JP3301703B2 - 負圧浮動ヘッドスライダ及びそれを用いた磁気ディスク装置 - Google Patents

負圧浮動ヘッドスライダ及びそれを用いた磁気ディスク装置

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    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、負圧浮動ヘッドス
ライダ及びそれを用いた磁気ディスク装置に係り、特
に、高記録密度タイプの磁気ディスク装置に用いるに好
適な負圧浮動ヘッドスライダ及びそれを用いた磁気ディ
スク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁気ディスク装置では、回転する
ディスク記録媒体上で微少な間隔を保ちながら浮上する
浮動ヘッドスライダが使用されている。浮上量を一定に
できる浮動ヘッドスライダとしては、例えば、特開平６
−１２４５６２号公報に記載されているような負圧浮動
ヘッドスライダが知られている。
【０００３】負圧浮動ヘッドスライダは、ディスク記録
媒体上で浮上半径位置が内周から外周へ変化することで
生じる周速の増加に伴い負圧力も増加するため、周速の
増加に伴う浮上量の増加を抑制することができる。した
がって、負圧浮動ヘッドスライダは、ディスク記録媒体
上で、浮上半径位置の違いによって生じる周速の変化に
対して浮上量を一定に保つことが可能である。
【０００４】特開平６−１２４５６２号公報に記載され
た負圧浮動ヘッドスライダは、サイドレールを空気流出
端に到達しない構成とすることで、スライダの空気流出
端におけるロール方向の浮上量変化を小さくすることが
できる。したがって、サスペンションの姿勢角に起因し
た浮上量のばらつきを低減することができ、低浮上化に
有効なものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】最近、従来よりもさら
に高密度記録の可能な磁気ディスク装置が要求されつつ
ある。高密度記録を可能とするためには、負圧浮動ヘッ
ドスライダの浮上量を、さらに、小さくすれば、原理的
には実現できるものである。そこで、発明者らは、従来
の特開平６−１２４５６２号公報に記載されたタイプに
相当するサイドレールが空気流出端に到達しない構成の
負圧浮動ヘッドスライダを用いて、浮上量を、数１０ｎ
ｍの低浮上量で使用したところ、以下の問題が発生する
ことが判明した。
【０００６】即ち、本発明者らの実験によれば、スライ
ダの空気流出端に達しないサイドレールの後方の溝部
に、ディスク記録媒体上の潤滑剤が蓄積し、潤滑剤を蓄
積したスライダを装置の停止に伴いディスク記録媒体上
に放置すると、スライダとディスク記録媒体間に潤滑剤
が入り込むことによってメニスカスを形成し、大きな粘
着力が発生することが明らかになった。
【０００７】粘着力の増加は、スライダをディスク記録
媒体上に強固に拘束する力を増加させるため、磁気ディ
スク装置が再起動ができなくなったり、最悪の場合、ス
ライダを支持するサスペンションに塑性変形が生じてス
ライダの適正な浮上量が得られなくなり、スライダがク
ラッシュするなどの障害を起こす可能性があるものであ
る。
【０００８】その原因について調査研究を進めたとこ
ろ、スライダの空気軸受面の溝部で潤滑剤が蓄積した部
分は、溝部で空気の流れが淀む部分と対応することが判
明した。磁気ディスク装置では、従来、起動および停止
時に浮動ヘッドスライダがディスク記録媒体と摺動する
コンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）方式が用い
られ、ＣＳＳ時の摺動性を確保するため、ディスク記録
媒体上に潤滑剤が薄く均一に塗布されている。潤滑剤
は、当初は粘性が高いものの、ディスク記録媒体の回転
に伴って、粘性が低下して、潤滑剤がミスト状となり、
ディスク記録媒体上に浮遊している。
【０００９】従来のようにスライダの浮上量が２００ｎ
ｍと大きい時には、この潤滑剤のミストの影響はなかっ
たものの、浮上量を低下させたことによってミストの影
響を受けるものである。負圧浮動ヘッドスライダは、空
気軸受面に浮上時に負圧力を発生するレールで囲まれた
溝部を有しており、レール形状によっては溝部で空気の
流れが淀む部分，換言すると、空気の流れの速度がゼロ
となる部分が存在する。この溝部で空気の流れが淀む部
分，即ち、スライダの空気軸受面の溝部に、ミスト状の
潤滑剤が蓄積することが判明した。
【００１０】ミスト状の潤滑剤の付着を防止するには、
例えば、特開平７−１６９２２１号公報に記載されてい
るように、全てのサイドレールがスライダの長手方向に
関して空気流入端側から空気流出端まで達している負圧
浮動ヘッドスライダの構成とすれば、スライダの空気軸
受面の溝部に空気の流れの淀み部分が生じないため、デ
イスク記録媒体上の潤滑剤のスライダの溝部への蓄積は
低減する。しかしながら、特開平７−１６９２２１号公
報に記載されているように、全てのサイドレールがスラ
イダの長手方向に関して平行に配置されているもので
は、ヨー角の絶対値の増加に伴い、充分な空気の圧縮に
よる圧力が得られなくなるため、浮上量の低下が大きく
なるという問題がある。
【００１１】本発明の目的は、スライダの空気軸受面の
溝部への潤滑剤の蓄積を低減し、スライダとディスク記
録媒体間の粘着力の増加を低減するとともに、ヨー角の
絶対値の増加に対しても所定の浮上量の得られる負圧浮
動ヘッドスライダ及びそれを用いた磁気ディスク装置を
提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、スライダの空気軸受面に形成され、空気
流入端側に位置する空気導入部と、この空気導入部に続
いて形成されたクロスレールと、このクロスレールに続
いて形成された上記スライダの長手方向に延在する一対
のサイドレールと、これらのクロスレール及びサイドレ
ールに囲まれた領域に形成される溝部と、上記スライダ
の空気流出端側に備えられた磁気トランスデューサとを
有する負圧浮動ヘッドスライダにおいて、上記一対のサ
イドレールは、上記スライダの空気軸受面の空気流出端
まで形成されているとともに、少なくとも一方のサイド
レールは、上記スライダの空気流入端側に位置し、上記
スライダの長手方向に平行な流入側サイドレールと、上
記スライダの空気流出端に位置し、上記流入側のサイド
レールの外側の辺に対して傾斜した外側の辺を有し、ま
た、上記流入側のサイドレールの内側の辺に対して傾斜
した内側の辺を有することにより、上記スライダの内側
に傾斜した流出側傾斜サイドレールから構成するように
したものであり、かかる構成により、スライダとディス
ク記録媒体間の粘着力の増加を低減するとともに、ヨー
角の絶対値の増加に対しても所定の浮上量を得られるも
のとなる。
【００１３】上記負圧浮動ヘッドスライダにおいて、好
ましくは、上記流出側傾斜サイドレールが、上記スライ
ダの長手方向に対してなす角度は、上記スライダの長手
方向と上記スライダに空気が流入する方向のなすヨー角
の絶対値の最大値よりも大きく、９０゜よりも小さくし
たものである。
【００１４】上記目的を達成するために、本発明は、回
転可能なディスク記録媒体と、回動可能であるととも
に、その先端の上記ディスク記録媒体と対向する位置に
取り付けられた負圧浮動ヘッドスライダを有する回転ア
クチュエータとから構成され、上記負圧浮動ヘッドスラ
