JP3239993U

JP3239993U - 吸引装置

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Publication number: JP3239993U
Application number: JP2022003233U
Authority: JP
Inventors: 勝実前仲; 秀雄福原; 洋文澤; 定彦鈴木; 俊介喜多; 晃 ▲高巣▼
Original assignee: Hokkaido University NUC; Inter University Research Institute Corp High Energy Accelerator Research Organization
Current assignee: Hokkaido University NUC; Inter University Research Institute Corp High Energy Accelerator Research Organization
Priority date: 2022-09-29
Filing date: 2022-09-29
Publication date: 2022-11-29
Anticipated expiration: 2032-09-29
Also published as: WO2024071299A1

Abstract

【課題】試料が容器から流出することを抑制可能な吸引装置を提供する。【解決手段】吸引装置１は、有底筒状の容器２に取り付けられる吸引装置であって、吸引口を有し、容器の開口部に取り付けられる吸引部１０と、空気を吸引する吸引機２０と、吸引部と吸引機とに接続されて吸引口に連通し、空気が流通する吸引管３０と、吸引管に接続されるフィルタ４０と、を備える。吸引装置は、吸引部を容器の開口部に取り付けた状態で用いられる。吸引部には、複数の吸引口が設けられていて、各吸引口は、吸引管およびフィルタを介して吸引機に連通している。吸引機が作動すると、開口部近傍の空気が吸引口に吸引される。これにより、試料が容器の外部へ出たとしても、試料が吸引口に吸引され、試料の流出を防ぐことができる。【選択図】図１

Description

本考案は、吸引装置に関する。

特許文献１には、有底筒状の容器が開示されている。この容器には、電子顕微鏡等の電子線照射装置（荷電粒子ビーム装置）で観察される試料が収容される。

特開平９－６３５２６号公報

ところで、例えば試料が十分軽量である場合（例えば、ウイルスや微生物等）、微小な気流等に起因して、試料が容器内から容器外へと流出する可能性がある。試料が生物にとって有害なものである場合、こういった試料の流出は、感染症の発生や施設汚染等の問題を生じさせる可能性がある。特に、試料とともに液体窒素を容器に収容するクライオ電子顕微鏡においては、液体窒素の蒸発に伴う、試料の飛散や流出を防ぐために、適切な対策が必要である。

本考案は、このような事情を考慮してなされ、試料が容器から流出することを抑制可能な吸引装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本考案の態様１に係る吸引装置は、有底筒状の容器に取り付けられる吸引装置であって、吸引口を有し、前記容器の開口部に取り付けられる吸引部と、空気を吸引する吸引機と、前記吸引部と前記吸引機とに接続されて前記吸引口に連通し、空気が流通する吸引管と、前記吸引管に接続されるフィルタと、を備える。

本考案の態様１によれば、試料が容器の外部へ出たとしても、吸引機を作動させることにより、試料が吸引口に吸引され、試料の流出を抑制することができる。

また、本考案の態様２は、態様１の吸引装置において、前記吸引部には、前記開口部の全周にわたって複数の前記吸引口が設けられている。

また、本考案の態様３は、態様１または態様２の吸引装置において、前記吸引部は、上板および下板を有し、前記上板および前記下板の少なくとも一方には、前記吸引口と前記吸引管とに連通して空気が流通する流通凹部が形成されている。

また、本考案の態様４は、態様３の吸引装置において、前記吸引口は、前記流通凹部の端部に位置する。

また、本考案の態様５は、態様１から態様４のいずれか一つの吸引装置において、前記吸引部は、上板および下板を有し、前記吸引部は、前記開口部が前記上板の上面と前記下板の下面との間に位置するように、前記開口部に取り付けられる。

また、本考案の態様６は、態様１から態様５のいずれか一つの吸引装置において、複数の前記吸引管を有し、前記複数の吸引管は、一つの前記フィルタに接続されている。

また、本考案の態様７は、態様１から態様６のいずれか一つの吸引装置において、前記容器は、電子線照射装置の試料を収容する容器である。

また、本考案の態様８は、態様１から態様７のいずれか一つの吸引装置において、前記フィルタは、ＨＥＰＡフィルタである。

また、本考案の態様９は、態様１から態様８のいずれか一つの吸引装置において、前記吸引部は、ＰＴＦＥおよびステンレスの少なくとも一方によって形成されている。

本考案の上記態様によれば、試料が容器から流出することを抑制可能な吸引装置を提供できる。

本考案の実施形態に係る吸引装置を示す図である。本考案の実施形態に係る吸引装置の一部を拡大して示す図である。本考案の実施形態に係る吸引部を示す分解図である。本考案の実施形態に係る吸引部を示す分解図である。本考案の実施形態に係る吸引装置の作用を説明する図である。

