JPH0755042A - 電磁弁 - Google Patents
電磁弁Info
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- JPH0755042A JPH0755042A JP20518993A JP20518993A JPH0755042A JP H0755042 A JPH0755042 A JP H0755042A JP 20518993 A JP20518993 A JP 20518993A JP 20518993 A JP20518993 A JP 20518993A JP H0755042 A JPH0755042 A JP H0755042A
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- JP
- Japan
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- mounting
- valve
- ring
- mounting portion
- ring groove
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 流通ポートとバルブを有するボデー5と駆動
部6とを連結するものにおいて、その連結部における流
体洩れを防止する。 【構成】 ボデー5に環状の取付部5aを形成する。該
取付部5aの取付側面19にOリング18を嵌装する。
該取付側面19のOリング18より外周の面を、周方向
に対して部分的に形成した取付面19bと、該取付面1
9b以外の部分を取付面19bより低い面に形成したひ
け面19cとで形成した。
部6とを連結するものにおいて、その連結部における流
体洩れを防止する。 【構成】 ボデー5に環状の取付部5aを形成する。該
取付部5aの取付側面19にOリング18を嵌装する。
該取付側面19のOリング18より外周の面を、周方向
に対して部分的に形成した取付面19bと、該取付面1
9b以外の部分を取付面19bより低い面に形成したひ
け面19cとで形成した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電磁弁に関するもので、
より詳しくは、流通路とこれを開閉するバルブを備えた
ボデーと、上記バルブを開閉する駆動部とを連結する部
分のシール構造に関する。
より詳しくは、流通路とこれを開閉するバルブを備えた
ボデーと、上記バルブを開閉する駆動部とを連結する部
分のシール構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電磁弁において、図1(a)に示
すように、Aポート1,Bポート2及びCポート3を形
成すると共にこれらのポート間の流通を切換えるバルブ
4を備えた樹脂製のボデー5を電磁式の駆動部6と連結
し、駆動部6のロッド7の進退移動により、上記バルブ
4を作動して、バルブ4がシート8に接した図1の状態
においてはAポート1とBポート2を連通し、バルブ4
が上動してシート面9に接することによりBポート2と
Cポート3とをバルブ室10、流通室11を通じて連通
するようにしたものがある。図1(a)において、12
はコイル、13はボビン、14はステータ、15はプラ
ンジャ、16はバルブ4を図1(a)において下方へ付
勢するスプリング、17はロッド7を図1(a)におい
て上方へ付勢するスプリングである。
すように、Aポート1,Bポート2及びCポート3を形
成すると共にこれらのポート間の流通を切換えるバルブ
4を備えた樹脂製のボデー5を電磁式の駆動部6と連結
し、駆動部6のロッド7の進退移動により、上記バルブ
4を作動して、バルブ4がシート8に接した図1の状態
においてはAポート1とBポート2を連通し、バルブ4
が上動してシート面9に接することによりBポート2と
Cポート3とをバルブ室10、流通室11を通じて連通
するようにしたものがある。図1(a)において、12
はコイル、13はボビン、14はステータ、15はプラ
ンジャ、16はバルブ4を図1(a)において下方へ付
勢するスプリング、17はロッド7を図1(a)におい
て上方へ付勢するスプリングである。
【0003】上記のような電磁弁において、ボデー5と
駆動部6とを連結する構造として、図1(a)に示すよ
うに、ボデー5における環状の取付部5aの取付側面1
9にOリング18を嵌装すると共にプレート20を当接
して備え、これら取付部5aとプレート20の外周部相
互を、駆動部6側のケース21の上部21aでかしめ固
着し、上記流通室11内の流体がこの連結部から洩れな
いようにしている。
