JP3320155B2 - 電磁弁 - Google Patents
電磁弁Info
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- JP3320155B2 JP3320155B2 JP20518993A JP20518993A JP3320155B2 JP 3320155 B2 JP3320155 B2 JP 3320155B2 JP 20518993 A JP20518993 A JP 20518993A JP 20518993 A JP20518993 A JP 20518993A JP 3320155 B2 JP3320155 B2 JP 3320155B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電磁弁に関するもので、
より詳しくは、流通路とこれを開閉するバルブを備えた
ボデーと、上記バルブを開閉する駆動部とを連結する部
分のシール構造に関する。
より詳しくは、流通路とこれを開閉するバルブを備えた
ボデーと、上記バルブを開閉する駆動部とを連結する部
分のシール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電磁弁において、図１（ａ）に示
すように、Ａポート１，Ｂポート２及びＣポート３を形
成すると共にこれらのポート間の流通を切換えるバルブ
４を備えた樹脂製のボデー５を電磁式の駆動部６と連結
し、駆動部６のロッド７の進退移動により、上記バルブ
４を作動して、バルブ４がシート８に接した図１の状態
においてはＡポート１とＢポート２を連通し、バルブ４
が上動してシート面９に接することによりＢポート２と
Ｃポート３とをバルブ室１０、流通室１１を通じて連通
するようにしたものがある。図１（ａ）において、１２
はコイル、１３はボビン、１４はステータ、１５はプラ
ンジャ、１６はバルブ４を図１（ａ）において下方へ付
勢するスプリング、１７はロッド７を図１（ａ）におい
て上方へ付勢するスプリングである。
すように、Ａポート１，Ｂポート２及びＣポート３を形
成すると共にこれらのポート間の流通を切換えるバルブ
４を備えた樹脂製のボデー５を電磁式の駆動部６と連結
し、駆動部６のロッド７の進退移動により、上記バルブ
４を作動して、バルブ４がシート８に接した図１の状態
においてはＡポート１とＢポート２を連通し、バルブ４
が上動してシート面９に接することによりＢポート２と
Ｃポート３とをバルブ室１０、流通室１１を通じて連通
するようにしたものがある。図１（ａ）において、１２
はコイル、１３はボビン、１４はステータ、１５はプラ
ンジャ、１６はバルブ４を図１（ａ）において下方へ付
勢するスプリング、１７はロッド７を図１（ａ）におい
て上方へ付勢するスプリングである。
【０００３】上記のような電磁弁において、ボデー５と
駆動部６とを連結する構造として、図１（ａ）に示すよ
うに、ボデー５における環状の取付部５ａの取付側面１
９にＯリング１８を嵌装すると共にプレート２０を当接
して備え、これら取付部５ａとプレート２０の外周部相
互を、駆動部６側のケース２１の上部２１ａでかしめ固
着し、上記流通室１１内の流体がこの連結部から洩れな
いようにしている。
駆動部６とを連結する構造として、図１（ａ）に示すよ
うに、ボデー５における環状の取付部５ａの取付側面１
９にＯリング１８を嵌装すると共にプレート２０を当接
して備え、これら取付部５ａとプレート２０の外周部相
互を、駆動部６側のケース２１の上部２１ａでかしめ固
着し、上記流通室１１内の流体がこの連結部から洩れな
いようにしている。
【０００４】そして、上記取付部５ａの取付側面１９は
図４に示すように、Ｏリング溝２２の内外周部を共に全
周に亘って同一の平面に形成してなる取付面１９ａに形
成されている（例えば実開平３−６７７８３号公報）。
図４に示すように、Ｏリング溝２２の内外周部を共に全
周に亘って同一の平面に形成してなる取付面１９ａに形
成されている（例えば実開平３−６７７８３号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ボデー
５は一般に樹脂成形すると共に、その成形金型の簡素化
等から図１（ａ）に示すようにリブ２３が形成され、こ
のリブ２３が取付部５ａと一体的に成形されている。そ
のため、取付部５ａにおけるリブ２３が存在する部分に
おいては、取付面１９ａと直交する方向への成形収縮
（ひけ）量が大きくなり、その部分の取付面１９ａがリ
ブ２３側へ引っ張られる。また、リブ２３を有しないも
