JP3266746B2 - 試料ステージ移動制御装置 - Google Patents
試料ステージ移動制御装置Info
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Description
電圧を設定し、ヒステリシス特性を有するコンパレータ
を用いて基準電圧と試料位置に対応する検出電圧とを比
較し試料ステージ駆動用のモータの停止を制御する試料
ステージ移動制御装置に関する。
路の従来例を示す図である。電子顕微鏡等の試料ステー
ジ移動制御装置は、Z方向の試料位置を基準電圧Vr に
より設定すると、これを目標指令値として、図4に示す
ようにコンパレータで位置検出ボリュームVRの検出電
圧Vd と比較し、その一致反転出力によりモータMの停
止位置を制御している。位置検出ボリュームVRは、試
料位置を検出するものであり、試料ステージをZ方向に
駆動するモータMに連動している。電子顕微鏡では、Z
方向の試料位置が加速電圧に対応するので、加速電圧と
リンクして基準電圧Vr が設定される。
の動作電圧を説明するための図である。位置制御用のコ
ンパレータでは、上記のように目標指令値としての基準
電圧Vr と位置検出ボリュームVRの検出電圧Vd と比
較し、その一致反転出力によりモータMの停止位置を制
御しているが、検出電圧Vd は、ノイズ等もあって脈動
し直線的に変化せず、実際には、基準電圧Vr に達する
ポイントで上下している。そのため動作が不安定になる
ことから、図4に示すように基準電圧Vr の入力端子と
出力端子との間に抵抗R3を接続してヒステリシス特性
を持たせ動作を安定させるようにしている。しかし、こ
のヒステリシス特性により、位置指令値である基準電圧
Vrに対して上昇と下降において、図5に示すようにα
分に相当する位置だけ試料の停止位置が異なるという問
題が生じる。すなわち、試料を上昇させる場合には、V
r (1+α)でコンパレータが動作し、逆に試料を下降
させる場合には、Vr(1−α)でコンパレータが動作
して試料の移動を停止させる。
って、試料位置の移動方向に関係なく試料停止位置を一
致させることができる分析装置の試料移動回路を提供す
ることを目的とするものである。
析条件に応じた基準電圧を設定しヒステリシス特性を有
するコンパレータを用いて基準電圧と試料位置に対応す
る検出電圧とを比較し試料ステージ駆動用のモータの停
止を制御する試料ステージ移動制御装置において、試料
位置に対応する基準電圧として試料ステージの移動方向
に応じてヒステリシス特性によるズレ分を調整した値を
発生する基準電圧発生手段を備え、試料ステージの移動
方向に応じて切り換えた基準電圧と検出電圧との比較に
よりモータの停止を制御するように構成したことを特徴
とするものである。
位置に対応する基準電圧として試料ステージの移動方向
に応じてヒステリシス特性によるズレ分を調整した値を
発生する基準電圧発生手段を備え、試料ステージの移動
方向に応じて切り換えた基準電圧と検出電圧との比較に
よりモータの停止を制御するように構成したので、試料
位置を上昇させる場合にも下降させる場合にもヒステリ
シス特性によるズレ分が調整され同じ位置に停止させる
ことができる。
明する。図1は本発明に係る試料ステージ移動制御装置
の1実施例構成を示す図、図2は基準電圧発生回路と比
較回路の構成例を示す図、図3は基準電圧と検出電圧、
動作電圧の関係を説明するための図である。
電圧に対応する試料位置と検出電圧に対応する試料位置
に基づき上昇/下降指令を出力するものである。基準電
圧発生回路6は、モータ制御回路1の上昇/下降指令と
加速電圧設定スイッチ5の設定内容から試料ステージの
移動方向、つまり上昇/下降に応じて調整した基準電圧
を発生するものである。比較回路7は、ヒステリシス特
性を有し基準電圧発生回路6の基準電圧と試料位置検出
ボリューム8の検出電圧とを比較して試料駆動回路2を
制御するものであり、上昇/下降方向によるヒステリシ
ス特性のズレ分を基準電圧発生回路6で発生する基準電
圧により調整している。試料駆動回路2は、上昇/下降
指令にしたがってモータ3を駆動して試料ステージを移
動させ、比較回路7の一致反転出力によってモータの駆
動を停止するものである。
定スイッチ5の設定と上昇/下降指令に基づき、加速電
圧に対応した基準電圧Vr を発生し、図2に示すように
試料11の上昇時にはそのまま基準電圧Vr を目標指令
値とし、また、試料11の下降時にはVr (1+α)/
(1−α)の演算を行ってVr ′を目標指令値として比
較回路7に出力する。したがって、基準電圧発生回路6
には、各加速電圧に対応する基準電圧及びこの基準電圧
に(1+α)/(1−α)を乗じた値をテーブルとして
持ち、加速電圧に応じてこれらの電圧の対を読み出し、
図2に示すように上昇/下降指令により切り換えスイッ
チ13を切り換えることによって目標指令値としてVr
かVr ′のいずれかを選択し比較回路7に出力するよう
に構成することができる。勿論、各加速電圧に対応する
基準電圧のテーブルとこの基準電圧に(1+α)/(1
−α)を乗ずる演算回路を用意し、試料11の上昇時に
は演算回路をスルーにし、試料11の下降時には演算回
路による所定の演算を行った値Vr ′を選択するように
構成してもよいし、テーブルから読み出した基準電圧V
r と演算回路の演算出力Vr ′とを上昇/下降指令によ
り切り換えスイッチ13で切り換えて選択するように構