駆動部6とを連結する構造として、図1(a)に示すよ
うに、ボデー5における環状の取付部5aの取付側面1
9にOリング18を嵌装すると共にプレート20を当接
して備え、これら取付部5aとプレート20の外周部相
互を、駆動部6側のケース21の上部21aでかしめ固
着し、上記流通室11内の流体がこの連結部から洩れな
いようにしている。
【0004】そして、上記取付部5aの取付側面19は
図4に示すように、Oリング溝22の内外周部を共に全
周に亘って同一の平面に形成してなる取付面19aに形
成されている(例えば実開平3−67783号公報)。
図4に示すように、Oリング溝22の内外周部を共に全
周に亘って同一の平面に形成してなる取付面19aに形
成されている(例えば実開平3−67783号公報)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ボデー
5は一般に樹脂成形すると共に、その成形金型の簡素化
等から図1(a)に示すようにリブ23が形成され、こ
のリブ23が取付部5aと一体的に成形されている。そ
のため、取付部5aにおけるリブ23が存在する部分に
おいては、取付面19aと直交する方向への成形収縮
(ひけ)量が大きくなり、その部分の取付面19aがリ
ブ23側へ引っ張られる。また、リブ23を有しないも
のにおいても成形収縮(ひけ)は避けられない。
5は一般に樹脂成形すると共に、その成形金型の簡素化
等から図1(a)に示すようにリブ23が形成され、こ
のリブ23が取付部5aと一体的に成形されている。そ
のため、取付部5aにおけるリブ23が存在する部分に
おいては、取付面19aと直交する方向への成形収縮
(ひけ)量が大きくなり、その部分の取付面19aがリ
ブ23側へ引っ張られる。また、リブ23を有しないも
のにおいても成形収縮(ひけ)は避けられない。
【0006】したがって、上記従来構造のように取付面
19aが全周に亘って同一平面に形成されているものに
おいては、その取付面19aの周方向の平面度が悪くな
り、Oリング18の圧縮率をその全周に亘って設計圧縮
率に確保することができず、流通室11を流れる加圧さ
れた流体がOリング18とプレート20との接触部から
洩れる問題がある。
19aが全周に亘って同一平面に形成されているものに
おいては、その取付面19aの周方向の平面度が悪くな
り、Oリング18の圧縮率をその全周に亘って設計圧縮
率に確保することができず、流通室11を流れる加圧さ
れた流体がOリング18とプレート20との接触部から
洩れる問題がある。
【0007】そこで本発明は、上記の流体洩れを防止で
きる電磁弁を提供することを目的とするものである。
きる電磁弁を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は前記の問題を解
決するために、第1の発明は、流通ポートを形成すると
共に該流通ポートを開閉するバルブを備えたボデーと、
上記バルブを開閉駆動する駆動部とを連結するものであ
って、これらの間にプレートを介在し、該プレートと上
記ボデーに一体形成された環状の取付部とを、これらの
外周面でかしめ固着するものにおいて、上記環状の取付
部(5a)の取付側面に、環状のOリング溝(24)を
形成して該Oリング溝(24)内にOリング(18)を
嵌装し、該Oリング溝(24)の外周の面を、周方向に
対して部分的に形成した取付面(19b)と、該取付面
(19b)以外の部分を取付面(19b)より低い面に
形成したひけ面(19c)とで形成したことを特徴とす
るものである。
決するために、第1の発明は、流通ポートを形成すると
共に該流通ポートを開閉するバルブを備えたボデーと、
上記バルブを開閉駆動する駆動部とを連結するものであ
って、これらの間にプレートを介在し、該プレートと上
記ボデーに一体形成された環状の取付部とを、これらの
外周面でかしめ固着するものにおいて、上記環状の取付
部(5a)の取付側面に、環状のOリング溝(24)を
形成して該Oリング溝(24)内にOリング(18)を
嵌装し、該Oリング溝(24)の外周の面を、周方向に
対して部分的に形成した取付面(19b)と、該取付面
(19b)以外の部分を取付面(19b)より低い面に
形成したひけ面(19c)とで形成したことを特徴とす
るものである。
【0009】また、第2の発明は、上記取付部(5a)
の取付側面におけるOリング溝(24)の内側の面を、
上記外側の面のひけ面(19c)と同一平面のひけ面
(19d)としたものである。
の取付側面におけるOリング溝(24)の内側の面を、
上記外側の面のひけ面(19c)と同一平面のひけ面
(19d)としたものである。
【0010】