のにおいても成形収縮（ひけ）は避けられない。
５は一般に樹脂成形すると共に、その成形金型の簡素化
等から図１（ａ）に示すようにリブ２３が形成され、こ
のリブ２３が取付部５ａと一体的に成形されている。そ
のため、取付部５ａにおけるリブ２３が存在する部分に
おいては、取付面１９ａと直交する方向への成形収縮
（ひけ）量が大きくなり、その部分の取付面１９ａがリ
ブ２３側へ引っ張られる。また、リブ２３を有しないも
のにおいても成形収縮（ひけ）は避けられない。
【０００６】したがって、上記従来構造のように取付面
１９ａが全周に亘って同一平面に形成されているものに
おいては、その取付面１９ａの周方向の平面度が悪くな
り、Ｏリング１８の圧縮率をその全周に亘って設計圧縮
率に確保することができず、流通室１１を流れる加圧さ
れた流体がＯリング１８とプレート２０との接触部から
洩れる問題がある。
１９ａが全周に亘って同一平面に形成されているものに
おいては、その取付面１９ａの周方向の平面度が悪くな
り、Ｏリング１８の圧縮率をその全周に亘って設計圧縮
率に確保することができず、流通室１１を流れる加圧さ
れた流体がＯリング１８とプレート２０との接触部から
洩れる問題がある。
【０００７】そこで本発明は、上記の流体洩れを防止で
きる電磁弁を提供することを目的とするものである。
きる電磁弁を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は前記の問題を解
決するために、第１の発明は、流通ポートを形成すると
共に該流通ポートを開閉するバルブを備えたボデーと、
上記バルブを開閉駆動する駆動部とを連結するものであ
って、これらの間にプレートを介在し、該プレートと上
記ボデーに一体形成された環状の取付部とを、これらの
外周面でかしめ固着するものにおいて、上記環状の取付
部（５ａ）の取付側面に、環状のＯリング溝（２４）を
形成して該Ｏリング溝（２４）内にＯリング（１８）を
嵌装し、前記取付側面におけるＯリング溝（２４）より
外側に位置する面を、前記プレート（２０）に接する取
付面（１９ｂ）と、該取付面（１９ｂ）より低い面に形
成したひけ面（１９ｃ）とを、取付部（５ａ）の周方向
に交互に配置して形成したことを特徴とするものであ
る。
決するために、第１の発明は、流通ポートを形成すると
共に該流通ポートを開閉するバルブを備えたボデーと、
上記バルブを開閉駆動する駆動部とを連結するものであ
って、これらの間にプレートを介在し、該プレートと上
記ボデーに一体形成された環状の取付部とを、これらの
外周面でかしめ固着するものにおいて、上記環状の取付
部（５ａ）の取付側面に、環状のＯリング溝（２４）を
形成して該Ｏリング溝（２４）内にＯリング（１８）を
嵌装し、前記取付側面におけるＯリング溝（２４）より
外側に位置する面を、前記プレート（２０）に接する取
付面（１９ｂ）と、該取付面（１９ｂ）より低い面に形
成したひけ面（１９ｃ）とを、取付部（５ａ）の周方向
に交互に配置して形成したことを特徴とするものであ
る。
【０００９】また、第２の発明は、上記取付部（５ａ）
の取付側面におけるＯリング溝（２４）より内側に位置
する面を、上記外側の面のひけ面（１９ｃ）と同一平面
のひけ面（１９ｄ）としたものである。
の取付側面におけるＯリング溝（２４）より内側に位置
する面を、上記外側の面のひけ面（１９ｃ）と同一平面
のひけ面（１９ｄ）としたものである。
【００１０】
【作用】ボデー（５）の取付部（５ａ）とプレート（２
０）を相互にかしめ固定すると、取付部（５ａ）に部分
的に形成した取付面（１９ｂ）はプレート（２０）に接
触し、ひけ面（１９ｃ）はプレート（２０）に接触しな
い。
０）を相互にかしめ固定すると、取付部（５ａ）に部分
的に形成した取付面（１９ｂ）はプレート（２０）に接
触し、ひけ面（１９ｃ）はプレート（２０）に接触しな
い。
【００１１】そのため、ひけ面（１９ｃ）部における取
付部（５ａ）に成形収縮（ひけ）が生じていても各取付
面（１９ｂ）で構成される面の平面度に影響はない。ま
た、該取付面（１９ｂ）を、その１個の周方向の長さを
短く、かつ少数個形成することにより、プレート（２
０）に対する取付面（１９ｂ）の総接触面を少なくする
ことができ、該取付面（１９ｂ）に成形収縮（ひけ）が
生じた場合にも各取付面（１９ｂ）で構成される面の平
面度に与える悪影響が少ない。
付部（５ａ）に成形収縮（ひけ）が生じていても各取付
面（１９ｂ）で構成される面の平面度に影響はない。ま
た、該取付面（１９ｂ）を、その１個の周方向の長さを
短く、かつ少数個形成することにより、プレート（２
