JP3278069B2 - 電気油圧サーボ機構 - Google Patents
電気油圧サーボ機構Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、油圧アクチュエータの
変位、速度、駆動力などを制御する電気油圧サーボ機構
に関する。
変位、速度、駆動力などを制御する電気油圧サーボ機構
に関する。
【０００２】
【従来の技術】入力された電気信号に応じて油圧アクチ
ュエータを駆動する電気油圧サーボ機構を用いた例とし
て、図６で示すように、ビル等の建造物の屋上に設置さ
れてローラ２１を介して所定の質量を持った可動マス２
０を水平変位自由に支持し、この可動マス２０と建造物
１の間で水平方向に油圧シリンダ３を介装し、地震等の
揺れに対応して油圧シリンダ３を伸縮させることにより
振幅を抑制する制振装置が知られている（特開平２−２
０４５８１号公報参照）。
ュエータを駆動する電気油圧サーボ機構を用いた例とし
て、図６で示すように、ビル等の建造物の屋上に設置さ
れてローラ２１を介して所定の質量を持った可動マス２
０を水平変位自由に支持し、この可動マス２０と建造物
１の間で水平方向に油圧シリンダ３を介装し、地震等の
揺れに対応して油圧シリンダ３を伸縮させることにより
振幅を抑制する制振装置が知られている（特開平２−２
０４５８１号公報参照）。
【０００３】例えば、建造物１が図示矢印の方向に揺れ
る場合には、図示しない制御装置より油圧シリンダ３の
伸張側の油室３１に作動油が供給され、油圧シリンダ３
は可動マス２０を図の左側へと駆動する。そして、油圧
シリンダ３の伸張に対する可動マス２０の慣性抵抗のた
め、油圧シリンダ３は同時に建造物１を揺れの方向と逆
向きに押圧し、これにより建造物１の揺れを抑制する。
る場合には、図示しない制御装置より油圧シリンダ３の
伸張側の油室３１に作動油が供給され、油圧シリンダ３
は可動マス２０を図の左側へと駆動する。そして、油圧
シリンダ３の伸張に対する可動マス２０の慣性抵抗のた
め、油圧シリンダ３は同時に建造物１を揺れの方向と逆
向きに押圧し、これにより建造物１の揺れを抑制する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような制振装置の
待機中において、ピストン３２は油圧シリンダ３のスト
ロークの所定の待機位置である中立点で待機しなければ
制振動作時に正逆両方向の振動を抑制することができ
ず、このため装置の設置時等に手動によって電気的な中
立点と、機械的な中立点を調整して油圧シリンダ３の待
機位置を設定していた。
待機中において、ピストン３２は油圧シリンダ３のスト
ロークの所定の待機位置である中立点で待機しなければ
制振動作時に正逆両方向の振動を抑制することができ
ず、このため装置の設置時等に手動によって電気的な中
立点と、機械的な中立点を調整して油圧シリンダ３の待
機位置を設定していた。
【０００５】しかしながら、制振装置の待機中の温度変
化に伴って、作動油の粘性やセンサ等の特性が変動し、
事前に調整した待機位置がずれてしまうという問題点が
発生した。
化に伴って、作動油の粘性やセンサ等の特性が変動し、
事前に調整した待機位置がずれてしまうという問題点が
発生した。
【０００６】そこで本発明は、温度変化等の影響による
油圧アクチュエータの所定の待機位置からの偏差を自動
的に補正する電気油圧サーボ機構を提供することを目的
とする。
油圧アクチュエータの所定の待機位置からの偏差を自動
的に補正する電気油圧サーボ機構を提供することを目的
とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 本発明は、図１に示す
ように油圧アクチュエータ３０の制御機構に制御指令値
を出力する手段３１と、油圧アクチュエータの制御量を
測定する手段３２と、油圧アクチュエータが所定の静止
状態にあることを判定する手段３３と、この静止状態に
おいて前記制御指令値と前記測定値とからオフセット量
を算出する手段３４と、このオフセット量が所定の許容
範囲にあるかどうかを判定する手段３５と、オフセット
