JPH10128063A

JPH10128063A - 揮発性有機ハロゲン化合物含有気体の処理方法および装置

Info

Publication number: JPH10128063A
Application number: JP8283896A
Authority: JP
Inventors: Miki Masuda; 幹増田; Toshio Yamaguchi; 敏男山口
Original assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date: 1996-10-25
Filing date: 1996-10-25
Publication date: 1998-05-19

Abstract

(57)【要約】【課題】揮発性有機ハロゲン化合物含有気体の処理に
おける適正温度の維持を図る。【解決手段】気体中に含まれる揮発性有機ハロゲン化
合物を吸着剤に吸着させる吸着工程と、揮発性有機ハロ
ゲン化合物を該吸着剤から再生ガス中に移行させる脱離
工程と、脱離工程により得られた揮発性有機ハロゲン化
合物含有再生ガスに水蒸気を添加、混合するガス調整工
程と、ガス調整工程より得られる混合ガスを分解触媒に
接触させて揮発性有機ハロゲン化合物を分解する接触分
解工程と、揮発性有機ハロゲン化合物の分解により生成
したハロゲン化水素を無害化処理する無害化処理工程と
により揮発性有機ハロゲン化合物含有気体を処理するに
際し、ガス調整工程から接触分離工程にかけて複数の段
階にわたって混合ガスを加熱し、混合ガスを分解触媒に
接触させる直前に最高温度にし、かつ該最高温度を１１
０〜３５０℃とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、揮発性有機ハロゲ
ン化合物を含有する排ガスや排水の処理に関し、さらに
詳しくは、気体中のトリクロロエチレンやテトラクロロ
エチレン等の揮発性有機ハロゲン化合物を効率よく分解
処理し、無害化する処理に関する。

【０００２】

【従来の技術】塩化メチレン、トリクロロエチレンやテ
トラクロロエチレン等の揮発性有機ハロゲン化合物は、
通常の環境下で化学的に極めて安定なため、電子部品や
金属製品の脱脂工程、ドライクリーニングの溶剤として
広く利用されている。しかし、揮発性有機ハロゲン化合
物はオゾン層破壊の原因物質であり、また発ガン性も疑
われており、過去に排出された揮発性有機ハロゲン化合
物による土壌や地下水の汚染が極めて大きく問題視され
てきている。地下水等に含まれる揮発性有機ハロゲン化
合物を処理する方法としては、真空抽出法等により揮発
性有機ハロゲン化合物を分離させ、活性炭等の吸着剤に
吸着し回収する方法が一般的である。しかし、完全無害
化という点で、活性炭等に吸着された揮発性有機ハロゲ
ン化合物をどう無害化するかといった根本的な問題が残
る。

【０００３】揮発性有機ハロゲン化合物自体を無害化す
る方法としては、熱分解法、光分解法、接触分解法等が
提案されている。熱分解法は、高温、高圧下で揮発性有
機ハロゲン化合物を燃焼させるが、装置が大掛かりにな
り、処理コストが高いなどの問題がある。光分解法は、
オゾンあるいは光触媒の存在下で紫外線を照射し、揮発
性有機ハロゲン化合物を分解するが、処理ガス中の揮発
性有機ハロゲン化合物濃度が高濃度の場合は不適切であ
ったり、処理効率が低いという欠点がある。