【作用】ボデー(5)の取付部(5a)とプレート(2
0)を相互にかしめ固定すると、取付部(5a)に部分
的に形成した取付面(19b)はプレート(20)に接
触し、ひけ面(19c)はプレート(20)に接触しな
い。
0)を相互にかしめ固定すると、取付部(5a)に部分
的に形成した取付面(19b)はプレート(20)に接
触し、ひけ面(19c)はプレート(20)に接触しな
い。
【0011】そのため、ひけ面(19c)部における取
付部(5a)に成形収縮(ひけ)が生じていても各取付
面(19b)で構成される面の平面度に影響はない。ま
た、該取付面(19)を、その1個の周方向の長さを短
く、かつ少数個形成することにより、プレート(20)
に対する取付面(19b)の総接触面を少なくすること
ができ、該取付面(19b)に成形収縮(ひけ)が生じ
た場合にも各取付面(19b)で構成される面の平面度
に与える悪影響が少ない。
付部(5a)に成形収縮(ひけ)が生じていても各取付
面(19b)で構成される面の平面度に影響はない。ま
た、該取付面(19)を、その1個の周方向の長さを短
く、かつ少数個形成することにより、プレート(20)
に対する取付面(19b)の総接触面を少なくすること
ができ、該取付面(19b)に成形収縮(ひけ)が生じ
た場合にも各取付面(19b)で構成される面の平面度
に与える悪影響が少ない。
【0012】したがって、全体として、全周面を同一平
面の取付面としたものに比べて取付側面の周方向の平面
度が向上する。そのため、Oリング(18)の圧縮率が
全周に亘って設計圧縮率に確保できる。
面の取付面としたものに比べて取付側面の周方向の平面
度が向上する。そのため、Oリング(18)の圧縮率が
全周に亘って設計圧縮率に確保できる。
【0013】また、Oリング溝(24)の内側の面を上
記のひけ面(19c)と同一面のひけ面(19d)に形
成することにより、該ひけ面(19d)がプレート(2
0)に接触せず、上記の平面度に悪影響を及ぼすことが
なく、取付面(19b)による平面度向上を一層高める
ことができる。
記のひけ面(19c)と同一面のひけ面(19d)に形
成することにより、該ひけ面(19d)がプレート(2
0)に接触せず、上記の平面度に悪影響を及ぼすことが
なく、取付面(19b)による平面度向上を一層高める
ことができる。
【0014】
【実施例】図1は本発明を適用した電磁弁を示すもの
で、ボデー5の取付部5aにおける取付側面19の形状
以外は上記従来構造と同様である。
で、ボデー5の取付部5aにおける取付側面19の形状
以外は上記従来構造と同様である。
【0015】図1(a)において5aは取付部で、ボデ
ー5と共に樹脂材により一体成形され、かつ環状に形成
されている。該取付部5aの詳細を図1(b)と図2及
び図3により説明する。
ー5と共に樹脂材により一体成形され、かつ環状に形成
されている。該取付部5aの詳細を図1(b)と図2及
び図3により説明する。
【0016】24は取付部5aの取付側面19におい
て、その半径方向の中央に位置して環状に形成したOリ
ング溝である。該Oリング溝24の外側の面は、その周
方向に対して所定の長さを有する取付面19bを4個等
間隔に形成すると共に該取付面19b以外の部分を取付
面19bよりも低くしたひけ面19cにして形成されて
いる。
て、その半径方向の中央に位置して環状に形成したOリ
ング溝である。該Oリング溝24の外側の面は、その周
方向に対して所定の長さを有する取付面19bを4個等
間隔に形成すると共に該取付面19b以外の部分を取付
面19bよりも低くしたひけ面19cにして形成されて
いる。
【0017】上記ひけ面19cの1個の周方向の長さD
は、取付部19aが成形収縮した場合にその影響を少な
くするため可能な限り長い程良く、また1個の取付面1
9bの周方向の長さdは、取付部5aをかしめ固定した
場合に、その取付面19bが漬れないような十分な受圧
面積を確保できる長さを必要とする。そこで、取付部5
aの材質、かしめ圧等の条件にもよるが、一般的に理想
な値は、取付面19bの周方向の長さの総長を、取付部
5aの全周長の約20%〜35%程度とし、かつ取付面
19bの個数を3〜5個とするとよい。図に示す実施例
においては取付面19bを等間隔に4個形成している
が、3個又は5個を等間隔に設けてもよい。
は、取付部19aが成形収縮した場合にその影響を少な
くするため可能な限り長い程良く、また1個の取付面1
9bの周方向の長さdは、取付部5aをかしめ固定した
場合に、その取付面19bが漬れないような十分な受圧
面積を確保できる長さを必要とする。そこで、取付部5
aの材質、かしめ圧等の条件にもよるが、一般的に理想
