JP3269901B2 - 有機塩素化合物の処理方法 - Google Patents
有機塩素化合物の処理方法Info
- Publication number
- JP3269901B2 JP3269901B2 JP34206093A JP34206093A JP3269901B2 JP 3269901 B2 JP3269901 B2 JP 3269901B2 JP 34206093 A JP34206093 A JP 34206093A JP 34206093 A JP34206093 A JP 34206093A JP 3269901 B2 JP3269901 B2 JP 3269901B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- organic chlorine
- chlorine compounds
- oxidative decomposition
- compounds
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Treatment Of Sludge (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Processing Of Solid Wastes (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、揮発性の有機塩素化合
物の処理に係わり、特に、ガス、廃液、地下水又は廃水
中に含まれるトリクロロエチレン、テトラクロロエチレ
ン等の熱酸化分解に関するものである。
物の処理に係わり、特に、ガス、廃液、地下水又は廃水
中に含まれるトリクロロエチレン、テトラクロロエチレ
ン等の熱酸化分解に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、有機塩素化合物の分解法としては
燃焼法である有機塩素化合物を含む気体、液体を直接高
温で燃焼させ分解する方式が一般的である。同様の方法
は、ＴＥＯＳ，ＳｉＦ，ＮＦ3 等を主とする半導体製造
排ガスについても適用され、例えば、特開平４−２９０
５１９号、特開平４−２９０５２３号、特開平４−２９
０５２４号、特開平４−２９０５２５号、特開平４−２
９０５２７号各公報等に開示されている。しかし、有機
塩素化合物を対象とする方法及び装置の場合、対象ガス
が異なることと、はるかに処理濃度が低くなることのた
め、反応性、安全性の問題が十分に解決されていなかっ
た。
燃焼法である有機塩素化合物を含む気体、液体を直接高
温で燃焼させ分解する方式が一般的である。同様の方法
は、ＴＥＯＳ，ＳｉＦ，ＮＦ3 等を主とする半導体製造
排ガスについても適用され、例えば、特開平４−２９０
５１９号、特開平４−２９０５２３号、特開平４−２９
０５２４号、特開平４−２９０５２５号、特開平４−２
９０５２７号各公報等に開示されている。しかし、有機
塩素化合物を対象とする方法及び装置の場合、対象ガス
が異なることと、はるかに処理濃度が低くなることのた
め、反応性、安全性の問題が十分に解決されていなかっ
た。
【０００３】また、吸着剤の再生方法の一部として揮発
性有機物を酸化分解する方法を先に出願（特願平４−３
１２６６３号）しているが、これでは酸化分解ガスは循
環利用され、大気中への放出にあたっては何ら配慮され
ていなかった。従来の燃焼法では高温で燃焼させるため
危険であり、また、高温で燃焼することにより有害なＮ
Ｏｘ発生したり、分解により生じた副生成物による腐食
が起こる等の問題点がある。
性有機物を酸化分解する方法を先に出願（特願平４−３
１２６６３号）しているが、これでは酸化分解ガスは循
環利用され、大気中への放出にあたっては何ら配慮され
ていなかった。従来の燃焼法では高温で燃焼させるため
危険であり、また、高温で燃焼することにより有害なＮ
Ｏｘ発生したり、分解により生じた副生成物による腐食
が起こる等の問題点がある。
【０００４】また、水中に含まれる揮発性有機塩素化合
物に関してはストリッピングを行い、水中から排ガス中
に移行させた後、吸着剤によって排ガスを吸着処理する
方法なども用いられている。ストリッピングさせる方法
では、吸着処理後の吸着剤を産業廃棄物として処理して
いるが、燃焼法のように分解しているわけではないの
で、揮発性有機塩素化合物がそのまま吸着剤中に存在す
るという問題点がある。
物に関してはストリッピングを行い、水中から排ガス中