【０００４】接触分解法は、触媒による簡便な方法であ
り、処理ガス中の揮発性有機ハロゲン化合物濃度の広い
範囲にわたって適用され、注目されている技術である。
触媒分解法により土壌や水中の揮発性有機ハロゲン化合
物を処理する装置が特開平６−６３３５７号公報に開示
されている。この装置は、揮発性有機ハロゲン化合物を
含有するガスを吸着剤に濃縮し、その後再生ガスにより
脱離させるための脱離装置と、有機ハロゲン化合物分解
触媒を充填した触媒反応装置と、有機ハロゲン化合物の
分解により発生した塩化水素ガスを除去する洗浄塔から
なる。このような構成の装置により、有機ハロゲン化合
物を低温度で効率的に処理することができる。触媒とし
ては、Ｓｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ等から選ばれる少なくと
も１種以上の酸化物、具体的にはゼオライトのような強
酸点を有するものが使用されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報の装置では、接触分解処理を施す前に有機ハロゲン化
合物が４００℃以上の高温に晒されるために、揮発性有
機ハロゲン化合物の一部が分解し、重合反応を起こし、
ダイオキシン等の毒性の強い物質が生成する可能性が高
い。接触分解を行うに必要な温度を得る方法としては、
触媒を充填した触媒反応装置自体を加熱する方法と、触
媒反応装置に導入される前の有機ハロゲン化合物含有ガ
スを加熱する方法の２つが考えられる。

【０００６】前者は、有機ハロゲン化合物含有ガスが触
媒に接触する以前に高温に晒されることがないので、前
述のようなダイオキシン等が生成しにくいが、装置が大
型化するにつれて触媒反応装置全体を均一に加熱するた
めの設備およびエネルギーコストが高くなるという欠点
がある。さらに、装置を大型化し、触媒層を高くする
と、触媒層入口に比べ出口側の温度が高くなる温度分布
が生じやすく、仮に入口側温度を所望温度に設定したな
らば、それより高温となる出口側の触媒は温度上昇に伴
いシンタリングが起こり、劣化する。さらに、出口側で
のガス温度によっては、未分解の残留有機ハロゲン化合
物からダイオキシン等が生成する問題が生じる。逆に、
出口側温度を所望温度に設定したならば、入口側および
中間部の温度は所望温度より低くなるため、有効に反応
に寄与しなくなり分解率が低下する。

【０００７】後者の場合、有機ハロゲン化合物含有ガス
を加熱する熱源の設置位置により状況が異なる。有機ハ
ロゲン化合物含有ガスが触媒に接触する以前に放熱によ
り温度低下が予測されるような位置に熱源が配置されて
いる場合は、加熱直後のガス温度を触媒反応装置での所
望の温度より高く設定する必要があり、ダイオキシン等
が生成する可能性が高くなる。

【０００８】本発明は、上述したことを考慮し、排水中
や大気中に含まれている揮発性有機ハロゲン化合物を副
反応物を生成させることなく、効率よく経済的に分解
し、無害化除去する方法の提供を課題とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するため鋭意研究を重ねた結果本発明に至った。
すなわち、本発明の処理方法は、排水に含まれる揮発性
有機ハロゲン化合物をストリッピングすることにより排
気される揮発性有機ハロゲン化合物、あるいは、気体中
に含まれる揮発性有機ハロゲン化合物を吸着剤に吸着さ
せる吸着工程と、該吸着剤から揮発性有機ハロゲン化合
物を再生ガス中に移行させる脱離工程と、脱離工程によ
り得られた揮発性有機ハロゲン化合物を含有する再生ガ
スに水蒸気を添加、混合するガス調整工程と、ガス調整
工程より得られる混合ガスを分解触媒に接触させて揮発
性有機ハロゲン化合物を分解する接触分解工程と、揮発
性有機ハロゲン化合物の分解により生成したハロゲン化
水素を無害化処理する無害化処理工程とからなり、ガス
調整工程から接触分解工程にかけて混合ガスを複数の段
階にわたって、または連続的に加熱し、混合ガスを分解
触媒に接触させる直前に最高温度にし、かつ該最高温度
を１１０〜３５０℃とする。

