JP3316817B2 - 測定ヘッド - Google Patents
測定ヘッドInfo
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- measuring head
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加工中のワークの
形状や寸法を測定するための定寸装置、及び加工終了後
のワークの形状や寸法を測定するための検測装置に適用
される測定ヘッドに関する。
形状や寸法を測定するための定寸装置、及び加工終了後
のワークの形状や寸法を測定するための検測装置に適用
される測定ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】特公平５−８５８４１号公報に開示され
た測定ヘッドの測定用アームには、安全装置が設けら
れ、この安全装置によってワークからの過剰な衝撃力を
緩衝し、衝撃力から測定ヘッド本体を保護している。前
記安全装置は、測定用アームを構成する第１アームと第
２アームとの間に、脆性材料で作られた中間部材を挟み
込み、この中間部材の一端部を第１アームにねじで固定
するとともに、中間部材の他端部を第２アームにねじで
固定することにより構成されている。斯かる安全装置
は、ワークからの過剰な衝撃力がコンタクトから第２ア
ームを介して中間部材に伝達されると、中間部材が破損
する。これによって、前記衝撃力が緩衝される。
た測定ヘッドの測定用アームには、安全装置が設けら
れ、この安全装置によってワークからの過剰な衝撃力を
緩衝し、衝撃力から測定ヘッド本体を保護している。前
記安全装置は、測定用アームを構成する第１アームと第
２アームとの間に、脆性材料で作られた中間部材を挟み
込み、この中間部材の一端部を第１アームにねじで固定
するとともに、中間部材の他端部を第２アームにねじで
固定することにより構成されている。斯かる安全装置
は、ワークからの過剰な衝撃力がコンタクトから第２ア
ームを介して中間部材に伝達されると、中間部材が破損
する。これによって、前記衝撃力が緩衝される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の測定ヘッドの安全装置は、脆性材料で作られた中間
部材を２本のねじで第１アームと第２アームに連結する
構造なので、部品点数が多くなるという欠点があった。
また、前記安全装置は、ワークの測定時に発生する測定
圧によって中間部材が弾性変形する場合があるので、測
定精度が悪化するという欠点もあった。
来の測定ヘッドの安全装置は、脆性材料で作られた中間
部材を２本のねじで第１アームと第２アームに連結する
構造なので、部品点数が多くなるという欠点があった。
また、前記安全装置は、ワークの測定時に発生する測定
圧によって中間部材が弾性変形する場合があるので、測
定精度が悪化するという欠点もあった。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ワークからの過剰な衝撃力を部品点数の少な
い簡単な構造で緩衝することができるとともに、測定精
度を向上させることができる測定ヘッドを提供すること
を目的とする。
たもので、ワークからの過剰な衝撃力を部品点数の少な
い簡単な構造で緩衝することができるとともに、測定精
度を向上させることができる測定ヘッドを提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ヘッド本体に測定方向及びリトラクト方
向に揺動自在に設けられた測定用アームと、該測定用ア
ームの先端に設けられるとともに被測定物に当接される
コンタクト部材とを備えた測定ヘッドであって、前記測
定用アームは、ヘッド本体に揺動自在に支持された第１
アームと、該第１アームに連結されるとともに前記コン
タクト部材が設けられた第２アームとからなる測定ヘッ
ドにおいて、前記第１アーム及び第２アームには雌ねじ
が形成され、これらの雌ねじに、ヘリカルコイルインサ
ート部材が螺入されることにより第１アームと第２アー
ムとが連結され、前記ヘリカルコイルインサート部材に
脆性材料で作られた締結部材が螺入されて連結されるこ
とを特徴とする。
成するために、ヘッド本体に測定方向及びリトラクト方
向に揺動自在に設けられた測定用アームと、該測定用ア
ームの先端に設けられるとともに被測定物に当接される
コンタクト部材とを備えた測定ヘッドであって、前記測