以下、本考案の実施形態に係る吸引装置について図面に基づいて説明する。

図１に示すように、本実施形態に係る吸引装置１は、吸引部１０と、吸引機２０と、複数の吸引管３０と、フィルタ４０と、を備える。吸引装置１は、容器２とともに用いられる。容器２は、例えば、クライオ電子顕微鏡等の電子線照射装置の試料を収容する容器である。図２に示すように、容器２は、有底筒状の形状を有する。本実施形態に係る容器２は、断面視において円状の外形を有する。

吸引装置１は、吸引部１０を容器２の開口部２ａに取り付けた状態で用いられる。図２に示すように、吸引部１０には、複数の吸引口Ｐが設けられている。各吸引口Ｐは、吸引管３０およびフィルタ４０を介して吸引機２０に連通している。吸引機２０が作動すると、開口部２ａ近傍の空気が吸引口Ｐに吸引される。これにより、試料が容器２の外部へ出たとしても、試料が吸引口Ｐに吸引され、試料の流出を防ぐことができる。

（方向定義）
ここで、本実施形態では、容器２の中心軸線Ｏと平行な方向をＺ方向または軸方向Ｚと称する。軸方向Ｚに沿って、容器２の底部から開口部２ａに向かう向きを、＋Ｚの向きまたは上方と称する。＋Ｚの向きとは反対の向きを、－Ｚの向きまたは下方と称する。軸方向Ｚに垂直な断面を、横断面と称する。軸方向Ｚから見て、容器２の中心軸線Ｏに直交する方向を、径方向と称する。径方向に沿って、中心軸線Ｏに接近する向きを、径方向内側と称し、中心軸線Ｏから離反する向きを、径方向外側と称する。軸方向Ｚから見て、中心軸線Ｏまわりに周回する方向を、周方向と称する。また、軸方向Ｚに直交する一方向を、第１方向Ｘと称する。軸方向Ｚおよび第１方向Ｘの双方に直交する方向を、第２方向Ｙと称する。軸方向Ｚから見ることを、平面視と称する。

吸引機２０は、空気を吸引する装置である。吸引機２０の種類は特に限定されないが、例えば、吸引機２０として家庭用掃除機や家庭用ハンドクリーナー等を用いることができる。

吸引管３０は、内部に空気が流通可能に構成されている。図１に示すように、各吸引管３０は、吸引部１０と、吸引機２０と、に接続されている。各吸引管３０は、接続孔Ｈおよび流通凹部１２ａ（詳細は後述）を介して、吸引口Ｐに連通している。本実施形態において、吸引装置１は５つの吸引管３０を備える。

フィルタ４０は、吸引管３０に接続されている。本実施形態に係るフィルタ４０は、吸引機２０と吸引管３０との間に位置している。また、本実施形態においては、複数の吸引管３０の全てが一つのフィルタ４０に接続されている。フィルタ４０は、吸引口Ｐから吸引された試料を捕捉し、当該試料が吸引機２０に流入することを抑制する役割を有する。フィルタ４０の種類は特に限定されないが、例えば、フィルタ４０としてＨＥＰＡ（ＨｉｇｈＥｆｆｉｃｉｅｎｃｙＰａｒｔｉｃｕｌａｔｅＡｉｒ）フィルタを好適に用いることができる。なお、フィルタ４０の存在による吸引力の低下を抑制する観点においては、表面積の大きいフィルタを用いることが望ましい。

図２に示すように、本実施形態に係る吸引部１０は、上板１１および下板１２を有する。上板１１および下板１２は、別体に形成されている（図３も参照）。上板１１は、下板１２よりも上方に位置する。また、上板１１は、主部１１Ａおよび薄板部１１Ｂを有する。主部１１Ａおよび薄板部１１Ｂは、別体に形成されている（図３も参照）。主部１１Ａ、薄板部１１Ｂ、下板１２、および容器２は、複数のねじＳ１、Ｓ２によって互いに固定されている。

