JP3328818B2 - 気体透過性中空糸膜の製造方法とその製造装置 - Google Patents

気体透過性中空糸膜の製造方法とその製造装置

Info

Publication number
JP3328818B2
JP3328818B2 JP19156193A JP19156193A JP3328818B2 JP 3328818 B2 JP3328818 B2 JP 3328818B2 JP 19156193 A JP19156193 A JP 19156193A JP 19156193 A JP19156193 A JP 19156193A JP 3328818 B2 JP3328818 B2 JP 3328818B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hollow fiber
membrane
fiber membrane
blodgett
langmuir
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP19156193A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH078768A (ja
Inventor
年宏 中坊
裕幸 高木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nissin Electric Co Ltd
Original Assignee
Nissin Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nissin Electric Co Ltd filed Critical Nissin Electric Co Ltd
Priority to JP19156193A priority Critical patent/JP3328818B2/ja
Publication of JPH078768A publication Critical patent/JPH078768A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3328818B2 publication Critical patent/JP3328818B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Artificial Filaments (AREA)
  • Chemical Treatment Of Fibers During Manufacturing Processes (AREA)
  • Spinning Methods And Devices For Manufacturing Artificial Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は気体透過性中空糸膜の製
造方法と、その製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】気体の分離、精製において、省エネルギ
ー化などを理由に、気体透過性高分子膜を用いる方法が
注目されている。この種高分子膜を用いて空気から分
離、製造された酸素富化空気は、その燃焼効率向上性に
よる省エネルギー化、完全燃焼性による排出有害物質の
低減、動植物育成への利用などに期待されている。
【0003】このような用途からみて、この種高分子膜
が具備すべき性能として、気体透過性が高いこと、
気体分離性(分離しようとする気体と分離が不必要な気
体との透過性の比)が高いこと、があげられる。特に用
途などを考慮した場合、気体透過性が高いことが強く要
望される。このような性能を最も充足する素材として化
3によって示される構造式で表されるポリ置換アセチレ
ンがあげられる。
【0004】
【化3】
【0005】この素材は特定の有機溶剤に可溶で、通常
の高分子フィルム(たとえばポリジメチルシロキサン)
に比較して気体透過性が格段に優れており、気体透過係
数にすると、1桁以上も大きい。
【0006】一方、膜の高気体透過性を更に高めるため
には、膜形状を中空糸形状とすることが望ましい。この
場合、前記した高分子膜を用いて気体透過セルを組み上
げたとき、セルの単位体積における膜の表面積を広くす
ることができるため、気体透過量の増大を図ることがで
きる。したがって前記ポリ置換アセチレン膜を中空糸化
することが、最も気体透過性に優れた気体透過セルを製
作する手段であるといえる。