イダは、スライダの空気軸受面に形成され、空気流入端
側に位置する空気導入部と、この空気導入部に続いて形
成されたクロスレールと、このクロスレールに続いて形
成された上記スライダの長手方向に延在する一対のサイ
ドレールと、これらのクロスレール及びサイドレールに
囲まれた領域に形成される溝部と、上記スライダの空気
流出端側に備えられた磁気トランスデューサとから構成
される磁気ディスク装置において、上記負圧浮動ヘッド
スライダの上記一対のサイドレールは、上記スライダの
空気軸受面の空気流出端まで形成されているとともに、
少なくとも一方のサイドレールは、上記スライダの空気
流入端側に位置し、上記スライダの長手方向に平行な流
入側サイドレールと、上記スライダの空気流出端に位置
し、上記流入側のサイドレールの外側の辺に対して傾斜
した外側の辺を有し、また、上記流入側のサイドレール
の内側の辺に対して傾斜した内側の辺を有することによ
り、上記スライダの内側に傾斜した流出側傾斜サイドレ
ールから構成したものであり、かかる構成により、スラ
イダとディスク記録媒体間の粘着力の増加を低減すると
ともに、ヨー角の絶対値の増加に対しても所定の浮上量
を得られ、従って、高密度記録を行い得るものとなる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図６を用いて、本発
明の一実施形態による負圧浮動ヘッドスライダについて
説明する。最初に、図１及び図２を用いて、本発明の一
実施形態による負圧浮動ヘッドスライダの溝部の構成に
ついて説明する。図１は、本発明の一実施形態による負
圧浮動ヘッドスライダの平面図であり、図２は、図１の
Ａ−Ａ断面図である。なお、図２においては、スライダ
の溝部の形状を明確にするために、スライダの厚さ方向
のみを拡大して図示している。
【００１６】図１は、ディスク記録媒体と対向する側か
ら負圧浮動ヘッドスライダ１００を見た状態を示してい
る。図１に示す面が、ディスク記録媒体に対するスライ
ダ１００の空気軸受面となる。
【００１７】スライダ１００は、その長手方向の端部の
一方に、空気流入端Ｅinを有し、他方に、空気流出端Ｅ
outを有している。ディスク記録媒体の回転に伴って発
生する空気の流れは、スライダ１００の空気流入端Ｅin
から空気流出端Ｅoutに向けて生じる。
【００１８】スライダ１００の背面側は、回転アクチェ
ータのキャリッジの先端のサスペンションの先端のジン
バル部に固定される。サスペンションは、図１において
は、空気流入端Ｅinの方向に延在する形状となる。
【００１９】スライダ１００は、本実施形態において
は、長さＬが１．２５ｍｍであり、幅Ｗが１．０ｍｍで
あり、厚さＴが０．３ｍｍのものを用いている。
【００２０】スライダ１００の空気軸受面には、一対の
サイドレール１１０，１２０と、クロスレール１３０，
１４０と、テーパ形状を有している空気導入部１５０，
１６０と、スリット１７０を有している。
【００２１】スライダ１００の空気流入端Ｅin側には、
空気導入部１５０，１６０が設けられている。空気導入
部１５０，１６０は、図２にその断面形状を示すよう
に、テーパ状となっている。テーパ状の空気導入部１５
０，１６０の空気流入端Ｅin側の切欠部の高さＴ１は、
１．８３μｍであり、長手方向の長さＬ１は、０．１５
ｍｍである。従って、テーパ部の傾きは、約０．７゜で
あり、微小なテーパ部が形成されている。空気導入部１
５０，１６０は、スライダ１００の空気軸受面に、空気
を導入するためのものである。なお、空気導入部１５
０，１６０は、テーパ形状に代えて、図２に破線で示す
ように、ステップ状の空気導入部１５０’，１６０’と
してもよいものである。空気導入部がステップ状の場
合、ステップの高さＴ２は、０．７μｍとする。
【００２２】空気導入部１５０，１６０に続いて、クロ
スレール１３０，１４０が設けられている。クロスレー
ル１３０，１４０の幅Ｌ２は、０．０９ｍｍである。空
気導入部１５０，１６０とクロスレール１３０，１４０
を分断するように、スリット１７０が設けられている。
スリット１７０の幅Ｗ１は、０．０８ｍｍである。空気
は、空気流入端Ｅin側からスリット１７０を通って、後
述する溝部１８０内に流入する。
【００２３】クロスレール１３０，１４０に続いて、ス
ライダ１００の長手方向に延在するサイドレール１１
０，１２０が設けられている。サイドレール１１０，１
２０は、空気流出端Ｅoutまで形成されている。サイド
レール１１０は、ディスク記録媒体と対向した時、ディ
スク記録媒体の外周側に位置するものであり、サイドレ
ール１２０は、ディスク記録媒体の内周側に位置するも
のである。外周側に位置するサイドレール１１０は、ス
ライダ１００の空気流入端Ｅin側に位置し、スライダ１
００の長手方向に平行な流入側サイドレール１１２と、
スライダ１００の空気流出端Ｅoutに位置し、スライダ
１００の内側に傾斜した流出側傾斜サイドレール１１４
から構成されている。一方、サイドレール１２０は、ス
ライダ１００の長手方向に平行に設けられている。
【００２４】ここで、流出側傾斜サイドレール１１４
が、スライダ１００の長手方向に対してなす角度θ１
は、３２゜としてある。
【００２５】サイドレール１１０，１２０及びクロスレ
ール１３０，１４０に囲まれた領域に、スライダ１００
の空気軸受面の溝部１８０が形成されている。溝部１８
０の深さＴ３は、５μｍである。
【００２６】サイドレール１１０の空気流出端Ｅout近
傍には、ディスク記録媒体に対して情報を記録再生する
磁気トランスデューサ１９０が設けられている。磁気ト
ランスデューサ１９０は、一方のサイドレール１１０に
設けているが、ディスク外周側および内周側にあるサイ
ドレール１１０，１２０の両方、あるいはディスク内周
側のサイドレール１２０の空気流出端Ｅout近傍に設け
るようにしてもよいものである。
【００２７】スライダ１００の空気軸受面に形成される
サイドレール１１０，１２０と、クロスレール１３０，
１４０と、スリット１７０と、これらのレール群の内側
に形成する溝部１８０は、イオンミリング，エッチング
または技術上公知である他の製造技術により形成され
る。
【００２８】次に、図３を用いて、本発明の一実施形態
による負圧浮動ヘッドスライダの空気軸受面における空
気の流れについて説明する。図３は、本発明の一実施形
態による負圧浮動ヘッドスライダの空気軸受面における
空気の流れの様子の説明図である。
【００２９】図３において、矢印が、スライダ１００の
空気軸受面における空気の流れを示している。即ち、空
気流入端Ｅinから流入する空気は、サイドレール１１
０，１２０のそれぞれ外側を流れ、スリット１７０から
溝部１８０内に流れる。溝部１８０に流入した空気は、
空気の流れの淀みを生じることなく空気流出端Ｅoutへ
流れるようになっている。
【００３０】従来のサイドレールの長手方向の末端部が
スライダの空気流出端まで延在しない構造のスライダに
あっては、サイドレールの末端部とスライダの空気流出
端の間に空気の流れの淀みが生じる部分があった。その
結果、この空気の流れの淀みの部分及び溝部に、ディス
ク記録媒体上に塗布された潤滑剤が蓄積するという現象
が生じていたものである。
【００３１】それに対して、上述したように、本実施形
態においては、サイドレール１１０，１２０は、スライ
ダ１００の空気流出端Ｅoutまで延在する構成としてい
るため、空気の流れの淀みを生じることなく、ディスク
記録媒体上の潤滑剤が、スライダ１００の溝部１８０に