０）に対する取付面（１９ｂ）の総接触面を少なくする
ことができ、該取付面（１９ｂ）に成形収縮（ひけ）が
生じた場合にも各取付面（１９ｂ）で構成される面の平
面度に与える悪影響が少ない。
【００１２】したがって、全体として、全周面を同一平
面の取付面としたものに比べて取付側面の周方向の平面
度が向上する。そのため、Ｏリング（１８）の圧縮率が
全周に亘って設計圧縮率に確保できる。
面の取付面としたものに比べて取付側面の周方向の平面
度が向上する。そのため、Ｏリング（１８）の圧縮率が
全周に亘って設計圧縮率に確保できる。
【００１３】また、Ｏリング溝（２４）より内側に位置
する取付側面を上記のひけ面（１９ｃ）と同一面のひけ
面（１９ｄ）に形成することにより、該ひけ面（１９
ｄ）がプレート（２０）に接触せず、上記の平面度に悪
影響を及ぼすことがなく、取付面（１９ｂ）による平面
度向上を一層高めることができる。
する取付側面を上記のひけ面（１９ｃ）と同一面のひけ
面（１９ｄ）に形成することにより、該ひけ面（１９
ｄ）がプレート（２０）に接触せず、上記の平面度に悪
影響を及ぼすことがなく、取付面（１９ｂ）による平面
度向上を一層高めることができる。
【００１４】
【実施例】図１は本発明を適用した電磁弁を示すもの
で、ボデー５の取付部５ａにおける取付側面１９の形状
以外は上記従来構造と同様である。
で、ボデー５の取付部５ａにおける取付側面１９の形状
以外は上記従来構造と同様である。
【００１５】図１（ａ）において５ａは取付部で、ボデ
ー５と共に樹脂材により一体成形され、かつ環状に形成
されている。該取付部５ａの詳細を図１（ｂ）と図２及
び図３により説明する。
ー５と共に樹脂材により一体成形され、かつ環状に形成
されている。該取付部５ａの詳細を図１（ｂ）と図２及
び図３により説明する。
【００１６】２４は取付部５ａの取付側面１９におい
て、その半径方向の中央に位置して環状に形成したＯリ
ング溝である。該Ｏリング溝２４より外側の取付側面
は、その周方向に対して所定の長さを有する取付面１９
ｂを４個等間隔に形成すると共に該取付面１９ｂ以外の
部分を取付面１９ｂよりも低くしたひけ面１９ｃにして
形成されている。
て、その半径方向の中央に位置して環状に形成したＯリ
ング溝である。該Ｏリング溝２４より外側の取付側面
は、その周方向に対して所定の長さを有する取付面１９
ｂを４個等間隔に形成すると共に該取付面１９ｂ以外の
部分を取付面１９ｂよりも低くしたひけ面１９ｃにして
形成されている。
【００１７】上記ひけ面１９ｃの１個の周方向の長さＤ
は、取付部５ａが成形収縮した場合にその影響を少なく
するため可能な限り長い程良く、また１個の取付面１９
ｂの周方向の長さｄは、取付部５ａをかしめ固定した場
合に、その取付面１９ｂが潰れないような十分な受圧面
積を確保できる長さを必要とする。そこで、取付部５ａ
の材質、かしめ圧等の条件にもよるが、一般的に理想な
値は、取付面１９ｂの周方向の長さの総長を、取付部５
ａの全周長の約２０％〜３５％程度とし、かつ取付面１
９ｂの個数を３〜５個とするとよい。図に示す実施例に
おいては取付面１９ｂを等間隔に４個形成しているが、
３個又は５個を等間隔に設けてもよい。
は、取付部５ａが成形収縮した場合にその影響を少なく
するため可能な限り長い程良く、また１個の取付面１９
ｂの周方向の長さｄは、取付部５ａをかしめ固定した場
合に、その取付面１９ｂが潰れないような十分な受圧面
積を確保できる長さを必要とする。そこで、取付部５ａ
の材質、かしめ圧等の条件にもよるが、一般的に理想な
値は、取付面１９ｂの周方向の長さの総長を、取付部５
ａの全周長の約２０％〜３５％程度とし、かつ取付面１
９ｂの個数を３〜５個とするとよい。図に示す実施例に
おいては取付面１９ｂを等間隔に４個形成しているが、
３個又は５個を等間隔に設けてもよい。
【００１８】また、取付面１９ｂに対するひけ面１９ｃ
の段差ｔは約０．２ｍｍに設定されている。これは通
常、取付部５ａにおけるリブ２３方向への成形収縮量が
約０．２ｍｍ程度であり、この成形収縮の影響を防止す
るために約０．２ｍｍとしたもので、材質等の条件が異
なれば、それに対応した値に設定する。
の段差ｔは約０．２ｍｍに設定されている。これは通
常、取付部５ａにおけるリブ２３方向への成形収縮量が
約０．２ｍｍ程度であり、この成形収縮の影響を防止す
るために約０．２ｍｍとしたもので、材質等の条件が異
なれば、それに対応した値に設定する。
【００１９】また、上記Ｏリング溝２４より内側に位置
する取付側面は、上記外側のひけ面１９ｃと同一面で、
