JP3279392B2 - グリーンシート成形用セラミック泥漿物及びグリーンシート - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、グリーンシート成形
用セラミック泥漿物及びそれを用いて得られるグリーン
シートに関する。

【０００２】

【従来の技術】セラミック回路基板は、電子部品に広く
使用されている。この種のセラミック回路基板は、一般
に次のような工程を経て製造される。

【０００３】先ず、バインダー樹脂と可塑剤とを含有す
る溶液にセラミック粉末を加え、均一に混合し脱泡して
セラミック泥漿物を調製する。次いで、このセラミック
泥漿物を剥離性の支持体上に塗布し、これを加熱して乾
燥させた後、支持体から剥離してグリーンシートを得
る。

【０００４】そして、上記グリーンシートを所定の形状
に打ち抜き、その表面に所定の回路を印刷し、これを必
要に応じて複数枚積層して熱圧着し、これを高温で加熱
してバインダー樹脂を分解させ、さらに高温で加熱して
セラミック粉末を焼結させてセラミック回路基板を得
る。

【０００５】この種のグリーンシートには、ハンドリン
グ性を良くするために、柔軟性の良いものが要求され
る。このような性能を改善するするために、セラミック
泥漿物の調製に用いるバインダー樹脂として、水溶性或
いは有機溶剤溶解性（水不溶性）のポリビニルアセター
ル樹脂、例えばポリビニルブチラール樹脂を用いること
は知られている（例えば、特開平３−１９７５１１号公
報、特開平３−２００８０５号公報、特開平４−１７５
２６１号公報及び特開平４−１７８４０４号公報参
照）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】近年、電子機器の小型
化にともない、セラミック回路基板を小型大容量化する
ことが求められている。その方策として、従来のものに
比べてより微細な粒径のセラミック粉末（例えば粒径が
１μm 以下）を用いて得られる薄層のグリーンシート
（例えば１０μm 以下）の使用が試みられている。

【０００７】ところが、このような薄層のグリーンシー
トを製造するために、水溶性或いは有機溶剤溶解性（水
不溶性）のポリビニルアセタール樹脂に、微細な粒径の
セラミック粉末を混合する場合、セラミック粉末の分散
性が十分でなく、均質な薄層のグリーンシートを得るこ
とが困難である。

【０００８】また、グリーンシートを加熱し焼成してセ
ラミック回路基板を製造する場合、ポリビニルアセター
ル樹脂の分解は約３００℃の比較的高い温度で開始し、
約６００℃で樹脂の分解が終了する。これを例えば１０
℃／分の速度で昇温すると、樹脂の分解開始から分解終
了までの温度幅が比較的狭く、加熱焼成が比較的急激に
行われる。その結果、加熱焼成後の各薄層セラミックシ
ートの収縮率が大きくなって、得られるセラミック回路
基板に性能上のトラブルが発生する。

【０００９】この発明は、上記の問題を解決するもの
で、その目的とするところは、セラミック粉末の分散性
を高め、加熱焼成時の分解開始温度を低下させて、均質
で加熱焼成後の収縮率を小さくすることができ、塗工作
業性が良好なグリーンシート成形用セラミック泥漿物及
びグリーンシートを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明のグリーンシート成形用セラミック泥漿
物は、−ＣＯＯＭ、−ＳＯ₃ Ｍ、−ＯＳＯ₃ Ｍ、−ＰＯ
（ＯＭ）₂ 、

【００１１】

【化２】

【００１２】（但し、Ｒは水素又はアルキル基、Ｍは水
素、リチウム、ナトリウム又はカリウムを示す）、第３
アミン、第４級アンモニウム塩及びベタインからなる群
から選ばれた少なくとも１種の親水性基団０．０１〜５
モル％を有し且つ全アセタール化度３〜８０モル％の変
性ポリビニルアセタール樹脂３〜１５重量％と、セラミ
ック粉末３０〜８０重量％と、可塑剤０．１〜１０重量
％とを含有するものである（請求項１の発明）。

【００１３】また、この発明のグリーンシートは、上記
のグリーンシート成形用セラミック泥漿物をシート状に
賦形した後、乾燥させて得るものである（請求項２の発
明）。