量が許容範囲を越えたときにオフセット量を許容範囲に
補正する手段３６とを備え、前記補正手段は、オフセッ
ト量に所定値を加減算する補正動作により行われ、か
つ、油圧アクチュエータが静止状態にある間は、オフセ
ット量が許容範囲内に収るまで、前記補正動作を自動的
に繰り返すことを特徴とする。
ように油圧アクチュエータ３０の制御機構に制御指令値
を出力する手段３１と、油圧アクチュエータの制御量を
測定する手段３２と、油圧アクチュエータが所定の静止
状態にあることを判定する手段３３と、この静止状態に
おいて前記制御指令値と前記測定値とからオフセット量
を算出する手段３４と、このオフセット量が所定の許容
範囲にあるかどうかを判定する手段３５と、オフセット
量が許容範囲を越えたときにオフセット量を許容範囲に
補正する手段３６とを備え、前記補正手段は、オフセッ
ト量に所定値を加減算する補正動作により行われ、か
つ、油圧アクチュエータが静止状態にある間は、オフセ
ット量が許容範囲内に収るまで、前記補正動作を自動的
に繰り返すことを特徴とする。
【０００８】
【作用】 油圧アクチュエータの静止状態、例えば中立
位置での待機中に、制御指令値と測定値との差であるオ
フセット量が算出される。このオフセット量が所定の許
容範囲を越えていると、このオフセット量が許容範囲に
収まるように、所定値の加算または減算が自動的に繰り
返され、システムが待機中は常にオフセット値を更新す
る。このため、油圧アクチュエータの周辺の温度条件等
の変化に伴う制御システムの望ましい中立点からの変動
を、常に最小限に抑えることができ、制御時における制
御指令値に対する制御の可動範囲を広く利用でき、正確
性の向上が図れる。
位置での待機中に、制御指令値と測定値との差であるオ
フセット量が算出される。このオフセット量が所定の許
容範囲を越えていると、このオフセット量が許容範囲に
収まるように、所定値の加算または減算が自動的に繰り
返され、システムが待機中は常にオフセット値を更新す
る。このため、油圧アクチュエータの周辺の温度条件等
の変化に伴う制御システムの望ましい中立点からの変動
を、常に最小限に抑えることができ、制御時における制
御指令値に対する制御の可動範囲を広く利用でき、正確
性の向上が図れる。
【０００９】
【実施例】以下、図面に従って本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１０】図２〜３は建造物１の屋上に設けた制振装
置を示すもので、建造物１の屋上には所定の質量を持っ
た可動マス２０がローラ２１を介して水平方向で変位自
由に配置され、建造物１と可動マス２０の間に差動式の
油圧シリンダ３及びストロークセンサ４が水平方向で並
列に介装される。なお、実際には水平面において２次元
方向に２組が配設される。
置を示すもので、建造物１の屋上には所定の質量を持っ
た可動マス２０がローラ２１を介して水平方向で変位自
由に配置され、建造物１と可動マス２０の間に差動式の
油圧シリンダ３及びストロークセンサ４が水平方向で並
列に介装される。なお、実際には水平面において２次元
方向に２組が配設される。
【００１１】１１は建造物１の屋上に取り付けられて振
動を検出する振動センサで、油圧シリンダ３に近接した
所定の位置に設けられている。
動を検出する振動センサで、油圧シリンダ３に近接した
所定の位置に設けられている。
【００１２】２は振動センサ１１の出力に応じて油圧シ
リンダ３を駆動するコントローラで、このコントローラ
２は振動センサ１１の出力に応じて油圧シリンダ３に作
動油を供給する制御バルブ９への指令入力を算出する指
令入力演算回路１０と、この指令入力演算回路１０の信
号に応じて制御バルブ９を制御するバルブ駆動回路８と
を備える。
リンダ３を駆動するコントローラで、このコントローラ
２は振動センサ１１の出力に応じて油圧シリンダ３に作
動油を供給する制御バルブ９への指令入力を算出する指
令入力演算回路１０と、この指令入力演算回路１０の信
号に応じて制御バルブ９を制御するバルブ駆動回路８と
を備える。
【００１３】さらにコントローラ２には、ストロークセ
ンサ４の出力に応じて油圧シリンダ３の位置Ｌを算出す
