JP3328030B2 - プローブ自動交換ユニットのためのプローブ有無検出方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はプローブ自動交換ユニ
ットのためのプローブ有無検出方法に係り、さらに詳し
くは、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキットテスタ
用のコンタクトプローブを円滑に交換するために設置さ
れるプローブ自動交換ユニットが備えるプローブホルダ
にコンタクトプローブが収納保持されているか否かを容
易、かつ正確に検出することができるプローブ自動交換
ユニットのためのプローブ有無検出方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキッ
トテスタは、通常、コンタクトプローブを保持するチャ
ック部を装備しており、チャック部に保持されるコンタ
クトプローブは、別途用意されるプローブ自動交換ユニ
ットを利用して円滑に自動交換できるようになってい
る。

【０００３】図３は、従来からあるプローブ自動交換ユ
ニット１の構成例を示す説明図である。

【０００４】同図によれば、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレス
インサーキットテスタが装備するチャック部２１は、リ
ング２１ａを上下させることで被チャッキング部材を着
脱するいわゆるコレットチャック構造を採用することで
形成されている。

【０００５】また、プローブ自動交換ユニット１は、基
台２上に配設されたエアシリンダ３，４とガイド杆５，
６とを介することで各個独立に昇降するプローブホルダ
台７とチャック解除板８とを備え、プローブホルダ台７
上に植設配置されている複数本のプローブホルダ９は、
前記チャック部２１により保持される被チャッキング部
１０ａを含む一側部を突出させた状態のもとでのコンタ
クトプローブ１０の収納を自在に形成されている。

【０００６】このようにして構成されるプローブ自動交
換ユニット１を介して行われるコンタクトプローブ１０
の交換につき、チャック部２１に保持させたコンタクト
プローブ１０をプローブホルダ９の側に回収する場合に
ついて説明すれば、まず、チャック部２１を所定位置に
あるプローブホルダ９上に移動させた後、プローブホル
ダ台７を所定位置にまで上昇させることで、コンタクト
プローブ１０の他側部に位置するプローブピンの側をプ
ローブホルダ９内に導入する。

【０００７】コンタクトプローブ１０の他側部をプロー
ブホルダ９内に所定位置まで導入した後は、チャック解
除板８を上昇させてチャック部２１のリング２１ａを押
し上げ、コンタクトプローブ１０に対するチャック状態
を解除し、チャック部２１から解放されたコンタクトプ
ローブ１０をプローブホルダ９の側に移し替えて収納す
る。

【０００８】コンタクトプローブ１０のプローブホルダ
９の側への移し替えを終えた後は、プローブホルダ台７
を下降させることでチャック部２１の側から完全に離脱
させた状態でのもとでコンタクトプローブ１０はプロー
ブホルダ９の側に収納され、チャック解除板８も定位置
へと下降させることでコンタクトプローブ１０の回収作
業が終了する。

【０００９】次に、チャック部２１に対し新規にコンタ
クトプローブ１０を保持させる場合について説明すれ
ば、まず、所望するコンタクトプローブ１０が収納され
ているプローブホルダ９上にチャック部２１を移動させ
た後、チャック解除板８を上昇させてチャック部２１の
リング２１ａを押し上げた状態のもとで、プローブホル
ダ台７を所定位置にまで上昇させる。

【００１０】このようにプローブホルダ台７を上昇させ
ることで、コンタクトプローブ１０の前記被チャッキン
グ部１０ａはチャック部２１内に送り込まれ、しかる
後、チャック解除板８を下降させてリング２１ａへの押
し上げ状態を解除することによりチャック部２１にコン
タクトプローブ１０が確実に保持されることになる。

【００１１】チャック部２１にコンタクトプローブ１０
を確実に保持させた後は、プローブホルダ台７を元の位
置にまで下降させることで一連のコンタクトプローブ交
換作業は終了する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来手
法によってもＸ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキット
テスタが装備するチャック部２１が保持すべきコンタク
トプローブ１０を自動交換することはできる。

