JP3316814B2 - 光軸補正光学系 - Google Patents

光軸補正光学系

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は、光束偏向手段を含む光軸補正光
学系に関する。
【0002】
【従来技術及びその問題点】図1は、本発明の対象とす
る光束偏向手段を含む光軸補正光学系の従来例を示して
いる。この光学系は、物体側から順に、第1光学系(ア
フォーカル光学系)10と、光束偏向手段20と、収束
光学系30とからなっており、光束偏向手段20は、第
1光学系10に入射する光の光軸が傾いても収束光学系
30による収束位置が常に一定になるように光束を偏向
させる。ところが、この従来の光軸補正光学系では、収
束光学系30に厳しい光学性能(収差補正)を要求され
るほど、第1光学系10の倍率と光束偏向手段20の偏
向角を余り大きくすることができず、このため、収束光
学系30を小型にすることが困難であった。あるいは、
第1光学系10の倍率と光束偏向手段20の偏向角を大
きくすると、収束光学系30には、その周辺に光束が入
射するため、良好な収束性能を得ることが困難であっ
た。
【0003】
【発明の目的】本発明は、光束偏向手段の後の収束光学
系をより小型にすることができ、あるいは光束偏向手段
の偏向角を大きくしても収束性能を劣化させることのな
い光軸補正光学系を得ることを目的とする。
【0004】
【発明の概要】本発明は、従来の光軸補正光学系の光束
偏向手段と収束光学系の間に、第2光学系(第2アフォ
ーカル光学系)を配置し、この第2光学系と第1光学系
との役割分担を適切に行うことにより、収束光学系の小
型化を図り、あるいは光束偏向手段の偏向角を大きくし
ても収束性能を劣化させることのない光軸補正光学系を
得たものである。
【0005】すなわち、本発明の光軸補正光学系は、物
体側から順に、物体側から順に正のレンズ群と負の単レ
ンズを有する第1の光学系と、この第1の光学系の入射
光軸の変位を補正するための光束偏向手段と、物体側か
ら順に少なくとも正のレンズ群と負のレンズ群を有する
第2の光学系と、収束光学系とを備え、次の条件式
(1)ないし(3)を満足することを特徴としている。 (1)3.60<│fp(I)/fN(I)│<5.30 (2)1.00<│fp(II)/fN(II)│<2.41 (3)0.12<r1(II)/f<0.23 但し、 fp(I);第1光学系の正のレンズ群の焦点距離、 fN(I);第1光学系の負の単レンズの焦点距離、 fp(II);第2光学系の正のレンズ群の焦点距離、 fN(II);第2光学系の負のレンズ群の焦点距離、 r1(II);第2光学系の正のレンズ群の最も光束偏向手段
側の面の曲率半径、 f;全系の焦点距離、である。
【0006】本発明は、別の表現によると、物体側から
順に、第1アフォーカル光学系と、この第1アフォーカ
ル光学系の入射光軸の変位を補正するための光束偏向手
段と、収束光学系とを備えた光軸補正光学系において、
光束偏向手段と収束光学系との間に、第2のアフォーカ
ル光学系が配置され、第2のアフォーカル光学系は、物
体側から順に少なくとも正のレンズ群と負のレンズ群を
有し、同じ条件式(1)ないし(3)を満足することを
特徴としている。
【0007】第2の光学系(アフォーカル光学系)の正
のレンズ群と負のレンズ群はともに、単レンズから構成
するのが実際的である。
【0008】
【発明の実施の形態】図2は、本発明による光軸補正光
学系の一実施形態を示している。この光学系は、物体側
から順に、第1光学系(望遠鏡光学系、アフォーカル光
学系)10と、光束偏向手段20と、第2光学系(アフ
ォーカル光学系)40と、収束光学系30とからなって
いる。従来光学系に比較すると、光束偏向手段20と収
束光学系30との間に、第2光学系(アフォーカル光学
系)40を配置した点に特徴がある。光束偏向手段20
は、収束光学系30に正しく入射光束を入射させるもの
であり、例えば、直交二方向に駆動される偏向ミラーか
ら構成される。この偏向ミラーの回動部には、例えばコ
イルと磁石からなる電磁駆動装置が備えられ、この電磁
駆動装置が、例えば収束光学系への入射光束の位置検出
手段の出力によって駆動される。
【0009】第1光学系10は、物体側から順に正のレ
ンズ群11と負の単レンズ12からなり、正のレンズ群
11は、物体側から順に、正レンズ11a、正レンズ1
1b、及び負レンズ11cからなっている。第2の光学
系40は、物体側から順に、正の単レンズ41と負の単
レンズ42からなっている。両光学系10、40はとも
に、一組の物点と像点が無限遠にあり、入射光が略平行
であるとき出射光も略平行となるようなアフォーカル光
学系であり、第1のアフォーカル光学系10は、物体側