蓄積しないようになるものである。
【００３２】次に、図４を用いて、本発明の一実施形態
による負圧浮動ヘッドスライダを磁気ディスク装置に取
り付けた状態について説明する。図４は、本発明の一実
施形態による負圧浮動ヘッドスライダ用いた磁気ディス
ク装置の平面図である。
【００３３】３．５インチの磁気ディスク装置２００
は、回転数７２００ｒｐｍで回転するスピンドル２１０
に取り付けられた直径３．５インチのディスク記録媒体
２２０と、回転アクチュエータ２３０とから構成されて
いる。
【００３４】回転アクチュエータ２３０は、回動するキ
ャリッジ２４０と、キャリッジ２４０の先端に取り付け
られたサスペンション２５０と、サスペンション２５０
の先端に取り付けられた負圧浮動ヘッドスライダ１００
とから構成されている。負圧浮動ヘッドスライダ１００
は、図１に示した構成を有しているものである。
【００３５】負圧浮動ヘッドスライダ１００は、図１に
示したサイドレール等の形成されている空気軸受面が、
ディスク記録媒体２２０に対向するように、サスペンシ
ョン２５０の先端に取り付けられる。
【００３６】ディスク記録媒体２２０が、７２００ｒｐ
ｍで回転することによって、空気の流れが、ディスク記
録媒体の２２０の円周方向に発生する。負圧浮動ヘッド
スライダ１００を取り付けた回転アクチュエータ２３０
は、スライダ１００をディスク記録媒体の２２０の内周
から外周に掛けて形成されている複数のトラックの中の
所定のトラックに位置付けるために、揺動運動を行う。
この回転アクチュエータ２３０の揺動運動によって、ス
ライダ１００にディスク記録媒体２２０の円周に沿って
空気が流入する方向とスライダ１００の長手方向とのな
す角度が変化する。この角度をヨー角とし、スライダ１
００の長手方向に対しディスク記録媒体１００の内周側
から空気が流入する方向のヨー角の符号を正で表すよう
にする。本実施形態における磁気ディスク装置２００
は、ヨー角が、略−２゜〜−２１°の範囲内で変化する
ものである。
【００３７】スライダ１００は、サスペンション２５０
によって、ディスク記録媒体２２０上に１．５ｇｆの力
で押しつけられている。ディスク記録媒体２２０の回転
によって生じる空気の流れが、スライダ１００とディス
ク記録媒体２２０間に入り込むことによって、スライダ
１００は、ディスク記録媒体２２０から数十ｎｍの浮上
量で浮上する。スライダ１００の浮上量については、図
６を用いて後述する。
【００３８】スライダ１００は、回転アクチュエータ２
３０によってディスク記録媒体２２０上の略２０〜４６
ｍｍの任意の半径位置で精度よく位置決めされる。スラ
イダ１００のディスク外周側および内周側にあるサイド
レール１１０、１２０の空気流出端Ｅout側に搭載され
た磁気トランスデューサ１９０により、ディスク記録媒
体２２０に対して情報の記録再生が行われる。
【００３９】次に、図５を用いて、本発明の一実施形態
による負圧浮動ヘッドスライダの粘着力の低減について
説明する。図５は、本発明の一実施形態による負圧浮動
ヘッドスライダの粘着力と従来の負圧浮動ヘッドスライ
ダの粘着力の比較実験結果の説明図である。
【００４０】図５に示した粘着力のデータを得るための
実験は、次のようにして行った。即ち、図４に示した構
成の磁気ディスク装置２００を用い、３．５インチのデ
ィスク記録媒体２２０上に、潤滑剤を２０オングストロ
ームの膜厚で塗布した。ディスク記録媒体２２０は、回
転数７２００ｒｐｍで回転する。半径位置４５ｍｍ、ヨ
ー角０°の位置で、スライダ１００を６時間浮上させた
後、別のディスク記録媒体上に１時間放置して粘着力を
測定した。
【００４１】図５において、粘着力Ｐ１は、従来の負圧
浮動ヘッドスライダの粘着力を示している。ここで、従
来の負圧浮動ヘッドスライダとしては、スライダの両端
側に設けられた１対のサイドレールが、両方ともスライ
ダの長手方向に平行であり、サイドレールの末端が、ス
ライダの空気流出端まで達していないものである。従来
の負圧浮動ヘッドスライダでは、溝部への潤滑剤の蓄積
により、最大３０ｇｆの粘着力が発生した。
【００４２】それに対して、図１に示した構成の負圧浮
動ヘッドスライダ１００を用いた時の粘着力Ｐ２は、溝
部１８０への潤滑剤の蓄積がなかったため、粘着力は従
来の負圧浮動ヘッドスライダで発生する粘着力の１／１
０以下に相当する最大２ｇｆに減少したものである。
【００４３】次に、図６を用いて、本発明の一実施形態
による負圧浮動ヘッドスライダの浮上量とヨー角の関係
について説明する。図６は、本発明の一実施形態による
負圧浮動ヘッドスライダ及び従来の負圧浮動ヘッドスラ
イダの浮上量とヨー角の関係の比較の説明図である。
【００４４】図６に示す負圧浮動ヘッドスライダの浮上
量とヨー角の関係は、図４に示したように、ヨー角が−
２゜〜−２１゜まで変化する磁気ディスク装置を想定
し、シュミレーションにより求めている。
【００４５】破線Ａは、従来の負圧浮動ヘッドスライダ
の浮上量とヨー角の関係を示している。ここで、従来の
負圧浮動ヘッドスライダとしては、スライダの両端側に
設けられた１対のサイドレールが、両方ともスライダの
長手方向に平行であり、サイドレールの末端が、スライ
ダの空気流出端まで延在しているものである。従来の負
圧浮動ヘッドスライダは、ヨー角の絶対値が大きくなる
につれて、浮上量が低下する特性を示している。
【００４６】実線Ｂは、図１に示した構成を有する本実
施形態による負圧浮動ヘッドスライダの浮上量とヨー角
の関係を示している。ヨー角の絶対値が小さい領域にお
ける本実施形態による負圧浮動ヘッドスライダの浮上量
は、従来の負圧浮動ヘッドスライダより若干増加してい
る。そして、ヨー角の絶対値が増加するに従って、従来
の負圧浮動スライダよりも浮上量の低下が小さくなり、
さらに、ヨー角の絶対値が略１８°よりも大きくなると
浮上量が増加する特性を示している。
【００４７】本実施形態における負圧浮動ヘッドスライ
ダの浮上量が、ヨー角の絶対値が大きな領域で増加する
理由について、ここで、図１を用いて説明する。即ち、
図１の右上部に示したように、ヨー角が−２゜〜−２１
゜まで変化するものとする。浮上量は、空気の流れ方向
に対するサイドレールの長さによって規制されるもので
あり、サイドレールの長さが長い程、サイドレールによ
る空気の圧縮長を確保することができるため、浮上量を
大きくすることができる。
【００４８】ヨー角の絶対値が小さく，例えば、ヨー角
が−２゜の時について考えてみると、図１中に１点鎖線
で示した長さＬａが、サイドレール１１０による空気の
圧縮長に相当する長さである。即ち、サイドレール１１
０のなかで、スライダ１００の長手方向に平行な流入側
サイドレール１１２の部分が、主として、空気の圧縮に
寄与している。勿論、スライダ１１０の内側に傾斜した
流出側傾斜サイドレール１１４の部分の寄与もある。
【００４９】一方、ヨー角の絶対値が大きく，例えば、
ヨー角が−２１゜の時について考えてみると、図１中に
２点鎖線で示した長さＬｂが、サイドレール１１０によ
る空気の圧縮長に相当する長さである。即ち、サイドレ
ール１１０のなかで、スライダ１００の内側に傾斜した
流出側傾斜サイドレール１１４の部分がが、主として、
空気の圧縮に寄与することになる。勿論、スライダ１０
０の長手方向に平行な流入側サイドレール１１２の寄与
もあるが、その寄与率は小さいものである。
【００５０】ここで、従来の構成の負圧浮動ヘッドスラ
イダにおいては、外周側のサイドレールは、スライダの