【００１４】この発明で用いる変性ポリビニルアセター
ル樹脂は、上記の特定の親水性基団を有するもので、こ
の親水性基団によりポリビニルアセタール樹脂が変性さ
れている。このような変性ポリビニルアセタール樹脂
は、上記と同様な親水性基団を有する変性ポリビニルア
ルコールを用い、この変性ポリビニルアルコールの水溶
液に各種のアルデヒドを添加し、公知の方法でアセター
ル化反応を行うことにより製造することができる。

【００１５】上記の変性ポリビニルアルコールは、ポリ
酢酸ビニルの重合の際に、特定の親水性基団を有するエ
チレン性モノマーを共重合させて、前記の親水性基団を
有するユニットを持った酢酸ビニル共重合体を製造し、
この酢酸ビニル共重合体をケン化することにより得るこ
とができる。もっとも、導入される親水性基団は、後で
行われるケン化及びアセタール化に関与しないことが必
要である。

【００１６】このような特定の親水性基団を有するエチ
レン性モノマーとしては、種々のものがあるが、親水性
基団が−ＣＯＯＭの場合を例にとると、下記の（１）及
び（２）で表される化合物が挙げられる。

【００１７】

【化３】

【００１８】また、親水性基団が−ＳＯ₃ Ｍの場合を例
にとると、下記の（３）〜（１０）で表される化合物が
挙げられる。

【００１９】

【化４】

【００２０】変性ポリビニルアルコールは、重合度が２
００〜３５００、ケン化度が７５〜９９．８モル％のも
のが好ましい。重合度が２００未満では変性ポリビニル
アルコールの合成が難しくなり、逆に重合度が３５００
を超えると、これを水溶液とした時にその粘度が高くな
り過ぎる。また、ケン化度が７５モル％未満では水への
溶解性が充分でなく、逆にケン化度が９９．８モル％を
超えると、変性ポリビニルアルコールの合成が難しくな
る。

【００２１】変性ポリビニルアルコールの変性度、すな
わち前記の親水基団を有するユニットの割合は、０．０
１〜５モル％の範囲であることが好ましい。この場合、
変性ポリビニルアルコールと未変性のポリビニルアルコ
ールとを混合し、全体として、上記ユニットの割合が
０．０１〜５モル％となるようにしてもよい。

【００２２】親水性基団を有するユニットの割合が５モ
ル％を超えると、セラミック粉末の分散性を高めること
ができない。逆に、親水性基団を有するユニットの割合
が０．０１モル％未満では、セラミック粉末の分散性を
高める効果が小さく、しかもグリーンシートの分解開始
温度を低下させる効果も小さくなる。

【００２３】変性ポリビニルアルコールのアセタール化
に用いるアルデヒドとしては、例えばホルムアルデヒド
（パラホルムアルデヒドを含む）、アセトアルデヒド
（パラアセトアルデヒドを含む）、プロピオンアルデヒ
ド、ブチルアルデヒド、アミルアルデヒド、ヘキシルア
ルデヒド、ヘプチルアルデヒド、２−エチルヘキシルア
ルデヒド、シクロヘキシルアルデヒド、フルフラール、
グリオキサール、グルタルアルデヒド等が挙げられ、こ
れ等のアルデヒドが単独で或いは二種以上を組み合わせ
て用いられる。特に、アセトアルデヒド及び／又はブチ
ルアルデヒドでアセタール化したものが好ましい。

【００２４】変性ポリビニルアセタール樹脂のアセター
ル化度は、単独アルデヒド、混合アルデヒドのいずれを
用いる場合でも、一般に全アセタール化度で３〜８０モ
ル％の範囲が好ましい。全アセタール化度が３モル％未
満では樹脂の可撓性が乏しくなり、逆に全アセタール化
度が８０を越えると、残存水酸基が少なくなってセラミ
ック粉末との分散性が低下する。ここで、全アセタール
化度が一般に５５モル％以下では樹脂が水溶性となり、
全アセタール化度が一般に５５モル％以上では樹脂が水
不溶性で有機溶剤溶解性となる。

【００２５】なお、この発明で用いる変性ポリビニルア
セタール樹脂は、上記のように変性ポリビニルアルコー
ルを用いる方法以外に、未変性のポリビニルアルコール
を各種のアルデヒドでアセタール化して未変性のポリビ
ニルアセタール樹脂を製造し、この樹脂の残存水酸基
に、前記の親水性基団を有する適当な化合物を反応させ
ることにより製造することも可能である。