定用アームは、ヘッド本体に揺動自在に支持された第１
アームと、該第１アームに連結されるとともに前記コン
タクト部材が設けられた第２アームとからなる測定ヘッ
ドにおいて、前記第１アーム及び第２アームには雌ねじ
が形成され、これらの雌ねじに、ヘリカルコイルインサ
ート部材が螺入されることにより第１アームと第２アー
ムとが連結され、前記ヘリカルコイルインサート部材に
脆性材料で作られた締結部材が螺入されて連結されるこ
とを特徴とする。
【０００６】本発明は、第１アームと第２アームとを連
結するための締結部材を脆性材料で作り、この締結部材
を破損させることによって、ワークからの過剰な衝撃力
を緩衝する。したがって、本発明は、部品を全く増やす
ことなくワークからの過剰な衝撃力を緩衝することがで
きる。また、第１アームと第２アームとは締結部材によ
って直結されているので、即ち、測定時に発生する測定
圧で弾性変形する従来の中間部材に相当するものはない
ので、測定精度を向上させることができる。前記締結部
材としては、セラミック又はプラスチック等の脆性材料
で作られたボルトを適用することができる。
結するための締結部材を脆性材料で作り、この締結部材
を破損させることによって、ワークからの過剰な衝撃力
を緩衝する。したがって、本発明は、部品を全く増やす
ことなくワークからの過剰な衝撃力を緩衝することがで
きる。また、第１アームと第２アームとは締結部材によ
って直結されているので、即ち、測定時に発生する測定
圧で弾性変形する従来の中間部材に相当するものはない
ので、測定精度を向上させることができる。前記締結部
材としては、セラミック又はプラスチック等の脆性材料
で作られたボルトを適用することができる。
【０００７】また、本発明の第２アームは、第１アーム
に飛散防止部材を介して連結されているので、前記締結
部材が破損しても、第２アームは飛散防止部材によって
第１アームから飛散しない。よって、第２アームがワー
ク加工装置の危険な場所に落下するのを防止することが
できる。更に、本発明は、第１アーム及び第２アームに
雌ねじを形成し、これらの雌ねじに、飛散防止部材であ
るヘリカルコイルインサート部材を螺入して第１アーム
と第２アームとを連結した後、ヘリカルコイルインサー
ト部材に前記締結部材を螺入する。このように、飛散防
止部材としてヘリカルコイルインサート部材を適用する
と、飛散防止部材が第１アームと第２アームの外部に配
置された測定ヘッドと比較して、コンパクト化すること
ができる。
に飛散防止部材を介して連結されているので、前記締結
部材が破損しても、第２アームは飛散防止部材によって
第１アームから飛散しない。よって、第２アームがワー
ク加工装置の危険な場所に落下するのを防止することが
できる。更に、本発明は、第１アーム及び第２アームに
雌ねじを形成し、これらの雌ねじに、飛散防止部材であ
るヘリカルコイルインサート部材を螺入して第１アーム
と第２アームとを連結した後、ヘリカルコイルインサー
ト部材に前記締結部材を螺入する。このように、飛散防
止部材としてヘリカルコイルインサート部材を適用する
と、飛散防止部材が第１アームと第２アームの外部に配
置された測定ヘッドと比較して、コンパクト化すること
ができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る測定ヘッドの好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、ワーク外径測定用定寸装置に適用された測定ヘ
ッド１０の断面図である。同図に示す測定ヘッド１０
は、長尺状に形成された一対の測定用アーム１２、１２
を有し、これらの測定用アーム１２の先端部に、ワーク
１４の外周面に接触されるコンタクト１６がそれぞれ設
けられている。また、測定用アーム１２は、短尺状のア
ーム（第１アームに相当）１８とフィーラ（第２アーム
に相当）２０とから構成されている。
る測定ヘッドの好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、ワーク外径測定用定寸装置に適用された測定ヘ
ッド１０の断面図である。同図に示す測定ヘッド１０
は、長尺状に形成された一対の測定用アーム１２、１２
を有し、これらの測定用アーム１２の先端部に、ワーク
１４の外周面に接触されるコンタクト１６がそれぞれ設
けられている。また、測定用アーム１２は、短尺状のア
ーム（第１アームに相当）１８とフィーラ（第２アーム
