JP3327077B2 - パーツフィーダ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、チップを基板に実
装する電子部品実装装置に用いられるパーツフィーダに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電子部品実装装置は、チップ供給部に備
えられたチップを移載ヘッドのノズルで真空吸着してピ
ックアップし、基板に移送搭載する。チップ供給部は多
品種のチップを高速度で移載ヘッドへ供給する必要があ
り、このためチップ供給部として、たとえば特公平６−
８０９３２号公報に記載されたパーツフィーダが提案さ
れている。このパーツフィーダは、ホッパー２（符号は
同公報援用、以下同）にばらばらで収納されたチップ
（電子部品）１をパイプ９を通してエスケープロータ１
０の溝１０ｂへ１個づつ送り、エスケープロータ１０が
ピッチ回転することにより、溝１０ｂへ送り込まれたチ
ップ１を移載ヘッドの吸着チャック２５のピックアップ
位置へ移動させるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のパ
ーツフィーダは、チップ１はエスケープロータ１０の溝
１０ｂに確実に送り込まれにくく、また送り込まれた場
合にも、溝１０ｂから不要に飛び出してしまいやすいと
いう問題点があった。

【０００４】したがって本発明は、チップをロータ（エ
スケープロータ）のポケット（溝）に送り込んで、移載
ヘッドのピックアップ位置まで移動させることのできる
パーツフィーダを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このために本発明は、チ
ップを搬送する搬送路と、搬送路の上流側にエアを送っ
てそのエア圧によりチップを搬送路の下流へ向って移動
させるエア供給手段と、この搬送路の下流にあってこの
搬送路からチップが１個づつ送り込まれるポケットを有
し、回転軸を中心にピッチ回転することによりポケット
に送り込まれたチップを移載ヘッドのピックアップ位置
へ移動させるロータと、ロータをピッチ回転させるピッ
チ回転手段と、ロータの少なくともチップが送り込まれ
るポケットの上面を覆うシャッタとを備え、搬送路を送
られてきたエアをシャッタの下面とロータの上面の間を
通して外界へ吹き出させるようにした。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明は、ロータの少なくともチ
ップが送り込まれるポケットの上面を覆うシャッタを備
え、搬送路を送られてきたエアをシャッタとロータの上
面の間を通して外界へ吹き出させるようにしているの
で、チップをロータのポケットへ確実に送り込んでピッ
クアップ位置へ移動させることができる。

【０００７】以下、図面を参照して本発明の一実施の形
態を説明する。図１は本発明の一実施の形態によるパー
ツフィーダの斜視図、図２は同側面図、図３は同先端部
の斜視図、図４は同先端部の断面図、図５は同先端部の
平面図、図６、図７、図８は同先端部の平断面図、図
９、図１０は同先端部の平面図である。

【０００８】図１および図２において、長板状の基台１
の後部上面にはカセット２が装着されている。カセット
２の内部には小形のチップ３がばらばらの状態で大量に
収納されている。基台１の後部にはエア供給手段として
のチューブ４が接続されている。チューブ４はエア供給
ユニット（図外）に接続されている。図２において、チ
ューブ４から間欠的に送られたエア（破線矢印参照）の
一部はカセット２の内部へ吹き上げ、カセット２の内部
のチップ３を流動化させる。またエアの一部は、基台１
の上面に設けられたカバー板５の下方に形成された細長
い溝から成る搬送路６（図３〜図５も参照）の上流側へ
送られ、そのエア圧によりカセット２から搬送路６へ送
り出されたチップ３を搬送路６の下流側へ搬送する。６
０は電子部品実装装置本体（図示せず）側の移載ヘッド
であって、ロータ（後述）のポケット内のチップ３をノ
ズル６１に真空吸着してピックアップし、基板（図外）
に移送搭載する。

【０００９】図３〜図５において、ロータ１０は基台１
の先端部の上面に設けられている。図５に示すようにロ
ータ１０は円板であり、その上面の円周上には４個のポ
ケット１１が等ピッチで設けられている。ロータ１０
は、後述するピッチ回転手段に駆動されて９０°づつピ
ッチ回転する。搬送路６の終端部に連接するポケット１
１には、搬送路６へ圧入されたエアのエア圧により搬送
路６を搬送されてきたチップ３が１個づつ送り込まれ
る。