長手方向に平行であるため、図１中に破線で示した長さ
Ｌｃが、サイドレールによる空気の圧縮長に相当する長
さである。長さＬｃは、ヨー角が大きくなるほど、小さ
くなるため、浮上量が低下するものである。
【００５１】それに対して、本実施形態においては、ス
ライダ１００の内側に傾斜した流出側傾斜サイドレール
１１４を設けることにより、ヨー角の絶対値が大きくな
っても、サイドレールの圧縮長を確保することができる
ため、空気の十分な圧縮長が確保されるため、図６に示
したように、浮上量を大きくすることができるものであ
る。
【００５２】ここで、流出側傾斜サイドレール１１４の
スライダの長手方向に対して傾斜させる角度θ１につい
て説明する。上述したように、ヨー角の絶対値が大きく
なっても、サイドレールによる空気の所望の圧縮長を得
るためには、ヨー角の最大値よりも大きくする必要があ
る。ヨー角の絶対値の最大値が２１゜の場合には、傾斜
角度θ１は、少なくとも、２１゜以上とする必要があ
る。また、流出側傾斜サイドレール１１４のスライダの
長手方向に対して傾斜させる角度θ１の最大値は、傾斜
させたサイドレールを設ける物理的限界から、９０゜よ
りも小さい角度となる。即ち、流出側傾斜サイドレール
１１４のスライダの長手方向に対して傾斜させる角度θ
１は、ヨー角の最大値よりも大きく、９０゜よりも小さ
い角度とする。
【００５３】さらに、好ましくは、ヨー角の絶対値の最
大値が２１゜の場合、流出側傾斜サイドレール１１４の
スライダの長手方向に対して傾斜させる角度θ１は、２
５゜〜５５゜の範囲とすることが好ましい。即ち、ヨー
角が０゜付近における十分な空気の圧縮長を得るには、
スライダ１００の長手方向に平行な流入側サイドレール
１１２がある程度の長さを有することが必要である。ま
た、ヨー角が大きくなった付近における十分な空気の圧
縮長を得るには、流出側傾斜サイドレール１１４がある
程度の長さを有することが必要である。両者を兼ね合わ
せるには、流入側サイドレール１１２と流出側傾斜サイ
ドレール１１４をほぼ同じ長さにする必要がある。
【００５４】このような条件の元で、傾斜角度θ１につ
いて検討すると、少なくとも、ヨー角の絶対値の最大値
よりも数゜大きいことが好ましい。ヨー角の絶対値の最
大値が２１゜のものにおいては、傾斜角度θは、２５゜
以上とすることが好ましいものである。また、スライダ
１００の大きさは、全長Ｌが、１．２５ｍｍで、全幅Ｗ
が、１ｍｍという小さなものであり、傾斜角θ１を余り
大きくとると、サイドレール１１０の末端部とサイドレ
ール１２０の末端部がつながり、溝部１８０からの空気
の流出部がなくなることになる。従って、傾斜角θ１
は、５５゜以下が好ましいことになる。
【００５５】なお、以上の説明では、ヨー角が略−２゜
〜−２１°の負の範囲内で変化する磁気ディスク装置２
００に用いるものものとして説明したが、例えば、ヨー
角が＋２゜〜−１８゜の範囲のように、正から負の範囲
で変化するものに対しても同様に適用できるものであ
る。また、ヨー角が正の範囲で変化する場合であって
も、同様にして適用できるものである。
【００５６】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、スライダに設けたサイドレールをスライダの空気流
出端Ｅoutまで形成しているので、スライダの空気軸受
面の溝部への潤滑剤の蓄積を低減し、スライダとディス
ク記録媒体間の粘着力の増加を低減することができる。
【００５７】また、一方のサイドレールは、スライダの
長手方向に平行な流入側サイドレールと、スライダの空
気流出端Ｅoutに位置し、スライダの内側に傾斜した流
出側傾斜サイドレールとから構成するようにしたので、
ヨー角の絶対値の増加に対しても所定の浮上量の得るこ
とができる。
【００５８】また、ディスク記録装置における高密度記
録が可能となる。
【００５９】次に、図７〜図９を用いて、本発明の第２
の実施形態による負圧浮動ヘッドスライダについて説明
する。最初に、図７を用いて、本発明の第２の実施形態
による負圧浮動ヘッドスライダの溝部の構成について説
明する。図７は、本発明の第２の実施形態による負圧浮
動ヘッドスライダの平面図である。
【００６０】本実施形態による負圧浮動ヘッドスライダ
１００Ａは、図４に示したヨー角が略−２゜〜−２１°
の範囲内で変化する磁気ディスク装置２００に用いるも
のである。そして、図１に示した負圧浮動ヘッドスライ
ダ１００に比べて、さらに、浮上量を低減するととも
に、浮上量の最大値と最小値の差を小さくするようにし
たものである。
【００６１】スライダ１００Ａは、その長手方向の端部
の一方に、空気流入端Ｅinを有し、他方に、空気流出端
Ｅoutを有している。ディスク記録媒体の回転に伴って
発生する空気の流れは、スライダ１００Ａの空気流入端
Ｅinから空気流出端Ｅoutに向けて生じる。
【００６２】スライダ１００Ａは、図１と同様に、長さ
が１．２５ｍｍであり、幅が１．０ｍｍであり、厚さが
０．３ｍｍのものを用いている。
【００６３】スライダ１００Ａの空気軸受面には、一対
のサイドレール１１０Ａ，１２０Ａと、クロスレール１
３０Ａ，１４０Ａと、テーパ形状を有している空気導入
部１５０Ａ，１６０Ａと、スリット１７０Ａを有してい
る。
【００６４】スライダ１００Ａの空気流入端Ｅin側に
は、空気導入部１５０Ａ，１６０Ａが設けられている。
空気導入部１５０Ａ，１６０Ａは、図２にその断面形状
を示したように、テーパ状となっている。テーパ状の空
気導入部１５０Ａ，１６０Ａの断面形状は、図２におい
て説明したものと同じである。テーパ状の空気導入部１
５０Ａ，１６０Ａの空気流入端Ｅin側の長手方向の長さ
は、０．１５ｍｍである。また、空気導入部１５０Ａ，
１６０Ａは、テーパ形状に代えて、図２に破線で示すよ
うに、ステップ状の空気導入部としてもよいものであ
る。
【００６５】さらに、本実施形態においては、空気導入
部１５０Ａ，１６０Ａの幅Ｗ２，Ｗ３を、図１に示した
例に比べて狭くしているものである。即ち、空気導入部
１５０Ａ，１６０Ａの幅を狭くすることにより、浮上量
を図１の例に比べて低減している。この空気導入部１５
０Ａ，１６０Ａを狭くしたことによる浮上量の低減は、
特に、ヨー角の絶対値が大きな領域で顕著である。
【００６６】空気導入部１５０Ａ，１６０Ａに続いて、
クロスレール１３０Ａ，１４０Ａが設けられている。ク
ロスレール１３０Ａ，１４０Ａの幅は、０．０９ｍｍで
ある。空気導入部１５０Ａ，１６０Ａとクロスレール１
３０Ａ，１４０Ａを分断するように、スリット１７０Ａ
が設けられている。空気は、空気流入端Ｅin側からスリ
ット１７０Ａを通って、後述する溝部１８０Ａ内に流入
する。スリット１７０Ａの幅は、０．０８ｍｍである。
【００６７】ここで、クロスレール１３０Ａ，１４０Ａ
を分断するスリット１７０Ａは、スライダ１００Ａの幅
方向の中央の位置よりも、ディスク外周側に幅Ｗ４だけ
寄せて形成してある。幅Ｗ４は、略０．１ｍｍとしてあ
る。このように、スリット１７０Ａを、スライダ１００
Ａの幅方向の中央の位置よりも、ディスク外周側に寄せ
ることにより、スライダ１００Ａのロール方向（ディス
ク記録媒体の半径方向）の浮上量のアンバランスを低減
している。
【００６８】空気導入部１５０Ａ，１６０Ａの幅を狭く
したことに対応して、空気導入部１５０Ａからクロスレ
ール１３０Ａを経てサイドレール１２０Ａに至るレール
の側面を傾斜面１３２Ａとし、また、空気導入部１６０