【００１０】また、本発明の処理装置は、吸着剤を充填
し、揮発性有機ハロゲン化合物含有気体を吸着剤に送り
込む吸着領域および揮発性有機ハロゲン化合物を該吸着
剤から再生ガス中に移行させて該再生ガスを取り出す脱
離領域からなる吸着装置と、吸着装置により得られた揮
発性有機ハロゲン化合物含有再生ガスに水蒸気を添加、
混合するガス調整装置と、ガス調整装置より得られる混
合ガスを分解触媒に接触させて揮発性有機ハロゲン化合
物を分解する接触分解装置と、揮発性有機ハロゲン化合
物の分解により生成したハロゲン化水素を無害化処理す
る無害化処理装置とからなり、ガス調整装置から接触分
離装置にかけて複数の段階にわたって、または連続的に
混合ガスを加熱する加熱装置を配置してある。当該処理
装置は、大気を直接吸引して、その中の揮発性有機ハロ
ゲン化合物を処理することができ、さらに排水に含まれ
る揮発性有機ハロゲン化合物をストリッピングする装置
を吸着装置の吸着領域に接続することにより排水処理を
行える。

【００１１】揮発性有機ハロゲン化合物分解用の触媒
は、チタニア、ジルコニア、ボリア、リンから選ばれる
２種以上の酸化物と、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｉｒ、
Ａｕから選ばれる少なくとも１種の貴金属とで構成され
る。

【００１２】また、吸着工程を行う吸着領域と脱離工程
を行う脱離領域とを吸着剤が交互に通過する。このため
に、吸着剤を環状に形成して、中心軸のまわりを回転さ
せればよい。

【００１３】

【発明の実施の態様】本発明で処理の対象となる有機ハ
ロゲン化合物としては、四塩化炭素、クロロホルム、ク
ロロエチレン、１，１，１−トリクロロエタン、トリク
ロロエチレン、テトラクロロエチレンなどが挙げられ
る。以下、図面を用いて本発明の処理装置を説明する。

【００１４】図１は本実施例による処理設備の概念図で
ある。本実施例の設備は、ストリッピング装置１と、吸
着装置２と、予備加熱装置３と、触媒反応装置４と、洗
浄装置５とから主として構成される。

【００１５】図１の設備を用いて地下水等の排水中に含
まれる揮発性有機ハロゲン化合物を処理する場合は、揮
発性有機ハロゲン化合物含有排水６をストリッピング装
置１の上部に供給すると共に空気８をストリッピング装
置１の下部から吹き込む。このストリッピング装置１内
では、揮発性有機ハロゲン化合物含有排水６と空気８と
が向流接触し、揮発性有機ハロゲン化合物は空気８側に
移行する。これにより、揮発性有機ハロゲン化合物含有
気体９を得る。揮発性有機ハロゲン化合物含有気体９
は、ポンプ７により配管１２を通り、吸着装置２内に吸
引される。揮発性有機ハロゲン化合物を除去した排水６
は処理水１０として系外に排出される。

【００１６】一方、揮発性有機ハロゲン化合物を含む大
気１１を処理する場合には、揮発性有機ハロゲン化合物
含有大気１１はポンプ７により配管１２を通り揮発性有
機ハロゲン化合物含有気体９として吸着装置２内に直接
吸引される。吸着装置２は、吸着剤を充填してあり、吸
着装置２に吸引された揮発性有機ハロゲン化合物含有気
体９は、その中の揮発性有機ハロゲン化合物が吸着剤に
吸着される。揮発性有機ハロゲン化合物が除去された空
気１３は大気中に放出される。具体的に、本実施例で
は、円筒形で、回転軸のまわりにハニカム状吸着剤を充
填したハニカムローター吸着装置２を利用し、回転軸よ
り上側を吸着領域とし且つ下側を脱離領域とし、回転軸
１４を中心に回転すると、吸着剤が吸着領域と脱離領域
を通過するように構成されている。通常、吸着剤として
は活性炭、ゼオライト等が使用される。