に移行させた後、吸着剤によって排ガスを吸着処理する
方法なども用いられている。ストリッピングさせる方法
では、吸着処理後の吸着剤を産業廃棄物として処理して
いるが、燃焼法のように分解しているわけではないの
で、揮発性有機塩素化合物がそのまま吸着剤中に存在す
るという問題点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を解決し、分解効率の良い加熱酸化分解をすると共に、
分解ガスを安全確実に処理できる気体中の有機塩素化合
物の処理方法を提供することを課題とする。
を解決し、分解効率の良い加熱酸化分解をすると共に、
分解ガスを安全確実に処理できる気体中の有機塩素化合
物の処理方法を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では、気体中に含有する有機塩素化合物を、
熱酸化分解して処理する方法において、前記有機塩素化
合物は、有機塩素化合物を含有する液体、泥状物、土壌
の少なくとも１つをストリッピングして、排気される排
ガス中に含まれる揮発性有機塩素化合物を吸着剤に吸着
させた後、熱風又はスチームにより脱着し、凝縮させ、
濃縮した液体となったものを曝気して、気体中に移行し
た揮発性有機塩素化合物であり、該有機塩素化合物を１
〜１０％の濃度で含む気体を、間接加熱により９００℃
乃至９５０℃で２秒間以上熱酸化分解した後、該熱酸化
分解された気体をアルカリ溶液に接触させることとした
ものである。前記方法において、熱酸化分解は酸素含有
気体の存在下で行うとともに、該熱酸化分解気体のアル
カリ溶液との接触はスクラバーで行うのがよい。
に、本発明では、気体中に含有する有機塩素化合物を、
熱酸化分解して処理する方法において、前記有機塩素化
合物は、有機塩素化合物を含有する液体、泥状物、土壌
の少なくとも１つをストリッピングして、排気される排
ガス中に含まれる揮発性有機塩素化合物を吸着剤に吸着
させた後、熱風又はスチームにより脱着し、凝縮させ、
濃縮した液体となったものを曝気して、気体中に移行し
た揮発性有機塩素化合物であり、該有機塩素化合物を１
〜１０％の濃度で含む気体を、間接加熱により９００℃
乃至９５０℃で２秒間以上熱酸化分解した後、該熱酸化
分解された気体をアルカリ溶液に接触させることとした
ものである。前記方法において、熱酸化分解は酸素含有
気体の存在下で行うとともに、該熱酸化分解気体のアル
カリ溶液との接触はスクラバーで行うのがよい。
【０００７】また、本発明においては、気体中に含有す
る有機塩素化合物を熱酸化分解し、処理する装置におい
て、有機塩素化合物を含む気体を熱酸化分解するヒータ
を備えた熱酸化分解装置と、該熱酸化分解された気体を
アルカリ溶液で洗浄する湿式処理装置、例えばスクラバ
ーを備えたこととしたものである。これら処理に係る条
件は被処理ガスの性状を考慮し、安全な運転が可能な範
囲において、限界まで好適な処理条件を追及して得られ
た。
る有機塩素化合物を熱酸化分解し、処理する装置におい
て、有機塩素化合物を含む気体を熱酸化分解するヒータ
を備えた熱酸化分解装置と、該熱酸化分解された気体を
アルカリ溶液で洗浄する湿式処理装置、例えばスクラバ
ーを備えたこととしたものである。これら処理に係る条
件は被処理ガスの性状を考慮し、安全な運転が可能な範
囲において、限界まで好適な処理条件を追及して得られ
た。
【０００８】上記した本発明は、通常空気等の含酸素気
体の存在下で高温で燃焼しないヒータ加熱式の熱酸化分
解装置を用い、かつ、主な生成物である塩化水素の腐食
対策として熱酸化分解装置出口にＮａＯＨスクラバーを
設置することが好ましい。但し、アルカリ溶液に接触さ
せる方法は、溶液槽中にバブリングする方法でもよい。
また、熱分解装置の反応部温度は、実験に基づき（図３
〜図５参照）分解効率及び反応部材質（インコネルが一
般的である）の耐熱性、耐腐食性を考慮して９００℃〜
９５０℃とすることとした。即ち、９００℃以上で完全
分解が可能であるが、９５０℃を超える高温で腐食性に
耐え得る材質は稀であり、極めて高価であるからであ
る。滞留時間は、実験により（図３〜図５参照）分解効
率が最も良くなる条件である２秒間以上とすることとし
た。
体の存在下で高温で燃焼しないヒータ加熱式の熱酸化分
解装置を用い、かつ、主な生成物である塩化水素の腐食
対策として熱酸化分解装置出口にＮａＯＨスクラバーを
設置することが好ましい。但し、アルカリ溶液に接触さ