【0007】しかしこのポリ置換アセチレン膜は、気体
透過性が経時的に低下する性質があり、長時間が経過し
たときの気体透過性は、通常の高分子フィルムと同等あ
るいはそれ以下にまで低下してしまう。これは、ポリ置
換アセチレン膜の表面に空気中の不揮発性成分が吸着
し、気体の溶解を妨げるためと考えられる。
【0008】これを解決するために、従来ではポリ置換
アセチレン膜の表面に他の高分子膜を積層し、ポリ置換
アセチレン膜の表面が空気と接しないようにする方法が
考えられている。しかしこの方法によるときは、積層す
る高分子膜の厚さをポリ置換アセチレン膜の厚さに対し
て格段に薄くしないと、ポリ置換アセチレン膜の高気体
透過性を相殺してしまうことになり、都合が悪い。
【0009】そこで、ポり置換アセチレン膜およびこれ
に積層する高分子膜の極薄膜作成方法として、水面展開
法が考えられるが、この方法は水面上に展開した膜を基
板ですくい上げる方法であるため、できあがる膜は必然
的に平膜状となり、この方法で中空糸形状に形成するこ
とは困難である。
【0010】また、最初にポリ置換アセチレンにより中
空糸を作成し、この中空糸を積層しようとする高分子の
溶液などにディップする方法も考えられるが、これによ
るときは、積層膜の膜厚を或る程度以下には薄くするこ
とはできず、薄膜化しようとする要求には充分満足させ
ることはできない。
【0011】更に、ポリ置換アセチレンにより形成され
た中空糸に、真空法(真空蒸着、スパッタリング、プラ
ズマ重合等)により積層膜を形成する方法も考えられる
が、これによるときは中空糸の形成から積層膜の形成ま
でに長時間を要し、その間にポリ置換アセチレンの気体
透過性が損なわれてしまうようになる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ポリ置換ア
セチレンからなる高分子中空糸膜の初期の気体透過性を
極力損なうことなく、ポリ置換アセチレンからなる高分
子中空糸膜の表面に、ごく薄い薄膜層を形成することの
できる気体透過性中空糸膜の製造方法およびその製造装
置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、ポリ置換アセ
チレンからなる、表面が孔のない緻密層であるとともに
内側をポーラス構造とした中空糸膜を、予めラングミュ
ア・ブロジェット膜が調整されてある液中に浸漬して、
中空糸膜の表面にラングミュア・ブロジェット膜層を形
成し、そのあとこのラングミュア・ブロジェット膜層の
表面にエネルギービームを照射して、ラングミュア・ブ
ロジェット膜層を固定化することを特徴とする。
【0014】
【作用】本発明におけるポリ置換アセチレンは、構造式
が下記の化4で表される二置換アセチレンを重合したも
のである。
【0015】
【化4】
【0016】重合体は、TaC15,NbC15,Ta
Br5,NbBr5などのV族遷移金属触媒と、芳香族
炭化水素(ベンゼン、トルエン、キシレンなど)、脂環
式炭化水素(シクロヘキサンなど)、ハロゲン系炭化水
素(四塩化炭素、トリクロロエチレンなど)などの溶剤
を用い、不活性気体中で30〜100℃で加熱すること
によって得られる。
【0017】得られた重合体を、芳香族炭化水素(ベン
ゼン、トルエン、キシレンなど、)、脂環式炭化水素
(シクロヘキサンなど)、ハロゲン系炭化水素(四塩化
炭素、トリクロロエチレンなど)などの溶剤に溶解さ
せ、この溶液を紡糸原液とする。原液濃度は、1〜10
%程度が望ましい。
【0018】この紡糸原液より非対称中空糸膜を形成す
る。この形成は次のようにして行なう。まず出口が二重
管構造となっているノズルの外管部分より紡糸原液を、
また内管部分より空気、窒素などの気体、あるいはポリ
置換アセチレンを溶解することなく、かつ紡糸原液の溶
媒と混ざり合う液体(凝固液)を、同時に押し出す。凝
固液としては、メタノール、エタノール、プロパノール
等のアルコール類、エチレングリコール、ジエチレング
リコール等のグリコール類等が用いられる。
【0019】押し出された紡糸原液は、任意の時間ある
いは距離の間、予備乾燥の過程を経てから凝固液中に導
かれる。この紡糸原液は凝固液中で脱溶媒が行なわれて
中空糸状となり、更にこれより取り出して溶媒を蒸発さ
せる。これにより中空糸膜が得られるようになる。
【0020】このようにして得られた中空糸膜は、外側
が物理的な孔のない緻密層となり、内側に向かうのにし
たがってポーラスなスポンジ構造となる。すなわちこの
内側の部分が、気体の透過にはほとんど関与することな
く、かつ機械的強度を有する支持層となる。
