JP3262562B2 - 定量微小液体供給方法及び装置 - Google Patents

定量微小液体供給方法及び装置

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JP3262562B2
JP3262562B2 JP51174294A JP51174294A JP3262562B2 JP 3262562 B2 JP3262562 B2 JP 3262562B2 JP 51174294 A JP51174294 A JP 51174294A JP 51174294 A JP51174294 A JP 51174294A JP 3262562 B2 JP3262562 B2 JP 3262562B2
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    • G01—MEASURING; TESTING
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/02—Burettes; Pipettes
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、液体を微小量定量供給する方法に関し、具
体的には、体積が増減させることにより、それに連通す
る液体供給通路を介して液体の吸引又は噴霧が行われる
液体空間を使用して、微小量の液体を定量供給する方法
に関する。
医療用その他に使用される湿式化学分析装置におい
て、液体の供給は通常、数マイクロリットルの試料液体
に数十マイクロリットルの希釈用液体を加え、その供給
される液体の合計体積が大体100〜1000マイクロリット
ル程度になるように行われる。そのような液体の供給に
際しては、体積が変化可能に構成された液体空間、具体
的にはテフロンシールを備えたプランジャを有する研磨
ガラスシリンダが用いられ、そのプランジャが液体通路
を介して液体供給チップに作用し、液体がそのチップか
ら例えばリンス用深皿等の容器に噴射される。
ここで、シリンダ内のプランジャの動作は液体供給の
基本部分であり、ステッピングモータと、そのステッピ
ングモータにより減速ギア及びタイミングベルトを介し
て回転駆動されるマイナスねじと、そのマイナスねじの
頭部に取付けられたナットに横アームを介して接続され
たピストンロッドとによって与えられ、そのプランジャ
の可動ストローク長さは60mm程度、これに対応するステ
ッピングモータのステップ数は3000〜6000程度となる。
ステップ数が上記のような場合、液体の供給精度はシリ
ンダの全体積との比率で0.5〜１％程度であり、液体供
給量の再現性はその誤差が0.02〜0.05％、すなわちステ
ッピングモータのステップ数に換算して１〜３ステップ
程度である。この精度は一見高いように思われるが、シ
リンダ体積のうち液体の供給に実際に使用される部分が
例えば全体積の１％程度のとき、上記供給量の再現性は
その体積に対して1.5％程度の誤差を有する場合があ
る。
このように、従来の液体供給方法においては、上記数
値からも明らかなようにそれほど大きな供給精度は期待
できず、しかもその精度が供給量のシリンダ全体積に対
する比率に依存して大きく変化する問題がある。このよ
うに、供給精度が低下する理由の一つとして、プランジ
ャとシリンダとの間の摩擦力が変動して、プランジャの
始動・停止が不正確になることが挙げられる。また、も
う一つ考えられる理由は、ステッピングモータとプラン
ジャの間には多相伝達チェーンが使用されるのである
が、その個々の伝達チェーンからの誤差の合計がかなり
大きく、プランジャ駆動の再現性が悪くなりがちなこと
である。さらに、公称値は等しいとされるステッピング
モータの各ステップの大きさも、実際にはかなりの誤差
を含んでいる。従来の液体供給装置においてもこの問題
なすでに認識されており、ステッピングモータのステッ
プ数を多くしてその大きさを等しくし、上述の欠点を補
う試みがなされている。しかし、その方法をもってして
も、再現性の誤差範囲を１％以内として供給可能な液体
の最小量は、シリンダ全体積の1/20〜1/50程度であり、
それよりさらに小さい供給量が必要となる場合には、シ
リンダの断面積をより小さくする必要が生ずる。この場
合、シリンダ等の液体供給具の数が増大し、装置の大型
化とコストアップを招く問題がある。
従来の液体供給技術が抱えるもう一つの問題として、
シリンダ内壁面の摩耗及びテフロンシールを備えてその
シリンダ内を動くプランジャの摩耗がある。こっれら
は、液体の供給精度を下げる要因の一つであり、そのた
めに、それら部材の状態を常に監視しなければならない
必要がある。そのような部材の監視及び交換は当然、装
置の運転コストの増大を引き起こす。上記摩耗の問題を
軽減するために、テフロンシールを極めて分厚く構成す
ることが行われているが、このことは摩擦の増大を引き
起こすことにつながり、プランジャに駆動力を伝達して
いる減速ギアの大型化を招く。そして、液体供給部も大
型化して液体供給位置から離れて設けられることにな
り、シリンダは可動液体供給チップとプラスチック管等
によって接続される。この場合、プランジャの動作、変
形、シリンダの断面積ないし体積の増大、及びプラスチ
ック管の熱膨脹が供給量の再現性を低下させる。一方、
部材の摩耗を低減させる別の方法としてプランジャの動
作を低速にすることが考えられるが、これでは供給装置
の能力が低下することになり、元来高効率が要求される
高価な分析装置にとっては本末転倒の結果を招くことと
なる。
本発明の課題は、上記摩耗や装置の能力低下といった
問題を生じにくく、液体の供給精度及びその再現性が従
来のものより優れた液体の供給方法ならびに装置を提供
することにある。
本発明の液体供給方法は、体積を増減させることによ
り、それに連通する液体供給通路を介して液体の吸引・
放出が行われる液体空間を使用して液体を微小量定量供
給する方法であって、上述の課題を解決するために、下
記の特徴を備える。まず、上記液体空間の体積変化は伸
縮自在に駆動される蛇腹によって制御され、異なる位置
間を駆動されるアクチュエータの動作が、スライド動作
を含まない伝達機構によりその蛇腹に伝達されることに