から光束偏向手段20側に光束径を縮径し、第2のアフ
ォーカル光学系40は、光束偏向手段20側から収束光
学系30側に光束径を縮径する。正のパワーの収束光学
系30は、第2アフォーカル光学系40からの光束を受
光素子31に集光する。
【0010】第1光学系10と第2光学系40との間の
光束は、略平行光束であり、この平行光束が光束偏向手
段としての偏向ミラー20に入射する。平行光束部分に
偏向ミラー20を配置すると、光束を偏向しても収束光
学系30でのピントずれが生じないという利点がある。
【0011】本発明による光軸補正光学系は、例えば以
上の構成を備えた上で、条件式(1)ないし(3)を満
足するものである。各条件式について説明する。条件式
(1)は、第1光学系の入射光軸の変位を光束偏向手段
で補正したときの光学性能の低下を少なくするために、
第1光学系の倍率の大きさに与えた条件である。条件式
(1)の下限を越えて第1光学系の倍率が低くなると、
光束偏向手段による偏向角は小さくて済むが、第1光学
系が大きくなってしまい小型化の目的を達成できなくな
る。逆に上限を越えて第1光学系の倍率が大きくなる
と、第1光学系は小さくできるが入射光軸の変位が大き
くなり過ぎ、光束偏向手段で光軸を補正したとしても光
学性能が保持できなくなる。
【0012】条件式(2)は、第1光学系の入射光軸の
変位を光束偏向手段で補正したとき光学性能の低下を少
なく抑え、かつ収束光学系を小型にするために、第2光
学系の倍率の大きさに与えた条件である。条件式(2)
の下限を越えて第2光学系の倍率が小さくなると、本来
の目的である収束光学系の小型化に逆行する。逆に上限
を越えて第2光学系の倍率が大きくなると、収束光学系
は小さくできるが、第1光学系の入射光軸の変位を光束
偏向手段で補正したとき光学性能を保持することが困難
になる。
【0013】条件式(3)は、球面収差を良好に補正す
るために、第2光学系の正レンズ群の最も光束偏向手段
側の面の曲率半径に与えた条件である。正レンズ群が正
の単レンズからなるときには、その単レンズの光束偏向
手段側の面の曲率半径を規定する。。条件式(3)の下
限を越えてこの光束偏向手段側の面の曲率半径が小さく
なると、球面収差が補正過剰となり、逆に上限を越えて
この曲率半径が大きくなると球面収差が補正不足とな
り、いずれも光学性能を保持できなくなる。
【0014】次に具体的な実施例について本発明を説明
する。以下の表及び図面において、fは焦点距離、fB
はバックフォーカス、NAは開口数、Rは曲率半径、D
はレンズ厚またはレンズ間隔、Nは波長785nmの屈
折率を示す。収差図の765、785、805はそれぞ
れの波長(nm)における球面収差を示す。
【0015】[実施例1]表1は、実施例1の数値デー
タである。光学構成は、図2と同様である。図3は、実
施例1の光学系において光束偏向手段(偏向ミラー)が
動作する前(補正前)の球面収差図、図4は、実施例1
の光学系において、光束偏向手段が変位する前の無限遠
0゜入射光束のスポットダイアグラム、図5は、無限遠
1゜入射光束を光束偏向手段で補正したときのスポット
ダイアグラムである。スポットダイアグラムは、いずれ
の状態でも、50μm角内に収まっており、補正後も劣
化の程度が少ない。
【0016】
【表1】
【0017】[実施例2]表2は、実施例2の数値デー
タである。光学構成は、図2と同様である。図6は、実
施例1の光学系において光束偏向手段(偏向ミラー)が
動作する前(補正前)の球面収差図、図7は、実施例2
の光学系において、光束偏向手段が変位する前の無限遠
0゜入射光束のスポットダイアグラム、図8は、無限遠
1゜入射光束を光束偏向手段で補正したときのスポット
ダイアグラムである。スポットダイアグラムは、いずれ
の状態でも、50μm角内に収まっており、補正後も劣
化の程度が少ない。
【0018】
【表2】
【0019】[実施例3]表3は、実施例3の数値デー
タである。光学構成は、図2と同様である。図9は、実
施例3の光学系において光束偏向手段(偏向ミラー)が
動作する前(補正前)の球面収差図、図10は、実施例
3の光学系において、光束偏向手段が変位する前の無限
遠0゜入射光束のスポットダイアグラム、図11は、無
限遠1゜入射光束を光束偏向手段で補正したときのスポ
ットダイアグラムである。スポットダイアグラムは、い
ずれの状態でも、50μm角内に収まっており、補正後
も劣化の程度が少ない。
【0020】
【表3】
【0021】[実施例4]表4は、実施例4の数値デー
タである。光学構成は、図2と同様である。図12は、
実施例4の光学系において光束偏向手段(偏向ミラー)
が動作する前(補正前)の球面収差図、図13は、実施
例4の光学系において、光束偏向手段が変位する前の無
限遠0゜入射光束のスポットダイアグラム、図14は、
