JP3255036B2 - 搬送型露光装置 - Google Patents
搬送型露光装置Info
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- JP3255036B2 JP3255036B2 JP23388996A JP23388996A JP3255036B2 JP 3255036 B2 JP3255036 B2 JP 3255036B2 JP 23388996 A JP23388996 A JP 23388996A JP 23388996 A JP23388996 A JP 23388996A JP 3255036 B2 JP3255036 B2 JP 3255036B2
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- Japan
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- slit
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- cylindrical
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Optical Systems Of Projection Type Copiers (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】露光されるワークを搬送する
搬送部上で、感光性樹脂を光照射させることにより硬化
させて成形、或いはパターニングするために使用する露
光装置に関する。特に、レンチキュラー或いはハエノメ
レンズ等の微細なレンズアレイの平坦面に感光性樹脂層
を設け、光照射によって黒色パターンを形成することに
有効な搬送型露光装置である。
搬送部上で、感光性樹脂を光照射させることにより硬化
させて成形、或いはパターニングするために使用する露
光装置に関する。特に、レンチキュラー或いはハエノメ
レンズ等の微細なレンズアレイの平坦面に感光性樹脂層
を設け、光照射によって黒色パターンを形成することに
有効な搬送型露光装置である。
【０００２】
【従来の技術】照射する露光光線のコリメーション角
度、すなわち露光光線の平行度を充分確保した平行光を
得る方法として、点光源（例えば小電球等）と反射鏡を
組み合わせる方法が知られている。しかし、所望の位置
に所望のパターンを露光法によって形成するには、コリ
メーション角度を充分小さくし、照射光の平行性を確保
して露光をしなければならない場合が多々ある。照射光
の平行性を確保するために、露光に使用する照射光束を
スリット等で絞り制限しなければならず、実用的な露光
量を得ることが困難になる問題があった。
度、すなわち露光光線の平行度を充分確保した平行光を
得る方法として、点光源（例えば小電球等）と反射鏡を
組み合わせる方法が知られている。しかし、所望の位置
に所望のパターンを露光法によって形成するには、コリ
メーション角度を充分小さくし、照射光の平行性を確保
して露光をしなければならない場合が多々ある。照射光
の平行性を確保するために、露光に使用する照射光束を
スリット等で絞り制限しなければならず、実用的な露光
量を得ることが困難になる問題があった。
【０００３】照射光の平行性を確保して露光をしなけれ
ばならない場合として、レンチキュラーやハエノメレン
ズ等の微細なレンズの集合体であるレンズアレイを用い
テレビ映像を投射する透過型スクリーンに、映像コント
ラストを高めるため黒色パターン（ブラックマトリック
ス）を作成することが該当する。
ばならない場合として、レンチキュラーやハエノメレン
ズ等の微細なレンズの集合体であるレンズアレイを用い
テレビ映像を投射する透過型スクリーンに、映像コント
ラストを高めるため黒色パターン（ブラックマトリック
ス）を作成することが該当する。
【０００４】レンズアレイのレンズ反対面の平坦部に感
光性樹脂層を設け、レンズ側より照射光を入射し、レン
ズ作用によって集光され露光された部分と露光されてい
ない部分とに分けられる。光を露光すると硬化し粘着性
を失う感光性樹脂を使用した場合、非集光部の露光され
ていない部分は依然として粘着性を有しており、黒色の
転写紙を重ねて転写させると、露光されていない部分に
黒色インキが転写され黒色パタ−ンが形成される。
光性樹脂層を設け、レンズ側より照射光を入射し、レン
ズ作用によって集光され露光された部分と露光されてい
ない部分とに分けられる。光を露光すると硬化し粘着性
を失う感光性樹脂を使用した場合、非集光部の露光され