【００１７】吸着装置２には送風機１５が接続されてい
る。送風機１５から送られた空気は、加熱器１６で加熱
され、再生ガス１７を得る。再生ガス１７は、加熱空気
導入管１８から吸着装置２の脱離領域に導入され、揮発
性有機ハロゲン化合物を吸着剤より脱離して吸着剤を再
生し、揮発性有機ハロゲン化合物を再生ガス１７中に移
行させ、揮発性有機ハロゲン化合物含有再生ガス１９を
得る。

【００１８】次に、揮発性有機ハロゲン化合物含有再生
ガス１９に水蒸気２０を添加する。これは、揮発性有機
ハロゲン化合物の分解において、水素源としての水蒸気
を共存させることにより揮発性有機ハロゲン化合物の分
解が容易となり、かつ毒性の高いハロゲンガスやホスゲ
ンの生成を抑制できるからである。なお、水蒸気２０の
温度は１５０〜２００℃位がよい。この水蒸気２０を添
加する方式としては、ボイラー（図示せず）により生成
した水蒸気を添加する方式や、水分が十分気化する温度
に加熱した気化器２９に揮発性有機ハロゲン化合物含有
ガスと水とを導入し、水を気化させる方式等が考えられ
るが、水蒸気を反応系内に導入できる方法であればいか
なる方法を用いても良い。例えば、気化器２９を用いる
場合は、気化器にアルミナを発泡させて作成したビード
等を充填剤として充填すると、ガスと水との混合拡散が
向上し、かつ水の気化が容易になる。なお、分解反応に
十分な量の水分が揮発性有機ハロゲン化合物含有再生ガ
ス中に元から含まれているような場合には、水蒸気添加
の必要はない。

【００１９】水蒸気が添加された揮発性有機ハロゲン化
合物含有再生ガス１９は、予備加熱装置３により加熱さ
れた後、触媒反応装置４に導入され、触媒層２１の入口
前の加熱器２２により温度が１１０〜３５０℃になるよ
うに加熱され、触媒層２１と接触させられ、分解処理さ
れる。加熱器２２で１１０℃以上に加熱するのは、揮発
性有機ハロゲン化合物含有再生ガス中の水蒸気が凝縮す
るのを防止するためである。一方、３５０℃以下とする
のは、これを超えると、前述したようにダイオキシン類
が副成される可能性があるからである。

【００２０】図１に示したシステムでは、揮発性有機ハ
ロゲン化合物含有再生ガス１９は、３段階で所望の温度
に上昇させている。一段目は水蒸気２０を混合させる部
分であり、２段目は予備加熱装置３の部分であり、３段
目は触媒層入口部分に設けられた加熱器２２である。こ
のように加熱手段を複数段にわたって設け、ガスの温度
を徐々に上げる方式を採れば、ガス温度が所望の温度以
上になることが避けられ、かつ触媒層内を所望の温度に
制御することが可能となる。例えば、所望の温度を３３
０℃とするような場合には、予備加熱装置３により３０
０℃まで昇温させ、続いて加熱器２２により３３０℃と
するように設定するとよい。

【００２１】本システムの加熱方法は、ガス温度や、触
媒層内温度を適正化することを目的にしているのであっ
て、同様な効果が得られれば熱源の数はいくつでもよ
く、温度も段階的に上げても、直線的に上げてもよい。
また加熱装置も、経済性を考慮して、触媒分解後の排ガ
スを利用した熱交換機等を利用することができる。

【００２２】本発明において使用される揮発性有機ハロ
ゲン化合物分解触媒は、耐酸性を有し、かつ固体酸性が
高く、チタニア、ジルコニア、ボリア、リン等から選ば
れる２種以上の酸化物にＰｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｉ
ｒ、Ａｕ等から選ばれる少なくとも１種の貴金属を担持
させることにより得られる。例えば、特願平７−１８８
０７０号に開示されているように、トリクロロエチレン
を分解処理するような白金担持燐酸・ジルコニア・チタ
ニア触媒を用いてもよい。触媒の形状として円筒状、球
状、ハニカム状等があるが、実際の反応条件に適した所
望形状を選択できる。