かつ上記の取付面１９ｂを有しないひけ面１９ｄに形成
されている。これは、取付部５ａのかしめ固定時に、上
記外側の取付面１９ｂがプレート２０に確実に接触する
ようにしたものである。
する取付側面は、上記外側のひけ面１９ｃと同一面で、
かつ上記の取付面１９ｂを有しないひけ面１９ｄに形成
されている。これは、取付部５ａのかしめ固定時に、上
記外側の取付面１９ｂがプレート２０に確実に接触する
ようにしたものである。
【００２０】尚、Ｏリング溝２４に嵌装されたＯリング
１８は、かしめ固定前の状態（図３の状態）では、その
突出端面が取付面１９ｂより突出している。次に本実施
例の作用について説明する。
１８は、かしめ固定前の状態（図３の状態）では、その
突出端面が取付面１９ｂより突出している。次に本実施
例の作用について説明する。
【００２１】図１（ａ）の状態は非励磁状態を示し、こ
の状態においては、バルブ４がスプリング１６の付勢力
により図の状態にあり、Ａポート１とＢポート２を連通
状態にし、Ｂポート２とＣポート３とは遮断状態にあ
る。
の状態においては、バルブ４がスプリング１６の付勢力
により図の状態にあり、Ａポート１とＢポート２を連通
状態にし、Ｂポート２とＣポート３とは遮断状態にあ
る。
【００２２】この状態からコイル１２に通電すると、プ
ランジャ１５がステータ１４側へ磁気的に吸引され、ロ
ッド７はスプリング１７の付勢力（該スプリング１７の
付勢力はスプリング１６の付勢力よりも強く設定されて
いる）によりプランジャ１５に固定されて上動するピン
１５ａの下端に追従して上動し、そのロッド７の上端が
バルブ４の穴４ａの上端に当る。更にロッド７が上動す
ると、バルブ４をスプリング１６の付勢力に抗して上動
させ、そのバルブ４がＡポート１のシート面９に密着す
る。この密着状態からプランジャ１５に固定されたピン
１５ａが図１（ａ）において、ロッド７に形成された長
穴７ａの下端からはなれてステータ１４とプランジャ１
５が当るまで上方へ移動する。このとき、上記ピン１５
ａの上面と長孔７ａの上面との隙間は、図１（ａ）に示
す長さよりは短いが零にならないように設定されてい
る。
ランジャ１５がステータ１４側へ磁気的に吸引され、ロ
ッド７はスプリング１７の付勢力（該スプリング１７の
付勢力はスプリング１６の付勢力よりも強く設定されて
いる）によりプランジャ１５に固定されて上動するピン
１５ａの下端に追従して上動し、そのロッド７の上端が
バルブ４の穴４ａの上端に当る。更にロッド７が上動す
ると、バルブ４をスプリング１６の付勢力に抗して上動
させ、そのバルブ４がＡポート１のシート面９に密着す
る。この密着状態からプランジャ１５に固定されたピン
１５ａが図１（ａ）において、ロッド７に形成された長
穴７ａの下端からはなれてステータ１４とプランジャ１
５が当るまで上方へ移動する。このとき、上記ピン１５
ａの上面と長孔７ａの上面との隙間は、図１（ａ）に示
す長さよりは短いが零にならないように設定されてい
る。
【００２３】このバルブ４のシート面９への密着により
シート８における流通孔８ａが開口され、Ａポート１と
Ｂポート２が遮断されると同時にＢポート２とＣポート
３が連通される。
シート８における流通孔８ａが開口され、Ａポート１と
Ｂポート２が遮断されると同時にＢポート２とＣポート
３が連通される。
【００２４】次にボデー５の取付部５ａとプレート２０
間のシール作用について説明する。ボデー５における取
付部５ａのＯリング溝２４内にＯリング１８を嵌合した
状態で、その取付側面１９とプレート２０を図１（ａ）
のように重合し、これらの外周部を、ケースの上部２１
ａにより所定圧でかしめ固着する。これにより、取付部
５ａに部分的に突出形成した取付面１９ｂがプレート２
０に密着し、ひけ面１９ｃと１９ｄはプレート２０に接
触しない。このとき、取付面１９ｂは、その１個の周方
向の幅が短く、かつ取付部５ａの全周に対して４個等間
隔に設けられているため、取付部５ａに成形収縮（ひ
け）が生じていてもこの取付部５ａにおける取付側面の
周方向の平面度はあまり悪化しない。
間のシール作用について説明する。ボデー５における取
付部５ａのＯリング溝２４内にＯリング１８を嵌合した
状態で、その取付側面１９とプレート２０を図１（ａ）
のように重合し、これらの外周部を、ケースの上部２１
ａにより所定圧でかしめ固着する。これにより、取付部
５ａに部分的に突出形成した取付面１９ｂがプレート２
０に密着し、ひけ面１９ｃと１９ｄはプレート２０に接
触しない。このとき、取付面１９ｂは、その１個の周方
向の幅が短く、かつ取付部５ａの全周に対して４個等間