成してもよい。このようにして基準電圧をVr とVr ′
に切り換えることにより、試料11の停止位置は、上昇
時にも下降時にもVr (1+α)となり、移動方向に関
係なく一致させることができる。
ッチ5が設定されると、モータ制御回路1は、試料位置
検出ボリューム8による検出電圧と加速電圧から上昇か
下降かを決め上昇/下降指令を出力する。そして、例え
ば図3に示すように検出電圧がVdAでモータ制御回路1
より上昇指令が出力された場合には、試料駆動回路2に
よりモータ3を試料11の位置が上昇する方向に駆動
し、切り換えスイッチ13により目標指令値として基準
電圧Vr を選択する。したがって、コンパレータ12に
は、基準電圧Vr と検出電圧Vd が入力されるので、検
出電圧Vd が動作電圧Vr (1+α)に達すると、コン
パレータ12が一致反転出力により、試料駆動回路2
は、モータ3を停止させる。
により下降指令が出力された場合には、試料駆動回路3
によりモータ3を試料11の位置が下降する方向に駆動
し、切り換えスイッチ13により基準電圧Vr ′=Vr
(1+α)/(1−α)を選択する。したがって、コン
パレータ12には、基準電圧Vr ′と検出電圧Vd が入
力されるので、検出電圧Vd が動作電圧Vr (1+α)
に達すると、コンパレータ12が一致反転出力により、
試料駆動回路2は、モータ3を停止させる。
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、基準電圧Vr を試料上昇時の目標指令値
にして、これに(1+α)/(1−α)を乗じた値を試
料下降時の目標指令値にしたが、その逆であってもよ
い。また、目標指令値を試料上昇時と試料下降時で切り
換えたが、コンパレータを2個使用し、その出力を試料
上昇時と試料下降時で切り換えるように構成してもよ
い。また、本発明は、加速電圧に対応してZ方向の試料
位置を移動する電子顕微鏡の試料ステージ移動制御装置
として説明したが、他の分析装置の試料ステージ移動制
御装置においても同様に適用できることはいうまでもな
い。
によれば、試料位置に対応する基準電圧として試料ステ
ージの移動方向に応じてヒステリシス特性によるズレ分
を調整した値を発生し、試料ステージの移動方向に応じ
て切り換えた基準電圧と検出電圧との比較によりモータ
の停止を制御するように構成したので、試料位置を上昇
させる場合にも下降させる場合にもヒステリシス特性に
よるズレ分が調整され同じ位置に停止させることがで
き、移動方向に関係なく試料の停止位置を一致させるこ
とができる。
実施例構成を示す図である。
図である。
するための図である。
を示す図である。
図である。
5…加速電圧設定スイッチ、6…基準電圧発生回路、7
…比較回路、8…試料位置検出ボリューム
Claims (1)
- 【請求項1】 分析条件に応じた基準電圧を設定しヒス
テリシス特性を有するコンパレータを用いて基準電圧と
試料位置に対応する検出電圧とを比較し試料ステージ駆
動用のモータの停止を制御する試料ステージ移動制御装
置において、試料位置に対応する基準電圧として試料ス
テージの移動方向に応じてヒステリシス特性によるズレ
分を調整した値を発生する基準電圧発生手段を備え、試
料ステージの移動方向に応じて切り換えた基準電圧と検
出電圧との比較によりモータの停止を制御するように構
成したことを特徴とする試料ステージ移動制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25654694A JP3266746B2 (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 試料ステージ移動制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25654694A JP3266746B2 (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 試料ステージ移動制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08124509A JPH08124509A (ja) | 1996-05-17 |
JP3266746B2 true JP3266746B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=17294145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25654694A Expired - Fee Related JP3266746B2 (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 試料ステージ移動制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3266746B2 (ja) |
-
1994
- 1994-10-21 JP JP25654694A patent/JP3266746B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08124509A (ja) | 1996-05-17 |
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