る変位量演算回路５と、油圧シリンダ３の予め設定され
た待機位置Ｌ0を指示する待機位置指令回路７と、油圧
シリンダ３の待機位置Ｌ0からの偏差Δｘを算出するオ
フセット量演算回路６を備え、指令入力演算回路１０の
出力にオフセット量演算回路６及び待機位置指令回路７
の出力を加算してバルブ駆動回路８へ入力する。
ンサ４の出力に応じて油圧シリンダ３の位置Ｌを算出す
る変位量演算回路５と、油圧シリンダ３の予め設定され
た待機位置Ｌ0を指示する待機位置指令回路７と、油圧
シリンダ３の待機位置Ｌ0からの偏差Δｘを算出するオ
フセット量演算回路６を備え、指令入力演算回路１０の
出力にオフセット量演算回路６及び待機位置指令回路７
の出力を加算してバルブ駆動回路８へ入力する。
【００１４】なお、図３において、油圧シリンダ３の位
置Ｌは建造物１を基準とし、油圧シリンダ３の中央部ま
での距離とし、また、待機位置Ｌ0は油圧シリンダ３の
中央部が全ストロークの１／２のときに位置する点、す
なわち、油圧シリンダ３の中立点とする。
置Ｌは建造物１を基準とし、油圧シリンダ３の中央部ま
での距離とし、また、待機位置Ｌ0は油圧シリンダ３の
中央部が全ストロークの１／２のときに位置する点、す
なわち、油圧シリンダ３の中立点とする。
【００１５】コントローラ２の指令入力演算回路１０に
は振動センサ１１から建造物１の変位量や変位速度が入
力され、指令入力演算回路１０はこれらのデータから可
動マス２０を変位させて建造物１の振動を打ち消す制振
力が得られるようにバルブ駆動回路８に目標変位量ΔＬ
を指令し、バルブ駆動回路８は指令入力演算回路１０の
出力が発生すると目標変位量ΔＬに応じて制御バルブ９
を制御して油圧シリンダ３を駆動する。
は振動センサ１１から建造物１の変位量や変位速度が入
力され、指令入力演算回路１０はこれらのデータから可
動マス２０を変位させて建造物１の振動を打ち消す制振
力が得られるようにバルブ駆動回路８に目標変位量ΔＬ
を指令し、バルブ駆動回路８は指令入力演算回路１０の
出力が発生すると目標変位量ΔＬに応じて制御バルブ９
を制御して油圧シリンダ３を駆動する。
【００１６】なお、制御バルブ９は図示しない油圧供給
源からの作動油をバルブ駆動回路８からの信号に応じて
油圧シリンダ３に供給する油圧サーボ弁等の切り換え弁
により構成される。
源からの作動油をバルブ駆動回路８からの信号に応じて
油圧シリンダ３に供給する油圧サーボ弁等の切り換え弁
により構成される。
【００１７】一方、オフセット量演算回路６には、図３
で示すように変位量演算回路５で算出された油圧シリン
ダ３の位置Ｌと、待機位置指令回路７から送られた待機
位置Ｌ0とから油圧シリンダ３の待機位置Ｌ0からの偏差
Δｘを算出し、指令入力演算回路１０の出力であるΔＬ
に加算する。
で示すように変位量演算回路５で算出された油圧シリン
ダ３の位置Ｌと、待機位置指令回路７から送られた待機
位置Ｌ0とから油圧シリンダ３の待機位置Ｌ0からの偏差
Δｘを算出し、指令入力演算回路１０の出力であるΔＬ
に加算する。
【００１８】また、待機位置指令回路７は予め設定され
た待機位置Ｌ0を指令入力演算回路１０の出力ΔＬに加
算する。したがって、バルブ駆動回路８に入力される信
号は、建造物１の振動を抑制する目標変位量ΔＬに待機
位置Ｌ0を加算したものに、油圧シリンダ３の待機位置
Ｌ0からの偏差Δｘを加えたものである。
た待機位置Ｌ0を指令入力演算回路１０の出力ΔＬに加
算する。したがって、バルブ駆動回路８に入力される信
号は、建造物１の振動を抑制する目標変位量ΔＬに待機
位置Ｌ0を加算したものに、油圧シリンダ３の待機位置
Ｌ0からの偏差Δｘを加えたものである。
【００１９】オフセット量演算回路６における制御の一
例を図４のフローチャートを参照してさらに詳述する。
例を図４のフローチャートを参照してさらに詳述する。
【００２０】オフセット量演算回路６は制振装置の待機
中に油圧シリンダ３の待機位置Ｌ0からの偏差Δｘを算
出するため、ステップ５０で油圧シリンダ３が静止して
いる待機中であるかを確認し、ステップ５１で待機位置
指令回路７によって与えられる待機位置Ｌ0を読み込