【００２６】この発明に用いる変性ポリビニルアセター
ル樹脂の製造方法の一例を、より具体的に説明する。先
ず、上記変性ポリビニルアルコールの単独又は変性ポリ
ビニルアルコールと未変性ポリビニルアルコールとの混
合物を水に溶解させる。次に、塩酸のような酸触媒の存
在下で、前記のアセタール化度を与えるように、所定量
のアルデヒド、好ましくはアセトアルデヒド及び／又は
ブチルアルデヒドと反応させた後、水酸化ナトリウム等
のアルカリで中和し、水洗、乾燥を行う。こうして、こ
の発明に用いる変性ポリビニルアセタール樹脂が得られ
る。

【００２７】この発明のグリーンシート成形用セラミッ
ク泥漿物は、上記特定の親水性基団を有する変性ポリビ
ニルアセタール樹脂と、セラミック粉末と、可塑剤とを
配合し、これを常法により水又は有機溶剤に均一に溶解
させることにより調製される。

【００２８】変性ポリビニルアセタール樹脂は、セラミ
ック泥漿物中に３〜１５重量％の範囲で配合するのが好
ましい。樹脂の配合量が１５重量％を超えると、セラミ
ック泥漿物の粘度が高くなり過ぎて分散性が低下し、ま
た得られるグリーンシートを焼成する際にシートの収縮
率が大きくなる。逆に、樹脂の配合量が３重量％未満で
は、セラミック粉末全体に変性ポリビニルアセタール樹
脂を分散させるには不充分となり、得られるグリーンシ
ートの柔軟性が充分でなく、焼成後にクラック等が発生
しやすくなる。

【００２９】セラミック粉末としては、従来よりセラミ
ックグリーンシートを製造するのに用いられているセラ
ミック粉末が使用される。このようなセラミック粉末と
しては、例えば、アルミナ、ジルコニア、ケイ酸アルミ
ニウム、酸化チタン、酸化亜鉛、チタン酸バリウム、マ
グネシア、サイアロン、スピネルムライト、結晶化ガラ
ス、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の粉
末が挙げられる。

【００３０】また、これ等のセラミック粉末に、ＭｇＯ
−ＳｉＯ₂ −ＣａＯ系、Ｂ₂ Ｏ₃ −ＳｉＯ₂ 系、ＰｂＯ
−Ｂ₂ Ｏ₃ −ＳｉＯ₂ 系、ＣａＯ−ＳｉＯ₂ −ＭｇＯ−
Ｂ₂Ｏ₃ 系またはＰｂＯ−ＳｉＯ₂ −Ｂ₂ Ｏ₃ −ＣａＯ
系等のガラスフリットを添加してもよい。

【００３１】特に、薄層のグリーンシート（例えば１０
μm 以下）を得るために、より微細な粒径のセラミック
粉末（例えば粒径が１μm 以下）を用いるのが好まし
い。

【００３２】上記のセラミック粉末は、セラミック泥漿
物中に３０〜８０重量％の範囲で配合するのが好まし
い。セラミック粉末の配合量が８０重量％を超えると、
セラミック泥漿物の粘度が高くなり過ぎて混練性が低下
する。逆に、セラミック粉末の配合量が３０重量％未満
では、セラミック泥漿物の粘度が低くなり過ぎてシート
を成形する際のハンドリング性が悪くなる。

【００３３】可塑剤としては、変性ポリビニルアセター
ル樹脂との相溶性に優れているものであれば、任意の可
塑剤を用いることができる。樹脂が水溶性の場合、可塑
剤として、エチレングリコール、ジエチレングリコー
ル、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコー
ル、グリセリン、ヘキサメチレングリコールなどが用い
られる。

【００３４】樹脂が有機溶剤溶解性（水不溶性）の場
合、可塑剤として、フタル酸ジブチル、フタル酸ジオク
チル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ブチルベンジル
等のフタル酸エステル系、リン酸トリクレジル、リン酸
トリブチル、リン酸トリエチル等のリン酸エステル系、
リシノール酸メチルアセチル、セバシン酸ジブチル、ア
ジピン酸ジオクチル等の脂肪酸エステル系、ブチルフタ
リルグリコレート、トリエチレングリコール−２−エチ
ルブチレート等のグリコール誘導体などが用いられる。