【００１０】次に、ロータ１０をピッチ回転させるピッ
チ回転手段について説明する。図４において、ロータ１
０は垂直な回転軸１２の上端部に結合されている。回転
軸１２の下部には回転体としてのラチェットホイール１
３が装着されており、ロータ１０とラチェットホイール
１３は一体的に回転軸１２を中心に回転する。ラチェッ
トホイール１３にはピッチ回転部材としての送り爪１
４、および逆回転防止爪１５が係脱自在に係合してい
る。図６においてラチェットホイール１３の胴面には４
個のポケット１１に対応するように溝部１６が４個等ピ
ッチで形成されており、送り爪１４と逆回転防止爪１５
はこの溝部１６に係脱自在に係合する。

【００１１】図４において、回転軸１２の下部にはラチ
ェットレバー１７が回転軸１２を中心に回転自在に設け
られており、送り爪１４はラチェットレバー１７に立設
されたピン１８に装着されている。逆転防止爪１５は基
台１に立設されたピン１９に回転自在に装着されてい
る。送り爪１４と逆回転防止爪１５は、ピン１８、１９
に巻回されたスプリング２１、２２により、ラチェット
ホイール１３の溝部１６に係合する方向へ付勢されてい
る。逆回転防止爪１５は、ラチェットホイール１３が正
方向（ロータ１０のピッチ回転方向であって、図６では
反時計方向）へ回転するのは許容するが、逆方向へ回転
するのは防止する。送り爪１４は、ラチェットレバー１
７が正方向へ回転するときは、ラチェットホイール１３
の溝部１６に係合してラチェットレバー１７の回転をロ
ータ１０に伝達し、逆方向へ回転するときは溝部１６か
ら外れてこの逆方向の回転をロータ１０に伝達しない。

【００１２】図４および図６において、ラチェットレバ
ー１７の端部にはピン２３が立設されている。ピン２３
は第１のバネ部材２４により基台１の先端部と連結され
ている。後述するように、ラチェットレバー１７はこの
第１のバネ部材２４のバネ力により図８に示すラチェッ
トホイール１３のピッチ回転開始位置から図６へ示すピ
ッチ回転終了位置へ回転軸１２を中心に反時計方向Ａへ
９０°ピッチ回転し、ロータ１０を同方向へ９０°ピッ
チ回転させる。

【００１３】図６は、ラチェットホイール１３と送り爪
１４がピッチ回転を終了し、またロッド３５が往動開始
位置へ移動した状態を示している。また図７は送り爪１
４がピッチ回転を開始する位置へ移動した状態を示して
いる。また図８はロッド３５が矢印Ｄ方向への復動を終
了した状態を示している。図６において、基台１の先端
部にはピン５５が水平に配設されている。ピン５５の先
端部にはストッパ５６が装着されている。送り爪１４
は、ストッパ５６に当ることによりピッチ回転終了位置
で正しく停止する。ストッパ５６は偏心カムから成って
おり、ピン５５を中心に回転させることにより、送り爪
１４の停止位置を微調整することができる。ラチェット
ホイール１３は、送り爪１４によって高速でピッチ回転
させられると、慣性力よってさらに反時計方向へ回転し
ようとする。しかし本実施の形態では、送り爪１４を直
接ストッパ５６に当接させることにより停止位置へ到達
したときにこの送り爪１４がラチェットホイール１３の
溝部１６から外れないように規制している。このためラ
チェットホイール１３が慣性力で回転しようとしても送
り爪１４が溝部１６にしっかり係合しているので回転で
きない。これにより、ラチェットホイール１３やロータ
１０を高速でピッチ送りさせても正確な角度だけ確実に
ピッチ送りできるのである。

【００１４】次に、ラチェットレバー１７を時計方向Ｂ
へ回転させて、ロータ１０を図６に示すピッチ回転終了
位置から図７および図８に示すピッチ回転開始位置へ時
計方向Ｂへ９０°回転させる機構について説明する。図
２において、基台１の側部にはフレーム３０が立設され
ている。フレーム３０にはカギ形のレバー３１がピン３
２で上下方向へ回転自在に軸着されている。レバー３１
の先端部にはローラ３３が軸着されている。３４は電子
部品実装装置本体（図示せず）に設けられた押圧ロッド
である。この押圧ロッド３４は上下動作を行ってローラ
３３を下方へ押圧する。