み、ステップ５２でストロークセンサ４の出力から変位
量演算回路５で算出された油圧シリンダ３の位置Ｌを読
み込む。なお、装置が待機中であるかの判定は、指令入
力演算回路１０の出力ΔＬが一定であれば待機中と判定
する。
中に油圧シリンダ３の待機位置Ｌ0からの偏差Δｘを算
出するため、ステップ５０で油圧シリンダ３が静止して
いる待機中であるかを確認し、ステップ５１で待機位置
指令回路７によって与えられる待機位置Ｌ0を読み込
み、ステップ５２でストロークセンサ４の出力から変位
量演算回路５で算出された油圧シリンダ３の位置Ｌを読
み込む。なお、装置が待機中であるかの判定は、指令入
力演算回路１０の出力ΔＬが一定であれば待機中と判定
する。
【００２１】ステップ５３では読み込んだ油圧シリンダ
３の位置Ｌと待機位置Ｌ0とから、次式により油圧シリ
ンダ３の待機位置Ｌ0からの偏差Δｘを算出する。
３の位置Ｌと待機位置Ｌ0とから、次式により油圧シリ
ンダ３の待機位置Ｌ0からの偏差Δｘを算出する。
【００２２】Δｘ ＝ Ｌ0 − Ｌ
【００２３】次に上式で求めた偏差Δｘが予め設定した
許容範囲内にあるかを判定し（ステップ５４）、許容範
囲内になければ偏差の方向を判定し（ステップ５５）、
正の偏差であれば予め設定した所定値αを減算し（ステ
ップ５６）、負の偏差であれば所定値αを加算した後
（ステップ５７）、偏差Δｘを更新する（ステップ５
８）。
許容範囲内にあるかを判定し（ステップ５４）、許容範
囲内になければ偏差の方向を判定し（ステップ５５）、
正の偏差であれば予め設定した所定値αを減算し（ステ
ップ５６）、負の偏差であれば所定値αを加算した後
（ステップ５７）、偏差Δｘを更新する（ステップ５
８）。
【００２４】この更新した偏差Δｘを再びステップ５４
において許容範囲内にあるかを判定し、許容範囲内にな
るまでステップ５５以降で所定値であるαの加算あるい
は減算を繰り返し、Δｘが許容範囲内に収まっていれば
この偏差Δｘをバルブ駆動回路８に出力する（ステップ
５９）。
において許容範囲内にあるかを判定し、許容範囲内にな
るまでステップ５５以降で所定値であるαの加算あるい
は減算を繰り返し、Δｘが許容範囲内に収まっていれば
この偏差Δｘをバルブ駆動回路８に出力する（ステップ
５９）。
【００２５】待機中は上記ステップ５０〜５９を繰り返
し、油圧シリンダ３の位置Ｌと待機位置Ｌ0からの偏差
Δｘを常時算出して更新している。
し、油圧シリンダ３の位置Ｌと待機位置Ｌ0からの偏差
Δｘを常時算出して更新している。
【００２６】一方、地震などにより建造物１が揺れて振
動センサ１１に振動などが検知されると、指令入力演算
回路１０が振動に応じて可動マス２０の目標変位量ΔＬ
を算出してバルブ駆動回路８に出力し、油圧シリンダ３
の作動が開始される。
動センサ１１に振動などが検知されると、指令入力演算
回路１０が振動に応じて可動マス２０の目標変位量ΔＬ
を算出してバルブ駆動回路８に出力し、油圧シリンダ３
の作動が開始される。
【００２７】オフセット量演算回路６ではステップ５０
で指令入力演算回路１０の出力が発生したことから装置
が待機中ではないと判定し、直前に更新したΔｘをステ
ップ５９で出力する。
で指令入力演算回路１０の出力が発生したことから装置
が待機中ではないと判定し、直前に更新したΔｘをステ
ップ５９で出力する。
【００２８】すなわち、バルブ駆動回路８にはΔＬ＋Ｌ
0の目標位置に最新の油圧シリンダ３の待機位置からの
偏差Δｘがオフセットとして加算されて入力され、油圧
シリンダ３の相対変位量はΔＬ＋Δｘとなり、待機位置
Ｌ0からの偏差Δｘを目標変位量ΔＬに加算してずれを
補正するため、油圧シリンダ３は常時待機位置Ｌ0から
作動することと等価となる。
0の目標位置に最新の油圧シリンダ３の待機位置からの
偏差Δｘがオフセットとして加算されて入力され、油圧
シリンダ３の相対変位量はΔＬ＋Δｘとなり、待機位置
Ｌ0からの偏差Δｘを目標変位量ΔＬに加算してずれを
補正するため、油圧シリンダ３は常時待機位置Ｌ0から
作動することと等価となる。
【００２９】したがって、待機中の油圧シリンダ３の変