【００３５】上記可塑剤は、セラミック泥漿物中に０．
１〜１０重量％の範囲で配合するのが好ましい。可塑剤
の配合量が１０重量％を超えると、シートを成形する際
のハンドリング性が悪くなる。逆に、可塑剤の配合量が
０．１重量％未満では、可塑剤を配合したことによるシ
ートの柔軟性が充分に得られない。

【００３６】水又は有機溶剤は、変性ポリビニルアセタ
ール樹脂を溶解し、セラミック泥漿物に適度な混練性を
与えるもので、セラミック泥漿物中に２０〜８０重量％
の範囲で使用するのが好ましい。有機溶剤で溶解する場
合は、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類、メ
タノール、エタノール、ブタノール等のアルコール類、
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類等が用いられ
る。

【００３７】水を溶媒として用いる場合は、有機溶剤を
溶媒として用いる場合に比べ、火災や環境問題の発生が
ない利点がある。また、有機溶剤を溶媒として用いる場
合は、水を溶媒として用いる場合に比べ、セラミック泥
漿物の乾燥を早く行うことができ、グリーンシートの生
産性が向上する利点がある。

【００３８】なお、この発明のセラミック泥漿物には、
目的を達成し得る範囲内で、必要に応じて、潤滑剤、解
膠剤、濡れ剤、帯電防止剤、消泡剤、乾燥促進剤などを
含有させてもよい。

【００３９】こうして得られるグリーンシート成形用セ
ラミック泥漿物は、必要に応じて脱泡した後、剥離性の
ポリエステルフィルム等の支持体上に塗布され、加熱、
乾燥により水又は有機溶剤が除去され、その後支持体か
ら剥離されグリーンシートが製造される。

【００４０】このグリーンシートを用いて、ハイブリッ
ド型の多層セラミック回路基板を得るには、グリーンシ
ートを所定の形状及び寸法に打ち抜き、その表面に回路
を印刷し、このグリーンシートを複数枚、例えば数十枚
積層し、これを熱圧着することにより一体化し積層体を
得る。そして、この積層体を高温（例えば６００℃程
度）に加熱してバインダー樹脂をほぼ完全に分解させ、
さらに高温（例えば１６００℃程度）に加熱してセラミ
ック粉末を焼結させ、ハイブリッド型の多層セラミック
回路基板を得る。

【００４１】

【作用】バインダー樹脂として、前記した特定の親水性
基団の導入により変性されたポリビニルアセタール樹脂
を用いると、これ等のイオン性の親水性基団は、未変性
のポリビニルアセタール樹脂の非イオン性の残存水酸基
に比べてより強い表面活性を呈し、この残存水酸基の作
用と相まって樹脂に対するセラミック粉末の分散性が向
上する。

【００４２】また、前記した特定の親水性基団の導入に
より変性されたポリビニルアセタール樹脂は、未変性の
ポリビニルアセタール樹脂に比べて主鎖の切断がランダ
ムに起こりやすくなっており、それにより加熱焼成時の
樹脂の分解開始温度が低下するものと考えられ、その結
果、得られるグリーンシートの焼成後の収縮率を小さく
することができる。

【００４３】さらに、特定の親水性基団の作用により、
変性ポリビニルアセタール樹脂の分子間会合や結晶化が
抑制されるので、この発明のグリーンシート成形用セラ
ミック泥漿物は、経時での粘度変化も生じにくく、塗工
作業性が良好なグリーンシート成形用セラミック泥漿物
及びグリーンシートが得られる。

【００４４】

【実施例】以下、この発明の実施例及び比較例を挙げ
る。実施例１ 変性ポリビニルアセタール樹脂の製造 重合度８００、ケン化度９８モル％、変性度２モル％の
イタコン酸変性のポリビニルアルコール１９３ｇを純水
２９００ｇに加え、９０℃の温度で約２時間攪拌し、溶
解させた。この溶液を２８℃に冷却し、これに濃度３５
重量％の塩酸２０１ｇとｎ−ブチルアルデヒド１１２ｇ
とを添加し、液温を２０℃に下げてこの温度を保持して
アセタール化反応を行い、反応生成物を析出させた。そ
の後、液温を３０℃に５時間保持して反応を完了させ、
常法により中和、水洗及び乾燥を経て、イタコン酸変性
のポリビニルアセタール樹脂の白色粉末を得た。