ていない部分は依然として粘着性を有しており、黒色の
転写紙を重ねて転写させると、露光されていない部分に
黒色インキが転写され黒色パタ−ンが形成される。
【０００５】図３は、透過型スクリーンの使用状態を概
略的に示す説明図である。透過型スクリーンは黒色パタ
ーン（９４）が形成されているレンチキュラー（９２）
とフレネルレンズ（９０）とで構成され、テレビ映像用
プロジェクター（８０）からのテレビ映像投影光（８
２）をフレネルレンズ（９０）によって平行に揃えてレ
ンチキュラーに入射させている。この場合、レンチキュ
ラー（９２）に形成された黒色パターン（９４）の位置
が重要であり、黒色パターンの位置がずれていると、こ
の黒色パターンによってテレビ映像投影光が遮られてし
まいテレビ映像が観賞出来なくなってしまう。このこと
は、レンチキュラーに露光によって黒色パターン形成時
に、光線経路をテレビ映像観賞時と同一にしなければな
らない。すなわち、露光する照射光の平行性が充分確保
されていなければならないことを意味する。
略的に示す説明図である。透過型スクリーンは黒色パタ
ーン（９４）が形成されているレンチキュラー（９２）
とフレネルレンズ（９０）とで構成され、テレビ映像用
プロジェクター（８０）からのテレビ映像投影光（８
２）をフレネルレンズ（９０）によって平行に揃えてレ
ンチキュラーに入射させている。この場合、レンチキュ
ラー（９２）に形成された黒色パターン（９４）の位置
が重要であり、黒色パターンの位置がずれていると、こ
の黒色パターンによってテレビ映像投影光が遮られてし
まいテレビ映像が観賞出来なくなってしまう。このこと
は、レンチキュラーに露光によって黒色パターン形成時
に、光線経路をテレビ映像観賞時と同一にしなければな
らない。すなわち、露光する照射光の平行性が充分確保
されていなければならないことを意味する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の解決しようと
する課題は、露光時に上述したような照射光の平行性を
必要とする露光装置であって、高い平行性を確保でき、
且つ光源から発散する光を有効に利用することで、エネ
ルギ−利用効率が高い搬送型露光装置を提供することで
ある。
する課題は、露光時に上述したような照射光の平行性を
必要とする露光装置であって、高い平行性を確保でき、
且つ光源から発散する光を有効に利用することで、エネ
ルギ−利用効率が高い搬送型露光装置を提供することで
ある。
【０００７】本発明は、円筒型光源（１０）と、 前記円
筒型光源（１０）の両側方の反射鏡（２０），（３０）
を設け、前記円筒型光源（１０）の下方に、前記円筒型
光源（１０）と長手方向が平行な複数のスリットを有す
る第１スリット（４０）と、前記円筒型光源（１０）と
長手方向が平行な複数のスリットを有する第２スリット
（５０）とを有し、 さらに、前記第２スリット（５０）
の下方に、露光されるワークを搬送する搬送部（７０）
と、から構成される搬送型露光装置であって、 前記第１
スリット（４０）と前記第２スリット（５０）に設けら
れたそれぞれの複数のスリットは、前記円筒型光源（１
０）からの直射照射光（６０）および反射鏡（２０），
（３０）を反射して経由する反射照射光（６２），（６
４）の平行性を制御するように、第１スリット（４０）
と第２スリット（５０）の間で、互いに対応する配置関
係にあり、 前記第１スリット（４０）および前記第２ス
リットの通過によって制御された直射照射光（６０），
反射照射光（６２），（６４）を、搬送部（７０）上の
ワークに照射する構成であることを特徴とする搬送型露
光装置である。また、第１スリット（４０），第２スリ
ット（５０）のスリット幅を別個に独立して任意に可変
できる搬送型露光装置である。
筒型光源（１０）の両側方の反射鏡（２０），（３０）
を設け、前記円筒型光源（１０）の下方に、前記円筒型
光源（１０）と長手方向が平行な複数のスリットを有す
る第１スリット（４０）と、前記円筒型光源（１０）と
長手方向が平行な複数のスリットを有する第２スリット
（５０）とを有し、 さらに、前記第２スリット（５０）
の下方に、露光されるワークを搬送する搬送部（７０）
と、から構成される搬送型露光装置であって、 前記第１
スリット（４０）と前記第２スリット（５０）に設けら
れたそれぞれの複数のスリットは、前記円筒型光源（１
０）からの直射照射光（６０）および反射鏡（２０），
（３０）を反射して経由する反射照射光（６２），（６
４）の平行性を制御するように、第１スリット（４０）
と第２スリット（５０）の間で、互いに対応する配置関