な値は、取付面19bの周方向の長さの総長を、取付部
5aの全周長の約20%〜35%程度とし、かつ取付面
19bの個数を3〜5個とするとよい。図に示す実施例
においては取付面19bを等間隔に4個形成している
が、3個又は5個を等間隔に設けてもよい。
【0018】また、取付面19bに対するひけ面19c
の段差tは約0.2mmに設定されている。これは通
常、取付部5aにおけるリブ23方向への成形収縮量が
約0.2mm程度であり、この成形収縮の影響を防止す
るために約0.2mmとしたもので、材質等の条件が異
なれば、それに対応した値に設定する。
の段差tは約0.2mmに設定されている。これは通
常、取付部5aにおけるリブ23方向への成形収縮量が
約0.2mm程度であり、この成形収縮の影響を防止す
るために約0.2mmとしたもので、材質等の条件が異
なれば、それに対応した値に設定する。
【0019】また、上記Oリング溝24の内側の面は、
上記外側のひけ面19cと同一面で、かつ上記の取付面
19bを有しないひけ面19dに形成されている。これ
は、取付部5aのかしめ固定時に、上記外側の取付面1
9bがプレート20に確実に接触するようにしたもので
ある。
上記外側のひけ面19cと同一面で、かつ上記の取付面
19bを有しないひけ面19dに形成されている。これ
は、取付部5aのかしめ固定時に、上記外側の取付面1
9bがプレート20に確実に接触するようにしたもので
ある。
【0020】尚、Oリング溝24に嵌装されたOリング
18は、かしめ固定前の状態(図3の状態)では、その
突出端面が取付面19bより突出している。次に本実施
例の作用について説明する。
18は、かしめ固定前の状態(図3の状態)では、その
突出端面が取付面19bより突出している。次に本実施
例の作用について説明する。
【0021】図1(a)の状態は非励磁状態を示し、こ
の状態においては、バルブ4がスプリング16の付勢力
により図の状態にあり、Aポート1とBポート2を連通
状態にし、Bポート2とCポート3とは遮断状態にあ
る。
の状態においては、バルブ4がスプリング16の付勢力
により図の状態にあり、Aポート1とBポート2を連通
状態にし、Bポート2とCポート3とは遮断状態にあ
る。
【0022】この状態からコイル12に通電すると、プ
ランジャ15がステータ14側へ磁気的に吸引され、ロ
ッド7はスプリング17の付勢力(該スプリング17の
付勢力はスプリング16の付勢力よりも強く設定されて
いる)によりプランジャ15に固定されて上動するピン
15aの下端に追従して上動し、そのロッド7の上端が
バルブ4の穴4aの上端に当る。更にロッド7が上動す
ると、バルブ4をスプリング16の付勢力に抗して上動
させ、そのバルブ4がAポート1のシート面9に密着す
る。この密着状態からプランジャ15に固定されたピン
15aが図1(a)において、ロッド7に形成された長
穴7aの下端からはなれてステータ14とプランジャ1
5が当るまで上方へ移動する。このとき、上記ピン15
aの上面と長孔7aの上面との隙間は、図1(a)に示
す長さよりは短いが零にならないように設定されてい
る。
ランジャ15がステータ14側へ磁気的に吸引され、ロ
ッド7はスプリング17の付勢力(該スプリング17の
付勢力はスプリング16の付勢力よりも強く設定されて
いる)によりプランジャ15に固定されて上動するピン
15aの下端に追従して上動し、そのロッド7の上端が
バルブ4の穴4aの上端に当る。更にロッド7が上動す
ると、バルブ4をスプリング16の付勢力に抗して上動
させ、そのバルブ4がAポート1のシート面9に密着す
る。この密着状態からプランジャ15に固定されたピン
15aが図1(a)において、ロッド7に形成された長
穴7aの下端からはなれてステータ14とプランジャ1
5が当るまで上方へ移動する。このとき、上記ピン15
aの上面と長孔7aの上面との隙間は、図1(a)に示
す長さよりは短いが零にならないように設定されてい
る。
【0023】このバルブ4のシート面9への密着により
シート8における流通孔8aが開口され、Aポート1と
Bポート2が遮断されると同時にBポート2とCポート
3が連通される。
シート8における流通孔8aが開口され、Aポート1と
Bポート2が遮断されると同時にBポート2とCポート
3が連通される。
【0024】次にボデー5の取付部5aとプレート20
間のシール作用について説明する。ボデー5における取
付部5aのOリング溝24内にOリング18を嵌合した
状態で、その取付側面19とプレート20を図1(a)
のように重合し、これらの外周部を、ケースの上部21
aにより所定圧でかしめ固着する。これにより、取付部