隔に設けられているため、取付部５ａに成形収縮（ひ
け）が生じていてもこの取付部５ａにおける取付側面の
周方向の平面度はあまり悪化しない。
【００２５】すなわち、取付部５ａにおけるリブ２３が
存在する部分は、リブ方向の成形収縮（ひけ）量が大き
く、その他の部分は成形収縮量が小さい。そのため、こ
の収縮量の相違により取付部５ａの取付面側の平面度は
一般に悪くなる。しかし、上記のように取付面１９ｂを
部分的に形成してひけ面１９ｃの周方向の長さを大きく
することにより、このひけ面１９ｃがプレート２０に接
触せず、該面での収縮量の相違は平面度に影響しない。
また、取付面１９ｂでは収縮量による平面度の影響はあ
るが、この取付面１９ｂの個数が少なくかつ点在してい
るため平面度への影響が少なくなり、全体として取付面
側の周方向の平面度が従来の構造よりも向上する。
存在する部分は、リブ方向の成形収縮（ひけ）量が大き
く、その他の部分は成形収縮量が小さい。そのため、こ
の収縮量の相違により取付部５ａの取付面側の平面度は
一般に悪くなる。しかし、上記のように取付面１９ｂを
部分的に形成してひけ面１９ｃの周方向の長さを大きく
することにより、このひけ面１９ｃがプレート２０に接
触せず、該面での収縮量の相違は平面度に影響しない。
また、取付面１９ｂでは収縮量による平面度の影響はあ
るが、この取付面１９ｂの個数が少なくかつ点在してい
るため平面度への影響が少なくなり、全体として取付面
側の周方向の平面度が従来の構造よりも向上する。
【００２６】このように周方向の平面度が従来に比べて
向上することにより、Ｏリング１８の圧縮率が全周に亘
って設計圧縮率に確保でき、該取付部分からの流体の洩
れを確実に防止できる。
向上することにより、Ｏリング１８の圧縮率が全周に亘
って設計圧縮率に確保でき、該取付部分からの流体の洩
れを確実に防止できる。
【００２７】また、上記のかしめ時においては、取付面
１９ｂの受圧面積が上記のように設定されているので、
この取付面１９ｂがかしめ力によって漬れず、適正なか
しめ固着及び平面度を得ることができる。
１９ｂの受圧面積が上記のように設定されているので、
この取付面１９ｂがかしめ力によって漬れず、適正なか
しめ固着及び平面度を得ることができる。
【００２８】尚、取付部１９ｂに上記のようなリブ２３
が有しないものにおいても樹脂成形時による成形収縮の
バラツキが生じるため、リブ２３が有しないものにおい
ても本発明を適用することにより上記のような平面度の
向上を図ることができる。
が有しないものにおいても樹脂成形時による成形収縮の
バラツキが生じるため、リブ２３が有しないものにおい
ても本発明を適用することにより上記のような平面度の
向上を図ることができる。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、第１の発明によれば、ボ
デーの取付部におけるプレートに対する平面度を従来に
比べて向上させ、Ｏリングの圧縮率を全周に亘って設計
圧縮率に確保できるので、Ｏリングとプレートとの密着
性を高めることができる。したがって、ボデー内の加圧
された流体が連結部から洩れ出ることを確実に防止でき
る。 また、第２の発明によれば、上記の平面度の向上
を一層高め、洩れ防止がより確実になる。
デーの取付部におけるプレートに対する平面度を従来に
比べて向上させ、Ｏリングの圧縮率を全周に亘って設計
圧縮率に確保できるので、Ｏリングとプレートとの密着
性を高めることができる。したがって、ボデー内の加圧
された流体が連結部から洩れ出ることを確実に防止でき
る。 また、第２の発明によれば、上記の平面度の向上
を一層高め、洩れ防止がより確実になる。
【図１】 （ａ）は本発明を適用する電磁弁の１例を示
す縦断面図、（ｂ）は本発明の要部を若干誇張して示し
た拡大縦断面図。
す縦断面図、（ｂ）は本発明の要部を若干誇張して示し
た拡大縦断面図。
【図２】 本発明における取付側面を示す図で、ハッチ
ングにより取付面の範囲を示している。
ングにより取付面の範囲を示している。
【図３】 同側面図。
【図４】 従来技術における取付側面を示す図。
１，２，３…流通ポート ４…バルブ ５…ボデー ５
ａ…取付部 ６…駆動部 １１…流通室 １８…Ｏリン
グ １９…取付側面 １９ｂ…取付面 １９ｃ，１９ｄ
…ひけ面 ２０…プレート ２４…Ｏリング溝
ａ…取付部 ６…駆動部 １１…流通室 １８…Ｏリン
グ １９…取付側面 １９ｂ…取付面 １９ｃ，１９ｄ
…ひけ面 ２０…プレート ２４…Ｏリング溝