【００２３】触媒分解反応により分解処理を施した処理
ガス２３は、洗浄装置５に導入され、処理ガス中のハロ
ゲン化水素がアルカリ洗浄液により吸収除外される。洗
浄装置５は、予備洗浄塔２５と主洗浄塔２６と吸収液タ
ンク２７とから構成されている。処理ガス２３は、予備
洗浄塔２５の上部より導入され、吸収タンク２７の上部
空間部を経て主洗浄塔２６の上部より大気放出される。
予備洗浄塔２５と主洗浄塔２６とでは、いずれもその上
部からアルカリ洗浄液が降らされ、処理ガス２３と接触
し、ハロゲン化水素を吸収除去する。アルカリ洗浄液２
４は、ポンプ２８により循環しているが、ｐＨの低下に
従いアルカリ洗浄液２４を補給しても良く、一部のアル
カリ液を排出しつつ、新規なアルカリ洗浄液２４を補給
しても良い。なお、洗浄装置５は、基本的には処理ガス
２３中のハロゲン化水素を吸収除去できればよく、吸着
塔の形式やその段数などもこの目的に従い選択すればよ
い。

【００２４】

【実施例】次に実施例により本発明の処理方法をさらに
具体的に説明する。本実施例では、ダイオキシン類の副
生を検知するために、ダイオキシン類の分析の代わりに
クロロベンゼンの分析を行った。クロロベンセンは、ダ
イオキシン類生成の前駆体となる物質であり、クロロベ
ンゼンが検出されればダイオキシン類が生成したことを
意味する。なお、ガス分析はガスクロマトグラフ・質量
分析装置（島津製作所製、ＧＴ−５０００）を用い、比
表面積は窒素吸着ＢＥＴ法により求めた。

【００２５】［実施例１］回転軸のまわりにゼオライト
製ハニカムを充填したハニカムローター吸着装置２を形
成し、回転軸より上側を吸着領域とし且つ下側を脱離領
域とした。トリクロロエチレン５００ｐｐｍを含む２０
Ｎｍ³／ｈの空気１１を吸着装置２の吸着領域に導入
し、トリクロロエチレンを吸着させた。吸着領域でトリ
クロロエチレンを吸着した吸着剤部分は、回転により、
脱離領域へ移行した。一方、１９０℃に加熱した再生ガ
ス１７を３Ｎｍ³／ｈの割合でハニカムローター吸着装
置２の脱離領域に導入し、脱離領域へ移行してきた吸着
剤部分に吸着されたトリクロロエチレンを連続的に脱離
させた。ハニカムローター吸着装置２から出たトリクロ
ロエチレン含有再生ガス１９を気化器２９に導入し、２
５０℃に加熱し、水蒸気を１０体積％添加して、混合ガ
ス３０とし、予備加熱装置３により該混合ガス３０の温
度を２８０℃にした。

【００２６】混合ガス３０を触媒反応装置４内の触媒層
２１入口前の加熱器２２により３００℃に加熱した後、
触媒層２１内の分解触媒に接触させ、分解処理した。分
解触媒には、０．５重量％の割合でＰｔを担持させた燐
酸・ジルコニア・チタニア触媒を用い、本実施例では１
６５０ミリ・リットルの該分解触媒を触媒反応装置４に
充填した。分解後の処理ガス２３は洗浄装置５に導入
し、５Ｎ水酸化ナトリウム溶液で洗浄した。トリクロロ
エチレン含有ガスの触媒反応装置４の入口濃度は４９３
０ｐｐｍであったが、洗浄後の排ガス中のトリクロロユ
チレンの濃度は０．６ｐｐｍであった。そして、洗浄後
の排ガスから塩化水素や一酸化炭素、クロロベンゼン等
は検出されなかった。また、触媒層２１の内部に温度差
はほとんど生じなかった。