係にあり、 前記第１スリット（４０）および前記第２ス
リットの通過によって制御された直射照射光（６０），
反射照射光（６２），（６４）を、搬送部（７０）上の
ワークに照射する構成であることを特徴とする搬送型露
光装置である。また、第１スリット（４０），第２スリ
ット（５０）のスリット幅を別個に独立して任意に可変
できる搬送型露光装置である。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１に従っ
て詳細に説明する。蛍光灯のような円筒形状の光源を用
いて、直射照射光（６０）を適性なコリメーション半角
θで搬送部（７０）上のワークに照射させるため、搬送
部（７０）と円筒型光源（１０）の間に、スリットの中
心と円筒型光源（１０）の中心を結ぶ線が搬送面に対し
て垂直になるように光源側から順に第１スリット（４
０）と第２スリット（５０）を設ける。スリットの長手
方向は、円筒型光源と同一な方向とする。
て詳細に説明する。蛍光灯のような円筒形状の光源を用
いて、直射照射光（６０）を適性なコリメーション半角
θで搬送部（７０）上のワークに照射させるため、搬送
部（７０）と円筒型光源（１０）の間に、スリットの中
心と円筒型光源（１０）の中心を結ぶ線が搬送面に対し
て垂直になるように光源側から順に第１スリット（４
０）と第２スリット（５０）を設ける。スリットの長手
方向は、円筒型光源と同一な方向とする。
【０００９】更に、円筒型光源（１０）の側面から発す
る光を露光に利用するため、搬送方向と平行な方向に発
散する光を、円筒型光源（１０）の両側方に設けた反射
鏡（２０）、（３０）で反射させ、反射照射光（６
２）、（６４）が搬送面に対して垂直になるように反射
鏡の角度を調整する。この場合、搬送面に対して右廻
り、左廻りで４５°になるように反射鏡を設定すればよ
い。反射鏡と搬送部との間にも、反射照射光（６２）、
（６４）を適性なコリメーション半角θで搬送部（７
０）上のワークに照射させるため、同様に第１スリット
（４０）、第２スリット（５０）を設ける。このように
することで、反射鏡で反射された照射光を適正なコリメ
ーション半角θで、露光に利用することが出来る。
る光を露光に利用するため、搬送方向と平行な方向に発
散する光を、円筒型光源（１０）の両側方に設けた反射
鏡（２０）、（３０）で反射させ、反射照射光（６
２）、（６４）が搬送面に対して垂直になるように反射
鏡の角度を調整する。この場合、搬送面に対して右廻
り、左廻りで４５°になるように反射鏡を設定すればよ
い。反射鏡と搬送部との間にも、反射照射光（６２）、
（６４）を適性なコリメーション半角θで搬送部（７
０）上のワークに照射させるため、同様に第１スリット
（４０）、第２スリット（５０）を設ける。このように
することで、反射鏡で反射された照射光を適正なコリメ
ーション半角θで、露光に利用することが出来る。
【００１０】照射光の平行性すなわち前記コリメーショ
ン半角θは、円筒型光源（１０）の直径、第１スリット
（４０）、第２スリット（５０）の位置、及び第１スリ
ット幅、第２スリット幅を変えることで制御できる。
ン半角θは、円筒型光源（１０）の直径、第１スリット
（４０）、第２スリット（５０）の位置、及び第１スリ
ット幅、第２スリット幅を変えることで制御できる。
【００１１】たとえば、円筒型光源の直径ｄ0 ＝２０ｍ
ｍ、第１スリットと円筒型光源間の距離Ｌ1 ＝１００ｍ
ｍ、第１スリットと第２スリット間の距離Ｌ2 ＝１５０
ｍｍ、第１スリット幅ｄ1 ＝１２ｍｍ，第２スリット幅
ｄ2 ＝５ｍｍに設定すると照射光のコリメーション半角
θ＝２．９°となる。第２スリット幅ｄ2 のみを８ｍ
ｍ，２ｍｍに変え、他の条件は変えない場合には、照射
光のコリメーション半角θはそれぞれ３．２°、２．５
°となる。
ｍ、第１スリットと円筒型光源間の距離Ｌ1 ＝１００ｍ
ｍ、第１スリットと第２スリット間の距離Ｌ2 ＝１５０
ｍｍ、第１スリット幅ｄ1 ＝１２ｍｍ，第２スリット幅
ｄ2 ＝５ｍｍに設定すると照射光のコリメーション半角
θ＝２．９°となる。第２スリット幅ｄ2 のみを８ｍ
ｍ，２ｍｍに変え、他の条件は変えない場合には、照射
光のコリメーション半角θはそれぞれ３．２°、２．５
°となる。
【００１２】また、第１スリット幅ｄ1 のみを９ｍｍ，
７ｍｍに変え、他の条件は変えない場合の照射光のコリ
メーション半角θは、それぞれ２．７°、２．３°とな
る。このように第１スリット幅、第２スリット幅を小さ
くすることにより照射光の平行性は高まる。しかし、ス
リットの幅を小さくすることによりワークを露光する照
射量が少なくなってしまう。この現象を補い円筒光源の
光を有効に利用するために円筒型光源（１０）の両側方
に反射鏡（２０）、（３０）を設置し、ワークに向けて
反射させ露光する。
７ｍｍに変え、他の条件は変えない場合の照射光のコリ
メーション半角θは、それぞれ２．７°、２．３°とな
る。このように第１スリット幅、第２スリット幅を小さ
くすることにより照射光の平行性は高まる。しかし、ス
リットの幅を小さくすることによりワークを露光する照
射量が少なくなってしまう。この現象を補い円筒光源の
光を有効に利用するために円筒型光源（１０）の両側方
に反射鏡（２０）、（３０）を設置し、ワークに向けて
反射させ露光する。
【００１３】第１スリット幅、第２スリット幅を任意に
変えることで、照射光の平行性を制御すると共に、搬送
部（７０）上のワークに照射する露光量を調整すること
ができる。平行性を必要としない場合にはスリット幅を
大きく、平行性を必要する場合にはスリット幅を小さく
すればよく、適宜スリット幅を調整して所望のコリメー
ション半角θが得られるようにすればよい。直射照射光
（６０）、反射照射光（６２）、（６４）を制御する各
スリット幅は同一にする必要はなく、必要とする照射光
の平行性、露光量に合致するように、それぞれ別個に独
立して設定する。
変えることで、照射光の平行性を制御すると共に、搬送
部（７０）上のワークに照射する露光量を調整すること
ができる。平行性を必要としない場合にはスリット幅を
大きく、平行性を必要する場合にはスリット幅を小さく
すればよく、適宜スリット幅を調整して所望のコリメー
ション半角θが得られるようにすればよい。直射照射光
（６０）、反射照射光（６２）、（６４）を制御する各
スリット幅は同一にする必要はなく、必要とする照射光
の平行性、露光量に合致するように、それぞれ別個に独
立して設定する。
【００１４】スリット位置、すなわち円筒光源から各ス
リット間の距離を変えることによっても、照射光の平行
性及び照射量を調整できる。しかし、スリットの幅を変
える方が調整できる範囲も大きくかつ簡単である。
リット間の距離を変えることによっても、照射光の平行
性及び照射量を調整できる。しかし、スリットの幅を変
える方が調整できる範囲も大きくかつ簡単である。
【００１５】実用上、照射光の平行性が必要とする場合
は、コリメーション半角θを３°以下にすることが多
い。しかし、ワークに要求される平行性によって適宜コ
リメーション半角θを大きくしてもよい。
は、コリメーション半角θを３°以下にすることが多
い。しかし、ワークに要求される平行性によって適宜コ
リメーション半角θを大きくしてもよい。
【００１６】紫外光に感光域がある感光性樹脂を用いる
場合には、光源として水銀灯、メタルハライド等の紫外
光源を用いれば良い。
場合には、光源として水銀灯、メタルハライド等の紫外
光源を用いれば良い。
【００１７】
【発明の効果】本発明の露光装置は、光源として円筒型
光源を用い、スリットを円筒型光源と平行方向にし搬送
部上に線状の照射面を形成することで、シート状あるい
はフィルム状のワークを露光するのに好適である。
光源を用い、スリットを円筒型光源と平行方向にし搬送
部上に線状の照射面を形成することで、シート状あるい
はフィルム状のワークを露光するのに好適である。
【００１８】また、円筒型光源の両側方に反射鏡を用い
ることで、光源があたかも３本あるような効果がある。
反射鏡を使用しない場合には利用されていない円筒型光
源の側方から発散する光を有効に利用でき、かつ各スリ
ット幅を調整することでコリメーション角度の小さい、
すなわち、平行性が高い照射光を得ることができる。両
側方に反射鏡を２枚使用すると、反射鏡を使用しない場
合の約２．７倍の露光効率に向上する。
ることで、光源があたかも３本あるような効果がある。
反射鏡を使用しない場合には利用されていない円筒型光
源の側方から発散する光を有効に利用でき、かつ各スリ
ット幅を調整することでコリメーション角度の小さい、
すなわち、平行性が高い照射光を得ることができる。両
側方に反射鏡を２枚使用すると、反射鏡を使用しない場
合の約２．７倍の露光効率に向上する。
【００１９】また、露光系以外はほとんど変わらない構
造であり、既存の機器の流用が行い易く、大きな追加設
備をすることを必要としない。
造であり、既存の機器の流用が行い易く、大きな追加設
備をすることを必要としない。
【図１】本発明の搬送型露光装置を説明する概略斜視
図。
図。
【図２】本発明の搬送型露光装置を説明する概略側面
図。
図。
【図３】透過型スクリーンの使用状態を概略的に示す説
明図。
明図。
１０…円筒型光源 ２０、３０…反射
鏡 ４０…第１スリット ５０…第２
スリット ６０…直射照射光 ６２、６４…反射
照射光 θ…コリメーション半角 ７０…搬送
部 ８０…テレビ映像用プロジェクター ８２…テレ
ビ映像投影光 ９０…フレネルネンズ ９２…レン
チキュラー ９４…黒色パターン
鏡 ４０…第１スリット ５０…第２
スリット ６０…直射照射光 ６２、６４…反射
照射光 θ…コリメーション半角 ７０…搬送
部 ８０…テレビ映像用プロジェクター ８２…テレ
ビ映像投影光 ９０…フレネルネンズ ９２…レン
チキュラー ９４…黒色パターン
Claims (2)
- 【請求項１】円筒型光源（１０）と、 前記円筒型光源（１０）の両側方の反射鏡（２０），
（３０）を設け、 前記円筒型光源（１０）の下方に、前記円筒型光源（１
０）と長手方向が平行な複数のスリットを有する第１ス
リット（４０）と、 前記円筒型光源（１０）と長手方向が平行な複数のスリ
ットを有する第２スリット（５０）とを有し、 さらに、前記第２スリット（５０）の下方に、露光され
るワークを搬送する搬送部（７０）と、 から構成される搬送型露光装置であって、 前記第１スリット（４０）と前記第２スリット（５０）
に設けられたそれぞれの複数のスリットは、前記円筒型
光源（１０）からの直射照射光（６０）および反射鏡
（２０），（３０）を反射して経由する反射照射光（６
２），（６４）の平行性を制御するように、第１スリッ
ト（４０）と第２スリット（５０）の間で、互いに対応
する配置関係にあり、 前記第１スリット（４０）および前記第２スリットの通
過によって制御された直射照射光（６０），反射照射光
（６２），（６４）を、搬送部（７０）上のワークに照
射する構成である ことを特徴とする搬送型露光装置。 - 【請求項２】第１スリット（４０），第２スリット（５
０）のスリット幅を別個に独立して任意に可変できる請
求項１記載の搬送型露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23388996A JP3255036B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 搬送型露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23388996A JP3255036B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 搬送型露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1078664A JPH1078664A (ja) | 1998-03-24 |
| JP3255036B2 true JP3255036B2 (ja) | 2002-02-12 |
Family
ID=16962161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23388996A Expired - Fee Related JP3255036B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 搬送型露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3255036B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3988287B2 (ja) * | 1998-11-09 | 2007-10-10 | 凸版印刷株式会社 | 連続搬送型露光装置 |
| JP3988289B2 (ja) * | 1998-11-16 | 2007-10-10 | 凸版印刷株式会社 | レンチキュラーシート露光装置 |
| JP5895422B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2016-03-30 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置 |
-
1996
- 1996-09-04 JP JP23388996A patent/JP3255036B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1078664A (ja) | 1998-03-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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