JP3298581B2 - 投影系及び投影露光法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】 本発明は投影露光法によっ
て回路パターン等を描いたマスク等から半導体ウエハ上
に回路パターン等を転写する際に用いられる投影系に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】 従来、ＩＣ、ＬＳＩ等の集積回路や液
晶等のフラットディスプレイなどに所望のパターンを転
写する際には、プロキシミティ法と呼ばれる非接触露光
法やアライナー法と呼ばれる反射投影法などが用いられ
ている。このうち、プロキシミティ法は特開昭５０−１
１５７７４号等に記載されているように、半導体ウエハ
の直近にマスクを配置してマスクに描かれた回路パター
ンをウエハ上に転写するものである。この方法ではマス
ク等と転写しようとする基板とのわずかな間隔が転写の
際の解像力を決めることになるため、高い解像力で転写
しようとする場合にはこの間隔を非常に狭くしなければ
ならない。しかし、あまり近づけ過ぎてマスク等と基板
が接触してしまうと基板上に転写した回路パターンを破
損してしまうという問題があった。

【０００３】一方、アライナー法は特開昭６３−１８４
３２８号等に記載されているように、反射光学系により
マスクをウエハ上に投影する構成となっているため、像
側の開口数がパターンの解像力を決めることになる。し
かし、この方法では反射光学系が通常等倍系であるため
像側開口数を大きくすることが出来ず、やはり高い解像
力が得られないという問題がある。また露光領域、すな
わち像面の面積が大きくなると投影光の熱による半導体
基板の膨張が大きくなるため、投影倍率を微調整して回
路パターンの大きさを合わせてから転写する必要があ
る。しかし、アライナー法では原理的に基板の膨張に合
わせて投影倍率を変化させることが難しいため、大きな
パターンを一度に投影できないという問題があった。

【０００４】これらに対し、近年は縮小露光法が主に使
用されるようになって来ている。この方法は特開昭６０
−１９５５０９号等に記載されているように、マスクを
適当な倍率（数分の一程度）でウエハ上に縮小投影する
ことによりパターンを転写するものである。この方法で
は回路パターンが描かれたマスク等と投影された像（基
板）との距離を微調整することによって、投影倍率を任
意に変化させることができ、また投影レンズの像側開口
数を大きな値とすることによって解像力を高めることも
容易であるため、今後益々多く利用されるものと考えら
れる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来この方法
に用いる投影系には高い解像力（すなわち大きな開口
数）と広い露光領域（像高）の両方を満足するものはな
かった。本発明の目的は、数μｍオーダーの高い解像力
と広い露光領域とを両立させることのできる投影系を提
供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の請求項１の発明にかかる投影系は、例え
ば図４〜図９に示す如く、マスク上に描かれた所定のパ
ターンの像を基板に投影する投影系であって、互いに凹
面を向かい合わせたレンズの組をそれぞれ持つ少なくと
も２組のレンズ群と；該２組のレンズ群の間に配置され
て正の屈折力を持つ少なくとも１つのレンズ面と；射出
瞳を無限遠に結像するための前記２組のレンズ群よりも
像側に配置された正レンズ群と，有し、前記正レンズ群
は、少なくとも４枚の正の屈折力を持つレンズ群で構成
され、前記２組のレンズ群中の前記向かい合った凹面の
それぞれの負の屈折力をφ₁ 、φ₂ とし、前記投影系の
物像間距離をＬとするとき、前記２組のレンズ群がいず
れも １／Ｌ＜｜φ₁ ｜＜20／Ｌ １／Ｌ＜｜φ₂ ｜＜20／Ｌ なる条件を満足し、前記投影系は、さらに、前記２組の
レンズ群の像側に、像側に凹面を向けた負の屈折力を持
つ面を有し、前記像側に凹面を向けた負の屈折力を持つ
面の屈折力をφ₃ とするとき、前記像側に凹面を向けた
負の屈折力を持つ面は、 １／Ｌ＜｜φ₃ ｜＜20／Ｌ の条件を満足するものである。

【０００７】また、本発明の請求項２の発明にかかる投
影系は、例えば図４〜図９に示す如く、互いに凹面を向
かい合わせたレンズの組を持つ第３組目のレンズ群を有
するものである。

【０００８】また、本発明の請求項３の発明にかかる投
影系は、例えば図７〜図９に示す如く、単一の硝材によ
って構成されるものである。

【０００９】また、本発明の請求項４の発明にかかる投
影系は、例えば図４〜図９に示す如く、縮小系で構成さ
れるものである。

【００１０】また、本発明の請求項５の発明にかかる投
影系は、例えば図９に示す如く、両側テレセントリック
に構成されるものである。また、本発明の請求項６に
は、前記マスク上に描かれた所定のパターンの像を、請
求項１〜５の何れかの投影系を用いて基板上に投影する
投影露光法である。

【００１１】また、本発明の第９の態様は、例えば図７
〜図９に示す如く、上記第１〜第８の何れかの態様にお
いて、前記投影系は単一の硝材によって構成されるもの
である。また、本発明の第１０の態様は、例えば図９に
示す如く、上記第１〜第９の何れかの態様において、前
記投影系は両側テレセントリックに構成されるものであ
る。

【００１２】また、本発明の第１１の態様は、前記マス
ク上に描かれた所定のパターンの像を、第１〜第１０の
何れかの態様の投影系を用いて基板上に投影する投影露
光法である。また、本発明の第１２の態様は、第１１の
態様において、３６５ｎｍの波長を持つ光または２４８
ｎｍの波長を持つ光を用いて前記マスク上に描かれた所
定のパターンの像を前記基板上へ投影するものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】 本発明に係わる投影レンズ系
は、互いに凹面を向かい合わせたレンズより構成された
レンズ群を少なくとも２組持ち、この２組のレンズ群の
間に正の屈折力を持つレンズ面を少なくとも１つ備えた
ことを特徴とするものである。以下、本発明について説
明する。

【００１４】高い解像力と広い露光領域とを同時に確保
するためには、像面湾曲をほぼ完全に補正しなければな
らない。像面湾曲とペッツバール和は良く知られている
ように深い関係があり、ペッツバール和を小さくすると
像面湾曲も小さくなり、広い露光領域を確保することが
できる。ペッツバール和を補正する手段として凹面を向
かい合わせたレンズ構成を用いることは知られている
が、この構成を１つだけ用いたのではペッツバール和を
補正することは難しい。その理由は、向き合った凹面の
負の屈折力を強くすることでペッツバール和は小さくな
るが、あまりに凹面が強くなり過ぎるとこの凹面で発生
するコマ収差が大きくなり、他の面で補正できなくなっ
てしまうからである。