【0021】この工程中において、紡糸原液とともに押
し出す気体あるいは凝固液の種類、予備乾燥の時間、温
度、凝固液の温度、浸漬時間などを調整することによ
り、緻密層の厚さ、支持層の孔径、孔分布などを調整す
ることができる。
【0022】得られた中空糸膜は、単独では優れた気体
透過性を示すが、経時的に特性が低下する傾向がある。
これを回避するために、まず反応性モノマーまたはその
オリゴマーのラングミュア・ブロジェット(以下単にL
Bという。)膜を、この中空糸膜の表面に累積し、その
あとエネルギービームを照射してこのLB層を固定化す
る。これにより中空糸膜の表面に極めて薄い高分子膜層
が形成されるようになる。
【0023】このLB膜はLB法によって中空糸膜の表
面に積層化することができる。その工程は次のようにし
ておこなう。すなわちバリアで仕切られた水面上に、反
応性モノマーまたはそのオリゴマーあるいはその溶液
を、適当量展開して水面膜を形成したあと、バリアを移
動して水面膜を適当な水面膜圧に制御しながら、中空糸
膜を水面膜上から水中に浸漬して、水面膜を中空糸膜の
表面に移し取る。これにより中空糸膜の表面に極めて薄
い反応性モノマーまたはそのオリゴマー層を形成するこ
とができるようになる。
【0024】ここに使用する反応性モノマーまたはその
オリゴマーとしては、例えば、スチレン、N−ビニル
ピロリドンなどのビニル基を含有する反応性モノマーま
たはそのオリゴマー、トリメチロールブロパントリア
クリレートなどのアクリル基を含有する反応性モノマー
またはそのオリゴマー、トリメチロールプロパントリ
メタクリレートなどのメタクリル基を含有する反応性モ
ノマーまたはそのオリゴマー、などのうちの一種または
複数種が利用できる。特に分子内にシロキサン結合ある
いはフッ素を含有する反応性モノマーまたはそのオリゴ
マーの場合、硬化させることによって、気体透過性が他
の反応性モノマーまたはそのオリゴマーに比較して優れ
る点で有利である。
【0025】このようにして形成された積層膜の表面
に、続いてエネルギービームを照射して、LB膜層を固
定化する。エネルギービームとしては、たとえば電子
線、ガンマ線などの放射線、紫外線のような電磁波が利
用できる。一般には電子線を用いることが望ましい。こ
れによれば操作が簡単であり、短時間で処理できるため
有利である。この場合の電子線の加速電圧は、50kV
以上、好ましくは100kV以上であり、吸収線量とし
ては、0.1〜150メガラド、好ましくは0.1〜1
0メガラドである。
【0026】ガンマ線を用いる場合も同程度の吸収線量
が好ましいが、あまり高線量になると、照射時間が長く
なり、効率上あまり良くない。より好ましいのは0.1
〜10メガラドである。
【0027】紫外線などの電磁波を用いる場合、たとえ
ば紫外線としては、10nm〜400nmの任意の波長
の光が用いられる。紫外線発生源としては、市販のUV
硬化装置、高圧水銀灯、分析検出器用UVランプなどが
用いられる。このときの照射強度としては、1平方cm
当たり1mWが、より好ましい。この場合LB膜に光反
応増感剤を適当量加えると、反応が効率よく進み、好都
合である。
【0028】光反応増感剤としては、たとえば2−イソ
ブロピルチオキサントン、2.4−ジエチルチオキサン
トン、ベンジルジメチルケタール、2.4.6トリメチ
ルベンゾフェノン、α−エトキシ−α−フェニルアセト
フェノン、α−イソプロポキシ−α−フェニルアセトフ
ェノン、エチルー4−(ジメチルアミノ)ベンゾエー
ト、2−ヒドロキシー2−メチルー1−(4−(1−メ
チルビニル)フェニル)プロパノンなどをはじめ、適当
なものが用いられる。
【0029】
【実施例】
実施例1 1−(トリメチルシリル)−1−ブロピン(アルドリッ
チ)1g、TaC150.06g、トルエン10ccを
用い、80℃にて24時間、窒素雰囲気中で反応させる
ことにより、粘調な重合体ゲルを得た。この重合体ゲル
をトルエンにて希釈した後、多量のメタノール中に滴下
して重合体を析出沈殿させた。得られた重合体を濾過お
よび乾燥した。
【0030】得られた重合体2gをトルエン100cc
に溶解して、重合体溶液とした。この重合体溶液を40
0メッシュのステンレスフィルターに通して濾過したあ
と、2重管型の中空糸用ノズルを通して空気中に1分間
当たり5立方cmの速度で吐出した。このときノズル内
管からは、メタノールを同じ速度で吐出した。
【0031】続いて吐出された重合体溶液を、ノズルか
ら10cmの位置に設置されたメタノール凝固液槽に浸
漬し、10分間保持したあと、引き上げて乾燥した。得