【００４５】得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を
ＤＭＳＯ−ｄ₆ （ジメチルスルホキサイド）に溶解し、
¹³Ｃ−ＮＭＲ（核磁気共鳴スペクトル）を用いてアセタ
ール化度（ブチラール化度）を測定したところ、ブチラ
ール化度は６７モル％であった。

【００４６】セラミック泥漿物の製造 この変性ポリビニルアセタール樹脂１０重量部を、トル
エン３０重量部とメチルエチルケトン１５重量部との混
合溶剤に加え攪拌溶解した。この樹脂溶液に、可塑剤と
してジブチルフタレート５重量部を加え攪拌溶解した。
こうして得られた樹脂溶液に、セラミック粉末としてア
ルミナ粉末（平均粒径０．３μm ）１００重量部を加
え、ボールミルで４８時間混合してアルミナ粉末を分散
させたセラミック泥漿物を得た。

【００４７】グリーンシートの製造 このセラミック泥漿物を、離型処理したポリエステルフ
ィルム上に約１２μm程度に塗布し、常温で３０分間風
乾し、さらに熱風乾燥器で６０〜８０℃で１時間乾燥さ
せて有機溶剤を蒸発させて、厚さ８μm の薄層のグリー
ンシートを得た。

【００４８】性能評価 上記のセラミック泥漿物及びグリーンシートについて、
柔軟性、分散性、分解開始温度及び分解終了温度及び焼
成収縮率を下記の方法で評価した。その結果を表１に示
す。

【００４９】柔軟性 グリーンシートの柔軟性を手触りにより調べ、◎（極め
て良好）、○（良好）、良（△）、×（悪い）の４水準
で評価した。

【００５０】分散性 セラミック泥漿物の分散性を目視により調べ、◎（極め
て良好）、○（良好）、良（△）、×（悪い）の４水準
で評価した。

【００５１】分解開始温度及び分解終了温度 変性ポリビニルアセタール樹脂１０ mｇを窒素雰囲気中
で昇温速度１０℃／分で昇温し、樹脂の分解が始まる温
度を分解開始温度とし、樹脂の残存量が始めの１重量％
となった時点の温度を分解終了温度とした。なお、試験
機は、セイコー電子社製のＴＧＡ（熱重量分析装置）を
用いた。

【００５２】焼成収縮率 １００mm角のグリーンシートを窒素雰囲気中で昇温速度
１０℃／分で１６００℃まで昇温して焼成し、焼成前の
グリーンシートに対する焼成後の収縮率を測定した。

【００５３】実施例２〜６及び比較例１〜３ 変性ポリビニルアルコール、アルデヒド及びセラミック
粉末を、表１に示すように変更した。それ以外は実施例
１と同様に行った。その結果を表１に示す。

【００５４】実施例７ 変性ポリビニルアセタール樹脂の製造 重合度８００、ケン化度９８モル％、変性度２モル％の
イタコン酸変性のポリビニルアルコール２００ｇを純水
１６００ｇに加え、９０℃の温度で約２時間攪拌し、溶
解させた。この溶液を４５℃に冷却し、これに濃度３５
重量％の塩酸５０ｇを加え、さらに３５℃まで冷却し、
これに純度９９％のｎ−ブチルアルデヒド２０ｇと純度
９９％のアセトアルデヒド２５ｇとを２時間かけて滴下
し、３５℃で３時間アセタール化反応を行った。その
後、液温を２０℃に冷却し攪拌下で濃度１０重量％の水
酸化ナトリウム水溶液１９２ｇを加え、イタコン酸変性
のポリビニルアセタール樹脂の透明溶液を得た。

【００５５】得られた変性ポリビニルアセタール樹脂の
透明溶液をポリエチレンフィルム上に塗布し乾燥させ
て、透明フィルムを作成し、この透明フィルムをＤＭＳ
Ｏ−ｄ ₆ （ジメチルスルホキサイド）に溶解し、¹³Ｃ−
ＮＭＲ（核磁気共鳴スペクトル）を用いてアセタール化
度（ブチラール化度及びアセトアセタール化度）を測定
したところ、ブチラール化度は１０モル％、アセトアセ
タール化度は１５モル％であった。