に相当）２０とから構成されている。
【０００９】アーム１８は、アーム１８の略大部分がヘ
ッド本体２２内に挿入配置されるとともに、アーム１８
の略中央部に形成された支持部１９がヘッド本体２２の
固定部２４に十字ばね２６を介して連結され、この十字
ばね２６を揺動支点として図１上で上下方向に揺動され
る。ヘッド本体２２から突出されたアーム１８の先端部
１８Ａには、前記フィーラ２０の基端部２０Ａがボルト
（締結部材に相当）２８によって直結されている。この
フィーラ２０の先端部２０Ｂに前記コンタクト１６が設
けられている。したがって、コンタクト１６は、十字ば
ね２６を支点として測定方向（コンタクト１６、１６間
の間隔が狭くなる方向）、及びリトラクト方向（コンタ
クト１６、１６間の間隔が広くなる方向）に移動され
る。
ッド本体２２内に挿入配置されるとともに、アーム１８
の略中央部に形成された支持部１９がヘッド本体２２の
固定部２４に十字ばね２６を介して連結され、この十字
ばね２６を揺動支点として図１上で上下方向に揺動され
る。ヘッド本体２２から突出されたアーム１８の先端部
１８Ａには、前記フィーラ２０の基端部２０Ａがボルト
（締結部材に相当）２８によって直結されている。この
フィーラ２０の先端部２０Ｂに前記コンタクト１６が設
けられている。したがって、コンタクト１６は、十字ば
ね２６を支点として測定方向（コンタクト１６、１６間
の間隔が狭くなる方向）、及びリトラクト方向（コンタ
クト１６、１６間の間隔が広くなる方向）に移動され
る。
【００１０】アーム１８の基端部１８Ｂには、コンタク
ト１６の変動量を検出する差動トランス３０が設けられ
ている。この差動トランス３０は、コア３２とボビン３
４とから構成され、コア３２がアーム１８の基端部１８
Ｂに固定され、ボビン３４がヘッド本体２２に固定され
ている。符号３６は、差動トランス３０の基板であり、
符号３８は、前記基板３６に接続される複数本の電気信
号線（不図示）が収納されたチューブである。
ト１６の変動量を検出する差動トランス３０が設けられ
ている。この差動トランス３０は、コア３２とボビン３
４とから構成され、コア３２がアーム１８の基端部１８
Ｂに固定され、ボビン３４がヘッド本体２２に固定され
ている。符号３６は、差動トランス３０の基板であり、
符号３８は、前記基板３６に接続される複数本の電気信
号線（不図示）が収納されたチューブである。
【００１１】アーム１８には突出部４０が形成され、こ
の突出部４０が引張りばね４２を介して固定部２４に連
結されている。したがって、引張りばね４２の付勢力が
アーム１８に作用すると、フィーラ２０を介してコンタ
クト１６が十字ばね２６を支点として測定方向に移動さ
れる。また、アーム１８には、前記突出部４０に隣接し
て支持板４４が取り付けられており、この支持板４４の
先端部に図１、図２に示すローラ４６が回転自在に支持
されている。支持板４４は図２の如く、一対のアーム１
８、１８間の中心軸Ａに対し交差して配置され、そのロ
ーラ４６が中心軸Ａを挟んで対向配置されている。ま
た、ローラ４６、４６に当接されるテーパ面が形成され
たコマ部材４８が図１の如く、ローラ４６の左側方に配
置されている。このコマ部材４８は、前記中心軸Ａと同
軸上に配置されたロッド５０の先端に固定され、ロッド
５０はエアシンリンダ装置５２のシリンダ５４に連結さ
れている。したがって、シリンダ５４にエアが供給され
てロッド５０が図１上で右方向に伸長されると、コマ部
材４８がローラ４６、４６に当接し、ローラ４６、４６
が押動される。これにより、図１上で上側のアーム１８
が十字ばね２６を支点として反時計回り方向に揺動さ
れ、これとは逆に下側のアーム１８が十字ばね２６を支
点として時計回り方向に揺動される。このアーム１８、
１８の動作によって、コンタクト１６、１６がフィーラ
２０、２０を介してリトラクト方向に移動される。
の突出部４０が引張りばね４２を介して固定部２４に連
結されている。したがって、引張りばね４２の付勢力が
アーム１８に作用すると、フィーラ２０を介してコンタ
クト１６が十字ばね２６を支点として測定方向に移動さ
れる。また、アーム１８には、前記突出部４０に隣接し
て支持板４４が取り付けられており、この支持板４４の
先端部に図１、図２に示すローラ４６が回転自在に支持
されている。支持板４４は図２の如く、一対のアーム１
８、１８間の中心軸Ａに対し交差して配置され、そのロ
ーラ４６が中心軸Ａを挟んで対向配置されている。ま