【００１５】そこで、この向かい合った凹面を持つレン
ズ群を２組用いることが考えられるが、単にこの構成を
並べただけでは凹面による光線の発散作用を持ったレン
ズ群のみがレンズ系の一部に集まってしまうため、全系
の屈折力を所定の値にするためにこの凹面の負の屈折力
を弱くせざるを得なくなる。つまり、ペッツバール和を
小さくする作用を持った向かい合った凹面は増えるが各
凹面での補正作用が弱くなってしまうため、結局ペッツ
バール和が小さくならない。

【００１６】そこで、本発明では向かい合った凹面で構
成された２組のレンズ群を有効にペッツバール和の補正
に寄与させるために、この２組のレンズ群の間に少なく
とも１つの正の屈折力を持ったレンズ面を配置するよう
にした。この正の屈折力のレンズ面を設けることにより
その前後に配置される２組の向かい合った凹面を持った
レンズ群の各凹面がペッツバール和とコマ収差に対して
適切な屈折力を持つことができるのである。

【００１７】ここでいう適切な負の屈折力とは、以下の
条件を満足するものである。 （１）１／Ｌ＜｜φ1 ｜＜20／Ｌ （２）１／Ｌ＜｜φ2 ｜＜20／Ｌ 但し、φ1 ，φ2 は向かい合った凹面の各々の負の屈折
力、Ｌは物像間距離である。

【００１８】これらの条件の上限を越えると凹面の負の
屈折力が弱くなり過ぎてペッツバール和が補正不足とな
り、像面湾曲が残ってしまい、広い露光領域を得ること
が難しくなる。また、下限を越えると負の屈折力が強く
なり過ぎてペッツバール和は補正できるが、コマ収差の
発生が過大となり他の面による補正が難しくなる。さら
に、基板の平面度によって部分的な像歪が発生しないよ
うに、射出瞳を無限遠に近くなるようにして、いわゆる
テレセントリックな光学系とすることが望ましい。本発
明では像側の射出瞳を無限遠に近くするため、向かい合
った凹面により構成された２組のレンズ群の像側に正レ
ンズ群を配置している。これはレンズ系中にある射出瞳
をこの正レンズ群により無限遠に結像するための構成で
ある。

【００１９】図１は第１実施例のレンズ配置を示す断面
図である。この実施例では第２面Ｒ２と第５面Ｒ５、及
び第16面Ｒ16と第17面Ｒ17（図中φ1 ，φ2 と記載）が
互いに向かい合った凹面を構成している。第２面Ｒ２と
第５面Ｒ５の間にはパワーの緩いレンズが含まれている
が、本発明における「凹面を向かい合わせたレンズ群」
は間に簡単な構成のレンズ成分を含むこともある。この
レンズ系は１／２倍の縮小投影レンズである。

【００２０】図２は第２実施例のレンズ配置を示す断面
図である。この実施例では第５面Ｒ５と第８面Ｒ８、お
よび第17面Ｒ17と第18面Ｒ18が互いに向かい合った凹面
を構成している。このレンズ系も１／２倍の縮小投影レ
ンズである。図３は第３実施例のレンズ配置を示す断面
図である。この実施例では第５面Ｒ５と第８面Ｒ８、お
よび第17面Ｒ17と第20面Ｒ20が互いに向かい合った凹面
を構成している。このレンズ系は等倍の投影レンズであ
る。

【００２１】これらの実施例の特徴は、向き合った凹面
で構成された２組のレンズ群の間に、少なくとも２枚の
正の屈折力のレンズを有する正の屈折力のレンズ群を有
し、この合成焦点距離をｆ、全系の物像間距離をＬとす
るとき、 （３）ｆ＜Ｌ／４ なる条件を満足するようにしたことである。この条件
は、正の屈折力のレンズ群が、ある程度以上の屈折力を
持たないと良好な収差補正が難しいことを示している。
向かい合った凹面で構成された各レンズ群は、強い負の
屈折力を持っているので、この負レンズ群に挟まれた正
の屈折力のレンズ群は、マージナル光線高が高くなる位
置に置かれることになる。マージナル光線高が高い所の
レンズほどレンズ全系の焦点距離に影響を与えるので、
全系の屈折力はこの正の屈折力のレンズ群が受け持つこ
とになる。そこで、この正の屈折力を持ったレンズ群の
正の屈折力が条件を外れて弱くなると、向かい合った凹
面で構成された２組のレンズ群の凹面の屈折力を強く出
来ないので、ペッツバール和を小さくすることができな
くなる。

【００２２】また、これらの例では、像側をテレセント
リックな構成にするために向き合った凹面で構成された
レンズ群の像側に設けたレンズ群が、少なくとも３枚の
正の屈折力を持ったレンズと少なくとも１枚の負の屈折
力を持ったレンズを含んでいる。この正レンズと負レン
ズはレンズ系中にある瞳を無限遠に結像するときの球面
収差を良好に補正するために必要である。この群が例え
ば、１枚の単レンズなどの場合は、瞳の球面収差が良好
に補正出来ずに、像高によって射出主光線の傾角が大き
くなり、焦点深度内で像面が前後した場合に像歪が大き
く変化してしまう。

【００２３】図４は第４実施例のレンズ配置を示す断面
図である。この実施例では第７面Ｒ７と第８面Ｒ８、お
よび第13面Ｒ13と第14面Ｒ14が互いに向かい合った凹面
を構成している。図５は第５実施例のレンズ配置を示す
断面図である。この実施例では第10面Ｒ10と第11面Ｒ1
1、および第16面Ｒ16と第17面Ｒ17が互いに向かい合っ
た凹面を構成している。

【００２４】図６は第６実施例のレンズ配置を示す断面
図である。この実施例では第13面Ｒ13と第16面Ｒ14、お
よび第19面Ｒ19と第20面Ｒ20が互いに向かい合った凹面
を構成している。図７は第７実施例のレンズ配置を示す
断面図である。この実施例では第14面Ｒ14と第15面Ｒ1
5、および第24面Ｒ24と第25面Ｒ25が互いに向かい合っ
た凹面を構成している。

