JP3266043B2 - 半導体デバイス用容器 - Google Patents
半導体デバイス用容器Info
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- semiconductor device
- carrier tape
- inspection
- container
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/80—Packaging reuse or recycling, e.g. of multilayer packaging
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主に半導体デバイ
スの検査時に半導体デバイスを収納するための半導体デ
バイス用容器に関するものである。
スの検査時に半導体デバイスを収納するための半導体デ
バイス用容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】まず、図６を用いて、本発明の説明で使
用する半導体デバイスについて述べる。図６は半導体デ
バイスの斜視図である。図６において、１１は半導体デ
バイス全体、１２は上面、１３は側面、１４は四方向に
出た金属製のリード、１５は下面（図では隠れて見え
ず）である。この半導体デバイス１１はパッケージタイ
プがＱＦＰと呼ばれ、表面実装型で、四方向からリード
１４が出るため、多ピン化可能という長所があり、近年
生産数が増大しているものである。
用する半導体デバイスについて述べる。図６は半導体デ
バイスの斜視図である。図６において、１１は半導体デ
バイス全体、１２は上面、１３は側面、１４は四方向に
出た金属製のリード、１５は下面（図では隠れて見え
ず）である。この半導体デバイス１１はパッケージタイ
プがＱＦＰと呼ばれ、表面実装型で、四方向からリード
１４が出るため、多ピン化可能という長所があり、近年
生産数が増大しているものである。
【０００３】次に図７、図８を用いて、半導体デバイス
１１の従来の収納容器について説明する。図７は従来の
半導体デバイス用容器であるトレイの斜視図、図８はト
レイの部分拡大斜視図である。
１１の従来の収納容器について説明する。図７は従来の
半導体デバイス用容器であるトレイの斜視図、図８はト
レイの部分拡大斜視図である。
【０００４】図７、図８において、２１はトレイ全体を
指すとする。トレイ２１には、半導体デバイス１１がマ
トリックス状に配置されるように入れられる。２２はデ
バイス保持部であり、半導体デバイス１１の下面１５が
接触する支持面２３と側面１３の下部を規正する、支持
面２３の回りで一段高くなった位置決め壁２４からな
る。また、２５は側壁であり、半導体デバイス１１の全
体を取り囲む。また、図示は省略するが、トレイ２１の
裏面には上面規制部が一体に設けられており、トレイ２
１を重ねたときに、下側のトレイ２１に載っている半導
体デバイス１１の上面１２に近接し、トレイ２１の姿勢
が変化したり、振動が加わったときに上面１２がそれに
接触することで、収納状態を変化させない役割をする。
指すとする。トレイ２１には、半導体デバイス１１がマ
トリックス状に配置されるように入れられる。２２はデ
バイス保持部であり、半導体デバイス１１の下面１５が
接触する支持面２３と側面１３の下部を規正する、支持
面２３の回りで一段高くなった位置決め壁２４からな
る。また、２５は側壁であり、半導体デバイス１１の全
体を取り囲む。また、図示は省略するが、トレイ２１の
裏面には上面規制部が一体に設けられており、トレイ２
１を重ねたときに、下側のトレイ２１に載っている半導
体デバイス１１の上面１２に近接し、トレイ２１の姿勢
が変化したり、振動が加わったときに上面１２がそれに
接触することで、収納状態を変化させない役割をする。
【０００５】このように構成されたトレイ２１が、半導
体デバイス１１の製造工程で、半導体デバイス１１が最
終形状になったあとの工程、例えば電気特性検査工程や
外観検査工程で使用されている。これらの工程では、ト
レイ２１を用いて半導体デバイス１１を供給する。検査
装置は、供給用のトレイ２１から半導体デバイス１１を
取り出し検査を行い、検査により良品と不良品といった