た、ローラ４６、４６に当接されるテーパ面が形成され
たコマ部材４８が図１の如く、ローラ４６の左側方に配
置されている。このコマ部材４８は、前記中心軸Ａと同
軸上に配置されたロッド５０の先端に固定され、ロッド
５０はエアシンリンダ装置５２のシリンダ５４に連結さ
れている。したがって、シリンダ５４にエアが供給され
てロッド５０が図１上で右方向に伸長されると、コマ部
材４８がローラ４６、４６に当接し、ローラ４６、４６
が押動される。これにより、図１上で上側のアーム１８
が十字ばね２６を支点として反時計回り方向に揺動さ
れ、これとは逆に下側のアーム１８が十字ばね２６を支
点として時計回り方向に揺動される。このアーム１８、
１８の動作によって、コンタクト１６、１６がフィーラ
２０、２０を介してリトラクト方向に移動される。
【００１２】ところで、本実施の形態の測定ヘッド１０
は、アーム１８とフィーラ２０とを連結するボルト２８
が、セラミック又はプラスチック等の脆性材料で作られ
ている。このようにボルト２８を脆性材料で作ると、ワ
ーク１４の測定時にワーク１５からフィーラ２０を介し
て過剰な衝撃力が伝達された場合、その衝撃力はボルト
２８が破損することによって緩衝され、アーム１８側に
伝達されない。
は、アーム１８とフィーラ２０とを連結するボルト２８
が、セラミック又はプラスチック等の脆性材料で作られ
ている。このようにボルト２８を脆性材料で作ると、ワ
ーク１４の測定時にワーク１５からフィーラ２０を介し
て過剰な衝撃力が伝達された場合、その衝撃力はボルト
２８が破損することによって緩衝され、アーム１８側に
伝達されない。
【００１３】また、前記アーム１８とフィーラ２０には
図３、図４の如く、雌ねじ５６、５８が形成され、これ
らの雌ねじ５６、５８に、飛散防止部材である１本のヘ
リカルコイルインサート６０が螺入され、ヘリカルコイ
ルインサート６０によってアーム１８とフィーラ２０と
が連結されている。そして、ヘリカルコイルインサート
６０にボルト２８が螺入されている。
図３、図４の如く、雌ねじ５６、５８が形成され、これ
らの雌ねじ５６、５８に、飛散防止部材である１本のヘ
リカルコイルインサート６０が螺入され、ヘリカルコイ
ルインサート６０によってアーム１８とフィーラ２０と
が連結されている。そして、ヘリカルコイルインサート
６０にボルト２８が螺入されている。
【００１４】次に、前記の如く構成された測定ヘッド１
０の作用について説明する。加工中のワーク１４の外径
寸法を測定する場合、まず、シリンダ装置５２のシリン
ダ５４にエアを供給し、ロッド５０を図１上で右方向に
伸長させ、コマ部材４８でローラ４６、４６を押動する
ことにより、コンタクト１６、１６をリトラクト方向に
移動させる。
０の作用について説明する。加工中のワーク１４の外径
寸法を測定する場合、まず、シリンダ装置５２のシリン
ダ５４にエアを供給し、ロッド５０を図１上で右方向に
伸長させ、コマ部材４８でローラ４６、４６を押動する
ことにより、コンタクト１６、１６をリトラクト方向に
移動させる。
【００１５】次に、コンタクト１６、１６がワーク１４
の外周面に当接する位置に測定ヘッド１０を固定した
後、シリンダ５４内のエアを抜く。これにより、アーム
１８には、引張りばね４２の付勢力が作用するので、コ
ンタクト１６、１６が測定方向に徐々に移動していき、
コンタクト１６、１６がワーク１４の外周面に当接す
る。これによって、ワーク１４の外径寸法が測定され
る。
の外周面に当接する位置に測定ヘッド１０を固定した
後、シリンダ５４内のエアを抜く。これにより、アーム
１８には、引張りばね４２の付勢力が作用するので、コ
ンタクト１６、１６が測定方向に徐々に移動していき、
コンタクト１６、１６がワーク１４の外周面に当接す
る。これによって、ワーク１４の外径寸法が測定され
る。
【００１６】コンタクト１６によるワーク１４の寸法測
定中に、ワーク１４からの過剰な衝撃力がフィーラ２０
を介して伝達されると、その衝撃力は、セラミック又は
プラスチック等の脆性材料で作られたボルト２８が破損
することによって緩衝され、アーム１８側に伝達されな
い。したがって、前記衝撃力からヘッド本体２２を保護
することができる。
定中に、ワーク１４からの過剰な衝撃力がフィーラ２０
を介して伝達されると、その衝撃力は、セラミック又は
プラスチック等の脆性材料で作られたボルト２８が破損
することによって緩衝され、アーム１８側に伝達されな