せる方法は、溶液槽中にバブリングする方法でもよい。
また、熱分解装置の反応部温度は、実験に基づき（図３
〜図５参照）分解効率及び反応部材質（インコネルが一
般的である）の耐熱性、耐腐食性を考慮して９００℃〜
９５０℃とすることとした。即ち、９００℃以上で完全
分解が可能であるが、９５０℃を超える高温で腐食性に
耐え得る材質は稀であり、極めて高価であるからであ
る。滞留時間は、実験により（図３〜図５参照）分解効
率が最も良くなる条件である２秒間以上とすることとし
た。
【０００９】また、被処理ガス濃度は、分解効率及び揮
発性有機塩素化合物の空気中における爆発下限（トリク
ロロエチレンで１２．５％、テトラクロロエチレンで１
０．８％である。）ならびに実験における反応性を考慮
して１％〜１０％とするのがよい。処理対象ガスとして
は、揮発性有機塩素化合物なら何でも構わないが、特に
トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン等に有効に
適用できる。
発性有機塩素化合物の空気中における爆発下限（トリク
ロロエチレンで１２．５％、テトラクロロエチレンで１
０．８％である。）ならびに実験における反応性を考慮
して１％〜１０％とするのがよい。処理対象ガスとして
は、揮発性有機塩素化合物なら何でも構わないが、特に
トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン等に有効に
適用できる。
【００１０】
【作用】本発明によれば、水中に含まれる揮発性有機塩
素化合物をストリッピングして、排気される排ガス及び
気体中に含まれる揮発性有機塩素化合物をゼオライトや
活性炭等の吸着剤に吸着させた後、熱風又はスチームに
より脱着し、凝縮させ、濃縮した液体となったものを曝
気して、また、廃液の場合はそのまま曝気して、気体中
に移行した揮発性有機塩素化合物を熱酸化分解し無害化
できる。さらに、分解後の排ガス（主な生成物は塩化水
素）はＮａＯＨスクラバーでＮａＯＨと接触し中和、無
害化する。
素化合物をストリッピングして、排気される排ガス及び
気体中に含まれる揮発性有機塩素化合物をゼオライトや
活性炭等の吸着剤に吸着させた後、熱風又はスチームに
より脱着し、凝縮させ、濃縮した液体となったものを曝
気して、また、廃液の場合はそのまま曝気して、気体中
に移行した揮発性有機塩素化合物を熱酸化分解し無害化
できる。さらに、分解後の排ガス（主な生成物は塩化水
素）はＮａＯＨスクラバーでＮａＯＨと接触し中和、無
害化する。
【００１１】このように、１スルー方式の処理フローに
おいて、上記手段を用いることにより至極簡単な方式で
ガス中、水中を問わず含まれる有機塩素化合物の高い分
解効率が得られ、また安全性も確保できる。また、Ｎａ
ＯＨスクラバー等のアルカリ溶液への接触により、排気
の冷却と中和を同時に行い、配管の腐食を防止できる。
さらにＮａＯＨスクラバーとすれば、バブリング式より
圧力損失が少なくて済む。
おいて、上記手段を用いることにより至極簡単な方式で
ガス中、水中を問わず含まれる有機塩素化合物の高い分
解効率が得られ、また安全性も確保できる。また、Ｎａ
ＯＨスクラバー等のアルカリ溶液への接触により、排気
の冷却と中和を同時に行い、配管の腐食を防止できる。
さらにＮａＯＨスクラバーとすれば、バブリング式より
圧力損失が少なくて済む。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれらに限定されない。 実施例１ 図１に本発明で、水中の揮発性有機塩素化合物を処理す
る装置の構成を示す。図１において、トリクロロエチレ
ン、テトラクロロエチレン等の揮発性有機塩素化合物を
含有する水は、凝縮、曝気槽ｂに溜められ、コンプレッ
サーａから送り込まれる空気により曝気され、ガス中に
移行され、熱酸化分解装置ｃに送り込まれ分解される。
排ガスはＮａＯＨスクラバーｄを通過して、中和、無害
化され大気中に排気される。
るが、本発明はこれらに限定されない。 実施例１ 図１に本発明で、水中の揮発性有機塩素化合物を処理す
る装置の構成を示す。図１において、トリクロロエチレ
ン、テトラクロロエチレン等の揮発性有機塩素化合物を
含有する水は、凝縮、曝気槽ｂに溜められ、コンプレッ
サーａから送り込まれる空気により曝気され、ガス中に
移行され、熱酸化分解装置ｃに送り込まれ分解される。
排ガスはＮａＯＨスクラバーｄを通過して、中和、無害
化され大気中に排気される。