２つのグループあるいはそれ以上のグループに分類す
る。そして、収納用に分類数だけのトレイ２１を用意し
ておき、そこに検査済みの半導体デバイス１１を入れて
いく。
体デバイス１１の製造工程で、半導体デバイス１１が最
終形状になったあとの工程、例えば電気特性検査工程や
外観検査工程で使用されている。これらの工程では、ト
レイ２１を用いて半導体デバイス１１を供給する。検査
装置は、供給用のトレイ２１から半導体デバイス１１を
取り出し検査を行い、検査により良品と不良品といった
２つのグループあるいはそれ以上のグループに分類す
る。そして、収納用に分類数だけのトレイ２１を用意し
ておき、そこに検査済みの半導体デバイス１１を入れて
いく。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の半導体デバイス用容器では、容器側で個々の半導体
デバイスに対する情報を示すことができないという問題
があった。このため検査装置では、トレイを置く位置と
して、供給用と検査結果の分類数だけの収納用のものを
置く位置が必要となり、装置が大型化していた。また、
供給用のトレイから検査位置、検査位置から収納用のト
レイへと半導体デバイスを運搬するため、半導体デバイ
スを運搬する距離が長くなり、そのためにトラブルが発
生しやすくなったり、検査装置の機構が複雑になってい
た。さらに、供給用のトレイが空になったり、収納用の
トレイが一杯になったりした場合にはトレイも移動させ
る必要があり、それに関するトラブルも発生していた。
来の半導体デバイス用容器では、容器側で個々の半導体
デバイスに対する情報を示すことができないという問題
があった。このため検査装置では、トレイを置く位置と
して、供給用と検査結果の分類数だけの収納用のものを
置く位置が必要となり、装置が大型化していた。また、
供給用のトレイから検査位置、検査位置から収納用のト
レイへと半導体デバイスを運搬するため、半導体デバイ
スを運搬する距離が長くなり、そのためにトラブルが発
生しやすくなったり、検査装置の機構が複雑になってい
た。さらに、供給用のトレイが空になったり、収納用の
トレイが一杯になったりした場合にはトレイも移動させ
る必要があり、それに関するトラブルも発生していた。
【０００７】本発明は上記問題を解決するもので、繰り
返し使用可能な容器でありながら、個々の半導体デバイ
スに対する情報を容器側で可視的に示すことで、半導体
デバイスを別の容器に移したりしなくても検査結果の判
別を可能にすることを目的とする。
返し使用可能な容器でありながら、個々の半導体デバイ
スに対する情報を容器側で可視的に示すことで、半導体
デバイスを別の容器に移したりしなくても検査結果の判
別を可能にすることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の半導体デバイス用容器は、半導体デバイスの
位置決めと支持をするデバイス保持部と、半導体デバイ
スの出し入れを規制する第一の位置と規制しない第二の
位置との間を移動する規制部材と、複数の位置を移動す
ることで半導体デバイスに関する情報を示す一つ以上の
情報部材とを基本単位として、これが複数個つながるこ
とでテープ状になっている。
に本発明の半導体デバイス用容器は、半導体デバイスの
位置決めと支持をするデバイス保持部と、半導体デバイ
スの出し入れを規制する第一の位置と規制しない第二の
位置との間を移動する規制部材と、複数の位置を移動す
ることで半導体デバイスに関する情報を示す一つ以上の
情報部材とを基本単位として、これが複数個つながるこ
とでテープ状になっている。
【０００９】これにより個々の半導体デバイスに対する
情報を容器側で、部材の位置の可逆的な変化で示すこと
ができる。
情報を容器側で、部材の位置の可逆的な変化で示すこと
ができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】まず、本発明の第１の実施形態の
半導体デバイス用容器について説明する。図１は本発明
の第１の実施形態におけるキャリアテープの斜視図であ
る。
半導体デバイス用容器について説明する。図１は本発明
の第１の実施形態におけるキャリアテープの斜視図であ
る。