Ａからクロスレール１４０Ａを経てサイドレール１１０
Ａに至るレールの側面を傾斜面１４２Ａとしている。こ
れは、レールの両サイドを通過する空気の流れをスムー
ズにするためである。傾斜面１３２Ａ，１４２Ａが、ス
ライダ１００の長手方向に対してなす角度θ２は、３５
゜としてある。
【００６９】クロスレール１３０Ａ，１４０Ａに続い
て、スライダ１００Ａの長手方向に延在するサイドレー
ル１１０Ａ，１２０Ａが設けられている。サイドレール
１１０Ａ，１２０Ａは、空気流出端Ｅoutまで形成され
ている。サイドレール１１０Ａは、ディスク記録媒体と
対向した時、ディスク記録媒体の外周側に位置するもの
であり、サイドレール１２０Ａは、ディスク記録媒体の
内周側に位置するものである。外周側に位置するサイド
レール１１０Ａは、図１に示した例と同様に、スライダ
１００Ａの空気流入端Ｅin側に位置し、スライダ１００
Ａの長手方向に平行な流入側サイドレール１１２Ａと、
スライダ１００Ａの空気流出端Ｅoutに位置し、スライ
ダ１００Ａの内側に傾斜した流出側傾斜サイドレール１
１４Ａから構成されている。ここで、流出側傾斜サイド
レール１１４が、スライダ１００Ａの長手方向に対して
なす角度θ１は、図１と同様に、３２゜としてある。
【００７０】さらに、本実施形態においては、サイドレ
ール１２０Ａは、スライダ１００Ａの空気流入端Ｅin側
に位置し、スライダ１００Ａの長手方向に平行な流入側
サイドレール１２２Ａと、スライダ１００Ａの空気流出
端Ｅoutに位置し、スライダ１００Ａの外側に傾斜した
流出側傾斜サイドレール１２４Ａから構成されている。
【００７１】磁気ディスク装置においては、ディスク記
録媒体の内周のトラックと外周のトラックでは、前述し
たように、回転アクチュエータの揺動運動によって、ス
ライダにディスク記録媒体の円周に沿って空気が流入す
る方向とスライダの長手方向とのなすヨー角が変化す
る。また、同時に、ディスク記録媒体の内周のトラック
と外周のトラックでは、周速度が異なるため、空気の流
れ速度が異なっている。即ち、外周の方が周速度が大き
く、内周にいくに従って周速度が低下する。その結果、
内周側では、浮上量が低下する傾向にある。
【００７２】この点を改善するために、本実施形態にお
いては、サイドレール１２０Ａに、スライダ１００Ａの
空気流出端Ｅoutに位置し、スライダ１００Ａの外側に
傾斜した流出側傾斜サイドレール１２４Ａを設けるよう
にしている。流出側傾斜サイドレール１２４Ａとスライ
ダ１００Ａの長手方向のなす角度θ３は、２５゜として
いる。
【００７３】サイドレール１１０Ａ，１２０Ａ及びクロ
スレール１３０Ａ，１４０Ａに囲まれた領域に、スライ
ダ１００Ａの空気軸受面の溝部１８０Ａが形成されてい
る。溝部１８０Ａの深さは、５μｍである。
【００７４】サイドレール１１０Ａの空気流出端Ｅout
近傍には、ディスク記録媒体に対して情報を記録再生す
る磁気トランスデューサ１９０が設けられている。磁気
トランスデューサ１９０は、一方のサイドレール１１０
Ａに設けているが、ディスク外周側および内周側にある
サイドレール１１０Ａ，１２０Ａの両方、あるいはディ
スク内周側のサイドレール１２０Ａの空気流出端Ｅout
近傍に設けるようにしてもよいものである。
【００７５】スライダ１００Ａの空気軸受面に形成され
るサイドレール１１０Ａ，１２０Ａと、クロスレール１
３０Ａ，１４０Ａと、スリット１７０Ａと、これらのレ
ール群の内側に形成する溝部１８０Ａは、イオンミリン
グ，エッチングまたは技術上公知である他の製造技術に
より形成される。
【００７６】次に、図８を用いて、本発明の第２の実施
形態による負圧浮動ヘッドスライダの浮上量とヨー角の
関係について説明する。図８は、本発明の第２の実施形
態による負圧浮動ヘッドスライダ及び従来の負圧浮動ヘ
ッドスライダの浮上量とヨー角の関係の比較の説明図で
ある。
【００７７】図８に示す負圧浮動ヘッドスライダの浮上
量とヨー角の関係は、図４に示したように、ヨー角が−
２゜〜−２１゜まで変化する磁気ディスク装置を想定
し、図６と同様に、シュミレーションにより求めてい
る。
【００７８】破線Ａは、従来の負圧浮動ヘッドスライダ
の浮上量とヨー角の関係を示しており、図６に示したも
のと同じである。
【００７９】実線Ｃは、図７に示した構成を有する本実
施形態による負圧浮動ヘッドスライダの浮上量とヨー角
の関係を示している。浮上量の絶対値は、図６の実線Ｂ
で示したものに比べて小さくなっている。これは、空気
導入部１５０Ａ，１６０Ａの幅を狭くしたことによるも
のである。そして、ヨー角の絶対値が増加するに従っ
て、従来の負圧浮動スライダよりも浮上量の低下が小さ
くなり、さらに、ヨー角の絶対値が略１８°よりも大き
くなると浮上量が増加する特性を示している。
【００８０】次に、図９を用いて、本発明の第２の実施
形態による負圧浮動ヘッドスライダの浮上量とディスク
半径位置の関係について説明する。図９は、磁気ディス
ク装置に搭載された状態における本発明の第２の実施形
態による負圧浮動ヘッドスライダのディスク半径位置と
浮上量の関係の比較の説明図である。
【００８１】図９に示す負圧浮動ヘッドスライダの浮上
量とディスク半径位置の関係は、図４に示したように、
ヨー角が−２゜〜−２１゜まで変化する磁気ディスク装
置を想定し、ディスク半径位置の変化に伴う周速度の変
化を加味して、シュミレーションにより求めている。
【００８２】−２〜−２１°の負のヨー角変化を伴う磁
気ディスク装置２００では、第２実施形態による負圧浮
動ヘッドスライダを用いることで、周速とヨー角の変化
に伴うスライダ１００の浮上量の変化を小さくできる。
最大／最小浮上量の差は、ディスク記録媒体２２０の半
径位置によらず、２ｎｍ程度でほぼ一定に保つことがで
きる。
【００８３】なお、以上の説明では、ヨー角が略−２゜
〜−２１°の負の範囲内で変化する磁気ディスク装置２
００に用いるものものとして説明したが、例えば、ヨー
角が＋２゜〜−１８゜の範囲のように、正から負の範囲
で変化するものに対しても同様に適用できるものであ
る。また、ヨー角が正の範囲で変化する場合であって
も、同様にして適用できるものである。
【００８４】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、スライダに設けたサイドレールをスライダの空気流
出端Ｅoutまで形成しているので、スライダの空気軸受
面の溝部への潤滑剤の蓄積を低減し、スライダとディス
ク記録媒体間の粘着力の増加を低減することができる。
【００８５】また、一方のサイドレールは、スライダの
長手方向に平行な流入側サイドレールと、スライダの空
気流出端Ｅoutに位置し、スライダの内側に傾斜した流
出側傾斜サイドレールとから構成するようにしたので、
ヨー角の絶対値の増加に対しても所定の浮上量の得るこ
とができる。
【００８６】さらに、負圧浮動ヘッドスライダの浮上量
を、さらに、低減することができる。
【００８７】また、さらに、磁気ディスク装置に実装し
た際に、周速とヨー角の変化に伴うスライダの浮上量の
変化を小さくできる。
【００８８】また、ディスク記録装置における高密度記
録が可能となる。
【００８９】次に、図１０〜図１２を用いて、本発明の
第３の実施形態による負圧浮動ヘッドスライダについて
説明する。最初に、図１０を用いて、本発明の第３の実
施形態による負圧浮動ヘッドスライダの溝部の構成につ
いて説明する。図１０は、本発明の第３の実施形態によ
る負圧浮動ヘッドスライダの平面図である。