い。したがって、前記衝撃力からヘッド本体２２を保護
することができる。
【００１７】本実施の形態では、アーム１８とフィーラ
２０とを連結するためのボルト２８によって衝撃力を緩
衝するので、衝撃力を緩衝するための専用の部品を全く
設けることなく、ワーク１４からの過剰な衝撃力を緩衝
することができる。また、アーム１８とフィーラ２０と
はボルト２８によって直結されているので、即ち、測定
時に発生する測定圧で弾性変形する従来の中間部材に相
当するものはないので、測定精度を向上させることがで
きる。
２０とを連結するためのボルト２８によって衝撃力を緩
衝するので、衝撃力を緩衝するための専用の部品を全く
設けることなく、ワーク１４からの過剰な衝撃力を緩衝
することができる。また、アーム１８とフィーラ２０と
はボルト２８によって直結されているので、即ち、測定
時に発生する測定圧で弾性変形する従来の中間部材に相
当するものはないので、測定精度を向上させることがで
きる。
【００１８】更に、フィーラ２０は、アーム１８にヘリ
カルコイルインサート６０を介して連結されているの
で、図５の如くボルト２８のねじ部２９が２つに折れて
破損しても、フィーラ２０はヘリカルコイルインサート
６０によってアーム１８からの飛散が防止される。よっ
て、フィーラ２０がワーク加工装置の危険な場所に落下
するのを防止することができる。また、飛散防止部材と
してヘリカルコイルインサート６０を適用すると、飛散
防止部材をアーム１８とフィーラ２０の外部に配置した
測定ヘッドと比較して、測定ヘッド１０をコンパクト化
することができる。
カルコイルインサート６０を介して連結されているの
で、図５の如くボルト２８のねじ部２９が２つに折れて
破損しても、フィーラ２０はヘリカルコイルインサート
６０によってアーム１８からの飛散が防止される。よっ
て、フィーラ２０がワーク加工装置の危険な場所に落下
するのを防止することができる。また、飛散防止部材と
してヘリカルコイルインサート６０を適用すると、飛散
防止部材をアーム１８とフィーラ２０の外部に配置した
測定ヘッドと比較して、測定ヘッド１０をコンパクト化
することができる。
【００１９】なお、本実施の形態では、締結部材として
ボルト２８を適用した例について説明したが、これに限
られるものではなく、アーム１８とフィーラ２０とをね
じ棒とナットからなる締結部材で連結する場合には、ね
じ棒を脆性材料で作ればよい。また、本実施の形態は、
外径測定用定寸装置の測定ヘッド１０について説明した
が、内径測定用定寸装置の測定ヘッドにも適用すること
はいうまでもなく、また、加工終了後のワークの形状や
寸法を測定する検測装置の測定ヘッドにも本発明の測定
ヘッドを適用することができる。
ボルト２８を適用した例について説明したが、これに限
られるものではなく、アーム１８とフィーラ２０とをね
じ棒とナットからなる締結部材で連結する場合には、ね
じ棒を脆性材料で作ればよい。また、本実施の形態は、
外径測定用定寸装置の測定ヘッド１０について説明した
が、内径測定用定寸装置の測定ヘッドにも適用すること
はいうまでもなく、また、加工終了後のワークの形状や
寸法を測定する検測装置の測定ヘッドにも本発明の測定
ヘッドを適用することができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る測定ヘ
ッドによれば、アーム部材を構成する第１アームと第２
アームとを連結するための締結部材を脆性材料で作り、
この締結部材を破損させることによって、ワークからの
過剰な衝撃力を緩衝するので、部品を全く増やすことな
く前記衝撃力を緩衝することができる。また、第１アー
ムと第２アームとは締結部材によって直結されているの
で、即ち、測定時に発生する測定圧で弾性変形する従来
の中間部材に相当するものはないので、測定精度を向上
させることができる。
ッドによれば、アーム部材を構成する第１アームと第２
アームとを連結するための締結部材を脆性材料で作り、
この締結部材を破損させることによって、ワークからの
過剰な衝撃力を緩衝するので、部品を全く増やすことな
く前記衝撃力を緩衝することができる。また、第１アー
ムと第２アームとは締結部材によって直結されているの
で、即ち、測定時に発生する測定圧で弾性変形する従来
の中間部材に相当するものはないので、測定精度を向上
させることができる。
【図１】本発明の実施の形態の測定ヘッドの断面図
【図２】図１に示した測定ヘッドの２−２線に沿う断面
図
図