【００２５】図８は第８実施例のレンズ配置を示す断面
図である。この実施例では第14面Ｒ14と第15面Ｒ15面Ｒ
15、および第24面Ｒ24と第25面Ｒ25が互いに向かい合っ
た凹面を構成している。図９は第９実施例のレンズ配置
を示す断面図である。この実施例では第10面Ｒ10と第11
面Ｒ11、第16面Ｒ16と第17面Ｒ17、および第26面Ｒ26と
第27面Ｒ27が互いに向かい合った凹面を構成している。

【００２６】第４実施例ないし第９実施例はいずれも１
／５倍の縮小投影レンズである。１／５倍の縮小系で
は、レンズの像側主点は第１実施例ないし第３実施例に
比べて像側に近づいてくる。このために向かい合った凹
面で構成された２組のレンズ群の間に全レンズ系の主力
となる正の屈折力を持った正レンズ群をを持って来る
と、像側をテレセントリックな構成にするための正レン
ズ群を配置する空間がなくなってしまう。そこで、これ
らの実施例においては、前記のレンズ系の主力となる正
レンズ群の物体側に向かい合った凹面で構成された２組
のレンズ群を配置した。

【００２７】また、像側の開口数（NA）を0.4 以上にす
るために、上記主力となる正レンズ群を少なくとも４枚
の正の屈折力を持つレンズで構成した。これにより、主
力となる正レンズ群により発生する球面収差を他のレン
ズで補正可能な量としている。さらに、ペッツバール和
をより一層良好に補正するため、向かい合った凹面で構
成された２組のレンズ群の像側に、像側に凹面を向けた
負の屈折力を持った面を設けた。この負の屈折力をφ3
、物像間距離をＬとすると （４）１／Ｌ＜｜φ3 ｜＜20／Ｌ なる条件を満足することによって十分なペッツバール和
となり、広い露光領域が確保出来る。上限と下限の意味
は、条件（１）と同様である。更に、向かい合った凹面
で構成された２組のレンズ群の凹面の屈折力を適切な値
とし、かつコマ収差の発生を他のレンズ群で補正可能な
量とするために、前記２組のレンズ群の物体側に少なく
とも２枚の正の屈折力を有するレンズ群を配置してい
る。この正の屈折力を持ったレンズ群により、物体側の
向かい合った凹面に入射するときの軸外光線の光線高を
低くすることが可能となる。光線高が低いと、向かい合
った凹面の曲率半径を小さくして屈折力を大きくして
も、軸外従属光線の上側光線と下側光線の凹面に入射す
る角度の差が少なくなり、コマ収差の発生が少なくな
る。

【００２８】なお、第９実施例では、向かい合った凹面
により構成されたレンズ群を３組配置することによって
ペッツバール和をさらに小さくしている。また、第７実
施例から第９実施例はレーザー等の非常に波長幅のせま
い単色の光源用のもので、単一硝材によって構成されて
いる。これらの実施例では、像側開口数（NA）を0.45以
上の大きな値にするために、向かい合った凹面により構
成された２組のレンズ群の物体側に配置した少なくとも
２枚の正の屈折力を有するレンズ群のさらに物体側に、
少なくとも１枚の負の屈折力を有するレンズ群を配置し
た。これは前記物体側の少なくとも２枚の正の屈折力を
有するレンズ群で発生するコマフレアーを補正するため
のものである。更に、向かい合った凹面により構成され
た２組のレンズ群の間のレンズ群の正の屈折力を強くし
て向かい合った凹面の屈折力を適切なものとしている。

【００２９】第９実施例は、入射瞳を無限遠にした両側
テレセントリックな投影レンズとなっている。

【００３０】

【実施例】 以下の表１〜表９に各実施例のデータを示
す。

【００３１】

【表１】第１実施例 ｆ＝211.48 NA＝0.2 IH＝37.5 Ｌ＝1000 OB＝363.015 SK＝18.185 λ＝436nm Ｒ１＝290.079 Ｄ１＝17.500 Ｎ１＝1.69299 Ｒ２＝138.498 Ｄ２＝8.846 Ｒ３＝507.317 Ｄ３＝17.500 Ｎ２＝1.71756 Ｒ４＝ ∞ Ｄ４＝21.215 Ｒ５＝-129.056 Ｄ５＝41.301 Ｎ３＝1.59953 Ｒ６＝239.801 Ｄ６＝39.464 Ｎ４＝1.52613 Ｒ７＝-201.485 Ｄ７＝12.896 Ｒ８＝ ∞ Ｄ８＝22.500 Ｎ５＝1.52613 Ｒ９＝-394.840 Ｄ９＝1.250 Ｒ10＝292.481 Ｄ10＝25.000 Ｎ６＝1.52613 Ｒ11＝-610.192 Ｄ11＝1.250 Ｒ12＝250.061 Ｄ12＝27.500 Ｎ７＝1.52613 Ｒ13＝-746.631 Ｄ13＝35.913 Ｒ14＝165.337 Ｄ14＝39.178 Ｎ８＝1.52613 Ｒ15＝-178.430 Ｄ15＝13.750 Ｎ９＝1.59953 Ｒ16＝103.371 Ｄ16＝99.911 Ｒ17＝-97.752 Ｄ17＝10.000 Ｎ10＝1.54529 Ｒ18＝343.137 Ｄ18＝13.691 Ｒ19＝-341.327 Ｄ19＝18.750 Ｎ11＝1.71221 Ｒ20＝-155.958 Ｄ20＝35.863 Ｒ21＝132.625 Ｄ21＝27.500 Ｎ12＝1.52613 Ｒ22＝ ∞ Ｄ22＝1.250 Ｒ23＝239.402 Ｄ23＝20.000 Ｎ13＝1.61529 Ｒ24＝ ∞ Ｄ24＝1.250 Ｒ25＝219.047 Ｄ25＝48.519 Ｎ14＝1.61529 Ｒ26＝ ∞ Ｄ26＝7.014 Ｒ27＝-234.923 Ｄ27＝10.000 Ｎ15＝1.71756 Ｒ28＝259.518 φ1 （Ｒ２）＝-0.005 ，φ2 （Ｒ５）＝-0.0046 φ1 （Ｒ16）＝-0.0058 ，φ2 （Ｒ17）＝-0.0056