より、蛇腹を可逆的に変形させられて液体空間の体積が
変化する。そして、アクチュエータは、正確に再現可能
な所定の２位置間を駆動されて、その際に得られる前記
液体の供給量を測定することにより装置の較正がなさ
れ、アクチュエータの上記２位置間の駆動を所定回数繰
り返すことにより、液体が定量供給される。
本発明の最も重要な特徴は、従来の装置においてシリ
ンダとプランジャにより構成されていた部分を伸縮自在
な蛇腹に置き換え、この蛇腹によって液体空間に正確か
つ再現可能な体積変化を与える点にある。これにより、
液体空間における摩擦の発生ひいては部材が摩耗するこ
とが回避され、それに伴う液体供給の誤差も低減される
こととなる。また、蛇腹を用いることにより、液体空間
における必要な体積変化は蛇腹の最小限の変形によって
与えられるので、装置を長期間使用しても精度が低下せ
ず、寿命も延びる利点がある。
また、もう一つの重要な特徴は、アクチュエータの動
作を液体に伝達する機構から、従来の装置では用いられ
ていたスライド動作する部材を排除した点にある。この
ような機構は、具体的には、アクチュエータと伸縮自在
の蛇腹とを接続する伝達チェーンを極めて短くすること
により達成される。これにより、ベアリングを用いて動
作の伝達を行うことが充分可能となり、そのベアリング
の直線運動が精度よく再現される。さらに、本発明のい
くつかの態様においては、伝達用のベアリングを一切用
いずにアクチュエータの動作を蛇腹に伝達することも可
能である。
上記２つに加えて本発明の第三の特徴として、本発明
の液体供給方法の基礎となる上記動作を正確に再現する
ために、アクチュエータを特定の２位置間で駆動させる
ことにより装置の較正を行うことができる。液体の液体
供給装置においては、プランジャの動作が直線的であ
り、かつステッピングモータ等のアクチュエータの動作
ステップの大きさがすべて等しいと仮定して、プランジ
ャのシリンダ内における可動ストロークが較正されてい
る。そして、その較正結果に基づいて液体供給のための
ストローク範囲が定められ、所望の液体供給量を選定し
た後、それに対応する一定長さだけプランジャを駆動さ
せることにより、液体の供給が実施されている。しかし
ながら、選定できる液体供給量の自由度を増大させよう
とすると、供給の精度ならびに再現性が低下する問題が
あった。本発明においては、これとは対照的に、液体供
給量を一定に調整するという原理が意図的に避けられ、
代わってアクチュエータの多数の位置間移動を較正し、
アクチュエータの各位置とそれらの間のアクチュエータ
の移動距離が正確に再現されるようになっているので、
従来の方法で問題となった液体供給精度の低下が抑制さ
れる。そして、その供給精度は、従来はステッピングモ
ータの１ステップ程度の誤差を有していたのが、本発明
では1/1000ステップ程度に低減される。
本発明によれば、アクチュエータの異なる位置間の移
動ないしその組み合わせを用いて、極めて多数の液体供
給量を作ることができる。そして、それに基づいて実際
の液体の供給を実施し、その供給量を測定して装置の較
正を行うことにより、以後所望量の液体供給を実施する
際にはその測定値の中から適当なものを選択することが
できる。実用上は一般に、数10種類の液体供給量が必要
とされるが、それら供給量の設定値は分析機のメモリに
記憶させることができ、最終結果を計算するためのベー
スとして用いることができる。ここで、ステップ数の多
いステッピングモータを使用することにより、また、ス
テッピングモータの駆動範囲内で蛇腹を制御して、液体
空間の体積を非直線的に増減させることにより、液体供
給量の範囲を較正することができる。その液体供給量の
範囲はそれに適合したモータの回転数が対応することに
なり、誤差範囲を従来の方法よりも小さくすることがで
きる。さらに、本発明の方法により最終的に得られる液
体供給量は、従来のような近似的な回転数から定められ
るのではなく、正確に較正された供給量に基づいて算出
される。
本発明によれば、高精度の再現性が維持できる液体供
給量の範囲が従来の方法よりも広くなる。供給量の大き
さが、液体空間の体積の1/250〜1/500という微小量の範
囲にある場合でも、再現性の誤差は１％程度の水準を維
持できる。これにより、分析機は液体供給具を多数備え
付ける必要がなくなり、最上の場合はそれを１つにする
ことも可能であるため、装置全体が単純になり、その大
きさも恐らくは従来の1/10程度に縮小することができ
る。また、液体供給具も、精度を低下させることなく長
期間の使用に耐え、部品状態の監視やその交換等の必要
もない。そして、液体供給具が従来よりも軽量となり、
液体供給点の近くに配置できるので、液体通路が小さく
なりその液体通路に起因して生ずる誤差が小さくなる。
さらに、そのような液体供給具を可動液体供給チップの
一部分として構成することも可能である。
本発明において、液体供給に使用されるアクチュエー
タは、モータと、そのモータによって回転駆動され、こ
れを蛇腹の動作に変換するシャフトとによって構成され
るものが使用できる。そして、上記モータとしてステッ
ピングモータを採用することができる。この場合、その
ステッピングモータは、互いに異なる回転ステップもし
くはその組み合わせによって得られる液体の供給量を測
定することにより較正される。ステッピングモータを用
いる利点は、そのステップ数が大きいことと、個々のス
テップサイズに相当の変動があっても各ステップが正確
に再現されることである。ステッピングモータの静止モ
ーメントは弾性力として作用し、モータと蛇腹は、スラ
イド面を含まない伝達機構とともに各ステップに対応し
た所定の平衡位置を正確に再現する。これにより、各位
置間に対応する量の液体が繰り返し正確に供給されるこ
ととなる。
本発明において、モータにより回転させられるシャフ
トの回転動作は、そのシャフトに接続されたカムにより
蛇腹の直線的な動作に変換することができる。モータと
してステッピングモータが使用される場合は、モータは
ステップ状に正逆両方向にそれぞれ最大で半回転の範囲
内で駆動されるものとすることができる。また、上記カ
ムは、直線的に駆動される蛇腹に対し、その蛇腹に固定
されて上記カムに対向するベアリングを介して接続され
る。使用されるベアリングとしては、上記カムを取り巻
くように配置され、カムの精度に関係なくその回りで円
形の軌跡を描くボールベアリングを例示することができ
る。これらベアリングと蛇腹が外部部材により引き起こ
される摩擦に影響されずに駆動されることが、本発明の
要点の一つである。本発明において上記カムは、通常の
ものに加え、その形状の一部がアルキメデス曲線状ない
し対数螺旋状に構成されたものを使用することができ
る。
また、カムに代えて、前記シャフトに巻き付けられた
引張板又は引張ワイヤを用いて蛇腹を駆動することもで
きる。この場合、蛇腹はその長さがシャフトの回転角に
直接比例するものとされ、上記引張板又は引張ワイヤに
より直線駆動される。一方、必要に応じて、蛇腹の長さ
が上記回転角との非直線的な関係により変化するものと
することもできる。この態様により、円筒状の蛇腹が駆
動軸に対称的な形状を維持することが可能になる。
液体供給量を所定の範囲内で対数的に増加させる必要
がある場合、アクチュエータの動作は直線的に変化する
ものとし、かつその動作が蛇腹の動作に変換されて液体
空間の体積を非直線的に変化させるものとすることがで
きる。本態様においては、例えば、シャフトに取り付け
られ、モータにより回転駆動される上述のカムにより、
シャフトに対して横方向へのカムの変位がシャフト回転
角の関数として非直線的に増減するものとできる。ま
た、それ以外に、上記蛇腹は、その蛇腹に接続された引
張板又は引張ワイヤを介して駆動されるものとし、その
引張板又は引張ワイヤは２つに分岐して、一方が位置固
定の接続部に接続され、他方はアクチュエータに接続さ
れて蛇腹を引っ張りこれを駆動させるようにすることが
できる。さらに、それら分岐する引張板又は引張ワイヤ
を、その分岐点と液体空間との間でベアリングによって
案内されるものとし、蛇腹によって制御される液体空間
の体積を非直線的に変化させつつ、蛇腹の動作を直線状
に維持することができる。
液体空間を構成する蛇腹は直線的に伸縮するものであ
り、金属又はプラスチックにより構成され、必要に応じ
てばねが付加される。耐久性ならびに動きの再現性の観
点からは、蛇腹の全体積のうち、そのごく一部のみを液
体供給に必要な体積変化を作り出す部分とすることが望
ましい。蛇腹は、ばねのように常に応力が付加された状
態に置かれ、そのいずれの位置においても、ステッピン
グモータ等のアクチュエータからの弾性的な静止モーメ
ントと平衡を保つようにされる。
本発明はさらに、上述の方法により液体を供給する液
体供給装置も提供する。その装置は、その体積を増減さ
せることにより、それに連通する液体供給通路を介して
液体の吸引・放出が行われる液体空間を備えて、液体を
微小量定量的に供給する装置として構成され、伸縮自在
に構成されて液体空間の体積変化を制御する蛇腹部と、
異なる位置間を駆動されてその動作がスライド動作を含
まない伝達機構により蛇腹に伝達されることにより、蛇
腹を可逆的に変形させて液体空間の体積を変化させるア
クチュエータとを含む。そのアクチュエータは、正確に
再現可能な所定の２位置間を駆動され、その際に得られ
る液体の供給量を測定することにより当該装置の較正が
なされ、かつ上記２位置間の駆動を所定回数繰り返すこ
とにより、液体が定量供給されるものとされる。
なお、従属請求項、特に請求項12〜20に係る発明は、
上記本発明の装置の各種応用である。
以下、本発明の実施例を、添付の図面に基づいて説明
する。添付の図面の内容は以下の通りである。
図１は、本発明の液体供給装置のおいて、液体供給空
間を構成する蛇腹が、ステッピングモータで回転させら
れるカムシャフトにより駆動される例を示す図である。
図２は、蛇腹が最大体積状態となった図１の装置を、
II−II方向から見た図である。
図３は、図１のIII−III断面図である。
図４は、図２で、蛇腹が最小体積となった状態を示す
ものである。
図５は、蛇腹が最小体積状態となったときの図１のII
I−III断面図である。
図６は、図１の装置において、蛇腹で構成される液体
空間がシャフトに巻き付けられた引張板により伸縮され
るようにした変形例を示す図である。
図７は、蛇腹が最大体積状態となった図６の装置をシ
ャフトの方向から見た図である。
図８は、蛇腹が最小体積状態となった図６の装置のVI
II−VIII断面図。
図９は、図６〜８の装置において、引張板を２つに分
岐させ、一方が位置固定の接続部に、他方がアクチュエ
ータに接続されて蛇腹を引っ張りこれを駆動させるよう
にした例を示す図である。
図10は、シャフトに巻かれた引張板が、旋回クランク
アームを介して蛇腹を駆動するようにした例を示す図で
ある。
図11は、本発明の装置において、液体空間がピエゾロ
ッドにより駆動される短い蛇腹で構成され、その空間が
最大体積となった状態を示す図である。
図12は、同じく、最小体積となった状態を示す図であ
る。
図13は、液体空間を構成する蛇腹がリニアステッピン
グモータで駆動される例を示す図である。
図14は、液体空間を構成する蛇腹が、リニアデコーダ
で制御されるサーボモータで駆動される例を示す図であ
る。
図１〜５は、本発明の装置の一例を示している。供給
されるべき液体で満たされる液体空間１は、その体積が
変化可能とされ、伸縮自在な金属製の蛇腹２よって構成
される。この蛇腹２は、ステッピングモータ３により正
逆両方向にそれぞれ最大で半回転の範囲内で駆動される
カムシャフト４を介して伸縮させられる。図１〜３は、
蛇腹２が最大体積となった状態を示し、図４、５は同じ
く最小体積となった状態を示している。液体空間１は、
液体通路としてのパイプ５を介して、小さなリンス用深
皿７に挿入された液体供給チップ７に接続されている。
このパイプ５から、本装置によって所定量の液体が吸引
ないし排出される。蛇腹２が、図４及び５に示した位置
から図１〜３に示した位置に移行することにより、装置
は供給されるべき液体の最大量を吸引し、図４及び５に
示す位置に復帰することによりその液体を排出する。
図１に示すように、蛇腹１の底部は支持フレーム８に
固定される一方、シャフト４、９を備えたステッピング
モータ３もこの支持フレーム８によって支持されてい
る。上記シャフトはモータ３に対する軸部９と、その延
長上にカム部４とを備え、そのカム部４の終端部はボー
ルベアリング10を介して支持フレーム８に支持されてい
る。カム部４の中間部には外側から別のボールベアリン
グ11が装着され、そのベアリング11が、その外周部を締
め付けるカラー12を用いて蛇腹２の上面に固定されてい
る。これにより、蛇腹２の上端部は、シャフト４、９の
回転によりシャフトに対して横方向に生ずるカム部４及
びベアリング11の動作に追従する。上記動作の垂直成分
が蛇腹２により制御される液体空間１に体積変化をもた
らし、液体供給チップ７を介して対応する体積の液体を
吸引もしくは排出する。さらに、蛇腹２は屈曲すること
により、カム部４に液体供給に支障をきたさない程度の
わずかな水平方向の変位が許容されている。
図２及び図４に示すように、蛇腹２は通常、円筒状の
液体空間１のケーシングを構成し、カム４及びベアリン
グ11の動きに伴い伸縮する。そして、支持フレーム８に
固定されたジャケット部13が、液体空間１が蛇腹２及び
ジャケット部13の間に位置するように、上記ケーシング
内に設けられる。蛇腹２と同心的に設けられ、液体通路
を構成するパイプ５はジャケット部13の一端から下方へ
延び、液体供給中は、液体の跳ね上がりを防止するため
に、その液体供給チップ７がリンス用深皿６内の液面14
よりも下側に保持されて、そこへ液体を供給するように
なっている。また、図１に示すように、必要に応じて液
体空間１には、１ないしそれ以上の補助通路15を設ける
ことができる。
図１〜５に示した液体供給装置は、ステッピングモー
タ３により蛇腹２をその一端から他端までステップ状に
駆動させ、その各ステップに対応して得られる液体供給
量を正確に測定することにより、その較正を行うことが
できる。そして、その測定データは以後の液体供給に使
用するためメモリに記憶される。ステッピングモータ３
は、ロータ歯部、磁石ロータ、それを取り囲んで、電流
により部分的に磁化されるステータを含むもので、その
半回転の領域が100のステップに分割されている。各ス
テップの公称長さは同一とされるが、実際はある程度の
長さばらつきを有する場合がある。しかしながら、それ
らの個々のステップ位置は極めて高精度で再現される。
言い換えれば、モータは何回転しようともロータの各ス
テップは極めて正確に同じ位置を再現する。ステッピン
グモータ３があるステップから別のステップへ回転する
ときに、シャフト９の回転はカム４をシャフトに対して
横方向へ付勢し、それによってベアリング11とカラー12
によりカム４に接続された蛇腹２が伸縮してその液体空
間１を変化させ、液体供給チップ７を介して液体の吸引
・排出が行われる。ここで、ステッピングモータ３と蛇
腹２の間にはスライド面が存在せず、その代わりに直線
運動するベアリングが介在するので、そのころがり動作
は正確かつ可逆的であり、蛇腹２の動作の再現性及び液
体空間１の体積変化は、本質的にステッピングモータ３
の異なるステップとステップの組み合わせに対応して定
まることとなる。動作が較正済のステッピングモータ３
はこうして、予め極めて正確に知れた分量ずつ液体を繰
り返し供給するのに使用することができる。
図３及び図５に示す蛇腹２においては、その上限及び
下限位置間に対応するカム部４の、シャフト９に対して
横方向への移動は、上述の原理に基づいて、ステッピン
グモータ３の100に及ぶほぼ同一長さの多数のステップ
に対応しているが、そのカム部４の移動量及びそれに基
づく液体空間１の体積変化は、始めのステップにおいて
非常に小さく、その後徐々に増大する。そして、モータ
３が50ステップ前後を刻み、軸部９が90゜程度回転し
て、カム部４の上記横方向への移動がほぼ中間に到達し
たときに最大値となる。そして、そこから再び減少に転
じ、蛇腹２が図５に示す下限位置まで、すなわち液体空
間１がその最小値をとる状態に圧縮されるまで続く。回
転角の増加が直線的なステッピングモータ３の回転動作
は、上記のようにして液体空間１の非直線的な体積変化
をもたらす。これにより、モータ３が半回転して蛇腹２
を直線的に伸縮させるときに、広い範囲で供給量が対数
的に変化するように、液体空間１を較正することができ
る。
較正が終了すると、装置は液体の精密定量供給に使用
できる状態となる。その供給量は、ステッピングモータ
３の較正のための反復作動、すなわち特定の位置間のス
テップないしその組み合わせに基づき予め較正された供
給量から選択される。ステッピングモータ３及びカム４
の回転から得られる多数の供給量の中から、所望の供給
量は簡単に見い出すことができる。それら各供給量は、
それを実際に供給する際のモータの回転数に極めて正確
に対応し、その誤差、すなわち回転数の絶対値からの偏
差は、較正データに基づいて知ることができるので、分
析の最終結果を計算する際にこれを考慮に入れることが
できる。
図６〜８は、図１〜５に示した本発明の液体供給装置
において、ステッピングモータ３に接続されたシャフト
９の長さを延長した例を示している。このシャフト９に
は、蛇腹２が引張板17を介して接続されている。引張板
17は、好ましくは金属で構成されるもので、一端が蛇腹
２の上端部に結合され、他端は回転シャフト９に締結部
材18により固定されている。そして、シャフト９を回転
させ、引張板19を蛇腹２の弾性力に抗して引き上げるこ
とにより蛇腹２が伸長する。また、蛇腹２の引上げを補
助するために、必要に応じて、図示しないばね部材を蛇
腹２に接続することができる。図７及び図８は、蛇腹２
の液体空間１がそれぞれ最大体積に及び最小体積になっ
た状態を示している。
図６〜８に示した構成によれば、蛇腹２の動きは直線
的であり、かつ液体空間１の体積変化がステッピングモ
ータ３により回転されるシャフト９の回転角に直接比例
する。装置は上述の方法に基づいて較正されるが、回転
角と体積変化の関係が直線的なので、その供給量の範囲
は図１〜５に示す構成例よりも狭くなる。
図９は、引張板17が２つに分岐して、一方の分岐19が
ステッピングモータ３により回転されるシャフト９に固
定され、他方の分岐20は位置固定の接続点21に接続され
た例を示している。引張板17は蛇腹２の上端部と引張板
17の分岐点22との間で、蛇腹２を直線形状に維持するボ
ールベアリング23によって案内されている。シャフト９
が回転し、引張板17を図９の矢印の方向に引き上げる
と、シャフト９の回転角は直線的に増加が、蛇腹２の液
体空間１の体積は非直線的に変化する。分岐点21から延
びる分岐20を有する引張板17が始動時に直線状態である
場合、シャフト９のステップ状の回転により分岐点22が
図９の右方向に移動し、蛇腹２は引張板17により引っ張
られて伸長して、その動作は立ち上がり時は加速される
が、動作の中間をすぎると減速される。
図９に示す装置において、引張板17はシャフト９に巻
き付ける代わりに、図１〜５に示すような回転カム部材
に巻き付けるようにしてもよい。これにより、較正でき
る液体供給量の範囲を拡大することができる。
次に、図10に示す例においては、蛇腹２の上端部に、
ボールベアリング25を介してクランクアーム24の一端が
回動可能に接続され、ステッピングモータ３により回転
駆動されるシャフト９に巻き付けられた引張板17によっ
て、蛇腹２を伸縮させるようになっている。この構成で
は、蛇腹２の伸縮量、すなわち液体空間１の体積変化を
小さくできるが、その変化量はシャフト９の回転角に直
接比例する状態を維持する。なお、図10は、液体空間１
が最小体積となった状態を示しており、クランクアーム
24は下方に移動した状態となっている。クランクアーム
が上方に移動して液体空間１が最大体積となった状態
は、図中一点鎖線で示されている。
図11及び図12は、液体空間１が短い蛇腹２で構成さ
れ、これがピエゾロッド26により直線的に圧縮・伸長さ
せられる液体供給装置の例を示している。ここで、蛇腹
１は、圧縮の初期段階では中央部のみが圧縮されるので
液体空間１の体積変化速度は小さく、その後、中央部に
加えて蛇腹のしわの部分も圧縮されて変化速度は大きく
なる。蛇腹２を駆動するピエゾロッド26の先端27の位置
再現性は良好であり、必要に応じて、図示しない光エン
コーダを用いることにより、その再現性はさらに改善さ
れる。なお、液体供給量の範囲の較正も同様の方法によ
り行われる。
図13は、液体空間１の体積を制御する蛇腹２が、リニ
アステッピングモータ3'によって駆動される例を示して
いる。モータ3'は、剛性材料で構成されたアーム28を介
して蛇腹２の上端に取り付けられ、ベアリング29を介し
て支持フレーム８に対し上下にスライド可能に取付けら
れており、そのスライド動作に対応して蛇腹２が伸縮す
る。なお、液体供給量の範囲の較正も同様の方法により
行われる。
図14は、液体空間１の体積を制御する蛇腹２が、リニ
アエンコーダ30で制御されるサーボモータ31により駆動
される例を示している。蛇腹２の底部とモータ31は支持
フレーム８に固定されている。蛇腹２の上端及びエンコ
ーダ30にはボールねじナット33が固定され、これに挿入
されたボールねじ32がモータ31によって回転させられ
る。ボールねじ32が回転することにより、ボールねじナ
ット33が蛇腹２が、ボールねじ32及びボールねじナット
33の軸線方向に駆動される。エンコーダ30は蛇腹２の上
端に動きをモニタし、サーボモータ31を調整して、その
回転位置を正確に再現するようにする。なお、液体供給
装量の範囲の較正も同様の方法により行われる。
図１〜５に示したものと同型の装置の試験を、直径25
mm、最大液体供給体積が2,000マイクロリットルの金属
蛇腹とアシトロン14型サーボモータPM−KOO1を用いて行
った。カム部材としては上記最大体積の半分程度、約85
0マイクロリットルのものを使用した。そして、フィン
ランド特許FI−922805号公報に開示された液体供給チッ
プを、その液体排出口が常に微小天秤の受皿の水面下に
位置するように液体供給部の先端に接続した。各供給位
置毎の液体の供給量は、光センサによる検出の開始点
を、蛇腹の下死点に近接して位置するモータステップに
設定して較正を行った。蛇腹と液体供給チップは室温の
水で満たし、その温度制御は行わなかった。
表１に、その試験結果を示す。第１列はステッピング
モータのステップ数、第２列は記録された微小天秤の指
示値、すなわちチップ中に吸引された水の量を示してい
る。受皿中の水を吸引しながらその重量を記録し、その
重量変化から液体吸引量を計算し、その後吸引した液体
を受皿に戻して初期状態に復帰させた。測定は各ステッ
プにおいて繰り返し、その平均と標準偏差（絶対値、及
び相対百分率）を計算した。
上記結果から明らかなように、最小体積の変動量に対
する最大体積の比率はほぼ1,000,000である（蛇腹の最
大体積は2,000マイクロリットル）。ここで、上記蛇腹
は、重量測定時にその再現性の範囲も求めるためのもの
であり、分析機には通常、上記再現性確認用の蛇腹の1/
10程度の体積の、さらに再現性に優れた蛇腹が使用され
る。直線モードの測定においては、再現性を高めるため
に、常にその始動点から測定が開始される。しかし、こ
のモードにおいては測定可能な体積範囲は、ステッピン
グモータのステップ数にも依存する、100ないし200ステ
ップ程度が限界である。一方、上記数のステップに対
し、5,000〜20,000に及ぶ可能なすべてのステップの組
み合わせも測定に用いることができる。いずれにして
も、おおまかな再現性の確認の後、従来の噴霧式の供給
方法においてはすべて等しいと仮定されていた供給体積
を極めて正確に較正でき、再現性は上記限界内に収まる
ようにできる。そして、分析結果を計算する際には、等
分化された供給量ではなく、較正された正確なものが使
用される。
本発明に使用される蛇腹の強度を、上記試験に用いら
れたものと同型、かつその直径が12.5mmのものを使用し
て測定した。上記蛇腹を用いて液体供給を、概ね装置寿
命に対応する5,000,000回繰り返した。各液体供給量の
較正値からのずれは0.2％以下であった。
図６〜８に示したものと同型の装置の試験を、以下の
ようにして行った。蛇腹は、実施例１と同じものを用
い、ステッピングモータとして、ステップ数400の二相
ステッピングモータ（Sankyo MSJS 400 All）を使用
した。そのステッピングモータの１ステップ当たりの蛇
腹の体積変化は約10マイクロリットルであった。また、
各測定とも、液体供給量及びその始動点は同じになるよ
うにし、各ステップ毎に測定を10回ずつ繰り返した。表
２に測定結果として、それらの平均値及び標準偏差を示
す。さらに、供給量を、各ステップ数毎にそのステップ
数で割って、１ステップ当たりの供給量に換算した値
を、その平均と標準偏差とともに示した。
上記結果から明らかなように、ステッピングモータの
ステップ長を一定と仮定すれば、供給量の変動係数は2.
9％となるが、ステップ長を較正すると１％以下に減少
する。
以上本発明の実施例を述べたが、これはあくまでも例
示であって、本発明を限定するものではなく、従属請求
項に記載した変形等を加えうることはいうまでもない。
液体空間を形成する蛇腹に対し、その外側に液体空間を
形成するようにしてもよい。特に、蛇腹が形成する液体
空間、その液体空間の体積を変化させるモータその他の
アクチュエータを上記とは異なる構成とし、そのアクチ
ュエータの作動が液体空間の体積を直線的もしくは非直
線的に変化させるようにすることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 オッコネン，ウント フィンランド共和国，マサラ市フィン― 02430，セパンキュランティエ 12 ベ ー ７ (56)参考文献 実開 平４−120331（ＪＰ，Ｕ) 米国特許3319830（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01F 11/08 G01N 1/00

Claims (20)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】体積を増減させることにより、それに連通
    する液体供給通路を介して液体の吸引・放出が行われる
    液体空間を使用して液体を微小量定量供給する方法であ
    って、前記液体空間の体積変化は伸縮自在に構成された
    蛇腹によって制御されるものであり、異なる位置間を駆
    動されるアクチュエータの動作が、スライド動作を含ま
    ない伝達機構により前記蛇腹に伝達されることにより、
    前記蛇腹を可逆的に変形させて前記液体空間の体積が変
    化させられるとともに、前記アクチュエータは、正確に
    再現可能な所定の２位置間を駆動されて、その際に得ら
    れる前記液体の供給量を測定することにより装置の較正
    がなされ、前記アクチュエータの前記２位置間の駆動を
    所定回数繰り返すことにより、前記液体が定量供給さ
    れ、 前記アクチュエータは、モータと、そのモータによって
    回転駆動され、これを前記蛇腹の動作に変換するシャフ
    トとによって構成され、 また、前記モータはステッピングモータであり、そのス
    テッピングモータは、互いに異なる回転ステップもしく
    はその組み合わせに基づいて得られる液体の供給量を測
    定することにより較正され、 該測定値を以後の液体供給に使用するためメモリに記憶
    することを特徴とする定量微小液体供給方法。
  2. 【請求項２】前記ステッピングモータにより前記蛇腹を
    その一端から他端までステップ状に駆動させ、その各ス
    テップに対応して得られる液体供給量を測定することに
    よりその較正を行い、該測定データを以後の液体供給に
    使用するためメモリに記憶することを特徴とする請求項
    １記載の定量微小液体供給方法。
  3. 【請求項３】前記モータはステップ状に正逆両方向にそ
    れぞれ最大で半回転の範囲内で駆動されるものである請
    求項１又は２に記載の液体供給方法。
  4. 【請求項４】前記シャフトは前記モータにより回転させ
    られるものであり、そのシャフトに接続されたカムによ
    り、前記蛇腹が直線駆動させられるものである請求項１
    ないし３のいずれかに記載の液体供給方法。
  5. 【請求項５】前記蛇腹は、前記シャフトに巻き付けられ
    た引張板又は引張ワイヤを介して駆動されるものである
    請求項１ないし３のいずれかに記載の液体供給方法。
  6. 【請求項６】前記アクチュエータの動作は、その長さが
    直線的に変化するものであり、かつその動作が前記蛇腹
    の動作に変換されて前記液体空間の体積を非直線的に変
    化させる請求項１ないし５のいずれかに記載の液体供給
    方法。
  7. 【請求項７】前記蛇腹は、その蛇腹に接続された引張板
    又は引張ワイヤを介して駆動され、その引張板もしくは
    引張ワイヤは２つに分岐して、一方が位置固定の接続部
    に接続され、他方は前記アクチュエータに接続されて前
    記蛇腹を引っ張りこれを駆動させる請求項６記載の液体
    供給方法。
  8. 【請求項８】前記分岐する引張板又は引張ワイヤは、そ
    の分岐点と前記液体空間との間でベアリングによって案
    内されるものである請求項７記載の液体供給方法。
  9. 【請求項９】前記液体空間が前記蛇腹の内部にほぼ円筒
    状に形成される請求項１ないし８のいずれかに記載の液
    体供給方法。
  10. 【請求項１０】体積を増減させることにより、それに連
    通する液体供給通路を介して液体の吸引・放出が行われ
    る液体空間を備え、体積を増減させることにより、それ
    に連通する液体供給通路を介して液体の吸引・放出が行
    われる液体空間を使用して液体を微小量定量供給する方
    法であって、前記液体空間の体積変化は伸縮自在に構成
    された蛇腹によって制御されるものであり、異なる位置
    間を駆動されるアクチュエータの動作が、スライド動作
    を含まない伝達機構により前記蛇腹に伝達されることに
    より、前記蛇腹を可逆的に変形させて前記液体空間の体
    積が変化させられるとともに、 前記アクチュエータは、正確に再現可能な所定の２位置
    間を駆動されて、その際に得られる前記液体の供給量を
    測定することにより装置の較正がなされ、前記アクチュ
    エータの前記２位置間の駆動を所定回数繰り返すことに
    より、前記液体を微小量供給する装置であって、 伸縮自在に構成され、前記液体空間の体積変化を制御す
    る蛇腹部と、 異なる位置間を駆動され、その動作がスライド動作を含
    まない伝達機構により前記蛇腹に伝達されることによ
    り、前記蛇腹を可逆的に変形させて前記液体空間の体積
    が変化させるアクチュエータと を含み、 そのアクチュエータは、正確に再現可能な所定の２位置
    間を駆動され、その際に得られる前記液体の供給量が測
    定されて当該装置の較正がなされるとともに、前記２位
    置間の駆動を所定回数繰り返すことにより、前記液体を
    定量供給するものであり、さらに、 前記アクチュエータは、モータと、そのモータによって
    回転駆動され、これを前記蛇腹の動作に変換するシャフ
    トとによって構成され、 また、前記モータはステッピングモータであり、そのス
    テッピングモータは、互いに異なる回転ステップもしく
    はその組み合わせに基づいて得られる液体の供給量を測
    定することにより較正され、 該測定値を以後の液体供給に使用するためメモリに記憶
    することを特徴とする定量微小液体供給装置。
  11. 【請求項１１】前記ステッピングモータにより前記蛇腹
    をその一端から他端までステップ状に駆動させ、その各
    ステップに対応して得られる液体供給量を測定すること
    によりその較正を行い、該測定データを以後の液体供給
    に使用するためメモリに記憶することを特徴とする請求
    項10記載の定量微小液体供給装置。
  12. 【請求項１２】前記シャフトは前記モータにより回転さ
    せられるものであって、かつカムを備え、そのカムの前
    記シャフトに対して横方向の動作がベアリングを介して
    前記蛇腹の動作に変換されるものである請求項10又は11
    に記載の液体供給装置。
  13. 【請求項１３】前記蛇腹は、前記シャフトの前記カムに
    対向するベアリングに固定される請求項12記載の液体供
    給装置。
  14. 【請求項１４】前記シャフトの周囲に巻き付けられて前
    記蛇腹を駆動する引張板又は引張ワイヤが、前記シャフ
    トと前記液体空間との間に設けられている請求項10又は
    11に記載の液体供給装置。
  15. 【請求項１５】前記蛇腹に接続され、かつ２つに分岐す
    る引張板又は引張ワイヤを有し、その分岐の一方が位置
    固定の接続部に接続され、他方は前記アクチュエータに
    接続されて前記蛇腹を引っ張りこれを駆動させるもので
    ある請求項10又は11に記載の液体供給装置。
  16. 【請求項１６】前記引張板又は引張ワイヤは、その分岐
    点と前記液体空間との間でガイド部材としてのベアリン
    グを介して案内されるものである請求項15記載の液体供
    給装置。
  17. 【請求項１７】前記液体空間は前記蛇腹の内部にほぼ円
    筒状に形成されるものである請求項10ないし16のいずれ
    かに記載の液体供給装置。
  18. 【請求項１８】体積を増減させることにより、それに連
    通する液体供給通路を介して液体の吸引・放出が行われ
    る液体空間を備え、体積を増減させることにより、それ
    に連通する液体供給通路を介して液体の吸引・放出が行
    われる液体空間を使用して液体を微小量定量供給する方
    法であって、前記液体空間の体積変化は伸縮自在に構成
    された蛇腹によって制御されるものであり、異なる位置
    間を駆動されるアクチュエータの動作が、スライド動作
    を含まない伝達機構により前記蛇腹に伝達されることに
    より、前記蛇腹を可逆的に変形させて前記液体空間の体
    積が変化させられるとともに、 前記アクチュエータは、正確に再現可能な所定の２位置
    間を駆動されて、その際に得られる前記液体の供給量を
    測定することにより装置の較正がなされ、前記アクチュ
    エータの前記２位置間の駆動を所定回数繰り返すことに
    より、前記液体を微小量供給する装置であって、 伸縮自在に構成され、前記液体空間の体積変化を制御す
    る蛇腹部と、 異なる位置間を駆動され、その動作がスライド動作を含
    まない伝達機構により前記蛇腹に伝達されることによ
    り、前記蛇腹を可逆的に変形させて前記液体空間の体積
    が変化させるピエゾロッドからなるアクチュエータと を含み、 そのアクチュエータは、正確に再現可能な所定の２位置
    間を駆動され、その際に得られる前記液体の供給量が測
    定されて当該装置の較正がなされるとともに、前記２位
    置間の駆動を所定回数繰り返すことにより、前記液体を
    定量供給するものであることを特徴とする定量微小液体
    供給装置。
  19. 【請求項１９】体積を増減させることにより、それに連
    通する液体供給通路を介して液体の吸引・放出が行われ
    る液体空間を備え、体積を増減させることにより、それ
    に連通する液体供給通路を介して液体の吸引・放出が行
    われる液体空間を使用して液体を微小量定量供給する方
    法であって、前記液体空間の体積変化は伸縮自在に構成
    された蛇腹によって制御されるものであり、異なる位置
    間を駆動されるアクチュエータの動作が、スライド動作
    を含まない伝達機構により前記蛇腹に伝達されることに
    より、前記蛇腹を可逆的に変形させて前記液体空間の体
    積が変化させられるとともに、 前記アクチュエータは、正確に再現可能な所定の２位置
    間を駆動されて、その際に得られる前記液体の供給量を
    測定することにより装置の較正がなされ、前記アクチュ
    エータの前記２位置間の駆動を所定回数繰り返すことに
    より、前記液体を微小量供給する装置であって、 伸縮自在に構成され、前記液体空間の体積変化を制御す
    る蛇腹部と、 異なる位置間を駆動され、その動作がスライド動作を含
    まない伝達機構により前記蛇腹に伝達されることによ
    り、前記蛇腹を可逆的に変形させて前記液体空間の体積
    が変化させるリニアステッピングモータからなるアクチ
    ュエータと を含み、 そのアクチュエータは、正確に再現可能な所定の２位置
    間を駆動され、その際に得られる前記液体の供給量が測
    定されて当該装置の較正がなされるとともに、前記２位
    置間の駆動を所定回数繰り返すことにより、前記液体を
    定量供給するものであることを特徴とする定量微小液体
    供給装置。
  20. 【請求項２０】体積を増減させることにより、それに連
    通する液体供給通路を介して液体の吸引・放出が行われ
    る液体空間を備え、体積を増減させることにより、それ
    に連通する液体供給通路を介して液体の吸引・放出が行
    われる液体空間を使用して液体を微小量定量供給する方
    法であって、前記液体空間の体積変化は伸縮自在に構成
    された蛇腹によって制御されるものであり、異なる位置
    間を駆動されるアクチュエータの動作が、スライド動作
    を含まない伝達機構により前記蛇腹に伝達されることに
    より、前記蛇腹を可逆的に変形させて前記液体空間の体
    積が変化させられるとともに、 前記アクチュエータは、正確に再現可能な所定の２位置
    間を駆動されて、その際に得られる前記液体の供給量を
    測定することにより装置の較正がなされ、前記アクチュ
    エータの前記２位置間の駆動を所定回数繰り返すことに
    より、前記液体を微小量供給する装置であって、 伸縮自在に構成され、前記液体空間の体積変化を制御す
    る蛇腹部と、 異なる位置間を駆動され、その動作がスライド動作を含
    まない伝達機構により前記蛇腹に伝達されることによ
    り、前記蛇腹を可逆的に変形させて前記液体空間の体積
    が変化させるサーボモータからなるアクチュエータと を含み、 そのアクチュエータは、正確に再現可能な所定の２位置
    間を駆動され、その際に得られる前記液体の供給量が測
    定されて当該装置の較正がなされるとともに、前記２位
    置間の駆動を所定回数繰り返すことにより、前記液体を
    定量供給するものであることを特徴とする定量微小液体
    供給装置。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI104891B (fi) * 1996-10-08 2000-04-28 Fluilogic Systems Oy Menetelmä ja laitteisto neste-erien annostelemiseksi
DE19922285A1 (de) * 1999-05-14 2000-11-16 Febit Ferrarius Biotech Gmbh Probengefäß
FI110031B (fi) 2001-03-26 2002-11-15 Fluilogic Oy Pienien neste-erien kvantitatiivinen annostelu
WO2005012730A1 (ja) * 2003-08-05 2005-02-10 Eamex Corporation ポンプ
JP5711662B2 (ja) * 2008-10-14 2015-05-07 プロクシュ，ロジャー 高精度位置測定用の一体化マイクロアクチュエータおよび線形可変差動変圧器
TWI512193B (en) * 2014-01-20 2015-12-11 Syringe meter
CN104457659A (zh) * 2014-12-16 2015-03-25 武汉海力威机电科技有限公司 一种磁力传动位移传感器
US10654111B2 (en) 2017-03-27 2020-05-19 Walter Forrest Frantz Curvature for pathway of a locating device or chuck
CN108214311B (zh) * 2017-12-29 2020-03-24 重庆巴豹商贸有限公司 一种工件加工用除尘装置
CN111905666A (zh) * 2020-08-19 2020-11-10 苏州永鼎智联科技有限公司 一种快换化学反应装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH381452A (de) * 1961-01-10 1964-08-31 Sandoz Ag Einrichtung zur Dosierung einer Flüssigkeit
US3319830A (en) * 1965-04-12 1967-05-16 Wallace W Ward Liquid dispenser
US3382811A (en) * 1966-06-28 1968-05-14 Monsanto Co Small volume pump
DE2447646C3 (de) * 1974-10-05 1981-01-29 Horst-Werner Ing.(Grad.) 7707 Engen Michel Vorrichtung zur Volumendosierung kleiner Flüssigkeitsmengen
DE3537737A1 (de) * 1985-10-23 1987-04-23 Michel Horst Werner Vorrichtung zur volumendosierung kleiner fluessigkeitsmengen
US4887473A (en) * 1988-10-14 1989-12-19 Coulter Electronics, Inc. Bellows pump and actuating apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
FI925025A0 (fi) 1992-11-06
JPH07506534A (ja) 1995-07-20
DE69328547D1 (de) 2000-06-08
FI94675C (fi) 1995-10-10
ATE192567T1 (de) 2000-05-15
CN1055764C (zh) 2000-08-23
FI94675B (fi) 1995-06-30
WO1994011710A1 (en) 1994-05-26
FI925025A (fi) 1994-05-07
EP0620913A1 (en) 1994-10-26
DE69328547T2 (de) 2001-02-01
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