【００５６】セラミック泥漿物の製造 この変性ポリビニルアセタール樹脂の透明溶液（濃度２
０重量％）６０ｇを純水１２０ｇに混合溶解させ、これ
に可塑剤としてポリエチレングリコール（平均分子量２
００）４ｇと、セラミック粉末としてアルミナ粉末（平
均粒径０．３μm ）２００ｇを加え、ボールミルで１５
時間混合してアルミナ粉末を分散させたセラミック泥漿
物を得た。

【００５７】グリーンシートの製造 このセラミック泥漿物を攪拌しながら５mmＨｇの減圧下
で脱泡し、１０ポイズの粘度に調整した後、これを離型
処理したポリエステルフィルム上に約１５μm程度に塗
布し、常温で１日間風乾し、さらに１１０℃の熱風乾燥
器で３時間乾燥させて水を蒸発させて、厚さ８μm の薄
層のグリーンシートを得た。

【００５８】上記のセラミック泥漿物及びグリーンシー
トについて、柔軟性、分散性、分解開始温度及び分解終
了温度及び焼成収縮率を、実施例１と同様にして評価し
た。その結果を表２に示す。

【００５９】実施例８〜１２及び比較例４〜６ 変性ポリビニルアルコール、アルデヒド及びセラミック
粉末を、表２に示すように変更した。それ以外は実施例
７と同様に行った。その結果を表２に示す。なお、比較
例５及び６では、セラミック粉末の分散性が悪く、グリ
ーンシートの焼成収縮率は測定しなかった。

【００６０】

【表１】

【００６１】

【表２】

【００６２】

【発明の効果】この発明のグリーンシート成形用セラミ
ック泥漿物は、前記した特定の親水性基団０．０１〜５
モル％を有し且つ全アセタール化度３〜８０モル％の変
性ポリビニルアセタール樹脂３〜１５重量％と、セラミ
ック粉末３０〜８０重量％と、可塑剤０．１〜１０重量
％とを含有し、この親水性基団の作用により樹脂に対す
るセラミック粉末の分散性が向上する。それゆえ、従来
のものに比べてより微細な粒径のセラミック粉末を使用
することが可能となり、その結果、柔軟性が良く、均質
な薄層のグリーンシートを製造することができる。

【００６３】また、この発明のグリーンシートは、特定
の親水性基団の作用により焼成時の樹脂の分解開始温度
が低下する。それゆえ、薄層のグリーンシートを焼成し
てセラミック回路基板を得る場合、樹脂の分解開始から
分解終了までの温度幅が比較的広くなって焼成が比較的
緩やかに行われ、その結果、焼成後の収縮率を小さくす
ることができ、収縮に起因するセラミック回路基板の性
能上のトラブルの発生を防止することができる。

【００６４】さらに、特定の親水性基団の作用により、
変性ポリビニルアセタール樹脂の分子間会合や結晶化が
抑制されるので、この発明のグリーンシート成形用セラ
ミック泥漿物は、経時での粘度変化も生じにくく、塗工
作業性が良好で、均質な薄層のグリーンシートの製造が
容易に行えるという利点がある。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 −ＣＯＯＭ、−ＳＯ₃ Ｍ、−ＯＳＯ
   ₃ Ｍ、−ＰＯ（ＯＭ）₂ 、 【化１】 （但し、Ｒは水素又はアルキル基、Ｍは水素、リチウ
   ム、ナトリウム又はカリウムを示す）、第３アミン、第
   ４級アンモニウム塩及びベタインからなる群から選ばれ
   た少なくとも１種の親水性基団０．０１〜５モル％を有
   し且つ全アセタール化度３〜８０モル％の変性ポリビニ
   ルアセタール樹脂３〜１５重量％と、セラミック粉末３
   ０〜８０重量％と、可塑剤０．１〜１０重量％とを含有
   するグリーンシート成形用セラミック泥漿物。
2. 【請求項２】 請求項１記載のグリーンシート成形用セ
   ラミック泥漿物をシート状に賦形した後、乾燥させて得
   られるグリーンシート。