【００３２】

【表２】第２実施例 ｆ＝215.03 NA＝0.18 IH＝50 Ｌ＝1000 OB＝336.094 SK＝15.000 λ＝436nm Ｒ１＝427.197 Ｄ１＝15.000 Ｎ１＝1.57082 Ｒ２＝147.578 Ｄ２＝19.888 Ｎ２＝1.62364 Ｒ３＝ ∞ Ｄ３＝3.750 Ｒ４＝156.400 Ｄ４＝15.000 Ｎ３＝1.62364 Ｒ５＝95.679 Ｄ５＝23.118 Ｒ６＝-103.846 Ｄ６＝15.000 Ｎ４＝1.61529 Ｒ７＝-90.413 Ｄ７＝9.643 Ｒ８＝-83.274 Ｄ８＝27.219 Ｎ５＝1.59953 Ｒ９＝426.489 Ｄ９＝43.157 Ｎ６＝1.52613 Ｒ10＝-159.199 Ｄ10＝44.347 Ｒ11＝825.646 Ｄ11＝22.442 Ｎ７＝1.63619 Ｒ12＝-282.360 Ｄ12＝1.250 Ｒ13＝227.045 Ｄ13＝31.218 Ｎ８＝1.61529 Ｒ14＝-749.008 Ｄ14＝43.166 Ｒ15＝184.718 Ｄ15＝30.140 Ｎ９＝1.52613 Ｒ16＝-227.718 Ｄ16＝15.000 Ｎ10＝1.66362 Ｒ17＝133.563 Ｄ17＝121.146 Ｒ18＝-101.157 Ｄ18＝15.000 Ｎ11＝1.58406 Ｒ19＝875.000 Ｄ19＝8.592 Ｒ20＝-475.291 Ｄ20＝20.000 Ｎ12＝1.71221 Ｒ21＝-214.958 Ｄ21＝1.250 Ｒ22＝167.754 Ｄ22＝33.383 Ｎ13＝1.54529 Ｒ23＝-449.144 Ｄ23＝1.250 Ｒ24＝490.443 Ｄ24＝21.250 Ｎ14＝1.71221 Ｒ25＝-847.568 Ｄ25＝1.250 Ｒ26＝269.443 Ｄ26＝20.000 Ｎ15＝1.71221 Ｒ27＝ ∞ Ｄ27＝7.338 Ｒ28＝-386.590 Ｄ28＝15.000 Ｎ16＝1.52613 Ｒ29＝875.000 Ｄ29＝11.610 Ｒ30＝-208.684 Ｄ30＝12.500 Ｎ17＝1.52613 Ｒ31＝ ∞ φ1 （Ｒ５）＝-0.0065 ，φ2 （Ｒ８）＝-0.0072 φ1 （Ｒ17）＝-0.005 ，φ2 （Ｒ18）＝-0.0058

【００３３】

【表３】第３実施例 ｆ＝310.93 NA＝0.1 IH＝88 Ｌ＝1000 OB＝280.813 SK＝15.00 λ＝436nm Ｒ１＝292.620 Ｄ１＝18.881 Ｎ１＝1.57082 Ｒ２＝-159.166 Ｄ２＝15.000 Ｎ２＝1.62364 Ｒ３＝-1869.713 Ｄ３＝1.250 Ｒ４＝114.734 Ｄ４＝15.000 Ｎ３＝1.62364 Ｒ５＝81.531 Ｄ５＝19.319 Ｒ６＝-89.379 Ｄ６＝28.913 Ｎ４＝1.61529 Ｒ７＝-87.779 Ｄ７＝14.214 Ｒ８＝-79.176 Ｄ８＝15.000 Ｎ５＝1.59953 Ｒ９＝-87.304 Ｄ９＝21.379 Ｎ６＝1.52613 Ｒ10＝-150.014 Ｄ10＝33.438 Ｒ11＝712.082 Ｄ11＝24.950 Ｎ７＝1.63619 Ｒ12＝-289.529 Ｄ12＝1.946 Ｒ13＝321.409 Ｄ13＝31.268 Ｎ８＝1.61529 Ｒ14＝-318.064 Ｄ14＝26.097 Ｒ15＝194.500 Ｄ15＝39.408 Ｎ９＝1.52613 Ｒ16＝-161.670 Ｄ16＝15.251 Ｎ10＝1.66362 Ｒ17＝133.903 Ｄ17＝131.310 Ｒ18＝-113.561 Ｄ18＝15.000 Ｎ11＝1.58406 Ｒ19＝-175.912 Ｄ19＝35.716 Ｒ20＝-122.171 Ｄ20＝15.000 Ｎ12＝1.71221 Ｒ21＝-232.823 Ｄ21＝42.036 Ｒ22＝778.470 Ｄ22＝31.449 Ｎ13＝1.54529 Ｒ23＝-356.749 Ｄ23＝1.250 Ｒ24＝1086.864 Ｄ24＝27.302 Ｎ14＝1.71221 Ｒ25＝-450.133 Ｄ25＝1.250 Ｒ26＝489.065 Ｄ26＝30.751 Ｎ15＝1.71221 Ｒ27＝-488.224 Ｄ27＝4.415 Ｒ28＝-402.456 Ｄ28＝15.000 Ｎ16＝1.52613 Ｒ29＝486.544 Ｄ29＝19.965 Ｒ30＝-461.652 Ｄ30＝12.500 Ｎ17＝1.52613 Ｒ31＝ ∞ φ1 （Ｒ５）＝-0.0076 ，φ2 （Ｒ８）＝-0.0076 φ1 （Ｒ17）＝-0.00495，φ2 （Ｒ20）＝-0.0058