られた中空糸膜は、外径900μm、内径500μmで
あった。
【0032】次に、シリコーンアクリレート(ゴールド
シュミット社製)の1Wt%クロロホルム溶液を、水を
張ったLB膜製造装置の水面にシリンジで1滴展開し、
膜圧が30dyn/cmになるようにバリアで制御しな
がら、中空糸膜を浸漬した。この操作を2回繰り返し
て、重合体膜とシリコーンアクリレートの2層積層膜を
形成した。得られた2層積層膜を、エリアビーム型の電
子線照射装置により、加速電圧200kV、吸収線量
0.1メガラドの条件で電子線を照射して硬化させた。
【0033】実施例2 実施例1と同様にして中空糸膜を作成し、続いてシリコ
ーンアクリレート(ゴールドシュミット社製)と、α−
エトキシ−α−フェニルアセトフェノン混合物(重量比
100:1)の1wt%クロロホルム溶液を、水を張っ
たLB膜製造装置の水面にシリンジで1滴展開し、膜圧
が30dyn/cmになるようにバリアで制御しなが
ら、中空糸膜を浸漬した。この操作を2回繰り返して、
重合体膜とシリコーンアクリレート・α−エトキシ−α
−フェニルアセトフェノン混合物の2層積層膜を形成し
た。得られた2層積層膜を、メタルハライドランプ式紫
外線照射装置により、照射強度1平方cm当たり20m
Wで、1秒間紫外線を照射した。
【0034】以上の各例の中空糸膜についての性能の評
価は、直径3cm、長さ10cmの管型モジュール(容
積約71立方cm)を試作して行なった。すなわち各例
の中空糸膜の多数本の端をシールしたあと、管型モジュ
ールに組み込み、中空糸の外側に酸素あるいは窒素を、
1平方cm当たり1kgf一定圧で流し、中空糸の内側
からでてくる気体流量を膜流量計によって測定した。
【0035】比較例 ポリジメチルシロキサンの20wt%ベンゼン溶液を用
い、実施例と同様にして中空糸膜を形成した。得られた
中空糸膜は、外径900μm、内径500μmであっ
た。これをそのまま管型モジュールに組み込んだ。
【0036】以上の各例の膜についての気体透過流量、
酸素透過速度(Ro2)ならびに気体分離度αを表1に
示す。なお各実施例についてはエネルギビームの照射直
後の性能を初期値としてある。また気体分離度αは、酸
素/窒素分離度から算出した。
【0037】
【表1】
【0038】表1に示す結果から明らかなように、実施
例による高分子中空糸膜を用いたモジュールは、比較例
によるものに比較して、長時間にわたって安定した特性
を維持しながら、気体透過流量が極めて大きい特性を呈
することが判明する。
【0039】次に本発明による製造装置について、図
1、図2を参照して説明する。図1に示す製造装置は、
主として中空糸膜製造部Aと、LB膜積層部Bと、エネ
ルギービーム照射部Cとから構成されている。中空糸膜
製造部Aには、紡糸原液が溜められているタンク1があ
り、このタンク1内の紡糸原液はポンプ2により一定流
量で送られる。ポンプ2により送られてくる紡糸原液
は、2重管型ノズル3より吐出される。吐出された紡糸
原液は予備乾燥装置4により予備的に乾燥される。
【0040】5は凝固液が満たしてある凝固液槽であ
る。予備乾燥装置4により予備乾燥された紡糸原液は凝
固液槽5に浸漬され、脱溶媒されて中空糸膜構造とな
る。なお空気、窒素などの気体あるいは凝固液などの気
体がタンク6に溜められてあり、これがポンプ7により
2重管型ノズル3の内管から紡糸原液の内部に吐出され
るようにしてある。これらの気体、凝固液によって、紡
糸原液の溶媒を中空糸膜の内部から蒸発させる。
【0041】このようにして得られた中空糸膜Tは次に
LB膜積層部Bに送られる。LB膜積層部Bには、表面
にLB膜が展開される水槽8を備えており、LB膜材料
を溜めているタンク9より、ポンプ10によってこの水
槽8の表面にノズル11を介して送られてくる。水槽8
の表面にはLB膜の表面圧力を測定するセンサ12およ
びLB膜を圧縮するバリア13が設けてある。
【0042】センサ12、バリア13およびポンプ10
は、制御回路で結ばれており、水槽8の表面のLB膜が
任意の一定表面圧力に保たれ、更にその展開面積が任意
の値より小さくなった場合、LB膜材料をタンク9より
ポンプ10により補給し、かつ表面圧力が保たれるよう
にバリア13と連動する。
【0043】前記のように水槽8の表面にLB膜が展開
され、バリア13により圧縮されて任意の一定表面圧力
に調整されている状態で、中空糸膜製造部Aから中空糸
膜Tが送られてきて、LB膜層に浸漬される。浸漬され
た中空糸膜Tは水槽8内に設けられてあるロール14に