【００１５】図２において、レバー３１の下端部には往
復動部材としての水平なロッド３５がピン３６で軸着さ
れている。レバー３１の下端部には第２のバネ部材３７
が連結されており、レバー３１はそのバネ力により反時
計方向へ回転する方向へ付勢されている。ここで、第１
のバネ部材２４のバネ力は、第２のバネ部材３７のバネ
力よりも小さく設定されている。３８はレバー３１の反
時計方向の回転限度を規定するストッパピンである。ロ
ッド３５の先端部はラチェットレバー１７の下方まで延
出している。ラチェットレバー１７の下面には係合ピン
４０が突設されている。またロッド３５の先端部には係
合ピン４０に係合する係合部３９が形成されている。

【００１６】図２において、押圧ロッド３４が下降して
ローラ３３を下方へ押すと、レバー３１は第２のバネ部
材３７を伸長させながら時計方向へ回転する。するとロ
ッド３５は図２，図４，図７において左方（矢印Ｃ方
向）へ往動する。すると係合部３９は係合ピン４０に係
合して係合ピン４０を図６に示す位置から図７に示す位
置まで往動させ、これによりラチェットレバー１７は時
計方向（矢印方向）へ９０°回転する。すると送り爪１
４はスプリング２１のバネ力に抗して図６において右側
の溝部１６から脱してその先端の爪はラチェットホイー
ル１３の胴面に沿って摺動して（図７において破線で示
す送り爪１４を参照）、図７に示すピッチ回転開始位置
まで移動し、手前（図７において下側）の溝部１６に係
合する。逆回転防止爪１５は、このときラチェットホイ
ール１３が送り爪１４にけん引されて時計方向Ｂへ逆回
転するのを防止する。

【００１７】次に図２において押圧ロッド３４が上昇
し、ローラ３３の押圧状態を解除すると、レバー３１は
第２のバネ部材３７のバネ力によって反時計方向へ回転
し、ロッド３５は図７に示す往動終了位置から図６に示
す往動開始位置へ矢印Ｄ方向へ復動する。このロッド３
５の復動動作により、ラチェットレバー１７は第１のバ
ネ部材２４のバネ力により図７に示すピッチ回転開始位
置から図６に示すピッチ回転終了位置へ９０°反時計方
向Ａへ回転する。これにより送り爪１４も第１のバネ部
材２４に弾発されて図７に示すピッチ回転開始位置から
図６に示すピッチ回転終了位置まで９０°回転する。こ
のとき、送り爪１４はラチェットホイール１３の溝部１
６に係合しているので、ラチェットホイール１３は送り
爪１４にけん引されて反時計方向Ａへ９０°回転し、ロ
ータ１０もラチェットホイール１３と一体的に反時計方
向Ａへ９０°回転する。以上のようにして、ロータ１０
は図５において矢印Ａ方向へ９０°づつピッチ回転す
る。

【００１８】上述したように、ロータ１０は送り爪１４
を付勢する第１のバネ部材２４のバネ力により正方向
（矢印Ａ方向）へ９０°づつピッチ回転し、これによ
り、搬送路６からポケット１１へ送り込まれたチップ３
を移載ヘッド６０のノズル６１のピックアップ位置Ｐ
（図９）へ移動させる。また送り爪１４をピッチ回転終
了位置からピッチ回転開始位置へ移動させるロッド３５
は、第２のバネ部材３７のバネ力により、図７に示す往
動終了位置から図６に示す往動開始位置へ復動する。移
載ヘッド６０に対するパーツフィーダのチップ供給速度
はできるだけ高速化する必要があり、このため第２のバ
ネ部材３７のバネ力を強く設定して、ロッド３５が図６
においてＤ方向へ高速度で復動できるようにしている。

【００１９】図３において、ロータ１０上にはシャッタ
４１が設けられている。シャッタ４１からは、基台１の
一方の側面に沿うようにアーム４２が延出している。ア
ーム４２は基台１に形成された貫通孔５２（図２参照）
を貫通するピン４３により基台１の側面に回転自在に軸
着されている。４４は弾発レバーであって、ピン４５に
より基台１の側面に軸着されている。弾発レバー４４の
先端部にはローラ４６が軸着されている。また弾発レバ
ー４４はスプリング４７により時計方向へ付勢されてい
る。ローラ４６はスプリング４７のバネ力によりアーム
４２の先端部を上方へ押し上げており、これによりアー
ム４２は図３において反時計方向へ弾発されてシャッタ
４１はロータ１０の上面へ押し付けられている。このシ
ャッタ４１は、少なくともチップ３が送り込まれるポケ
ット１１の上面を覆っており、ロータ１０のポケット１
１へ送り込まれたチップ３が、移載ヘッド６０によりピ
ックアップされる前に、ポケット１１から飛び出すのを
防止する。

