20 | Nippon Steel Corporation | Method of measuring the temperature of furnace hot stock and apparatus therefor |
JPS55121123A (en) * | 1979-03-14 | 1980-09-18 | Toshiba Corp | Contactless temperature sensing unit |
JPS5614126A (en) * | 1979-07-17 | 1981-02-10 | Daido Steel Co Ltd | Radiation thermometer |
WO1981000764A1 (en) * | 1979-09-12 | 1981-03-19 | M Jacobs | Hand-held digital temperature measuring instrument |
JPS56104226A (en) * | 1980-01-23 | 1981-08-19 | Fujitsu Ltd | Temperature measuring system using infrared ray |
US4984902A (en) * | 1989-04-13 | 1991-01-15 | Peak Systems, Inc. | Apparatus and method for compensating for errors in temperature measurement of semiconductor wafers during rapid thermal processing |
DE4004408A1 (de) * | 1990-02-13 | 1991-08-14 | Ultrakust Electronic Gmbh | Infrarot-temperatursensor |
US5186541A (en) * | 1991-10-21 | 1993-02-16 | Gentri Controls, Inc. | Non-contact infrared temperature sensing system |
-
1995
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