沿って折り返され、再度LB膜層を通過して大気中に放
出される。これによって中空糸膜Tの表面にLB膜が積
層される。この場合、LB膜の材料、圧縮圧力などによ
り、LB層が1層または2層となって積層される。
【0044】LB膜が積層された中空糸膜は、その後直
ちにエネルギービーム照射部Cに送られ、エネルギービ
ームが照射される。すなわちエネルギービーム発生源、
たとえば電子線照射器16は、水槽8の中空糸膜出口の
ごく近くに設置されてあり、送られてきた中空糸膜Tに
即座に電子線が照射される。これにより中空糸膜Tの表
面のLB膜が固定化される。電子線が照射された中空糸
膜Tは巻取ドラム16により連続的に巻き取られる。
【0045】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、
リ置換アセチレンからなる高分子中空糸膜の表面にラン
グミュア・ブロジェット膜を形成するので、ポリ置換ア
セチレンからなる高分子中空糸膜の製造後ほぼ直ちにそ
の膜の表面にごく薄い薄膜層を形成することができ、結
果として、長期にわたって安定した気体透過性能を呈す
るこの種気体透過性膜を製造することができる。また本
発明の装置によれば、この中空糸膜を連続的に製造する
ことができ、ポリ置換アセチレンからなる高分子中空糸
膜の初期の気体透過性をより損なうことなく製造するこ
とができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す断面図である。
【図2】図1の一部の側面図である。
【符号の説明】
A 中空糸膜製造部 B LB膜積層部 C エネルギービーム照射部 1 タンク 2 ポンプ 3 2重 管ノズル 4 乾 燥部 5 凝 固液槽 8 水槽 9 タンク 10 ポンプ 12 センサ 13 バリア 15 エネルギービーム発生源 16 巻取ドラム
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI D01F 6/26 D01F 6/26 11/06 11/06 // B01D 71/70 500 B01D 71/70 500 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B01D 67/00 - 71/82

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】構造式が 【化1】で表されるポリ置換アセチレンから表面が孔の
    ない緻密層であるとともに内側をポーラス構造とした
    空糸膜を成膜する工程と、ラングミュア・ブロジェット
    法により前記中空糸膜の表面にングミュア・ブロジェ
    ット膜を形成する工程と、前記中空糸膜の表面に形成し
    ラングミュア・ブロジェット膜にエネルギービームを
    照射して、前記ラングミュア・ブロジェット膜を固定化
    する工程とからなることを特徴とする気体透過性中空糸
    膜の製造方法。
  2. 【請求項2】 構造式が 【化2】 で表されるポリ置換アセチレンからなる紡糸原液を溜め
    るタンクと、前記タンクから前記紡糸原液を吐出して中
    空糸状に形成する2重管型ノズルと、前記2重管型ノズ
    ルから吐出された中空糸状の紡糸原液が送られる、凝固
    液が満たしてある凝固液槽と、前記凝固液槽内に浸漬さ
    れることによって得られた中空糸膜が送られる、ラング
    ミュア・ブロジェット膜の層が表面に展開されている水
    槽と、ラングミュア・ブロジェット膜の層を通過して表
    面にラングミュア・ブロジェット膜が積層された前記中
    空糸膜の表面にエネルギービームを照射して、前記ラン
    グミュア・ブロジェット膜を固定化するエネルギービー
    ム照射部と、前記エネルギービーム照射部によってエネ
    ルギービームが照射された前記中空糸膜を、連続的に巻
    き取る巻取ドラムとからなる気体透過性中空糸膜の製造
    装置。
JP19156193A 1993-06-21 1993-06-21 気体透過性中空糸膜の製造方法とその製造装置 Expired - Fee Related JP3328818B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19156193A JP3328818B2 (ja) 1993-06-21 1993-06-21 気体透過性中空糸膜の製造方法とその製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19156193A JP3328818B2 (ja) 1993-06-21 1993-06-21 気体透過性中空糸膜の製造方法とその製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH078768A JPH078768A (ja) 1995-01-13