無限遠1゜入射光束を光束偏向手段で補正したときのス
ポットダイアグラムである。スポットダイアグラムは、
いずれの状態でも、50μm角内に収まっており、補正
後も劣化の程度が少ない。
【0022】
【表4】
【0023】[実施例5]表5は、実施例5の数値デー
タである。光学構成は、図2と同様である。図15は、
実施例5の光学系において光束偏向手段(偏向ミラー)
が動作する前(補正前)の球面収差図、図16は、実施
例5の光学系において、光束偏向手段が変位する前の無
限遠0゜入射光束のスポットダイアグラム、図17は、
無限遠1゜入射光束を光束偏向手段で補正したときのス
ポットダイアグラムである。スポットダイアグラムは、
いずれの状態でも、50μm角内に収まっており、補正
後も劣化の程度が少ない。
【0024】
【表5】
【0025】[実施例6]表6は、実施例6の数値デー
タである。光学構成は、図2と同様である。図18は、
実施例6の光学系において光束偏向手段(偏向ミラー)
が動作する前(補正前)の球面収差図、図19は、実施
例6の光学系において、光束偏向手段が変位する前の無
限遠0゜入射光束のスポットダイアグラム、図20は、
無限遠1゜入射光束を光束偏向手段で補正したときのス
ポットダイアグラムである。スポットダイアグラムは、
いずれの状態でも、50μm角内に収まっており、補正
後も劣化の程度が少ない。
【0026】
【表6】
【0027】[実施例7]表7は、実施例7の数値デー
タである。光学構成は、図2と同様である。図21は、
実施例7の光学系において光束偏向手段(偏向ミラー)
が動作する前(補正前)の球面収差図、図22は、実施
例7の光学系において、光束偏向手段が変位する前の無
限遠0゜入射光束のスポットダイアグラム、図23は、
無限遠1゜入射光束を光束偏向手段で補正したときのス
ポットダイアグラムである。スポットダイアグラムは、
いずれの状態でも、50μm角内に収まっており、補正
後も劣化の程度が少ない。
【0028】
【表7】
【0029】表8は、各実施例の各条件式に対応する値
である。各実施例は、条件式(1)ないし(3)を満足
し、球面収差図及びスポットダイアグラムに示すよう
に、光束偏向手段による補正前に高い光学性能を示し、
補正の後にも高い光学性能を維持している。
【0030】
【表8】 fp(I)/fN(I) fp(II)/fN(II) r1(II)/f 実施例1 3.999712 1.790280 0.185281 実施例2 3.999712 2.193925 0.206010 実施例3 3.999712 1.790280 0.199220 実施例4 4.482147 1.119614 0.178477 実施例5 4.599845 1.194883 0.173980 実施例6 4.649752 1.211920 0.175082 実施例7 4.844580 1.467808 0.138342
【0031】
【発明の効果】本発明によれば、光束偏向手段を含んだ
光軸補正光学系の収束光学系をより小型にし、あるいは
光束偏向手段の偏向角を大きくしても収束性能を劣化さ
せることのない光軸補正光学系を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の光軸補正光学系の例を示す光学構成図で
ある。
【図2】本発明による光軸補正光学系の一実施形態を示
す光学構成図である。
【図3】本発明による光軸補正光学系の第1の実施例の
偏向ミラーが偏位する前の球面収差図である。
【図4】同第1の実施例の偏向ミラーが偏位する前にお
ける無限遠0゜入射光束のスポットダイアグラムであ
る。
【図5】同第1の実施例において無限遠1゜偏位光束を
偏向ミラーを偏位させて補正したときのスポットダイア
グラムである。
【図6】本発明による光軸補正光学系の第2の実施例の
偏向ミラーが偏位する前の球面収差図である。
【図7】同第2の実施例の偏向ミラーが偏位する前にお
ける無限遠0゜入射光束のスポットダイアグラムであ
る。
【図8】同第2の実施例において無限遠1゜偏位光束を
偏向ミラーを偏位させて補正したときのスポットダイア
グラムである。
【図9】本発明による光軸補正光学系の第3の実施例の
偏向ミラーが偏位する前の球面収差図である。
【図10】同第3の実施例の偏向ミラーが偏位する前に
おける無限遠0゜入射光束のスポットダイアグラムであ
る。
【図11】同第3の実施例において無限遠1゜偏位光束
を偏向ミラーを偏位させて補正したときのスポットダイ
アグラムである。
【図12】本発明による光軸補正光学系の第4の実施例
の偏向ミラーが偏位する前の球面収差図である。
【図13】同第4の実施例の偏向ミラーが偏位する前に
おける無限遠0゜入射光束のスポットダイアグラムであ
る。