【００２７】［実施例２］混合ガスを予備加熱装置３に
より３００℃にし、加熱器２２により３３０℃にしたこ
と以外は実施例１と同機の方法でトリクロロエチレンの
分解処理を行った。トリクロロエチレン含有ガスの触媒
反応装置４の入口濃度は５０１０ｐｐｍであったが、洗
浄後の排ガス中のトリクロロエチレンの濃度は０．１ｐ
ｐｍ以下であった。そして洗浄後の排ガスから塩化水素
や一酸化炭素、クロロベンゼン等は検出されなかった。
また、触媒層２１の内部に温度差はほとんど生じなかっ
た。

【００２８】［比較例１］気化器２９による加熱のみに
した以外は実施例１と同様の方法でトリクロロエチレン
の分解処理を行った。すなわち、トリクロロエチレン含
有再生ガスの触媒層２１の入口温度を３３０℃にするこ
とに対して、放熱による温度低下を補償するために気化
器２９の加熱温度を４００℃とした。トリクロロエチレ
ン含有ガスの触媒反応装置４の入口濃度は４８００ｐｐ
ｍであったが、洗浄後の排ガス中のトリクロロエチレン
の濃度は０．１ｐｐｍ以下であった。そして洗浄後の排
ガスから塩化水素や一酸化炭素は検出されなかった。し
かし、クロロベンゼンが２５μｇ／Ｎｍ³ 検出された。
これは気化器２９で加熱した直後のガスの温度を約４０
０℃としたことが原因と思われる。

【００２９】［比較例２］触媒反応装置４の触媒層２１
の外管にヒーター（図示せず）を巻き、触媒層２１を直
接加熱する方法を採用した。すなわち、予備加熱装置３
によりトリクロロエチレン含有再生ガスを２００℃に
し、その後触媒層２１の直接加熱により３３０℃にした
以外は実施例１と同様の方法でトリクロロエチレンの分
解処理を行った。トリクロロエチレン含有ガスの触媒反
応装置４の入口濃度は４８００ｐｐｍであったが、洗浄
後の排ガス中のトリクロロエチレンの濃度は０．１ｐｐ
ｍ以下であった。そして洗浄後の排ガスから塩化水素や
一酸化炭素は検出されなかった。しかし、クロロベンゼ
ンが５μｇ／Ｎｍ³ 検出された。このとき、触媒層２１
の内部には入口側と出口側とで１００℃以上の温度差が
生じており、出口側のガス温度は４３０℃を超えてい
た。そのため、未反応の残留トリクロロエチレンからク
ロロベンゼンが生成したと思われる。

【００３０】

【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ので、揮発性有機ハロゲン化合物含有排ガスの処理に際
し、揮発性有機ハロゲン化合物を経済的に分解でき、触
媒分解以前のガスを高温下にさらすことがないのでダイ
オキシン類等の生成がない。また、分解触媒自体も所望
温度以上に加熱することが避けられるので、熱による触
媒劣化を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による処理設備の概念図であ
る。

【符号の説明】

１ストリッピング装置２吸着装置３予備加熱装置４触媒反応装置５洗浄装置６揮発性有機ハロゲン化合物含有排水７ポンプ８空気９揮発性有機ハロゲン化合物含有ガス１０処理水１１揮発性有機ハロゲン化合物を含む大気１２配管１３揮発性有機ハロゲン化合物が除去された空気１４回転軸１５送風機１６加熱器１７再生ガス１８加熱空気導入管１９揮発性有機ハロゲン化合物含有再生ガス２０水蒸気２１触媒層２２加熱器２３処理ガス２４アルカリ洗浄液２５予備洗浄塔２６主洗浄塔２７吸収タンク２８循環ポンプ２９気化器３０混合ガス