【００３４】

【表４】第４実施例 ｆ＝131.35 NA＝0.42 IH＝17.6 Ｌ＝1000 OB＝233.494 SK＝19.762 λ＝365nm Ｒ１＝ ∞ Ｄ１＝25.014 Ｎ１＝1.66650 Ｒ２＝-540.172 Ｄ２＝0.502 Ｒ３＝314.013 Ｄ３＝23.561 Ｎ２＝1.53607 Ｒ４＝-1052.536 Ｄ４＝0.500 Ｒ５＝141.696 Ｄ５＝28.894 Ｎ３＝1.66650 Ｒ６＝250.725 Ｄ６＝16.200 Ｎ４＝1.62747 Ｒ７＝82.055 Ｄ７＝23.237 Ｒ８＝-248.492 Ｄ８＝9.743 Ｎ５＝1.53607 Ｒ９＝155.078 Ｄ９＝42.165 Ｒ10＝1411.311 Ｄ10＝43.265 Ｎ６＝1.53607 Ｒ11＝-197.018 Ｄ11＝0.720 Ｒ12＝1887.223 Ｄ12＝9.992 Ｎ７＝1.53607 Ｒ13＝128.923 Ｄ13＝26.295 Ｒ14＝-83.854 Ｄ14＝29.985 Ｎ８＝1.63595 Ｒ15＝179.127 Ｄ15＝52.329 Ｎ９＝1.53607 Ｒ16＝-153.936 Ｄ16＝12.067 Ｒ17＝-405.392 Ｄ17＝21.223 Ｎ10＝1.53607 Ｒ18＝-236.191 Ｄ18＝0.166 Ｒ19＝487.323 Ｄ19＝26.099 Ｎ11＝1.53607 Ｒ20＝-468.313 Ｄ20＝39.652 Ｒ21＝304.311 Ｄ21＝33.362 Ｎ12＝1.53607 Ｒ22＝-716.692 Ｄ22＝0.627 Ｒ23＝230.393 Ｄ23＝30.350 Ｎ13＝1.53607 Ｒ24＝-1013.566 Ｄ24＝2.491 Ｒ25＝129.171 Ｄ25＝45.421 Ｎ14＝1.53607 Ｒ26＝-265.302 Ｄ26＝10.087 Ｎ15＝1.61936 Ｒ27＝80.350 Ｄ27＝46.038 Ｒ28＝-127.941 Ｄ28＝9.788 Ｎ16＝1.62757 Ｒ29＝151.523 Ｄ29＝5.853 Ｒ30＝409.679 Ｄ30＝32.322 Ｎ17＝1.53607 Ｒ31＝-196.968 Ｄ31＝3.703 Ｒ32＝87.936 Ｄ32＝49.116 Ｎ18＝1.53607 Ｒ33＝-552.433 Ｄ33＝0.642 Ｒ34＝88.909 Ｄ34＝31.195 Ｎ19＝1.53607 Ｒ35＝ ∞ Ｄ35＝3.982 Ｒ36＝-171.383 Ｄ36＝10.117 Ｎ20＝1.66651 Ｒ37＝ ∞ φ1 （Ｒ７）＝-0.0077 ，φ2 （Ｒ８）＝-0.0022 φ1 （Ｒ13）＝-0.0042 ，φ2 （Ｒ14）＝-0.0080 φ3 （Ｒ27）＝-0.0077 ，

【００３５】

【表５】第５実施例 ｆ＝125.51 NA＝0.55 IH＝17.8 Ｌ＝1000 OB＝209.791 SK＝15.000 λ＝365nm Ｒ１＝-160.871 Ｄ１＝12.500 Ｎ１＝1.53577 Ｒ２＝-3042.237 Ｄ２＝37.543 Ｎ２＝1.68816 Ｒ３＝-276.972 Ｄ３＝1.250 Ｒ４＝924.249 Ｄ４＝26.108 Ｎ３＝1.70826 Ｒ５＝-517.336 Ｄ５＝1.250 Ｒ６＝360.906 Ｄ６＝27.247 Ｎ４＝1.70826 Ｒ７＝-1284.981 Ｄ７＝1.250 Ｒ８＝291.736 Ｄ８＝51.175 Ｎ５＝1.64177 Ｒ９＝-123.680 Ｄ９＝22.935 Ｎ６＝1.64035 Ｒ10＝75.015 Ｄ10＝31.102 Ｒ11＝-136.141 Ｄ11＝12.500 Ｎ７＝1.53577 Ｒ12＝198.932 Ｄ12＝1.250 Ｒ13＝158.713 Ｄ13＝75.896 Ｎ８＝1.69377 Ｒ14＝-135.199 Ｄ14＝4.396 Ｒ15＝-108.358 Ｄ15＝12.500 Ｎ９＝1.55881 Ｒ16＝174.685 Ｄ16＝33.885 Ｒ17＝-80.542Ｄ17＝12.500 Ｎ10＝1.66640 Ｒ18＝1057.599 Ｄ18＝43.876 Ｎ11＝1.53577 Ｒ19＝-136.636 Ｄ19＝1.250 Ｒ20＝-350.875 Ｄ20＝26.069 Ｎ12＝1.65599 Ｒ21＝-195.286 Ｄ21＝1.250 Ｒ22＝1984.422 Ｄ22＝38.999 Ｎ13＝1.60189 Ｒ23＝-258.154 Ｄ23＝1.250 Ｒ24＝361.244 Ｄ24＝34.469 Ｎ14＝1.67717 Ｒ25＝-1057.393 Ｄ25＝1.250 Ｒ26＝196.491 Ｄ26＝35.213 Ｎ15＝1.60763 Ｒ27＝1206.640 Ｄ27＝1.250 Ｒ28＝137.471 Ｄ28＝54.194 Ｎ16＝1.53577 Ｒ29＝-609.635 Ｄ29＝12.500 Ｎ16＝1.67508 Ｒ30＝90.424 Ｄ30＝18.571 Ｒ31＝11044.575 Ｄ31＝12.500 Ｎ18＝1.66640 Ｒ32＝98.328 Ｄ32＝12.241 Ｒ33＝592.755 Ｄ33＝17.335 Ｎ19＝1.70826 Ｒ34＝-435.824 Ｄ34＝1.250 Ｒ35＝95.932 Ｄ35＝73.213 Ｎ20＝1.62930 Ｒ36＝124.190 Ｄ36＝1.250 Ｒ37＝58.297 Ｄ37＝21.991 Ｎ21＝1.57066 Ｒ38＝ ∞ φ1 （Ｒ10）＝-0.0085 ，φ2 （Ｒ11）＝-0.0039 φ1 （Ｒ16）＝-0.0032 ，φ2 （Ｒ17）＝-0.0081 φ3 （Ｒ30）＝-0.0075 ，