【００１３】次に、熱酸化分解装置、ＮａＯＨスクラバ
ーについて詳しく説明する。図２は、熱酸化分解装置及
びＮａＯＨスクラバーの断面模式図である。図２におい
て、曝気されて送り込まれてきた揮発性有機塩素化合物
を含むガスは熱酸化分解装置ｃの上方１より、ヒータ２
により９００℃〜９５０℃に加熱された反応部３に流入
し、流入ガス中に含まれる空気と酸化反応して分解され
る。ヒータとしてはセラミックヒータが好ましく用いら
れる。
ーについて詳しく説明する。図２は、熱酸化分解装置及
びＮａＯＨスクラバーの断面模式図である。図２におい
て、曝気されて送り込まれてきた揮発性有機塩素化合物
を含むガスは熱酸化分解装置ｃの上方１より、ヒータ２
により９００℃〜９５０℃に加熱された反応部３に流入
し、流入ガス中に含まれる空気と酸化反応して分解され
る。ヒータとしてはセラミックヒータが好ましく用いら
れる。
【００１４】分解して生じた排ガスは、ＮａＯＨスクラ
バーｄを通りＮａＯＨスクラバーｄ上方４より排気され
る。この時、排ガスは噴霧装置５より噴霧されるＮａＯ
Ｈと接触して中和され、無害化される。噴霧したＮａＯ
ＨはＮａＯＨタンク６に集められ、薬注ポンプ７により
再び噴霧装置５に送られ排ガスの中和に循環利用され
る。このように、循環式のスクラバー方式としたのでア
ルカリ剤消費量は少なくてすむ。
バーｄを通りＮａＯＨスクラバーｄ上方４より排気され
る。この時、排ガスは噴霧装置５より噴霧されるＮａＯ
Ｈと接触して中和され、無害化される。噴霧したＮａＯ
ＨはＮａＯＨタンク６に集められ、薬注ポンプ７により
再び噴霧装置５に送られ排ガスの中和に循環利用され
る。このように、循環式のスクラバー方式としたのでア
ルカリ剤消費量は少なくてすむ。
【００１５】実施例２ 実際に本発明を用いて実施した試験の処理条件及び処理
結果を以下に示す。 熱酸化分解装置流入時のトリクロロエチレン濃度：５０
００ｐｐｍ、１％、５％、１０％、 熱酸化分解装置反応部での被処理ガス滞留時間：１秒、
２秒、６秒、 熱酸化分解装置ヒータ温度：８５０℃、９００℃、９５
０℃、 表１にヒータ温度、８５０℃の結果を、表２に９００
℃、表３に９５０℃の結果を、上記処理条件別に示す。
図３〜図５に、表１〜表３の結果をグラフとして示す。
結果を以下に示す。 熱酸化分解装置流入時のトリクロロエチレン濃度：５０
００ｐｐｍ、１％、５％、１０％、 熱酸化分解装置反応部での被処理ガス滞留時間：１秒、
２秒、６秒、 熱酸化分解装置ヒータ温度：８５０℃、９００℃、９５
０℃、 表１にヒータ温度、８５０℃の結果を、表２に９００
℃、表３に９５０℃の結果を、上記処理条件別に示す。
図３〜図５に、表１〜表３の結果をグラフとして示す。
【００１６】図３〜図５は、ＴＣＥ流入濃度と分解率の
関係を示すグラフであり、滞留時間１秒は□−□、２秒
は＋−＋、６秒は○−○でそれぞれ示されている。これ
らより、本発明の処理方法は流入トリクロロエチレン濃
度が１％以上の場合に適用するのがよく、滞留時間２秒
以上、ヒータ温度９００℃以上であれば１００％近い分
解率が得られることが分かる。つまり、本発明で限定し
た範囲外の条件では問題点の解決にはいたらないか、又
は（前記曝発下限等）安全に機能し得ないことになる。
関係を示すグラフであり、滞留時間１秒は□−□、２秒
は＋−＋、６秒は○−○でそれぞれ示されている。これ
らより、本発明の処理方法は流入トリクロロエチレン濃
度が１％以上の場合に適用するのがよく、滞留時間２秒
以上、ヒータ温度９００℃以上であれば１００％近い分
解率が得られることが分かる。つまり、本発明で限定し
た範囲外の条件では問題点の解決にはいたらないか、又
は（前記曝発下限等）安全に機能し得ないことになる。
【００１７】
【表１】 入口：熱酸化分解装置流入口 出口１：熱酸化分解
装置流出口 出口２：ＮａＯＨスクラバー出口
装置流出口 出口２：ＮａＯＨスクラバー出口
【００１８】
【表２】 入口：熱酸化分解装置流入口 出口１：熱酸化分解
装置流出口 出口２：ＮａＯＨスクラバー出口
装置流出口 出口２：ＮａＯＨスクラバー出口
【００１９】
【表３】 入口：熱酸化分解装置流入口 出口１：熱酸化分解
装置流出口 出口２：ＮａＯＨスクラバー出口
装置流出口 出口２：ＮａＯＨスクラバー出口
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、いかなる濃度の揮発性
有機塩素化合物を含むガス及び水についても効率よく分