【００９０】本実施形態による負圧浮動ヘッドスライダ
１００Ｂは、ヨー角が略−１０゜〜＋１０°の範囲内で
変化する磁気ディスク装置に用いるものである。かかる
磁気ディスク装置の構成については、図１１を用いて後
述する。
【００９１】スライダ１００Ｂは、その長手方向の端部
の一方に、空気流入端Ｅinを有し、他方に、空気流出端
Ｅoutを有している。ディスク記録媒体の回転に伴って
発生する空気の流れは、スライダ１００Ｂの空気流入端
Ｅinから空気流出端Ｅoutに向けて生じる。
【００９２】スライダ１００Ｂは、図１と同様に、長さ
が１．２５ｍｍであり、幅が１．０ｍｍであり、厚さが
０．３ｍｍのものを用いている。
【００９３】スライダ１００Ｂの空気軸受面には、一対
のサイドレール１１０Ｂ，１２０Ｂと、クロスレール１
３０Ｂ，１４０Ｂと、テーパ形状を有している空気導入
部１５０Ｂ，１６０Ｂと、スリット１７０Ｂを有してい
る。
【００９４】スライダ１００Ｂの空気流入端Ｅin側に
は、空気導入部１５０Ｂ，１６０Ｂが設けられている。
空気導入部１５０Ｂ，１６０Ｂは、図２にその断面形状
を示したように、テーパ状となっている。テーパ状の空
気導入部１５０Ｂ，１６０Ｂの断面形状は、図２におい
て説明したものと同じである。テーパ状の空気導入部１
５０Ａ，１６０Ａの空気流入端Ｅin側の長手方向の長さ
は、０．１５ｍｍである。また、空気導入部１５０Ｂ，
１６０Ｂは、テーパ形状に代えて、図２に破線で示すよ
うに、ステップ状の空気導入部としてもよいものであ
る。
【００９５】空気導入部１５０Ｂ，１６０Ｂに続いて、
クロスレール１３０Ｂ，１４０Ｂが設けられている。ク
ロスレール１３０Ｂ，１４０Ｂの幅は、０．０９ｍｍで
ある。空気導入部１５０Ｂ，１６０Ｂとクロスレール１
３０Ｂ，１４０Ｂを分断するように、スリット１７０Ｂ
が設けられている。空気は、空気流入端Ｅin側からスリ
ット１７０Ｂを通って、後述する溝部１８０Ｂ内に流入
する。スリット１７０Ｂの幅は、０．０８ｍｍである。
【００９６】クロスレール１３０Ｂ，１４０Ｂに続い
て、スライダ１００Ｂの長手方向に延在するサイドレー
ル１１０Ｂ，１２０Ｂが設けられている。サイドレール
１１０Ｂ，１２０Ｂは、空気流出端Ｅoutまで形成され
ている。サイドレール１１０Ｂは、ディスク記録媒体と
対向した時、ディスク記録媒体の外周側に位置するもの
であり、サイドレール１２０Ｂは、ディスク記録媒体の
内周側に位置するものである。外周側に位置するサイド
レール１１０Ｂは、図１に示した例と同様に、スライダ
１００Ｂの空気流入端Ｅin側に位置し、スライダ１００
Ｂの長手方向に平行な流入側サイドレール１１２Ｂと、
スライダ１００Ｂの空気流出端Ｅoutに位置し、スライ
ダ１００Ｂの内側に傾斜した流出側傾斜サイドレール１
１４Ｂから構成されている。ここで、流出側傾斜サイド
レール１１４Ｂが、スライダ１００Ｂの長手方向に対し
てなす角度θ４は、２０゜としてある。
【００９７】さらに、本実施形態においては、サイドレ
ール１２０Ｂは、スライダ１００Ｂの空気流入端Ｅin側
に位置し、スライダ１００Ｂの長手方向に平行な流入側
サイドレール１２２Ｂと、スライダ１００Ｂの空気流出
端Ｅoutに位置し、スライダ１００Ｂの内側に傾斜した
流出側傾斜サイドレール１２４Ｂから構成されている。
ここで、流出側傾斜サイドレール１１４Ｂが、スライダ
１００Ｂの長手方向に対してなす角度θ５は、２０゜と
してある。
【００９８】即ち、本実施形態においては、両方のサイ
ドレール１１０Ｂ，１２０Ｂの内、スライダ１００Ｂの
空気流出端Ｅoutに位置する流出側傾斜サイドレール１
１４Ｂ，１２４Ｂをそれぞれ、内側に傾斜させて構成し
ている。これは、本実施形態による磁気ディスク装置に
おけるヨー角が略−１０゜〜＋１０°の範囲内で変化す
ることに対応するものである。
【００９９】さらに、空気流出端Ｅout側の中央に島上
に形成されたセンタレール１９５を有している。
【０１００】サイドレール１１０Ｂ，１２０Ｂ及びクロ
スレール１３０Ｂ，１４０Ｂ及びセンタレール１９５に
囲まれた領域に、スライダ１００Ｂの空気軸受面の溝部
１８０Ｂが形成されている。溝部１８０Ｂの深さは、５
μｍである。
【０１０１】センタレール１９５には、ディスク記録媒
体に対して情報を記録再生する磁気トランスデューサ１
９０が設けられている。磁気トランスデューサ１９０
は、センタレール１９５に設けているが、ディスク外周
側および内周側にあるサイドレール１１０Ｂ，１２０Ｂ
の両方、あるいは、一方のサイドレール１２０の空気流
出端Ｅout近傍に設けるようにしてもよいものである。
【０１０２】スライダ１００Ｂの空気軸受面に形成され
るサイドレール１１０Ｂ，１２０Ｂと、クロスレール１
３０Ｂ，１４０Ｂと、スリット１７０Ｂと、センタレー
ル１９５と、これらのレール群の内側に形成する溝部１
８０Ｂは、イオンミリング，エッチングまたは技術上公
知である他の製造技術により形成される。
【０１０３】次に、図１１を用いて、本発明の第３の実
施形態による負圧浮動ヘッドスライダを磁気ディスク装
置に取り付けた状態について説明する。図１１は、本発
明の第３の実施形態による負圧浮動ヘッドスライダ用い
た磁気ディスク装置の平面図である。
【０１０４】３．５インチの磁気ディスク装置２００Ｂ
は、回転数７２００ｒｐｍで回転するスピンドル２１０
に取り付けられた直径３．５インチのディスク記録媒体
２２０と、回転アクチュエータ２３０Ｂとから構成され
ている。
【０１０５】回転アクチュエータ２３０Ｂは、回動する
キャリッジ２４０Ｂと、キャリッジ２４０Ｂの先端に取
り付けられたサスペンション２５０Ｂと、サスペンショ
ン２５０Ｂの先端に取り付けられた負圧浮動ヘッドスラ
イダ１００Ｂとから構成されている。負圧浮動ヘッドス
ライダ１００Ｂは、図１０に示した構成を有しているも
のである。
【０１０６】負圧浮動ヘッドスライダ１００Ｂは、図１
０に示したサイドレール等の形成されている空気軸受面
が、ディスク記録媒体２２０に対向するように、サスペ
ンション２５０Ｂの先端に取り付けられる。
【０１０７】ディスク記録媒体２２０が、７２００ｒｐ
ｍで回転することによって、空気の流れが、ディスク記
録媒体の２２０の円周方向に発生する。負圧浮動ヘッド
スライダ１００Ｂを取り付けた回転アクチュエータ２３
０Ｂは、スライダ１００Ｂをディスク記録媒体の２２０
の内周から外周に掛けて形成されている複数のトラック
の中の所定のトラックに位置付けるために、揺動運動を
行う。この回転アクチュエータ２３０Ｂの揺動運動によ
って、スライダ１００Ｂにディスク記録媒体２２０の円
周に沿って空気が流入する方向とスライダ１００Ｂの長
手方向とのなす角度が変化する。この角度をヨー角と
し、スライダ１００Ｂの長手方向に対しディスク記録媒
体１００Ｂの内周側から空気が流入する方向のヨー角の
符号を正で表すようにする。本実施形態における磁気デ
ィスク装置２００Ｂは、ヨー角が、略−１０〜１０°の
正負の範囲内で変化するものである。
【０１０８】スライダ１００Ｂは、サスペンション２５
０Ｂによって、ディスク記録媒体２２０上に１．５ｇｆ
の力で押しつけられている。ディスク記録媒体２２０の
回転によって生じる空気の流れが、スライダ１００Ｂと
ディスク記録媒体２２０間に入り込むことによって、ス
ライダ１００Ｂは、ディスク記録媒体２２０から３５ｎ
ｍの浮上量で浮上する。スライダ１００Ｂの浮上量につ
いては、図１２を用いて後述する。