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】気体中に含まれる揮発性有機ハロゲン化
合物を吸着剤に吸着させる吸着工程と、揮発性有機ハロ
ゲン化合物を該吸着剤から再生ガス中に移行させる脱離
工程と、脱離工程により得られた揮発性有機ハロゲン化
合物含有再生ガスに水蒸気を添加、混合するガス調整工
程と、ガス調整工程より得られる混合ガスを分解触媒に
接触させて揮発性有機ハロゲン化合物を分解する接触分
解工程と、揮発性有機ハロゲン化合物の分解により生成
したハロゲン化水素を無害化処理する無害化処理工程と
からなる揮発性有機ハロゲン化合物の処理方法におい
て、ガス調整工程から接触分離工程にかけて複数の段階
にわたって、または連続的に混合ガスを加熱し、混合ガ
スを分解触媒に接触させる直前に最高温度にし、かつ該
最高温度を１１０〜３５０℃とすることを特徴とする揮
発性有機ハロゲン化合物含有気体の処理方法。
【請求項２】排水に含まれる揮発性有機ハロゲン化合
物をストリッピングして得た気体中に含まれる揮発性有
機ハロゲン化合物を吸着剤に吸着させることを特徴とす
る請求項１記載の揮発性有機ハロゲン化合物含有気体の
処理方法。
【請求項３】大気中に含まれる揮発性有機ハロゲン化
合物を吸着剤に吸着させることを特徴とする請求項１記
載の揮発性有機ハロゲン化合物含有気体の処理方法。
【請求項４】揮発性有機ハロゲン化合物分解用の触媒
が、チタニア、ジルコニア、ボリア、リンから選ばれる
２種以上の酸化物と、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｉｒ、
Ａｕから選ばれる少なくとも１種の貴金属とからなるこ
とを特徴とする請求項１記載の揮発性有機ハロゲン化合
物含有気体の処理方法。
【請求項５】吸着工程を行う吸着領域と脱離工程を行
う脱離領域とを吸着剤が交互に通過するようにしたこと
を特徴とする請求項１記載の揮発性有機ハロゲン化合物
含有排ガスの処理方法。
【請求項６】吸着剤を充填し、揮発性有機ハロゲン化
合物含有気体を吸着剤に送り込む吸着領域および揮発性
有機ハロゲン化合物を該吸着剤から再生ガス中に移行さ
せて揮発性有機ハロゲン化合物含有再生ガスを取り出す
脱離領域を有する吸着装置と、吸着装置により得られた
揮発性有機ハロゲン化合物含有再生ガスに水蒸気を添
加、混合するガス調整装置と、ガス調整装置より得られ
る混合ガスを分解触媒に接触させて揮発性有機ハロゲン
化合物を分解する接触分解装置と、揮発性有機ハロゲン
化合物の分解により生成したハロゲン化水素を無害化処
理する無害化処理装置とからなる揮発性有機ハロゲン化
合物の処理装置において、ガス調整装置から接触分離装
置にかけて複数の段階にわたってまたは連続的に混合ガ
スを加熱する加熱装置を配置したことを特徴とする揮発
性有機ハロゲン化合物含有気体の処理装置。
【請求項７】排水に含まれる揮発性有機ハロゲン化合
物をストリッピングする装置を吸着装置の吸着領域に接
続したことを特徴とする請求項６記載の揮発性有機ハロ
ゲン化合物含有気体の処理装置。
【請求項８】揮発性有機ハロゲン化合物分解用の触媒
が、チタニア、ジルコニア、ボリア、リンから選ばれる
２種以上の酸化物と、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｉｒ、
Ａｕから選ばれる少なくとも１種の貴金属とからなるこ
とを特徴とする請求項６記載の揮発性有機ハロゲン化合
物含有気体の処理装置。
【請求項９】吸着装置が軸を中心に回転可能で、吸着
領域と脱離領域とを吸着剤が交互に通過するようにした
ことを特徴とする請求項６記載の揮発性有機ハロゲン化
合物含有排ガスの処理装置。