位量を常時測定して所定の待機位置Ｌ0からの偏差を設
定し、油圧シリンダ３の作動時に目標変位量ΔＬに偏差
Δｘをオフセットとして加算して待機位置からのずれを
補正するため、温度変化等により油圧シリンダ３が当初
の待機位置Ｌ0からずれた位置から作動を開始しても目
標変位量に対応する位置へ変位させることが可能とな
り、本実施例のような温度変化の激しい屋外に設置され
た制振装置においては頻繁に待機位置を調整する必要が
なくなり、経年変化に対しても高い信頼性を保持でき
る。
位量を常時測定して所定の待機位置Ｌ0からの偏差を設
定し、油圧シリンダ３の作動時に目標変位量ΔＬに偏差
Δｘをオフセットとして加算して待機位置からのずれを
補正するため、温度変化等により油圧シリンダ３が当初
の待機位置Ｌ0からずれた位置から作動を開始しても目
標変位量に対応する位置へ変位させることが可能とな
り、本実施例のような温度変化の激しい屋外に設置され
た制振装置においては頻繁に待機位置を調整する必要が
なくなり、経年変化に対しても高い信頼性を保持でき
る。
【００３０】図５は第２の実施例を示す制振装置の構成
図であり、前記第１の実施例の指令入力演算回路１０に
変位量演算回路５の演算結果によるフィードバック制御
を加えたものであり、その他の構成、制御は前記第１の
実施例と同様である。
図であり、前記第１の実施例の指令入力演算回路１０に
変位量演算回路５の演算結果によるフィードバック制御
を加えたものであり、その他の構成、制御は前記第１の
実施例と同様である。
【００３１】制振装置の待機中には、変位量演算回路５
の出力から前記第１の実施例と同じく待機位置Ｌ0から
の油圧シリンダ３の偏差Δｘを算出し、制振装置が作動
すると目標変位量ΔＬに偏差Δｘをオフセットとして加
算して油圧シリンダ３の待機位置からのずれを補正し、
さらに変位量演算回路５で演算された油圧シリンダ３の
位置Ｌは、指令入力演算回路１０の目標変位量ΔＬのフ
ィードバックに利用され、前記第１の実施例よりさらに
正確な変位量の制御を行うことが可能となる。
の出力から前記第１の実施例と同じく待機位置Ｌ0から
の油圧シリンダ３の偏差Δｘを算出し、制振装置が作動
すると目標変位量ΔＬに偏差Δｘをオフセットとして加
算して油圧シリンダ３の待機位置からのずれを補正し、
さらに変位量演算回路５で演算された油圧シリンダ３の
位置Ｌは、指令入力演算回路１０の目標変位量ΔＬのフ
ィードバックに利用され、前記第１の実施例よりさらに
正確な変位量の制御を行うことが可能となる。
【００３２】なお、上記実施例において本発明による電
気油圧サーボ機構を制振装置に適用した例を示したが、
疑似体験装置などに適用しても上記実施例と同様の作
用、効果を得ることができ、油圧アクチュエータの所定
の待機位置から作動させる電気油圧サーボ機構であれば
特に限定されるものではない。
気油圧サーボ機構を制振装置に適用した例を示したが、
疑似体験装置などに適用しても上記実施例と同様の作
用、効果を得ることができ、油圧アクチュエータの所定
の待機位置から作動させる電気油圧サーボ機構であれば
特に限定されるものではない。
【００３３】また、上記実施例において油圧アクチュエ
ータとしての油圧シリンダの変位量を制御する例を説明
したが、この他、油圧シリンダの変位速度や、駆動力
（圧力）を制御する場合にも本発明を利用することがで
きる。
ータとしての油圧シリンダの変位量を制御する例を説明
したが、この他、油圧シリンダの変位速度や、駆動力
（圧力）を制御する場合にも本発明を利用することがで
きる。
【００３４】また、上記実施例において油圧アクチュエ
ータとして差動式油圧シリンダを用いた例を示したが、
揺動形油圧アクチュエータ等でもよく、ストローク位置
に代わって揺動角度で制御すれば上記実施例と同様の作
用、効果を得ることができる。
ータとして差動式油圧シリンダを用いた例を示したが、
揺動形油圧アクチュエータ等でもよく、ストローク位置
に代わって揺動角度で制御すれば上記実施例と同様の作
用、効果を得ることができる。
【００３５】
【発明の効果】 以上のように本発明によれば、待機中