【０１０９】スライダ１００Ｂは、回転アクチュエータ
２３０Ｂによってディスク記録媒体２２０上の略２０〜
４６ｍｍの任意の半径位置で精度よく位置決めされる。
スライダ１００Ｂのディスク外周側および内周側にある
サイドレール１１０Ｂ、１２０Ｂの空気流出端Ｅout側
に搭載された磁気トランスデューサ１９０により、ディ
スク記録媒体２２０に対して情報の記録再生が行われ
る。
【０１１０】次に、図１２を用いて、本発明の第３の実
施形態による負圧浮動ヘッドスライダの浮上量とディス
ク半径位置の関係について説明する。図１２は、磁気デ
ィスク装置に搭載された状態における本発明の第３の実
施形態による負圧浮動ヘッドスライダのディスク半径位
置と浮上量の関係の比較の説明図である。
【０１１１】図１２に示す負圧浮動ヘッドスライダの浮
上量とディスク半径位置の関係は、図１１に示したよう
に、ヨー角が−１０゜〜＋１０゜まで変化する磁気ディ
スク装置を想定し、ディスク半径位置の変化に伴う周速
度の変化を加味して、シュミレーションにより求めてい
る。
【０１１２】−１０゜〜＋１０°の負のヨー角変化を伴
う磁気ディスク装置２００Ｂでは、第３実施形態による
負圧浮動ヘッドスライダを用いることで、周速とヨー角
の変化に伴うスライダ１００Ｂの浮上量の変化を小さく
できる。最大／最小浮上量の差は、ディスク記録媒体２
２０の半径位置によらず、２ｎｍ程度でほぼ一定に保つ
ことができる。
【０１１３】ここで、流出側傾斜サイドレール１１４
Ｂ，１２４Ｂのスライダの長手方向に対して傾斜させる
角度θ４，θ５について説明する。上述したように、ヨ
ー角の絶対値が大きくなっても、サイドレールによる空
気の所望の圧縮長を得るためには、ヨー角の最大値より
も大きくする必要がある。ヨー角の絶対値の最大値が１
０゜の場合には、傾斜角度θ４は、少なくとも、１５゜
以上とする必要がある。また、流出側傾斜サイドレール
１１４のスライダの長手方向に対して傾斜させる角度θ
１の最大値は、傾斜させたサイドレールを設ける物理的
限界から、９０゜よりも小さい角度となる。即ち、流出
側傾斜サイドレール１１４のスライダの長手方向に対し
て傾斜させる角度θ４は、ヨー角の最大値よりも大き
く、９０゜よりも小さい角度とする。同様にして、角度
θ５は、ヨー角の最大値よりも大きく、９０゜よりも小
さい角度とする。
【０１１４】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、スライダに設けたサイドレールをスライダの空気流
出端Ｅoutまで形成しているので、スライダの空気軸受
面の溝部への潤滑剤の蓄積を低減し、スライダとディス
ク記録媒体間の粘着力の増加を低減することができる。
【０１１５】また、ヨー角が、正から負の範囲で変化す
る磁気ディスク装置に使用するスライダにおいては、両
方のサイドレールは、スライダの長手方向に平行な流入
側サイドレールと、スライダの空気流出端Ｅoutに位置
し、スライダの内側に傾斜した流出側傾斜サイドレール
とから構成するようにしたので、ヨー角の絶対値の増加
に対しても所定の浮上量の得ることができる。
【０１１６】さらに、磁気ディスク装置に実装した際
に、周速とヨー角の変化に伴うスライダの浮上量の変化
を小さくできる。
【０１１７】また、ディスク記録装置における高密度記
録が可能となる。
【０１１８】次に、図１３を用いて、本発明の第４の実
施形態による負圧浮動ヘッドスライダについて説明す
る。図１３は、本発明の第４の実施形態による負圧浮動
ヘッドスライダの平面図である。なお、図１０と同一符
号は、同一部分を示している。
【０１１９】本実施形態による負圧浮動ヘッドスライダ
１００Ｃは、図１１に示したように、ヨー角が略−１０
゜〜＋１０°の範囲内で変化する磁気ディスク装置に用
いるものである。
【０１２０】図１０に示した実施形態と異なる点は、図
１０におけるセンタレールを設けることなく、磁気トラ
ンスジューサ１９０をサイドレール１１０Ｂの空気流出
端Ｅout側に設けたことにある。なお、情報を記録再生
する磁気トランスデューサ１９０は、ディスク外周側お
よび内周側にあるサイドレール１１０Ｂ，１２０Ｂの両
方あるいはディスク内周側のサイドレール１２０Ｂの空
気流出端Ｅout近傍に備えてあってもよいものである。
【０１２１】スライダ１００Ｂの空気軸受面に形成され
るサイドレール１１０Ｂ，１２０Ｂと、クロスレール１
３０Ｂ，１４０Ｂと、スリット１７０Ｂと、センタレー
ル１９５と、これらのレール群の内側に形成する溝部１
８０Ｂは、イオンミリング，エッチングまたは技術上公
知である他の製造技術により形成される。
【０１２２】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、スライダに設けたサイドレールをスライダの空気流
出端Ｅoutまで形成しているので、スライダの空気軸受
面の溝部への潤滑剤の蓄積を低減し、スライダとディス
ク記録媒体間の粘着力の増加を低減することができる。
【０１２３】また、ヨー角が、正から負の範囲で変化す
る磁気ディスク装置に使用するスライダにおいては、両
方のサイドレールは、スライダの長手方向に平行な流入
側サイドレールと、スライダの空気流出端Ｅoutに位置
し、スライダの内側に傾斜した流出側傾斜サイドレール
とから構成するようにしたので、ヨー角の絶対値の増加
に対しても所定の浮上量の得ることができる。
【０１２４】さらに、磁気ディスク装置に実装した際
に、周速とヨー角の変化に伴うスライダの浮上量の変化
を小さくできる。
【０１２５】なお、本発明の実施態様としては、以下の
ものがあげられる。
【０１２６】１：負圧浮動ヘッドスライダにおいて、ヨ
ー角の絶対値の最大値が２１゜の場合、流出側傾斜サイ
ドレールが、スライダの長手方向に対してなす角度は、
２５゜から５５゜の範囲とすることを特徴とする負圧浮
動ヘッドスライダ。
【０１２７】２：負圧浮動ヘッドスライダにおいて、磁
気トランスデューサは、サイドレールの少なくとも一方
の空気流出端側に備えられていることを特徴とする負圧
浮動ヘッドスライダ。
【０１２８】３：負圧浮動ヘッドスライダにおいて、ス
ライダの一方のサイドレールは、スライダの空気流入端
側に位置し、スライダの長手方向に平行な流入側サイド
レールと、スライダの空気流出端に位置し、スライダの
内側に傾斜した流出側傾斜サイドレールから構成されて
おり、他方のサイドレールは、スライダの空気流入端側
に位置し、スライダの長手方向に平行な流入側サイドレ
ールと、スライダの空気流出端に位置し、スライダの外
側に傾斜した流出側傾斜サイドレールから構成されてい
ることを特徴とする負圧浮動ヘッドスライダ。
【０１２９】４：負圧浮動ヘッドスライダにおいて、ヨ
ー角が正及び負の領域で変化し、スライダの両方のサイ
ドレールは、スライダの空気流入端側に位置し、スライ
ダの長手方向に平行な流入側サイドレールと、スライダ
の空気流出端に位置し、スライダの内側に傾斜した流出
側傾斜サイドレールから構成されていることを特徴とす
る負圧浮動ヘッドスライダ。
【０１３０】５：負圧浮動ヘッドスライダにおいて、ヨ
ー角が正及び負の領域で変化し、スライダの両方のサイ
ドレールは、スライダの空気流入端側に位置し、スライ
ダの長手方向に平行な流入側サイドレールと、スライダ
の空気流出端に位置し、スライダの内側に傾斜した流出
側傾斜サイドレールから構成されており、さらに、両方
のサイドレールの空気流出端側の間に形成されたセンタ
ーレールを有し、磁気トランスデューサは、センタレー