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−234996（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−6856（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−5576（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−3788（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−9682（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−181014（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−184276（ＪＰ，Ｕ) 米国特許2820604（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 31/06 - 31/11 F16K 27/00 - 27/12 F16J 15/06
Claims (2)
- 【請求項１】 流通ポートを形成すると共に該流通ポー
トを開閉するバルブを備えたボデーと、上記バルブを開
閉駆動する駆動部とを連結するものであって、これらの
間にプレートを介在し、該プレートと上記ボデーに一体
形成された環状の取付部とを、これらの外周面でかしめ
固着するものにおいて、 上記環状の取付部（５ａ）の取付側面に、環状のＯリン
グ溝（２４）を形成して該Ｏリング溝（２４）内にＯリ
ング（１８）を嵌装し、前記取付側面におけるＯリング
溝（２４）より外側に位置する面を、前記プレート（２
０）に接する取付面（１９ｂ）と、該取付面（１９ｂ）
より低い面に形成したひけ面（１９ｃ）とを、取付部
（５ａ）の周方向に交互に配置して形成したことを特徴
とする電磁弁。 - 【請求項２】 上記取付部（５ａ）の取付側面における
Ｏリング溝（２４）より内側に位置する面を、上記外側
の面のひけ面（１９ｃ）と同一平面のひけ面（１９ｄ）
とした請求項１記載の電磁弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20518993A JP3320155B2 (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 電磁弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20518993A JP3320155B2 (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 電磁弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755042A JPH0755042A (ja) | 1995-03-03 |
| JP3320155B2 true JP3320155B2 (ja) | 2002-09-03 |
Family
ID=16502883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20518993A Expired - Fee Related JP3320155B2 (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 電磁弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3320155B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6273140B1 (en) * | 1999-05-25 | 2001-08-14 | Applied Materials, Inc. | Cluster valve for semiconductor wafer processing systems |
| JP4755708B2 (ja) | 2009-07-03 | 2011-08-24 | 日信工業株式会社 | 常開型電磁弁 |
-
1993
- 1993-08-19 JP JP20518993A patent/JP3320155B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0755042A (ja) | 1995-03-03 |
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