【図14】同第4の実施例において無限遠1゜偏位光束
を偏向ミラーを偏位させて補正したときのスポットダイ
アグラムである。
【図15】本発明による光軸補正光学系の第5の実施例
の偏向ミラーが偏位する前の球面収差図である。
【図16】同第5の実施例の偏向ミラーが偏位する前に
おける無限遠0゜入射光束のスポットダイアグラムであ
る。
【図17】同第5の実施例において無限遠1゜偏位光束
を偏向ミラーを偏位させて補正したときのスポットダイ
アグラムである。
【図18】本発明による光軸補正光学系の第6の実施例
の偏向ミラーが偏位する前の球面収差図である。
【図19】同第6の実施例の偏向ミラーが偏位する前に
おける無限遠0゜入射光束のスポットダイアグラムであ
る。
【図20】同第6の実施例において無限遠1゜偏位光束
を偏向ミラーを偏位させて補正したときのスポットダイ
アグラムである。
【図21】本発明による光軸補正光学系の第7の実施例
の偏向ミラーが偏位する前の球面収差図である。
【図22】同第7の実施例の偏向ミラーが偏位する前に
おける無限遠0゜入射光束のスポットダイアグラムであ
る。
【図23】同第7の実施例において無限遠1゜偏位光束
を偏向ミラーを偏位させて補正したときのスポットダイ
アグラムである。
フロントページの続き (72)発明者 高山 抱夢 東京都練馬区東大泉二丁目5番2号 旭 精密株式会社内 (72)発明者 小島 洋一 東京都練馬区東大泉二丁目5番2号 旭 精密株式会社内 (56)参考文献 特開 平11−271657(JP,A) 特開 平7−13073(JP,A) 特開2000−91998(JP,A) 特開2000−101517(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 17/08 G02B 9/00 G02B 13/00

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 物体側から順に、正のレンズ群と負の単
    レンズを有する第1の光学系と、この第1の光学系の入
    射光軸の変位を補正するための光束偏向手段と、物体側
    から順に少なくとも正のレンズ群と負のレンズ群を有す
    る第2の光学系と、収束光学系とを備え、 次の条件式(1)ないし(3)を満足することを特徴と
    する光軸補正光学系。 (1)3.60<│fp(I)/fN(I)│<5.30 (2)1.00<│fp(II)/fN(II)│<2.41 (3)0.12<r1(II)/f<0.23 但し、 fp(I);第1光学系の正のレンズ群の焦点距離、 fN(I);第1光学系の負の単レンズの焦点距離、 fp(II);第2光学系の正のレンズ群の焦点距離、 fN(II);第2光学系の負のレンズ群の焦点距離、 r1(II);第2光学系の正のレンズ群の最も光束偏向手段
    側の面の曲率半径、f;全系の焦点距離。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の光軸補正光学系におい
    て、第2光学系の正のレンズ群と負のレンズ群はとも
    に、単レンズからなっている光軸補正光学系。
  3. 【請求項3】 物体側から順に、第1アフォーカル光学
    系と、この第1アフォーカル光学系の入射光軸の変位を
    補正するための光束偏向手段と、収束光学系とを備えた
    光軸補正光学系において、 光束偏向手段と収束光学系との間に、第2のアフォーカ
    ル光学系が配設されてており、 第2のアフォーカル光学系は、物体側から順に少なくと
    も正のレンズ群と負のレンズ群を有し、 次の条件式(1)ないし(3)を満足することを特徴と
    する光軸補正光学系。 (1)3.60<│fp(I)/fN(I)│<5.30 (2)1.00<│fp(II)/fN(II)│<2.41 (3)0.12<r1(II)/f<0.23 但し、 fp(I);第1アフォーカル光学系の正のレンズ群の焦点
    距離、 fN(I);第1アフォーカル光学系の負の単レンズの焦点
    距離、 fp(II);第2アフォーカル光学系の正のレンズ群の焦点
    距離、 fN(II);第2アフォーカル光学系の負のレンズ群の焦点
    距離、 r1(II);第2アフォーカル光学系の正のレンズ群の最も
    光束偏向手段側の面の曲率半径、 f;全系の焦点距離。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の光軸補正光学系におい
    て、第2アフォーカル光学系の正のレンズ群と負のレン
    ズ群はともに、単レンズからなっている光軸補正光学
    系。
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