ルに備えられていることを特徴とする負圧浮動ヘッドス
ライダ。
【０１３１】６：負圧浮動ヘッドスライダにおいて、空
気導入部は、テーパ状であることを特徴とする負圧浮動
ヘッドスライダ。
【０１３２】７：負圧浮動ヘッドスライダにおいて、空
気導入部は、ステップ状であることを特徴とする負圧浮
動ヘッドスライダ。
【０１３３】
【発明の効果】本発明によれば、負圧浮動ヘッドスライ
ダ及びそれを用いた磁気ディスク装置において、スライ
ダの空気軸受面の溝部への潤滑剤の蓄積を低減し、スラ
イダとディスク記録媒体間の粘着力の増加を低減すると
ともに、ヨー角の絶対値の増加に対しても所定の浮上量
の得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による負圧浮動ヘッドスラ
イダの平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の一実施形態による負圧浮動ヘッドスラ
イダの空気軸受面における空気の流れの様子の説明図で
ある。
【図４】本発明の一実施形態による負圧浮動ヘッドスラ
イダ用いた磁気ディスク装置の平面図である。
【図５】本発明の一実施形態による負圧浮動ヘッドスラ
イダの粘着力と従来の負圧浮動ヘッドスライダの粘着力
の比較実験結果の説明図である。
【図６】本発明の一実施形態による負圧浮動ヘッドスラ
イダ及び従来の負圧浮動ヘッドスライダの浮上量とヨー
角の関係の比較の説明図である。
【図７】本発明の第２の実施形態による負圧浮動ヘッド
スライダの平面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態による負圧浮動ヘッド
スライダ及び従来の負圧浮動ヘッドスライダの浮上量と
ヨー角の関係の比較の説明図である。
【図９】磁気ディスク装置に搭載された状態における本
発明の第２の実施形態による負圧浮動ヘッドスライダの
ディスク半径位置と浮上量の関係の比較の説明図であ
る。
【図１０】本発明の第３の実施形態による負圧浮動ヘッ
ドスライダの平面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態による負圧浮動ヘッ
ドスライダ用いた磁気ディスク装置の平面図である。
【図１２】磁気ディスク装置に搭載された状態における
本発明の第３の実施形態による負圧浮動ヘッドスライダ
のディスク半径位置と浮上量の関係の比較の説明図であ
る。
【図１３】本発明の第４の実施形態による負圧浮動ヘッ
ドスライダの平面図である。
【符号の説明】 １００…スライダ １１０，１２０…サイドレール １３０，１４０…クロスレール １５０，１６０…空気導入部 １７０…スリット １８０…溝部 １９０…磁気トランスデューサ １９５…センタレール ２００…磁気ディスク装置 ２１０…スピンドル ２２０…ディスク記録媒体 ２３０…回転アクチュエータ ２４０…キャリッジ ２５０…サスペンション Ｅin…空気流入端 Ｅout…空気流出端
フロントページの続き (72)発明者 小平 英一 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社 日立製作所 ストレージシステム 事業部内 (72)発明者 小島 康生 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社 日立製作所 ストレージシステム 事業部内 (72)発明者 米村 真次 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社 日立製作所 ストレージシステム 事業部内 (56)参考文献 特開 平９−265750（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−227514（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−223525（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/60 G11B 21/21 101

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】スライダの空気軸受面に形成され、空気流
    入端側に位置する空気導入部と、この空気導入部に続い
    て形成されたクロスレールと、このクロスレールに続い
    て形成された上記スライダの長手方向に延在する一対の
    サイドレールと、これらのクロスレール及びサイドレー
    ルに囲まれた領域に形成される溝部と、上記スライダの
    空気流出端側に備えられた磁気トランスデューサとを有
    する負圧浮動ヘッドスライダにおいて、 上記一対のサイドレールは、上記スライダの空気軸受面
    の空気流出端まで形成されているとともに、 少なくとも一方のサイドレールは、上記スライダの空気
    流入端側に位置し、上記スライダの長手方向に平行な流
    入側サイドレールと、上記スライダの空気流出端に位置
    し、上記流入側のサイドレールの外側の辺に対して傾斜
    した外側の辺を有し、また、上記流入側のサイドレール
    の内側の辺に対して傾斜した内側の辺を有することによ
    り、上記スライダの内側に傾斜した流出側傾斜サイドレ
    ールから構成されていることを特徴とする負圧浮動ヘッ
    ドスライダ。
  2. 【請求項２】請求項１記載の負圧浮動ヘッドスライダに
    おいて、 上記流出側傾斜サイドレールが、上記スライダの長手方
    向に対してなす角度は、上記スライダの長手方向と上記
    スライダに空気が流入する方向のなすヨー角の絶対値の
    最大値よりも大きく、９０゜よりも小さくしたことを特
    徴とする負圧浮動ヘッドスライダ。
  3. 【請求項３】回転可能なディスク記録媒体と、回動可能
    であるとともに、その先端の上記ディスク記録媒体と対
    向する位置に取り付けられた負圧浮動ヘッドスライダを
    有する回転アクチュエータとから構成され、 上記負圧浮動ヘッドスライダは、スライダの空気軸受面
    に形成され、空気流入端側に位置する空気導入部と、こ
    の空気導入部に続いて形成されたクロスレールと、この
    クロスレールに続いて形成された上記スライダの長手方
    向に延在する一対のサイドレールと、これらのクロスレ
    ール及びサイドレールに囲まれた領域に形成される溝部
    と、上記スライダの空気流出端側に備えられた磁気トラ
    ンスデューサとから構成される磁気ディスク装置におい
    て、 上記負圧浮動ヘッドスライダの上記一対のサイドレール
    は、上記スライダの空気軸受面の空気流出端まで形成さ
    れているとともに、 少なくとも一方のサイドレールは、上記スライダの空気
    流入端側に位置し、上記スライダの長手方向に平行な流
    入側サイドレールと、上記スライダの空気流出端に位置
    し、上記流入側のサイドレールの外側の辺に対して傾斜
    した外側の辺を有し、また、上記流入側のサイドレール
    の内側の辺に対して傾斜した内側の辺を有することによ
    り、上記スライダの内側に傾斜した流出側傾斜サイドレ
    ールから構成されていることを特徴とする磁気ディスク
    装置。
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