【００３６】

【表６】第６実施例 ｆ＝125.49 NA＝0.45 IH＝20.8 Ｌ＝1000 OB＝49.834 SK＝6.644 λ＝365nm Ｒ１＝168.112 Ｄ１＝65.605 Ｎ１＝1.62743 Ｒ２＝887.936 Ｄ２＝3.384 Ｒ３＝1461.620 Ｄ３＝13.289 Ｎ２＝1.64868 Ｒ４＝137.202 Ｄ４＝32.228 Ｒ５＝-467.702 Ｄ５＝13.289 Ｎ３＝1.58675 Ｒ６＝314.339 Ｄ６＝38.655 Ｒ７＝564.420 Ｄ７＝29.068 Ｎ４＝1.66640 Ｒ８＝-333.913 Ｄ８＝0.168 Ｒ９＝290.824 Ｄ９＝25.751 Ｎ５＝1.66640 Ｒ10＝-1710.394 Ｄ10＝0.166 Ｒ11＝144.337 Ｄ11＝26.999 Ｎ６＝1.66640 Ｒ12＝424.669 Ｄ12＝13.289 Ｎ７＝1.62743 Ｒ13＝80.696 Ｄ13＝25.985 Ｒ14＝-1722.441 Ｄ14＝13.289 Ｎ８＝1.53577 Ｒ15＝278.635 Ｄ15＝27.968 Ｒ16＝-202.476 Ｄ16＝30.050 Ｎ９＝1.53577 Ｒ17＝-140.629 Ｄ17＝0.532 Ｒ18＝-363.277 Ｄ18＝13.289 Ｎ10＝1.62743 Ｒ19＝218.903 Ｄ19＝29.504Ｒ20＝-83.243 Ｄ20＝13.289 Ｎ11＝1.66640 Ｒ21＝283.755 Ｄ21＝54.746 Ｎ12＝1.53577 Ｒ22＝-148.014 Ｄ22＝0.238 Ｒ23＝-1124.876 Ｄ23＝22.658 Ｎ13＝1.53577 Ｒ24＝-318.918 Ｄ24＝0.166 Ｒ25＝-1458.495 Ｄ25＝24.222 Ｎ14＝1.53577 Ｒ26＝-330.471 Ｄ26＝0.166 Ｒ27＝755.829 Ｄ27＝36.611 Ｎ15＝1.62743 Ｒ28＝-278.914 Ｄ28＝0.166 Ｒ29＝255.070 Ｄ29＝29.666 Ｎ16＝1.62743 Ｒ30＝5559.544 Ｄ30＝0.252 Ｒ31＝142.643 Ｄ31＝73.127 Ｎ17＝1.53577 Ｒ32＝-338.766 Ｄ32＝13.289 Ｎ18＝1.63609 Ｒ33＝83.174 Ｄ33＝19.323 Ｒ34＝-230.675 Ｄ34＝13.289 Ｎ19＝1.63609 Ｒ35＝165.095 Ｄ35＝6.212 Ｒ36＝966.343 Ｄ36＝46.467 Ｎ20＝1.66645 Ｒ37＝-306.352 Ｄ37＝0.166 Ｒ38＝153.907 Ｄ38＝90.916 Ｎ21＝1.62743 Ｒ39＝384.718 Ｄ39＝0.166 Ｒ40＝95.792 Ｄ40＝26.859 Ｎ22＝1.53577 Ｒ41＝ ∞ Ｄ41＝0.166 Ｒ42＝98.954 Ｄ42＝51.658 Ｎ23＝1.61935 Ｒ43＝926.333 Ｄ43＝3.877 Ｒ44＝-272.350 Ｄ44＝13.289 Ｎ24＝1.66640 Ｒ45＝ ∞ φ1 （Ｒ13）＝-0.0078 ，φ2 （Ｒ16）＝-0.0027 φ1 （Ｒ19）＝-0.0029 ，φ2 （Ｒ20）＝-0.0080 φ3 （Ｒ33）＝-0.0077 ，

【００３７】

【表７】第７実施例 ｆ＝92.56 NA＝0.48 IH＝18.1 Ｌ＝1000 OB＝150.000 SK＝15.046 λ＝248nm Ｒ１＝1439.092 Ｄ１＝13.876 Ｎ１＝1.50838 Ｒ２＝-960.360 Ｄ２＝0.125 Ｒ３＝666.083 Ｄ３＝12.500 Ｎ２＝1.50838 Ｒ４＝182.084 Ｄ４＝14.112 Ｒ５＝1896.200 Ｄ５＝12.500 Ｎ３＝1.50838 Ｒ６＝212.178 Ｄ６＝66.696 Ｒ７＝383.213 Ｄ７＝26.225 Ｎ４＝1.50838 Ｒ８＝-405.603 Ｄ８＝0.125 Ｒ９＝278.896 Ｄ９＝25.759 Ｎ５＝1.50838 Ｒ10＝-671.954 Ｄ10＝0.125 Ｒ11＝212.136 Ｄ11＝33.976 Ｎ６＝1.50838 Ｒ12＝-543.385 Ｄ12＝0.125 Ｒ13＝2010.730 Ｄ13＝12.500 Ｎ７＝1.50838 Ｒ14＝84.549 Ｄ14＝33.039 Ｒ15＝-124.255 Ｄ15＝12.500 Ｎ８＝1.50838 Ｒ16＝152.113 Ｄ16＝19.745 Ｒ17＝1275.450 Ｄ17＝13.050 Ｎ９＝1.50838 Ｒ18＝-627.003 Ｄ18＝15.823 Ｒ19＝732.677 Ｄ19＝17.262 Ｎ10＝1.50838 Ｒ18＝-627.003 Ｄ18＝15.823 Ｒ19＝732.677 Ｄ19＝17.262 Ｎ10＝1.50838 Ｒ20＝-393.765 Ｄ20＝0.125 Ｒ21＝449.220 Ｄ21＝26.819 Ｎ11＝1.50838 Ｒ22＝-178.779 Ｄ22＝53.499 Ｒ23＝365.033 Ｄ23＝12.500 Ｎ12＝1.50838 Ｒ24＝118.635 Ｄ24＝25.300 Ｒ25＝-99.983 Ｄ25＝38.782 Ｎ13＝1.50838 Ｒ26＝1359.503 Ｄ26＝37.528 Ｒ27＝-922.878 Ｄ27＝40.110 Ｎ14＝1.50838 Ｒ28＝-201.836 Ｄ28＝0.125 Ｒ29＝1275.499 Ｄ29＝29.638 Ｎ15＝1.50838 Ｒ30＝-257.024 Ｄ30＝0.125 Ｒ31＝326.989 Ｄ31＝30.482 Ｎ16＝1.50838 Ｒ32＝-661.938 Ｄ32＝0.125 Ｒ33＝177.265 Ｄ33＝26.480 Ｎ17＝1.50838 Ｒ34＝500.907 Ｄ34＝0.125 Ｒ35＝121.991 Ｄ35＝61.152 Ｎ18＝1.50838 Ｒ36＝70.628 Ｄ36＝26.894 Ｒ37＝-1299.508 Ｄ37＝12.500 Ｎ19＝1.50838 Ｒ38＝2084.322 Ｄ38＝0.125 Ｒ39＝60.854 Ｄ39＝14.152 Ｎ20＝1.50838 Ｒ40＝62.437 Ｄ40＝11.022 Ｒ41＝134.373 Ｄ41＝27.397 Ｎ21＝1.50838 Ｒ42＝133.048 Ｄ42＝0.125 Ｒ43＝68.073 Ｄ43＝16.337 Ｎ22＝1.50838 Ｒ44＝356.069 Ｄ44＝3.427 Ｒ45＝-286.670 Ｄ45＝10.000 Ｎ23＝1.50838 Ｒ46＝7501.444 φ1 （Ｒ14）＝-0.0060 ，φ2 （Ｒ15）＝-0.0041 φ1 （Ｒ24）＝-0.0043 ，φ2 （Ｒ25）＝-0.0051 φ3 （Ｒ36）＝-0.0072 ，