【図３】アームとフィーラとの連結構造を示す拡大断面
図
図
【図４】図３に示した連結構造の組立斜視図
【図５】ヘリカルコイルインサートによってフィーラの
飛散が防止されている状態を示す断面図
飛散が防止されている状態を示す断面図
１０…測定ヘッド、１２…測定用アーム、１６…コンタ
クト、１８…アーム、２０…フィーラ、２２…ヘッド本
体、２８…ボルト、３０…差動トランス、４２…引張り
ばね、４６…ローラ、６０…ヘリカルコイルインサート
クト、１８…アーム、２０…フィーラ、２２…ヘッド本
体、２８…ボルト、３０…差動トランス、４２…引張り
ばね、４６…ローラ、６０…ヘリカルコイルインサート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 5/02 G01B 5/08 G01B 21/02 G01B 5/14 G01B 21/10
Claims (2)
- 【請求項１】 ヘッド本体に測定方向及びリトラクト方
向に揺動自在に設けられた測定用アームと、該測定用ア
ームの先端に設けられるとともに被測定物に当接される
コンタクト部材とを備えた測定ヘッドであって、前記測
定用アームは、ヘッド本体に揺動自在に支持された第１
アームと、該第１アームに連結されるとともに前記コン
タクト部材が設けられた第２アームとからなる測定ヘッ
ドにおいて、前記第１アーム及び第２アームには雌ねじが形成され、
これらの雌ねじに、ヘリカルコイルインサート部材が螺
入されることにより第１アームと第２アームとが連結さ
れ、前記ヘリカルコイルインサート部材に脆性材料で作
られた締結部材が螺入されて連結される ことを特徴とす
る測定ヘッド。 - 【請求項２】 前記締結部材は、セラミック又はプラス
チック等の脆性材料で作られたボルトであることを特徴
とする請求項１記載の測定ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16535199A JP3316817B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | 測定ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16535199A JP3316817B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | 測定ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000356503A JP2000356503A (ja) | 2000-12-26 |
| JP3316817B2 true JP3316817B2 (ja) | 2002-08-19 |
Family
ID=15810719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16535199A Expired - Fee Related JP3316817B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | 測定ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3316817B2 (ja) |
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| JP2004294386A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 変位量センサ |
| DE202013012759U1 (de) * | 2013-01-30 | 2019-04-23 | Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh | Tastkörper-Halteanordnung |
| JP7312553B2 (ja) * | 2019-01-11 | 2023-07-21 | 株式会社東京精密 | 空気圧シリンダ及びそれを備えた測定装置 |
-
1999
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|---|---|
| JP2000356503A (ja) | 2000-12-26 |
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