JP3328818B2 true JP3328818B2 (ja) 2002-09-30

Family

ID=16276724

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19156193A Expired - Fee Related JP3328818B2 (ja) 1993-06-21 1993-06-21 気体透過性中空糸膜の製造方法とその製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3328818B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102888668B (zh) * 2011-07-21 2015-10-14 北京金通量科技有限公司 一种通过设备制造中空纤维超滤膜的工艺
KR101366224B1 (ko) * 2011-12-16 2014-02-24 (주)세프라텍 중공사막 제조장치
DE102013203127A1 (de) * 2013-02-26 2014-08-28 Wacker Chemie Ag Poröse Membranen aus vernetztem thermoplastischem Siliconelastomer

Also Published As

Publication number Publication date
JPH078768A (ja) 1995-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3775308A (en) Method for preparation of composite semipermeable membrane
Liang et al. Temperature-sensitive polypropylene membranes prepared by plasma polymerization
JP5703563B2 (ja) 複合半透膜およびその製造方法
JP3328818B2 (ja) 気体透過性中空糸膜の製造方法とその製造装置
JPS63503074A (ja) 複合膜
JP2012040487A (ja) 分離膜エレメント
CN110662598A (zh) 气体分离膜、气体分离膜元件、气体分离装置和气体分离方法
WO2012077619A1 (ja) 複合半透膜およびその製造方法
KR102187975B1 (ko) 기체 분리막의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 기체 분리막
JP2012045540A (ja) 分離膜複合体および分離膜エレメント
JP2000117077A (ja) 半透膜およびその製造方法
Ogawa et al. Study of photoreaction processes of PDA Langmuir films
JP2009183804A (ja) 親水化された微多孔膜の製造方法
JPH05317666A (ja) 気体透過性膜の製造方法
JP2012210582A (ja) 複合半透膜およびその製造方法
EP0242209A1 (en) Composite membranes
JPH05317665A (ja) 気体透過性膜の製造方法
JPH05220362A (ja) 気体分離膜
JPH05146653A (ja) 気体分離膜
KR20200041838A (ko) 기체 분리막의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 기체 분리막
WO1993025300A1 (en) Ultrathin composite membranes
JPH06269646A (ja) 気体透過膜の製造方法
JP2584011B2 (ja) 液体中の溶存ガスの脱気方法
JPS61192322A (ja) 分離用複合膜
CN107051238B (zh) 一种含四氢糠基的co2优先渗透分离膜

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees