JP3307697B2 - バッチ式焼成炉 - Google Patents
バッチ式焼成炉Info
- Publication number
- JP3307697B2 JP3307697B2 JP30992592A JP30992592A JP3307697B2 JP 3307697 B2 JP3307697 B2 JP 3307697B2 JP 30992592 A JP30992592 A JP 30992592A JP 30992592 A JP30992592 A JP 30992592A JP 3307697 B2 JP3307697 B2 JP 3307697B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- gas
- atmosphere
- insulating material
- differential pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ケーシングの内側に繊
維系断熱材を配置し内部に所定の組成の雰囲気ガスを供
給して焼成を行うようにしたバッチ式焼成炉に関する。
維系断熱材を配置し内部に所定の組成の雰囲気ガスを供
給して焼成を行うようにしたバッチ式焼成炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、たとえば、Ｍｎ・Ｚｎ系フェ
ライトのような電子セラミックスや、ファインセラミッ
クスを昇降炉や台車炉のようなバッチ式焼成炉で焼成す
る場合には、焼成温度に応じて雰囲気ガスを酸化雰囲気
から非酸化雰囲気に変えて焼成することが行われてい
る。
ライトのような電子セラミックスや、ファインセラミッ
クスを昇降炉や台車炉のようなバッチ式焼成炉で焼成す
る場合には、焼成温度に応じて雰囲気ガスを酸化雰囲気
から非酸化雰囲気に変えて焼成することが行われてい
る。
【０００３】このような、雰囲気ガス中の酸素濃度の切
替えは、従来の煉瓦質断熱材を使用したバッチ式焼成炉
の場合には単に供給ガスの組成を変えるだけで比較的容
易に達成できるが、繊維系断熱材を用いたバッチ式焼成
炉の場合には繊維系断熱材中に雰囲気ガスが保有されて
いるため、供給ガスの濃度を変えても繊維系断熱材中に
保有された酸素ガスが徐々に滲み出てくるため応答性が
悪いという問題があり、特に酸素濃度が1000ppm 以下と
非常に低く設定されている場合には所定の酸素濃度にな
るまでに長時間を要するという問題があった。
替えは、従来の煉瓦質断熱材を使用したバッチ式焼成炉
の場合には単に供給ガスの組成を変えるだけで比較的容
易に達成できるが、繊維系断熱材を用いたバッチ式焼成
炉の場合には繊維系断熱材中に雰囲気ガスが保有されて
いるため、供給ガスの濃度を変えても繊維系断熱材中に
保有された酸素ガスが徐々に滲み出てくるため応答性が
悪いという問題があり、特に酸素濃度が1000ppm 以下と
非常に低く設定されている場合には所定の酸素濃度にな
るまでに長時間を要するという問題があった。
【０００４】図２は、このような、従来の円筒型昇降式
バッチ炉を模式的に示す断面図であり、下部開放のケー
シング１の内側に繊維系断熱材２を配置し、下方の開放
部には同様の繊維系断熱材２を上面に配置しその上に支
柱３を介して炉床板４を保持した炉床台車５が嵌合され
るように構成されている。
バッチ炉を模式的に示す断面図であり、下部開放のケー
シング１の内側に繊維系断熱材２を配置し、下方の開放
部には同様の繊維系断熱材２を上面に配置しその上に支
柱３を介して炉床板４を保持した炉床台車５が嵌合され
るように構成されている。
【０００５】そして、この炉体の上部、側部および下部
には、それぞれガス給気口Ｇが開口され、また、炉内に
は炉体上部を貫通してヒーター６が挿入され、さらに炉
体上部には開閉弁７を有する排気筒８が開口されてい
る。符号９は端子箱、１０は被焼成品である。
には、それぞれガス給気口Ｇが開口され、また、炉内に
は炉体上部を貫通してヒーター６が挿入され、さらに炉
体上部には開閉弁７を有する排気筒８が開口されてい
る。符号９は端子箱、１０は被焼成品である。
【０００６】このような従来のバッチ式焼成炉では、上
述した問題を回避するため、オペレーターが経験的に給
気量を調整して雰囲気温度に雰囲気の酸素濃度をマッチ
ングさせていたが、このような方法では、調整に時間が
かかるだけでなく、雰囲気ガスの濃度分布が生じて被焼
成品１０近傍の温度と酸素分圧がマッチングせずに焼成
品の歩留まりを低下させるという問題があった。
述した問題を回避するため、オペレーターが経験的に給
気量を調整して雰囲気温度に雰囲気の酸素濃度をマッチ
ングさせていたが、このような方法では、調整に時間が
かかるだけでなく、雰囲気ガスの濃度分布が生じて被焼
成品１０近傍の温度と酸素分圧がマッチングせずに焼成
品の歩留まりを低下させるという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
バッチ式焼成炉は、雰囲気調整をオペレーターの経験で
行っていたため、調整に時間がかかるだけでなく、雰囲
気ガスの酸素濃度分布が生じて被焼成品近傍の温度と酸
素濃度がマッチングせずに焼成品の歩留まりを低下させ
るという問題があった。
バッチ式焼成炉は、雰囲気調整をオペレーターの経験で
行っていたため、調整に時間がかかるだけでなく、雰囲
気ガスの酸素濃度分布が生じて被焼成品近傍の温度と酸
素濃度がマッチングせずに焼成品の歩留まりを低下させ
るという問題があった。
【０００８】本発明は、かかる従来の問題を解決すべく
なされたもので、炉内雰囲気の組成の変更にあたって繊
維系断熱材に保有された変更前の組成の雰囲気ガスを迅
速にパージすることができ、これによって被焼成品近傍
の温度と雰囲気ガスの組成とのマッチングを短時間に行
わせて、焼成リードタイムを大幅に削減するとともに焼
成品の歩留まりを向上させたバッチ式焼成炉を提供する
ことを目的とする。
なされたもので、炉内雰囲気の組成の変更にあたって繊
維系断熱材に保有された変更前の組成の雰囲気ガスを迅
速にパージすることができ、これによって被焼成品近傍
の温度と雰囲気ガスの組成とのマッチングを短時間に行
わせて、焼成リードタイムを大幅に削減するとともに焼
成品の歩留まりを向上させたバッチ式焼成炉を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のバッチ式焼成炉
は、ケーシングの内側に繊維系断熱材を配置し内部に所
定の組成の雰囲気ガスを導入して焼成を行うようにした
焼成炉において、前記ケーシングと前記繊維系断熱材と
の間に空隙部を設けて該空隙部に雰囲気ガス給気口を開
口させ、前記雰囲気ガスを前記空隙部から前記繊維系断
熱材を通過させて炉内に供給するよう構成し、雰囲気ガ
スの流量を自動制御するために、空隙部と炉内の雰囲気
ガスの差圧を測定する差圧検出装置と、該差圧検出装置
の出力信号により雰囲気ガスの供給流量を制御する流量
制御装置とを設けることを特徴としている。この場合、
差圧と繊維系断熱材の通気抵抗との関係ならびにこの時
の最適流量は予めフィールドで測定して演算装置にイン
プットしておくようにする。
は、ケーシングの内側に繊維系断熱材を配置し内部に所
定の組成の雰囲気ガスを導入して焼成を行うようにした
焼成炉において、前記ケーシングと前記繊維系断熱材と
の間に空隙部を設けて該空隙部に雰囲気ガス給気口を開
口させ、前記雰囲気ガスを前記空隙部から前記繊維系断
熱材を通過させて炉内に供給するよう構成し、雰囲気ガ
スの流量を自動制御するために、空隙部と炉内の雰囲気
ガスの差圧を測定する差圧検出装置と、該差圧検出装置
の出力信号により雰囲気ガスの供給流量を制御する流量
制御装置とを設けることを特徴としている。この場合、
差圧と繊維系断熱材の通気抵抗との関係ならびにこの時
の最適流量は予めフィールドで測定して演算装置にイン
プットしておくようにする。
【００１０】
【００１１】さらに、雰囲気ガスの流量を自動制御する
別の手段として、空隙部と炉内に雰囲気ガスの特定の成
分ガス、例えば酸素の差分圧を測定する差分圧検出装置
と、該差分圧検出装置の出力信号により雰囲気ガスの供
給流量を制御する流量制御装置とを設けるようにしても
よい。成分ガスの差分圧を測定する差分圧検出装置とし
ては、例えば、それぞれの位置に酸素濃度を検出する酸
素濃度センサーを配置し、これらのセンサーの差出力か
ら求めるようにしたものが使用できる。
別の手段として、空隙部と炉内に雰囲気ガスの特定の成
分ガス、例えば酸素の差分圧を測定する差分圧検出装置
と、該差分圧検出装置の出力信号により雰囲気ガスの供
給流量を制御する流量制御装置とを設けるようにしても
よい。成分ガスの差分圧を測定する差分圧検出装置とし
ては、例えば、それぞれの位置に酸素濃度を検出する酸
素濃度センサーを配置し、これらのセンサーの差出力か
ら求めるようにしたものが使用できる。
【００１２】この方法で流量制御を行う場合には、直接
に炉内雰囲気が制御されるので、より一層の精密な制御
を行うことができる。
に炉内雰囲気が制御されるので、より一層の精密な制御
を行うことができる。
【００１３】
【作用】本願発明では、炉内温度が所定の温度になった
ときに雰囲気ガスの組成が変えられるが、このとき雰囲
気ガスが繊維系断熱材中を通過して炉内に供給されてい
るので、繊維系断熱材中に保有されていた前の組成の雰
囲気ガスが効率よくパージされ、かつ、繊維系断熱材の
広い面から供給されるから炉内に雰囲気ガスの濃度分布
が生ずるようなことはない。
ときに雰囲気ガスの組成が変えられるが、このとき雰囲
気ガスが繊維系断熱材中を通過して炉内に供給されてい
るので、繊維系断熱材中に保有されていた前の組成の雰
囲気ガスが効率よくパージされ、かつ、繊維系断熱材の
広い面から供給されるから炉内に雰囲気ガスの濃度分布
が生ずるようなことはない。
【００１４】また、雰囲気ガスの切替え時に雰囲気ガス
の供給量を多くするための供給ガスの流量制御装置を設
けた場合には、より短い時間で繊維系断熱材に保有され
たガスのパージを行うことができ、また、精密な雰囲気
ガス組成の調整を行うことができる。
の供給量を多くするための供給ガスの流量制御装置を設
けた場合には、より短い時間で繊維系断熱材に保有され
たガスのパージを行うことができ、また、精密な雰囲気
ガス組成の調整を行うことができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１６】図１は、本発明の実施例の円筒型昇降式バ
ッチ炉を示すもので、図２と共通する部分には同一符号
を付してある。
ッチ炉を示すもので、図２と共通する部分には同一符号
を付してある。
【００１７】このバッチ炉は、下部開放のケーシング１
の内側に、スタッドボルト１１を介してケーシング１と
の間に空隙部Ｓが形成されるように、ステンレス製の金
網１２が配置され、この金網１２上に繊維系断熱材２が
固定されている。なお、上部は端子箱９の内側に、ステ
ンレス製の金網１２が配置され、この金網１２上に繊維
系断熱材２が固定されている。下方の開放部には、内側
に繊維系断熱材２を配置した炉床台車５が嵌合される
が、この繊維系断熱材２も、炉床台車５上にスタッドボ
ルト１１を介して空隙部Ｓが形成されるように配置され
たステンレス製の金網１２上に固定されている。また、
炉床台車５上の繊維系断熱材２上には、支柱３を介して
炉床板４が保持されている。
の内側に、スタッドボルト１１を介してケーシング１と
の間に空隙部Ｓが形成されるように、ステンレス製の金
網１２が配置され、この金網１２上に繊維系断熱材２が
固定されている。なお、上部は端子箱９の内側に、ステ
ンレス製の金網１２が配置され、この金網１２上に繊維
系断熱材２が固定されている。下方の開放部には、内側
に繊維系断熱材２を配置した炉床台車５が嵌合される
が、この繊維系断熱材２も、炉床台車５上にスタッドボ
ルト１１を介して空隙部Ｓが形成されるように配置され
たステンレス製の金網１２上に固定されている。また、
炉床台車５上の繊維系断熱材２上には、支柱３を介して
炉床板４が保持されている。
【００１８】さらに、この炉体の上部、側部および下部
の各空隙部Ｓには、それぞれガス給気口Ｇが開口され、
また、炉内には炉体上部を貫通してヒーター６が挿入さ
れ、炉体上部には開閉弁７を有する排気筒８が開口され
ている。
の各空隙部Ｓには、それぞれガス給気口Ｇが開口され、
また、炉内には炉体上部を貫通してヒーター６が挿入さ
れ、炉体上部には開閉弁７を有する排気筒８が開口され
ている。
【００１９】そして、この実施例においては、炉体の上
部、側部および下部の各空隙部Ｓに圧力センサ１３が配
置され、また、炉内にも、炉床板４近傍に開口する圧力
導入パイプ１４が挿入されて、基部には図示を省略した
圧力センサが配置されている。差圧発振器１５は、各空
隙部Ｓの圧力センサ１３の圧力と圧力導入パイプ１４の
圧力センサの差圧を検出し差圧信号を流量演算装置１６
に出力する。流量演算装置１５は各ガス給気口Ｇへ濃度
調整のされた雰囲気ガスを供給する給気装置（マスフロ
ーコントローラー）１７を制御するとともに、排気筒８
の開閉を制御する。 なお、図示を省略したが、給気装
置１７には窒素ガスボンベと酸素ガスボンベが接続され
て所定の酸素分圧の雰囲気ガスを調整して、この雰囲気
ガスを各ガス給気口Ｇに供給するようになっており、さ
らに、図示を省略した温度センサにより炉内温度が予め
設定した所定の温度になったときに、酸素分圧の異なる
ガスを調整して各ガス給気口Ｇに供給するようになって
いる。
部、側部および下部の各空隙部Ｓに圧力センサ１３が配
置され、また、炉内にも、炉床板４近傍に開口する圧力
導入パイプ１４が挿入されて、基部には図示を省略した
圧力センサが配置されている。差圧発振器１５は、各空
隙部Ｓの圧力センサ１３の圧力と圧力導入パイプ１４の
圧力センサの差圧を検出し差圧信号を流量演算装置１６
に出力する。流量演算装置１５は各ガス給気口Ｇへ濃度
調整のされた雰囲気ガスを供給する給気装置（マスフロ
ーコントローラー）１７を制御するとともに、排気筒８
の開閉を制御する。 なお、図示を省略したが、給気装
置１７には窒素ガスボンベと酸素ガスボンベが接続され
て所定の酸素分圧の雰囲気ガスを調整して、この雰囲気
ガスを各ガス給気口Ｇに供給するようになっており、さ
らに、図示を省略した温度センサにより炉内温度が予め
設定した所定の温度になったときに、酸素分圧の異なる
ガスを調整して各ガス給気口Ｇに供給するようになって
いる。
【００２０】この実施例のバッチ式焼成炉は、次のよう
に用いられる。
に用いられる。
【００２１】まず、常法により、炉床板４上に、被焼成
品１０、例えばＭｎ・Ｚｎ系フェライト部品を、適当な
保持板上に並べて多段に載置し炉本体の下方から挿入す
る。次に、排気筒８の開閉弁７を開放するとともに給気
装置１７から酸素濃度の高い雰囲気ガス（窒素ガスと酸
素ガスの混合ガス）が空隙部Ｓ内に一定圧力で供給され
る。空隙部Ｓに供給された雰囲気ガスは、繊維系断熱材
２内を通過して炉内の空気を置換するが、繊維系断熱材
２は通気抵抗を有するので、供給される雰囲気ガスの圧
力は、大気圧よりも高い圧力で炉内に供給される。
品１０、例えばＭｎ・Ｚｎ系フェライト部品を、適当な
保持板上に並べて多段に載置し炉本体の下方から挿入す
る。次に、排気筒８の開閉弁７を開放するとともに給気
装置１７から酸素濃度の高い雰囲気ガス（窒素ガスと酸
素ガスの混合ガス）が空隙部Ｓ内に一定圧力で供給され
る。空隙部Ｓに供給された雰囲気ガスは、繊維系断熱材
２内を通過して炉内の空気を置換するが、繊維系断熱材
２は通気抵抗を有するので、供給される雰囲気ガスの圧
力は、大気圧よりも高い圧力で炉内に供給される。
【００２２】このとき、差圧発振器１５は炉内圧力と空
隙部Ｓ内の差圧を検出して差圧信号を流量演算装置１６
に出力し、流量演算装置１６は所定の差圧となるように
給気装置１６に制御信号を供給して一定流量を維持する
ように供給ガス量を調整する。一定の熱処理温度に達す
るとこの温度で所定の時間一定流量で雰囲気ガスが供給
されつつ熱処理が行われる。しかる後、炉温がさらに上
昇されるとともに排気筒８の開閉弁７が開放されて給気
装置１７から低酸素濃度の雰囲気ガスが炉内に供給され
るが、このとき繊維系断熱材２に保有されていた酸素を
パージするため、一定時間ガス供給圧力が高くされる。
この後開閉弁７が閉じられて再びもとの差圧となるよう
にガス供給圧力が調整されて熱処理が行われ、以後同様
に予めプログラムされた条件で熱処理が行われる。
隙部Ｓ内の差圧を検出して差圧信号を流量演算装置１６
に出力し、流量演算装置１６は所定の差圧となるように
給気装置１６に制御信号を供給して一定流量を維持する
ように供給ガス量を調整する。一定の熱処理温度に達す
るとこの温度で所定の時間一定流量で雰囲気ガスが供給
されつつ熱処理が行われる。しかる後、炉温がさらに上
昇されるとともに排気筒８の開閉弁７が開放されて給気
装置１７から低酸素濃度の雰囲気ガスが炉内に供給され
るが、このとき繊維系断熱材２に保有されていた酸素を
パージするため、一定時間ガス供給圧力が高くされる。
この後開閉弁７が閉じられて再びもとの差圧となるよう
にガス供給圧力が調整されて熱処理が行われ、以後同様
に予めプログラムされた条件で熱処理が行われる。
【００２３】ちなみに、この実施例によって、雰囲気ガ
スの酸素濃度を10.000ppm から100ppmに落とした時、パ
ージ時間を従来の 1／5 にすることができた。
スの酸素濃度を10.000ppm から100ppmに落とした時、パ
ージ時間を従来の 1／5 にすることができた。
【００２４】なお、以上の実施例では、空隙部Ｓと炉内
の雰囲気ガスの差圧を測定する差圧検出装置を設け、こ
の差圧検出装置の出力信号により雰囲気ガスの供給流量
を制御するようにした例について説明したが、これに限
らず、例えば、空隙部Ｓと炉内の雰囲気ガスの特定の成
分ガス、例えば酸素、の差分圧を測定する差分圧検出装
置を設けて、この差分圧検出装置の出力信号により雰囲
気ガスの供給流量を制御するようにしてもよい。
の雰囲気ガスの差圧を測定する差圧検出装置を設け、こ
の差圧検出装置の出力信号により雰囲気ガスの供給流量
を制御するようにした例について説明したが、これに限
らず、例えば、空隙部Ｓと炉内の雰囲気ガスの特定の成
分ガス、例えば酸素、の差分圧を測定する差分圧検出装
置を設けて、この差分圧検出装置の出力信号により雰囲
気ガスの供給流量を制御するようにしてもよい。
【００２５】この場合、酸素濃度を直接制御できるの
で、より精度の高い雰囲気制御ができ、したがって、焼
成品の歩留まりも一層向上し、焼成リードタイムも大幅
に短縮することができる。
で、より精度の高い雰囲気制御ができ、したがって、焼
成品の歩留まりも一層向上し、焼成リードタイムも大幅
に短縮することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上詳述したようにのバッチ式焼成炉を
用いれば、次のように優れた効果を奏することができ
る。
用いれば、次のように優れた効果を奏することができ
る。
【００２７】 炉体断熱材に保有されているガスを効
率よくパージすることができる。
率よくパージすることができる。
【００２８】 炉内の雰囲気の濃度分布を均一にする
ことができる。
ことができる。
【００２９】 雰囲気調整時間を短縮することができ
る。
る。
【００３０】また、実施例に示したように、空隙部Ｓと
炉内の雰囲気ガスの差圧を測定する差圧検出装置や、特
定の成分ガス、例えば酸素、の差分圧を測定する差分圧
検出装置を設けることにより、操作が非常に容易になる
ので自動化が可能となり、また、雰囲気ガスの使用量も
低減させることができ、さらに、雰囲気ガスの調整が炉
体断熱材の構成に（炉の容積、断熱層厚さ等）左右され
ず、雰囲気の再現性および精度が著しく改善される。
炉内の雰囲気ガスの差圧を測定する差圧検出装置や、特
定の成分ガス、例えば酸素、の差分圧を測定する差分圧
検出装置を設けることにより、操作が非常に容易になる
ので自動化が可能となり、また、雰囲気ガスの使用量も
低減させることができ、さらに、雰囲気ガスの調整が炉
体断熱材の構成に（炉の容積、断熱層厚さ等）左右され
ず、雰囲気の再現性および精度が著しく改善される。
【図１】本発明の円筒型昇降式バッチ炉を模式的に示す
断面図である。
断面図である。
【図２】従来の円筒型昇降式バッチ炉を模式的に示す断
面図である。
面図である。
１……ケーシング、２……繊維系断熱材、３……支柱、
４……炉床板、５……炉床台車、６……ヒーター、７…
…開閉弁、８……排気筒、９……端子箱、１０……被焼
成品、１１……スタッドボルト、１２……金網、１３…
…圧力センサ、１４……圧力導入パイプ、１５……差圧
発振器、１６……流量演算装置、１７……給気装置、Ｓ
……空隙部、Ｇ……ガス給気口。
４……炉床板、５……炉床台車、６……ヒーター、７…
…開閉弁、８……排気筒、９……端子箱、１０……被焼
成品、１１……スタッドボルト、１２……金網、１３…
…圧力センサ、１４……圧力導入パイプ、１５……差圧
発振器、１６……流量演算装置、１７……給気装置、Ｓ
……空隙部、Ｇ……ガス給気口。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−277701（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−175668（ＪＰ，Ａ) 特公 昭61−8355（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F27D 7/02 F27D 7/06 F27B 17/00
Claims (2)
- 【請求項１】 ケーシングの内側に繊維系断熱材を配置
し内部に所定の組成の雰囲気ガスを導入して焼成を行う
ようにした焼成炉において、前記ケーシングと前記繊維
系断熱材との間に空隙部を設けて該空隙部に雰囲気ガス
給気口を開口させ、前記雰囲気ガスを前記空隙部から前
記繊維系断熱材を通過させて炉内に供給するよう構成
し、前記空隙部と炉内の雰囲気ガスの差圧を測定する差
圧検出装置と、該差圧検出装置の出力信号により雰囲気
ガスの供給流量を制御する流量制御装置とを有すること
を特徴とするバッチ式焼成炉。 - 【請求項２】 ケーシングの内側に繊維系断熱材を配置
し内部に所定の組成の雰囲気ガスを導入して焼成を行う
ようにした焼成炉において、前記ケーシングと前記繊維
系断熱材との間に空隙部を設けて該空隙部に雰囲気ガス
給気口を開口させ、前記雰囲気ガスを前記空隙部から前
記繊維系断熱材を通過させて炉内に供給するよう構成
し、前記空隙部と炉内の雰囲気ガスの特定の成分ガスの
差分圧を測定する差分圧検出装置と、該差分圧検出装置
の出力信号により雰囲気ガスの供給流量を制御する流量
制御装置とを有することを特徴とするバッチ式焼成炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30992592A JP3307697B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | バッチ式焼成炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30992592A JP3307697B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | バッチ式焼成炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159952A JPH06159952A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3307697B2 true JP3307697B2 (ja) | 2002-07-24 |
Family
ID=17998996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30992592A Expired - Fee Related JP3307697B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | バッチ式焼成炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3307697B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6836858B2 (ja) * | 2016-08-12 | 2021-03-03 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| JP2020118446A (ja) * | 2020-05-15 | 2020-08-06 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| JP7245219B2 (ja) * | 2020-12-25 | 2023-03-23 | 株式会社ジェイテクトサーモシステム | 熱処理装置 |