【００３８】

【表８】第８実施例 ｆ＝91.09 NA＝0.48 IH＝18.1 Ｌ＝1000 OB＝136.341 SK＝14.812 λ＝248nm Ｒ１＝1332.715 Ｄ１＝19.816 Ｎ１＝1.50838 Ｒ２＝-565.038 Ｄ２＝0.125 Ｒ３＝1213.556 Ｄ３＝12.500 Ｎ２＝1.50838 Ｒ４＝178.094 Ｄ４＝17.614 Ｒ５＝1737.407 Ｄ５＝12.500 Ｎ３＝1.50838 Ｒ６＝217.577 Ｄ６＝68.375 Ｒ７＝398.868 Ｄ７＝27.700 Ｎ４＝1.50838 Ｒ８＝-414.411 Ｄ８＝0.125 Ｒ９＝273.365 Ｄ９＝24.060 Ｎ５＝1.50838 Ｒ10＝-694.657 Ｄ10＝0.125 Ｒ11＝214.700 Ｄ11＝32.882 Ｎ６＝1.50838 Ｒ12＝-521.898 Ｄ12＝1.060 Ｒ13＝3636.652 Ｄ13＝12.500 Ｎ７＝1.50838 Ｒ14＝85.823 Ｄ14＝31.825 Ｒ15＝-124.767 Ｄ15＝12.500 Ｎ８＝1.50838 Ｒ16＝151.401 Ｄ16＝19.805 Ｒ17＝1233.963 Ｄ17＝13.092 Ｎ９＝1.50838 Ｒ18＝-631.567 Ｄ18＝15.843 Ｒ19＝703.428 Ｄ19＝17.030 Ｎ10＝1.50838 Ｒ20＝-402.530 Ｄ20＝0.125 Ｒ21＝442.276 Ｄ21＝29.028 Ｎ11＝1.50838 Ｒ22＝-180.319 Ｄ22＝52.693 Ｒ23＝362.711 Ｄ23＝12.500 Ｎ12＝1.50838 Ｒ24＝118.168 Ｄ24＝25.749 Ｒ25＝-100.287 Ｄ25＝38.227 Ｎ13＝1.50838 Ｒ26＝1003.801 Ｄ26＝37.669 Ｒ27＝-1240.566 Ｄ27＝40.379 Ｎ14＝1.50838 Ｒ28＝-203.209 Ｄ28＝0.404 Ｒ29＝1276.499 Ｄ29＝30.364 Ｎ15＝1.50838 Ｒ30＝-257.384 Ｄ30＝0.125 Ｒ31＝321.056 Ｄ31＝29.361 Ｎ16＝1.50838 Ｒ32＝-691.355 Ｄ32＝0.125 Ｒ33＝172.662 Ｄ33＝30.058 Ｎ17＝1.50838 Ｒ34＝466.284 Ｄ34＝0.125 Ｒ35＝119.054 Ｄ35＝55.556 Ｎ18＝1.50838 Ｒ36＝70.157 Ｄ36＝26.680 Ｒ37＝-1400.393 Ｄ37＝12.500 Ｎ19＝1.50838 Ｒ38＝1663.520 Ｄ38＝0.125 Ｒ39＝60.955 Ｄ39＝14.621 Ｎ20＝1.50838 Ｒ40＝62.656 Ｄ40＝11.601 Ｒ41＝137.312 Ｄ41＝28.753 Ｎ21＝1.50838 Ｒ42＝133.425 Ｄ42＝0.125 Ｒ43＝68.465 Ｄ43＝18.479 Ｎ22＝1.50838 Ｒ44＝434.028 Ｄ44＝2.997 Ｒ45＝-244.457 Ｄ45＝10.000 Ｎ23＝1.50838 Ｒ46＝-4672.849 Ｄ46＝14.812 φ1 （Ｒ14）＝-0.0059 ，φ2 （Ｒ15）＝-0.0041 φ1 （Ｒ24）＝-0.0043 ，φ2 （Ｒ25）＝-0.0051 φ3 （Ｒ36）＝-0.0073 ，