の油圧アクチュエータの所定の待機位置からのずれを常
時測定してオフセット量として求め、このオフセット量
が所定の許容範囲を越えていると、このオフセット量が
許容範囲に収るまで所定値の加算または減算が自動的に
繰り返されることで許容範囲に納められ、システムが待
機中は常にオフセット値を更新するため、油圧アクチュ
エータが所定の待機位置からずれていても制御指令値に
対応した位置へ変位し、待機位置からの偏差を自動的に
補正することが可能となり、温度変化などによる待機位
置のずれを原因とする作動不良を排除して正確な作動を
得ることができ、頻繁な調整を不要にしてランニングコ
ストの低減も可能となる。
の油圧アクチュエータの所定の待機位置からのずれを常
時測定してオフセット量として求め、このオフセット量
が所定の許容範囲を越えていると、このオフセット量が
許容範囲に収るまで所定値の加算または減算が自動的に
繰り返されることで許容範囲に納められ、システムが待
機中は常にオフセット値を更新するため、油圧アクチュ
エータが所定の待機位置からずれていても制御指令値に
対応した位置へ変位し、待機位置からの偏差を自動的に
補正することが可能となり、温度変化などによる待機位
置のずれを原因とする作動不良を排除して正確な作動を
得ることができ、頻繁な調整を不要にしてランニングコ
ストの低減も可能となる。
【図１】本発明のクレーム対応図である。
【図２】本発明の実施例を示す構成図である。
【図３】油圧シリンダの待機位置を示す概略図である。
【図４】制御の流れを示すフローチャートである。
【図５】他の実施例を示す構成図である。
【図６】従来例を示す概略図である。
１ 建造物 ２ コントローラ ３ 油圧シリンダ ４ ストロークセンサ ５ 変位量演算回路 ６ オフセット量演算回路 ７ 待機位置指令回路 ８ バルブ駆動回路 ９ 制御バルブ １０ 指令入力演算回路 １１ 振動センサ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−13087（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−183516（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−218804（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G05D 3/00 - 3/20 F16F 15/02 F15B 11/22
Claims (1)
- 【請求項１】 油圧アクチュエータの制御機構に制御指
令値を出力する手段と、 油圧アクチュエータの制御量を測定する手段と、 油圧アクチュエータが所定の静止状態にあることを判定
する手段と、 この静止状態において前記制御指令値と前記測定値とか
らオフセット量を算出する手段と、 このオフセット量が所定の許容範囲にあるかどうかを判
定する手段と、 オフセット量が許容範囲を越えたときにオフセット量を
許容範囲に補正す手段とを備え、 前記補正手段は、オフセット量に所定値を加減算する補
正動作が行われ、かつ、 油圧アクチュエータが静止状態にある間は、オフセット
量が許容範囲内に収るまで、前記補正動作を自動的に繰
り返す ことを特徴とした電気油圧サーボ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34343791A JP3278069B2 (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 電気油圧サーボ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34343791A JP3278069B2 (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 電気油圧サーボ機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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