| KR102422344B1 (ko) * | 2020-12-29 | 2022-07-19 | (주)에코리사이클링 | 전기로 |
-
1992
- 1992-11-19 JP JP30992592A patent/JP3307697B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06159952A (ja) | 1994-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Graham et al. | Oxidation/vaporization kinetics of Cr2O3 | |
| JPH02302503A (ja) | 燃焼空気の汚染によるＮｏ↓ｘ発生の制御方法と制御装置 | |
| JP3307697B2 (ja) | バッチ式焼成炉 | |
| US4781358A (en) | Apparatus for monitoring an article in sintering furnace | |
| EP1264915B1 (en) | A carburising method and an apparatus therefor | |
| US20030205573A1 (en) | Microwave firing furnace and microwave firing method | |
| US4719073A (en) | Method of monitoring an article in sintering furnace | |
| US4543060A (en) | Heat treatment of workpieces | |
| CN1174241A (zh) | 包括h2、h2o炉区控制的热处理方法和装置 | |
| JP3528379B2 (ja) | 熱処理炉 | |
| JPH04270884A (ja) | ローラーハース連続炉 | |
| JPH07283163A (ja) | 熱処理装置およびその温度制御方法 | |
| JP3254747B2 (ja) | 縦型熱処理炉および熱処理方法 | |
| JP2723161B2 (ja) | 竪型誘導加熱炉の炉内雰囲気制御方法 | |
| JPH061122B2 (ja) | 吸引式ラジアントチユ−ブバ−ナ−炉の最適燃焼制御方法 | |
| JPS6020651B2 (ja) | 加熱炉等の燃焼制御方法 | |
| JP3023184B2 (ja) | 連続式トンネル炉 | |
| JPH0437899Y2 (ja) | ||
| JPH0410197Y2 (ja) | ||
| JPH01316417A (ja) | 雰囲気炉の露点制御装置 | |
| JPH08128934A (ja) | 熱間曲げ強度試験装置 | |
| JP2007051809A (ja) | 還元焼成装置及び還元焼成方法 | |
| JPS61280311A (ja) | 燃焼式加熱炉 | |
| JP2525427B2 (ja) | セラミック基板の焼成方法及び装置 | |
| JP2599671B2 (ja) | 窯業製品の焼成条件決定方法及びそれに使用する電気炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020430 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080517 Year of fee payment: 6 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080517 Year of fee payment: 6 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080517 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090517 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |