JP2002370014A - 排ガス処理システム - Google Patents
排ガス処理システムInfo
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- treatment system
- gas treatment
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
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- Incineration Of Waste (AREA)
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 無機または有機ハロゲン化合物を含む排ガス
中の揮発性有機化合物または炭化水素を低温で酸化分解
するとともに、ダイオキシン類が発生しないように排ガ
スを処理することができる、排ガス処理システムを提供
すること。 【解決手段】 無機または有機ハロゲン化合物および有
機化合物を含有する排ガスを所定温度以上に加熱する加
熱器２と、該加熱器で加熱された排ガスを貴金属系触媒
層と接触させ、前記有機化合物を酸化分解させる触媒装
置３とを有する排ガス処理システムにおいて、前記触媒
装置３の後流部に熱交換器４を設け、系内の高温排ガス
との熱交換を可能にするとともに、該熱交換器４の少な
くとも一部に前記ハロゲン化合物の分解機能を有する触
媒を設けたことを特徴とする排ガス処理システム。
中の揮発性有機化合物または炭化水素を低温で酸化分解
するとともに、ダイオキシン類が発生しないように排ガ
スを処理することができる、排ガス処理システムを提供
すること。 【解決手段】 無機または有機ハロゲン化合物および有
機化合物を含有する排ガスを所定温度以上に加熱する加
熱器２と、該加熱器で加熱された排ガスを貴金属系触媒
層と接触させ、前記有機化合物を酸化分解させる触媒装
置３とを有する排ガス処理システムにおいて、前記触媒
装置３の後流部に熱交換器４を設け、系内の高温排ガス
との熱交換を可能にするとともに、該熱交換器４の少な
くとも一部に前記ハロゲン化合物の分解機能を有する触
媒を設けたことを特徴とする排ガス処理システム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、排ガス処理システ
ムに関し、特に半導体工場や化学プラント工場などから
排出される排ガス、特にハロゲン化合物を含んだ排ガス
中の揮発性有機化合物や炭化水素の酸化分解の際に合成
される有機ハロゲン化合物（以下、ダイオキシン類と称
する）の分解浄化を行う排ガス処理システムに関する。
ムに関し、特に半導体工場や化学プラント工場などから
排出される排ガス、特にハロゲン化合物を含んだ排ガス
中の揮発性有機化合物や炭化水素の酸化分解の際に合成
される有機ハロゲン化合物（以下、ダイオキシン類と称
する）の分解浄化を行う排ガス処理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体工場や化学プラントなどからの排
ガスに含まれる揮発性有機化合物の多くは人体に有害な
化合物であり、規制が強化される方向にある現在、この
浄化方法についての高効率化が強く望まれている。排ガ
ス中の揮発性有機化合物の浄化技術としては、吸着法、
触媒燃焼法、直接燃焼法などが挙げられ、それぞれ次の
ような特徴を有する。 （ａ）吸着法は、排ガス中の処理対象物質を吸着剤によ
り吸着除去するものであり、処理対象物が低濃度のとき
に有効な方法であるが、処理対象物が高濃度になると多
くの吸着剤が必要となり、装置が大容量化してしまい、
または吸着後の２次処理を必要とするという問題があ
る。 （ｂ）触媒燃焼法は、処理対象物を触媒との接触反応に
より酸化分解する方法であるが、比較的低温で酸化分解
が可能であるため、エネルギーコストが抑えられるが、
触媒の劣化や触媒毒に対する対策が必要となる。 （ｃ）直接燃焼法は、処理対象物を高温に加熱し、触媒
酸化させる方法であり、高濃度まで酸化分解できるが、
加熱に要するエネルギーコストが高く、設備に高い耐熱
性が要求される。 本発明は、（ｂ）の触媒燃焼法に関するものであるが、
近年、用途、耐久性から多種多様な酸化触媒が開発され
ており、ランニングコスト低減のための低温燃焼法も行
なわれている。
ガスに含まれる揮発性有機化合物の多くは人体に有害な
化合物であり、規制が強化される方向にある現在、この
浄化方法についての高効率化が強く望まれている。排ガ
ス中の揮発性有機化合物の浄化技術としては、吸着法、
触媒燃焼法、直接燃焼法などが挙げられ、それぞれ次の
ような特徴を有する。 （ａ）吸着法は、排ガス中の処理対象物質を吸着剤によ
り吸着除去するものであり、処理対象物が低濃度のとき
に有効な方法であるが、処理対象物が高濃度になると多
くの吸着剤が必要となり、装置が大容量化してしまい、
または吸着後の２次処理を必要とするという問題があ
る。 （ｂ）触媒燃焼法は、処理対象物を触媒との接触反応に
より酸化分解する方法であるが、比較的低温で酸化分解
が可能であるため、エネルギーコストが抑えられるが、
触媒の劣化や触媒毒に対する対策が必要となる。 （ｃ）直接燃焼法は、処理対象物を高温に加熱し、触媒
酸化させる方法であり、高濃度まで酸化分解できるが、
加熱に要するエネルギーコストが高く、設備に高い耐熱
性が要求される。 本発明は、（ｂ）の触媒燃焼法に関するものであるが、
近年、用途、耐久性から多種多様な酸化触媒が開発され
ており、ランニングコスト低減のための低温燃焼法も行
なわれている。
【０００３】図３は、従来の触媒燃焼法による排ガス浄
化方法の一例を示すフロー図である。図３において、工
場１からの排ガスは、加熱器２により触媒燃焼に必要な
温度まで加熱された後、触媒装置３に供給され、触媒層
を通過する間に排ガス中の揮発性有機化合物または炭化
水素が分解浄化される。分解浄化後の排ガスは、冷却設
備４によりダイオキシン類の合成温度領域以下まで急冷
され、煙突５から排出される。
化方法の一例を示すフロー図である。図３において、工
場１からの排ガスは、加熱器２により触媒燃焼に必要な
温度まで加熱された後、触媒装置３に供給され、触媒層
を通過する間に排ガス中の揮発性有機化合物または炭化
水素が分解浄化される。分解浄化後の排ガスは、冷却設
備４によりダイオキシン類の合成温度領域以下まで急冷
され、煙突５から排出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術において、燃焼温度２５０〜５００℃の温度領
域で無機または有機ハロゲン化合物を含んだ排ガス中の
揮発性有機化合物または炭化水素は、貴金属触媒により
接触酸化する場合、一部でダイオキシン類が合成され、
特に３００〜４００℃の温度領域で貴金属触媒と接触さ
せるとダイオキシンの生成量が多くなることがわかっ
た。触媒燃焼におけるダイオキシン類の合成を抑制する
技術には、貴金属触媒により４００℃以上の高温で炭化
水素を酸化分解する技術（特開平１１−２１１０５２号
公報）などがあるが、化学プラントなどから排出される
低温排ガスを高温燃焼することはランニングコストの増
加となり、好ましくない。本発明の課題は、無機または
有機ハロゲン化合物を含む排ガス中の揮発性有機化合物
または炭化水素を低温で酸化分解するとともに、ダイオ
キシン類が発生しないように排ガスを処理することがで
きる、排ガス処理システムを提供することにある。
従来技術において、燃焼温度２５０〜５００℃の温度領
域で無機または有機ハロゲン化合物を含んだ排ガス中の
揮発性有機化合物または炭化水素は、貴金属触媒により
接触酸化する場合、一部でダイオキシン類が合成され、
特に３００〜４００℃の温度領域で貴金属触媒と接触さ
せるとダイオキシンの生成量が多くなることがわかっ
た。触媒燃焼におけるダイオキシン類の合成を抑制する
技術には、貴金属触媒により４００℃以上の高温で炭化
水素を酸化分解する技術（特開平１１−２１１０５２号
公報）などがあるが、化学プラントなどから排出される
低温排ガスを高温燃焼することはランニングコストの増
加となり、好ましくない。本発明の課題は、無機または
有機ハロゲン化合物を含む排ガス中の揮発性有機化合物
または炭化水素を低温で酸化分解するとともに、ダイオ
キシン類が発生しないように排ガスを処理することがで
きる、排ガス処理システムを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、無機また
は有機ハロゲン化合物を含有する排ガスと貴金属系触媒
との接触酸化により、比較的低温で排ガス中の揮発性有
機化合物または炭化水素を酸化分解した後、その一部ま
たは全部が、ダイオキシン類の分解機能を有する触媒組
成物粒子で被覆された熱交換器によりダイオキシン類の
分解を行うとともに、熱回収することによって解決する
ことができる。すなわち、本願で特許請求される発明は
以下のとおりである。
は有機ハロゲン化合物を含有する排ガスと貴金属系触媒
との接触酸化により、比較的低温で排ガス中の揮発性有
機化合物または炭化水素を酸化分解した後、その一部ま
たは全部が、ダイオキシン類の分解機能を有する触媒組
成物粒子で被覆された熱交換器によりダイオキシン類の
分解を行うとともに、熱回収することによって解決する
ことができる。すなわち、本願で特許請求される発明は
以下のとおりである。
【０００６】（１）無機または有機ハロゲン化合物およ
び有機化合物を含有する排ガスを所定温度以上に加熱す
る加熱器と、該加熱器で加熱された排ガスを貴金属系触
媒層と接触させ、前記有機化合物を酸化分解させる触媒
装置とを有する排ガス処理システムにおいて、前記触媒
装置の後流側に熱交換器を設け、系内の高温排ガスとの
熱交換を可能にするとともに、該熱交換器の少なくとも
一部に前記ハロゲン化合物の分解機能を有する触媒を設
けたことを特徴とする排ガス処理システム。 （２）前記熱交換器が蓄熱式または表面式熱交換器であ
る（１）記載の排ガス処理システム。 （３）前記触媒粒子が酸化チタンを主成分とし、バナジ
ウム、モリブデンおよびタングステンの１種以上の酸化
物からなる（１）または（２）記載の排ガス処理システ
ム。
び有機化合物を含有する排ガスを所定温度以上に加熱す
る加熱器と、該加熱器で加熱された排ガスを貴金属系触
媒層と接触させ、前記有機化合物を酸化分解させる触媒
装置とを有する排ガス処理システムにおいて、前記触媒
装置の後流側に熱交換器を設け、系内の高温排ガスとの
熱交換を可能にするとともに、該熱交換器の少なくとも
一部に前記ハロゲン化合物の分解機能を有する触媒を設
けたことを特徴とする排ガス処理システム。 （２）前記熱交換器が蓄熱式または表面式熱交換器であ
る（１）記載の排ガス処理システム。 （３）前記触媒粒子が酸化チタンを主成分とし、バナジ
ウム、モリブデンおよびタングステンの１種以上の酸化
物からなる（１）または（２）記載の排ガス処理システ
ム。
【０００７】本発明において、触媒装置の後流側に設け
られる熱交換器としては、蓄熱式熱交換器や、表面式熱
交換器が好適に用いられる。蓄熱式熱交換器としては、
バルブを用いて流路を切り換えるバルブ切換形や、蓄熱
体を回転させることにより熱回収を行うユングストロー
ム式などが挙げられる。
られる熱交換器としては、蓄熱式熱交換器や、表面式熱
交換器が好適に用いられる。蓄熱式熱交換器としては、
バルブを用いて流路を切り換えるバルブ切換形や、蓄熱
体を回転させることにより熱回収を行うユングストロー
ム式などが挙げられる。
【０００８】さらに表面式熱交換器としては、円管を伝
熱壁としたチューブラー式、二重管式、シェルアンドチ
ューブ式や、プレート、フィン、コルゲートなどを伝熱
壁とした熱交換器が挙げられる。
熱壁としたチューブラー式、二重管式、シェルアンドチ
ューブ式や、プレート、フィン、コルゲートなどを伝熱
壁とした熱交換器が挙げられる。
【０００９】上記熱交換器の一部または全部にダイオキ
シン類などの有機ハロゲン化合物の分解機能を有する触
媒が設けられている。触媒の形状、または触媒が被覆さ
れる担体の形状については特に限定されず、板状、粒状
またはハニカム状などを用いることができ、またコージ
ェライトや金属板に触媒を塗装したものや、熱交換器の
伝熱面や装置内部に触媒を塗装したものが挙げられる。
シン類などの有機ハロゲン化合物の分解機能を有する触
媒が設けられている。触媒の形状、または触媒が被覆さ
れる担体の形状については特に限定されず、板状、粒状
またはハニカム状などを用いることができ、またコージ
ェライトや金属板に触媒を塗装したものや、熱交換器の
伝熱面や装置内部に触媒を塗装したものが挙げられる。
【００１０】熱交換器に設けられる触媒としては、酸化
チタンを主成分とし、バナジウム、モリブデンおよびタ
ングステンの１種以上の酸化物を含む組成物が好適であ
る。このような触媒は、ダイオキシン類の分解機能を有
するとともに、排ガス中にＮＯ２ が含まれる場合に
は、チタン、モリブデン、バナジウムの酸化物が低温か
ら効率よくダイオキシン類を分解することができるので
好都合である。
チタンを主成分とし、バナジウム、モリブデンおよびタ
ングステンの１種以上の酸化物を含む組成物が好適であ
る。このような触媒は、ダイオキシン類の分解機能を有
するとともに、排ガス中にＮＯ２ が含まれる場合に
は、チタン、モリブデン、バナジウムの酸化物が低温か
ら効率よくダイオキシン類を分解することができるので
好都合である。
【００１１】本発明の触媒装置に設けられる貴金属触媒
としては、排ガス中の炭化水素類など、主に有機化合物
の酸化分解機能を有する触媒であればよく、代表的には
白金系触媒、Ｐｔ―モルデナイト触媒等が好適に用いら
れる。
としては、排ガス中の炭化水素類など、主に有機化合物
の酸化分解機能を有する触媒であればよく、代表的には
白金系触媒、Ｐｔ―モルデナイト触媒等が好適に用いら
れる。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、本発明を図面に示す実施例
でさらに詳細に説明する。図１は、本発明による排ガス
処理システムの基本的なフロー図である。この排ガス処
理システムは、排ガス源（工場）１から排出される排ガ
スを加熱する加熱器２と、加熱器２で加熱された排ガス
が供給される触媒装置３と、該触媒装置の排ガスが導入
される熱交換器６と、該熱交換器を出た排ガスを環境に
排出するための煙突５とから主として構成される。
でさらに詳細に説明する。図１は、本発明による排ガス
処理システムの基本的なフロー図である。この排ガス処
理システムは、排ガス源（工場）１から排出される排ガ
スを加熱する加熱器２と、加熱器２で加熱された排ガス
が供給される触媒装置３と、該触媒装置の排ガスが導入
される熱交換器６と、該熱交換器を出た排ガスを環境に
排出するための煙突５とから主として構成される。
【００１３】図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、
それぞれ本発明の排ガス処理システムの種々の実施例を
示すフロー図である。図２（ａ）は、バルブ切替式の熱
交換器６を用いた場合のフロー図で、排ガスを熱源とし
てバルブ１０Ａまたは１０Ｂの切替により熱交換器６を
加熱することができる。また図２（ｂ）のフロー図は、
熱交換器としてユングストローム式熱交換器を用いた場
合、図２（ｃ）は、プレート式熱交換器を用いた場合、
図２（ｄ）は、チューブ式熱交換器を用いた場合をそれ
ぞれ示す。いずれの場合も、触媒装置３内には貴金属系
触媒からなる触媒層が設けられ、排ガス中の揮発性有機
化合物または炭化水素は酸化分解される。触媒として貴
金属系触媒を用いると低温でも前記化合物を効率よく分
解することができる。
それぞれ本発明の排ガス処理システムの種々の実施例を
示すフロー図である。図２（ａ）は、バルブ切替式の熱
交換器６を用いた場合のフロー図で、排ガスを熱源とし
てバルブ１０Ａまたは１０Ｂの切替により熱交換器６を
加熱することができる。また図２（ｂ）のフロー図は、
熱交換器としてユングストローム式熱交換器を用いた場
合、図２（ｃ）は、プレート式熱交換器を用いた場合、
図２（ｄ）は、チューブ式熱交換器を用いた場合をそれ
ぞれ示す。いずれの場合も、触媒装置３内には貴金属系
触媒からなる触媒層が設けられ、排ガス中の揮発性有機
化合物または炭化水素は酸化分解される。触媒として貴
金属系触媒を用いると低温でも前記化合物を効率よく分
解することができる。
【００１４】処理排ガス中には、貴金属系触媒との接触
反応により合成されたダイオキシン類を含むが、これら
の有害化合物は、触媒装置３の後流側に設けられた熱交
換器６を通る間に該熱交換器の一部または全部に設けら
れた有機ハロゲン化合物分解触媒と接触し、熱回収とと
もにダイオキシン類が分解される。
反応により合成されたダイオキシン類を含むが、これら
の有害化合物は、触媒装置３の後流側に設けられた熱交
換器６を通る間に該熱交換器の一部または全部に設けら
れた有機ハロゲン化合物分解触媒と接触し、熱回収とと
もにダイオキシン類が分解される。
【００１５】熱回収はダイオキシン類の再合成温度領域
以下、好ましくはダイオキシン類の分解速度が大きく低
下する１５０℃以下まで排ガスを冷却することにより、
ダイオキシン類の再合成もほとんどなく、排ガスを無害
化することができる。なお、この回収熱は処理排ガスの
加熱などにも用いることができる。
以下、好ましくはダイオキシン類の分解速度が大きく低
下する１５０℃以下まで排ガスを冷却することにより、
ダイオキシン類の再合成もほとんどなく、排ガスを無害
化することができる。なお、この回収熱は処理排ガスの
加熱などにも用いることができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明を具体的実施例によりさらに詳
細に説明する。 実施例１ 揮発性有機化合物としプロピレン、有機ハロゲン化合物
としてクロロベンゼンを含むガスを用い、表１に示す条
件で試験を行った。
細に説明する。 実施例１ 揮発性有機化合物としプロピレン、有機ハロゲン化合物
としてクロロベンゼンを含むガスを用い、表１に示す条
件で試験を行った。
【００１７】
【表１】
【００１８】石英反応管にＰｔ−モルデナイト触媒を充
填し、反応温度３００℃で分解試験を行った後、酸化チ
タンを主成分とし、これにモリブデンおよびバナジウム
の各酸化物を担持させたダイオキシン類分解触媒（原子
比：Ｔｉ／Ｍｏ／Ｖ＝８８／５／７）を内部に塗装した
熱交換チューブに導き、反応温度２００℃でダイオキシ
ン類を分解した。試験結果は、反応管前後のプロピレ
ン、クロロベンゼン濃度を炭化水素計で測定した値から
分解率を求め、チューブ出口で捕集したガス中のダイオ
キシン濃度を測定した。
填し、反応温度３００℃で分解試験を行った後、酸化チ
タンを主成分とし、これにモリブデンおよびバナジウム
の各酸化物を担持させたダイオキシン類分解触媒（原子
比：Ｔｉ／Ｍｏ／Ｖ＝８８／５／７）を内部に塗装した
熱交換チューブに導き、反応温度２００℃でダイオキシ
ン類を分解した。試験結果は、反応管前後のプロピレ
ン、クロロベンゼン濃度を炭化水素計で測定した値から
分解率を求め、チューブ出口で捕集したガス中のダイオ
キシン濃度を測定した。
【００１９】実施例２ 実施例１における反応温度３００℃を５００℃に変更し
て同様の試験を行った。
て同様の試験を行った。
【００２０】比較例１ 実施例１において熱交換チューブにダイオキシン類分解
触媒を塗装しない条件で同様の試験を行い、有機化合物
の分解率および出口でのダイオキシン濃度を測定した。
触媒を塗装しない条件で同様の試験を行い、有機化合物
の分解率および出口でのダイオキシン濃度を測定した。
【００２１】比較例２ 比較例１における反応温度を３００℃から５００℃に変
更して同様の試験を行った。
更して同様の試験を行った。
【００２２】比較例３ 実施例１におけるＰｔ−モルデナイトをＭｎ−Ａｌ２
Ｏ３ に変更して同様の試験を行った。
Ｏ３ に変更して同様の試験を行った。
【００２３】比較例４ 比較例１におけるＰｔ−モルデナイトをＭｎ−Ａｌ２
Ｏ３ に変更して同様の試験を行った。
Ｏ３ に変更して同様の試験を行った。
【００２４】実施例１、２および比較例１〜３の結果を
まとめて表２に示す。
まとめて表２に示す。
【００２５】
【表２】
【００２６】実施例１、２および比較例３の結果から、
ダイオキシン類分解触媒を塗装した熱交換チューブにガ
スを流通することでダイオキシン類が生成されないこと
が明らかである。また、比較例１、２の結果から、貴金
属触媒を用いて低温燃焼することにより多くのダイオキ
シン類が生成していることも確認できた。プロピレンお
よびクロロベンゼンの分解率は、実施例１、２および比
較例１、２とも同等によく分解できたが、比較例３、４
では低く、ダイオキシン類も生成していないことがわか
る。これらの結果より、揮発性有機化合物または炭化水
素を低温燃焼するのに貴金属触媒が有効であるが、無機
または有機ハロゲン化合物を含む排ガスでは触媒との接
触反応によりダイオキシン類が生成する。そのためダイ
オキシン類の分解機能を有する触媒を設けた熱交換器に
ガスを通過させ、ダイオキシン類を分解するとともに熱
回収することがコスト低減に有効であることがわかる。
ダイオキシン類分解触媒を塗装した熱交換チューブにガ
スを流通することでダイオキシン類が生成されないこと
が明らかである。また、比較例１、２の結果から、貴金
属触媒を用いて低温燃焼することにより多くのダイオキ
シン類が生成していることも確認できた。プロピレンお
よびクロロベンゼンの分解率は、実施例１、２および比
較例１、２とも同等によく分解できたが、比較例３、４
では低く、ダイオキシン類も生成していないことがわか
る。これらの結果より、揮発性有機化合物または炭化水
素を低温燃焼するのに貴金属触媒が有効であるが、無機
または有機ハロゲン化合物を含む排ガスでは触媒との接
触反応によりダイオキシン類が生成する。そのためダイ
オキシン類の分解機能を有する触媒を設けた熱交換器に
ガスを通過させ、ダイオキシン類を分解するとともに熱
回収することがコスト低減に有効であることがわかる。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、無機または有機ハロゲ
ン化合物を含む排ガス中の揮発性有機化合物または炭化
水素を貴金属触媒を用いることにより低温燃焼させ、貴
金属触媒との接触反応により合成されるダイオキシン類
を後流の熱交換器に設けられた有機ハロゲン化合物分解
触媒により分解浄化するとともに、熱回収を行うことが
できるので、排ガス浄化とともにランニングコストの低
減も可能になる。
ン化合物を含む排ガス中の揮発性有機化合物または炭化
水素を貴金属触媒を用いることにより低温燃焼させ、貴
金属触媒との接触反応により合成されるダイオキシン類
を後流の熱交換器に設けられた有機ハロゲン化合物分解
触媒により分解浄化するとともに、熱回収を行うことが
できるので、排ガス浄化とともにランニングコストの低
減も可能になる。
【図１】本発明による排ガス処理システムのフロー図。
【図２】種々の熱交換器を用いた本発明の排ガス処理シ
ステムのフロー図。
ステムのフロー図。
【図３】従来の排ガス処理システムのフロー図。
１…排ガス源、２…加熱器、３…触媒装置、４…熱交換
器、５…煙突、６…ダイオキシン類分解触媒付熱交換
器。
器、５…煙突、６…ダイオキシン類分解触媒付熱交換
器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3K078 AA10 BA02 BA18 BA20 BA26 CA02 DA01 DA12 DA23 EA02 EA03 4D048 AA11 AA17 AB01 AB03 BA07X BA11X BA23X BA26X BA27X BA30X BA42X CC32 CC42 CC46 CC52
Claims (3)
- 【請求項１】 無機または有機ハロゲン化合物および有
機化合物を含有する排ガスを所定温度以上に加熱する加
熱器と、該加熱器で加熱された排ガスを貴金属系触媒層
と接触させ、前記有機化合物を酸化分解させる触媒装置
とを有する排ガス処理システムにおいて、前記触媒装置
の後流側に熱交換器を設け、系内の高温排ガスとの熱交
換を可能にするとともに、該熱交換器の少なくとも一部
に前記ハロゲン化合物の分解機能を有する触媒を設けた
ことを特徴とする排ガス処理システム。 - 【請求項２】 前記熱交換器が蓄熱式または表面式熱交
換器である請求項１記載の排ガス処理システム。 - 【請求項３】 前記触媒粒子が酸化チタンを主成分と
し、バナジウム、モリブデンおよびタングステンの１種
以上の酸化物を含む請求項１または２記載の排ガス処理
システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001178027A JP2002370014A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 排ガス処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001178027A JP2002370014A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 排ガス処理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007000688A (ja) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Tsurui Chemical Co Ltd | 有機ハロゲン化合物の除去・無害化装置 |
| JP2009063210A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Chubu Electric Power Co Inc | 揮発性有機化合物の処理装置 |
| JP2009136841A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Chubu Electric Power Co Inc | 触媒酸化処理装置および触媒酸化処理方法 |
| JP2011083731A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Tokuyama Corp | ハロゲン化脂肪族炭化水素を含む排ガスの処理方法 |
| CN111121070A (zh) * | 2018-10-30 | 2020-05-08 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种常温催化引燃VOCs自持燃烧的处理方法 |
| CN111121071A (zh) * | 2018-10-30 | 2020-05-08 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种常温催化引燃VOCs自持燃烧的处理方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57148432U (ja) * | 1981-03-12 | 1982-09-17 | ||
| JPH02147633U (ja) * | 1989-05-10 | 1990-12-14 | ||
| JPH0857255A (ja) * | 1994-08-23 | 1996-03-05 | Hitachi Ltd | フロン分解システム |
| JPH08117557A (ja) * | 1994-09-01 | 1996-05-14 | Mitsubishi Chem Corp | 塩素化有機化合物の分解方法 |
| JPH08238418A (ja) * | 1995-03-06 | 1996-09-17 | Hitachi Ltd | 有機ハロゲン化合物の分解処理方法 |
| JP2000070715A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-07 | Kobe Steel Ltd | ハロゲン化有機化合物および有機成分（ハロゲン化有機化合物を除く）の酸化分解用触媒、および排ガスの浄化方法 |
| WO2000067880A1 (de) * | 1999-05-07 | 2000-11-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur herstellung eines katalysators sowie verwendung des katalysators zum abbau von dioxinen und/oder furanen |
-
2001
- 2001-06-13 JP JP2001178027A patent/JP2002370014A/ja active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57148432U (ja) * | 1981-03-12 | 1982-09-17 | ||
| JPH02147633U (ja) * | 1989-05-10 | 1990-12-14 | ||
| JPH0857255A (ja) * | 1994-08-23 | 1996-03-05 | Hitachi Ltd | フロン分解システム |
| JPH08117557A (ja) * | 1994-09-01 | 1996-05-14 | Mitsubishi Chem Corp | 塩素化有機化合物の分解方法 |
| JPH08238418A (ja) * | 1995-03-06 | 1996-09-17 | Hitachi Ltd | 有機ハロゲン化合物の分解処理方法 |
| JP2000070715A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-07 | Kobe Steel Ltd | ハロゲン化有機化合物および有機成分（ハロゲン化有機化合物を除く）の酸化分解用触媒、および排ガスの浄化方法 |
| WO2000067880A1 (de) * | 1999-05-07 | 2000-11-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur herstellung eines katalysators sowie verwendung des katalysators zum abbau von dioxinen und/oder furanen |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007000688A (ja) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Tsurui Chemical Co Ltd | 有機ハロゲン化合物の除去・無害化装置 |
| JP2009063210A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Chubu Electric Power Co Inc | 揮発性有機化合物の処理装置 |
| JP2009136841A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Chubu Electric Power Co Inc | 触媒酸化処理装置および触媒酸化処理方法 |
| JP2011083731A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Tokuyama Corp | ハロゲン化脂肪族炭化水素を含む排ガスの処理方法 |
| CN111121070A (zh) * | 2018-10-30 | 2020-05-08 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种常温催化引燃VOCs自持燃烧的处理方法 |
| CN111121071A (zh) * | 2018-10-30 | 2020-05-08 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种常温催化引燃VOCs自持燃烧的处理方法 |
| CN111121071B (zh) * | 2018-10-30 | 2022-07-12 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种常温催化引燃VOCs自持燃烧的处理方法 |
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