【００２０】図２および図４において、基台１の反対側
の側面にもシャッタ４１からアーム４８が延出してい
る。アーム４８の先端部はシャフト５０の先端部にピン
４３で連結されている。シャフト５０の後端部はピン４
９でレバー３１に軸着されている。ピン４３は基台１の
側面に形成された水平な貫通孔５２に貫通し、貫通孔５
２内を基台１の長手方向へ摺動自在となっている。した
がってレバー３１が上述のように押圧ロッド３４に押さ
れてピン３２を中心に揺動すると、シャフト５０はロッ
ド３５と同様に矢印Ｃ，Ｄ方向へ往復動し、シャッタ４
１はスペーサ５３上を矢印Ｃ，Ｄ方向へ往復動する。非
ピックアップ時は、シャッタ４１はピックアップ位置Ｐ
を覆っているが（図５（ａ）参照）、移載ヘッド６０の
ノズル６１がポケット１１内のチップ３を真空吸着して
ピックアップするときは、シャッタ４１は図４において
矢印Ｃ方向へ後退し、ピックアップ位置Ｐのポケット１
１の上面を開放する（図５（ｂ）参照）。

【００２１】図４において、スペーサ５３は板状であっ
て、カバー板５とシャッタ４１の間の搬送路６上を閉鎖
している。スペーサ５３はシャッタ４１とロータ１０の
上面の間隔を一定にし、この間隔を通ってエアが定量的
に外界へ吹き出せるようにしている（図４の破線矢印ａ
参照）。図４において、チップ３はエア圧により搬送路
６からロータ１０のポケット１１へ１個づつ送り込まれ
るが、この場合、搬送路６を通ってきたエアはそのまま
シャッタ４１の下面とロータ１０の上面の間を通って定
量的にスムーズに流れ、シャッタ４１の先端部から矢印
ａで示すように外界へ吹き出す。このようにエアがシャ
ッタ４１の下面に沿ってスムーズに外界へ吹き出すこと
により、チップ３はこのエアの流れに乗って確実にポケ
ット１１へ送り込まれる。またロータ１０の上面とシャ
ッタ４１の下面の間隔（すなわちエアの流通路の間隔）
はスペーサ５３の厚さで規定されているので、常に一定
の流速でエアを矢印ａ方向へ吹き出させることができ
る。さらにはエアを吹き出させることにより、ロータ１
０とシャッタ４１の間やポケット１１内にごみ類が入り
込んで、ごみ類による詰りが発生するのを解消するクリ
ーニング効果が得られる。

【００２２】図３において、５４は基台１の先端部に凹
設された回収部である。移載ヘッド６０がピックアップ
ミスをしてポケット１１内に取り残されたチップ３は、
ピックアップ位置Ｐから９０°ピッチ回転して回収部５
４に対向する位置まで移動してきた状態で、シャッタ４
１の先端部から吹き出すエアによりこの回収部５４へ送
り出されて回収される。

【００２３】このパーツフィーダは上記のように構成さ
れており、次にその動作を説明する。図２において、チ
ューブ４から間欠的に送られるエアにより、カセット２
内のチップ３は搬送路６を一列に整列してロータ１０へ
向って搬送される。さて、図２において押圧ロッド３４
が下降し、ローラ３３を押し下げると、レバー３１は時
計方向へ回転する。するとシャフト５０は矢印Ｃ方向へ
後退し、シャッタ４１もＣ方向へ後退して図５（ｂ）に
示すようにロータ１０の上面を開放する。ただしこの場
合も、シャッタ４１はチップ３が搬送路６から送り込ま
れるポケット１１（図５（ｂ）において下流のポケット
１１）を覆って、このポケット１１に送り込まれるチッ
プ３がこのポケット１１から飛び出さないようにしてい
る。またロッド３５も第２のバネ部材３７を伸長させて
矢印Ｃ方向へ後退する。