【００１１】図１において、３１はキャリアテープ全体
を指すとする。キャリアテープ３１は、通常リールに巻
付けて使用されるが、ここではリールから引出して平ら
な状態にあるときの二つの基本単位を示す。３２は送り
穴であり、キャリアテープ３１の幅方向の両側に設けら
れている。３３はデバイス保持部であり、半導体デバイ
ス１１の側面１３の下部と下面１５を利用することで、
キャリアテープ３１の中での位置決めと支持をする。デ
バイス保持部３３はキャリアテープ３１とその長手方向
のみでつながっている。３４は規制片であり、板ばね部
３５と樹脂部３６が一体化されたもので、板ばね部３５
の一方の側はキャリアテープ３１に固着されており、他
方の樹脂部３６がある側は可動端となっている。規制片
３４は、キャリアテープ３１の幅方向の両側に設けられ
て、半導体デバイス１１の出し入れを規制する第一の位
置と規制しない第二の位置との間を移動するが、力が加
わらない状態では第一の位置にある。樹脂部３６は、規
制片３４が半導体デバイス１１の出し入れを規制する第
一の位置で、半導体デバイス１１の上面１２の上部に近
接して存在する。
を指すとする。キャリアテープ３１は、通常リールに巻
付けて使用されるが、ここではリールから引出して平ら
な状態にあるときの二つの基本単位を示す。３２は送り
穴であり、キャリアテープ３１の幅方向の両側に設けら
れている。３３はデバイス保持部であり、半導体デバイ
ス１１の側面１３の下部と下面１５を利用することで、
キャリアテープ３１の中での位置決めと支持をする。デ
バイス保持部３３はキャリアテープ３１とその長手方向
のみでつながっている。３４は規制片であり、板ばね部
３５と樹脂部３６が一体化されたもので、板ばね部３５
の一方の側はキャリアテープ３１に固着されており、他
方の樹脂部３６がある側は可動端となっている。規制片
３４は、キャリアテープ３１の幅方向の両側に設けられ
て、半導体デバイス１１の出し入れを規制する第一の位
置と規制しない第二の位置との間を移動するが、力が加
わらない状態では第一の位置にある。樹脂部３６は、規
制片３４が半導体デバイス１１の出し入れを規制する第
一の位置で、半導体デバイス１１の上面１２の上部に近
接して存在する。
【００１２】図１の左側の基本単位は、規制片３４が半
導体デバイス１１の出し入れを規制する第一の位置にあ
る状態を示し、右側の基本単位は規制片３４が半導体デ
バイス１１の出し入れを規制しない第二の位置にある状
態を示す。規制片３４の位置の操作は、デバイス保持部
３３が長手方向のみでしかつながっていないため、幅方
向の外側から容易にできる。３７は判定板であり、基本
単位毎に設けられてキャリアテープ３１の幅方向にスラ
イド可能となっており、半導体デバイス１１が良品か不
良品かの検査結果を示す。判定板３７は両側の動作端で
微妙な凹凸によりその位置を保つ構造となっており、動
作端からは一定以上の力を加えないと動かない。
導体デバイス１１の出し入れを規制する第一の位置にあ
る状態を示し、右側の基本単位は規制片３４が半導体デ
バイス１１の出し入れを規制しない第二の位置にある状
態を示す。規制片３４の位置の操作は、デバイス保持部
３３が長手方向のみでしかつながっていないため、幅方
向の外側から容易にできる。３７は判定板であり、基本
単位毎に設けられてキャリアテープ３１の幅方向にスラ
イド可能となっており、半導体デバイス１１が良品か不
良品かの検査結果を示す。判定板３７は両側の動作端で
微妙な凹凸によりその位置を保つ構造となっており、動
作端からは一定以上の力を加えないと動かない。
【００１３】このことを図２を用いて説明する。図２は
本発明の第１の実施形態における判定板の平面図であ
る。図２は判定板３７が、キャリアテープ３１の中央に
近い側で、キャリアテープ３１により覆われている部分
を取り除いて示したものである。
本発明の第１の実施形態における判定板の平面図であ
る。図２は判定板３７が、キャリアテープ３１の中央に
近い側で、キャリアテープ３１により覆われている部分
を取り除いて示したものである。
【００１４】図２において、３８は動作凸部であり、判
定板３７に設けられている。３９は内側規制部、４０は
外側規制部であり、キャリアテープ３１に設けられてい