5aに部分的に突出形成した取付面19bがプレート2
0に密着し、ひけ面19cと19dはプレート20に接
触しない。このとき、取付面19bは、その1個の周方
向の幅が短く、かつ取付部5aの全周に対して4個等間
隔に設けられているため、取付部5aに成形収縮(ひ
け)が生じていてもこの取付部5aにおける取付側面の
周方向の平面度はあまり悪化しない。
間のシール作用について説明する。ボデー5における取
付部5aのOリング溝24内にOリング18を嵌合した
状態で、その取付側面19とプレート20を図1(a)
のように重合し、これらの外周部を、ケースの上部21
aにより所定圧でかしめ固着する。これにより、取付部
5aに部分的に突出形成した取付面19bがプレート2
0に密着し、ひけ面19cと19dはプレート20に接
触しない。このとき、取付面19bは、その1個の周方
向の幅が短く、かつ取付部5aの全周に対して4個等間
隔に設けられているため、取付部5aに成形収縮(ひ
け)が生じていてもこの取付部5aにおける取付側面の
周方向の平面度はあまり悪化しない。
【0025】すなわち、取付部5aにおけるリブ23が
存在する部分は、リブ方向の成形収縮(ひけ)量が大き
く、その他の部分は成形収縮量が小さい。そのため、こ
の収縮量の相違により取付部5aの取付面側の平面度は
一般に悪くなる。しかし、上記のように取付面19bを
部分的に形成してひけ面19cの周方向の長さを大きく
することにより、このひけ面19cがプレート20に接
触せず、該面での収縮量の相違は平面度に影響しない。
また、取付面19bでは収縮量による平面度の影響はあ
るが、この取付面19bの個数が少なくかつ点在してい
るため平面度への影響が少なくなり、全体として取付面
側の周方向の平面度が従来の構造よりも向上する。
存在する部分は、リブ方向の成形収縮(ひけ)量が大き
く、その他の部分は成形収縮量が小さい。そのため、こ
の収縮量の相違により取付部5aの取付面側の平面度は
一般に悪くなる。しかし、上記のように取付面19bを
部分的に形成してひけ面19cの周方向の長さを大きく
することにより、このひけ面19cがプレート20に接
触せず、該面での収縮量の相違は平面度に影響しない。
また、取付面19bでは収縮量による平面度の影響はあ
るが、この取付面19bの個数が少なくかつ点在してい
るため平面度への影響が少なくなり、全体として取付面
側の周方向の平面度が従来の構造よりも向上する。
【0026】このように周方向の平面度が従来に比べて
向上することにより、Oリング18の圧縮率が全周に亘
って設計圧縮率に確保でき、該取付部分からの流体の洩
れを確実に防止できる。
向上することにより、Oリング18の圧縮率が全周に亘
って設計圧縮率に確保でき、該取付部分からの流体の洩
れを確実に防止できる。
【0027】また、上記のかしめ時においては、取付面
19bの受圧面積が上記のように設定されているので、
この取付面19bがかしめ力によって漬れず、適正なか
しめ固着及び平面度を得ることができる。
19bの受圧面積が上記のように設定されているので、
この取付面19bがかしめ力によって漬れず、適正なか
しめ固着及び平面度を得ることができる。
【0028】尚、取付部19bに上記のようなリブ23
が有しないものにおいても樹脂成形時による成形収縮の
バラツキが生じるため、リブ23が有しないものにおい
ても本発明を適用することにより上記のような平面度の
向上を図ることができる。
が有しないものにおいても樹脂成形時による成形収縮の
バラツキが生じるため、リブ23が有しないものにおい
ても本発明を適用することにより上記のような平面度の
向上を図ることができる。
【0029】
【発明の効果】以上のように、第1の発明によれば、ボ
デーの取付部におけるプレートに対する平面度を従来に
比べて向上させ、Oリングの圧縮率を全周に亘って設計
圧縮率に確保できるので、Oリングとプレートとの密着
性を高めることができる。したがって、ボデー内の加圧
された流体が連結部から洩れ出ることを確実に防止でき
る。 また、第2の発明によれば、上記の平面度の向上
を一層高め、洩れ防止がより確実になる。
デーの取付部におけるプレートに対する平面度を従来に
比べて向上させ、Oリングの圧縮率を全周に亘って設計
圧縮率に確保できるので、Oリングとプレートとの密着
性を高めることができる。したがって、ボデー内の加圧
された流体が連結部から洩れ出ることを確実に防止でき
る。 また、第2の発明によれば、上記の平面度の向上
を一層高め、洩れ防止がより確実になる。
【図1】 (a)は本発明を適用する電磁弁の1例を示
す縦断面図、(b)は本発明の要部を若干誇張して示し
た拡大縦断面図。