解無害化することが可能である。またＮａＯＨスクラバ
ーを用いることで、空冷式の装置より酸発生量を抑える
ことが出来る。さらに従来の技術に比べ、単純かつコン
パクトであるので保守、管理が容易であり、安全性も優
れている。
有機塩素化合物を含むガス及び水についても効率よく分
解無害化することが可能である。またＮａＯＨスクラバ
ーを用いることで、空冷式の装置より酸発生量を抑える
ことが出来る。さらに従来の技術に比べ、単純かつコン
パクトであるので保守、管理が容易であり、安全性も優
れている。
【図１】本発明により有機塩素化合物の処理を行うため
の工程図。
の工程図。
【図２】図１の熱酸化分解装置とＮａＯＨスクラバーの
断面模式図。
断面模式図。
【図３】反応部温度８５０℃でのＴＣＥ流入濃度と分解
率を示すグラフ。
率を示すグラフ。
【図４】反応部温度９００℃でのＴＣＥ流入濃度と分解
率を示すグラフ。
率を示すグラフ。
【図５】反応部温度９５０℃でのＴＣＥ流入濃度と分解
率を示すグラフ。
率を示すグラフ。
ａ：コンプレッサー、ｂ：凝縮、曝気槽、ｃ：熱酸化分
解装置、ｄ：ＮａＯＨスクラバー、１：ガス流入口、
２：ヒータ、３：反応部、４：ガス排出口、５：ＮａＯ
Ｈスクラバー、６：ＮａＯＨタンク、７：薬注ポンプ、
イ：滞留時間１秒、ロ：滞留時間２秒、ハ：滞留時間６
秒、
解装置、ｄ：ＮａＯＨスクラバー、１：ガス流入口、
２：ヒータ、３：反応部、４：ガス排出口、５：ＮａＯ
Ｈスクラバー、６：ＮａＯＨタンク、７：薬注ポンプ、
イ：滞留時間１秒、ロ：滞留時間２秒、ハ：滞留時間６
秒、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−178027（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−190621（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−10174（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−134241（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 53/70 B09C 1/06 C02F 1/20,11/00
Claims (1)
- 【請求項１】 気体中に含有する有機塩素化合物を、熱
酸化分解して処理する方法において、前記有機塩素化合
物は、有機塩素化合物を含有する液体、泥状物、土壌の
少なくとも１つをストリッピングして、排気される排ガ
ス中に含まれる揮発性有機塩素化合物を吸着剤に吸着さ
せた後、熱風又はスチームにより脱着し、凝縮させ、濃
縮した液体となったものを曝気して、気体中に移行した
揮発性有機塩素化合物であり、該有機塩素化合物を１〜
１０％の濃度で含む気体を、間接加熱により９００℃乃
至９５０℃で２秒間以上熱酸化分解した後、該熱酸化分
解された気体をアルカリ溶液に接触させることを特徴と
する有機塩素化合物の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34206093A JP3269901B2 (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | 有機塩素化合物の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34206093A JP3269901B2 (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | 有機塩素化合物の処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07163840A JPH07163840A (ja) | 1995-06-27 |
| JP3269901B2 true JP3269901B2 (ja) | 2002-04-02 |
Family