る。図２の状態は判定板３７がキャリアテープ３１の幅
方向の外側の動作端にある状態を示し、外側規制部４０
は動作凸部３８が図２で左側に動くことを規制してお
り、自重のようなわずかな力では動くことができない。
判定板３７に左方向の一定以上の力を加えると、動作凸
部３８が外側規制部４０に当たった後、両者が弾性変形
してたわむことで、動作凸部３８が外側規制部４０を越
えて左側へ動くことができる。動作凸部３８と外側規制
部４０は、動作凸部３８が外側規制部４０の左側へ動い
たあとは、弾性変形前の状態に戻る。さらに、動作凸部
３８は内側規制部３９に当たって、その左側へ動く。判
定板３７が左端まで動いたあとは、内側規制部３９は動
作凸部３８が右側に動くことを規制する。
定板３７に設けられている。３９は内側規制部、４０は
外側規制部であり、キャリアテープ３１に設けられてい
る。図２の状態は判定板３７がキャリアテープ３１の幅
方向の外側の動作端にある状態を示し、外側規制部４０
は動作凸部３８が図２で左側に動くことを規制してお
り、自重のようなわずかな力では動くことができない。
判定板３７に左方向の一定以上の力を加えると、動作凸
部３８が外側規制部４０に当たった後、両者が弾性変形
してたわむことで、動作凸部３８が外側規制部４０を越
えて左側へ動くことができる。動作凸部３８と外側規制
部４０は、動作凸部３８が外側規制部４０の左側へ動い
たあとは、弾性変形前の状態に戻る。さらに、動作凸部
３８は内側規制部３９に当たって、その左側へ動く。判
定板３７が左端まで動いたあとは、内側規制部３９は動
作凸部３８が右側に動くことを規制する。
【００１５】このように判定板３７は、両側の動作端で
安定して位置を保ち、逆側へは一定以上の力を掛けない
と動かず、位置保持性がある。これにより、検査の結果
の２分類に対応することができる。また、弾性変形を利
用しているので、可逆的であり何度も使用できる。
安定して位置を保ち、逆側へは一定以上の力を掛けない
と動かず、位置保持性がある。これにより、検査の結果
の２分類に対応することができる。また、弾性変形を利
用しているので、可逆的であり何度も使用できる。
【００１６】このように構成されたキャリアテープ３１
を電気特性検査に用いる場合の例について図３を用いて
説明する。図３は半導体デバイスの電気特性検査を行う
ハンドラの斜視図である。
を電気特性検査に用いる場合の例について図３を用いて
説明する。図３は半導体デバイスの電気特性検査を行う
ハンドラの斜視図である。
【００１７】図３において、５１はハンドラ全体を示
す。５２は供給リールであり、未検査の半導体デバイス
１１の入ったキャリアテープ３１が巻付けられて、ハン
ドラ５１に取付けられる。５３は供給側スプロケットで
あり、キャリアテープ３１の送り穴３２と係合する歯５
４が外周に付いている。５５はテープガイドであり、キ
ャリアテープ３１が入るキャリアテープ３１の幅よりや
や広い溝が設けられていて、その溝によりキャリアテー
プ３１の搬送を安定したものにする。５６はソケットで
あり、電気特性検査を行う主体であるテスタ（図示せ
ず）につながっており、半導体デバイス１１との電気的
接続の役割を果たす。５７は検査ヘッドであり、キャリ
アテープ３１とソケット５６との間を半導体デバイス１
１を運ぶ。５８は巻取り側スプロケットであり、供給側
スプロケット５３と同様にキャリアテープ３１の送り穴
３２と係合する歯５９が外周に付いている。６０は巻取
りリールである。キャリアテープ３１の搬送は、巻取り
側スプロケット５８をモータ等を駆動源として回転させ
ることで行い、巻取り側スプロケット５８より右側でた
るむ部分は、巻取りリール６０をモータ等を駆動源とし
て回転させることで巻取る。テープガイド５５の中央
は、検査ヘッド５７が半導体デバイス１１をキャリアテ
ープ３１に対して出し入れする位置であり、そこには規
制片３４の操作機構（図示せず）があり、規制片３４の
可動端を外側に曲げることで、半導体デバイス１１の出
し入れを許可する。検査が開始されると、巻取り側スプ
ロケット５８が回転して供給リール５２からキャリアテ
ープ３１を引出していき、巻取り側スプロケット５８よ
り右側でたるむ部分は巻取りリール６０が巻取ってい
く。未検査の半導体デバイス１１がテープガイド５５の
中央へ来ると、巻取り側スプロケット５８は回転を停止
し、半導体デバイス１１のキャリアテープ３１に対する
出し入れが許可される。そして、上方にあった検査ヘッ
ド５７が下降、真空吸着して上昇、ソケット５６の上方
へ移動、そこで下降、ソケット５６に半導体デバイス１
１のリード１４を押付けて、接続したテスタ（図示せ
ず）により電気特性検査が行われる。検査が終了する
と、検査ヘッド５７は上昇、最初の位置まで移動、そこ
で下降して半導体デバイス１１を離し、上昇、次の半導
体デバイス１１が来るまで待機する。検査開始前にはす
べての判定板３７を不良品を示す位置である内側にスラ
イドした状態にしておくものとし、検査により半導体デ
バイス１１が良品と判定された場合のみ、操作機構（図
示せず）が外側にスライドさせる。規制片３４の操作機
構（図示せず）は検査の終了後は、規制片３４の操作を
やめて半導体デバイス１１のキャリアテープ３１に対す
る出し入れを規制する。そして巻取り側スプロケット５
８がキャリアテープ３１を１つの基本単位分だけ送り、
次の半導体デバイス１１を同様の手順で検査する。
す。５２は供給リールであり、未検査の半導体デバイス
１１の入ったキャリアテープ３１が巻付けられて、ハン
ドラ５１に取付けられる。５３は供給側スプロケットで
あり、キャリアテープ３１の送り穴３２と係合する歯５
４が外周に付いている。５５はテープガイドであり、キ
ャリアテープ３１が入るキャリアテープ３１の幅よりや
や広い溝が設けられていて、その溝によりキャリアテー
プ３１の搬送を安定したものにする。５６はソケットで
あり、電気特性検査を行う主体であるテスタ（図示せ
ず）につながっており、半導体デバイス１１との電気的
接続の役割を果たす。５７は検査ヘッドであり、キャリ
アテープ３１とソケット５６との間を半導体デバイス１
１を運ぶ。５８は巻取り側スプロケットであり、供給側
スプロケット５３と同様にキャリアテープ３１の送り穴
３２と係合する歯５９が外周に付いている。６０は巻取
りリールである。キャリアテープ３１の搬送は、巻取り
側スプロケット５８をモータ等を駆動源として回転させ
ることで行い、巻取り側スプロケット５８より右側でた
るむ部分は、巻取りリール６０をモータ等を駆動源とし
て回転させることで巻取る。テープガイド５５の中央
は、検査ヘッド５７が半導体デバイス１１をキャリアテ
ープ３１に対して出し入れする位置であり、そこには規
制片３４の操作機構（図示せず）があり、規制片３４の
可動端を外側に曲げることで、半導体デバイス１１の出
し入れを許可する。検査が開始されると、巻取り側スプ
ロケット５８が回転して供給リール５２からキャリアテ
ープ３１を引出していき、巻取り側スプロケット５８よ
り右側でたるむ部分は巻取りリール６０が巻取ってい
く。未検査の半導体デバイス１１がテープガイド５５の
中央へ来ると、巻取り側スプロケット５８は回転を停止
し、半導体デバイス１１のキャリアテープ３１に対する
出し入れが許可される。そして、上方にあった検査ヘッ
ド５７が下降、真空吸着して上昇、ソケット５６の上方
へ移動、そこで下降、ソケット５６に半導体デバイス１
１のリード１４を押付けて、接続したテスタ（図示せ
ず）により電気特性検査が行われる。検査が終了する
と、検査ヘッド５７は上昇、最初の位置まで移動、そこ
で下降して半導体デバイス１１を離し、上昇、次の半導
体デバイス１１が来るまで待機する。検査開始前にはす
べての判定板３７を不良品を示す位置である内側にスラ
イドした状態にしておくものとし、検査により半導体デ
バイス１１が良品と判定された場合のみ、操作機構（図
示せず）が外側にスライドさせる。規制片３４の操作機
構（図示せず）は検査の終了後は、規制片３４の操作を
やめて半導体デバイス１１のキャリアテープ３１に対す
る出し入れを規制する。そして巻取り側スプロケット５
８がキャリアテープ３１を１つの基本単位分だけ送り、
次の半導体デバイス１１を同様の手順で検査する。
【００１８】このように半導体デバイス１１をキャリア
テープ３１の元の位置に戻しても判定板３７により検査
結果が分かるため、以降の工程では判定板３７の位置情
報を光センサ等を用いることで検出して半導体デバイス
１１を処理することができる。
テープ３１の元の位置に戻しても判定板３７により検査
結果が分かるため、以降の工程では判定板３７の位置情
報を光センサ等を用いることで検出して半導体デバイス
１１を処理することができる。
【００１９】次に、図４を用いて本発明の第２の実施形
態における半導体デバイス用容器について説明する。こ
こで説明するキャリアテープ７１は、外観が前記した第
１の実施形態と同じで、判定板７２に関連した内部の構
造のみ異なるものとする。この判定板７２の内部の構造
を図４を用いて説明する。図４は本発明の第２の実施形
態における判定板の平面図である。図４は判定板７２
が、キャリアテープ７１の中央に近い側で、キャリアテ
ープ７１により覆われている部分を取り除いて示したも
のである。
態における半導体デバイス用容器について説明する。こ
こで説明するキャリアテープ７１は、外観が前記した第
１の実施形態と同じで、判定板７２に関連した内部の構
造のみ異なるものとする。この判定板７２の内部の構造
を図４を用いて説明する。図４は本発明の第２の実施形
態における判定板の平面図である。図４は判定板７２
が、キャリアテープ７１の中央に近い側で、キャリアテ
ープ７１により覆われている部分を取り除いて示したも
のである。
【００２０】図４において、７３は動作凸部であり、判
定板７２に設けられている。７４は内側規制部、７５は
中央規制部、７６は外側規制部であり、キャリアテープ
７１に設けられている。判定板７２が両側の動作端で安
定して位置を保つ仕組みは第１の実施形態と同様であ
り、それに加えて中央でも動作凸部７３と中央規制部７
５が係合することで安定してその位置を保つ。結局、こ
の判定板７２は３箇所で位置保持性があり、検査の結果
が３分類であっても対応することができる。
定板７２に設けられている。７４は内側規制部、７５は
中央規制部、７６は外側規制部であり、キャリアテープ
７１に設けられている。判定板７２が両側の動作端で安
定して位置を保つ仕組みは第１の実施形態と同様であ
り、それに加えて中央でも動作凸部７３と中央規制部７
５が係合することで安定してその位置を保つ。結局、こ
の判定板７２は３箇所で位置保持性があり、検査の結果
が３分類であっても対応することができる。
【００２１】次に、図５を用いて本発明の第３の実施形
態における容器について説明する。図５は本発明の第３
の実施形態におけるキャリアテープの斜視図である。
態における容器について説明する。図５は本発明の第３
の実施形態におけるキャリアテープの斜視図である。
【００２２】図５において、８１はキャリアテープ全
体、８２は送り穴、８３はデバイス保持部、８４は規制
片である。８５は第一判定板、８６は第二判定板であ
り、ともに内部の構造は、第１の実施の形態の判定板３
７と同じとする。第一判定板８５と第二判定板８６はと
もに両側の動作端で位置保持性がある。この二つを組合
せることで、検査の結果が４分類であっても対応するこ
とができる。
体、８２は送り穴、８３はデバイス保持部、８４は規制
片である。８５は第一判定板、８６は第二判定板であ
り、ともに内部の構造は、第１の実施の形態の判定板３
７と同じとする。第一判定板８５と第二判定板８６はと
もに両側の動作端で位置保持性がある。この二つを組合
せることで、検査の結果が４分類であっても対応するこ
とができる。
【００２３】なお、本実施形態では半導体デバイス１１
のパッケージタイプをＱＦＰとして説明を進めたが、キ
ャリアテープ側で情報を示すことが主旨なので、ＱＦＰ
に限らず種々のパッケージに本実施形態は適用できる。
のパッケージタイプをＱＦＰとして説明を進めたが、キ
ャリアテープ側で情報を示すことが主旨なので、ＱＦＰ
に限らず種々のパッケージに本実施形態は適用できる。
【００２４】また、本発明の第１の実施形態のキャリア
テープ３１を用いるハンドラ５１では、半導体デバイス
１１をソケット５６まで運搬して検査をするとしたが、
上部からリード１４に針を接触させる形態を採ることも
でき、その場合はキャリアテープ３１に入れたままで検
査ができ、半導体デバイス１１の運搬自体をなくするこ
とができる。
テープ３１を用いるハンドラ５１では、半導体デバイス
１１をソケット５６まで運搬して検査をするとしたが、
上部からリード１４に針を接触させる形態を採ることも
でき、その場合はキャリアテープ３１に入れたままで検
査ができ、半導体デバイス１１の運搬自体をなくするこ
とができる。
【００２５】また、送り穴をキャリアテープの両側に設
けて搬送を行うとしたが、送り穴を設けるのは片側のみ
でもよいし、送り穴を設けなくてもローラによる摩擦力
で搬送したり、把持機構を設けて搬送したりすることが
できる。
けて搬送を行うとしたが、送り穴を設けるのは片側のみ
でもよいし、送り穴を設けなくてもローラによる摩擦力
で搬送したり、把持機構を設けて搬送したりすることが
できる。
【００２６】また、規制片３４，８４に関連する構造
は、本発明の実施形態で説明したものに限らず、半導体
デバイス１１の出し入れの許可と禁止を行い、何度も使
用できるものであればよいので種々変形可能である。
は、本発明の実施形態で説明したものに限らず、半導体
デバイス１１の出し入れの許可と禁止を行い、何度も使
用できるものであればよいので種々変形可能である。
【００２７】また、キャリアテープ側で示す情報の数を
本発明の第１の実施形態では２、第２の実施形態では
３、第３の実施形態では４としたが、この数は判定板の
構造と数をどうするかによって決まるので、さらに多く
の数でも示すことができる。
本発明の第１の実施形態では２、第２の実施形態では
３、第３の実施形態では４としたが、この数は判定板の
構造と数をどうするかによって決まるので、さらに多く
の数でも示すことができる。
【００２８】さらに、判定板３７，７２，８５，８６に
関連する構造は、本発明の実施形態で説明したものに限
らず、複数箇所を移動し、位置保持性があり、可逆的で
あり何度も使用できるものであればよいので種々変形可
能である。
関連する構造は、本発明の実施形態で説明したものに限
らず、複数箇所を移動し、位置保持性があり、可逆的で
あり何度も使用できるものであればよいので種々変形可
能である。
【００２９】
【発明の効果】このように本発明の半導体デバイスの容
器によれば、半導体デバイスの位置決めと支持をするデ
バイス保持部と、半導体デバイスの出し入れを規制する
第一の位置と規制しない第二の位置との間を移動する規
制部材と、複数の位置を移動することで半導体デバイス
に関する情報を示す１つ以上の情報部材とを基本単位と
して、これが複数個つながることでテープ状になってい
ることにより、個々の半導体デバイスに対する情報を容
器側で、部材の位置の可逆的な変化で示すことができる
ため、半導体デバイスを別の容器に移したりしなくても
検査結果を判別することができる。この容器は繰り返し
使用可能であり、検査装置では、これを巻付ける一対の
リールを縦置きで使用するため所要空間が少なくて済
み、装置が小型化できる。また、半導体デバイスを運搬
する距離を短くできたり、運搬自体をなくすることがで
きることや、容器も間欠的に全体を移動させるのではな
く連続的に搬送するようになることにより、トラブルが
少なくなり、検査装置の機構も簡単にできる。
器によれば、半導体デバイスの位置決めと支持をするデ
バイス保持部と、半導体デバイスの出し入れを規制する
第一の位置と規制しない第二の位置との間を移動する規
制部材と、複数の位置を移動することで半導体デバイス
に関する情報を示す１つ以上の情報部材とを基本単位と
して、これが複数個つながることでテープ状になってい
ることにより、個々の半導体デバイスに対する情報を容
器側で、部材の位置の可逆的な変化で示すことができる
ため、半導体デバイスを別の容器に移したりしなくても
検査結果を判別することができる。この容器は繰り返し
使用可能であり、検査装置では、これを巻付ける一対の
リールを縦置きで使用するため所要空間が少なくて済
み、装置が小型化できる。また、半導体デバイスを運搬
する距離を短くできたり、運搬自体をなくすることがで
きることや、容器も間欠的に全体を移動させるのではな
く連続的に搬送するようになることにより、トラブルが
少なくなり、検査装置の機構も簡単にできる。
【図１】本発明の第１の実施形態におけるキャリアテー
プの斜視図
プの斜視図
【図２】本発明の第１の実施形態における判定板の平面
図
図
【図３】半導体デバイスの電気特性検査を行うハンドラ
の斜視図
の斜視図
【図４】本発明の第２の実施形態における判定板の平面
図
図
【図５】本発明の第３の実施形態におけるキャリアテー
プの斜視図
プの斜視図
【図６】半導体デバイスの斜視図
【図７】従来の半導体デバイス用容器の斜視図
【図８】従来の半導体デバイス用容器の部分拡大斜視図
３１ キャリアテープ ３２ 送り穴 ３３ デバイス保持部 ３４ 規制片 ３７ 判定板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−190458（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−193971（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−99974（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−145283（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−72463（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−215390（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65D 73/02 B65D 85/86
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体デバイスの位置決めと支持をする
デバイス保持部と、半導体デバイスの出し入れを規制す
る第一の位置と規制しない第二の位置との間を移動する
規制部材と、複数の位置を移動することで半導体デバイ
スに関する情報を示す１つ以上の情報部材とを基本単位
として、これが複数個つながることでテープ状になった
半導体デバイス用容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7134797A JP3266043B2 (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | 半導体デバイス用容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7134797A JP3266043B2 (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | 半導体デバイス用容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10264963A JPH10264963A (ja) | 1998-10-06 |
| JP3266043B2 true JP3266043B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=13457886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7134797A Expired - Fee Related JP3266043B2 (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | 半導体デバイス用容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3266043B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020091902A (ko) * | 2001-06-01 | 2002-12-11 | 삼성전자 주식회사 | 물품보관용기 |
| EP1963198A1 (en) * | 2005-12-20 | 2008-09-03 | 3M Innovative Properties Company | Component carrier tape |
-
1997
- 1997-03-25 JP JP7134797A patent/JP3266043B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10264963A (ja) | 1998-10-06 |
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