【００１３】しかし、上記プローブ自動交換ユニット１
による場合には、プローブホルダ９内にコンタクトプロ
ーブ１０が収納されているか否かを事前に検知すること
ができないことから、例えばコンタクトプローブ１０が
収納されていないにもかかわらずプローブホルダ９に対
しチャック部２１がコンタクトプローブ１０を保持しに
行ったり、逆にコンタクトプローブ１０が既に収納され
ているプローブホルダ９に別のコンタクトプローブ１０
を戻しに行ったりするなどの誤作動の生ずる不都合があ
った。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この発明は従来技術にみ
られた上記課題に鑑みてなされたものであり、その構成
上の特徴は、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキット
テスタが装備するチャック部が保持する被チャッキング
部を含む一側部を突出させて測定用のコンタクトプロー
ブを収納保持するプローブホルダを少なくとも備えてな
るプローブ自動交換ユニットにあって、各プローブホル
ダの側における前記コンタクトプローブの有無は、プロ
ーブホルダから突出するコンタクトプローブの前記一側
部と対向する位置に光センサをそれぞれ配置し、コンタ
クトプローブの前記一側部を被検知体として前記光セン
サにより個別に検出することにある。

【００１５】

【作用】このため、光センサの側から光を照射し、その
際の光の有無を検知することで、プローブホルダの側に
おけるコンタクトプローブの有無を確実に検出すること
ができる。

【００１６】したがって、上記光センサが検知する光の
有無に対応する出力を制御信号とすることでプローブ自
動交換ユニットの側の作動を制御することができるの
で、コンタクトプローブの自動交換を常に正常な状態の
もとで円滑に実行させることができる。

【００１７】

【実施例】以下、図面に基づいてこの発明の実施例を説
明する。なお、この発明が適用されるプローブ自動交換
ユニットは、図３に示す従来例とその基本構成を同じく
するものであることから、同図をも参照しながら以下に
説明することとする。

【００１８】すなわち、この発明が適用されるプローブ
自動交換ユニット１は、図３に示すようにＸ−Ｙ式フィ
クスチャレスインサーキットテスタ（図示せず）が装備
するチャック部２１との対応関係のもとで作動されるも
のであり、その全体は、基台２上に配設されたエアシリ
ンダ３，４とガイド杆５，６とを介することで各個独立
に昇降するプローブホルダ台７とチャック解除板８とを
備えて形成されている。

【００１９】また、前記プローブホルダ台７上に植設配
置されている複数本のプローブホルダ９には、コンタク
トプローブ１０が前記チャック部２１のための被チャッ
キング部１０ａを含む一側部を突出させた状態のもとで
収納配置できるようになって形成されている。

【００２０】しかも、このような構成からなるプローブ
自動交換ユニット１には、図１と図２とに示すように各
プローブホルダ９から突出するコンタクトプローブ１０
の被チャッキング部１０ａを含む一側部と対向する位置
に光センサ１１がそれぞれ支持部材１２を介して配置さ
れている。

【００２１】この場合の光センサ１１は、図示例のよう
に反射式のマイクロフォトセンサを好適に用いることが
できるほか、コンタクトプローブ１０の被チャッキング
部１０ａを含む一側部と対向する一方の側に発光素子
を、他方の側に受光素子を配設して形成される透過式の
フォトセンサなど、必要に応じ適宜の種類のものを用い
ることができる。

【００２２】次に、上記プローブ自動交換ユニット１に
適用して実施されるこの発明の一実施例を説明する。

【００２３】すなわち、プローブ自動交換ユニット１が
その作動を開始することにより、それぞれの光センサ１
１にも電圧が印加され、プローブ自動交換ユニット１に
おける対応する各プローブホルダ９の側へと光が照射さ
れる。

【００２４】この場合、プローブホルダ９内にコンタク
トプローブ１０が被チャッキング部１０ａを含む一側部
を突出させた状態のもとで収納されているときは、光セ
ンサ１１から照射される光が被検知体である被チャッキ
ング部１０ａを含む一側部に当たり、反射光となって光
センサ１１がこれを受光し、コンタクトプローブ１０の
存在を検知する。

【００２５】また、プローブホルダ９内にコンタクトプ
ローブ１０が収納されていない場合には、被チャッキン
グ部１０ａを含む一側部も存在していないので、光セン
サ１１から照射された光を反射光として光センサ１１が
受光することがないので、コンタクトプローブ１０の不
存在を検知する。