【００２４】図６は、当初の状態を示しており、図７は
ロッド３５がＣ方向へ往動した状態を示している。ロッ
ド３５がＣ方向へ往動して図６の状態から図７の状態へ
移行すると、ピン４０は係合部３９によりＣ方向へ押さ
れ、これにより送り爪１４はスプリング２１のバネ力に
抗して右側の溝部１６から脱し、図７において破線で示
すように送り爪１４の先端部はラチェットホイール１３
の胴面に沿って摺動し、ついには手前（図７の下側）の
溝部１６に係合する。そこで図１に示す移載ヘッド６０
は、シャッタ４１から露呈するロータ１０のポケット１
１内のチップ３（図５（ｂ）のピックアップ位置Ｐのチ
ップ３）をノズル６１に真空吸着してピックアップし、
基板へ移送搭載する。

【００２５】次に図２において押圧ロッド３４が上昇す
ると、レバー３１は第２のバネ部材３７のバネ力により
反時計方向へ回転する。するとシャッタ４１はＤ方向へ
移動してロータ１０のピックアップ位置Ｐの上面を塞ぐ
（図５（ａ）を参照）。またこれとともに、ロッド３５
はＤ方向へ復動し、図７に示す位置から図６に示す位置
へ戻る。係合部３９にはラチェットレバー１７の係合ピ
ン４０が第１のバネ部材２４のバネ力によって付勢され
ているのでロッド３５のＤ方向への移動に伴なってラチ
ェットレバー１７が図７に示す位置から図６に示す位置
まで移動することにより、送り爪１４は図７に示すピッ
チ回転開始位置から図６に示すピッチ回転終了位置に復
帰する。この復帰動作において、送り爪１４は溝部１６
に係合しているので、ラチェットホイール１３は送り爪
１４にけん引されて図７に示すピッチ回転開始位置から
図６に示すピッチ回転終了位置まで９０°矢印Ａ方向へ
ピッチ回転する。したがって上述した動作が繰り返され
ることにより、ラチェットホイール１３およびロータ１
０は矢印Ａ方向へ９０°づつピッチ回転する。

【００２６】図９は、上述した動作により、ロータ１０
が９０°づつピッチ回転する様子を示している（ただ
し、シャッタ４１は省略）。図示するように、搬送路６
を一列で送られてきたチップ３は、搬送路６に連接する
ロータ１０のポケット１１に１個づつ送り込まれる。そ
してロータ１０が９０°ピッチ回転することにより、チ
ップ３は移載ヘッド６０のノズル６１によるピックアッ
プ位置Ｐへ送られ、そこでピックアップされて基板へ移
送搭載される。

【００２７】図１０は、チップ３が搬送路６からポケッ
ト１１に完全に送り込まれなかった場合（チップ３がポ
ケット１１から搬送路６側へはみ出している場合）を示
している（但し、シャッタ４１は省略）。このときロー
タ１０を９０°ピッチ回転させるためにロッド３５やラ
チェットレバー１７が図７に示す状態から図６に示す状
態へ復帰しようとするが、図１０に示すようにポケット
１１に完全に送り込まれなかったチップ３によってロー
タ１０及びラチェットホイール１３は回転できず、従っ
てこれと一体的に回転しようとするラチェットレバー１
７も回転できない。一方ロッド３５は、その係合部３９
とラチェットレバー１７の係合ピン４０との係合状態が
解除され、ロッド３５は往復開始位置に戻る。従ってチ
ップ３に加えられる力は、第１のバネ部材２４のバネ力
のみとなり、第２のバネ部材３７の強力なばね力は係合
ピン４０とロッド３５の係合部３９の係合状態が解除さ
れることによって伝わらないようになっている。しかも
第１のバネ部材２４のバネ力は小さく設定されているの
で、チップ３が搬送路６の終端部のエッジＫから加えら
れる力は小さく、したがってチップ３がエッジＫに強く
当って破壊されることはない。この後、再度押圧ロッド
３４を下降させるとロッド３５が矢印Ｃ方向へ移動して
その係合部３９が係合ピン４０に係合すると、その衝撃
でロータ１０がわずかに反時計方向へ回転する。すると
ロータ１０と搬送路６の終端部のエッジＫの間にはさま
れていたチップ３がフリーとなり、このチップ３は、基
台１の上面とシャッタ４１の間からロータ１０側へ間欠
的に吹き出されるエア（図１０の破線矢印参照）によっ
てポケット１１に完全に送り込まれる。そして上述した
ピッチ回転動作により、このチップ３はピックアップ位
置Ｐへ送られて、移載ヘッド６０により無事にピックア
ップされる。