す縦断面図、(b)は本発明の要部を若干誇張して示し
た拡大縦断面図。
【図2】 本発明における取付側面を示す図で、ハッチ
ングにより取付面の範囲を示している。
ングにより取付面の範囲を示している。
【図3】 同側面図。
【図4】 従来技術における取付側面を示す図。
1,2,3…流通ポート 4…バルブ 5…ボデー 5
a…取付部 6…駆動部 11…流通室 18…Oリン
グ 19…取付側面 19b…取付面 19c,19d
…ひけ面 20…プレート 24…Oリング溝
a…取付部 6…駆動部 11…流通室 18…Oリン
グ 19…取付側面 19b…取付面 19c,19d
…ひけ面 20…プレート 24…Oリング溝
Claims (2)
- 【請求項1】 流通ポートを形成すると共に該流通ポー
トを開閉するバルブを備えたボデーと、上記バルブを開
閉駆動する駆動部とを連結するものであって、これらの
間にプレートを介在し、該プレートと上記ボデーに一体
形成された環状の取付部とを、これらの外周面でかしめ
固着するものにおいて、 上記環状の取付部(5a)の取付側面に、環状のOリン
グ溝(24)を形成して該Oリング溝(24)内にOリ
ング(18)を嵌装し、該Oリング溝(24)の外周の
面を、周方向に対して部分的に形成した取付面(19
b)と、該取付面(19b)以外の部分を取付面(19
b)より低い面に形成したひけ面(19c)とで形成し
たことを特徴とする電磁弁。 - 【請求項2】 上記取付部(5a)の取付側面における
Oリング溝(24)の内側の面を、上記外側の面のひけ
面(19c)と同一平面のひけ面(19d)とした請求
項1の電磁弁。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20518993A JP3320155B2 (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 電磁弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20518993A JP3320155B2 (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 電磁弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0755042A true JPH0755042A (ja) | 1995-03-03 |
JP3320155B2 JP3320155B2 (ja) | 2002-09-03 |
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ID=16502883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP20518993A Expired - Fee Related JP3320155B2 (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 電磁弁 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3320155B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001108130A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-04-20 | Applied Materials Inc | 半導体ウェーハ処理装置用クラスタバルブ |
JP2011012792A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Nissin Kogyo Co Ltd | 常開型電磁弁 |
-
1993
- 1993-08-19 JP JP20518993A patent/JP3320155B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001108130A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-04-20 | Applied Materials Inc | 半導体ウェーハ処理装置用クラスタバルブ |
JP2011012792A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Nissin Kogyo Co Ltd | 常開型電磁弁 |
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