【００２６】なお、前記光センサ１１として透過式のフ
ォトセンサを用いる場合には、発光素子の側から照射さ
れる光が受光素子の側に到達しない場合に被検知体であ
るコンタクトプローブ１０の存在を検知し、到達する場
合にコンタクトプローブ１０の不存在を検知することに
なる。

【００２７】このようにして光センサ１１がコンタクト
プローブ１０の有無を検知することで、前記プローブ自
動交換ユニット１は、次のようにしてその作動が制御さ
れることになる。

【００２８】すなわち、チャック部２１に対しコンタク
トプローブ１０を保持させるために必要なすべての動作
を終え、チャック部２１がコンタクトプローブ１０をプ
ローブホルダ９から持ち去った場合には、光センサ１１
がコンタクトプローブ１０の不存在を検知し、一連の交
換動作を終了する。

【００２９】しかし、その際にチャック部２１がコンタ
クトプローブ１０の保持に失敗し、コンタクトプローブ
１０をプローブホルダ９に残したままで交換動作を終え
ようとするときは、光センサ１１がコンタクトプローブ
１０の存在を検知し、誤作動していることを検出し、動
作を中断する。

【００３０】また、チャック部２１が所定位置のプロー
ブホルダ９に収納されているはずのコンタクトプローブ
１０を保持する動作に入ろうとするが、実際にはプロー
ブホルダ９にコンタクトプローブ１０が収納されていな
ければ、光センサ１１はその不存在を検知し、事前に交
換動作を中止させることができる。

【００３１】一方、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサー
キットテスタによる所定の測定作業を終え、チャック部
２１が保持するコンタクトプローブ１０を元の位置にあ
るプローブホルダ９に戻そうとする場合は、光センサ１
１がその不存在を検知していれば、所定の動作手順に従
いコンタクトプローブ１０は、プローブホルダ９の側に
回収される。

【００３２】しかし、戻そうとするプローブホルダ９内
に既にコンタクトプローブ１０が収納されている場合に
は、光センサ１１がコンタクトプローブ１０の存在を検
知し、誤作動していることを検出し、交換動作を中止す
る。

【００３３】この発明は上述したようにして構成されて
いるので、光センサ１１の側から光を照射し、その際の
反射光の有無を検知することで、プローブホルダ９の側
におけるコンタクトプローブ１０の有無を確実に検出す
ることができる。

【００３４】したがって、上記光センサ１１が検知する
反射光の有無に対応する出力を制御信号とすることでプ
ローブ自動交換ユニット１の側の作動を制御することが
できるので、コンタクトプローブ１０の自動交換を常に
正常な状態のもとで円滑に実行させることができる。

【００３５】

【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、光
センサの側から光を照射し、その際の反射光の有無を検
知することで、プローブホルダの側におけるコンタクト
プローブの有無を確実に検出することができる。

【００３６】したがって、上記光センサが検知する反射
光の有無に対応する出力を制御信号とすることでプロー
ブ自動交換ユニットの側の作動を制御することができる
ので、コンタクトプローブの自動交換を常に正常な状態
のもとで円滑に実行させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施に供されるプローブ自動交換ユ
ニットの要部を正面側からみた説明図である。

【図２】図１に示すプローブ自動交換ユニットの要部を
左側面側からみた説明図である。

【図３】従来からあるプローブ自動交換ユニットの基本
構成の概要を示す説明図である。

【符号の説明】

１ プローブ自動交換ユニット ２ 基台 ３，４ エアシリンダ ５，６ ガイド杆 ７ プローブホルダ台 ８ チャック解除板 ９ プローブホルダ １０ コンタクトプローブ １０ａ 被チャッキング部 １１ 光センサ １２ 支持部材 ２１ チャック部 ２１ａ リング

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/28 - 31/3193 G01R 1/06 - 1/073

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキッ
   トテスタが装備するチャック部に保持される被チャッキ
   ング部を含む一側部を突出させて測定用のコンタクトプ
   ローブを収納するプローブホルダを少なくとも備えてな
   るプローブ自動交換ユニットにおいて、プローブホルダ
   の側における前記コンタクトプローブの有無は、プロー
   ブホルダから突出するコンタクトプローブの前記一側部
   と対向する位置に光センサをそれぞれ配置し、コンタク
   トプローブの前記一側部を被検知体として前記光センサ
   により個別に検出することを特徴とするプローブ自動交
   換ユニットのためのプローブ有無検出方法。