【００２８】次に他の実施の形態について説明する。図
１１は本発明の他の実施の形態によるパーツフィーダの
先端部の斜視図、図１２は同断面図である。基台１の上
面の搬送路６を覆うカバー板５Ａの先端部からは舌片状
のシャッタ４１Ａが延出している。このシャッタ４１Ａ
は、搬送路６に連結するポケット１１の上面のみを部分
的に覆っている。図１２に示すように、カバー板５Ａの
底面はシャッタ４１Ａの底面よりわずかに下方へ突出し
ており、カバー板５Ａの底部がロータ１０の上面とシャ
ッタ４１Ａの下面の間隔を規定するスペーサ５３Ａとな
っている。したがってこのものも、搬送路６を流れてき
たエアは、シャッタ４１Ａの下面とロータ１０の上面の
間を通って定量的に流れて外界へ吹き出すので（矢印ａ
参照）、図４に示す実施の形態と同様の作用効果が得ら
れる。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば、ロータを高速度でピッ
チ回転させながら、搬送路を送られてきたチップを移載
ヘッドのピックアップ位置へ確実に移動させることがで
きる。またロータの少なくともチップが送り込まれるポ
ケットの上面を覆うシャッタを備え、搬送路を送られて
きたエアをシャッタの下面とロータの上面の間を通して
外界へ吹き出させるようにしているので、チップをロー
タのポケットに確実に送り込んでピックアップ位置へ移
動させることができる。さらには、シャッタの下面から
吹き出すエアにより、ロータとシャッタの間やロータの
ポケット内にごみ類が入り込んで、ごみ類による詰りが
発生するのを解消するクリーニング効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態によるパーツフィーダの
斜視図

【図２】本発明の一実施の形態によるパーツフィーダの
側面図

【図３】本発明の一実施の形態によるパーツフィーダの
先端部の斜視図

【図４】本発明の一実施の形態によるパーツフィーダの
先端部の断面図

【図５】本発明の一実施の形態によるパーツフィーダの
先端部の平面図

【図６】本発明の一実施の形態によるパーツフィーダの
先端部の平断面図

【図７】本発明の一実施の形態によるパーツフィーダの
先端部の平断面図

【図８】本発明の一実施の形態によるパーツフィーダの
先端部の平断面図

【図９】本発明の一実施の形態によるパーツフィーダの
先端部の平面図

【図１０】本発明の一実施の形態によるパーツフィーダ
の先端部の平面図

【図１１】本発明の他の実施の形態によるパーツフィー
ダの先端部の斜視図

【図１２】本発明の他の実施の形態によるパーツフィー
ダの先端部の断面図

【符号の説明】 １ 基台 ２ カセット ３ チップ ４ チューブ ６ 搬送路 １０ ロータ １１ ポケット １２ 回転軸 １３ ラチェットホイール １４ 送り爪 １６ 溝部 １７ ラチェットレバー ２４ 第１のバネ部材 ３１ レバー ３４ 押圧ロッド ３５ ロッド ３７ 第２のバネ部材 ４１，４１Ａ シャッタ ５３，５３Ａ スペーサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65G 51/02 B65G 47/84 H05K 13/00 - 13/04

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】チップを搬送する搬送路と、この搬送路の
   上流側にエアを送ってそのエア圧によりチップをこの搬
   送路の下流へ向って移動させるエア供給手段と、この搬
   送路の下流にあってこの搬送路からチップが１個づつ送
   り込まれるポケットを有し、回転軸を中心にピッチ回転
   することによりこのポケットに送り込まれたチップを移
   載ヘッドのピックアップ位置へ移動させるロータと、こ
   のロータをピッチ回転させるピッチ回転手段と、このロ
   ータの少なくともチップが送り込まれるポケットの上面
   を覆うシャッタとを備え、前記搬送路を送られてきたエ
   アをこのシャッタの下面と前記ロータの上面の間を通し
   て外界へ吹き出させることを特徴とするパーツフィー
   ダ。