【００３９】

【表９】第９実施例 ｆ＝1301.98 NA＝0.48 IH＝14.5 Ｌ＝1000 OB＝163.364 SK＝12.420 λ＝248nm Ｒ１＝785.237 Ｄ１＝10.000 Ｎ１＝1.50838 Ｒ２＝226.496 Ｄ２＝35.207 Ｒ３＝338.103 Ｄ３＝33.119 Ｎ２＝1.50838 Ｒ４＝-427.697 Ｄ４＝0.100 Ｒ５＝220.682 Ｄ５＝32.878 Ｎ３＝1.50838 Ｒ６＝-1689.440 Ｄ６＝0.100 Ｒ７＝538.565 Ｄ７＝16.636 Ｎ４＝1.50838 Ｒ８＝-2998.116 Ｄ８＝42.310 Ｒ９＝1798.948 Ｄ９＝43.869 Ｎ５＝1.50838 Ｒ10＝86.594 Ｄ10＝28.437 Ｒ11＝-191.459 Ｄ11＝10.000 Ｎ６＝1.50838 Ｒ12＝-365.426 Ｄ12＝6.206 Ｒ13＝205.426 Ｄ13＝21.847 Ｎ７＝1.50838 Ｒ14＝-235.078 Ｄ14＝0.100 Ｒ15＝140.249 Ｄ15＝29.042 Ｎ８＝1.50838 Ｒ16＝71.962 Ｄ16＝23.223 Ｒ17＝-103.352 Ｄ17＝10.000 Ｎ９＝1.50838 Ｒ18＝291.836 Ｄ18＝21.563 Ｒ19＝-169.640 Ｄ19＝13.859 Ｎ10＝1.50838 Ｒ20＝-146.345 Ｄ20＝1.260 Ｒ21＝548.483 Ｄ21＝14.130 Ｎ11＝1.50838 Ｒ22＝-286.748 Ｄ22＝0.100 Ｒ23＝370.410 Ｄ23＝17.795 Ｎ12＝1.50838 Ｒ24＝-192.733 Ｄ24＝0.100 Ｒ25＝289.711 Ｄ25＝46.190 Ｎ13＝1.50838 Ｒ26＝98.188 Ｄ26＝23.251 Ｒ27＝-93.137 Ｄ27＝27.168 Ｎ14＝1.50838 Ｒ28＝696.410 Ｄ28＝35.100 Ｒ29＝-2198.585 Ｄ29＝41.200 Ｎ15＝1.50838 Ｒ30＝-183.512 Ｄ30＝5.455Ｒ31＝960.840 Ｄ31＝28.000 Ｎ16＝1.50838 Ｒ32＝-248.042 Ｄ32＝0.100 Ｒ33＝283.931 Ｄ33＝29.471 Ｎ17＝1.50838 Ｒ34＝-582.356 Ｄ34＝0.100 Ｒ35＝149.928 Ｄ35＝37.042 Ｎ18＝1.50838 Ｒ36＝467.490 Ｄ36＝0.481 Ｒ37＝97.951 Ｄ37＝50.000 Ｎ19＝1.50838 Ｒ38＝62.088 Ｄ38＝20.697 Ｒ39＝8857.666 Ｄ39＝10.000 Ｎ20＝1.50838 Ｒ40＝239.275 Ｄ40＝0.100 Ｒ41＝86.347 Ｄ41＝11.242 Ｎ21＝1.50838 Ｒ42＝117.960 Ｄ42＝0.100 Ｒ43＝96.904 Ｄ43＝19.741 Ｎ22＝1.50838 Ｒ44＝79.928 Ｄ44＝1.583 Ｒ45＝61.664Ｄ45＝14.024 Ｎ23＝1.50838 Ｒ46＝2778.127 Ｄ46＝2.290 Ｒ47＝-193.684 Ｄ47＝9.000 Ｎ24＝1.50838 Ｒ48＝543.831 φ1 （Ｒ10）＝-0.0058 ，φ2 （Ｒ11）＝-0.0027 φ1 （Ｒ16）＝-0.0036 ，φ2 （Ｒ17）＝-0.0071 φ1 （Ｒ26）＝-0.0052 ，φ2 （Ｒ27）＝-0.0055 φ3 （Ｒ38）＝-0.0082 ，

【００４０】各実施例において、Ｒは各面の曲率半径、
Ｄは面間隔、Ｎは屈折率である。また、ｆはレンズ系全
体の焦点距離、NAは像側開口数、IHは像高、Ｌは物像間
距離、OBは物体位置、SKは像位置、λは基準波長、φ
（Ｒ）はその面の屈折力である。第１実施例ないし第９
実施例の収差補正状態を図１０乃至図１８に示す。

【００４１】

【発明の効果】本発明によれば、広い露光領域とほぼ無
収差に近く補正された高い解像力を持った投影系を得る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例のレンズ配置を示す断面図

【図２】本発明の第２実施例のレンズ配置を示す断面図

【図３】本発明の第３実施例のレンズ配置を示す断面図

【図４】本発明の第４実施例のレンズ配置を示す断面図

【図５】本発明の第５実施例のレンズ配置を示す断面図

【図６】本発明の第６実施例のレンズ配置を示す断面図

【図７】本発明の第７実施例のレンズ配置を示す断面図

【図８】本発明の第８実施例のレンズ配置を示す断面図

【図９】本発明の第９実施例のレンズ配置を示す断面図

【図１０】第１実施例の収差曲線図

【図１１】第２実施例の収差曲線図

【図１２】第３実施例の収差曲線図

【図１３】第４実施例の収差曲線図

【図１４】第５実施例の収差曲線図

【図１５】第６実施例の収差曲線図

【図１６】第７実施例の収差曲線図

【図１７】第８実施例の収差曲線図

【図１８】第９実施例の収差曲線図

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−157412（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−28613（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−78416（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−129828（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−118115（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−155014（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−267513（ＪＰ，Ａ) 特許3041939（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02B 9/00 - 17/08 G02B 21/02 - 21/04 G02B 25/00 - 25/04

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】マスク上に描かれた所定のパターンの像を
   基板に投影する投影系において、 互いに凹面を向かい合わせたレンズの組をそれぞれ持つ
   少なくとも２組のレンズ群と； 該２組のレンズ群の間に配置されて正の屈折力を持つ少
   なくとも１つのレンズ面と； 射出瞳を無限遠に結像するための前記２組のレンズ群よ
   りも像側に配置された正レンズ群と， を有し、 前記正レンズ群は、少なくとも４枚の正の屈折力を持つ
   レンズ群で構成され、 前記２組のレンズ群中の前記向かい合った凹面のそれぞ
   れの負の屈折力をφ₁、φ₂ とし、前記投影系の物像間
   距離をＬとするとき、 前記２組のレンズ群がいずれも １／Ｌ＜｜φ₁ ｜＜20／Ｌ １／Ｌ＜｜φ₂ ｜＜20／Ｌ なる条件を満足し、 前記投影系は、さらに、前記２組のレンズ群の像側に、
   像側に凹面を向けた負の屈折力を持つ面を有し、 前記像側に凹面を向けた負の屈折力を持つ面の屈折力を
   φ₃ とするとき、前記像側に凹面を向けた負の屈折力を
   持つ面は、 １／Ｌ＜｜φ₃ ｜＜20／Ｌ の条件を満足することを特徴とする投影系。
2. 【請求項２】前記投影系は、互いに凹面を向かい合わせ
   たレンズの組を持つ第３組目のレンズ群を有することを
   特徴とする請求項１記載の投影系。
3. 【請求項３】前記投影系は、単一の硝材によって構成さ
   れることを特徴とする請求項１または２記載の投影系。
4. 【請求項４】前記投影系は、縮小系で構成されることを
   特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の投影系。
5. 【請求項５】前記投影系は、両側テレセントリックに構
   成されることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項
   記載の投影系。
6. 【請求項６】前記マスク上に描かれた所定のパターンの
   像を、請求項１乃至５の何れか一項記載の投影系を用い
   て基板上に投影することを特徴とする投影露光法。