図３に示すように、主部１１Ａ、薄板部１１Ｂ、および下板１２の各々は、平面視において環状の形状を有する。主部１１Ａは、平面視において略Ｄ字状の外形を有する。薄板部１１Ｂは、平面視において略円状の外形を有する。下板１２は、平面視において略Ｄ字状の外形を有する。また、主部１１Ａの内径は薄板部１１Ｂの内径よりも大きく、薄板部１１Ｂの内径は下板１２の内径よりも大きい。また、下板１２の厚み（軸方向Ｚにおける寸法）は、上板１１の厚み（軸方向Ｚにおける寸法）よりも大きい。

図３に示すように、薄板部１１Ｂは、主部１１Ａと下板１２との間に配置される。これにより、図２に示すように、上板１１の上面には、主部１１Ａの内周面（径方向内側の面）と薄板部１１Ｂの上面とによって囲われた凹部１１ａが形成される。図１に示すように、凹部１１ａには、容器２の蓋２ｂが嵌合される。また、容器２を電子顕微鏡に接続する際には、電子顕微鏡側の部品が凹部１１ａに嵌合される。

図３に示すように、薄板部１１Ｂには、薄板部１１Ｂの外周面（径方向外側の面）に開口して径方向内側に延びる位置決め凹部１１ｂが形成されている。また、主部１１Ａには、主部１１Ａの外周面（径方向外側の面）に沿って、複数のねじ孔１１s１が間隔を空けて形成されている。薄板部１１Ｂの内周面（径方向内側の面）には、複数の開口１１s２が間隔を空けて形成されている。

下板１２には、複数の流通凹部１２ａと、複数の接続孔Ｈと、が形成されている。本実施形態において、下板１２には５つの流通凹部１２ａおよび５つの接続孔Ｈが形成されている。以下、５つの流通凹部１２ａの各々を、第１流通凹部１２ａ１～第５流通凹部１２ａ５と称する場合がある。また、本実施形態において、５つの流通凹部１２ａと５つの接続孔Ｈとは一対一に対応しており、各接続孔Ｈは、対応する流通凹部１２ａに開口している。以下、第１流通凹部１２ａ１に開口する接続孔Ｈを第１接続孔Ｈ１と称し、第２流通凹部１２ａ２～第５流通凹部１２ａ５に開口する接続孔Ｈを同様に第２接続孔Ｈ２～第５接続孔Ｈ５と称する場合がある。

各流通凹部１２ａは、下板１２の上面から下方に向けて凹む凹部である。各流通凹部１２ａは、下板１２の内周面（径方向内側の面）に開口している。複数の流通凹部１２ａは、互いに連通しておらず、壁部１２ｂによって隔てられている。なお、「壁部１２ｂ」とは、下板１２の上部のうち流通凹部１２ａが形成されていない部分である。

壁部１２ｂのうち平面視において薄板部１１Ｂと重なる部分には、壁部１２ｂの上面から下方に向けて凹む嵌合凹部１２ｃが形成されている。また、壁部１２ｂのうち平面視において薄板部１１Ｂの位置決め凹部１１ｂと重なる部分には、位置決め突起１２ｅが設けられている。薄板部１１Ｂは、位置決め突起１２ｅが位置決め凹部１１ｂに入り込むように、嵌合凹部１２ｃに嵌合される。

また、下板１２（壁部１２ｂ）には、複数のねじ孔１２ｓ１および複数のねじ孔１２ｓ２が形成されている。下板１２に形成された複数のねじ孔１２ｓ１と上板１１の主部１１Ａに形成された複数のねじ孔１１ｓ１とは一対一に対応しており、平面視において互いに重なる位置にある。同様に、下板１２に形成された複数のねじ孔１２ｓ２と上板１１の薄板部１１Ｂに形成された複数の開口１１ｓ２とは一対一に対応しており、平面視において互いに重なる位置にある。

本実施形態においては、ねじ孔１１ｓ１を通して各ねじ孔１２ｓ１にねじＳ１を螺入することにより、主部１１Ａが下板１２に固定される（図２も参照）。主部１１Ａがこのように下板１２に固定されることで、薄板部１１Ｂは、嵌合凹部１２ｃにおいて主部１１Ａと下板１２とに挟持される。すなわち、薄板部１１Ｂが主部１１Ａおよび下板１２に固定される。そして、容器２の上端部に形成されたねじ孔（不図示）に対してねじ孔１２ｓ２を通してねじＳ２を螺入することにより、下板１２が容器２に固定され、吸引部１０が容器２に固定される。薄板部１１Ｂに前述した開口１１ｓ２が形成されていることにより、ねじＳ２と薄板部１１Ｂとの干渉が防止される。また、ねじＳ１、Ｓ２を緩めることにより、容器２から吸引部１０を取り外したり、主部１１Ａ、薄板部１１Ｂ、および下板１２を互いに分離したりすることができる。なお、各ねじ孔１２ｓ１には、ヘリサートが挿入されていてもよい。

上板１１が下板１２に固定された状態において、下板１２の壁部１２ｂは上板１１の下面に当接する。一方、下板１２のうち流通凹部１２ａが形成された部分は上板１１に当接しない。すなわち、流通凹部１２ａが形成された部分において、上板１１と下板１２との間には隙間が生じる。当該隙間（流通凹部１２ａ）には、空気が流通する。また、当該隙間（流通凹部１２ａ）のうち、下板１２の内周面側の端部の各々が、前述した吸引口Ｐとして機能する。ここで、前述したように下板１２の内径は薄板部１１Ｂの内径よりも大きいため、上板１１が下板１２に固定された状態において、下板１２は、薄板部１１Ｂよりも径方向内側に突出する。したがって、吸引口Ｐには、上方および径方向内側から空気が流入する。

図２に示すように、本実施形態に係る吸引部１０には、開口部２ａの全周にわたって複数の吸引口Ｐが設けられている。本実施形態において、吸引部１０には１０個の吸引口Ｐが設けられている。以下、１０個の吸引口Ｐの各々を、第１吸引口Ｐ１～第１０吸引口Ｐ１０と称する場合がある。本実施形態において、第１吸引口Ｐ１、第２吸引口Ｐ２、および第３吸引口Ｐ３は、第１流通凹部１２ａ１および第１接続孔Ｈ１に連通している。第４吸引口Ｐ４は、第２流通凹部１２ａ２および第２接続孔Ｈ２に連通している。第５吸引口Ｐ５は、第３流通凹部１２ａ３および第３接続孔Ｈ３に連通している。第６吸引口Ｐ６および第７吸引口Ｐ７は、第４流通凹部１２ａ４および第４接続孔Ｈ４に連通している。第８吸引口Ｐ８、第９吸引口Ｐ９、および第１０吸引口Ｐ１０は、第５流通凹部１２ａ５および第５接続孔Ｈ５に連通している。

第１接続孔Ｈ１～第５接続孔Ｈ５は、Ｄ字状の下板１２が有する直線状の辺に沿って並んでいる。各接続孔Ｈは、流通凹部１２ａから下方に延びて下板１２を軸方向Ｚに貫通し、下板１２の下面に開口している（図４参照）。前述した５つの吸引管３０は、第１接続孔Ｈ１～第５接続孔Ｈ５に対し１本ずつ接続される。これにより、５つの吸引管３０と第１流通凹部１２ａ１～第５流通凹部１２ａ５とが一対一に連通する。なお、各接続孔Ｈ１～Ｈ５の内周面にねじ溝が形成され、各吸引管３０の先端にねじ突起が形成され、当該ねじ突起を当該ねじ溝に螺入することで各吸引管３０と各接続孔Ｈ１～Ｈ５とが接続されてもよい。各接続孔Ｈにヘリサートが挿入されていてもよい。

図４に示すように、下板１２の下面には、上方に向かって凹む取付凹部１２ｄが形成されている。取付凹部１２ｄには、容器２の上端部が嵌合される。取付凹部１２ｄの形状は、容器２の上端部の形状と対応している。本実施形態においては、容器２の上端部が取付凹部１２ｄに嵌合されることにより、開口部２ａが、軸方向Ｚにおいて、上板１１（主部１１Ａ）の上面と下板１２の下面との間に位置する。また、本実施形態において、開口部２ａの上面は、薄板部１１Ｂの上面と略同一平面上に位置する。

なお、吸引部１０を形成する材料は特に限定されないが、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）およびステンレス等を採用することができる。ＰＴＦＥおよびステンレスで吸引部１０を形成することにより、吸引部１０の液体窒素に対する耐性等を高めることができる。これにより、例えばクライオ電子顕微鏡の試料用容器等、吸引部１０に液体窒素が付着する可能性がある容器２に対しても好適に吸引部１０を取り付けることができる。ただし、吸引部１０はＰＴＦＥのみによって形成されていてもよいし、ステンレスのみによって形成されていてもよい。

次に、以上のように構成された吸引装置１の作用について説明する。

従来、電子顕微鏡等の電子線照射装置で観察される試料が収容される有底筒状の容器が知られている。ここで、例えば試料が十分軽量である場合（例えば、ウイルスや微生物等）、微小な気流等に起因して、試料が容器内から容器外へと流出する可能性がある。試料が生物にとって有害なものである場合、こういった試料の流出は、感染症の発生や施設汚染等の問題を生じさせる可能性がある。特に、試料とともに液体窒素を容器に収容するクライオ電子顕微鏡においては、液体窒素の蒸発に伴う、試料の飛散や流出を防ぐために、適切な対策が必要である。また、容器が蓋を備える場合であっても、試料を装填する際には蓋を取り除く必要があるため、蓋を取り除いた後においては試料の流出が生じる可能性があった。

この課題に対し、本実施形態に係る吸引装置１は、吸引口Ｐを有し、容器２の開口部２ａに取り付けられる吸引部１０を有する。また、各吸引口Ｐは、流通凹部１２ａ、接続孔Ｈ、吸引管３０、およびフィルタ４０を介して吸引機２０と連通している。そのため、吸引機２０を作動させることにより、図５に示すように、開口部２ａ近傍の空気が吸引口Ｐに吸引される。これにより、蓋２ｂが外れた状態において、試料が容器２の外部へ出たとしても、試料が吸引口Ｐに吸引され、試料の流出を防ぐことができる。また、吸引された試料はフィルタ４０によって捕捉されるため、吸引した試料を安全に処理することができる。

以上説明したように、本実施形態に係る吸引装置１は、有底筒状の容器２に取り付けられる吸引装置であって、吸引口Ｐを有し、容器２の開口部２ａに取り付けられる吸引部１０と、空気を吸引する吸引機２０と、吸引部１０と吸引機２０とに接続されて吸引口Ｐに連通し、空気が流通する吸引管３０と、吸引管３０に接続されるフィルタ４０と、を備える。

この構成により、試料が容器２の外部へ出たとしても、吸引機２０を作動させることにより、試料が吸引口Ｐに吸引され、試料の流出を抑制することができる。これにより、試料の運搬の安全性を高めることができる。

また、吸引部１０には、開口部２ａの全周にわたって複数の吸引口Ｐが設けられている。この構成により、吸引口Ｐに向かう気流を開口部２ａの全周にわたって生成することができ、試料の流出をより抑制することができる。

また、吸引部１０は、上板１１および下板１２を有し、下板１２には、吸引口Ｐと吸引管３０とに連通して空気が流通する流通凹部１２ａが形成されている。この構成により、例えば吸引部１０に孔をあけることで空気の流通経路を形成する場合と比較して、吸引部１０の製造が容易となる。

また、吸引口Ｐは、流通凹部１２ａの端部に位置する。この構成により、例えば吸引部１０に孔をあけることで吸引口Ｐを形成する場合と比較して、吸引口Ｐを有する吸引部１０の製造が容易となる。

また、吸引部１０は、開口部２ａが上板１１の上面と下板１２の下面との間に位置するように、開口部２ａに取り付けられる。この構成により、吸引部１０が容器２と電子顕微鏡との接続を害しにくくなる。また、吸引部１０と電子顕微鏡の接続部等との干渉を防ぐことができる。

また、本実施形態に係る吸引装置１は、複数の吸引管３０を有し、複数の吸引管３０は、一つのフィルタ４０に接続されている。この構成により、吸引管３０が一つしかない場合と比較して、吸引を安定させることができる。また、各吸引管３０に対し別個にフィルタ４０が接続されている場合と比較して、吸引装置１のサイズを抑制しやすくなる。

また、容器２は、電子線照射装置の試料を収容する容器であってもよい。上記の特徴を有する吸引装置１によれば、電子線照射装置に容器２を設置する際において容器２から試料が流出することを抑制できる。

また、フィルタ４０は、ＨＥＰＡフィルタであってもよい。この構成によれば、フィルタ４０による試料の捕捉の精度を高めることができる。

また、吸引部１０は、ＰＴＦＥおよびステンレスの少なくとも一方によって形成されていてもよい。この構成によれば、例えばクライオ電子顕微鏡の試料用容器等、吸引部１０に液体窒素が付着する可能性がある容器２に対しても好適に吸引部１０を取り付けることができる。また、腐食性を有する液体（酸、塩基等）や熱に対する吸引部１０の耐性を向上できる。また、ＰＴＦＥやステンレスはアルコールで溶解しないため、吸引部１０をアルコールで滅菌することができる。

なお、本考案の技術的範囲は前記実施形態に限定されず、本考案の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上板１１の厚みが下板１２の厚み以上であってもよい。

また、吸引装置１が複数のフィルタ４０を備え、各吸引管３０に対し別個にフィルタ４０が接続されていてもよい。また、フィルタ４０は吸引管３０と吸引機２０との間ではなく吸引管３０の途中に設けられていてもよい。あるいは、フィルタ４０が吸引部１０に対して直接接続されていてもよい。

また、吸引管３０の数は適宜変更可能であり、複数でなくてもよい。同様に、接続孔Ｈの数は適宜変更可能であり、複数でなくてもよい。流通凹部１２ａの数は適宜変更可能であり、複数でなくてもよい。吸引口Ｐの数は適宜変更可能であり、複数でなくてもよい。

また、前記実施形態において吸引管３０（接続孔Ｈ）と流通凹部１２ａとは一対一に対応していたが、吸引管３０（接続孔Ｈ）と流通凹部１２ａとの対応関係はこれに限られない。また、流通凹部１２ａと吸引口Ｐとの対応関係は、前記実施形態における例に限られない。

また、前記実施形態においては下板１２の上面に流通凹部１２ａが形成されていたが、流通凹部１２ａは上板１１の下面に形成されていてもよい。あるいは、吸引部１０には、流通凹部１２ａが形成されていなくてもよい。この場合、流通凹部１２ａに替えて、吸引口Ｐおよび接続孔Ｈの双方に連通する孔が形成されていてもよい。また、吸引口Ｐは上板１１と下板１２との間に位置していなくてもよく、上板１１または下板１２のいずれか一方に開口していてもよい。また、吸引部１０は上板１１と下板１２とに分かれていなくてもよい。すなわち、吸引口Ｐから吸引管３０に向けて空気が流通する流通経路を確保可能であれば、吸引部１０の構成は適宜変更可能である。

また、吸引部１０の材料にＰＴＦＥおよびステンレス以外の素材が含まれていてもよい。また、吸引部１０の材料にＰＴＦＥおよびステンレスのいずれもが含まれていなくてもよい。

また、内部に試料を収容する容器であれば、容器２は電子線照射装置用の容器に限られない。

その他、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した実施形態や変形例を適宜組み合わせてもよい。

１…吸引装置２…容器２ａ…開口部１０…吸引部１１…上板１２…下板１２ａ…流通凹部２０…吸引機３０…吸引管４０…フィルタＰ…吸引口

Claims

有底筒状の容器に取り付けられる吸引装置であって、
吸引口を有し、前記容器の開口部に取り付けられる吸引部と、
空気を吸引する吸引機と、
前記吸引部と前記吸引機とに接続されて前記吸引口に連通し、空気が流通する吸引管と、
前記吸引管に接続されるフィルタと、を備える、
吸引装置。
前記吸引部には、前記開口部の全周にわたって複数の前記吸引口が設けられている、
請求項１に記載の吸引装置。
前記吸引部は、上板および下板を有し、
前記上板および前記下板の少なくとも一方には、前記吸引口と前記吸引管とに連通して空気が流通する流通凹部が形成されている、
請求項１または２に記載の吸引装置。
前記吸引口は、前記流通凹部の端部に位置する、
請求項３に記載の吸引装置。
前記吸引部は、上板および下板を有し、
前記吸引部は、前記開口部が前記上板の上面と前記下板の下面との間に位置するように、前記開口部に取り付けられる、
請求項１または２に記載の吸引装置。
複数の前記吸引管を有し、
前記複数の吸引管は、一つの前記フィルタに接続されている、
請求項１または２に記載の吸引装置。
前記容器は、電子線照射装置の試料を収容する容器である、
請求項１または２に記載の吸引装置。
前記フィルタは、ＨＥＰＡフィルタである、
請求項１または２に記載の吸引装置。
前記吸引部は、ＰＴＦＥおよびステンレスの少なくとも一方によって形成されている、
請求項１または２に記載の吸引装置。