ID=18350849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34206093A Expired - Fee Related JP3269901B2 (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | 有機塩素化合物の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3269901B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100644518B1 (ko) | 2005-11-01 | 2006-11-10 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 수중에 함유된 염소계 유기화합물 추출 방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009028603A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Toshiba Corp | 有機ハロゲン化合物の処理装置及び処理方法 |
-
1993
- 1993-12-14 JP JP34206093A patent/JP3269901B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100644518B1 (ko) | 2005-11-01 | 2006-11-10 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 수중에 함유된 염소계 유기화합물 추출 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07163840A (ja) | 1995-06-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1450936B1 (en) | Method and apparatus for treating exhaust gas comprising a fluorine compound and carbon monoxide | |
| JP4350081B2 (ja) | 排ガスの処理方法および装置 | |
| JP2007181784A (ja) | 廃棄物処理装置 | |
| KR101097240B1 (ko) | 배기 가스 처리 방법 및 장치 | |
| JP2008049305A (ja) | 揮発性有機塩素化合物分解システム及び揮発性有機塩素化合物の分解方法 | |
| JPH08323133A (ja) | 高周波誘導熱プラズマを用いた有機ハロゲン化合物の高温加水分解により発生した排ガスの無害化処理方法 | |
| JP3269901B2 (ja) | 有機塩素化合物の処理方法 | |
| JP3016690B2 (ja) | 半導体製造排ガス除害方法とその装置 | |
| JP3384464B2 (ja) | 揮発性有機塩素化合物の処理方法 | |
| JP4037475B2 (ja) | ハロゲン系化合物を含有する排ガスの処理方法 | |
| JPH04200715A (ja) | 水溶性有機溶剤含有排気ガスの処理方法 | |
| JPS58224135A (ja) | 廃水中の水銀を回収する方法 | |
| JP4482962B2 (ja) | 六フッ化硫黄の無害化処理方法 | |
| JP3874454B2 (ja) | ごみ焼却設備 | |
| JP2004321919A (ja) | 土壌浄化方法 | |
| JP3499782B2 (ja) | 水中微量有機化合物の除去方法と装置 | |
| JP2005111433A (ja) | フッ素化合物含有排ガスの処理方法およびその装置 | |
| JP2000157830A (ja) | 排ガス処理方法および処理装置 | |
| JP2003164856A (ja) | 廃水中の揮発性有機化合物を分離・分解処理する方法及びその装置 | |
| JP2007054720A (ja) | パーフルオロカーボンガスの除害方法及び除害装置 | |
| JP4452956B2 (ja) | 有機シリコン含有排気ガス処理方法 | |
| JP2004114001A (ja) | 水熱酸化反応装置および水熱酸化方法 | |
| JPH0751539A (ja) | 有機塩素化合物の分解方法 | |
| KR100877289B1 (ko) | 반도체 확산 산화 공정중 암모니아/수소 혼합가스 처리장치 및 그 방법 | |
| JPH1147550A (ja) | 排ガス処理方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |