JP3232905B2 - 電極形成用マスク - Google Patents
電極形成用マスクInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電極形成用マスクに関
し、詳しくは、チップ型素子に電極を形成する際に使用
される電極形成用マスクに関する。
し、詳しくは、チップ型素子に電極を形成する際に使用
される電極形成用マスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】チップ型素子に電極を形成するためのマ
スクとしては、例えば、図５に示すようなマスクが提案
されている（特開平３−１８００１６号）。
スクとしては、例えば、図５に示すようなマスクが提案
されている（特開平３−１８００１６号）。
【０００３】このマスクは、２枚の重ね合わせ板５１
ａ，５１ｂから構成されており、チップ型素子５２を位
置決め及び挾持するための凹部５３を、重ね合わせ板５
１ａ，５１ｂの対向面に設けるとともに、電極（外部電
極）５６（図６）を形成するための開口部５４を前記凹
部５３に重なるようにして設けることにより形成されて
いる。
ａ，５１ｂから構成されており、チップ型素子５２を位
置決め及び挾持するための凹部５３を、重ね合わせ板５
１ａ，５１ｂの対向面に設けるとともに、電極（外部電
極）５６（図６）を形成するための開口部５４を前記凹
部５３に重なるようにして設けることにより形成されて
いる。
【０００４】このマスクを用いてチップ型素子５２に外
部電極５６（図６）を形成する場合、２枚の重ね合わせ
板５１ａ，５１ｂの間の、前記凹部５３により位置決め
される所定の位置にチップ型素子５２を挾持し、ビス５
５により２枚の重ね合わせ板５１ａ，５１ｂを接合、固
定した後、スパッタリング法や蒸着法などのいわゆる乾
式メッキ法により、開口部５４からチップ型素子５２の
所定の位置に電極材料（外部電極）を付与する。そし
て、このようにして外部電極５６が形成されたチップ型
素子５２を所定の位置（例えば図６の線Ａで示す位置）
でカットすることにより個々のチップ型電子部品５２ａ
が切り出される。
部電極５６（図６）を形成する場合、２枚の重ね合わせ
板５１ａ，５１ｂの間の、前記凹部５３により位置決め
される所定の位置にチップ型素子５２を挾持し、ビス５
５により２枚の重ね合わせ板５１ａ，５１ｂを接合、固
定した後、スパッタリング法や蒸着法などのいわゆる乾
式メッキ法により、開口部５４からチップ型素子５２の
所定の位置に電極材料（外部電極）を付与する。そし
て、このようにして外部電極５６が形成されたチップ型
素子５２を所定の位置（例えば図６の線Ａで示す位置）
でカットすることにより個々のチップ型電子部品５２ａ
が切り出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のマ
スクを用いて、スパッタリング法や蒸着法などにより電
極を形成する場合、マスクの温度が上昇し、かつ、周辺
部が支持部材により冷却されるため、マスクに温度分布
が生じ、熱歪が発生して、図７に示すように、開口部５
４に挟まれた部分（すなわち、チップ型素子５２と当接
して、所定の電極パターンを形成することを可能にする
ための部分（当接部））５７が外側に盛り上がるように
湾曲して、該当接部５７とチップ型素子５２の間に隙間
Ｇが生じ、その結果、電極のにじみやぼけが発生して得
られるチップ型電子部品の特性が低下するという問題点
がある。
スクを用いて、スパッタリング法や蒸着法などにより電
極を形成する場合、マスクの温度が上昇し、かつ、周辺
部が支持部材により冷却されるため、マスクに温度分布
が生じ、熱歪が発生して、図７に示すように、開口部５
４に挟まれた部分（すなわち、チップ型素子５２と当接
して、所定の電極パターンを形成することを可能にする
ための部分（当接部））５７が外側に盛り上がるように
湾曲して、該当接部５７とチップ型素子５２の間に隙間
Ｇが生じ、その結果、電極のにじみやぼけが発生して得
られるチップ型電子部品の特性が低下するという問題点
がある。
【０００６】そこで、従来は、図８に示すように、Ｕ字
状の押圧治具５８を用いて上下両面側から当接部５７を
チップ型素子５２に押圧することにより、当接部５７と
チップ型素子５２の間に隙間が生じないようにするとい
うような方策がとられているが、多連のマスクになる
と、一つの当接部ごとに一つずつ押圧治具を取り付ける
必要があり、作業効率が悪いばかりでなく、隙間が形成
されることを完全に防止することができないという問題
点がある。
状の押圧治具５８を用いて上下両面側から当接部５７を
チップ型素子５２に押圧することにより、当接部５７と
チップ型素子５２の間に隙間が生じないようにするとい
うような方策がとられているが、多連のマスクになる
と、一つの当接部ごとに一つずつ押圧治具を取り付ける
必要があり、作業効率が悪いばかりでなく、隙間が形成
されることを完全に防止することができないという問題
点がある。
【０００７】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、マスクの一部が浮き上がってマスクとチップ型素子
の間に隙間が形成されることを確実に防止し、所望のパ
ターンを有する電極を確実に形成することが可能な電極
形成用マスクを提供することを目的とする。
り、マスクの一部が浮き上がってマスクとチップ型素子
の間に隙間が形成されることを確実に防止し、所望のパ
ターンを有する電極を確実に形成することが可能な電極
形成用マスクを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電極形成用マスクは、チップ型素子に所定
のパターンの電極を形成するための電極形成用マスクに
おいて、チップ型素子をその両面側から挟み込む２枚の
重ね合わせ板から構成されており、少なくとも一方の重
ね合わせ板には、チップ型素子に形成すべき電極パター
ンに対応する形状を有する１以上の開口部が形成されて
いるとともに、前記重ね合わせ板のうち、前記開口部が
形成された重ね合わせ板の、チップ型素子と対向、接触
する部分（当接部）の両側に、該当接部と略平行にスリ
ットが形成されており、かつ、少なくとも、前記スリッ
トの長手方向と略直交する方向の端部から、該端部に最
も近いスリットに達する切込みが形成されていることを
特徴とする。
に、本発明の電極形成用マスクは、チップ型素子に所定
のパターンの電極を形成するための電極形成用マスクに
おいて、チップ型素子をその両面側から挟み込む２枚の
重ね合わせ板から構成されており、少なくとも一方の重
ね合わせ板には、チップ型素子に形成すべき電極パター
ンに対応する形状を有する１以上の開口部が形成されて
いるとともに、前記重ね合わせ板のうち、前記開口部が
形成された重ね合わせ板の、チップ型素子と対向、接触
する部分（当接部）の両側に、該当接部と略平行にスリ
ットが形成されており、かつ、少なくとも、前記スリッ
トの長手方向と略直交する方向の端部から、該端部に最
も近いスリットに達する切込みが形成されていることを
特徴とする。
【０００９】また、前記開口部が前記スリットを兼ねて
いることを特徴とする。
いることを特徴とする。
【００１０】さらに、前記重ね合わせ板の互に対向する
面の少なくとも一方の面に、チップ型素子を位置決め及
び挾持するための凹部が形成され、かつ、重ね合わせた
ときに前記開口部が前記凹部と重なるように形成されて
いることを特徴とする。
面の少なくとも一方の面に、チップ型素子を位置決め及
び挾持するための凹部が形成され、かつ、重ね合わせた
ときに前記開口部が前記凹部と重なるように形成されて
いることを特徴とする。
【００１１】さらに、対向する２枚の重ね合わせ板を結
合するための複数の結合部材の少なくとも一部に、各重
ね合わせ板が、互に対向する他方の重ね合わせ板に対し
て、前記スリットの長手方向に自由に伸長、収縮するこ
とを妨げない結合部材を用いたことを特徴とする。
合するための複数の結合部材の少なくとも一部に、各重
ね合わせ板が、互に対向する他方の重ね合わせ板に対し
て、前記スリットの長手方向に自由に伸長、収縮するこ
とを妨げない結合部材を用いたことを特徴とする。
【００１２】さらに、前記少なくとも一部の結合部材
が、ばね力により、各重ね合わせ板を互に圧着するクリ
ップであることを特徴とする。
が、ばね力により、各重ね合わせ板を互に圧着するクリ
ップであることを特徴とする。
【００１３】
【作用】開口部が形成された重ね合わせ板の、チップ型
素子と対向、接触する部分（当接部）の両側に、該当接
部と略平行にスリットが形成されているとともに、スリ
ットの長手方向と略直交する方向の端部から、該端部に
最も近いスリットに達する切込みが形成されており、当
接部への周囲からの干渉が少なくなっているため、例え
ば、帯状の当接部が、熱によって伸長（膨張）したり収
縮したりすることがほとんど妨げられなくなる。それゆ
え、前述の従来の電極形成用マスクにおいては防止する
ことができなかった、熱ストレスが加わったときに発生
する当接部の湾曲を確実に防止することができるように
なる。
素子と対向、接触する部分（当接部）の両側に、該当接
部と略平行にスリットが形成されているとともに、スリ
ットの長手方向と略直交する方向の端部から、該端部に
最も近いスリットに達する切込みが形成されており、当
接部への周囲からの干渉が少なくなっているため、例え
ば、帯状の当接部が、熱によって伸長（膨張）したり収
縮したりすることがほとんど妨げられなくなる。それゆ
え、前述の従来の電極形成用マスクにおいては防止する
ことができなかった、熱ストレスが加わったときに発生
する当接部の湾曲を確実に防止することができるように
なる。
【００１４】したがって、マスクの一部が浮き上がっ
て、マスクとチップ型素子の間に隙間が形成されること
を確実に防止して、チップ型素子の所定の位置に所望の
パターンを有する電極を確実に形成することが可能にな
る。
て、マスクとチップ型素子の間に隙間が形成されること
を確実に防止して、チップ型素子の所定の位置に所望の
パターンを有する電極を確実に形成することが可能にな
る。
【００１５】また、前記開口部が前記スリットを兼ねる
ように構成することも可能であり、その場合、重ね合わ
せ板の構造を簡略化して小型化を図ることが可能にな
る。
ように構成することも可能であり、その場合、重ね合わ
せ板の構造を簡略化して小型化を図ることが可能にな
る。
【００１６】さらに、前記重ね合わせ板の互に対向する
面の少なくとも一方の面に、位置決め用の凹部を形成す
るとともに、重ね合わせたときに凹部と重なるように開
口部を形成することにより、チップ型素子の位置決めを
容易かつ確実に行うことが可能になり、チップ型素子の
所定の位置に容易かつ確実に電極を形成することができ
るようになる。
面の少なくとも一方の面に、位置決め用の凹部を形成す
るとともに、重ね合わせたときに凹部と重なるように開
口部を形成することにより、チップ型素子の位置決めを
容易かつ確実に行うことが可能になり、チップ型素子の
所定の位置に容易かつ確実に電極を形成することができ
るようになる。
【００１７】また、２枚の重ね合わせ板を結合するため
の複数の結合部材の少なくとも一部として、各重ね合わ
せ板が、互に対向する他方の重ね合わせ板に対して、ス
リットの長手方向に自由に伸長、収縮することを妨げな
いような結合部材を用いることにより、当接部の自由な
伸長・収縮を確実に可能ならしめることができるように
なる。また、マスク全体のそりを防止することができる
ようになる。
の複数の結合部材の少なくとも一部として、各重ね合わ
せ板が、互に対向する他方の重ね合わせ板に対して、ス
リットの長手方向に自由に伸長、収縮することを妨げな
いような結合部材を用いることにより、当接部の自由な
伸長・収縮を確実に可能ならしめることができるように
なる。また、マスク全体のそりを防止することができる
ようになる。
【００１８】さらに、前記少なくとも一部の結合部材と
して、ばね力により、各重ね合わせ板を互に圧着するク
リップを用いることにより、容易かつ確実に、当接部の
自由な伸長・収縮を確実に可能ならしめ、本発明をより
実効あらしめることが可能になる。
して、ばね力により、各重ね合わせ板を互に圧着するク
リップを用いることにより、容易かつ確実に、当接部の
自由な伸長・収縮を確実に可能ならしめ、本発明をより
実効あらしめることが可能になる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。図１は本発明の一実施例にかかる電極形成用マスク
を示す分解斜視図である。
る。図１は本発明の一実施例にかかる電極形成用マスク
を示す分解斜視図である。
【００２０】この実施例の電極形成用マスクは、チップ
型素子に所定のパターンの電極（外部電極）を形成する
ための電極形成用マスクであって、図１に示すように、
チップ型素子２をその両面側から挟み込む２枚の重ね合
わせ板１ａ，１ｂから構成されており、各重ね合わせ板
１ａ，１ｂの対向面の所定の位置には、チップ型素子２
を位置決め及び挾持するための凹部３が形成され、か
つ、該凹部３と重なるように、チップ型素子２に形成す
べき電極パターンに対応する形状を有する開口部４が形
成されている。
型素子に所定のパターンの電極（外部電極）を形成する
ための電極形成用マスクであって、図１に示すように、
チップ型素子２をその両面側から挟み込む２枚の重ね合
わせ板１ａ，１ｂから構成されており、各重ね合わせ板
１ａ，１ｂの対向面の所定の位置には、チップ型素子２
を位置決め及び挾持するための凹部３が形成され、か
つ、該凹部３と重なるように、チップ型素子２に形成す
べき電極パターンに対応する形状を有する開口部４が形
成されている。
【００２１】なお、この実施例においては、開口部をス
リット状にしているため、各重ね合わせ板１ａ，１ｂに
それぞれ形成された２つの開口部４の間の帯状の部分が
チップ型素子２と当接する当接部７となっており、ま
た、開口部４が本発明の当接部７の両側のスリットを兼
ねている。
リット状にしているため、各重ね合わせ板１ａ，１ｂに
それぞれ形成された２つの開口部４の間の帯状の部分が
チップ型素子２と当接する当接部７となっており、ま
た、開口部４が本発明の当接部７の両側のスリットを兼
ねている。
【００２２】そして、重ね合わせ板１ａ，１ｂの開口部
（スリット）４の長手方向と略直交する方向の端部か
ら、各開口部（スリット）４に達する切込み１１が形成
されている。なお、各重ね合わせ板１ａ，１ｂを重ね合
わせたときにマスク全体としての機械的な強度が低下す
ることを防止するために、各重ね合わせ板１ａ，１ｂを
重ね合わせたときに、重ね合わせ板１ａに形成された切
込み１１と、重ね合わせ板１ｂに形成されたの切込み１
１が互に離れた位置にくるように、切込み１１の形成位
置が設定されている。
（スリット）４の長手方向と略直交する方向の端部か
ら、各開口部（スリット）４に達する切込み１１が形成
されている。なお、各重ね合わせ板１ａ，１ｂを重ね合
わせたときにマスク全体としての機械的な強度が低下す
ることを防止するために、各重ね合わせ板１ａ，１ｂを
重ね合わせたときに、重ね合わせ板１ａに形成された切
込み１１と、重ね合わせ板１ｂに形成されたの切込み１
１が互に離れた位置にくるように、切込み１１の形成位
置が設定されている。
【００２３】そして、各重ね合わせ板１ａ，１ｂは、そ
の一端側をビス５ａを用いて固定するとともに、他端側
をばね力により２枚の重ね合わせ板１ａ，１ｂを互に圧
着するクリップ５ｂを用いて結合することにより、重ね
合わせ板１ａ，１ｂ（の当接部７）が、互に対向する他
方の重ね合わせ板（１ａまたは１ｂ）に対して、開口部
（スリット）４の長手方向に自由に伸長、収縮（スライ
ド）することが可能な状態で、チップ型素子２を挾持す
ることができるように構成されている。
の一端側をビス５ａを用いて固定するとともに、他端側
をばね力により２枚の重ね合わせ板１ａ，１ｂを互に圧
着するクリップ５ｂを用いて結合することにより、重ね
合わせ板１ａ，１ｂ（の当接部７）が、互に対向する他
方の重ね合わせ板（１ａまたは１ｂ）に対して、開口部
（スリット）４の長手方向に自由に伸長、収縮（スライ
ド）することが可能な状態で、チップ型素子２を挾持す
ることができるように構成されている。
【００２４】上記のように構成された電極形成用マスク
においては、重ね合わせ板１ａ，１ｂの当接部７の両側
に、該当接部７と略平行にスリットを兼ねる開口部４が
形成されているとともに、開口部（スリット）４の長手
方向と略直交する方向の端部から、開口部（スリット）
４に達する切込み１１が形成されており、当接部７が周
囲からほとんど干渉されることがない。しかも、当接部
７が熱ストレスにより伸張した場合、図２に示すよう
に、クリップ５ｂにより結合された部分がスライドする
ため、帯状の当接部７が、周囲から干渉されずに確実に
伸張する。
においては、重ね合わせ板１ａ，１ｂの当接部７の両側
に、該当接部７と略平行にスリットを兼ねる開口部４が
形成されているとともに、開口部（スリット）４の長手
方向と略直交する方向の端部から、開口部（スリット）
４に達する切込み１１が形成されており、当接部７が周
囲からほとんど干渉されることがない。しかも、当接部
７が熱ストレスにより伸張した場合、図２に示すよう
に、クリップ５ｂにより結合された部分がスライドする
ため、帯状の当接部７が、周囲から干渉されずに確実に
伸張する。
【００２５】したがって、当接部７に熱ストレスが加わ
ったときに当接部７が湾曲し、チップ型素子２の間に隙
間が形成されたり、マスク全体にそりが生じたりするこ
とを確実に防止して、チップ型素子２の所定の位置に、
ぼけやにじみのない所望のパターンを有する電極を確実
に形成することができる。
ったときに当接部７が湾曲し、チップ型素子２の間に隙
間が形成されたり、マスク全体にそりが生じたりするこ
とを確実に防止して、チップ型素子２の所定の位置に、
ぼけやにじみのない所望のパターンを有する電極を確実
に形成することができる。
【００２６】なお、上記実施例では、開口部４がスリッ
トを兼ねている場合について説明したが、例えば、図３
に示すように、開口部４とスリット１４とを別に形成し
た場合にも、同様の効果を得ることが可能である。ま
た、開口部がスリット状ではなく、素子個々に対応して
形成されている場合にも同様の効果を得ることができ
る。なお、図３において、図１と同一の符号を付した部
分は、図１の電極形成用マスクと同一または相当部分を
示している。
トを兼ねている場合について説明したが、例えば、図３
に示すように、開口部４とスリット１４とを別に形成し
た場合にも、同様の効果を得ることが可能である。ま
た、開口部がスリット状ではなく、素子個々に対応して
形成されている場合にも同様の効果を得ることができ
る。なお、図３において、図１と同一の符号を付した部
分は、図１の電極形成用マスクと同一または相当部分を
示している。
【００２７】また、図４は、本発明のさらに他の実施例
を示す図である。この実施例の電極形成用マスクは、チ
ップ型素子（図示せず）をその両面側から挟み込む２枚
の重ね合わせ板２１ａ，２１ｂから構成されており、各
重ね合わせ板２１ａ，２１ｂの対向面の所定の位置に
は、チップ型素子を位置決め及び挾持するための凹部
（図示せず）が複数形成され、かつ、該凹部と重なるよ
うに、チップ型素子に形成すべき電極パターンに対応す
る形状を有する複数の開口部２４が形成されている。な
お、この実施例の電極形成用マスクにおいては、例え
ば、２列×２５連の合計５０個の開口部２４が形成され
ているが、図４ではその一部のみを示している。
を示す図である。この実施例の電極形成用マスクは、チ
ップ型素子（図示せず）をその両面側から挟み込む２枚
の重ね合わせ板２１ａ，２１ｂから構成されており、各
重ね合わせ板２１ａ，２１ｂの対向面の所定の位置に
は、チップ型素子を位置決め及び挾持するための凹部
（図示せず）が複数形成され、かつ、該凹部と重なるよ
うに、チップ型素子に形成すべき電極パターンに対応す
る形状を有する複数の開口部２４が形成されている。な
お、この実施例の電極形成用マスクにおいては、例え
ば、２列×２５連の合計５０個の開口部２４が形成され
ているが、図４ではその一部のみを示している。
【００２８】また、この実施例の電極形成用マスクにお
いても、各重ね合わせ板２１ａ，２１ｂにそれぞれ形成
された２つの開口部２４の間の帯状の部分がチップ型素
子と当接する当接部２７となっており、また、開口部２
４が本発明の当接部２７の両側のスリットを兼ねてい
る。
いても、各重ね合わせ板２１ａ，２１ｂにそれぞれ形成
された２つの開口部２４の間の帯状の部分がチップ型素
子と当接する当接部２７となっており、また、開口部２
４が本発明の当接部２７の両側のスリットを兼ねてい
る。
【００２９】そして、この実施例の電極形成用マスクに
おいては、開口部（スリット）２４の長手方向と略直交
する方向の端部から、該端部に最も近い開口部（スリッ
ト）２４（２４ａ）に達する切込み３１が形成されてい
る。
おいては、開口部（スリット）２４の長手方向と略直交
する方向の端部から、該端部に最も近い開口部（スリッ
ト）２４（２４ａ）に達する切込み３１が形成されてい
る。
【００３０】そして、各重ね合わせ板２１ａ，２１ｂ
は、その中央部がビス２５ａにより固定され、両端部が
クリップ２５ｂによってスライド可能に結合されてい
る。
は、その中央部がビス２５ａにより固定され、両端部が
クリップ２５ｂによってスライド可能に結合されてい
る。
【００３１】この実施例の電極形成用マスクにおいて
も、上記のように、重ね合わせ板２１ａ，２１ｂの所定
の位置に、開口部２４を兼ねるスリットが形成されてい
るとともに、開口部（スリット）２４の長手方向と略直
交する方向の端部から、該端部に最も近い開口部（スリ
ット）２４（２４ａ）に達する切込み３１が形成されて
おり、かつ、各当接部２７の両端側には開口部（スリッ
ト）２７が形成されているので、当接部２７が周囲から
干渉されることが少なく、かつ、当接部２７が熱ストレ
スにより伸張した場合、クリップ２５ｂにより結合され
た部分がスライドするため、帯状の当接部２７が、周囲
から干渉されずに確実に伸張する。
も、上記のように、重ね合わせ板２１ａ，２１ｂの所定
の位置に、開口部２４を兼ねるスリットが形成されてい
るとともに、開口部（スリット）２４の長手方向と略直
交する方向の端部から、該端部に最も近い開口部（スリ
ット）２４（２４ａ）に達する切込み３１が形成されて
おり、かつ、各当接部２７の両端側には開口部（スリッ
ト）２７が形成されているので、当接部２７が周囲から
干渉されることが少なく、かつ、当接部２７が熱ストレ
スにより伸張した場合、クリップ２５ｂにより結合され
た部分がスライドするため、帯状の当接部２７が、周囲
から干渉されずに確実に伸張する。
【００３２】したがって、当接部２７に熱ストレスが加
わったときに当接部２７が湾曲し、チップ型素子２の間
に隙間が形成されたり、マスク全体にそりが生じたりす
ることを確実に防止して、チップ型素子２の所定の位置
に、ぼけやにじみのない所望のパターンを有する電極を
確実に形成することができる。
わったときに当接部２７が湾曲し、チップ型素子２の間
に隙間が形成されたり、マスク全体にそりが生じたりす
ることを確実に防止して、チップ型素子２の所定の位置
に、ぼけやにじみのない所望のパターンを有する電極を
確実に形成することができる。
【００３３】なお、上記実施例では、２枚の重ね合わせ
板の両方に開口部が形成されている電極形成用マスクを
例にとって説明したが、いずれか一方の重ね合わせ板に
のみ開口部が形成されているような電極形成用マスクに
も本発明を適用することが可能であり、その場合にも、
上記実施例と同様の効果を得ることが可能である。
板の両方に開口部が形成されている電極形成用マスクを
例にとって説明したが、いずれか一方の重ね合わせ板に
のみ開口部が形成されているような電極形成用マスクに
も本発明を適用することが可能であり、その場合にも、
上記実施例と同様の効果を得ることが可能である。
【００３４】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、重ね合わせ板の細部の構造や形状、開口
部の形状（すなわちチップ型素子に形成すべき電極の形
状）及び配設数、スリットを開口部と兼用させるか否
か、当接部の形状、チップ型素子の位置決め用の凹部の
有無、２枚の重ね合わせ板を結合する結合部材（クラン
プなど）の種類、切込みの形成位置などに関し、発明の
要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えること
が可能である。また、本発明の電極形成用マスクは外部
電極を形成する場合に限らず、回路導体や他の電極を形
成するような場合にも適用することが可能である。
ものではなく、重ね合わせ板の細部の構造や形状、開口
部の形状（すなわちチップ型素子に形成すべき電極の形
状）及び配設数、スリットを開口部と兼用させるか否
か、当接部の形状、チップ型素子の位置決め用の凹部の
有無、２枚の重ね合わせ板を結合する結合部材（クラン
プなど）の種類、切込みの形成位置などに関し、発明の
要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えること
が可能である。また、本発明の電極形成用マスクは外部
電極を形成する場合に限らず、回路導体や他の電極を形
成するような場合にも適用することが可能である。
【００３５】
【発明の効果】上述のように、本発明の電極形成用マス
クは、開口部が形成された重ね合わせ板の、チップ型素
子との当接部の両側に、該当接部と略平行にスリットを
形成するとともに、前記スリットの長手方向と略直交す
る方向の端部から、該端部に最も近いスリットに達する
切込みを形成するようにしているので、従来の電極形成
用マスクにおいては防止することができなかった、熱ス
トレスが加わったときに発生する当接部の湾曲を確実に
防止することができる。
クは、開口部が形成された重ね合わせ板の、チップ型素
子との当接部の両側に、該当接部と略平行にスリットを
形成するとともに、前記スリットの長手方向と略直交す
る方向の端部から、該端部に最も近いスリットに達する
切込みを形成するようにしているので、従来の電極形成
用マスクにおいては防止することができなかった、熱ス
トレスが加わったときに発生する当接部の湾曲を確実に
防止することができる。
【００３６】したがって、マスクの一部が浮き上がっ
て、マスクとチップ型素子の間に隙間が形成されること
を確実に防止して、チップ型素子の所定の位置に所望の
パターンを有する電極を確実に形成することができる。
て、マスクとチップ型素子の間に隙間が形成されること
を確実に防止して、チップ型素子の所定の位置に所望の
パターンを有する電極を確実に形成することができる。
【００３７】また、開口部が前記スリットを兼ねるよう
に構成することも可能であり、その場合、重ね合わせ板
の構造を簡略化して小型化を図ることができる。
に構成することも可能であり、その場合、重ね合わせ板
の構造を簡略化して小型化を図ることができる。
【００３８】さらに、重ね合わせ板の互に対向する面の
少なくとも一方の面に、位置決め用の凹部を形成すると
ともに、重ね合わせたときに凹部と重なるように開口部
を形成することにより、チップ型素子の位置決めを確実
に行うことが可能になり、チップ型素子の所定の位置に
容易かつ確実に電極を形成することができる。
少なくとも一方の面に、位置決め用の凹部を形成すると
ともに、重ね合わせたときに凹部と重なるように開口部
を形成することにより、チップ型素子の位置決めを確実
に行うことが可能になり、チップ型素子の所定の位置に
容易かつ確実に電極を形成することができる。
【００３９】また、２枚の重ね合わせ板を結合するため
の複数の結合部材の少なくとも一部として、各重ね合わ
せ板が、互に対向する他方の重ね合わせ板に対して、ス
リットの長手方向に自由に伸長、収縮することを妨げな
いような結合部材を用いることにより、当接部の自由な
伸長・収縮を確実に可能ならしめることができるように
なる。また、マスクのそりなどの変形を防止することが
できるため、繰返して使用することが可能になる。
の複数の結合部材の少なくとも一部として、各重ね合わ
せ板が、互に対向する他方の重ね合わせ板に対して、ス
リットの長手方向に自由に伸長、収縮することを妨げな
いような結合部材を用いることにより、当接部の自由な
伸長・収縮を確実に可能ならしめることができるように
なる。また、マスクのそりなどの変形を防止することが
できるため、繰返して使用することが可能になる。
【００４０】さらに、前記少なくとも一部の結合部材と
して、ばね力により、各重ね合わせ板を互に圧着するク
リップを用いることにより、容易かつ確実に、当接部の
自由な伸長・収縮を確実に可能ならしめ、本発明をより
実効あらしめることができる。
して、ばね力により、各重ね合わせ板を互に圧着するク
リップを用いることにより、容易かつ確実に、当接部の
自由な伸長・収縮を確実に可能ならしめ、本発明をより
実効あらしめることができる。
【図１】本発明の一実施例にかかる電極形成用マスクを
示す分解斜視図である。
示す分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施例にかかる電極形成用マスクを
構成する重ね合わせ板の、クリップにより結合された部
分がスライドした状態を示す側面図である。
構成する重ね合わせ板の、クリップにより結合された部
分がスライドした状態を示す側面図である。
【図３】本発明の他の実施例にかかる電極形成用マスク
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図４】本発明のさらに他の実施例にかかる電極形成用
マスクを示す斜視図である。
マスクを示す斜視図である。
【図５】従来の電極形成用マスクを示す分解斜視図であ
る。
る。
【図６】所定の位置に電極が形成されたチップ型素子を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図７】従来の電極形成用マスクにおいて当接部が湾曲
してマスクとチップ型素子の間に隙間が形成された状態
を示す図である。
してマスクとチップ型素子の間に隙間が形成された状態
を示す図である。
【図８】従来の電極形成用マスクにおいて、Ｕ字状の押
圧治具を用いて上下両面側から当接部を押圧した状態を
示す図である。
圧治具を用いて上下両面側から当接部を押圧した状態を
示す図である。
１ａ，１ｂ，２１ａ，２１ｂ 重ね合わせ板 ２ チップ型素子 ３ 凹部 ４，２４ 開口部 ５ａ，２５ａ ビス ５ｂ，２５ｂ クリップ ７，２７ 当接部 １１，３１ 切込み
Claims (5)
- 【請求項１】 チップ型素子に所定のパターンの電極を
形成するための電極形成用マスクにおいて、 チップ型素子をその両面側から挟み込む２枚の重ね合わ
せ板から構成されており、 少なくとも一方の重ね合わせ板には、チップ型素子に形
成すべき電極パターンに対応する形状を有する１以上の
開口部が形成されているとともに、 前記重ね合わせ板のうち、前記開口部が形成された重ね
合わせ板の、チップ型素子と対向、接触する部分（当接
部）の両側に、該当接部と略平行にスリットが形成され
ており、かつ、 少なくとも、前記スリットの長手方向と略直交する方向
の端部から、該端部に最も近いスリットに達する切込み
が形成されていることを特徴とする電極形成用マスク。 - 【請求項２】 前記開口部が前記スリットを兼ねている
ことを特徴とする請求項１記載の電極形成用マスク。 - 【請求項３】 前記重ね合わせ板の互に対向する面の少
なくとも一方の面に、チップ型素子を位置決め及び挾持
するための凹部が形成され、かつ、重ね合わせたときに
前記開口部が前記凹部と重なるように形成されているこ
とを特徴とする請求項１または２記載の電極形成用マス
ク。 - 【請求項４】 対向する２枚の重ね合わせ板を結合する
ための複数の結合部材の少なくとも一部に、各重ね合わ
せ板が、互に対向する他方の重ね合わせ板に対して、前
記スリットの長手方向に自由に伸長、収縮することを妨
げない結合部材を用いたことを特徴とする請求項１，２
または３記載の電極形成用マスク。 - 【請求項５】 前記少なくとも一部の結合部材が、ばね
力により、各重ね合わせ板を互に圧着するクリップであ
ることを特徴とする請求項４記載の電極形成用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21661094A JP3232905B2 (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 電極形成用マスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21661094A JP3232905B2 (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 電極形成用マスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0864485A JPH0864485A (ja) | 1996-03-08 |
| JP3232905B2 true JP3232905B2 (ja) | 2001-11-26 |
Family
ID=16691131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21661094A Expired - Fee Related JP3232905B2 (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 電極形成用マスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3232905B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6322902B1 (en) | 1998-01-28 | 2001-11-27 | Komatsu Ltd. | Sliding contact material, sliding contact element and producing method |
-
1994
- 1994-08-17 JP JP21661094A patent/JP3232905B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6322902B1 (en) | 1998-01-28 | 2001-11-27 | Komatsu Ltd. | Sliding contact material, sliding contact element and producing method |
| US6428744B1 (en) | 1998-01-28 | 2002-08-06 | Komatsu Ltd. | Sliding contact material, sliding contact element and producing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0864485A (ja) | 1996-03-08 |
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Legal Events
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